JPH10283622A

JPH10283622A - ヘッドスライダ及びこれを用いた記録再生装置

Info

Publication number: JPH10283622A
Application number: JP9266522A
Authority: JP
Inventors: Atsushi Ito; 淳伊藤; Keiko Azuma; 圭子東
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1996-10-28
Filing date: 1997-09-30
Publication date: 1998-10-23

Abstract

(57)【要約】【課題】ヨー角依存性が少ないヘッドスライダ、及びこ
れを用いて記録密度の向上を図ることが可能な記録再生
装置の提供。【解決手段】回転可能な記録媒体であるディスク上で情
報の記録再生を行う記録再生ヘッド２０を搭載したヘッ
ドスライダ２０３ａにおいて、ヘッドスライダのディス
クと対向する面に形成され動圧を発生させるための動圧
発生部２ａ，２ｂと、ヘッドスライダのディスクと対向
する面内でディスクの回転方向に関してヘッドスライダ
の中央部分よりも後方側に設けられ負圧を発生させるた
めの負圧発生部８１ａ，８１ｂとを備えたことを特徴と
するヘッドスライダ及びこれを用いた記録再生装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、浮上量のばらつき
や変動もしくは接触力の変動を抑制することが可能なヘ
ッドスライダ、及びこれを用いて記録再生ヘッドの低浮
上化もしくは低荷重かつ安定な接触を実現し、記録密度
の向上を図ることが可能な記録再生装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、記録再生装置においては、高記録
密度化に関する技術開発が盛んに行われており、特に磁
気ディスク装置における高記録密度化は、ビット密度
（ディスク周方向の記録密度）の増加、並びにトラック
密度（ディスク半径方向の記録密度）の増加の両面から
進められている。ここで、ビット密度を増加させるため
の技術として、記録再生ヘッド（以下「ヘッド」とい
う）を搭載したヘッドスライダ（以下「スライダ」とい
う）の低浮上化は必須となっている。しかし、従来のス
ライダにあっては、シーク時の浮上量の動的変動によ
り、ヘッドの低浮上化が妨げられている。以下その要因
について詳説する。

【０００３】図３４は、従来のスライダを採用した磁気
ディスク装置の概要を示したものである。いわゆるテー
パフラットスライダに代表される従来のスライダ１０１
のほとんどは、記録媒体であるディスク１０２の内外周
速差による浮上量差をヨー角依存性を利用して抑制して
いる。ここで、ヨー角とはディスク回転方向とスライダ
１０１の長手方向とのなす角（図中ではθ）である。

【０００４】図３４に示すように、いわゆるロータリア
クチュエータ１０３を用いた磁気ディスク装置において
は、スライダ１０１とディスク１０２との配置をディス
ク内周側Ｘでヨー角が小さく、ディスク外周側Ｙでヨー
角が大きくなるように設定している。

【０００５】図３５は、従来のテーパフラットスライダ
の概略を示した斜視図である。図に示すようにスライダ
１０１は、ディスク回転方向Ａに沿って伸びる細長い形
状の動力発生部１０１ａを有し、この動力発生部１０１
ａと回転するディスク（図示せず）との間で発生する動
圧を利用して浮上する構成となっている。ディスクの回
転方向Ａに沿って伸びる動圧発生部１０１ａは、ヨー角
が生じてディスクの回転方向がＡからＢに変わると、圧
力発生効率が低下する性質を有する。これは、ヨー角が
小さいときにはスライダ前縁部から流れ込む空気流はス
ライダ全長に沿って比較的長い距離を流れることによっ
て動圧を発生するのに対し、ヨー角が大きくなると、空
気流のうちある部分はスライダ全長に達する以前に側縁
部から流出し、またある部分は側縁部から流入しスライ
ダ後端部から流出するいわゆる空気流の横漏れにより、
効果的に動圧を高めるのに必要な流動距離を確保するこ
とが困難となるためである。従って、従来のテーパフラ
ットスライダ１０１では、ディスク外周側Ｙに行くにつ
れてヨー角が大きくなると空気流の横漏れによりスライ
ダ１０１に作用する動圧発生効率が低下する。このた
め、ディスク外周側Ｙに行くにつれて周速が増加しても
スライダ１０１に作用する浮上力は変動せず、ディスク
１０２内外周における浮上量差を抑制することができ
る。

