JP2020042887A - 磁気ヘッドおよびこれを備える磁気ディスク装置 - Google Patents

Abstract

【課題】信頼性の向上した磁気ヘッドおよび磁気ディスク装置を提供する。【解決手段】実施形態によれば、磁気ヘッドは、空気支持面４０を有するスライダ３１と、スライダに設けられデータの処理を行うヘッド部３３と、を備えている。スライダは、空気支持面のリーディング側端部に設けられたリーディングステップ５２と、空気支持面のトレーリング側端部に設けられ、ヘッド部を内蔵するトレーリングステップ６２と、リーディングステップとトレーリングステップとの間に形成され、空気支持面および一対の側面に開口した深溝５０と、空気支持面の中央部からトレーリングステップまで延在するセンターレール６８と、センターレールと空気支持面の各側縁との間に設けられた一対の圧力発生部７０と、を有している。【選択図】 図３

Description

この発明の実施形態は、磁気ヘッドおよびこれを備える磁気ディスク装置に関する。

磁気ディスク装置として、例えば、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）は、回転自在に設けられた磁気ディスクと、磁気ディスクに対してデータの記録、読取りを行う磁気ヘッドと、を有している。ＨＤＤの動作状態において、磁気ヘッドは、磁気ディスクの回転によって生じる空気流により浮上し、磁気ディスクの表面に僅かな隙間を置いて対向する。

米国特許出願公開第２００７／００４７１４３号明細書 米国特許出願公開第２０１１／０１２２５３２号明細書 米国特許出願公開第２０１２／０１３４０５５号明細書

ＨＤＤに外部衝撃が作用した場合、衝撃により、磁気ディスクの内周部あるいは外周部が凸状あるいは凹状に変形する場合がある。磁気ディスクが変形すると、磁気ヘッドの浮上が変化し、磁気ディスク表面に磁気ヘッドが接触する可能性がある。接触が生じた場合、磁気ディスクおよび／あるいは磁気ヘッドが損傷するおそれがある。
この発明の実施形態の課題は、記録媒体との接触を抑制し、信頼性の向上を図ることが可能な磁気ヘッドおよびこれを備える磁気ディスク装置を提供することにある。

実施形態によれば、磁気ヘッドは、一対の側縁を有する空気支持面と、前記空気支持面の一対の側縁に沿った一対の側面と、リーディング側端面と、トレーリング側端面とを有するスライダと、前記スライダに設けられデータの処理を行うヘッド部と、を備えている。前記スライダは、前記空気支持面のリーディング側端部に設けられたリーディングステップと、前記空気支持面のトレーリング側端部に設けられ、前記ヘッド部を内蔵するトレーリングステップと、前記リーディングステップとトレーリングステップとの間に形成され、前記空気支持面および前記一対の側面に開口した深溝と、前記空気支持面の中央部から前記トレーリングステップまで延在するセンターレールと、前記センターレールと各側縁との間に設けられた一対の圧力発生部と、を有している。

図１は、実施形態に係るハードディスクドライブ（ＨＤＤ）の内部構造を示す平面図。 図２は、前記ＨＤＤの磁気ディスクと磁気ヘッドおよびサスペンションを拡大して示す側面図。 図３は、前記磁気ヘッドの空気支持面（ＡＢＳ）側を示す斜視図。 図４は、前記磁気ヘッドのＡＢＳ側を示す平面図。 図５は、図３の線Ｖ−Ｖに沿った磁気ヘッドの断面図。 図６は、図３の線ＶＩ−ＶＩに沿った磁気ヘッドの断面図。 図７は、磁気ディスクの径方向位置による等価的なクラウン／キャンバ変化を示す図。 図８は、通常時とディスク変形時との磁気ヘッドの浮上姿勢を概略的に示す図。 図９は、第１の実施形態に係る磁気ヘッドと比較例に係る磁気ヘッド（サブ圧力発生部を持たない磁気ヘッド）とについて、耐衝撃力を比較して示す図。 図１０は、第２の実施形態に係る磁気ヘッドのＡＢＳ側を示す平面図。 図１１は、第３の実施形態に係る磁気ヘッドのＡＢＳ側を示す平面図。

以下図面を参照しながら、実施形態に係る磁気ディスク装置ついて説明する。
なお、開示はあくまで一例にすぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更であって容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宜省略することがある。

