JPH08203050A - 磁気ヘッドスライダ製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドスライダ製造方法Info
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- JPH08203050A JPH08203050A JP1124895A JP1124895A JPH08203050A JP H08203050 A JPH08203050 A JP H08203050A JP 1124895 A JP1124895 A JP 1124895A JP 1124895 A JP1124895 A JP 1124895A JP H08203050 A JPH08203050 A JP H08203050A
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- chamfering
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- cushion material
- sliders
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- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】磁気ヘッドスライダの製造方法。特に浮上面レ
ールエッジ１ａ〜１ｃの面取り加工に関し、クッション
材６上の研磨テープ３に複数のスライダ４ａ〜４ｎを押
しつけつつＸ，Ｙ方向に運動させて面取り加工する際
に、均一な加工を可能とすることを目的とする。 【構成】スライダ４ａ〜４ｎを研磨テープ３を介してク
ッション材６に押付けクッション材６を弾性変形させて
レールエッジ１ａ〜１ｃの加工を行う際に微小すき間で
ある隣接する浮上面レール間隔ｄ2に効率よくクッショ
ン材を入れ込ませるための研磨テープ剛性を規定するこ
とで同時加工するスライダ４ａ〜４ｎ全ての面取りの均
一加工が可能となる。 【効果】レールエッジ内側１ｂ、外側１ａの加工量を均
一に出来るため、スライダ４を単体に切り離す前のブロ
ック状態でも理想とする面取り形状と出来るため量産に
適する。
ールエッジ１ａ〜１ｃの面取り加工に関し、クッション
材６上の研磨テープ３に複数のスライダ４ａ〜４ｎを押
しつけつつＸ，Ｙ方向に運動させて面取り加工する際
に、均一な加工を可能とすることを目的とする。 【構成】スライダ４ａ〜４ｎを研磨テープ３を介してク
ッション材６に押付けクッション材６を弾性変形させて
レールエッジ１ａ〜１ｃの加工を行う際に微小すき間で
ある隣接する浮上面レール間隔ｄ2に効率よくクッショ
ン材を入れ込ませるための研磨テープ剛性を規定するこ
とで同時加工するスライダ４ａ〜４ｎ全ての面取りの均
一加工が可能となる。 【効果】レールエッジ内側１ｂ、外側１ａの加工量を均
一に出来るため、スライダ４を単体に切り離す前のブロ
ック状態でも理想とする面取り形状と出来るため量産に
適する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁気ディスク装置等に用
いられる磁気ヘッドのスライダ製造方法にかかり、特に
スライダの浮上面側周辺部（外レール、内レール、空気
流入、流出端）の面取り方法に関する。
いられる磁気ヘッドのスライダ製造方法にかかり、特に
スライダの浮上面側周辺部（外レール、内レール、空気
流入、流出端）の面取り方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の磁気ヘッドスライダ製造方法とし
ては、例えば特開平２−１９９６１４号公報に開示され
たものが知られている。上記公報によれば面取り加工に
おいて研磨テープ３の裏面にクッション材６を設け、図
５に示すレールエッジ１ａ〜１ｃを有する一面全体を均
一に研磨テープ３にならわせて押しあてつつＸ，Ｙ方向
に動作する機構を有し、クッション材６を弾性変形させ
て微小すき間にも研磨テープ３を入り込ませて多数個同
