JP2006244585A - 磁気ヘッドスライダ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 スライダ基板11のリーディング側端部L1に、スライダ基板11の硬度よりも低い硬度を有する材料から形成される衝撃吸収層20を設け、衝撃吸収層20の表面に突出部21,21を形成する。
このようにすると、外力が作用し、スライダ基板11のリーディング側端部L1が磁気ディスクに近づいていくと、磁気ディスクには突出部21,21のみが衝突する。このため、磁気ディスクの表面に発生する凸部の高さと凹部の深さを小さくでき、磁気ディスクの損傷を緩和することができる。
【選択図】図5
Description
図26は、前記磁気ヘッドの要部拡大斜視図である。なお、図26は、特許文献1の図2と同じ図を用いている。
前記磁気ヘッドスライダの空気流入側にはテーパ部と凸部が形成されており、前記凸部の表面が前記テーパ部の表面と同一平面にある。
前記スライダ基板のトレーリング側と対向する側のリーディング側に、前記スライダ基板の硬度よりも低い硬度を有する衝撃吸収層が20μm以上40μm以下の膜厚で設けられていることを特徴とする。
前記スライダ基板のトレーリング側と対向する側のリーディング側に、前記スライダ基板の硬度よりも低い硬度を有する衝撃吸収層が設けられ、前記衝撃吸収層の表面には記録媒体方向に突出する突出部が設けられることを特徴とする。
(b)前記衝撃吸収層が設けられた前記スライダ基板の記録媒体側のABS面となる領域をマスク層で覆う工程、
(c)前記スライダ基板の記録媒体側の、前記マスク層で覆われた領域以外の領域を削って、ABS面を形成する工程。
(e)前記衝撃吸収層の記録媒体対向面上に、記録媒体方向に突出する突出部を形成する工程、
(f)前記衝撃吸収層が設けられた前記スライダ基板の記録媒体側のABS面となる領域をマスク層で覆う工程、
(g)前記スライダ基板の記録媒体側の、前記マスク層で覆われた領域以外の領域を削って、ABS面を形成する工程。
本発明では、前記(e)工程において、前記突出部と前記衝撃吸層を別体として形成してもよい。
磁気ヘッド装置のロードビーム100に衝撃等で外力が作用すると、磁気ヘッドスライダ10Aは、ピボットPを揺動中心として浮上姿勢から上下に揺動する。このとき、スライダ基板11のリーディング側端部L1も上下に揺動する。リーディング側端部L1が下方へ揺動すると磁気ディスクDに近づく。
磁気ヘッド装置のロードビーム100に衝撃等で外力が作用すると、磁気ヘッドスライダ10Cは、ピボットPを揺動中心として浮上姿勢から上下に揺動する。このとき、スライダ基板11のリーディング側端部L1も上下に揺動する。リーディング側端部L1が下方へ揺動すると、磁気ディスクDに近づく。
図7はウエハ状態のスライダ基板上に磁気素子および電極が積層されている状態を示す斜視図、図8は図7のスライダ基板を切り出して形成されたスライダバーを示す斜視図である。
図9AないしCは図1の9−9線での切断断面図であり、本発明の第1の実施の形態の磁気ヘッドスライダの製造工程を示す図である。なお、図9AおよびBにおいては、レジストのみをハッチングしている。
図10AないしCは、本発明の第1の実施の形態の磁気ヘッドスライダの変形例の製造工程を示す断面図である。なお、図10AおよびBにおいては、レジストのみをハッチングしている。
図11Aないし図11Dは、本発明の第2の実施の形態の磁気ヘッドスライダの製造工程を示す断面図である。なお、図11Aないし図11Dにおいては、低硬度層,レジストおよび突出部のみにハッチング等を施している。
図14AないしCは、本発明の第2の実施の形態の磁気ヘッドスライダの変形例の製造工程を示す断面図である。図14AないしCにおいては、レジストおよび突出部にのみハッチング等を施している。
11 スライダ基板
14 ステップ面
19 保護層
20 衝撃吸収層
21 突出部
22 突部
D 磁気ディスク
Da 磁気ディスクの表面
L1 リーディング側端部
Pl 接合面
d 凹部の深さ
h 凸部の高さ
r1 リセス
Claims (28)
- スライダ基板と、前記スライダ基板のトレーリング側に設けられた記録用および/または再生用の磁気素子とを有し、前記スライダ基板の記録媒体対向面には記録媒体方向に突出しているABS面が設けられている磁気ヘッドスライダにおいて、
前記スライダ基板のトレーリング側と対向する側のリーディング側に、前記スライダ基板の硬度よりも低い硬度を有する衝撃吸収層が20μm以上40μm以下の膜厚で設けられていることを特徴とする磁気ヘッドスライダ。 - 前記衝撃吸収層がAl2O3またはSiO2を用いて形成されている請求項1記載の磁気ヘッドスライダ。
- スライダ基板と、前記スライダ基板のトレーリング側に設けられた記録用および/または再生用の磁気素子とを有し、前記スライダ基板の記録媒体対向面には記録媒体方向に突出しているABS面が設けられている磁気ヘッドスライダにおいて、
前記スライダ基板のトレーリング側と対向する側のリーディング側に、前記スライダ基板の硬度よりも低い硬度を有する衝撃吸収層が設けられ、前記衝撃吸収層の表面には記録媒体方向に突出する突出部が設けられることを特徴とする磁気ヘッドスライダ。 - 前記衝撃吸収層がAl2O3またはSiO2を用いて形成されている請求項3記載の磁気ヘッドスライダ。
