JP2000182230A - スライダの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ＡＢＳを傷つけることなくスライダの角部に
Ｒ形状を付与する生産効率が高い製造方法を提供するこ
と。 【解決手段】ウエハ状態にあるスライダの情報記録媒体
の対向面にＡＢＳを形成し、このＡＢＳを保護膜にて保
護した後に個々のスライダ１７に切断する。一方、バレ
ル３７は揺動台３８により揺動されるよう構成され、内
部には１００μｍ程度のアルミナ粒子を含む水（スラリ
ー３９）を貯留している。このバレル３７内に前記スラ
イダ１７を複数個投入し、バレル３７を揺動してスラリ
ー３９を攪拌する「バレル加工」を施して、スライダの
角部に所定のＲ形状を付与する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ハードディスク装
置等に用いられる磁気ヘッド或は光磁気ヘッド等のヘッ
ド用スライダの製造方法に係り、特に、情報記録媒体の
対向面の角部にＲ形状を有するスライダの製造方法に関
する。

【０００２】

【従来の技術】ハードディスク装置等に搭載される情報
記録媒体（磁気記録媒体）に情報を記録したり或は情報
記録媒体に記録された情報を再生するヘッド装置は、再
生・記録用の素子部（デバイス）を備えたスライダをサ
スペンションで支持する構造を有している。このような
素子部を備えたスライダは、情報記録媒体の回転に伴っ
て浮上し、この状態にて情報の記録或は再生を行うよう
に、同情報記録媒体と対向する面に所定パターンのＡＢ
Ｓ（Ａｉｒ Ｂｅａｒｉｎｇ Ｓｕｒｆａｃｅ＝空気ベ
アリング面）を設けている。

【０００３】ところで、スライダに大きな機械的衝撃が
加わったとき、スライダの角部が情報記録媒体に接触
し、同媒体を破損したり、同媒体上に廃物（コンタミネ
ーション）を残す場合があるため、これを防止するべく
スライダの角部にはＲ形状が付与されている。係るＲ形
状を付与する加工は、図２４〜図３０に示した手順で行
われる。

【０００４】即ち、先ず、図２４（Ａ）に示した多数の
ヘッド素子（この場合は、薄膜の磁気抵抗効果素子）が
上面に形成されたスライダ材ウエハ５０を図２４（Ｂ）
に示したように切断用の治具６１にホットメルト樹脂６
２で接着する。続いて、図２５（Ａ）に示したように、
ウエハ５０を切断ブレード６３により切断し、例えば１
３３本のスライダロー５１に分離する。その各スライダ
ロー５１を治具６１から取外して図２５（Ｂ）に示した
状態とする。

【０００５】次いで、各切断したスライダロー５１を、
図２６（Ａ）に示したように、研削研磨用の治具６４に
接着する。その後、治具６４に接着したスライダロー５
１を研削及び研磨して各磁気ヘッドのスロートハイトな
どを調整し、治具６４から取外す。次に、研削研磨され
たスライダロー５１を図２６（Ｂ）に示したようにＡＢ
Ｓ形成用の治具６５に固定し、図２６（Ｃ）に示すよう
にスライダロー５１の上にホトリソグラフィ用のドライ
フィルム６６をラミネート（または、ホトレジストなど
をコーティング）する。

【０００６】その後、ドライフィルム６６をパターン露
光・現像して、図２７（Ａ）及びその拡大図である図２
７（Ｂ）に示したように、ＡＢＳパターンのマスク５２
を形成する。次いで、スライダロー５１のイオンミリン
グ、ドライフィルムの剥離などの工程を経て、図２８
（Ａ）及びその拡大図である図２８（Ｂ）に示したよう
に、スライダロー５１の上面に各スライダのＡＢＳ（レ
ールパターン）５３を形成する。

【０００７】次に、かかるＡＢＳ５３が形成された図２
９（Ａ）に示すスライダロー５１のＡＢＳが形成されて
いる面に対し、後に個々のスライダとするために切断さ
れるラインに沿って溝５４を入れ、図２９（Ｂ）に示し
たスライダロー５１を得る。次いで、図２９（Ｃ）に示
したようにＡＢＳが形成されている面上にラッピングテ
ープ６８を載せ、図２９（Ｄ）に示したように、ゴム６
９などの柔らかい物体で圧搾（スクイーズ）する。これ
により、スライダロー５１の溝５４の角部が角取りされ
る。