【０００６】ところで、図３６に示すように、スライダ
１０１のシーク時にはディスクの周速成分Ｖｒ（５〜１
０ｍ／ｓ）以外に、この周速成分Ｖｒにほぼ直交する方
向のシーク速度成分Ｖｓ（最大１ｍ／ｓ程度）が存在す
る。従って、この２つの速度成分の合成ベクトルＶは、
スライダ１０１の長手方向に対して５〜１０°程度の角
度をなす。即ち、シーク時には、等価的なヨー角変動
（図中ではθ’）が生じていることになる。従って、上
記したヨー角依存性と同様の原理により、シーク時には
空気流の横漏れにより動圧発生効率が低下するため、過
渡的な浮上量低下が発生する。その量は、通常１０ｎｍ
を越えることが実験的にも確認されており、シーク時に
おけるディスクとスライダとの衝突を避けるためには、
この浮上量低下をマージンとして見込んだスペーシング
（浮上隙間）を設定しなければならず、スライダの低浮
上化を妨げる大きな要因となっている。

【０００７】一方、現在、更なる記録密度の向上を目指
して、ヘッドをディスクに対して接触させ、実質的に浮
上量ゼロで記録再生を行う接触記録技術が検討されてい
る。この接触記録技術における最大の技術課題はヘッド
の摩耗低減である。そのためには、ヘッド−ディスク間
の接触力を低荷重かつ安定に維持することが必要とな
る。しかし、従来のスライダでは、シーク時に上記した
ような等価的なヨー角変動により接触力が変動するた
め、ヘッド−ディスク間に作用する接触力を低荷重かつ
安定に維持することはできない。また、ヘッドの摩耗が
進行した場合に、ディスク内外周で浮上姿勢が変化する
と、接触部が浮上してスペーシングが生じてしまうおそ
れもある。

【０００８】さらに、最近実用化され、今後主流となる
と考えられる磁気抵抗効果素子を用いたヘッド、いわゆ
るＭＲヘッドを採用する場合、記録ヘッドと再生ヘッド
を別個に設ける必要があり、通常２つのヘッドをトラッ
ク方向に並べて配置する。このような構成においては、
ディスク内外周でヨー角が大きく変化すると、２つのヘ
ッド間にトラック幅方向のずれ（トラックずれ）が生じ
る。この問題に対しては、リニアアクチュエータを用い
る方法や、アクチュエータアームの長さを最適化してヨ
ー角の変動を小さくする方法（特開平５−２９８６１５
号公報参照）等が検討されている。従って、ＭＲヘッド
を採用するスライダについても、ヨー角依存性を利用し
ないでディスク内外周での浮上量差を抑制する手法が必
要になる可能性が高い。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】以上説明したように、
従来のスライダでは、ヨー角依存性を利用してディスク
内外周での浮上量差を抑制するのに適した形状が採用さ
れているため、シーク時の等価的なヨー角変動により浮
上量の低下もしくは接触力の変動が生じる。従って、ヘ
ッドの低浮上化もしくはヘッド−ディスク間の低荷重か
つ安定な接触を実現することは困難である。

【００１０】また、接触記録においてヘッドの摩耗が進
行した場合に、ディスク内外周で浮上姿勢が変化する
と、接触部が浮上してスペーシングが生じてしまうおそ
れもある。

【００１１】さらに、ＭＲヘッドを採用するスライダに
おいては、ヨー角依存性を利用しないでディスク内外周
での浮上量差を抑制する手法に対する要請が強い。そこ
で、本発明では、上記課題を解決し、ヨー角依存性を利
用せずにディスク内外周での浮上量差もしくは接触力変
動を抑制できるスライダ形状を提案するとともに、かか
るスライダを用いて、ヘッドの低浮上化もしくはヘッド
−ディスク間の低荷重かつ安定な接触を実現し、記録密
度の向上を図ることが可能な記録再生装置を提供するこ
とを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、回転可能な記録媒体であるディスク上
で情報の記録再生を行う記録再生ヘッドを搭載したヘッ
ドスライダにおいて、前記ヘッドスライダの前記ディス
クと対向する面に形成され動圧を発生させるための動圧
発生部と、前記ヘッドスライダの前記ディスクと対向す
る面内で前記ディスクの回転方向に関して前記ヘッドス
ライダの中央部分よりも後方側に設けられ負圧を発生さ
せるための負圧発生部とを備えたことを特徴とするヘッ
ドスライダ及びこれを用いた記録再生装置を提供する。

