JP4041509B2 - 磁気ヘッドスライダ - Google Patents

Description

本発明は、磁気ディスクへの記録用及び／または再生用の磁気素子を備えた磁気ヘッドスライダに係わり、特に気圧変化（空気密度変化）による浮上量の変動を低減できる磁気ヘッドスライダに関する。

磁気ヘッドスライダのディスク対向面は、通常、最も低い高さ位置にあり負圧を生じさせるための溝部と、隆起形成され正圧を発生させるための隆起面とを有して構成される。前記溝部及び隆起面の形状や前記ディスク対向面に占める溝部及び隆起面の面積比率等を適正化することにより、磁気ヘッドスライダの浮上量の安定化を目指すことは従来から行なわれていた。

ところで、前記浮上量は、気圧変化や、磁気ディスクの小型化による周速の低下等に起因した空気流入量の減少によって不安定化しやすい。
特開平８−１２４１４０号公報

例えば、特許文献１には、ディスク対向面に形成された凹部の一部に絞り部が形成されている。これにより、前記絞りの部分では、流速が低下するため、絞り付近に正圧が生じやすいと考えられる。

しかし特許文献１では、凹部に形成された前記絞りが、スライダの空気流入端側に形成されているため、前記絞りは、空気流入端側で生じる正圧をより強める作用をし、また前記絞りよりも空気流出端側の凹部では、前記凹部の幅が広がっているため、空気流出端側で生じる負圧がより強くなる構造と考えられる。そして、このような構造では、特に、気圧が低下したとき（空気密度の低下）、ピッチ角が大きくなりやすく、浮上量が大幅に減少するものと考えられる。

なお、特許文献１では、特に、凹部に形成された前記絞りと、気圧変化（空気密度変化）との関係について言及しておらず、特許文献１に記載されているように、別の意味（ディスク対向面にごみ等の付着防止）で前記絞りを設けている。

そこで本発明は上記従来の課題を解決するためのものであり、特に気圧変化（空気密度変化）による浮上量の変動を低減できる磁気ヘッドスライダを提供することを目的としている。

本発明は、
スライダと、前記スライダの空気流出端側端面に設けられた記録用および／または再生用の磁気素子と、を有する磁気ヘッドスライダにおいて、
前記スライダのディスク対向面の空気流入端側には、磁気ディスク方向に向けて隆起する空気流入端側隆起面が形成され、
前記空気流入端側隆起面は、前記空気流入端側から空気流出端側に向う長さ方向に対し直交する方向の幅方向に分割して設けられ、
空気流出端側には、磁気ディスク方向に向けて隆起する磁気素子面が形成されており、
前記磁気素子面と各空気流入端側隆起面との間を繋ぎ、磁気ディスク方向に向けて隆起する一対のレール面が形成され、
前記一対のレール面の間には、底面が、負圧発生面としての溝の底面よりも高く、前記磁気素子面及び空気流入端側隆起面よりも低い位置に形成される平坦な第１流路が形成され、前記空気流入端側隆起面の間には、第２流路が形成され、前記第２流路の底面は、前記第１流路の底面と同位置の連続面であり、
前記一対のレール面の幅方向の両側に前記負圧発生面としての溝が形成され、
前記第１流路には、前記スライダの揺動支点よりも前記空気流出端側に、前記レール面の間隔が幅方向に縮められたことによる絞り部が設けられ、前記絞り部での幅寸法をＴ１、前記第１流路の空気流入端側端部での幅寸法をＴ２としたとき、Ｔ１／Ｔ２は、０．０５〜０．５の範囲内で形成されることを特徴とするものである。

前記絞り部の部分では流速が低下することで正圧が生じる。このような絞り部を前記スライダの揺動支点よりも前記空気流出端側に設けることで、気圧の低い環境下では、気圧の高い環境下よりも、スライダのピッチ角が小さくなり、これにより、気圧変化（空気密度変化）による浮上量変化を効果的に小さくすることができる。

また本発明では、前記空気流入端側隆起面は、前記空気流入端側から空気流出端側に向う長さ方向に対し直交する方向の幅方向に分割して設けられ、前記空気流入端側隆起面の間に第２流路が形成され、前記第２流路は前記第１流路に繋がっていることが、空気がスムーズに、スライダの空気流入端側から空気流出端側に流れ、気圧変化（空気密度変化）による浮上量変化をより効果的に小さくすることができて、好ましい。