時加工を行うようにする。上記技術において面取り加工
を行うとき図６のレールエッジ１ａ〜１ｃで研磨テープ
４となす角θ（以降面取り角度と称す）は近似的に数１
で表される。
ては、例えば特開平２−１９９６１４号公報に開示され
たものが知られている。上記公報によれば面取り加工に
おいて研磨テープ３の裏面にクッション材６を設け、図
５に示すレールエッジ１ａ〜１ｃを有する一面全体を均
一に研磨テープ３にならわせて押しあてつつＸ，Ｙ方向
に動作する機構を有し、クッション材６を弾性変形させ
て微小すき間にも研磨テープ３を入り込ませて多数個同
時加工を行うようにする。上記技術において面取り加工
を行うとき図６のレールエッジ１ａ〜１ｃで研磨テープ
４となす角θ（以降面取り角度と称す）は近似的に数１
で表される。
【０００３】
【数１】
【０００４】上記クッション材のバネ定数をＫ（Ｎ／mm
3）、研磨テープのテンションをＴ（Ｎ／mm）、研磨圧
力をＰ（Ｎ／mm2）、隣接するスライダレールまでの距
離をｄ（mm）とする。したがって、上記Ｋ，Ｔ，Ｐ，ｄ
を適宜選定することにより、レールエッジ１ａ，１ｂ，
１ｃの面取り形状を設定でき理想とする形状に加工でき
る。たとえば隣接するスライダレール距離ｄを０．５mm
以上としたときＫ＝０．２８（Ｎ／mm3）Ｔ＝０．２５
（Ｎ／mm）Ｐ＝１．２（Ｎ／mm2）とするとθ＝１．１
７°となり加工量は幅ｌ＝１２（μm）としたとき深さ
０．２５（μm）程度が得られる。
3）、研磨テープのテンションをＴ（Ｎ／mm）、研磨圧
力をＰ（Ｎ／mm2）、隣接するスライダレールまでの距
離をｄ（mm）とする。したがって、上記Ｋ，Ｔ，Ｐ，ｄ
を適宜選定することにより、レールエッジ１ａ，１ｂ，
１ｃの面取り形状を設定でき理想とする形状に加工でき
る。たとえば隣接するスライダレール距離ｄを０．５mm
以上としたときＫ＝０．２８（Ｎ／mm3）Ｔ＝０．２５
（Ｎ／mm）Ｐ＝１．２（Ｎ／mm2）とするとθ＝１．１
７°となり加工量は幅ｌ＝１２（μm）としたとき深さ
０．２５（μm）程度が得られる。
【０００５】スライダ間隔が０．５mm程度の場合、各ス
ライダを切り離す前の状態で加工可能である。
ライダを切り離す前の状態で加工可能である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記の面取
り方法では隣接する浮上面レールまでの距離ｄが０．５
mmよりさらに微小となった場合には上記（数１）式の浮
上面レールと研磨テープのなす角である面取り角度θが
小さくなり、図５のレールエッジ１ａと１ｂの面取り量
に差が生じる。特にＡ部での加工はされ難く、加工量に
バラツキを生じる。Ａ部は磁気ヘッドスライダが磁気デ
ィスク装置内で磁気記録媒体であるディスクへの記録・
再生を行う磁気ヘッド素子の形成されている近傍であ
る。磁気ヘッド素子が形成される部位は磁気ディスク装
置内でスライダが浮上する場合に空気流出端に位置しデ
ィスクと最も近い距離で対向する。このときの浮上量は
主にＡ部のスライダ浮上面レール寸法と面取り量により
左右される。
り方法では隣接する浮上面レールまでの距離ｄが０．５
mmよりさらに微小となった場合には上記（数１）式の浮
上面レールと研磨テープのなす角である面取り角度θが
小さくなり、図５のレールエッジ１ａと１ｂの面取り量
に差が生じる。特にＡ部での加工はされ難く、加工量に
バラツキを生じる。Ａ部は磁気ヘッドスライダが磁気デ
ィスク装置内で磁気記録媒体であるディスクへの記録・
再生を行う磁気ヘッド素子の形成されている近傍であ
る。磁気ヘッド素子が形成される部位は磁気ディスク装
置内でスライダが浮上する場合に空気流出端に位置しデ
ィスクと最も近い距離で対向する。このときの浮上量は
主にＡ部のスライダ浮上面レール寸法と面取り量により
左右される。
【０００７】また薄膜磁気ヘッドの場合、磁気ヘッド素
子部はＡｌ2Ｏ3などで保護されているが、Ａ部を理想的
な面取り量まで加工すると、保護材の面取り量が過大と
なり磁気ヘッド素子にまでかかる問題もある。このた
め、スライダ４を切離す前の隣の浮上面レール１４まで