【００１３】また上記目的を達成するために、本発明で
は、回転可能な記録媒体であるディスク上で情報の記録
再生を行う記録再生ヘッドを搭載したヘッドスライダに
おいて、前記ヘッドスライダの前記ディスクと対向する
面に設けられ、前記ディスクの回転方向に沿って配列さ
れる少なくとも２つの動圧発生部と、前記ヘッドスライ
ダの前記ディスクと対向する面に設けられ、前記動圧発
生部のうち前記ディスクの回転方向に関して最も前方に
位置する動圧発生部と該回転方向に関して最も後方に位
置する動圧発生部との間に位置し、前記ディスク方向に
最も突出して設けられる接地パッドとを有することを特
徴とするヘッドスライダ及びこれを用いた記録再生装置
を提供する。

【００１４】また上記目的を達成するために、本発明で
は、回転可能な記録媒体であるディスク上で情報の記録
再生を行う記録再生ヘッドを搭載したヘッドスライダに
おいて、前記ヘッドスライダの前記ディスクと対向する
面に設けられ、前記ディスクの回転方向に沿って溝を挟
んで配列される少なくとも２つの動圧発生部を有し、前
記動圧発生部のうち前記ディスクの回転方向に関して最
も後方に位置する動圧発生部の前記溝に面した前縁に
は、凹部が形成されていることを特徴とするヘッドスラ
イダ及びこれを用いた記録再生装置を提供する。

【００１５】ここで、前記負圧発生部は、前記動圧発生
部に切欠部を形成することにより構成されて成ることを
特徴としている。また前記動圧発生部は、前記ディスク
の回転方向に沿って少なくとも２つ設けられており、前
記負圧発生部は前記動圧発生部のうち前記ディスクの回
転方向に関して最も後方に位置する動圧発生部に設けら
れていることを特徴としている。

【００１６】また前記動圧発生部は、前記ディスクの回
転方向に沿った長さよりも該回転方向に略垂直な方向に
沿った長さの方が長い形状を有していることを特徴とし
ている。

【００１７】また前記前記動圧発生部のうち前記ディス
クの回転方向に関して最も後方に位置する動圧発生部に
は、負圧を発生させるための負圧発生部が設けられてい
ることを特徴としている。

【００１８】また前記負圧発生部は、正圧を発生させる
ための領域と負圧を発生されるための領域とを含んで成
ることを特徴としている。また前記動圧発生部のうち前
記ディスクの回転方向に関して最も後方に位置する動圧
発生部には、該回転方向にほぼ沿った第１の段差及び該
回転方向と略垂直な方向にほぼ沿った第２の段差を形成
する第１の切欠部が設けられていることを特徴としてい
る。

【００１９】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について、図
面を参照しつつ詳細に説明する。ここでは、記録再生装
置の一例として、磁気ディスク装置について説明する
が、本発明はこの場合に限定されず、ヘッドをスライダ
によって支持する形態を有する他の記録再生装置、例え
ばスライダに光学（対物）レンズを搭載して光学的に記
録再生を行う光ディスク装置や、また光ディスク装置の
中でも次世代の光記録として期待されているエバネッセ
ント光を利用したニア・フィールド光学応用記録に用い
られるソリッド・イマージョン・レンズ（Solid Immers
ion Lens：ＳＩＬ）、スーパー球状ＳＩＬ（Super-sphe
rical SIL ）、光ファイバ・プローブ等を本発明のスラ
イダに搭載して適用することも可能である。

【００２０】まず、本発明の実施形態の説明に先立ち、
磁気ディスク装置の概要について説明する。図１は、ロ
ータリーアクチュエータを用いた磁気ディスク装置の概
略を示したものである。ディスク２０１は、スピンドル
２０２に装着され、所定の回転数で回転される。ディス
ク２０１上を浮上もしくは接触した状態で情報の記録再
生を行う磁極を搭載したスライダ２０３は、薄板状のサ
スペンション２０４の先端に取付られている。サスペン
ション２０４は、図示しない駆動コイルを保持するボビ
ン部等を有するアクチュエータアーム２０５の一端に接
続されている。一方、アクチュエータアーム２０５の他
端には、リニアモータの一種であるボイスコイルモータ
２０６が設けられている。ボイスコイルモータ２０６
は、前記アクチュエータアーム２０５のボビン部に巻き
上げられた図示しない駆動コイルと、それを挟み込むよ
うに対向して配置された永久磁石及び対向ヨークからな
る磁気回路とから構成される。アクチュエータアーム２
０５は、固定軸２０７の上下２カ所に設けられた図示し
ないボールベアリングによって保持され、ボイスコイル
モータ２０６により回転揺動が自在にできるようになっ
ている。