また本発明では、前記第１流路及び／又は第２流路の底面は、負圧発生面としての溝の底面よりも高く、前記磁気素子面及び空気流入端側隆起面よりも低い位置に形成されることが、気圧変化（空気密度変化）による浮上量変化をより効果的に小さくすることができて好ましい。

また本発明では、前記磁気素子面と前記空気流入端側隆起面との間を繋ぎ、磁気ディスク方向に向けて隆起する複数のレール面が形成され、前記レール面の間に前記第１流路が形成され、前記レール面の幅方向の両側に、負圧発生面としての溝が形成されていることが、前記絞り部の付近で適切に正圧を生じさせることが出来ること、正圧と負圧とのバランスを適正化しやすいこと等により好ましい。

また、前記第１流路に形成された絞り部での幅寸法をＴ１、前記第１流路の空気流入端側端部での幅寸法をＴ２としたとき、Ｔ１／Ｔ２は、０．０５〜０．５の範囲内で形成されることが好ましい。これにより、気圧変化（空気密度変化）による浮上量変化をより効果的に小さくすることができる。

また、前記スライダの前記長さ方向の寸法をＬ１とし、前記第１流路に形成された絞り部の位置を、スライダの空気流入端側端面から測定した長さがＬ２のとき、Ｌ２／Ｌ１が０．５７以上で形成されることが好ましい。これにより、気圧変化（空気密度変化）による浮上量変化をより効果的に小さくすることができる。

本発明では、スライダのディスク対向面には、空気流入端側に、磁気ディスク方向に向けて隆起する空気流入端側隆起面と、空気流出端側に、磁気ディスク方向に向けて隆起する磁気素子面と、前記磁気素子面と前記空気流入端側隆起面との間に位置する溝形状の第１流路と、を有し、前記第１流路には、前記スライダの揺動支点よりも前記空気流出端側に、絞り部が設けられている。

前記絞り部の部分では流速が低下することで正圧が生じる。このような絞り部を前記スライダの揺動支点よりも前記空気流出端側に設けることで、気圧の低い環境下では、気圧の高い環境下よりも、スライダのピッチ角が小さくなり、これにより、気圧変化（空気密度変化）による浮上量変化を効果的に小さくすることができる。

図１は、本実施の形態の磁気ヘッドスライダのディスク対向面を上向きにして示した斜視図、図２は、図１に示す磁気ヘッドスライダをディスク対向面側から見た平面図、図４は、気圧が高い状態（例えば、平地（０ｍ、sea level）の気圧下）でのスライダに作用する正圧を説明するための概念図、図５は、気圧が低い状態（例えば、高地（３０４８ｍ）の気圧下）でのスライダに作用する正圧を説明するための概念図、図６は、前記磁気ヘッドスライダを支持部材に取り付けた磁気ヘッド装置の部分斜視図、図７は、本発明の磁気ヘッドスライダが磁気ディスク上で停止している状態を示す磁気ディスク装置の部分側面図、図８は、本発明の磁気ヘッドスライダが磁気ディスク上から浮上した後の状態を示す磁気ディスク装置の部分側面図、である。

図１及び図２に示す磁気ヘッドスライダ１は、磁気ヘッド装置Ｈの一部を構成する。前記磁気ヘッドスライダ１は、例えば図６に示すように、前記磁気ヘッドスライダ１をディスク対向面２の逆面側から弾性支持する支持部材３０に取り付けられる。前記支持部材３０は板ばねのロードビーム１８と、その先部に設けられた薄い板ばねのフレキシャ（弾性支持部材）１７とを有して構成される。

前記磁気ヘッド装置Ｈは、磁気ディスク装置内に搭載され、前記磁気ディスク装置内に設けられた磁気ディスクＤに磁気信号を記録したり、あるいは前記磁気ディスクＤに記録された磁気信号を再生する機能を有している。

