JP2020042886A - 磁気ヘッドおよびこれを備える磁気ディスク装置 - Google Patents

Abstract

【課題】信頼性の向上した磁気ヘッドおよび磁気ディスク装置を提供する。【解決手段】磁気ディスク装置において、磁気ヘッド１７は、空気支持面４０を有するスライダ３１と、スライダに設けられデータの処理を行うヘッド部３３とを備えている。スライダ３１は、空気支持面のリーディング側端部に設けられたリーディングステップ５２と、空気支持面のトレーリング側端部に設けられ、ヘッド部３３を内蔵するトレーリングステップ６２と、リーディングステップ５２とトレーリングステップ６２との間に形成され、空気支持面および一対の側面に開口した深溝５０と、深溝５０とトレーリングステップ６２との間の領域で一対の側縁間の中央領域に設けられた浅溝７０あるいは傾斜面とを有している。【選択図】図３

Description

この発明の実施形態は、磁気ヘッドおよびこれを備える磁気ディスク装置に関する。

磁気ディスク装置として、例えば、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）は、回転自在に設けられた磁気ディスクと、磁気ディスクに対してデータの記録、読取りを行う磁気ヘッドと、を有している。ＨＤＤの動作状態において、磁気ヘッドは、磁気ディスクの回転によって生じる空気流により浮上し、磁気ディスクの表面に僅かな隙間を置いて対向する。

米国特許第７，０９５，５９２号明細書 米国特許第６，１８１，５１９号明細書 米国特許第８，１８４，４０５号明細書

ＨＤＤに外部衝撃が作用した場合、衝撃により、磁気ディスクの内周部あるいは外周部が凸状あるいは凹状に変形する場合がある。磁気ディスクが変形すると、磁気ヘッドの浮上が変化し、磁気ディスク表面に磁気ヘッドが接触する可能性がある。このような接触が生じた場合、磁気ディスクおよび／あるいは磁気ヘッドが損傷するおそれがある。
この発明の実施形態の課題は、記録媒体との接触を抑制し、信頼性の向上を図ることが可能な磁気ヘッドおよびこれを備える磁気ディスク装置を提供することにある。

実施形態によれば、磁気ヘッドは、一対の側縁を有する空気支持面と、前記空気支持面の一対の側縁に沿った一対の側面と、リーディング側端面と、トレーリング側端面とを有するスライダと、前記スライダに設けられデータの処理を行うヘッド部と、を備えている。前記スライダは、前記空気支持面のリーディング側端部に設けられたリーディングステップと、前記空気支持面のトレーリング側端部に設けられ、前記ヘッド部を内蔵するトレーリングステップと、前記リーディングステップとトレーリングステップとの間に形成され、前記空気支持面および前記一対の側面に開口した深溝と、前記深溝と前記トレーリングステップとの間の領域で前記一対の側縁間の中央領域に設けられた浅溝あるいは傾斜面と、を有している。

図１は、実施形態に係るハードディスクドライブ（ＨＤＤ）の内部構造を示す平面図。 図２は、前記ＨＤＤの磁気ディスクと磁気ヘッドおよびサスペンションを拡大して示す側面図。 図３は、前記磁気ヘッドの空気支持面（ＡＢＳ）側を示す斜視図。 図４は、前記磁気ヘッドのＡＢＳ側を示す平面図。 図５は、図３の線Ｖ−Ｖに沿った磁気ヘッドの断面図。 図６は、図３の線ＶＩ−ＶＩに沿った磁気ヘッドの断面図。 図７は、磁気ディスクの径方向位置による等価的なクラウン／キャンバ変化を示す図。 図８は、通常時とディスク変形時との磁気ヘッドの浮上姿勢を概略的に示す図。 図９は、第１の実施形態に係る磁気ヘッドと比較例に係る磁気ヘッド（浅溝が設けられていない磁気ヘッド）とについて、耐衝撃力を比較して示す図。 図１０は、第２の実施形態に係る磁気ヘッドを模式的に示す側面図。 図１１は、第３の実施形態に係る磁気ヘッドのＡＢＳ側を示す斜視図。 図１２は、第３の実施形態に係る磁気ヘッドのＡＢＳ側を示す平面図。

以下図面を参照しながら、実施形態に係る磁気ディスク装置ついて説明する。
なお、開示はあくまで一例にすぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更であって容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宜省略することがある。