【０００８】次に、角取りの終了したスライダーロー５
１を図３０（Ａ）に示したように支持基板７０に載置
し、個々のスライダに分離するための切断を前記ライン
に沿って行う。最後に、各スライダを治具７０から取外
し、図３０（Ｂ）に示したように角取りがなされた個々
のスライダ５５を得る。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】このようなラッピング
テープによる機械的な加工では加工精度に限界がある。
特に、最近では、情報記録密度の向上に伴いスライダの
小型化が進んで来たため、スライダの角部に狙いどおり
のＲ形状を付与することが困難になってきた。この対策
として、個々のスライダを治具に取付けて個別に機械加
工する方法も考えられるが、これでは生産効率が低く、
しかも小型化が進んだスライダ（例えば、ピコスライ
ダ）のＡＢＳは、例えば１×０．３ｍｍと極めて小さい
ため、機械加工の際にＡＢＳに傷をつけてしまうという
問題がある。また、小型のスライダを研磨に耐えうるに
十分な強度をもって治具に取付けることは困難であると
いう問題もある。従って、本発明の目的は、ＡＢＳ等を
傷つけることなくスライダの角部に所望のＲ形状を付与
することが可能な生産効率の高い製造方法を提供するこ
とにある。

【００１０】

【発明の概要】上記課題を解決するための本発明の特徴
は、第１の面上にＡＢＳを構成する第２の面が形成され
るとともに前記第１の面の角部にＲ形状が付与されてな
るスライダの製造方法において、バレル加工により前記
Ｒ形状を付与することにある。この製造方法によれば、
一度に大量の加工が可能である。また、スライダが小型
であっても、バレル加工の条件（砥粒の大きさ、材質、
形状、及び加工時間など）を適切にすれば、所望のＲ形
状を付与することが可能となる。更に、バレル加工では
スライダの角部が優先的に削られるため、ＡＢＳを傷つ
ける可能性を低下させることができる。

【００１１】本発明の他の特徴は、前記第２の面、即ち
ＡＢＳを保護膜にて保護した後に前記バレル加工を行う
ことにある。この特徴によれば、高度の平面度が要求さ
れるＡＢＳがバレル加工中に傷つけられてしまうことが
防止できる。

【００１２】また、本発明は、個々のスライダ（即ち、
スライダチップ）に切断される前の状態にあるスライダ
基板に同切断のための溝を形成し、この溝が形成された
スライダ基板に対し前記バレル加工を施し、その後この
溝に沿って前記スライダ基板を切断して個々のスライダ
（スライダチップ）を得ることによっても達成できる。

【００１３】本発明の他の特徴は、ヘッド素子を備える
とともに第１の面上にＡＢＳを構成する第２の面を有し
てなり、前記第１の面の角部にＲ形状が付与されたスラ
イダの製造方法において、後にスライダとなるスライダ
基板上に前記ヘッド素子を形成し、前記ヘッド素子が形
成されたスライダ基板に対しバレル加工を施して前記角
部に対応する部位にＲ形状を付与し、その後前記スライ
ダ基板を研磨して前記ヘッド素子の所定部位の寸法が所
定の規定値となるよう調整することにある。

【００１４】スライダ基板を保護膜にて被覆しない状態
にてバレル加工を施すと、スライダ基板上に形成された
ヘッド素子の一部も削られるため、同素子のスロートハ
イト等の寸法が変化する。しかしながら、上記他の特徴
によれば、素子の寸法調整がバレル加工後になされるた
め、保護膜にてスライダ基板を保護しない状態にてバレ
ル加工を施すことが可能となる。これにより、保護膜を
形成する工程が不要となるとともに、バレル加工中の保
護膜脱落による不具合を未然に防止することができる。

【００１５】また、上記本発明の他の特徴においては、
先ず、ヘッド素子の所定部位の寸法が前記所定の規定値
よりも所定量だけ大きい値となるまでスライダ基板を研
磨し、その後に前記バレル加工を施して前記Ｒ形状を付
与するようにしてもよい。これによれば、ほぼ最終形状
に近いスライダを有するスライダ基板に対しバレル加工
を施すことが可能となるので、Ｒ形状の精度の向上、又
はバレル加工時間の短縮を図ることが可能となる。