（第１の実施形態）
磁気ディスク装置の一例として、実施形態に係るハードディスクドライブ（ＨＤＤ）について詳細に説明する。図１は、第１の実施形態に係るＨＤＤの内部構造を示している。
図１に示すように、ＨＤＤは筐体１０を備えている。筐体１０は、上面の開口した矩形箱状のベース１２と、ベース１２の上端開口を閉塞する図示しないトップカバーと、を有している。ベース１２は、矩形状の底壁１２ａと、底壁１２ａの周縁に沿って立設された側壁１２ｂとを有している。
筐体１０内には、ディスク状の記録媒体としての１枚あるいは複数枚の磁気ディスク１６、および磁気ディスク１６を支持および回転させる駆動部としてのスピンドルモータ２３が設けられている。磁気ディスク１６は、スピンドルモータ２３の図示しないハブに互いに同軸的に嵌合されているとともにクランプばね２７によりクランプされ、ハブに固定されている。磁気ディスク１６は、スピンドルモータ２３により矢印Ａ方向に所定の速度で回転される。

筐体１０内に、磁気ディスク１６に対してデータのライト／リードを行なう複数の磁気ヘッド１７、および、これらの磁気ヘッド１７を磁気ディスク１６に対して移動可能に支持したキャリッジアッセンブリ２２が設けられている。筐体１０内に、キャリッジアッセンブリ２２を回動および位置決めするボイスコイルモータ（以下ＶＣＭと称する）２４、磁気ヘッド１７が磁気ディスク１６の最外周に移動した際、磁気ヘッド１７を磁気ディスク１６から離間したアンロード位置に保持するランプロード機構２５、ＨＤＤに衝撃等が作用した際、キャリッジアッセンブリ２２を退避位置に保持するラッチ機構２６、および変換コネクタ等を有する基板ユニット２１が設けられている。

ベース１２の底壁１２ａ外面には、図示しないプリント回路基板がねじ止めされている。プリント回路基板に制御部が構成されている。制御部は、基板ユニット２１を介してＶＣＭ２４、および磁気ヘッド１７の動作を制御するとともに、スピンドルモータ２３の動作を制御する。

図２は、浮上状態の磁気ヘッドおよび磁気ディスクを模式的に示している。図１および図２に示すように、磁気ディスク１６は、例えば、直径約８８．９ｍｍ（３．５インチ）の円板状に形成された非磁性体からなる基板１０１を有している。基板１０１の両面の各々には、下地層として軟磁気特性を示す材料からなる軟磁性層１０２と、磁気記録層１０３と、保護膜層１０４とが順に積層されている。

キャリッジアッセンブリ２２は、ベース１２に回動自在に支持された軸受部（本体ブロック）と、軸受部から延出した複数本のアーム２８と、各アーム２８から延出するヘッドジンバルアッセンブリ３０と、を有している。各ヘッドジンバルアッセンブリ３０は、細長い板ばね状のサスペンション３４と、サスペンション３４上に設けられた配線部材としてのフレクシャ４１と、磁気ヘッド１７と、を有している。磁気ヘッド１７は、フレクシャ４１のジンバル部３６を介して、サスペンション３４の先端部に支持されている。

図２に示すように、磁気ヘッド１７は浮上型のヘッドとして構成され、ほぼ直方体状に形成されたスライダ３１と、スライダ３１の流出端（トレーリング）側の端部に形成されたヘッド部３３とを有している。スライダ３１は、磁気ディスク１６の表面に対向する空気支持面（ＡＢＳ）４０を有している。磁気ヘッド１７は、磁気ディスク１６の回転によって磁気ディスク１６の表面とスライダ３１のＡＢＳ４０との間に生じる空気流Ｂにより浮上する。空気流Ｂの方向は、磁気ディスク１６の回転方向Ａと一致している。

次に、磁気ヘッド１７の構成について詳細に説明する。図３は磁気ヘッドのＡＢＳ側を示す斜視図、図４は磁気ヘッドのＡＢＳ側を示す平面図である。
図３および図４に示すように、磁気ヘッド１７のスライダ３１は、ほぼ直方体状に形成され、磁気ディスク１６の表面に対向する矩形状の空気支持面（ディスク対向面）（air bearing surface ：ＡＢＳ）４０、ＡＢＳ４０と直交して延びる流入側端面（リーディング側端面）４２ａ、ＡＢＳ４０と直交して延びる流出側端面（トレーリング側端面）４２ｂ、およびそれぞれＡＢＳ４０と直交して流入側端面４２ａと流出側端面４２ｂとの間を延びる一対の側面（サイド部）４２ｃを有している。スライダ３１は、ＡＢＳ４０と反対側に位置する背面を有し、この背面がフレクシャ４１のジンバル部に固定される。