の距離ｄが０．３〜０．４と微小の場合、均一な面取り
量を得るためには浮上面レール間隔ｄ2が０．５mm以上
になる様にスライダを置き直すことが不可欠となり、作
業工数が多く生産効率が悪い。
子部はＡｌ2Ｏ3などで保護されているが、Ａ部を理想的
な面取り量まで加工すると、保護材の面取り量が過大と
なり磁気ヘッド素子にまでかかる問題もある。このた
め、スライダ４を切離す前の隣の浮上面レール１４まで
の距離ｄが０．３〜０．４と微小の場合、均一な面取り
量を得るためには浮上面レール間隔ｄ2が０．５mm以上
になる様にスライダを置き直すことが不可欠となり、作
業工数が多く生産効率が悪い。
【０００８】本発明は上記した従来技術の問題点に鑑み
成されたもので、浮上面レール加工したままの位置にあ
る複数個の浮上面レールに均一な品質を有する面取り形
成を可能にする磁気ヘッドスライダの製造方法を提供す
ることにある。
成されたもので、浮上面レール加工したままの位置にあ
る複数個の浮上面レールに均一な品質を有する面取り形
成を可能にする磁気ヘッドスライダの製造方法を提供す
ることにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の基本原理を図１
及び図２に示す。６は例えば発泡ポリウレタン等のクッ
ション材６であり研磨テープ３を介してスライダ４に押
しつけつつスライダ４をＸ，Ｙ方向に相対運動させる。
このときレールエッジ１ａ，１ｂ，１ｃで研磨テープ３
が入り込んで生じる、浮上面レール１４と研磨テープ３
のなす角である面取り角度θに着目すると
及び図２に示す。６は例えば発泡ポリウレタン等のクッ
ション材６であり研磨テープ３を介してスライダ４に押
しつけつつスライダ４をＸ，Ｙ方向に相対運動させる。
このときレールエッジ１ａ，１ｂ，１ｃで研磨テープ３
が入り込んで生じる、浮上面レール１４と研磨テープ３
のなす角である面取り角度θに着目すると
【００１０】
【数２】
【００１１】と表わされる。
【００１２】隣接するスライダ間隔ｄが小さくなると、
面取り角度θは小さくなるためこの面取り角度θを大き
くする条件を設定して面取り加工を行なうものである。
特に面取り量の絶対値が微小であることから、研磨テー
プ剛性EI（Ｎ・mm）を規定して面取り加工する。式中の
記号は研磨圧（Ｐ／mm2）、クッション材バネ定数Ｋ
（Ｎ／mm3）テープテンションＴ（Ｎ／mm）、Ｚ方向ク
ッション材変位量Ｚ（mm）、ｘ方向微小位置ｘ（mm）で
ある。研磨テープのベース材は一般的にＰＥＴ（ポリエ
チレンテレフタレート）であり、剛性EIを規定する代り
にテープ厚ｔを規定しても良い。
面取り角度θは小さくなるためこの面取り角度θを大き
くする条件を設定して面取り加工を行なうものである。
特に面取り量の絶対値が微小であることから、研磨テー
プ剛性EI（Ｎ・mm）を規定して面取り加工する。式中の
記号は研磨圧（Ｐ／mm2）、クッション材バネ定数Ｋ
（Ｎ／mm3）テープテンションＴ（Ｎ／mm）、Ｚ方向ク
ッション材変位量Ｚ（mm）、ｘ方向微小位置ｘ（mm）で
ある。研磨テープのベース材は一般的にＰＥＴ（ポリエ
チレンテレフタレート）であり、剛性EIを規定する代り
にテープ厚ｔを規定しても良い。
【００１３】
【作用】隣接するスライダ間隔ｄが小さい場合、所要の
面取り形状に対して深さ／幅によって求まる面取り角度
θが不十分になる。上記「数２」を用いて面取り角度θ
が所要の面取り角度θとなる様に加工条件を設定するこ
とで、スライダ間隔ｄに研磨テープ３を入り込ませクッ
ション材６の変形をより有効に転写させ得るため、隣接
するスライダ間隔ｄが０．３〜０．４mmと微小でも理想
的な面取り形状に加工できる。
面取り形状に対して深さ／幅によって求まる面取り角度
θが不十分になる。上記「数２」を用いて面取り角度θ
が所要の面取り角度θとなる様に加工条件を設定するこ
とで、スライダ間隔ｄに研磨テープ３を入り込ませクッ
ション材６の変形をより有効に転写させ得るため、隣接
するスライダ間隔ｄが０．３〜０．４mmと微小でも理想
的な面取り形状に加工できる。