図７は、前記磁気ディスク装置内に設けられた磁気ディスクＤ上に前記磁気ヘッド装置Ｈを構成する磁気ヘッドスライダ１が停止している状態を示している。図７に示す停止状態から磁気ディスクＤが回転することによって前記磁気ヘッドスライダ１が磁気ディスクＤ上に浮上し、上記した記録・再生が行われる（図８）。

図７に示すように、前記フレキシャ１７の下面には磁気ヘッドスライダ１がディスク対向面２の逆面側から接着固定されている。図７に示すように前記フレキシャ１７には、例えば図示上方向に突き出した球面状のピボットＰが形成されており、このピボットＰの先端がロードビーム１８に当接している。

図７の状態では前記磁気ヘッドスライダ１は、支持部材３０により磁気ディスクＤの記録面に対して弱い弾性力で付勢されている。図８に示すように、磁気ディスクＤが回転し始めると空気流を受けることで前記ピボットＰの先端を揺動支点として、前記磁気ヘッドスライダ１のリーディング側端面Ｓｌが上方に持ち上がる。前記磁気ヘッドスライダ１は磁気ディスクＤ上に浮上すると、磁気ディスクＤのうねりに追従するように前記ピボットＰの先端を揺動支点としてピッチ方向（図示Ｘ方向を軸として回転する方向）に揺動する。図８に示すように、磁気ヘッドスライダ１は磁気ディスクＤ上に浮上量σで浮上する。以下、「浮上量」というときは、図８に示すように、磁気素子５の表面から磁気ディスクＤ表面までの直線距離（最短距離）で表される。

図１，図２に示すように、磁気ヘッドスライダ１の空気流入端は、「リーディング側端面Ｓｌ」と呼ばれ、空気流出端側は、「トレーリング側端面Ｓｔ」と呼ばれている。また以下では、側端面自体を示すのではなく、単に「リーディング側端面に向く方向や、リーディング側端面寄り」を「リーディング側Ｓｌ」と、「トレーリング側端面に向く方向や、トレーリング側端面寄り」を「トレーリング側Ｓｔ」と称する。また、以下では、前記リーディング側端面Ｓｌからトレーリング側端面Ｓｔへ向う方向を長さ方向（図示Ｙ方向）とし、前記長さ方向と直交する方向（図示Ｘ方向）を幅方向とする。

図１及び図２に示す磁気ヘッドスライダ１は、例えばアルミナチタンカーバイトなどで形成されている。

図１，図２に示すように、前記磁気ヘッドスライダ１のディスク対向面２には、トレーリング側Ｓｔに、負圧発生面として形成された溝部３から磁気ディスクＤ方向に向けて隆起形成された磁気素子面４が形成されている。図１，図２に示すように、磁気素子５は、前記磁気ヘッドスライダ１のトレーリング側端面Ｓｔに形成され、例えば磁気抵抗効果を利用したスピンバルブ型薄膜素子に代表される再生用のＭＲ素子と、記録用のインダクティブ素子との複合素子であるか、あるいはＭＲ素子及びインダクティブ素子の一方のみで構成されたものである。図１，図２に示すように、前記磁気素子５の周囲はＡｌ_２Ｏ_３等の保護膜１９によって覆われており、前記保護膜１９も前記磁気素子面４の一部を成している。

前記磁気素子５の表面は前記磁気素子面４から露出しており、上記したように、前記磁気素子５によって磁気ディスクＤに対し記録や再生を行なう。

図１，図２に示すように、前記磁気ヘッドスライダ１のリーディング側Ｓｌには、前記磁気素子面４と同じ高さで隆起形成されるとともに、幅方向（図示Ｘ方向）に向けて２つに分割形成されたリーディング側隆起面６，７が設けられている。

さらに図１，図２に示すように、各リーディング側隆起面６，７のトレーリング側端部６ａ，７ａと前記磁気素子面４のリーディング側端部４ａとの間には、前記磁気素子面４及びリーディング側隆起面６，７と同じ高さ寸法で、リーディング側Ｓｌからトレーリング側Ｓｔにかけて形成された細長形状のレール面８，９が隆起形成され、前記レール面８，９は、各リーディング側隆起面６，７と磁気素子面４間を繋いでいる。

