JP4041501B2 - 磁気ヘッドスライダ - Google Patents
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Description
図26は、前記磁気ヘッドの要部拡大斜視図である。なお、図26は、特許文献1の図2と同じ図を用いている。
前記磁気ヘッドスライダの空気流入側にはテーパ部と凸部が形成されており、前記凸部の表面が前記テーパ部の表面と同一平面にある。
前記ABS面の周囲が削られて、前記ABS面よりも前記スライダ基板の支持面側に位置するステップ面が形成されており、
前記スライダ基板のトレーリング側と対向する側のリーディング側に、前記スライダ基板の硬度よりも低い硬度を有する衝撃吸収層が設けられ、前記衝撃吸収層の表面には記録媒体方向に突出する突出部が設けられており、
前記衝撃吸収層及び前記突出部が同一の材料で、且つ、前記スライダ基板の硬度よりも低いAl 2 O 3 またはSiO 2 を用いて形成され、
前記突出部は、前記スライダ基板のリーディング側端部の高さ位置よりも、記録媒体側に突出しており、
前記スライダ基板のトレーリング側に設けられた前記磁気素子の保護層の表面には記録媒体方向に突出する突部が設けられており、
前記スライダ基板の記録媒体対向面と前記衝撃吸収層の表面との間、及び前記スライダ基板の記録媒体対向面と前記保護層の表面との間には、前記衝撃吸収層の表面及び前記保護層の表面が前記スライダ基板の記録媒体対向面よりも前記スライダ基板の支持面側に位置するように、リセスが生じていることを特徴とする。
図4において、図1に示す磁気ヘッドスライダ10Aと同様の部材等には同一の符号を付し、説明を省略する。
磁気ヘッド装置のロードビーム100に衝撃等で外力が作用すると、磁気ヘッドスライダ10Cは、ピボットPを揺動中心として浮上姿勢から上下に揺動する。このとき、スライダ基板11のリーディング側端部L1も上下に揺動する。リーディング側端部L1が下方へ揺動すると、磁気ディスクDに近づく。
図7はウエハ状態のスライダ基板上に磁気素子および電極が積層されている状態を示す斜視図、図8は図7のスライダ基板を切り出して形成されたスライダバーを示す斜視図である。
図9AないしCは図1の9−9線での切断断面図であり、磁気ヘッドスライダの製造工程を示す図である。なお、図9AおよびBにおいては、レジストのみをハッチングしている。
図10AないしCは、磁気ヘッドスライダの変形例の製造工程を示す断面図である。なお、図10AおよびBにおいては、レジストのみをハッチングしている。
図11Aないし図11Dは、本発明の実施の形態の磁気ヘッドスライダの製造工程を示す断面図である。なお、図11Aないし図11Dにおいては、低硬度層,レジストおよび突出部のみにハッチング等を施している。
図14AないしCは、本発明の第2の実施の形態の磁気ヘッドスライダの変形例の製造工程を示す断面図である。図14AないしCにおいては、レジストおよび突出部にのみハッチング等を施している。
11 スライダ基板
14 ステップ面
19 保護層
20 衝撃吸収層
21 突出部
22 突部
D 磁気ディスク
Da 磁気ディスクの表面
L1 リーディング側端部
Pl 接合面
d 凹部の深さ
h 凸部の高さ
r1 リセス
Claims (5)
- スライダ基板と、前記スライダ基板のトレーリング側に設けられた記録用および/または再生用の磁気素子とを有し、前記スライダ基板の記録媒体対向面には記録媒体方向に突出しているABS面が設けられている磁気ヘッドスライダにおいて、
前記ABS面の周囲が削られて、前記ABS面よりも前記スライダ基板の支持面側に位置するステップ面が形成されており、
前記スライダ基板のトレーリング側と対向する側のリーディング側に、前記スライダ基板の硬度よりも低い硬度を有する衝撃吸収層が設けられ、前記衝撃吸収層の表面には記録媒体方向に突出する突出部が設けられており、
前記衝撃吸収層及び前記突出部が同一の材料で、且つ、前記スライダ基板の硬度よりも低いAl 2 O 3 またはSiO 2 を用いて形成され、
前記突出部は、前記スライダ基板のリーディング側端部の高さ位置よりも、記録媒体側に突出しており、
前記スライダ基板のトレーリング側に設けられた前記磁気素子の保護層の表面には記録媒体方向に突出する突部が設けられており、
前記スライダ基板の記録媒体対向面と前記衝撃吸収層の表面との間、及び前記スライダ基板の記録媒体対向面と前記保護層の表面との間には、前記衝撃吸収層の表面及び前記保護層の表面が前記スライダ基板の記録媒体対向面よりも前記スライダ基板の支持面側に位置するように、リセスが生じていることを特徴とする磁気ヘッドスライダ。 - 前記突出部と前記衝撃吸収材が別体として形成されている請求項1記載の磁気ヘッドスライダ。
- 前記突出部と前記衝撃吸収材が一体に形成されている請求項1記載の磁気ヘッドスライダ。
- 前記ABS面又は前記ステップ面のリーディング側の縁部が、前記スライダ基板と前記衝撃吸収層の接合面よりも前記スライダ基板側に位置している請求項1ないし3のいずれかに記載の磁気ヘッドスライダ。
- 前記ABS面又は前記ステップ面のリーディング側の縁部が、前記スライダ基板と前記衝撃吸収層の接合面よりも前記衝撃吸収層側に位置している請求項項1ないし3のいずれかに記載の磁気ヘッドスライダ。
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