【００１４】また上記スライダ間隔ｄで浮上面レール加
工後、スライダ４に切断する前のブロック状態でも全て
の浮上面レール１４の内側、外側エッジ１ｂ，１ａに均
一な幅、深さの面取り加工が可能である。
工後、スライダ４に切断する前のブロック状態でも全て
の浮上面レール１４の内側、外側エッジ１ｂ，１ａに均
一な幅、深さの面取り加工が可能である。
【００１５】加工条件を設定する際に可変できる項には
研磨圧力Ｐ、クッション材のバネ定数ｋ、研磨テープ剛
性EI、テープテンションＴがあるが、加工バラツキや研
磨テープ３の砥粒接着力に上限のあることから研磨テー
プ剛性EIとテープテンションＴの組合せによる設定が好
ましい。加工量についてはＸ，Ｙ軸方向の加工距離によ
って設定が可能である。所要の加工形状を効率良く得ら
れるため、加工過多により磁気ヘッド素子部にまで面取
り加工がおよぶ問題も改善される。
研磨圧力Ｐ、クッション材のバネ定数ｋ、研磨テープ剛
性EI、テープテンションＴがあるが、加工バラツキや研
磨テープ３の砥粒接着力に上限のあることから研磨テー
プ剛性EIとテープテンションＴの組合せによる設定が好
ましい。加工量についてはＸ，Ｙ軸方向の加工距離によ
って設定が可能である。所要の加工形状を効率良く得ら
れるため、加工過多により磁気ヘッド素子部にまで面取
り加工がおよぶ問題も改善される。
【００１６】
【実施例】以下添付の図面に示す実施例により、さらに
詳細に本発明について説明する。図３及び図６は本発明
の一実施例を示す説明図である。図６に示すように浮上
面レール加工を行った複数のスライダ４ａ〜４ｎが治具
７上にワックスで固定され、隣接する浮上面レール間隔
ｄ2、内レール間隔ｄ1で配列される。テープガイド５に
クッション材６を貼付け研磨テープ３を介してスライダ
４ａ〜４ｎに加工Ｐで押付ける。治具７はワーククラン
プ揺動機構８でクランプし、この部分はＸ，Ｙ軸両方向
について揺動し研磨テープ３にならい運動する。これに
より複数個のスライダ４ａ〜４ｎの浮上面レール１４は
均一に研磨テープ３に当接し、ワーククランプ揺動機構
８ごとＸＹ方向に適当な距離を運動させることで浮上面
レール１４のエッジ１ａ〜１ｃは均一に面取り加工され
る。
詳細に本発明について説明する。図３及び図６は本発明
の一実施例を示す説明図である。図６に示すように浮上
面レール加工を行った複数のスライダ４ａ〜４ｎが治具
７上にワックスで固定され、隣接する浮上面レール間隔
ｄ2、内レール間隔ｄ1で配列される。テープガイド５に
クッション材６を貼付け研磨テープ３を介してスライダ
４ａ〜４ｎに加工Ｐで押付ける。治具７はワーククラン
プ揺動機構８でクランプし、この部分はＸ，Ｙ軸両方向
について揺動し研磨テープ３にならい運動する。これに
より複数個のスライダ４ａ〜４ｎの浮上面レール１４は
均一に研磨テープ３に当接し、ワーククランプ揺動機構
８ごとＸＹ方向に適当な距離を運動させることで浮上面
レール１４のエッジ１ａ〜１ｃは均一に面取り加工され
る。
【００１７】図６において、例えばスライダ４の面取り
角度θは（数１）で表される。ここで隣接する浮上面レ
ール間隔ｄ2の寸法が小さくなり、内レール間隔ｄ1に対
して微小になった場合、図５のレールエッジ１ａと１ｂ
での面取り角度θに差が生じ、レールエッジ１ａの加工
量が小さくなる。特にＡ部が加工されにくい。Ｋはクッ
ション材バネ定数（Ｎ／mm3）、Ｔはテープテンション
（Ｎ／mm）、Ｐは研磨圧力（Ｎ／mm2）であり、これら
の項を変えてもレールエッジ１ａと１ｂの面取り角度θ
の差には改善効果少なく、加工距離を増加させても同様
に改善効果は小さい。
角度θは（数１）で表される。ここで隣接する浮上面レ
ール間隔ｄ2の寸法が小さくなり、内レール間隔ｄ1に対
して微小になった場合、図５のレールエッジ１ａと１ｂ
での面取り角度θに差が生じ、レールエッジ１ａの加工
量が小さくなる。特にＡ部が加工されにくい。Ｋはクッ
ション材バネ定数（Ｎ／mm3）、Ｔはテープテンション
（Ｎ／mm）、Ｐは研磨圧力（Ｎ／mm2）であり、これら
の項を変えてもレールエッジ１ａと１ｂの面取り角度θ