図１，図２に示すように、前記レール面８，９の幅方向（図示Ｘ方向）の両側には、それぞれ前記磁気素子面４と同じ高さのサイド隆起面１０，１１が隆起形成されている。前記サイド隆起面１０，１１は、前記磁気ヘッドスライダ１が磁気ディスクＤ上でロール方向（図示Ｙ方向を軸として回転する方向）に傾いたときに、前記磁気ディスクＤ表面に対して傾く角度を抑制し、前記磁気ヘッドスライダ１の幅方向（図示Ｘ方向）における両側端部が磁気ディスクＤ上に衝突等するのを抑制するための正圧発生面である。

図１，図２に示すようにディスク対向面２に形成された溝部３は負圧を生じさせる面である。

図１，図２に示すように、前記レール面８，９の間には、第１流路２０が形成されている。前記第１流路２０は、レール面８，９の内側端部８ａ，９ａ間に挟まれた溝形状である。

図１，図２に示すように、幅方向に分割して形成された前記リーディング側隆起面６，７の間には、第２流路２２が形成されている。前記第２流路２２は、前記リーディング側隆起面６，７の内側端部６ｃ，７ｃ間に挟まれた溝形状であり、図１，図２に示すように、前記第１流路２０と第２流路２２とは繋がっている（接続されている）。

前記第１流路２０及び第２流路２２の底面２０ａ，２２ａは、前記磁気素子面４，リーディング側隆起面６，７及びレール面８，９よりも高さが低く、前記溝部３よりも高さが高く形成されている。前記第１流路２０及び第２流路２２の底面２０ａ，２２ａは同じ高さで形成された平坦化面となっている。

前記流路２０，２２の底面２０ａ，２２ａと同じ高さの面は、前記リーディング側隆起面６，７のリーディング側端部６ｂ，７ｂにもステップ面として設けられるとともに、前記リーディング側隆起面６，７の幅方向（図示Ｘ方向）における両側にもサイドステップ面１２ａとして形成されている。前記サイドステップ面１２ａは前記リーディング側隆起面６，７のトレーリング側端部６ａ，７ａよりもさらにトレーリング側Ｓｔ方向に向けて延出して設けられている。前記リーディング側隆起面６，７のトレーリング側端部６ａ，７ａよりもトレーリング側Ｓｔの溝３では、前記サイドステップ面１２ａ及びレール面８，９により両側が挟まれた形態であり、これにより、空気が前記溝３に適切に取り込まれ、前記溝３で適切な大きさの負圧を生じさせることが出来る。

前記ステップ面は、前記サイド隆起面１０，１１のリーディング側端部１０ａ，１１ａにもステップ面１３，１４として、及び前記レール面９の幅方向（図示Ｘ方向）における外側端部９ｂにもステップ面１５として設けられている。

本実施形態の特徴的部分は、前記磁気素子面４とリーディング側隆起面６，７との間に溝形状の第１流路２０が形成され、前記第１流路２０には、前記スライダ１の揺動支点Ｐ１よりもトレーリング側（空気流出端側）Ｓｔに、絞り部２１が形成されている点である。なお上記したように、前記揺動支点Ｐ１は、ちょうどピボットＰの先端の位置である。前記揺動支点Ｐ１はスライダ１のほぼ中央位置に設けられる。

ここで「絞り部２１」について説明すると、前記絞り部２１では、前記絞り部２１が形成されている位置での第１流路２０を高さ方向（図示Ｚ方向）及び幅方向（図示Ｘ方向）からなる面から切断した断面積が、前記絞り部２１よりリーディング側Ｓｌでの第１流路２０の前記断面積より小さく、且つ前記絞り部２１よりトレーリング側Ｓｔでの第１流路２０の前記断面積と同じか、あるいは、前記断面積よりも小さくなっている。