ＡＢＳ４０の長手方向を第１方向Ｘ、これと直交する幅方向を第２方向Ｙとする。磁気ヘッド１７の中心軸線Ｄは、磁気ヘッド１７の中心を通り第１方向Ｘに延在している。一例では、スライダ３１は、第１方向Ｘの長さＬが１．２５ｍｍ以下、例えば、１．２３５ｍｍ、第２方向Ｙに沿った幅Ｗが１．０ｍｍ以下、例えば、０．７ｍｍ、厚さＴ１が０．１５〜０．３ｍｍに形成され、いわゆるペムトスライダとして構成されている。

図５は図３の線Ｖ−Ｖに沿ったスライダの縦断面図、図６は図３の線ＶＩ−ＶＩに沿ったスライダの横断面図である。図示のように、スライダ３１の上面（ＡＢＳ４０）は、第１方向Ｘに沿って凸となる円弧状に湾曲し、いわゆるクラウンを形成している。また、ＡＢＳ４０は、第２方向Ｙに沿って凸となる円弧状に湾曲し、いわゆるキャンバを形成している。クラウンおよびキャンバの中央部の高さＴ２は、一例では、１５ｎｍ程度に形成されている。

図３ないし図５に示すように、ＡＢＳ４０の第１方向Ｘのほぼ中央部に帯状の深溝５０が形成されている。深溝５０は、スライダ３１の第２方向Ｙの全長に亘って延在し、スライダ３１の両側面４２ｃに開口している。スライダ３１の厚さＴ１を、例えば０．２３ｍｍとした場合、深溝５０の深さは、１〜５μｍ、例えば３μｍに形成されている。深溝５０を設けることにより、ＨＤＤで実現される全てのヨー角において、深溝５０のリーディング側で負圧を発生させることができる。

ＡＢＳ４０のリーディング側端部に、ほぼ矩形状のリーディングステップ５２が形成されている。リーディングステップ５２は、深溝５０の底面に対し突出して設けられ、かつ、空気流Ｃに対して深溝５０の流入側に位置している。
磁気ヘッド１７のピッチ角を維持するため、リーディングステップ５２上には、空気膜によってスライダ３１を支えるリーディングパッド（流入側の圧力発生面）５３が突設されている。リーディングパッド５３は、流入側に向かって複数個所が開放するＭ字形状に形成されている。リーディングパッド５３の上面は、スライダ３１の最上面を構成し、ＡＢＳ４０の一部を構成している。リーディングステップ５２の流入端から僅かに流出側にずれた位置に、リーディング溝５５が形成されている。

図３ないし図５に示すように、スライダ３１は、空気流Ｃの方向に対して、ＡＢＳ４０の流出側端部に形成されたトレーリングステップ６２を有している。トレーリングステップ６２は、負圧キャビティ５４の底面に対し突出して形成され、その突出高さは、リーディングステップ５２と同程度の高さに形成されている。トレーリングステップ６２は、ＡＢＳ４０の第２方向Ｙのほぼ中央に位置している。トレーリングステップ６２の上面には、空気膜によってスライダ３１を支えるトレーリングパッド（流出側の圧力発生面）６３が突設されている。

トレーリングパッド６３は、トレーリングステップ６２の流出側端面、ここでは、スライダ３１の流出側端面４２ｂから流入側に隙間を置いて設けられている。トレーリングパッド６３は、リーディングパッド５３、中間クロスレール５６、サイドレール５９と同一高さレベルに形成され、スライダ３１の最上面となりＡＢＳ４０の一部を構成している。

磁気ヘッド１７のヘッド部３３は、磁気ディスク１６に対して情報の記録再生を行う記録素子６５および再生素子６６を有している。これら記録素子６５および再生素子６６は、空気流Ｃの方向に対して、スライダ３１の下流側端部内、ここでは、トレーリングステップ６２内に埋め込まれている。記録素子６５および再生素子６６の先端部は、トレーリングパッド６３の位置でＡＢＳ４０に露出している。