の差には改善効果少なく、加工距離を増加させても同様
に改善効果は小さい。
【００１８】そこで加工点について面取り角度θに影響
する要因として研磨テープ剛性をも含めた力の釣合いを
考えると（数１）が導出される。
する要因として研磨テープ剛性をも含めた力の釣合いを
考えると（数１）が導出される。
【００１９】また、研磨テープ剛性EIは
【００２０】
【数３】
【００２１】で表されるためテープ厚さｔの影響が大き
いことがわかる。Ｅはヤング率、νはポアソン比であ
る。
いことがわかる。Ｅはヤング率、νはポアソン比であ
る。
【００２２】したがって、本発明によれば、テープ厚さ
ｔを選定することで、研磨圧力Ｐのロスを減少させ、ク
ッション材６の変形に対するならい性が向上するため、
レールエッジ１ａと１ｂの均一加工に有効である。
ｔを選定することで、研磨圧力Ｐのロスを減少させ、ク
ッション材６の変形に対するならい性が向上するため、
レールエッジ１ａと１ｂの均一加工に有効である。
【００２３】クッション材バネ定数Ｋ、テープテンショ
ンＴ、研磨圧力Ｐにより研磨テープ剛性EIの値は異なる
が、クッション材バネ定数Ｋが、２９．４（Ｎ／m
m3）、テープテンションＴが０.０９８（Ｎ／mm）、研
磨圧力Ｐが０．９８（Ｎ／mm2）の場合、面取り角度θ
を１.８°とするための研磨テープ剛性EIは２.６×10-3
（Ｎ・mm）とすることで、理想とする形状に加工可能と
なる。
ンＴ、研磨圧力Ｐにより研磨テープ剛性EIの値は異なる
が、クッション材バネ定数Ｋが、２９．４（Ｎ／m
m3）、テープテンションＴが０.０９８（Ｎ／mm）、研
磨圧力Ｐが０．９８（Ｎ／mm2）の場合、面取り角度θ
を１.８°とするための研磨テープ剛性EIは２.６×10-3
（Ｎ・mm）とすることで、理想とする形状に加工可能と
なる。
【００２４】図３は上述した複数個のスライダ４ａ〜４
ｎに面取り加工する装置を示す説明図である。治具７を
クランプしたワーククランプ揺動機構８はＸ，Ｙステー
ジ１１上においてスライダ４ａ〜４ｎの浮上面レール１
４上の中心を通るＸ軸、Ｙ軸をそれぞれ中心にしてなら
い軸受９，１０によって揺動する構成である。
ｎに面取り加工する装置を示す説明図である。治具７を
クランプしたワーククランプ揺動機構８はＸ，Ｙステー
ジ１１上においてスライダ４ａ〜４ｎの浮上面レール１
４上の中心を通るＸ軸、Ｙ軸をそれぞれ中心にしてなら
い軸受９，１０によって揺動する構成である。
【００２５】また、治具７の上方にはテープテンション
１３を付与した研磨テープ３がテープガイド５に設けら
れたクッション材６に接して配置されている。このテー
プガイド５とクッション材６を研磨テープ３から成る押
圧部は矢印１２に示すＺ軸方向に可動としている。これ
によりスライダ４ａ〜４ｎは加圧され、ワーククランプ
揺動機構８によって、加圧が均一にされＸＹステージの
動作により面取り加工される。
１３を付与した研磨テープ３がテープガイド５に設けら
れたクッション材６に接して配置されている。このテー
プガイド５とクッション材６を研磨テープ３から成る押
圧部は矢印１２に示すＺ軸方向に可動としている。これ
によりスライダ４ａ〜４ｎは加圧され、ワーククランプ
揺動機構８によって、加圧が均一にされＸＹステージの
動作により面取り加工される。
【００２６】図４は、この発明によって形成されたスラ
イダについて、その浮上面レール周辺部の面取り深さdp
を縦軸にとり面取り幅lpを横軸にとったグラフを示す。
目標とする面取り角度θは、（面取り幅lpを２０μm，
面取り深さdpを０．６μmとした場合、tan-1０.６／２
０より１.８°とする。隣接する浮上面レール間隔ｄ2を
０．４（mm）内レール間隔ｄ1を０．９（mm）の場合、
研磨圧力Ｐを０．９５（Ｎ／mm2）、テープテンション
Ｔを０．１（Ｎ／mm）、クッション材６を発泡ポリウレ
タンシートとしバネ定数Ｋを２９．４（Ｎ／mm3）、
Ｘ，Ｙ方向の加工速さ１０mm／sec、Ｘ方向加工距離±
５０mm、Ｙ方向加工距離±７５mm、ダイヤモンド研磨テ
ープ厚ｔを０．５（mil）とした。図示する様に面取り