上記条件を満たすため、図１，図２に示す実施形態では、前記第１流路２０の底面２０ａの高さは一定の高さであるが、前記絞り部２１での幅寸法Ｔ１は、前記第１流路２０内で最小となっている。図１，図２に示すように、前記絞り部２１よりもリーディング側Ｓｌ及びトレーリング側Ｓｔでの第１流路２０の幅寸法は、前記絞り部２１の幅寸法Ｔ１よりも広がっている。前記絞り部を構成するためには、前記絞り部よりリーディング側Ｓｌでの第１流路２０の幅寸法は、前記絞り部２１の幅寸法Ｔ１よりも広くなっていることが必要で、前記絞り部２１よりトレーリング側Ｓｔでの第１流路２０の幅寸法は、前記絞り部２１の幅寸法Ｔ１よりも広くなっているか、あるいは前記絞り部２１の幅寸法Ｔ１と同じであってもよい。前記絞り部２１よりトレーリング側Ｓｔでの第１流路２０の幅寸法が、前記絞り部２１の幅寸法Ｔ１と同じである場合は、図３のごとくである。図３では、絞り部２１よりトレーリング側Ｓｔでの第１流路２０の幅寸法は、前記絞り部２１の幅寸法と同じ一定の幅で形成されているが、このような一定幅の領域が所定長さで形成され、前記領域よりトレーリング側Ｓｔは、前記幅寸法が再び広がる領域となっていてもよい。
また、例えば、前記絞り部２１は第１流路２０内に、複数個形成されてもよく、かかる場合、全ての絞り部２１の幅寸法Ｔ１が、第１流路２０内にて全て同じ最小寸法で形成されなくてもよい。第１流路２０内にて幅が最小寸法でなくても、上記した条件を満たせば、絞り部を構成する。また前記絞り部２１での幅寸法Ｔ１は０であると、空気密度の低下により浮上量が大幅に減少することがわかっている。また前記絞り部２０は、前記磁気素子面４のリーディング側端部４ａよりもリーディング側Ｓｌに設けられることが好ましい。また、磁気素子面４のリーディング側端部４ａ近傍での第１流路２０の幅寸法は、前記絞り部２０の幅寸法Ｔ１より広いことが好ましい。これにより、前記絞り部２１付近で発生する正圧と、磁気素子面４で発生する正圧とが適切に分断した状態で生じ、各正圧を制御しやすい。

また図１，図２に示す形態では、前記絞り部２１は、前記幅寸法Ｔ１が狭められた形態であるが、前記絞り部２１での底面２０ａが第１流路２０内の他の部位よりも隆起し、前記絞り部２１での第１流路２０内での高さ寸法（溝の深さ寸法）が他の部位での高さ寸法（溝の深さ寸法）より小さくなっている形態であってもよい。これによっても、前記絞り部２１では、前記絞り部２１が形成されている位置での第１流路２０を高さ方向（図示Ｚ方向）及び幅方向（図示Ｘ方向）からなる面から切断した断面積が、前記絞り部２１よりリーディング側Ｓｌでの第１流路２０の前記断面積より小さく、且つ前記絞り部２１よりトレーリング側Ｓｔでの第１流路２０の前記断面積と同じか、あるいは、前記断面積よりも小さくなる形態にできる。ただし、前記絞り部２１での底面２０ａを、第１流路２０内での他の部位よりも隆起形成させるのは加工上、困難であるし、また第１流路２０自体の深さはせいぜい０．１μｍ程度であるから、第１流路２０の深さ寸法を変えても効果的に絞り部２１とそれ以外での箇所での断面積の差を大きくできず、よって前記絞り部２１での幅寸法Ｔ１を制御することが好ましい。

上記のように本実施形態では、前記第１流路２０に絞り部２１が形成されており、これにより、前記第１流路２０内を流れる空気は前記絞り部２１の付近で、流速が低下し、前記絞り部２１の付近で正圧が生じる。前記絞り部２１は前記揺動支点Ｐ１よりもトレーリング側Ｓｔに設けられており、したがって前記絞り部２１付近にて発生する正圧は、前記揺動支点Ｐ１よりもトレーリング側Ｓｔで発生するということになる。本実施形態では、従来に比べて気圧変化（空気密度変化）によっても浮上量変化が少ない構造となっている。その原理について図４及び図５を用いて説明する。

図４は、気圧が高い状態、例えば、平地（０ｍ、sea level）の気圧下でのスライダに作用する正圧を説明するための概念図である。「正圧Ｐｒ１」は、リーディング側隆起面６，７と、前記磁気ディスクＤ間に生じる正圧の大きさをベクトルの長さで示している。また、「正圧Ｐｒ２」は、磁気素子面４と、前記磁気ディスクＤ間に生じる正圧の大きさをベクトルの長さで示している。ベクトルの長さが長いほど正圧は大きい。図１及び図２に示すように、前記リーディング側隆起面６，７の合計面積は、前記磁気素子面５の面積よりも広くなっており、このため、前記リーディング側隆起面６，７と磁気ディスクＤ間で生じる正圧Ｐｒ１のほうが、前記磁気素子面５と磁気ディスクＤ間で生じる正圧Ｐｒ２よりも大きくなっている。