【００２１】次に、スライダの浮上姿勢について、図２
を参照しつつ簡単に説明する。スライダ２０３は、動作
時にその姿勢をディスク２０１に倣わせるための図示し
ない可撓性部材（ジンバル）を介してサスペンションに
より保持されており、ディスク２０１の回転に伴って発
生する空気流の動圧によって、その全体もしくは一部が
ディスク２０１から浮上している。スライダ２０３の姿
勢は、何らかの製造誤差あるいは動圧の変動などによっ
て微妙に変化する場合があり、その変化はローリング及
びピッチングという形で規定できる。図２に示すよう
に、ローリングとは、スライダ２０３のディスク回転方
向Ａにほぼ沿った方向（長手方向）の軸線２０８回りの
回転Ｒをいい、ピッチングとは、スライダ２０３の長手
方向と直交する方向の軸線２０９回りの回転Ｐをいう。

【００２２】第１の実施形態本発明の第１の実施形態について、図３を参照しつつ説
明する。図３は、本発明の第１の実施形態にかかるスラ
イダ形状を示したもので、（ａ）は斜視図、（ｂ）は平
面図、（ｃ）は側面図である。ここで、（ｂ）は図示し
ないディスク表面と対向する側のスライダ面を示したも
のである。スライダ２０３ａは、ディスク回転方向Ａに
向かって後方に位置する端面に磁極２１を備えた記録再
生ヘッド２０を搭載している。

【００２３】前述したように、等価的なヨー角変動によ
り浮上量等が変動するのは、空気流の横漏れによる動圧
発生効率の低下が原因であり、これは、いわゆるテーパ
フラットスライダに代表されるディスク回転方向Ａに関
して長い動圧発生部をもつスライダ形状において顕著に
見られる現象である。かかるヨー角依存性を低減するた
めには、図示したように、スライダ２０３ａの動圧発生
部２ａ，２ｂをディスクの回転方向Ａに沿った長さより
も該回転方向Ａに略垂直な方向に沿った長さの方が長い
横長形状とすることが望ましい。しかし、スライダ２０
３ａの形状全体をかかる横長形状とすると、ピッチング
剛性の低下が問題となる。そこで、本実施形態では、横
長形状の動圧発生部２ａ，２ｂをディスク回転方向Ａに
関して前後に２つ配列する構成とする。ここで、前後の
動圧発生部２ａ，２ｂは、空気流による動圧がほとんど
発生しない深溝３によって隔てられる。深溝３は、機械
加工もしくはエッチングにより形成される。

【００２４】一方、単に横長形状の動圧発生部２ａ，２
ｂを複数有するスライダとしただけでは、ヨー角依存性
の低減により過渡的な浮上量変動を抑制することは可能
となるが、逆にディスク内外周で浮上量差が生じてしま
う。そこで、本実施形態においては、ヨー角依存性によ
らずにディスク内外周での浮上量差を抑制すべく、前方
の動圧発生部２ａの一部にディスク回転方向Ａに略垂直
な方向に沿った段差４を設けることにより、ランド部５
を形成することとした。ここで、段差４は、ランド部５
をマスキングし、エッチングにより形成する。段差４の
深さは、前方の動圧発生部２ａの後端部の浮上量とほぼ
等しい程度とすることが望ましく、非常に浅く形成すれ
ば良いことから、短時間で形成でき、かつマスキングも
容易である。また、ランド部５と後方の動圧発生部２ｂ
が同一平面をなすように形成すれば（図３（ｃ）参
照）、１回のエッチング工程で動圧発生部２ａ，２ｂを
形成することができるため、製作効率が向上し、大量生
産にも適した構造とすることができる。

【００２５】次に、本実施形態により、ディスク内外周
での浮上量差を抑制できる理由について説明する。後方
の動圧発生部２ｂはディスク回転方向Ａに関して短く、
該回転方向Ａに略垂直な方向に関して長い横長形状の平
面であり、動作時には、前方の動圧発生部２ａが浮上す
るのにともなって所定のピッチングを有して浮上する。