幅lpは１５〜２２（μm）、面取り深さdpは０．３〜
０．７μmであり面取り角度θ＝tan-1（dp／lp）は１．
１４°〜１．８２°であり面取り幅lpは１８．８（μ
m）３σは３．９８（μm）、面取り深さdpは０．５３
（μm）３σは０．２８（μm）と良好である。
イダについて、その浮上面レール周辺部の面取り深さdp
を縦軸にとり面取り幅lpを横軸にとったグラフを示す。
目標とする面取り角度θは、（面取り幅lpを２０μm，
面取り深さdpを０．６μmとした場合、tan-1０.６／２
０より１.８°とする。隣接する浮上面レール間隔ｄ2を
０．４（mm）内レール間隔ｄ1を０．９（mm）の場合、
研磨圧力Ｐを０．９５（Ｎ／mm2）、テープテンション
Ｔを０．１（Ｎ／mm）、クッション材６を発泡ポリウレ
タンシートとしバネ定数Ｋを２９．４（Ｎ／mm3）、
Ｘ，Ｙ方向の加工速さ１０mm／sec、Ｘ方向加工距離±
５０mm、Ｙ方向加工距離±７５mm、ダイヤモンド研磨テ
ープ厚ｔを０．５（mil）とした。図示する様に面取り
幅lpは１５〜２２（μm）、面取り深さdpは０．３〜
０．７μmであり面取り角度θ＝tan-1（dp／lp）は１．
１４°〜１．８２°であり面取り幅lpは１８．８（μ
m）３σは３．９８（μm）、面取り深さdpは０．５３
（μm）３σは０．２８（μm）と良好である。
【００２７】ダイヤモンド研磨テープ厚ｔが０．５（mi
l）のときの研磨テープ剛性EIは実測で２．５９７×１
０-3（Ｎ・mm）であり１（mil）のときは７．９×１０
-3（Ｎ・mm）であった。参考までに１（mil）の研磨テ
ープを使用した場合の計算による面取り角度θは１．０
７°であり実加工による面取り角度θは０．８６°〜
１．６７°であり、面取り幅lpは１５．６（μm）、３
σは１７．７（μm）、面取り深さdpは０．４１（μ
m）、３σは０．４９（μm）であった。データ数は共
に、レールエッジ１ａから６点、１ｂから６点の計１２
点／スライダとし１０スライダについて計１２０点とし
た。また砥粒径は０．５（μm）とした。
l）のときの研磨テープ剛性EIは実測で２．５９７×１
０-3（Ｎ・mm）であり１（mil）のときは７．９×１０
-3（Ｎ・mm）であった。参考までに１（mil）の研磨テ
ープを使用した場合の計算による面取り角度θは１．０
７°であり実加工による面取り角度θは０．８６°〜
１．６７°であり、面取り幅lpは１５．６（μm）、３
σは１７．７（μm）、面取り深さdpは０．４１（μ
m）、３σは０．４９（μm）であった。データ数は共
に、レールエッジ１ａから６点、１ｂから６点の計１２
点／スライダとし１０スライダについて計１２０点とし
た。また砥粒径は０．５（μm）とした。
【００２８】図７に上記条件における面取り角度θに対
応する研磨テープ剛性EIの計算値をグラフに示す。テー
プベース厚の薄さにも限度があり破断という問題上、テ
ープベース厚で規定すると１２．７〜４（μm）とする
ことが好ましい。
応する研磨テープ剛性EIの計算値をグラフに示す。テー
プベース厚の薄さにも限度があり破断という問題上、テ
ープベース厚で規定すると１２．７〜４（μm）とする
ことが好ましい。
【００２９】以上より研磨テープの厚さｔを規定するこ
とで面取り加工を安定して行うことが可能であり、隣接
する浮上面レール間隔ｄ2が小さい場合に目標とする加
工量を安定して得る方法として研磨テープ厚ｔを薄くし
剛性を小さくすることが有効である。
とで面取り加工を安定して行うことが可能であり、隣接
する浮上面レール間隔ｄ2が小さい場合に目標とする加
工量を安定して得る方法として研磨テープ厚ｔを薄くし
剛性を小さくすることが有効である。
【００３０】
【発明の効果】本発明によれば、複数個のスライダ４ａ
〜４ｎに浮上面レール加工後スライダ単体に切り離す前
のブロック状態で、レールエッジ１ａ〜１ｃに面取り加
工を行う際、隣接する浮上面レール間隔ｄが０．３〜
０．４（mm）程度と微小であっても研磨テープ剛性を考
慮することにより、所要の面取り形状（たとえば面取り
