JP2012119025A - ヘッドおよびこれを備えたディスク装置 - Google Patents

Abstract

【課題】信頼性および安定性の向上したヘッド、およびこのヘッドを備えたディスク装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、ヘッド４０は、記録媒体の表面に対向する支持面４３を有し、記録媒体表面と支持面との間に生じる空気流により浮上するヘッドスライダ４２と、記空気流に対してヘッドスライダの流出側端部内に設けられた記録素子６５および再生素子６６と、を備えている。ヘッドスライダの支持面は、空気流に対して流入側端部に設けられ圧力を発生する第１圧力発生部５３と、流出側端部に設けられ、記録素子および再生素子の一部が露出する第２圧力発生部６３と、支持面の幅方向中央部で第１圧力発生部と第２圧力発生部との間に設けられ、第１圧力発生部よりも高く第２圧力発生部よりも低い圧力を発生する第３圧力発生部７２と、を備えている。
【選択図】図３

Description

ここで述べる実施形態は、磁気ディスク装置等のディスク装置に用いるヘッド、このヘッドを備えたディスク装置に関する。

ディスク装置として、例えば、磁気ディスク装置は、ケース内に配設された記録媒体としての磁気ディスクと、磁気ディスクを支持および回転するスピンドルモータと、磁気ディスクに対して情報のリード／ライトを行う磁気ヘッドと、磁気ヘッドを磁気ディスクに対して移動自在に支持したキャリッジアッセンブリと、を備えている。磁気ヘッドは、キャリッジアッセンブリのサスペンションに取り付けられたヘッドスライダ、およびヘッドスライダに設けられたヘッド部を有し、ヘッド部は、再生素子、記録素子を含んで構成されている。

ヘッドスライダは、磁気ディスクの記録面と対向する支持面（エアベアリングサーフェース：ＡＢＳ）を有している。ヘッドスライダは、サスペンションにより、磁気ディスクの磁気記録層に向う方向に所定のヘッド荷重が印加されている。磁気ディスク装置の動作時、回転する磁気ディスクとヘッドスライダとの間に空気流が発生し、ヘッドスライダの支持面には、空気流体潤滑の原理により、スライダを磁気ディスク記録面から浮上させる力（正圧）が作用する。この浮上力とヘッド荷重とを釣り合わせることにより、ヘッドスライダは磁気ディスクの記録面と隙間を保って浮上する。ヘッドスライダの浮上量の変動を防止するため、ヘッドスライダの対向面中央付近に負圧キャビティや動圧発生溝を形成したディスク装置が知られている。

特開平１１−２７３０４６号公報 特開２００９−２２３９５４号公報

磁気ディスク装置はクリーンルーム内で組み立てられるが、一般に、クリーンルーム内の空気には、トルエン、キシレン等の低沸点の有機化合物から、塩化ビニル、二トロセルローズ、メタクリル酸樹脂及び塩化ゴム等の可塑剤として使用されているジオクチルフタレート（ＤＯＰ）など高沸点化合物まで複数の化合物がガス化して存在している。

これらのガス化した有機化合物がケース内に残った状態で磁気ディスク装置が組み立てられた場合、装置の動作中にヘッドスライダの素子部が高圧になった際、これらの有機系化合物が液化して素子部に付着するおそれがある。有機系化合物が素子部に付着すると、磁気ディスク装置が稼動していない状態では素子部に固着し、復旧不能な継続的なハイフライライト（ＨＦＷ）等の障害の原因となる。

この発明は以上の点に鑑みなされたもので、その課題は、信頼性および安定性の向上したヘッド、およびこのヘッドを備えたディスク装置を提供することにある。

実施形態によれば、ヘッドは、記録媒体の表面に対向する支持面を有し、前記記録媒体表面と支持面との間に生じる空気流により浮上するヘッドスライダと、前記空気流に対して前記ヘッドスライダの流出側端部に設けられた記録素子および再生素子と、を備えている。ヘッドスライダの支持面は、空気流に対して流入側端部に設けられ圧力を発生する第１圧力発生部と、流出側端部に設けられ、前記記録素子および再生素子の一部が露出する第２圧力発生部と、支持面の幅方向中央部で第１圧力発生部と第２圧力発生部との間に設けられ、第１圧力発生部よりも高く第２圧力発生部よりも低い圧力を発生する第３圧力発生部と、を備えている。