【００２６】図４は、後方の動圧発生部２ｂの後端のス
ペーシング（浮上隙間）を一定とした場合において、後
方の動圧発生部２ｂのピッチングに対する、浮上力をプ
ロットしたものである。図中で、○はスライダ２０３ａ
がディスク外周側に位置する場合、△はディスク内周側
に位置する場合の結果をそれぞれ示している。図示した
ように、浮上力はピッチングが一定であれば、ディスク
内外周ではほとんど差がない。即ち、後方の動圧発生部
２ｂにおける浮上力の変動は、ディスク内外周での周速
差よりも、ピッチングの変動によるところが大きいこと
がわかる。

【００２７】従って、ヨー角依存性によらずにディスク
内外周での浮上量差を抑制するためには、後方の動圧発
生部２ｂのピッチングがディスク内外周でほぼ一定とな
るようにすればよい。即ち、ディスク内外周で後方の動
圧発生部２ｂのピッチングが変化しないように、前方の
動圧発生部２ａの形状を設定することにより磁極２１が
設けられる後方の動圧発生部２ｂの後端におけるスペー
シングを、ディスク内外周における周速差によらず一定
に保つことが可能となる。

【００２８】図５は、スライダ２０３ａのピッチング及
び後端のスペーシングを一定とした場合に、図３に示し
たスライダ２０３ａの前方の動圧発生部２ａのディスク
回転方向Ａに関する全長Ｌとランド部５の同方向に関す
る長さＳとの比率に対する、ディスク内外周での前方の
動圧発生部に作用する浮上力の比をプロットしたもので
ある。ここでは、前方の動圧発生部２ａの全長Ｌや段差
４の深さ等の条件を変化させた４種類の形状に関する解
析結果を示した。４種類の形状の解析条件は、以下の通
りである。

【００２９】全長Ｌ段差の深さ □ ０．２ｍｍ０．１μｍ ○ ０．３ｍｍ０．１μｍ △ ０．４ｍｍ０．２μｍ ▽ ０．４ｍｍ０．３μｍ尚、スライダ２０３ａのスペーシングは５０ｎｍ、ピッ
チングは１００μｒａｄとしている。

【００３０】この結果によれば、全長Ｌに対してランド
部５の長さＳの比率が５０％以上となる第１の領域にお
いては、ディスク内周側における浮上力よりもディスク
外周側における浮上力の方が大きくなっている。一方、
前記比率が１０％より大きく５０％より小さい第２の領
域においては、ディスク内外周での浮上力変化が比較的
小さい。さらに、前記比率が１０％以下となる第３の領
域においては、ディスク内周側における浮上力よりもデ
ィスク外周側における浮上力の方が小さくなっている。

【００３１】図６は、上記した３つの領域に属する前方
の動圧発生部を採用した場合において、ディスクの周速
に対するスライダ２０３ａのピッチング及びヘッドが設
けられる後方の動圧発生部２ｂの後端におけるスペーシ
ングの変化をそれぞれ示したものである。ここで、縦軸
はディスク外周側でのピッチング及びスペーシングを基
準とした比で表示している。

【００３２】まず、第１の領域に属する前方の動圧発生
部（前記比率が５０％）を採用した場合は、ディスク内
外周において、ディスクの周速が上がるほど（ディスク
外周側へ行くほど）ピッチングが大きくなる（図中の
△）ので、それに伴ってスペーシングも増加し（図中の
黒三角）、ディスク内外周での浮上量一定化は実現でき
ない。

【００３３】また、第３の領域に属する前方の動圧発生
部（前記比率が１０％）を採用した場合は、ディスク内
外周において、ディスクの周速が上がるほど（ディスク
外周側へ行くほど）ピッチングが小さくなる（図中の
□）ので、それにともなってスペーシングも減少し（図
中の黒四角）、やはりディスク内外周での浮上量一定化
は実現できない。

【００３４】一方、第２の領域に属する前方の動圧発生
部（前記比率が３０％）を採用した場合は、ディスク内
外周において、ピッチング（図中の○）及びスペーシン
グ（図中の黒丸）はディスクの周速差によらずにほぼ一
定となるため、ディスク内外周での浮上量一定化が実現
できる。