一方、本実施形態では、第１流路２０に絞り部２１が形成されることにより、前記絞り部２１付近で、正圧Ｐｒ３が生じる。前記正圧Ｐｒ３は前記揺動支点Ｐ１よりも前記磁気素子面４側に生じる。前記正圧Ｐｒ１，Ｐｒ２，Ｐｒ３及び、溝３で生じる負圧とのバランスにより、前記スライダ１は、リーディング側Ｓｌが高く浮上し、トレーリング側Ｓｔが磁気ディスクＤに近づく浮上姿勢となる。このときピッチ角（磁気ディスク面に対する前記磁気素子面４の傾き）は、θ１となる。

次に、図５は、気圧が低い状態、例えば、高地（３０４８ｍ）の気圧下でのスライダに作用する正圧を説明するための概念図である。

図５に示す点線のスライダは、仮に正圧Ｐｒ３が生じていない場合のスライダの浮上状態を示している。気圧が低下すると、スライダ１と磁気ディスクＤ間に流れる空気量が減少し、前記スライダと磁気ディスクＤ間の空気密度は低下するため、正圧Ｐｒ１、Ｐｒ２、及び負圧は全て同じように小さくなっていく。このため、正圧Ｐｒ３が生じていない点線で示すスライダは、気圧が高い状態のときに比べて、浮上量が大きく低下する。

しかし本実施形態では、第１流路２０に絞り部２１を設けたことで、前記絞り部２１付近に正圧Ｐｒ３が生じている。図５に示すように、正圧Ｐｒ１、Ｐｒ２、及び負圧が全て小さくなり、スライダの浮上量が小さくなると、絞り部２１付近と磁気ディスクＤとの間の距離Ｈ１が縮まる。このとき、距離Ｈ１が縮まると、前記絞り部２１付近では、空気の流れが悪く澱むため（流速がより低下するため）、前記絞り部２１付近で生じる正圧Ｐｒ３が図４の場合に比べて大きくなり、スライダ１のトレーリング側端面Ｓｔが上方に持ち上げられる（矢印Ｂ）。スライダ１のトレーリング側端面Ｓｔが上方に持ち上げられることで、前記ピッチ角θ２は、図４の場合に比べて小さくなるが、前記浮上量は、気圧の高い場合と比較してさほど変化しなくなり、したがって前記正圧Ｐｒ３を生じない構造に比べて、気圧変化（空気密度変化）（空気密度変化）に対する浮上量の変化を小さくすることが可能になる。

本実施形態では、前記第１流路２０に形成された絞り部２１での幅寸法をＴ１、前記第１流路２０のリーディング側端部（前記リーディング側隆起面６，７との境界部）での幅寸法をＴ２としたとき、Ｔ１／Ｔ２は、０．０５〜０．５の範囲内で形成されることが好ましい。

また、前記スライダ１の前記長さ方向の寸法をＬ１とし、前記第１流路２０に形成された絞り部２１の位置を、スライダ１のリーディング側端面Ｓｌから測定した長さがＬ２のとき、Ｌ２／Ｌ１が、０．５７以上で形成されることが好ましい。

上記のように、前記絞り部２１の幅寸法Ｔ１や前記絞り部２１の形成位置を適正化することで、効果的に、気圧変化（空気密度変化）に対する浮上量の変化を小さくすることが可能である。