図１は、第１の実施形態に係るＨＤＤを示す平面図。 図２は、前記ＨＤＤにおける磁気ヘッド部分を拡大して示す側面図。 図３は、前記磁気ヘッドのヘッドスライダの支持面側を示す斜視図。 図４は、前記スライダの支持面側を示す平面図。 図５は、図４の線Ａ−Ａに沿ったヘッドスライダの断面図。 図６は、前記ヘッドスライダの第３圧力発生部を拡大して示す斜視図。 図７は、浮上状態の磁気ヘッドを示す側面図。 図８は、前記ヘッドスライダの長手方向に沿った圧力発生分布を示す図。 図９は、第２の実施形態に係る磁気ヘッドの第３圧力発生部を示す斜視図。 図１０は、第３の実施形態に係る磁気ヘッドの第３圧力発生部を示す斜視図。

以下、図面を参照しながら、ディスク装置をハードディスクドライブ（以下、ＨＤＤと称する）に適用した実施形態について詳細に説明する。

図１は、筐体のトップカバーを取外して、ＨＤＤの内部構造を示している。図１に示すように、ＨＤＤは筐体１０を備えている。筐体１０は、上面の開口した矩形箱状のベース１２と、複数のねじによりベースにねじ止めされてベースの上端開口を閉塞する図示しないトップカバーと、を有している。

筐体１０内には、記録媒体としての磁気ディスク１６、および磁気ディスクを支持および回転させる駆動部としてのスピンドルモータ１８が設けられている。スピンドルモータ１８は、ベース１２の底壁上に配設されている。磁気ディスク１６は、例えば、直径６５ｍｍ（２．５インチ）に形成され、上面および下面に磁気記録層を有している。また、磁気ディスク１６の表面には、１ｎｍ程度の厚さで、潤滑剤、例えば、オイルが塗布されている。磁気ディスク１６は、スピンドルモータ１８の図示しないハブの外周に嵌合されているとともに、クランプばね１７によってハブ上に固定されている。これにより、磁気ディスク１６は、ベース１２の底壁と平行に位置した状態に支持されている。磁気ディスク１６は、スピンドルモータ１８により所定の速度、例えば、５４００ｒｐｍあるいは７２００ｒｐｍの速度で矢印Ｂ方向に回転される。

筐体１０内には、磁気ディスク１６に対して情報の書き込み、読み出しを行なう複数の磁気ヘッド４０、これらの磁気ヘッドを磁気ディスク１６に対して移動自在に支持したキャリッジアッセンブリ２２、キャリッジアッセンブリを回動および位置決めするボイスコイルモータ（以下、ＶＣＭと称する）２４、磁気ヘッドが磁気ディスクの最外周に移動した際、磁気ヘッドを磁気ディスクから離間した退避位置に保持するランプロード機構２５、およびヘッドＩＣ等を有する基板ユニット２１等が収納されている。

ベース１２の底壁外面には、図示しないプリント回路基板がねじ止めされている。このプリント回路基板は、基板ユニット２１を介して、スピンドルモータ１８、ＶＣＭ２４、および磁気ヘッド４０の動作を制御する。

キャリッジアッセンブリ２２は、ベース１２の底壁上に固定された軸受部２６と、軸受部から延出した複数のアーム３２と、を備えている。これらのアーム３２は、磁気ディスク１６の表面と平行に、かつ、互いに所定の間隔を置いて位置しているとともに、軸受部２６から同一の方向へ延出している。キャリッジアッセンブリ２２は、弾性変形可能な細長い板状のサスペンション３８を備えている。サスペンション３８は、板ばねにより構成され、その基端がスポット溶接あるいは接着によりアーム３２の先端に固定され、アームから延出している。各サスペンション３８は対応するアーム３２と一体に形成されていてもよい。