【００１６】なお、本発明における「バレル加工」と
は、「被加工物と砥粒を容器に入れ、同容器を回転又は
揺動することによって被加工物と砥粒とを衝突させ、被
加工物の表面を仕上げる加工方法」である。

【００１７】

【発明の実施の形態】＜第１実施形態＞本発明の第１実
施形態は、図１〜図１１に示した工程からなっている。
第１実施形態においては、情報記録媒体に対向するスラ
イダの第１の面上に形成したＡＢＳ（第２の面）を保護
膜により覆った後、個々のスライダに分割した状態にて
バレル加工を施してスライダの第１の面の角部（以下、
「角部」は「略長方形をなす第１の面の四隅部、及び同
長方形の各辺に位置するスライダの角部＝糸面）」を含
む。）にＲ形状を付与するものである。なお、本明細書
において、「Ｒ形状」とは、いわゆる「角が取れた形
状」、或は「丸みを帯びた形状」のことを言い、従っ
て、「Ｒ形状を付与する」とは、「角を取ること」或
は、「丸みをつける」ことを意味する。

【００１８】本実施形態においては、先ず、多数のヘッ
ド素子（この場合は、磁気抵抗効果薄膜磁気ヘッド素子
であるが図示は省略している。）が上面に形成されてい
る図１（Ａ）に示すアルミナ等からなるスライダ材ウエ
ハ１０を、図１（Ｂ）に示したように切断用の治具３１
にホットメルト樹脂３２で接着する。続いて、図１
（Ｃ）に示したようにウエハ１０を切断ブレード３３に
より切断し、図２（Ａ）に示したように例えば１３３本
のスライダロー（後に個々のスライダとなる複数のスラ
イダが隣接接続された状態にあるウエハの一列）１１に
分離する。その各スライダロー１１を治具３１から取外
して図２（Ｂ）に示した状態とする。

【００１９】次いで、各切断したスライダロー１１を、
図３（Ａ）に示したように、後にＡＢＳが形成される面
を上面にして研削研磨用の治具３４に接着する。その
後、図３（Ｂ）に示したように、治具３４に接着したス
ライダロー１１を研削及び研磨してヘッド素子のスロー
トハイト及びエレメントハイトなどを調整する。続い
て、研削研磨されたスライダロー１１を治具３４から取
外し、図４（Ａ）に示したようにレール形成用の治具３
５に固定する。次いで、図４（Ｂ）に示したように、並
べられたスライダロー１１の上面にホトリソグラフィ用
のドライフィルム３６をラミネート（または、ホトレジ
ストなどをコーティング）する。

【００２０】その後、ドライフィルム３６をパターン露
光・現像して、図５（Ａ）及びその拡大図である図５
（Ｂ）に示したように、スライダロー１１上にＡＢＳパ
ターンのマスク１２を形成する。なお、図５（Ｂ）に
は、マスク１２に覆われたスライダロー１１の上面（後
に形成されるＡＢＳ）に先端が露呈するよう形成された
磁気抵抗効果薄膜磁気ヘッド素子１３、及び同素子１３
と接続されスライダーロー１１の端面に形成された複数
の端子１４が示されている。続いて、スライダロー１１
をマスク１２の上からイオンミリングし、次いで、マス
ク１２を剥離する。この結果、図６（Ａ）及びその拡大
図である図６（Ｂ）に示したように、スライダロー１１
の上面（第１の面）に各スライダのＡＢＳ（第２の面）
１５が形成される。

【００２１】次に、図７（Ａ）及びその拡大図である図
７（Ｂ）に示したように、スライダロー１１のＡＢＳを
ドライフィルム等の感光剤により覆い、これをパターン
現像・露光して保護膜１６を形成する。この保護膜１６
が形成されたスライダーロー１１の上面を示した図７
（Ｃ）からも解るように、保護膜１６は、個々のスライ
ダを形成するべく後の工程にて切断されるライン（同図
中に破線にて示す）に対し所定の幅だけ離れ、個々のス
ライダとなったときの同スライダの第１の面の角部に対
応する部位（四隅部Ｃを含む）が露出するようにパター
ンニングされる。

【００２２】続いて、図８（Ａ）に示したように、この
スライダロー１１を切断ブレード３３により図７（Ｃ）
に示した破線に沿って切断し、図８（Ｂ）に示したよう
に保護膜を備えた個々のスライダ１７を得る。