また図１，図２に示す実施形態では、各リーディング側隆起面６，７のトレーリング側端部６ａ，７ａと、前記磁気素子面４のリーディング側端部４ａとの間を隆起形成されたレール面８，９によってつなぎ、細長形状の前記レール面８，９間に溝形状の第１流路２０を形成している。このように細長形状のレール面８，９を設けることで、容易に、リーディング側隆起面６，７から前記磁気素子面４にまで至る第１流路２０を形成することができる。そして前記レール面８，９の内側端部８ａ，９ａが空気流の方向を規制する側壁となって空気を適切に、磁気素子面４にまで導き、また、前記絞り部２１付近で適切な大きさの正圧を発生させることが可能になる。しかも前記レール面８，９の外側端部８ｂ，９ｂよりも幅方向（図示Ｘ方向）の外側に、負圧発生領域としての溝部３を形成することができ、正圧と負圧とのバランスを良好に保つことが出来る。

図１，図２に示す実施形態では、前記リーディング側隆起面６，７間に形成された第２流路２２と前記第１流路２０とが連続して形成され、しかも前記第１流路２０と前記第２流路２２の底面２０ａ，２２ａが同じ高さの平坦化面となっている。このように前記第１流路２０及び第２流路２２に、段差等の障害がないため、空気は、適切に、前記磁気素子面４にまで導かれやすく、前記絞り部２１及び磁気素子面５に適切に正圧を発生させることの出来る形態となっている。

また図１，図２に示すように、前記第１流路２０及び第２流路２２の底面２０ａ，２２ａを、磁気素子面４及びリーディング側隆起面６，７よりも低く、前記溝３の底面よりも高く形成することで、スライダ１の浮上姿勢の安定性、及び気圧変化（空気密度変化）による磁気ヘッドスライダ１の浮上量変化を小さくできる。例えば、前記第１流路２０及び第２流路２２の底面２０ａ，２２ａが前記溝３と同じ高さで形成されると、負圧領域が増える結果、空気流入量が多いときでも磁気ヘッドスライダ１の浮上量がかなり小さくなり、表面が凹凸面となっている磁気ディスクＤに衝突する確率が上昇する。また第１流路２０を通った空気が高さの高い前記磁気素子面４のリーディング側端部４ａに衝突して乱れやすくなり適切に前記磁気素子面４に流入できない等により、スライダ１の浮上姿勢の不安定性、及び気圧変化（空気密度変化）による磁気ヘッドスライダ１の浮上量変化が大きくなりやすいので、前記第１流路２０及び第２流路２２の底面２０ａ，２２ａを、磁気素子面４及びリーディング側隆起面６，７よりも低く、前記溝３の底面よりも高く形成することが好ましい。

なお図１，図２に示す実施形態では、前記レール面８，９の高さは、前記磁気素子面４及びリーディング側隆起面６，７と同じ高さであったが、前記レール面６，７の高さは、前記磁気素子面４及びリーディング側隆起面６，７より低くてもよい。

図１，図２に示す形状の磁気スライダを作製した。
前記レール面８，９間に形成された第１流路２０の絞り部２１の幅寸法Ｔ１と、前記第１流路２０のリーディング側端部での幅寸法Ｔ２とを以下の表１のように種々変化させた複数の磁気ヘッドスライダを作製した。

そして、各磁気ヘッドスライダを用いて、平地（０ｍ、sea level）の気圧下での磁気ヘッドスライダの浮上量と、高地（３０４８ｍ）の気圧下での前記磁気ヘッドスライダの浮上量を測定した。そして、各磁気ヘッドスライダの絞り部の幅寸法Ｔ１／リーディング側端部での幅寸法Ｔ２と、標高差感度との関係を求めた。なお標高差感度は、（高地での磁気ヘッドスライダの浮上量／平地での磁気ヘッドスライダの浮上量）×１００（％）で求めた。その実験結果を表１及び図９に示す。

図９に示すように、絞り部の幅寸法Ｔ１／リーディング側端部での幅寸法Ｔ２は、０．０５〜０．５の範囲内であると、標高差感度を９０％以上にできることがわかった。特に、絞り部の幅寸法Ｔ１／リーディング側端部での幅寸法Ｔ２を、０．０５〜０．２の範囲内にすると、標高差感度を９５％以上にできることがわかった。