図２に示すように、各磁気ヘッド４０は、ほぼ直方体形状のヘッドスライダ４２とこのヘッドスライダに設けられた記録再生用のヘッド部４４とを有し、サスペンション３８の先端部に設けられたジンバル４１に固定されている。サスペンション３８において、ジンバル４１のヘッド取付け部と対向する位置、すなわち、磁気ヘッド４０の中心部と対向する位置、に、ディンプル、ここでは、磁気ヘッド側に突出するほぼ半球状の突起３７が形成されている。突起３７は、ジンバル４１を介してヘッドスライダ４２の平面のほぼ中央部に当接している。ジンバル４１は、自身の弾性により、突起３７に弾性的に押し付けられている。これにより、ジンバル３６のヘッド取付け部および磁気ヘッド４０は、突起３７の回りで、ピッチ方向、ロール方向に変位し、あるいは、上下方向に変位することができる。更に、磁気ヘッド４０はサスペンション３４のばね力により磁気ディスク１６表面に向かって所定のヘッド荷重Ｌが印加される。

図１に示すように、キャリッジアッセンブリ２２は、軸受部２６からアーム３２と反対の方向へ延出した支持枠４６を有し、この支持枠により、ＶＣＭ２４の一部を構成するボイスコイル４７が支持されている。支持枠４６は、合成樹脂によりボイスコイル４７の外周に一体的に成形されている。ボイスコイル４７は、ベース１２に固定された一対のヨーク４９間に位置し、これらのヨーク、および一方のヨークに固定された図示しない磁石とともにＶＣＭ２４を構成している。ボイスコイル４７に通電することにより、軸受部２６の回りでキャリッジアッセンブリ２２が回動し、磁気ヘッド４０は磁気ディスク１６の所望のトラック上に移動および位置決めされる。

ランプロード機構２５は、ベース１２の底壁に設けられているとともに磁気ディスク１６の外側に配置されたランプ５１と、各サスペンション３８の先端から延出したタブ４８と、を備えている。キャリッジアッセンブリ２２が、磁気ディスク１６の外側の退避位置まで回動する際、各タブ４８は、ランプ５１に形成されたランプ面と係合し、その後、ランプ面の傾斜によって引き上げられ、磁気ヘッド４０のアンロード動作を行う。

次に、磁気ヘッド４０の構成について詳細に説明する。図３は磁気ヘッドのヘッドスライダを示す斜視図、図４はヘッドスライダの平面図、図５は図４の線Ａ−Ａに沿った磁気ヘッドの断面図、図６はヘッドスライダの中央ステップ部分を拡大して示す斜視図である。
図３ないし図５に示すように、磁気ヘッド４０は浮上型のヘッドとして構成され、ヘッドスライダ４２を有している。ヘッドスライダ４２は、例えば、アルミナとチタンカーバイドの焼結体（アルチック、Ａｌ₂Ｏ₃−ＴｉＣ）で形成されたスライダ本体４５と、スライダ本体４５の流出側端に薄膜で形成されたヘッド部４４とを有している。ヘッドスライダ４２は、全体としてほぼ直方体状に形成され、磁気ディスク１６の表面に対向する矩形状の支持面（エアベアリングサーフェース、ＡＢＳ）４３、支持面と直交して延びた流入側端面４２ａ、支持面と直交して延びた流出側端面４２ｂ、およびそれぞれ支持面と直交して流入側端面４２ａと流出側端面４２ｂとの間を延びた一対の側面４２ｃを有している。

支持面４３の長手方向を第１方向Ｘ、これと直交する幅方向を第２方向Ｙとする。ヘッドスライダ４２は、第１方向Ｘの長さＬが１．２５ｍｍ以下、例えば、０．８５ｍｍ、第２方向Ｙに沿った幅Ｗが１．０ｍｍ以下、例えば、０．７ｍｍに形成され、いわゆるフェムトスライダとして構成されている。

ヘッドスライダ４２は、磁気ディスク１６の回転によってディスク表面と支持面４３との間に生じる空気流Ｃ（図２、図７参照）により浮上する。ＨＤＤの動作時、ヘッドスライダ４２の支持面４３はディスク表面に対し常に隙間を保って対向している。ここで、空気流Ｃの方向は、磁気ディスク１６の回転方向Ｂと一致している。ヘッドスライダ４２は、磁気ディスク１６表面に対し、支持面４３の第１方向Ｘが空気流Ｃの方向とほぼ一致するように配置されている。