図３ないし図６に示すように、ＡＢＳ４０のほぼ中央部から流出側端面４２ｂに亘って、凹所からなる負圧キャビティ５４が形成されている。負圧キャビティ５４は、深溝５０の流出端側およびトレーリングステップ６２の周囲に位置し、流出側端面４２ｂに向かって開放している。負圧キャビティ５４は、深溝５０よりも浅く形成され、すなわち、深溝５０の底面よりも高い位置に形成されている。負圧キャビティ５４の深さは５００〜１５００ｎｍ、例えば１０００ｎｍに形成されている。負圧キャビティ５４を設けることにより、ＨＤＤで実現される全てのヨー角において、負圧を発生させることができる。

ＡＢＳ４０において負圧キャビティ５４を囲うようにリブ状の中間クロスレール５６、一対のセンターレール（センターパッド）６８、および一対のサイドレール５９が設けられている。更に、センターレール６８の幅方向両側に、一対の中間パッド（第２圧力発生部）７０が設けられている。
中間クロスレール５６は、深溝５０と負圧キャビティ５４との間に位置し、第２方向Ｙに沿ってＡＢＳ４０の両側縁間を延びている。中間クロスレール５６は、負圧キャビティ５４の底面に対し突出して設けられ、かつ、空気流Ｃに対して負圧キャビティ５４の流入側に位置している。
一対のサイドレール５９は、ＡＢＳ４０の各側縁に沿って形成され、中間クロスレール５６からＡＢＳ４０の流出端側に延出している。これらのサイドレール５９は負圧キャビティ５４の底面に対し突出している。

一対のスカート６０はＡＢＳ４０の各側縁（側面４２ｃ）に沿って形成され、それぞれ第１方向Ｘに沿ってサイドレール５９からＡＢＳ４０の流出側端面４２ｂ近傍まで延びている。各スカート６０は、負圧キャビティ５４の底面に対し突出して設けられ、かつ、サイドレール５９よりも低く形成されている。
中間クロスレール５６、一対のサイドレール５９、および一対のスカート６０は、全体として、上流側が閉塞され、下流側に向かって開放したほぼＵ字形状に形成されている。中間クロスレール５６、一対のサイドレール５９、および一対のスカート６０により負圧キャビティ５４が規定されている。

一対のセンターレール６８は、第１方向Ｘに沿って、中間クロスレール５６からトレーリングステップ６２まで延在している。一対のセンターレール６８は、スライダ３１の中心軸線Ｄの両側に位置し、第２方向Ｙに隙間を置いて、互いに対向している。センターレール６８は、負圧キャビティ５４の底面からの高さが、中間クロスレール５６およびトレーリングパッド６３の高さと同一に形成されている。一対のセンターレール６８間に、空気流をトレーリングステップ６２およびトレーリングパッド６３に導くガイド溝７６が形成されている。このガイド溝７６は、中心軸線Ｄに沿って形成され、深溝５０を通り、更に、リーディングステップ５２まで延びている。

一対の中間パッド７０は、深溝５０とトレーリングステップ６２との間の領域、更に、センターレール６８とサイドレール５９との間の領域に設けられている。すなわち、一対の中間パッド７０は、センターレール６８の幅方向両側に設けられている。各中間パッド７０は、中間クロスレール５６からトレーリング端側に延出したほぼＵ字形状をなしている。詳細には、中間パッド７０は、第１方向Ｘに沿って、それぞれ中間クロスレール５６からスライダ３１のトレーリング端側に延出した一対の第１リブ７０ａと、第２方向Ｙに沿って延在し、一対の第１リブ７０ａの延出端に連結された第２リブ７０ｂとを有している。一対の第１リブ７０ａは、第２方向Ｙに間隔を置いて、互いに平行に並んでいる。また、第２リブ７０ｂの幅は、第１リブ７０ａの幅よりも大きく形成されている。第１リブ７０ａおよび第２リブ７０ｂにより規定された内空間部は、スライダ３１のリーディング側に、すなわち、深溝５０に開口している。中間パッド７０は、負圧キャビティ５４の底面からの高さが、中間クロスレール５６およびトレーリングパッド６３の高さと同一に形成されている。