幅lp＝２０（μm）、面取り深さdp＝０．６（μm））を
レールエッジ内側１ｂ、外側１ａで均一な加工量と出来
る。
〜４ｎに浮上面レール加工後スライダ単体に切り離す前
のブロック状態で、レールエッジ１ａ〜１ｃに面取り加
工を行う際、隣接する浮上面レール間隔ｄが０．３〜
０．４（mm）程度と微小であっても研磨テープ剛性を考
慮することにより、所要の面取り形状（たとえば面取り
幅lp＝２０（μm）、面取り深さdp＝０．６（μm））を
レールエッジ内側１ｂ、外側１ａで均一な加工量と出来
る。
【００３１】その結果、スライダ単体に切り離す前のス
ライダ４ａ〜４ｎを同時に均一な面取り加工出来るため
量産に適している。
ライダ４ａ〜４ｎを同時に均一な面取り加工出来るため
量産に適している。
【図１】本発明の一実施例を示す説明図である。
【図２】面取り形状形成原理図である。
【図３】本発明を実施する面取り加工装置の一例を示す
説明図である。
説明図である。
【図４】本発明の方法によって形成されたスライダ４に
ついて、その浮上面レール１４のレールエッジ１の面取
り深さdpを縦軸にとり、面取り幅lpを横軸にとった場合
の実験結果を示す図である。
ついて、その浮上面レール１４のレールエッジ１の面取
り深さdpを縦軸にとり、面取り幅lpを横軸にとった場合
の実験結果を示す図である。
【図５】スライダの一例を示す斜視図である。
【図６】ブロック状態で面取り加工を行う説明図であ
る。
る。
【図７】ある条件下での面取り角度θに対応する研磨テ
ープ剛性EIの関係を示すグラフである。
ープ剛性EIの関係を示すグラフである。
１…レールエッジ、 ３…研磨テープ、 ４…スライダ、 ５…テープガイド、 ６…クッション材、 ７…治具、 ８…ワーククランプ揺動機構、 ９…ならい軸受け、 １１…ＸＹステージ、 １３…テープテンション、 １４…浮上面レール。
Claims (1)
- 【請求項１】浮上面レール加工した複数のスライダをあ
らかじめ定められた間隔でＸＹ平面上に設けられた加工
テーブル上に配置しクッション材を介してあらかじめ定
められた圧力Ｐで押圧された研磨テープを上記複数のス
ライダ浮上面レールに当接してＸ，Ｙ方向に研磨するこ
とにより、上記スライダの周辺端部の面取り加工を行う
製造方法において、微小すき間で隣接する浮上面レール
間隔に対して、研磨テープと浮上面レールのなす角θ
を、所要とする面取り角度にする研磨テープ剛性を有す
る研磨テープによって研磨することを特徴とする磁気ヘ
ッド製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1124895A JPH08203050A (ja) | 1995-01-27 | 1995-01-27 | 磁気ヘッドスライダ製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1124895A JPH08203050A (ja) | 1995-01-27 | 1995-01-27 | 磁気ヘッドスライダ製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08203050A true JPH08203050A (ja) | 1996-08-09 |
Family
ID=11772646
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1124895A Pending JPH08203050A (ja) | 1995-01-27 | 1995-01-27 | 磁気ヘッドスライダ製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08203050A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004100133A1 (en) * | 2003-05-12 | 2004-11-18 | Sae Magnetics (H.K) Ltd. | System and method for edge blending hard drive head sliders |