図３ないし図５に示すように、支持面４３のほぼ中央部に、第２方向Ｙの全長に亘って延びる帯状の負圧発生溝５０が形成されている。ヘッドスライダ４２の厚さを、例えば０．２３ｍｍとした場合、負圧発生溝５０の深さは８００〜１５００ｎｍ、例えば１５００ｎｍに形成されている。負圧発生溝５０を設けることにより、ＨＤＤで実現される全てのヨー角において、支持面４３中心部で負圧を発生させることができる。

支持面４３において、流入側端部には、ほぼ矩形状のリーディングステップ５２が形成されている。リーディングステップ５２は、負圧発生溝５０の底面に対して突出して設けられ、かつ、空気流Ｃに対して負圧発生溝５０の流入側に位置している。

磁気ヘッド４０のピッチ角を維持するため、リーディングステップ５２上には、空気膜によってヘッドスライダ４２を支えるリーディングパッド５３が突設されている。リーディングパッド５３は、第２方向Ｙに沿ってリーディングステップ５２の幅方向全域に渡り連続的に延びているとともに、ヘッドスライダ４２の流入側端面４２ａから下流側にずれた位置に形成されている。リーディングパッド５３およびリーディングステップ５２は、第１圧力発生部を構成している。

支持面４３のほぼ中央部から流出端側に渡って、凹所からなる負圧キャビティ５４が形成されている。負圧キャビティ５４は、負圧発生溝５０の流出端側に位置し、ヘッドスライダ４２の流出側端面４４ｂに向かって開放している。負圧キャビティ５４は、負圧発生溝５０よりも浅く形成され、すなわち、負圧発生溝５０の底面よりも高い位置に形成されている。

支持面４３において負圧キャビティ５４を囲うようにリブ状の中間ステップ５６、一対のサイドステップ５８、および一対のスカート６０が形成されている。中間ステップ５６は、負圧発生溝５０と負圧キャビティ５４との間に位置し、第２方向Ｙに沿って支持面４３の両側縁間を延びている。中間ステップ５６は、負圧キャビティ５４の底面に対して突出して設けられ、かつ、空気流Ｃに対して負圧キャビティ５４の流入側に位置している。

一対のサイドステップ５８は、支持面４３の各側縁に沿って形成され、中間ステップ５６から支持面４３の流出端側に延出している。これらのサイドステップ５８は負圧キャビティ５４の底面に対して突出している。

一対のスカート６０は支持面４３の各側縁に沿って形成され、それぞれ第１方向Ｘに沿ってサイドステップ５８から支持面４３の流出側端近傍まで直線的に延びている。各スカート６０は、負圧キャビティ５４の底面に対して突出して設けられ、かつ、サイドステップ５８よりも低く形成されている。

中間ステップ５６、一対のサイドステップ５８、および一対のスカート６０は、ヘッドスライダ４２の中心軸線Ｄに対してほぼ対称に設けられ、全体として、上流側が閉塞され、下流側に向かって開放したほぼＵ字形状に形成されている。そして、中間ステップ５６、一対のサイドステップ５８、および一対のスカート６０により負圧キャビティ５４が規定されている。

ヘッドスライダ４２は、空気流Ｃの方向に対して、支持面４３の流出側の端部に形成されたトレーリングステップ６２を有している。トレーリングステップ６２は、負圧キャビティ５４の底面に対して突出して形成され、その突出高さは、リーディングステップ５２と同一の高さに形成されている。トレーリングステップ６２は、支持面４３の第２方向Ｙほぼ中央に位置している。トレーリングステップ６２の上面には、空気膜によってヘッドスライダ４２を支えるトレーリングパッド６３が突設されている。トレーリングパッド６３は、リーディングパッド５３、センタステップ５６、サイドステップ５８と同一高さレベルに形成されている。トレーリングステップ６２およびトレーリングパッド６３は、第２圧力発生部を構成している。