【００３５】従って、前方の動圧発生部２ａに形成され
るランド部５のディスク回転方向Ａに関する長さを該動
圧発生部２ａの同方向Ａに関する全長の１０％より大き
く５０％より小さい範囲とすることにより、ディスク内
外周での浮上量一定化（浮上量の変動が±１０％程度は
許容できるものとする）を実現することが可能となる。
さらに、ランド部５の長さが動圧発生部２ａの全長のほ
ぼ３０％であれば、ディスク内外周での浮上量をほぼ完
全に一定とすることが可能となる。

【００３６】なお、ランド部５の長さが動圧発生部２ａ
の全長のほぼ３０％の場合は、段差を設けることにより
ランド部を形成したいわゆるステップ軸受における動圧
発生効率が最も高くなることが一般に知られている。従
って、この場合にはディスク内外周での浮上量一定化の
効果とともに、限られたスライダ面積内で効果的に十分
な動圧を発生させることが可能となる。

【００３７】以上述べたように、本発明の第１の実施形
態によれば、ヨー角依存性の低減により過渡的な浮上量
変動を抑制することができるとともに、ディスク内外周
での浮上量一定化を実現することが可能となる。

【００３８】ところで、ディスク停止時にスライダとデ
ィスクとの間に水分が凝集するなどの理由により、ディ
スク上にスライダが吸着し、ディスク起動時にスライダ
を円滑に浮上させることが困難になる場合がある。この
問題を回避するために従来はディスク３１の表面にテク
スチャと呼ばれる微少な凹凸を設けることにより、停止
中のディスクとスライダとの間に隙間を維持することが
行われている。しかし、このテクスチャは動作時におけ
る浮上量のばらつきに伴って発生するスライダとディス
クとの衝突の危険度を高める原因となり、スライダの低
浮上化に対する妨げとなるおそれがある。

【００３９】一方、ディスク起動時には、ディスクは必
ずしも所定の回転方向のみに進むのではなく、前後に揺
動するような動きをしながら回転を始める。その様子を
図７に示す。前後に揺動するディスク２０１の動きは、
ディスク起動時の励磁タイミングやモータの磁極とコイ
ルの位置関係などに起因する。この時、ディスク２０１
が所定の回転方向Ａと逆方向Ａ’に進行する瞬間には、
図に示すようにジンバル２１０を介してサスペンション
２０４に支持されたスライダ２０３ａには、サスペンシ
ョン２０４からの反力Ｆが作用し、この反力Ｆによって
スライダ２０３ａの後端を支点として前方の動圧発生部
２ａを引き剥がすようなモーメントＭが作用する。その
際、スライダ２０３ａにおいては、前方の動圧発生部２
ａのディスク２０１に対する接地面積の方が後方の動圧
発生部２ｂのそれよりも小さくなっていることから、ま
ず前方の動圧発生部２ａがディスク２０１から容易に引
き剥がされる。その後、ディスク２０１が正規の回転方
向Ａに進み始めると、空気流の動圧により容易にピッチ
ングが生じスライダ２０３ａの全体がディスク２０１か
ら容易に引き剥がされる。即ち、本実施形態によれば、
前方の動圧発生部２ａにおいてはランド部５のみがディ
スク２０１上に接地することから、前方の動圧発生部２
ａの接地面積を後方の動圧発生部２ｂの接地面積よりも
小さくすることができ、上記した吸着現象を有効に防止
することが可能となる。

【００４０】以上説明した実施形態では、前方の動圧発
生部２ａのみに段差４を設けることとしたが、図８に示
すように、前後の動圧発生部２ａ，２ｂに段差４，４’
をそれぞれ設ける構成としても、本実施形態と同様の作
用効果が期待できる。かかる構成によれば、後方の動圧
発生部２ｂも、前方の動圧発生部２ａと同様の浮上力を
得ることから、後方の動圧発生部２ｂ全体の面積を低減
することができ、スライダ全体を小型化することが可能
となるとともに、吸着現象をさらに低減することが可能
となる。

【００４１】第２の実施形態本発明の第２の実施形態について、図９を参照しつつ説
明する。図９は、本発明の第２の実施形態にかかるスラ
イダ形状を示したもので、（ａ）は斜視図、（ｂ）は平
面図、（ｃ）は側面図である。なお、図中で、図２及び
図３に示した部分と同一の部分もしくは同一機能を有す
る部分については、同一の符号を付すことにより重複説
明を省略する（以下の本発明の実施形態全てにおいても
同様とする）。