図７は、磁気ディスクの変形（径方向位置）による等価的なクラウン／キャンバ変化を示す図である。図示のように、等価的なクラウン／キャンバは、磁気ディスクの内周側ほど大きくなる。そのため、磁気ディスクに変形が生じた場合、磁気ディスク内周領域では、スライダの浮上姿勢が大きく崩れ、スライダが磁気ディスクに接触する可能性がある。図８（ａ）に示すように、通常、磁気ヘッド１７の浮上姿勢は、スライダ３１のトレーリング端面４２ｂ側が磁気ディスク１６に近く、リーディング端面４２ａ側がより多く磁気ディスク１６から離間した傾斜状態となる。また、スライダ３１のＡＢＳ４０にクラウンが付いている。そのため、図８（ｂ）に示すように、外部衝撃等に起因して磁気ディスク１６が磁気ヘッド１７に対して凸状に変形した場合、磁気ディスクの変形に等価クラウンが足されることになり、スライダ３１の中央部とトレーリングパッドとの間の領域、ここでは、スライダ３１のセンターレール６８付近が最も磁気ディスク表面に接近する、すなわち、センターレール付近の浮上量が最少となる。

これに対して、前述したように、本実施形態に係る磁気ヘッド１７によれば、センターレール６８の両側に第２圧力発生部としての中間パッド７０を設けている。そのため、磁気ディスク１６の変形により、センターレール６８および中間パッド７０付近と磁気ディスク表面との間隔が狭くなると、中間パッド７０は正圧を発生させ、磁気ディスク表面との隙間を維持する。すなわち、中間パッド７０は正圧を発生することにより、磁気ヘッド１７と磁気ディスク表面との接触を抑制する。なお、中間パッド７０はスライダ３１の幅方向中央部に配置され、スライダ３１の浮上量への影響を最小限にしている。

図９は、本実施形態に係る磁気ヘッドと比較例に係る磁気ヘッド（中間パッドが設けられていない磁気ヘッド）とについて、耐衝撃力を比較して示す図である。図示のように、比較例の磁気ヘッドでは、印加加速度７０Ｇの外部衝撃が作用した際に磁気ヘッドが磁気ディスクに接触するのに対して、本実施形態に係る磁気ヘッドでは、印加加速度９０Ｇ程度まで磁気ディスクとの接触が生じないことが分かる。本実施形態に係る磁気ヘッドによれば、比較例に対して、２８％程度、耐衝撃力が向上している。
以上のことから、本実施形態によれば、記録媒体との接触を抑制し、信頼性の向上を図ることが可能な磁気ヘッドおよびこれを備える磁気ディスク装置を得ることができる。

次に、他の実施形態に係る磁気ヘッドについて説明する。なお、以下に説明する他の実施形態において、前述した第１の実施形態と同一の部分には、同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略あるいは簡略化し、第１の実施形態と異なる部分を中心に詳しく説明する。
（第２の実施形態）
図１０は、第２の実施形態に係る磁気ヘッドのＡＢＳ側を示す平面図である。図示のように、第２の実施形態では、一対のセンターレール６８のリーディング側の端部は、中間クロスレール５６に繋がることなく、中間クロスレール５６から離間している。第２圧力発生部としての一対の中間パッド７４は、それぞれセンターレール６８から第２方向Ｙに延出し、更に、リーディング側に屈曲して第１方向Ｘに延出し中間クロスレール５６に繋がっている。中間パッド７４は、負圧キャビティ５４の底面からの高さが、中間クロスレール５６およびトレーリングパッド６３の高さと同一に形成されている。中間パッド７４とセンターレール６８との間の空間は、スライダ３１のリーディング側に、ここでは、深溝５０に開口している。
上記のように構成された中間パッド７４は、前述した第１の実施形態における中間パッド７０と同様の作用効果を発揮することができる。従って、第２の実施形態によれば、記録媒体との接触を抑制し、信頼性の向上を図ることが可能な磁気ヘッドおよびこれを備える磁気ディスク装置を得ることができる。