磁気ヘッド４０のヘッド部４４は、磁気ディスク１６に対して情報の記録再生を行う記録素子６５および再生素子６６を有している。これら記録素子６５および再生素子６６は、空気流Ｃの方向に対して、ヘッドスライダ４２の下流側端部内、ここでは、トレーリングステップ６２内に埋め込まれている。記録素子６５および再生素子６６の先端部は、トレーリングパッド６３の位置で支持面４３に露出している。

ヘッドスライダ４２の支持面４３は、第１方向Ｘに沿って、中間ステップ５６からトレーリングステップ５８まで延びる細長い一対のセンタレール６８を有している。一対のセンタレール６８は、ヘッドスライダ４２の中心軸線Ｄの両側に位置し、第２方向Ｙに隙間を置いて、互いに対向している。センタレール６８は、負圧キャビティ５４の底面からの高さが、中間ステップ５６およびトレーリングパッド６３の高さと同一に形成されている。一対のセンタレール６２間に、空気流をトレーリングステップ６２およびトレーリングパッド６３に導くガイド溝７０が形成されている。このガイド溝７０は、負圧発生溝５０に開口している。

図３ないし図６に示すように、ヘッドスライダ４２の支持面４３は、第２方向Ｙの中央部で、トレーリングパッド６３とリーディングパッド５３との間、すなわち、空気流Ｃに対してトレーリングパッド６３よりも上流側に設けられた第３圧力発生部７２を備えている。第３圧力発生部７２は、ガイド溝７０の底面上に立設されたほぼ矩形状のセンタステップ７４と、このセンタステップ上に突設されたほぼ矩形状のセンタパッド７６とを有している。センタステップ７４は、センタレール６８およびトレーリングステップ６２に接することなく、これらから分離した独立の島状に形成されている。

第３圧力発生部７２は、ガイド溝７０内で、ヘッドスライダ４２の中心軸線Ｄ上に設けられ、更に、ヘッドスライダ４２のピッチ方向およびロール方向の揺動中心となるサスペンションの突起３７（図２、図７参照）にできるだけ近い位置に設けられている。

センタパッド７６は、負圧キャビティ５４の底面から高さが、センタレール６８およびトレーリングパッド６３の高さよりも高く形成されている。センタパッド７６は、センタステップ７４の上面の面積よりも小さい断面形状に形成されている。空気流Ｃに対しセンタパッド７６の下流側において、センタステップ７４の上面とセンタパッド７６とにより形成される肩部８０に、後述する液化した有機系コンタミネッションをトラップし保持する。

図５に示すように、ヘッドスライダ４２内で、センタステップ７４の近傍にヒータ７７が埋め込まれている。ヒータ７７に通電して第３圧力発生部７２を加熱し熱膨張させることにより、第３圧力発生部７２の突出高さを調整することができる。すなわち、第３圧力発生部７２の突出高さを調整することにより、第３圧力発生部７２での発生圧力を調整することができる。

以上のように構成されたＨＤＤによれば、磁気ヘッド４０は、磁気ディスク１６の回転によって磁気ディスク表面と支持面４３との間に生じる空気流Ｃにより浮上する。これにより、ＨＤＤの動作時、ヘッドスライダ４２の支持面４３は磁気ディスク表面に対し常に隙間を保って対向している。図７に示すように、磁気ヘッド４０は、ヘッド部４４の記録素子、再生素子部が最も磁気ディスク表面に接近した傾斜姿勢をとって浮上する。この浮上状態において、ヘッドスライダ４２のセンタパッド７６は、記録素子、再生素子部よりも磁気ディスク表面から距離Ｅだけ離間して位置する。

磁気ヘッド４０は、ヘッドスライダ４２の支持面４３に負圧発生溝５０および負圧キャビティ５４を設けることにより、ＨＤＤで実現される全てのヨー角において、支持面４３中心部で負圧を発生させることができる。また、空気流Ｃがヘッドスライダ４２の支持面４３に沿って流れることにより、リーディングパッド５３、センタパッド７６、トレーリングパッド６３の位置でそれぞれ正圧が発生する。図８は、支持面４３の長手方向、つまり、第１方向Ｘに沿った圧力発生分布を示している。第３圧力発生部７２のセンタパッド７６では、リーディングパッド５３よりも高い圧力が発生し、記録素子および再生素子が露出しているトレーリングパッド６３では、第３圧力発生部７２よりも更に高い圧力が発生する。