- 前記突出部が前記スライダ基板の硬度よりも低い硬度を有する材料で形成されている請求項3または4記載の磁気ヘッドスライダ。
- 前記突出部がAl2O3またはSiO2を用いて形成されている請求項5記載の磁気ヘッドスライダ。
- 前記衝撃吸収層と前記突出部が同一の材料を用いて形成されている請求項3ないし6のいずれかに記載の磁気ヘッドスライダ。
- 前記突出部と前記衝撃吸収材が別体として形成されている請求項3ないし7のいずれかに記載の磁気ヘッドスライダ。
- 前記突出部と前記衝撃吸収材が一体に形成されている請求項3ないし7のいずれかに記載の磁気ヘッドスライダ。
- 前記突出部は、前記スライダ基板のリーディング側端部の高さ位置よりも、記録媒体側に突出している請求項3ないし9のいずれかに記載の磁気ヘッドスライダ。
- 前記ABS面の周囲が削られて、前記ABS面よりも前記スライダの支持面側に位置するステップ面が形成されている請求項1ないし10のいずれかに記載の磁気ヘッドスライダ。
- 前記ABS面又は前記ステップ面のリーディング側の縁部が、前記スライダ基板と前記衝撃吸収層の接合面よりも前記スライダ基板側に位置している請求項11記載の磁気ヘッドスライダ。
- 前記ABS面又は前記ステップ面のリーディング側の縁部が、前記スライダ基板と前記衝撃吸収層の接合面よりも前記衝撃吸収層側に位置している請求項11記載の磁気ヘッドスライダ。
- 前記スライダ基板のトレーリング側に設けられた前記磁気素子の保護層の表面には記録媒体方向に突出する突部が設けられている請求項1ないし13のいずれかに記載の磁気ヘッドスライダ。
- 以下の工程を有することを特徴とする磁気ヘッドスライダの製造方法、
(a)スライダ基板上に記録用および/または再生用の磁気素子を形成し、前記スライダ基板の、前記磁気素子を形成したトレーリング側端面と対向するリーディング側端面に、前記スライダ基板の硬度よりも低い硬度を有する衝撃吸収層を20μm以上40μm以下の膜厚で設ける工程、
(b)前記衝撃吸収層が設けられた前記スライダ基板の記録媒体側のABS面となる領域をマスク層で覆う工程、
(c)前記スライダ基板の記録媒体側の、前記マスク層で覆われた領域以外の領域を削って、ABS面を形成する工程。 - 以下の工程を有することを特徴とする磁気ヘッドスライダの製造方法、
(d)スライダ基板上に記録用および/または再生用の磁気素子を形成し、前記スライダ基板の、前記磁気素子を形成したトレーリング側端面と対向するリーディング側端面に、前記スライダ基板の硬度よりも低い硬度を有する衝撃吸収層を設ける工程、
(e)前記衝撃吸収層の記録媒体対向面上に、記録媒体方向に突出する突出部を形成する工程、
(f)前記衝撃吸収層が設けられた前記スライダ基板の記録媒体側のABS面となる領域をマスク層で覆う工程、
(g)前記スライダ基板の記録媒体側の、前記マスク層で覆われた領域以外の領域を削って、ABS面を形成する工程。 - 前記(e)工程において、前記突出部を前記スライダ基板の硬度よりも低い硬度を有する材料で形成する請求項16記載の磁気ヘッドスライダの製造方法。
- 前記(e)工程において、前記突出部をAl2O3またはSiO2を用いて形成する請求項17記載の磁気ヘッドスライダの製造方法。
- 前記(e)工程において、前記衝撃吸収層と前記突出部を同一の材料を用いて形成する請求項16ないし18のいずれかに記載の磁気ヘッドスライダの製造方法。
- 前記(e)工程において、前記突出部と前記衝撃吸層を別体として形成する請求項16ないし19のいずれかに記載の磁気ヘッドスライダの製造方法。
- 前記(e)工程において、前記突出部と前記衝撃吸層を一体に形成する請求項16ないし19のいずれかに記載の磁気ヘッドスライダの製造方法。
- 前記(e)工程を行う代わりに、前記(f)及び(g)工程において、前記ABS面の形成と同時に前記突出部が形成される請求項16記載の磁気ヘッドスライダの製造方法。
- 前記突出部を、前記スライダ基板のリーディング側端部の高さ位置よりも、記録媒体側に突出させる請求項16ないし22のいずれかに記載の磁気ヘッドスライダの製造方法。
- 前記(b)または(f)工程において、前記マスク層のリーディング側の縁部の位置を、前記スライダ基板と前記衝撃吸収層の接合面よりも前記スライダ基板側にする請求項15ないし23のいずれかに記載の磁気ヘッドスライダの製造方法。
- 前記(b)または(f)工程において、前記マスク層のリーディング側の縁部の位置を、前記スライダ基板と前記衝撃吸収層の接合面よりも前記衝撃吸収層側にする請求項15ないし23のいずれかに記載の磁気ヘッドスライダの製造方法。
- 前記(c)または(g)工程の後に、前記ABS面の周囲を削ってステップ面を形成する工程を有する請求項15ないし25のいずれかに記載の磁気ヘッドスライダの製造方法。
- 前記(a)または(d)工程において、前記衝撃吸収層をAl2O3またはSiO2を用いて形成する請求項15ないし26のいずれかに記載の磁気ヘッドスライダの製造方法。
- 前記スライダ基板のトレーリング側に前記磁気素子を覆う保護層を設け、前記保護層の表面に、記録媒体方向に突出する突部を形成する請求項15ないし27のいずれかに記載の磁気ヘッドスライダの製造方法。
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