【００２３】次に、図９に示したように、個々のスライ
ダ１７に対して「バレル加工」を施す。具体的には、個
々のスライダ１７を複数個（例えば、数千個）、バレル
３７内に投入する。このバレル３７は、図示しない駆動
装置により揺動する揺動台３８に載置されている。ま
た、バレル３７内には、硬質の粒子（例えば、直径が約
８０μｍで高さが９０μｍの円柱状アルミナ粒子＝砥
粒）を水等の液体に分散させたスラリー（固体が混入し
ている液体）３８を貯留させておく。次いで、バレル３
７を揺動台３８により図９に示すＸ及びＹ方向に所定の
時間（例えば、１２時間）だけ揺動し、スライダ１７が
投入されたスラリー３９を攪拌する。

【００２４】係る攪拌によりスライダ１７の角部が硬質
の粒子により削られ、図１０に示した角部ＣにＲ形状が
付与されたスライダ１７が得られる。なお、保護膜１６
はアルミナからなるスライダ本体１７ａに比べて柔らか
いために、バレル加工を施しても殆ど削られない。最後
に、保護膜１６を除去し、図１１に示したような角部Ｃ
が丸みを帯びているスライダ１７を得る。

【００２５】この第１実施形態によれば、図２３に示し
たスライダ１７の第１の面の４つの角部Ｃが同図のｘ方
向に１３０μｍ、ｙ方向に１２０μｍ、ｚ方向に３５μ
ｍだけ削られ、同角部ＣにＲ形状が付与されることが確
認された。また、本実施形態によれば、一度に数万個の
スライダに対しＲ形状を付与することができた。以上か
ら理解されるように、本実施形態によれば所望の径のＲ
形状（丸み）を角部に有するスライダを、極めて効率的
に得ることができる。

【００２６】また、本実施形態は、第２の面であるＡＢ
Ｓと、同ＡＢＳに先端を露呈している磁気抵抗効果薄膜
磁気ヘッド素子１３を保護膜１６にて被覆し、その状態
にてバレル加工を施すので、バレル加工によりＡＢＳ及
び素子１３に傷等を与えることは皆無であるという利点
を有している。 ＜第２実施形態＞次に、本発明の第２実施形態について
説明すると、第２実施形態はスライダーローの状態にて
バレル加工を施す点で第１実施形態と異なるが、初期工
程から途中の工程までは図１から図６に示した第１実施
形態と同一の工程を実施するものである。即ち、先ず、
多数のヘッド素子が上面に形成されている図１（Ａ）に
示すスライダ材ウエハ１０を、図１（Ｂ）に示したよう
に切断用の治具３１にホットメルト樹脂３２で接着す
る。続いて、図１（Ｃ）に示したようにウエハ１０を切
断ブレード３３により切断し、図２（Ａ）に示したよう
に複数のスライダロー１１に分離する。その各スライダ
ロー１１を治具３１から取外して図２（Ｂ）に示した状
態とする。

【００２７】次いで、各切断したスライダロー１１を、
図３（Ａ）に示したように、後にＡＢＳが形成される面
を上面にして研削研磨用の治具３４に接着する。その
後、図３（Ｂ）に示したように、治具３４に接着したス
ライダロー１１を研削及び研磨してヘッド素子のスロー
トハイト及びエレメントハイトなどを調整する。続い
て、研削研磨されたスライダロー１１を治具３４から取
外し、図４（Ａ）に示したようにレール形成用の治具３
５に並べて固定する。次いで、図４（Ｂ）に示したよう
に、スライダロー１１の上にホトリソグラフィ用のドラ
イフィルム３６をラミネートする。

【００２８】次に、ドライフィルム３６をパターン露光
・現像して、図５（Ａ）及びその拡大図である図５
（Ｂ）に示したように、スライダロー１１上にＡＢＳパ
ターンのマスク１２を形成する。続いて、スライダロー
１１をマスク１２の上からイオンミリングし、次いで、
マスク１２を剥離する。この結果、図６（Ａ）及びその
拡大図である図６（Ｂ）に示したように、スライダロー
１１の上面（第１の面）に各スライダのＡＢＳ（第２の
面）１５が形成される。ここまでは、第１実施形態と同
一である。