【００４２】本実施形態においては、スライダ２０３ａ
の動圧発生部２ａ，２ｂをディスク回転方向Ａに関して
前後に２つ配列するとともに、前方の動圧発生部２ａに
ディスク内外周での浮上量差を抑制するため、段差４を
設けてランド部５を形成するとともに、後方の動圧発生
部２ｂを図示のごとく略Ｖ字形状とする。

【００４３】上記した第１の実施形態のごとく横長形状
の動圧発生部２ａ，２ｂを有するスライダ２０３ａにお
いては、ディスク外周側でヨー角がつくと、空気流に伴
って発生する動圧の圧力中心がスライダ２０３ａのディ
スク内周側Ｓinにシフトする。このため、スライダ２０
３ａは、ディスク内周側Ｓinが高く、ディスク外周側Ｓ
out が低くなるようにローリングした姿勢で飛行するこ
とになる。また、スライダ２０３ａを支持する図示しな
いサスペンションの取付誤差や、ディスク表面の凹凸、
装置外部からの振動等の影響により、スライダ２０３ａ
にローリングが生じることもある。かかる場合、スライ
ダ２０３ａの後端のうち浮上量の最も低下するディスク
内外周側の側端部がディスクに衝突するおそれがある。
そこで、後方の動圧発生部２ｂのディスク内周側及び外
周側の側端部を面取りするとともに、スライダ２０３ａ
のローリング剛性を低下させないために、図示したよう
に略Ｖ字型の形状としてスライダ側部近傍における後方
の動圧発生部２ｂの面積を確保することとした。

【００４４】本実施形態によれば、上記した第１の実施
形態と同様に、ヨー角依存性の低減により過渡的な浮上
量変動を抑制することができ、かつディスク内外周での
浮上量一定化を実現することが可能となるとともに、ス
タイダ２０３ａにローリングが発生した場合でも、後方
の動圧発生部２ｂの側端部がディスクに衝突するおそれ
がなくなる。

【００４５】なお、後方の動圧発生部２ｂの形状は上記
した略Ｖ字形状に限られず、ローリング剛性が確保でき
れば、図１０に示すように、後方の動圧発生部２ｂのデ
ィスク内周側Ｓin及び外周側Ｓout の側端部を面取りし
ただけの形状としても良い。

【００４６】また、この面取りは、上記した前方の動圧
発生部２ａにおける段差４と同一の深さとし、１回のエ
ッチングにより形成するようにすれば、製作効率を向上
させることができる。

【００４７】第３の実施形態本発明の第３の実施形態について、図１１を参照しつつ
説明する。図１１は、本発明の第３の実施形態にかかる
スライダ形状を示したもので、（ａ）は斜視図、（ｂ）
は平面図、（ｃ）は側面図である。

【００４８】上記したように、第１の実施形態のごとく
横長形状の動圧発生部２ａ，２ｂを有するスライダ２０
３ａにおいては、ディスク外周側でヨー角がつくと、デ
ィスク内周側Ｓinが高く、ディスク外周側Ｓout が低く
なるようにローリングした姿勢で飛行することになる。
そこで、本実施形態においては、スライダ２０３ａの動
圧発生部２ａ，２ｂをディスク回転方向Ａに沿って前後
２段に配列し、前方の動圧発生部２ａにディスク内外周
での浮上量差を抑制するため、段差４を設けてランド部
５を形成するとともに、後方の動圧発生部２ｂのディス
ク内周側及び外周側の側部に切欠部２５ａ，２５ｂを形
成し、ディスク回転方向Ａにほぼ沿った段差６ａ，６ｂ
を設ける構成とした。

【００４９】ディスクの回転方向は、厳密にはディスク
内外周でヨー角の変動分だけ相違する。ここでは、スラ
イダ２０３ａがディスク内周側に位置しているときの該
ディスクの回転方向を矢印Ａで示し、スライダ２０３ａ
がディスク外周側に位置しているときの該ディスクの回
転方向を図中の矢印Ｂで示す。この場合、ディスク外周
側の段差６ａではスライダ２０３ａをディスクから離反
させる方向の圧力（正圧）が発生するのに対して、ディ
スク内周側の段差６ｂでは、それと反対方向の圧力（負
圧）が発生する。このため、スライダ２０３ａは、ディ
スク内周側Ｓinが低く、ディスク外周側Ｓout が高くな
るようにローリングした姿勢をとろうとする。即ち、デ
ィスク外周側でヨー角がつくことにより、空気流に伴っ
て発生する動圧の圧力中心がディスクの内周側にシフト
するため、スライダ２０３ａのディスク内周側Ｓinが高
く、ディスク外周側Ｓout が低くなるようにローリング
した姿勢をとろうとする作用に対して、段差６ａ，６ｂ
を設けることにより、それとは反対の姿勢をとろうとす
る作用が生じることになる。従って、両作用が相殺され
ることにより、ディスク外周側でのローリングを防止す
ることが可能となる。