次に、スライダ１のリーディング側端面Ｓｌから前記絞り部２１までの長さ寸法Ｌ２を変化させた複数の磁気ヘッドスライダを作製した。

そして、各磁気ヘッドスライダを用いて、平地（０ｍ、sea level）の気圧下での磁気ヘッドスライダの浮上量と、高地（３０４８ｍ）の気圧下での前記磁気ヘッドスライダの浮上量を測定した。そして、各磁気ヘッドスライダのＬ２、及びＬ２／Ｌ１と、標高差感度との関係を求めた。なお標高差感度は、（高地での磁気ヘッドスライダの浮上量／平地での磁気ヘッドスライダの浮上量）×１００（％）で求めた。またスライダ１の長さＬ１は全ての磁気ヘッドスライダ１において、１．２３５ｍｍとした。その実験結果を図１０に示す。

図１０に示すように、Ｌ２を０．７ｍｍ以上（Ｌ２／Ｌ１を０．５７以上）にすることで、標高差感度を９２％以上に出来ることがわかった。また、Ｌ２を０．９ｍｍ以上（Ｌ２／Ｌ１を０．７３以上）にすることで、標高差感度を９８％以上に出来ることが出来ることがわかった。

本実施の形態の磁気ヘッドスライダのディスク対向面を上向きにして示した斜視図、 図１に示す磁気ヘッドスライダをディスク対向面側から見た平面図、 別の絞り部の平面図、 気圧が高い状態（例えば、平地（０ｍ、sea level）の気圧下）でのスライダに作用する正圧を説明するための概念図、 気圧が低い状態（例えば、高地（３０４８ｍ）の気圧下）でのスライダに作用する正圧を説明するための概念図、 前記磁気ヘッドスライダを支持部材に取り付けた磁気ヘッド装置の部分斜視図、 本発明の磁気ヘッドスライダが磁気ディスク上で停止している状態を示す磁気ディスク装置の部分側面図、 本発明の磁気ヘッドスライダが磁気ディスク上から浮上した後の状態を示す磁気ディスク装置の部分側面図、 実験で使用した各磁気ヘッドスライダのＴ１／Ｔ２と、標高差感度との関係を示すグラフ、 実験で使用した各各磁気ヘッドスライダのＬ２、及びＬ２／Ｌ１と、標高差感度との関係を示すグラフ、

符号の説明

１ 磁気ヘッドスライダ
２ ディスク対向面
３ 溝部
４ 磁気素子面
５ 磁気素子
６、７ リーディング側隆起面
８、９ レール面
２０ 第１流路
２１ 絞り部
２２ 第２流路
Ｄ 磁気ディスク面
Ｓｌ リーディング側端面
Ｓｔ トレーリング側端面

Claims (2)

1. スライダと、前記スライダの空気流出端側端面に設けられた記録用および／または再生用の磁気素子と、を有する磁気ヘッドスライダにおいて、
   前記スライダのディスク対向面の空気流入端側には、磁気ディスク方向に向けて隆起する空気流入端側隆起面が形成され、
   前記空気流入端側隆起面は、前記空気流入端側から空気流出端側に向う長さ方向に対し直交する方向の幅方向に分割して設けられ、
   空気流出端側には、磁気ディスク方向に向けて隆起する磁気素子面が形成されており、
   前記磁気素子面と各空気流入端側隆起面との間を繋ぎ、磁気ディスク方向に向けて隆起する一対のレール面が形成され、
   前記一対のレール面の間には、底面が、負圧発生面としての溝の底面よりも高く、前記磁気素子面及び空気流入端側隆起面よりも低い位置に形成される平坦な第１流路が形成され、前記空気流入端側隆起面の間には、第２流路が形成され、前記第２流路の底面は、前記第１流路の底面と同位置の連続面であり、
   前記一対のレール面の幅方向の両側に前記負圧発生面としての溝が形成され、
   前記第１流路には、前記スライダの揺動支点よりも前記空気流出端側に、前記レール面の間隔が幅方向に縮められたことによる絞り部が設けられ、前記絞り部での幅寸法をＴ１、前記第１流路の空気流入端側端部での幅寸法をＴ２としたとき、Ｔ１／Ｔ２は、０．０５〜０．５の範囲内で形成されることを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
2. 前記スライダの前記長さ方向の寸法をＬ１とし、前記第１流路に形成された絞り部の位置を、スライダの空気流入端側端面から測定した長さがＬ２のとき、Ｌ２／Ｌ１が０．５７以上で形成される請求項１記載の磁気ヘッドスライダ。

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