（第３の実施形態）
図１１は、第３の実施形態に係る磁気ヘッドのＡＢＳ側を示す平面図である。
図示のように、第３の実施形態では、第２圧力発生部としての一対の中間パッド７２は、
、それぞれセンターレール６８の中央部から第２方向Ｙに延出し、更に、リーディング側に屈曲して第１方向Ｘに延出し、ほぼかぎ状に形成されている。中間パッド７４は、負圧キャビティ５４の底面からの高さが、中間クロスレール５６およびトレーリングパッド６３の高さと同一に形成されている。中間パッド７４とセンターレール６８との間の空間は、スライダ３１のリーディング側に、ここでは、負圧キャビティ５４に開口している。
本実施形態において、スライダ３１は、一対のサイドパッド５８を有している。サイドパッド５８は、ＡＢＳ４０の各側縁に沿って形成され、中間クロスレール５６からＡＢＳ４０の流出端側に延出し、側縁側に屈曲し、更に、リーディング側に屈曲し、側縁に沿ってリーディング側に延出している。これらのサイドパッド５８は負圧キャビティ５４の底面に対し突出している。サイドパッド５８の高さは、中間クロスレール５６およびトレーリングパッド６３の高さと同一に形成されている。

上記のように構成された中間パッド７２は、前述した第１の実施形態における中間パッド７０と同様の作用効果を発揮することができる。従って、第３の実施形態によれば、記録媒体との接触を抑制し、信頼性の向上を図ることが可能な磁気ヘッドおよびこれを備える磁気ディスク装置を得ることができる。

なお、本発明の実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
例えば、磁気ヘッドのスライダは、ペムトスライダに限らず、ピコスライダ、フェムトスライダ、あるいは、より寸法の大きなスライダにも適用可能である。スライダにおける、トレーリングステップ、トレーリングパッド、中間パッド、その他の部分の形状、寸法等は、必要に応じて変更可能である。ディスクドライブにおいて、磁気ディスクは、３．５インチに限らず、他の大きさの磁気ディスクとしてもよい。磁気ディスクは２枚に限らず、１枚あるいは３枚以上としてもよく、磁気ヘッドの数も磁気ディスクの設置枚数に応じて増減すればよい。

１０…筐体、１２…ベース、１６…磁気ディスク、１７…磁気ヘッド、
３１…スライダ、３０…ヘッドジンバルアッセンブリ、３３…ヘッド部、
４０…空気支持面（ＡＢＳ）、４２ｃ…側面、５０…深溝、
５２…リーディングステップ、５６…中間クロスレール、
６２…トレーリングステップ、６８…センターレール、
７０、７２、７４…中間パッド

Claims (6)

1. 一対の側縁を有する空気支持面と、前記空気支持面の一対の側縁に沿った一対の側面と、リーディング側端面と、トレーリング側端面とを有するスライダと、
   前記スライダに設けられデータの処理を行うヘッド部と、を備え、
   前記スライダは、前記空気支持面のリーディング側端部に設けられたリーディングステップと、前記空気支持面のトレーリング側端部に設けられ、前記ヘッド部を内蔵するトレーリングステップと、前記リーディングステップとトレーリングステップとの間に形成され、前記空気支持面および前記一対の側面に開口した深溝と、前記空気支持面の中央部から前記トレーリングステップまで延在するセンターレールと、前記センターレールと各側縁との間に設けられた一対の圧力発生部と、を有している磁気ヘッド。
2. 前記圧力発生部の各々は、前記センターレールから前記側縁側に延出し、屈曲して前記スライダのリーディング端側に延出する中間パッドを有している請求項１に記載の磁気ヘッド。
3. 前記中間パッドと前記センターレールとの間に規定された空間部は、前記スライダのリーディング側に開口している請求項２に記載の磁気ヘッド。
4. 前記スライダは、前記一対の側縁の間に前記深溝に沿って延在する中間クロスレールを備え、
   前記圧力発生部の各々は、前記センターレールに沿って、前記中間クロスレールから前記スライダのトレーリング端側に延出した中間パッドを有している請求項１に記載の磁気ヘッド。
5. 前記中間パッドは、それぞれ前記中間クロスレールから前記スライダのトレーリング端側に延出した一対の第１リブと、前記一対の第１リブの延出端に連結された第２リブとを有し、前記第１リブおよび第２リブにより規定された内空間部は、前記スライダのリーディング側に開口している請求項４に記載の磁気ヘッド。
6. 回転自在に設けられたディスク状の記録媒体と、
   前記記録媒体に対して情報を処理する請求項１から５のいずれか１項に記載の磁気ヘッドと、を備える磁気ディスク装置。

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