（第１の実施形態）
磁気ディスク装置の一例として、実施形態に係るハードディスクドライブ（ＨＤＤ）について詳細に説明する。図１は、第１の実施形態に係るＨＤＤの内部構造を示している。
図１に示すように、ＨＤＤは筐体１０を備えている。筐体１０は、上面の開口した矩形箱状のベース１２と、ベース１２の上端開口を閉塞する図示しないトップカバーと、を有している。ベース１２は、矩形状の底壁１２ａと、底壁１２ａの周縁に沿って立設された側壁１２ｂとを有している。
筐体１０内には、ディスク状の記録媒体としての１枚あるいは複数枚の磁気ディスク１６、および磁気ディスク１６を支持および回転させる駆動部としてのスピンドルモータ２３が設けられている。磁気ディスク１６は、スピンドルモータ２３の図示しないハブに互いに同軸的に嵌合されているとともにクランプばね２７によりクランプされ、ハブに固定されている。磁気ディスク１６は、スピンドルモータ２３により矢印Ａ方向に所定の速度で回転される。

筐体１０内に、磁気ディスク１６に対してデータのライト／リードを行なう複数の磁気ヘッド１７、および、これらの磁気ヘッド１７を磁気ディスク１６に対して移動可能に支持したキャリッジアッセンブリ２２が設けられている。筐体１０内に、キャリッジアッセンブリ２２を回動および位置決めするボイスコイルモータ（以下ＶＣＭと称する）２４、磁気ヘッド１７が磁気ディスク１６の最外周に移動した際、磁気ヘッド１７を磁気ディスク１６から離間したアンロード位置に保持するランプロード機構２５、ＨＤＤに衝撃等が作用した際、キャリッジアッセンブリ２２を退避位置に保持するラッチ機構２６、および変換コネクタ等を有する基板ユニット２１が設けられている。

ベース１２の底壁１２ａ外面には、図示しないプリント回路基板がねじ止めされている。プリント回路基板に制御部が構成されている。制御部は、基板ユニット２１を介してＶＣＭ２４、および磁気ヘッド１７の動作を制御するとともに、スピンドルモータ２３の動作を制御する。

図２は、浮上状態の磁気ヘッドおよび磁気ディスクを模式的に示している。図１および図２に示すように、磁気ディスク１６は、例えば、直径約８８．９ｍｍ（３．５インチ）の円板状に形成された非磁性体からなる基板１０１を有している。基板１０１の両面には、下地層として軟磁気特性を示す材料からなる軟磁性層１０２と、磁気記録層１０３と、保護膜層１０４とが順に積層されている。

キャリッジアッセンブリ２２は、ベース１２に回動自在に支持された軸受部（本体ブロック）と、軸受部から延出した複数本のアーム２８と、各アーム２８から延出するヘッドジンバルアッセンブリ３０と、を有している。各ヘッドジンバルアッセンブリ３０は、細長い板ばね状のサスペンション３４と、サスペンション３４上に設けられた配線部材としてのフレクシャ４１と、磁気ヘッド１７と、を有している。磁気ヘッド１７は、フレクシャ４１のジンバル部３６を介して、サスペンション３４の先端部に支持されている。

図２に示すように、磁気ヘッド１７は浮上型のヘッドとして構成され、ほぼ直方体状に形成されたスライダ３１と、スライダ３１の流出端（トレーリング）側の端部に形成されたヘッド部３３とを有している。スライダ３１は、磁気ディスク１６の表面に対向する空気支持面（ＡＢＳ）４０を有している。磁気ヘッド１７は、磁気ディスク１６の回転によって磁気ディスク１６の表面とスライダ３１のＡＢＳ４０との間に生じる空気流Ｂにより浮上する。空気流Ｂの方向は、磁気ディスク１６の回転方向Ａと一致している。

次に、磁気ヘッド１７の構成について詳細に説明する。図３は磁気ヘッドのＡＢＳ側を示す斜視図、図４は磁気ヘッドのＡＢＳ側を示す平面図である。
図３および図４に示すように、磁気ヘッド１７のスライダ３１は、ほぼ直方体状に形成され、磁気ディスク１６の表面に対向する矩形状の空気支持面（ディスク対向面）（air bearing surface ：ＡＢＳ）４０、ＡＢＳ４０と直交して延びる流入側端面（リーディング側端面）４２ａ、ＡＢＳ４０と直交して延びる流出側端面（トレーリング側端面）４２ｂ、およびそれぞれＡＢＳ４０と直交して流入側端面４２ａと流出側端面４２ｂとの間を延びる一対の側面（サイド部）４２ｃを有している。スライダ３１は、ＡＢＳ４０と反対側に位置する背面を有し、この背面がフレクシャ４１のジンバル部に固定される。