【００２９】次に、図１２（Ａ）に示したように、個々
のスライダを形成するために後の工程にて切断されるラ
インに沿って、切断ブレード３３（ここでは図示せず）
によって所定の幅及び深さを有する溝１８を作る（溝入
れする）。この状態にて、図１２（Ｂ）及びその拡大図
である図１２（Ｃ）に示したように、スライダロー１１
の上面をドライフィルム等の感光剤により覆い、これを
パターン露光・現像して保護膜１６を形成してＡＢＳを
覆う。保護膜１６は、同保護膜１６が形成されたスライ
ダーロー１１の上面を示した図１２（Ｄ）からも解るよ
うに、溝１８に対し所定の幅を隔てていて溝１８の角部
を露出させるとともに、個々のスライダとなったときの
同スライダの第１の面の角部（四隅部Ｃ）を露出させる
ようにパターンニングされる。

【００３０】続いて、図１３に示したように、溝入れさ
れたスライダロー１１を治具３５に固定した状態にて同
治具３５ごとバレル３７内のスラリー３９に浸漬させ
る。次いで、揺動台３８によってバレル３７をＸ及びＹ
方向に所定の時間（例えば、１２時間）だけ揺動してス
ラリー３９を攪拌する「バレル加工」を施す。なお、ス
ラリー３９は、第１実施形態と同様に、硬質の粒子（例
えば、直径が約８０μｍで高さが９０μｍの円柱状アル
ミナ粒子）を水等の液体に分散させたものである。

【００３１】このバレル加工の後に保護膜１６を除去
し、図１４（Ａ）に示したように、溝１８の角部及び後
に切断される個々のスライダの第１の面の四隅部にＲ形
状が付与されたスライダロー１１を得る。次いで、図１
４（Ｂ）に示したように、切断ブレード３３により前記
溝１８に沿ってスライダロー１１を切断して個々のスラ
イダとし、図１４（Ｃ）に示したような第１の面の角部
にＲ形状を有したスライダ１７を得る。なお、保護膜１
６は個々のスライダ１７に切断した後に除去するように
してもよい。

【００３２】この第２実施形態によれば、スライダロー
１１のままバレル加工を施すことが可能であり、一度に
数万個のスライダに対してその角部にＲ形状を付与する
ことができるため、生産効率を極めて高くすることがで
きる。また、第１実施形態と同様に、バレル加工中にお
いてＡＢＳが保護膜１６により保護されているので、Ａ
ＢＳや磁気抵抗効果薄膜磁気ヘッド素子１３を損傷する
ことが皆無である。 ＜第３実施形態＞次に、本発明の第３実施形態について
説明すると、第３実施形態は、保護膜１６にてＡＢＳを
被覆することなくバレル加工を施す点において第１，第
２実施形態と異なっている。これは、バレル加工中に保
護膜１６が脱落する場合があることの対策として考えら
れたものである。

【００３３】具体的には、先ず第３実施形態において
も、多数のヘッド素子が上面に形成されている図１
（Ａ）に示すスライダ材ウエハ１０を、図１（Ｂ）に示
したように切断用の治具３１にホットメルト樹脂３２で
接着する。続いて、図１（Ｃ）に示したようにウエハ１
０を切断ブレード３３により切断し、図２（Ａ）に示し
たように複数のスライダロー１１に分離する。その各ス
ライダロー１１を治具３１から取外して図２（Ｂ）に示
した状態とする。この段階までは、第１実施形態と同様
である。

【００３４】次に、図１５（Ａ）に示したように、後に
ＡＢＳが形成される面を上にして各切断したスライダロ
ー１１を研削研磨用の治具３４に接着し、同スライダロ
ー１１を研削及び研磨する。このとき、各磁気抵抗効果
薄膜磁気ヘッド素子１３（図１５（Ｃ）参照）を、同磁
気ヘッド素子１３が最終的に有するべき所定の寸法（ス
ロートハイトなどの長さ）より０．１〜１０μｍ程度大
きい寸法となるまで切削・研磨する。そして、図１５
（Ｂ）に示したように、スライダロー１１を後にＡＢＳ
が形成される面を上にして並べ、この状態で治具３５に
固定する。なお、図１５（Ｃ）は図１５（Ｂ）に示した
スライダロー１１の拡大図である。