このように、空気流Ｃに対して、記録素子および再生素子が露出しているトレーリングパッド６３よりも上流側に、流入端側のリーディングパッド５３よりも高い圧力を発生する第３圧力発生部７２を設けることにより、予め流入空気を１気圧以上の高圧にさらし、空気中に気体状態で含まれる有機系化合物を液化させ、第３圧力発生部７２の肩部８０に付着、保持する。第３圧力発生部７２は、独立して設けられているため、液化した有機系化合物が記録素子、再生素子に到達することは無い。第３圧力発生部７２を通過した空気は、この第３圧力発生部７２で一度有機系化合物を析出させているため、有機系化合物の濃度が低下した空気がトレーリングパッド６３に到達する。従って、高い圧力が発生するトレーリングパッド６３および素子部で析出する有機系化合物の量は大幅に低減する。このように、気体状態では捕集が困難な有機系化合物が、素子部の設けられているトレーリングパッドに付着するのを抑制することができる。

第３圧力発生部７２で予め析出させて除去する有機系化合物の量は、ＨＤＤ内の有機系化合物濃度と第３圧力発生部７２で発生する圧力とに依存する。圧力が高いほど多くの有機系化合物をあらかじめ除去することができる。例えば、１気圧環境下のＨＤＤ稼動温度で有機系化合物が飽和状態の場合、気圧が２気圧になるだけで有機系化合物の半分は第３圧力発生部７２で析出することになる。図８に示す例の場合、第３圧力発生部７２で発生する圧力は１０気圧であるため、素子部、つまり、トレーリングパッド６３に到達する有機系化合物の量は１／１０に低減する。更に、ヒータ７７により第３圧力発生部７２の突出高さを調整することにより、発生圧力を増減し、有機系化合物の捕獲量を調整することができる。

なお、第３圧力発生部７２は、素子部の上流側で空気流を高圧に晒すことが目的であるため、ヘッドスライダ４２の浮上姿勢に影響を与えない程度に小さく形成することができる。また、第３圧力発生部７２は、ヘッドスライダ４２の中心軸線Ｄ上で、かつ、ヘッドスライダの揺動中心の近傍に設けられているため、第３圧力発生部７２での発生圧力がヘッドスライダ４２の浮上姿勢に与える影響を小さくすることができる。
以上のことから、有機系化合物等のコンタミネーションの素子部への付着を抑制し、信頼性および安定性の向上したヘッド、およびこのヘッドを備えたＨＤＤが得られる
第３圧力発生部７２を構成するセンタパッド７６は、矩形状に限らず、他の形状としてもよい。例えば、図９に示す第２の実施形態のように、センタパッド７６は、空気流Ｃに対して、上流側に矩形状の凹所７６ａを有するほぼＵ字形状としても良い。あるいは、図１０に示す第３の実施形態のように、センタパッド７６は、空気流Ｃに対して、上流側に円弧状の凹所７６ａを有する形状としても良い。このように、センタパッド７６を上流側に凹所７６ａを有する形状とすることにより、より正圧を発生し易くすることができる。

本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。

例えば、ヘッドスライダは、フェムトスライダに限らず、ピコスライダ、ペムトスライダ、あるいは、より寸法の大きなスライダにも適用可能である。ディスク装置において、磁気ディスクの枚数は１枚に限らず、増加可能である。

１２…ベース、１６…磁気ディスク、１８…スピンドルモータ
２２…キャリッジアッセンブリ、４０…磁気ヘッド、４２…ヘッドスライダ、
４３…支持面、４４…ヘッド部、５０…負圧発生溝、５２…リーディングステップ、
５３…リーディングパッド、５４…負圧キャビティ、５８…サイドステップ、
６０…スカート、６２…トレーリングステップ、６３…トレーリングパッド、
６５…記録素子、６６…再生素子、６８…センタレール、７０…ガイド溝、
７２…第３圧力発生部、７４…センタステップ、７６…センタパッド