ＡＢＳ４０の長手方向を第１方向Ｘ、これと直交する幅方向を第２方向Ｙとする。磁気ヘッド１７の中心軸線Ｄは、磁気ヘッド１７の中心を通り第１方向Ｘに延在している。一例では、スライダ３１は、第１方向Ｘの長さＬが１．２５ｍｍ以下、例えば、１．２３５ｍｍ、第２方向Ｙに沿った幅Ｗが１．０ｍｍ以下、例えば、０．７ｍｍ、厚さＴ１が０．１５〜０．３ｍｍに形成され、いわゆるペムトスライダとして構成されている。

図５は図３の線Ｖ−Ｖに沿ったスライダの縦断面図、図６は図３の線ＶＩ−ＶＩに沿ったスライダの横断面図である。図示のように、スライダ３１の上面（ＡＢＳ４０）は、第１方向Ｘに沿って凸となる円弧状に湾曲し、いわゆるクラウンを形成している。また、ＡＢＳ４０は、第２方向Ｙに沿って凸となる円弧状に湾曲し、いわゆるキャンバを形成している。クラウンおよびキャンバの中央部の高さＴ２は、一例では、１５ｎｍ程度に形成されている。

図３ないし図５に示すように、ＡＢＳ４０の第１方向Ｘのほぼ中央部に帯状の深溝５０が形成されている。深溝５０は、スライダ３１の第２方向Ｙの全長に亘って延在し、スライダ３１の両側面４２ｃに開口している。スライダ３１の厚さＴ１を、例えば０．２３ｍｍとした場合、深溝５０の深さは、１〜５μｍ、例えば３μｍに形成されている。深溝５０を設けることにより、ＨＤＤで実現される全てのヨー角において、深溝５０のリーディング側で負圧を発生させることができる。

ＡＢＳ４０のリーディング側端部に、ほぼ矩形状のリーディングステップ５２が形成されている。リーディングステップ５２は、深溝５０の底面に対し突出して設けられ、かつ、空気流Ｃに対して深溝５０の流入側に位置している。
磁気ヘッド１７のピッチ角を維持するため、リーディングステップ５２上には、空気膜によってスライダ３１を支えるリーディングパッド（流入側の圧力発生面）５３が突設されている。リーディングパッド５３は、流入側に向かって複数個所が開放するＭ字形状に形成されている。リーディングパッド５３の上面は、スライダ３１の最上面を構成し、ＡＢＳ４０の一部を構成している。リーディングステップ５２の流入端から僅かに流出側にずれた位置に、リーディング溝５５が形成されている。

図３ないし図５に示すように、ＡＢＳ４０のほぼ中央部から流出側端面４２ｂに亘って、凹所からなる負圧キャビティ５４が形成されている。負圧キャビティ５４は、深溝５０の流出端側に位置し、流出側端面４２ｂに向かって開放している。負圧キャビティ５４は、深溝５０よりも浅く形成され、すなわち、深溝５０の底面よりも高い位置に形成されている。負圧キャビティ５４の深さは５００〜１５００ｎｍ、例えば１０００ｎｍに形成されている。負圧キャビティ５４を設けることにより、ＨＤＤで実現される全てのヨー角において、負圧を発生させることができる。

ＡＢＳ４０において負圧キャビティ５４を囲うようにリブ状の中間クロスレール５６、一対のサイドパッド５８、および一対のセンターレール（センターパッド）６８が形成されている。中間クロスレール５６は、深溝５０と負圧キャビティ５４との間に位置し、第２方向Ｙに沿ってＡＢＳ４０の両側縁間を延びている。中間クロスレール５６は、負圧キャビティ５４の底面に対し突出して設けられ、かつ、空気流Ｃに対して負圧キャビティ５４の流入側に位置している。
一対のサイドパッド５８は、ＡＢＳ４０の各側縁に沿って形成され、中間クロスレール５６からＡＢＳ４０の流出端側に延出し、側縁側に屈曲し、更に、リーディング側に屈曲し、側縁に沿ってリーディング側に延出している。これらのサイドパッド５８は負圧キャビティ５４の底面に対し突出している。