【００３５】次いで、このスライダロー１１に溝１８を
形成する。具体的には、図１６（Ａ）及びその拡大図で
ある図１６（Ｂ）に示したように、個々のスライダを形
成するために後の工程にて切断されるラインに沿って、
切断ブレード３３（ここでは図示せず）により所定の幅
及び深さを有する溝１８を作る。

【００３６】続いて、図１７に示したように、溝入れさ
れたスライダロー１１を治具３５に固定した状態にて同
治具３５ごとバレル３７内のスラリー３９に浸漬させ
る。次いで、揺動台３８によって、バレル３７をＸ及び
Ｙ方向に所定の時間（例えば、１２時間）だけ揺動して
スラリー３９を攪拌する「バレル加工」を施す。なお、
スラリー３９は、第１，第２実施形態と同様なものであ
る。このバレル加工により、図１８（Ａ）及びその拡大
図である図１８（Ｂ）に示したように、溝１８の角部及
び後に個々に切断されるスライダの四隅部ＣにＲ形状が
付与されたスライダロー１１が得られる。

【００３７】次に、図１９（Ａ）に示したように治具３
５から取外し、図１９（Ｂ）に示したように、個々のス
ライダロー１１を再び研削研磨用の治具３４にＡＢＳが
形成される面を上にして接着する。その後、図１９
（Ｃ）に示したようにスライダロー１１を研削及び研磨
して各磁気抵抗効果薄膜磁気ヘッド素子１３のスロート
ハイト、エレメントハイトなどの寸法の最終調整（スロ
ートハイト，エレメントハイトの狙い値への追込み）を
行う。その後、研削研磨されたスライダロー１１を治具
３４から取外し、図１９（Ｄ）に示したように研削研磨
工程を終了したスライダロー１１を得る。

【００３８】続いて、このスライダロー１１を、図２０
（Ａ）に示したように研磨面（ＡＢＳが形成される面）
を上にして再び治具３５に並べて固定する。次いで、図
２０（Ｂ）に示したように、スライダロー１１の上にホ
トリソグラフィ用のドライフィルム３６をラミネートす
る。その後、ドライフィルム３６をパターン露光・現像
してＡＢＳパターンのマスクを形成し、このマスクの上
からイオンミリングした後、マスクを剥離して、図２１
（Ａ）及びその拡大図である図２１（Ｂ）に示したよう
に、スライダロー１１の上面（第１の面）に各スライダ
のＡＢＳ（第２の面）１５を形成する。

【００３９】次いで、図２２（Ａ）に示したように、切
断ブレード３３により前記溝１８に沿ってスライダロー
１１を切断して個々のスライダとし、図２２（Ｂ）に示
したような角部が丸みを帯びたスライダ１７を得る。

【００４０】この第３実施形態によれば、スライダロー
１１のままバレル加工を施すことが可能であり、一度に
数万個のスライダに対してその角部にＲ形状を付与する
ことができるため、生産効率を極めて高くすることがで
きる。また、第３実施形態は、バレル加工中においてス
ライダロー１１を保護膜にて被覆しておく必要がないの
で、保護膜形成工程を省略することができるとともに、
保護膜の脱落に起因する不具合を未然に防止し得るとい
う利点を有している。

【００４１】なお、バレル加工前に行う研削研磨におい
て、各磁気抵抗効果薄膜磁気ヘッド素子１３を、同磁気
ヘッド素子１３が最終的に有するべき所定の寸法より
０．１〜１０μｍ程度大きい寸法となるまで切削・研磨
するのは、仮にバレル加工中にスロートハイトなどが変
化してもバレル加工後の切削・研磨においてこれを調整
し得るようにするためである。また、これにより、バレ
ル加工開始時のスライダ形状が最終的に得るべきスライ
ダ形状に近しいため、角部に付与されるＲ形状の精度を
向上するとともに、バレル加工時間を短縮し得るものと
なっている。

【００４２】以上、本発明の実施形態について説明した
が、本発明はこれらに限られることはなく、例えば光磁
気ヘッド装置を有するスライダにも適用可能である。ま
た、バレル加工はバレルを回転させる方式のものでもよ
く、砥粒やバレル加工時間は加工すべきスライダに応じ
て適宜調整され得るものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係る製造方法の第１実施形態の工程
を示す図である。