Claims (9)

1. 記録媒体の表面に対向する支持面を有し、前記記録媒体表面と支持面との間に生じる空気流により浮上するヘッドスライダと、
   前記空気流に対して前記ヘッドスライダの流出側端部内に設けられた記録素子および再生素子と、を備え、
   前記ヘッドスライダの支持面は、前記空気流に対して流入側端部に設けられ圧力を発生する第１圧力発生部と、流出側端部に設けられ、前記記録素子および再生素子の一部が露出する第２圧力発生部と、前記支持面の幅方向中央部で前記第１圧力発生部と第２圧力発生部との間に設けられ、前記第１圧力発生部よりも高く前記第２圧力発生部よりも低い圧力を発生する第３圧力発生部と、を備えているヘッド。
2. 前記第３圧力発生部は、前記支持面において、前記第２圧力発生部から分離して設けられている請求項１に記載のヘッド。
3. 前記ヘッドスライダの支持面は、凹所により規定された負圧キャビティを有し、
   前記第１圧力発生部は、前記負圧キャビティに対して前記空気流の流入側に設けられ、前記負圧キャビティの底面に対して突出しているリーディングパッドを有し、
   前記第２圧力発生部は、前記負圧キャビティに対して前記空気流の流出側に設けられ、前記負圧キャビティの底面に対して突出しているトレーリングパッドを有し、
   前記第３圧力発生部は、前記負圧キャビティの底面に対して突出して形成され、その突出高さは、前記トレーリングパッドの高さよりも高い請求項２に記載のヘッド。
4. 前記第３圧力発生部は、前記負圧キャビティの底面に対して突出したセンタステップと、前記センタステップ上に突設されたセンタパッドと、前記センタステップとセンタパッドとにより形成され前記空気流に対して前記センタパッドの下流側に位置する肩部を有している請求項３に記載のヘッド。
5. 前記ヘッドスライダの支持面は、それぞれ前記空気流の方向に沿って前記トレーリングパッドまで延びる一対のセンタレールと、前記センタレール間に形成され前記空気流を前記トレーリングパッドに導くガイド溝と、を有し、
   前記第３圧力発生部は、前記ガイド溝内に前記センタレールから離間して設けられている請求項３又は４に記載のヘッド。
6. 前記ヘッドスライダ内に設けられ、前記第３圧力発生部を加熱して第３圧力発生部の突出高さを調整するヒータを備えている請求項１ないし５のいずれか１項に記載のヘッド。
7. 前記第３圧力発生部は、前記ヘッドスライダの中心軸線上で、前記ヘッドスライダの揺動中心の近傍に設けられている請求項１ないし６のいずれか１項に記載のヘッド。
8. 記録媒体の表面に対向する支持面を有し、前記記録媒体表面と支持面との間に生じる空気流により浮上するヘッドスライダと、前記ヘッドスライダの流出側端部に設けられ上記記録媒体に対し情報の記録再生を行うヘッド部と、を備え、
   前記スライダの支持面は、
   凹所により形成され負圧を発生させる負圧キャビティと、
   前記負圧キャビティに対して前記空気流の流入側に位置したリーディングパッドと、
   前記負圧キャビティに対して前記空気流の流出側に位置し、前記ヘッド部を有するトレーリングパッドと、
   それぞれ前記空気流の方向に沿って前記トレーリングパッドまで延びる一対のセンタレールと、
   前記センタレール間に形成され空気流を前記トレーリングパッドに導くガイド溝と、
   前記ガイド溝内に設けられ、リーディングパッドで発生する圧力よりも高く前記トレーリングパッドで発生する圧力よりも低い圧力を発生する圧力発生部と、
   を備えているヘッド。
9. ディスク状の記録媒体と、
   前記記録媒体を回転する駆動部と、
   前記記録媒体に対し情報処理を行う請求項１ないし８のいずれか１項に記載のヘッドと、を備えるディスク装置。

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