| US6916227B2 (en) | 2002-11-04 | 2005-07-12 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Method and apparatus for processing sliders for use in disk drives and the like |
| US6926582B2 (en) | 2002-04-16 | 2005-08-09 | Hitachi Global Storage Technologies Nethrlands B.V. | System and method for rounding disk drive slider corners and/or edges using a flexible slider fixture, an abrasive element, and support elements to control slider orientation |
| US6960117B1 (en) | 2004-04-28 | 2005-11-01 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Method to eliminate defects on the periphery of a slider due to conventional machining processes |
-
1995
- 1995-01-27 JP JP1124895A patent/JPH08203050A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6926582B2 (en) | 2002-04-16 | 2005-08-09 | Hitachi Global Storage Technologies Nethrlands B.V. | System and method for rounding disk drive slider corners and/or edges using a flexible slider fixture, an abrasive element, and support elements to control slider orientation |
| US6916227B2 (en) | 2002-11-04 | 2005-07-12 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Method and apparatus for processing sliders for use in disk drives and the like |
| WO2004100133A1 (en) * | 2003-05-12 | 2004-11-18 | Sae Magnetics (H.K) Ltd. | System and method for edge blending hard drive head sliders |
| US7189150B2 (en) | 2003-05-12 | 2007-03-13 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | System and method for edge blending hard drive head sliders |
| US6960117B1 (en) | 2004-04-28 | 2005-11-01 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Method to eliminate defects on the periphery of a slider due to conventional machining processes |
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