【図２】 本発明に係る製造方法の第１実施形態の工程
を示す図である。

【図３】 本発明に係る製造方法の第１実施形態の工程
を示す図である。

【図４】 本発明に係る製造方法の第１実施形態の工程
を示す図である。

【図５】 本発明に係る製造方法の第１実施形態の工程
を示す図である。

【図６】 本発明に係る製造方法の第１実施形態の工程
を示す図である。

【図７】 本発明に係る製造方法の第１実施形態の工程
を示す図である。

【図８】 本発明に係る製造方法の第１実施形態の工程
を示す図である。

【図９】 本発明に係る製造方法の第１実施形態の工程
を示す図である。

【図１０】 本発明に係る製造方法の第１実施形態の工
程を示す図である。

【図１１】 本発明に係る製造方法の第１実施形態の工
程を示す図である。

【図１２】 本発明に係る製造方法の第２実施形態の工
程を示す図である。

【図１３】 本発明に係る製造方法の第２実施形態の工
程を示す図である。

【図１４】 本発明に係る製造方法の第２実施形態の工
程を示す図である。

【図１５】 本発明に係る製造方法の第３実施形態の工
程を示す図である。

【図１６】 本発明に係る製造方法の第３実施形態の工
程を示す図である。

【図１７】 本発明に係る製造方法の第３実施形態の工
程を示す図である。

【図１８】 本発明に係る製造方法の第３実施形態の工
程を示す図である。

【図１９】 本発明に係る製造方法の第３実施形態の工
程を示す図である。

【図２０】 本発明に係る製造方法の第３実施形態の工
程を示す図である。

【図２１】 本発明に係る製造方法の第３実施形態の工
程を示す図である。

【図２２】 本発明に係る製造方法の第３実施形態の工
程を示す図である。

【図２３】 本発明の第１実施形態により得られたスラ
イダの斜視図である。

【図２４】 従来のスライダ製造方法の工程を示す図で
ある。

【図２５】 従来のスライダ製造方法の工程を示す図で
ある。

【図２６】 従来のスライダ製造方法の工程を示す図で
ある。

【図２７】 従来のスライダ製造方法の工程を示す図で
ある。

【図２８】 従来のスライダ製造方法の工程を示す図で
ある。

【図２９】 従来のスライダ製造方法の工程を示す図で
ある。

【図３０】 従来のスライダ製造方法の工程を示す図で
ある。

【符号の説明】

１１…スライダロー、１２…ＡＢＳパターンのマスク、
１３…磁気ヘッド素子、１４…端子、１５…レールパタ
ーン、１６…保護膜、１７…スライダ、１８…溝、３１
…切断用治具、３２…ホットメルト樹脂、３３…切断ブ
レード、３４…研削研磨用治具、３５…治具、３６…ド
ライフィルム、３７…バレル、３８…揺動台、３９…ス
ラリー。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】第１の面上にＡＢＳを構成する第２の面が
   形成されるとともに前記第１の面の角部にＲ形状が付与
   されてなるスライダの製造方法において、バレル加工に
   より前記Ｒ形状を付与することを特徴とするスライダの
   製造方法。
2. 【請求項２】前記第２の面を保護膜にて保護した後に前
   記バレル加工を行うことを特徴とする請求項１に記載の
   スライダの製造方法。
3. 【請求項３】個々のスライダに切断される前の状態にあ
   るスライダ基板に同切断のための溝を形成し、前記溝が
   形成されたスライダ基板に対し前記バレル加工を施し、
   その後前記溝に沿って前記基板を切断して個々のスライ
   ダを得ることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載
   のスライダの製造方法。
4. 【請求項４】ヘッド素子を備えるとともに第１の面上に
   ＡＢＳを構成する第２の面を有してなり、前記第１の面
   の角部にＲ形状が付与されたスライダの製造方法におい
   て、 後にスライダとなるスライダ基板上に前記ヘッド素子を
   形成し、前記ヘッド素子が形成されたスライダ基板に対
   しバレル加工を施して前記角部に対応する部位にＲ形状
   を付与し、その後前記スライダ基板を研磨して前記ヘッ
   ド素子の所定部位の寸法が所定の規定値となるよう調整
   するスライダの製造方法。
5. 【請求項５】請求項４に記載のスライダの製造方法にお
   いて、 前記ヘッド素子の前記所定部位の寸法が前記所定の規定
   値よりも所定量だけ大きい値となるまで前記スライダ基
   板を研磨し、その後に前記バレル加工を施して前記Ｒ形
   状を付与するスライダの製造方法。