一対のスカート６０はＡＢＳ４０の各側縁（側面４２ｃ）に沿って形成され、それぞれ第１方向Ｘに沿ってサイドパッド５８からＡＢＳ４０の流出側端面４２ｂ近傍まで延びている。各スカート６０は、負圧キャビティ５４の底面に対し突出して設けられ、かつ、サイドパッド５８よりも低く形成されている。
中間クロスレール５６、一対のサイドパッド５８、および一対のスカート６０は、全体として、上流側が閉塞され、下流側に向かって開放したほぼＵ字形状に形成されている。中間クロスレール５６、一対のサイドパッド５８、および一対のスカート６０により負圧キャビティ５４が規定されている。

図３ないし図６に示すように、スライダ３１は、空気流Ｃの方向に対して、ＡＢＳ４０の流出側端部に形成されたトレーリングステップ６２を有している。トレーリングステップ６２は、負圧キャビティ５４の底面に対し突出して形成され、その突出高さは、リーディングステップ５２と同程度の高さに形成されている。トレーリングステップ６２は、ＡＢＳ４０の第２方向Ｙのほぼ中央に位置している。トレーリングステップ６２の上面には、空気膜によってスライダ３１を支えるトレーリングパッド（流出側の圧力発生面）６３が突設されている。

トレーリングパッド６３は、トレーリングステップ６２の流出側端面、ここでは、スライダ３１の流出側端面４２ｂから流入側に隙間を置いて設けられている。トレーリングパッド６３は、リーディングパッド５３、中間クロスレール５６、サイドパッド５８と同一高さレベルに形成され、スライダ３１の最上面となりＡＢＳ４０の一部を構成している。

磁気ヘッド１７のヘッド部３３は、磁気ディスク１６に対して情報の記録再生を行う記録素子６５および再生素子６６を有している。これら記録素子６５および再生素子６６は、空気流Ｃの方向に対して、スライダ３１の下流側端部内、ここでは、トレーリングステップ６２内に埋め込まれている。記録素子６５および再生素子６６の先端部は、トレーリングパッド６３の位置でＡＢＳ４０に露出している。

スライダ３１のＡＢＳ４０は、第１方向Ｘに沿って、中間クロスレール５６からトレーリングステップ５８まで延びる細長い一対のセンターレール６８を有している。一対のセンターレール６８は、スライダ３１の中心軸線Ｄの両側に位置し、第２方向Ｙに隙間を置いて、互いに対向している。センターレール６８は、深溝５０とトレーリングステップ６２との間の領域で、かつ、スライダ３１の一対の側縁間の中央領域（幅方向の中央部）に設けられている。センターレール６８は、負圧キャビティ５４の底面からの高さが、中間クロスレール５６およびトレーリングパッド６３の高さと同一に形成されている。一対のセンターレール６８の間に、空気流をトレーリングステップ６２およびトレーリングパッド６３に導くガイド溝７６が形成されている。このガイド溝７６は、中心軸線Ｄに沿って形成され、深溝５０を通り、更に、リーディングステップ５２まで延びている。
また、図３ないし図６に示すように、各センターレール６８に浅溝（切欠き）７０が形成されている。浅溝７０は、少なくとも、センターレール６８の第１方向Ｘの中央部に形成されている。本実施形態では、浅溝７０は、センターレール６８のほぼ全長に亘って設けられている。一例では、浅溝７０の深さＤＧは、２〜３０ｎｍ、第１方向Ｘの長さＬＧは、３０〜３００μｍ程度に形成されている。浅溝７０は、全長に亘り、ほぼ一定の深さＤＧに形成されている。浅溝７０は、例えば、センターレール６８の少なくも一部をミリングすることにより形成することができる。
なお、浅溝７０の深さＤＧは、一定の場合に限らず、浅溝７０の長手方向に深さが変化するように構成してもよい。

上述したリーディングステップ５２は、スライダ３１の流入側のステップ部を構成し、また、中間クロスレール５６、サイドパッド５８、およびトレーリングステップ６２は、スライダ３１の流出側のステップ部を構成している。そして、深溝５０は、流入側ステップ部と流出側ステップ部との間に設けられている。

図７は、磁気ディスクの変形（径方向位置）による等価的なクラウン／キャンバ変化を示す図である。図示のように、等価的なクラウン／キャンバは、磁気ディスクの内周側ほど大きくなる。そのため、磁気ディスクに変形が生じた場合、磁気ディスク内周領域では、スライダの浮上姿勢が大きく崩れ、スライダは磁気ディスクに接触する可能性がある。図８（ａ）に示すように、通常、磁気ヘッドの浮上姿勢は、スライダ３１のトレーリング端４２ｂ側が磁気ディスク１６に近く、リーディング端４２ａ側がより多く磁気ディスク１６から離間した傾斜状態となる。また、スライダ３１のＡＢＳ４０にクラウンが付いている。そのため、図８（ｂ）に示すように、外部衝撃等に起因して磁気ディスク１６が磁気ヘッド１７に対して凸状に変形した場合、磁気ディスクの変形に等価クラウンが足されることになり、スライダ３１の中央部とトレーリングパッドとの間の領域、ここでは、スライダ３１のセンターレール６８付近が最も磁気ディスク表面に接近する、すなわち、センターレール付近の浮上量が最少となる。

これに対して、前述したように、本実施形態に係る磁気ヘッド１７によれば、スライダ３１のセンターレール６８に浅溝７０を設けているため、浅溝７０の深さ分だけ、磁気ディスク１６表面とスライダ３１との間の隙間を拡大することができる。これにより、磁気ディスク１６が変形した場合でも、スライダ３１と磁気ディスク１６との接触、衝突を防止することができる。なお、浅溝７０の深さＤＧが２〜３０ｎｍの場合、浅溝７０がスライダ３１の浮上姿勢に大きな影響を及ぼすことはない。

図９は、本実施形態に係る磁気ヘッドと比較例に係る磁気ヘッド（浅溝７０が設けられていない磁気ヘッド）とについて、耐衝撃力を比較して示す図である。図示のように、比較例の磁気ヘッドでは、印加加速度７０Ｇの外部衝撃が作用した際に磁気ヘッドが磁気ディスクに接触するのに対して、本実施形態に係る磁気ヘッドでは、印加加速度９０Ｇ程度まで磁気ディスクとの接触が生じないことが分かる。本実施形態に係る磁気ヘッドによれば、比較例に対して、２８％程度、耐衝撃力が向上している。
以上のことから、本実施形態によれば、記録媒体との接触を抑制し、信頼性の向上を図ることが可能な磁気ヘッドおよびこれを備える磁気ディスク装置を得ることができる。
なお、スライダは、センターレールを有するＡＢＳ４０を備えたものに限定されない。浅溝７０は、センターレールに限らず、スライダ中央部とトレーリングパッドとの間の領域に設けられていればよい。

次に、他の実施形態に係る磁気ヘッドについて説明する。なお、以下に説明する他の実施形態において、前述した第１の実施形態と同一の部分には、同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略あるいは簡略化し、第１の実施形態と異なる部分を中心に詳しく説明する。
（第２の実施形態）
図１０は、第２の実施形態に係る磁気ヘッドを模式的に示す図である。図示のように、第２の実施形態では、スライダ３１の中央部とトレーリングパッドとの間の領域をスライダ３１の全幅に亘って研磨等により削り、斜めに傾斜した傾斜面７０Ａを形成している。削り量は、最大位置で、２〜３０ｎｍとしている。
上記の構成においても、傾斜面７０Ａの削り量分だけ、磁気ディスク１６表面とスライダ３１との間の隙間を拡大することができ、スライダ３１と磁気ディスク１６との接触、衝突を防止することができる。傾斜面７０Ａの削り量が２〜３０ｎｍの場合、スライダ３１の浮上姿勢に大きな影響を及ぼすことはない。

（第３の実施形態）
図１１は、第３の実施形態に係る磁気ヘッドのＡＢＳ側を示す斜視図、図１２は、第３の実施形態に係る磁気ヘッドのＡＢＳ側を示す平面図である。
外部衝撃等に起因して磁気ディスク１６が磁気ヘッド１７に対して凹状に変形した場合、磁気ディスクの変形に等価クラウンが足されることになり、スライダ３１の両側縁部、すなわち、サイドパッド５８の領域付近が最も磁気ディスク表面に接近する、すなわち、サイドパッド５８の領域付近の浮上量が最少となる。そこで、第３の実施形態では、図１１および図１２に示すように、各サイドパッド５８の外側角部、すなわち、スライダ３１の側面４２ｃ側かつトレーリング端面４２ｂ側に位置する外側角部、に浅溝７４を設けている。浅溝７４は、サイドパッド５８の上記外側角部を除去あるいは切除するとこにより、形成される。浅溝７４の深さは、２ないし３０ｎｍとしている。浅溝７４は、ＡＢＳ４０に対して垂直に形成してもよいし、あるいは、ＡＢＳ４０に対して斜めに傾斜するように形成してもよい。

上記構成によれば、サイドパッド５８に浅溝７４を設けることにより、浅溝７４の深さ分だけ、磁気ディスク１６表面とスライダ３１との間の隙間を拡大することができる。これにより、磁気ディスク１６が凹状に変形した場合でも、スライダ３１と磁気ディスク１６との接触、衝突を防止することができる。浅溝７４の深さが２〜３０ｎｍの場合、浅溝７４がスライダ３１の浮上姿勢に大きな影響を及ぼすことはない。
なお、図示の例では、センターレール６８にも浅溝７０を設ける構成としているが、これに限定されることはない。センターレール６８の浅溝７０を無くし、サイドパッド５８のみに浅溝７４を設ける構成としてもよい。この場合でも、外部衝撃に対する磁気ヘッドの耐衝撃力を向上することが可能である。

なお、本発明の実施形態および種々の変形例を説明したが、これらの実施形態および変形例は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
例えば、磁気ヘッドのスライダは、ペムトスライダに限らず、ピコスライダ、フェムトスライダ、あるいは、より寸法の大きなスライダにも適用可能である。スライダにおける、トレーリングステップ、トレーリングパッド、その他の部分の形状、寸法等は、必要に応じて変更可能である。ディスクドライブにおいて、磁気ディスクは、３．５インチに限らず、他の大きさの磁気ディスクとしてもよい。磁気ディスクは２枚に限らず、１枚あるいは３枚以上としてもよく、磁気ヘッドの数も磁気ディスクの設置枚数に応じて増減すればよい。

１０…筐体、１２…ベース、１６…磁気ディスク、１７…磁気ヘッド、
３１…スライダ、３０…ヘッドジンバルアッセンブリ、３３…ヘッド部、
４０…空気支持面（ＡＢＳ）、４２ｃ…側面、５０…深溝、
５２…リーディングステップ、５６…中間クロスレール、
６２…トレーリングステップ、６８…センターレール、７０、７４…浅溝、
７０Ａ…傾斜面

Claims (6)

1. 一対の側縁を有する空気支持面と、前記空気支持面の一対の側縁に沿った一対の側面と、リーディング側端面と、トレーリング側端面とを有するスライダと、
   前記スライダに設けられデータの処理を行うヘッド部と、を備え、
   前記スライダは、前記空気支持面のリーディング側端部に設けられたリーディングステップと、前記空気支持面のトレーリング側端部に設けられ、前記ヘッド部を内蔵するトレーリングステップと、前記リーディングステップとトレーリングステップとの間に形成され、前記空気支持面および前記一対の側面に開口した深溝と、前記深溝と前記トレーリングステップとの間の領域で前記一対の側縁間の中央領域に設けられた浅溝あるいは傾斜面と、を有している磁気ヘッド。
2. 前記スライダは、前記空気支持面の中央部から前記トレーリングステップまで延在するセンターレールと、前記センターレールに設けられた浅溝と、を有している請求項１に記載の磁気ヘッド。
3. 前記浅溝の深さは、２ないし３０ｎｍである請求項１又は２に記載の磁気ヘッド。
4. 前記スライダは、前記深溝と前記トレーリングステップとの間の領域で、前記空気支持面の一対の側縁の近傍に設けられた一対のサイドパッドと、各サイドパッドの側縁側かつトレーリング端側の外側角部に設けられた浅溝と、を有している請求項１に記載の磁気ヘッド。
5. 前記浅溝の深さは、２ないし３０ｎｍである請求項４に記載の磁気ヘッド。
   ンブリ。
6. 回転自在に設けられたディスク状の記録媒体と、
   前記記録媒体に対して情報を処理する請求項１から５のいずれか１項に記載の磁気ヘッドと、を備える磁気ディスク装置。

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