【００５０】また、かかるローリング防止機能は、スラ
イダ２０３ａのシーク時に等価的なヨー角変動が生じた
場合にも有効である。即ち、スライダ２０３ａのシーク
時に生じる等価的なヨー角変動に伴って過渡的なローリ
ングが生じた場合でも、段差６ａ，６ｂの作用によりそ
れを調整することができ、スライダ側端部がディスクに
衝突する危険を回避することが可能となる。

【００５１】本実施形態によれば、上記した第１の実施
形態と同様に、ヨー角依存性の低減により過渡的な浮上
量変動を抑制することができ、かつディスク内外周での
浮上量一定化を実現することが可能となるとともに、デ
ィスク外周側でのスタイダ２０３ａのローリング及びシ
ーク時における過渡的なローリング変動を防止できるた
め、後方の動圧発生部２ｂがディスクに衝突するおそれ
がなくなる。

【００５２】なお、ここで、上記した前方の動圧発生部
２ａにおける段差４と本実施形態により新たに設けた段
差６ａ，６ｂとを同一の深さとし、１回のエッチングに
より形成するようにすれば、製作効率を向上させること
ができる。

【００５３】第４の実施形態本発明の第４の実施形態について、図１２を参照しつつ
説明する。図１２は、本発明の第４の実施形態にかかる
スライダ形状を示したもので、（ａ）は斜視図、（ｂ）
は平面図、（ｃ）は側面図である。

【００５４】上記した第３の実施形態によれば、ディス
ク外周側でのスタイダ２０３ａのローリングを防止でき
るが、後方の動圧発生部２ｂの側部に切欠部２５ａ，２
５ｂを設けることから、その部分の動圧が低下するた
め、スライダ２０３ａのローリング剛性が多少減少す
る。そこで、本実施形態では、後方の動圧発生部２ｂの
側部にディスク回転方向Ａにほぼ沿った段差６ａ，６ｂ
と同回転方向Ａに略垂直な方向に沿った段差７ａ，７ｂ
を設けるよう切欠部２６ａ，２６ｂを形成している。か
かる構成によれば、上記した第３の実施形態と同様の効
果が生じるとともに、前記段差７ａ，７ｂによって、正
圧が発生することから、後方の動圧発生部２ｂにおける
所定の動圧を確保しつつ、両側部近傍の圧力分布を高め
ることができ、スライダ２０３ａのローリング剛性を高
く維持することが可能となる。

【００５５】図１３は、後方の動圧発生部２ｂにおける
ディスクの回転方向と略垂直な方向（スライダ幅方向）
に関する圧力分布を示したものである。図中で、Ｄ１は
上記した第１の実施形態に示した単一のフラット面から
なる動圧発生部を有する場合の圧力分布、Ｄ２は本実施
形態に係る動圧発生部を有する場合の圧力分布をそれぞ
れ示したものである。

【００５６】図示したように、単一のフラット面からな
る動圧発生部を有する場合は、スライダ幅方向の中央部
で最も圧力が高く、両側端に近づくにつれて圧力が大気
圧に漸近するような圧力分布となる。これに対して、本
実施形態にかかる動圧発生部を有する場合は、圧力が段
差７ａ，７ｂの近傍で高く、スライダ幅方向の中央付近
では低い圧力分布となる。従って、後方の動圧発生部２
ｂでの浮上力が仮に同じであっても、本実施形態に係る
動圧発生部の形状の方がより高いローリング剛性を得る
ことができる。

【００５７】一方、上記した第１の実施形態において示
したような単一のフラット面に比べて、段差７ａ，７ｂ
を形成した方がより大きな正圧を発生させることができ
るため、本実施形態にかかる構成によれば、後方の動圧
発生部２ｂをディスク回転方向に関して短く形成するこ
とができ、スライダ全体を小型化することが可能となる
とともに、ディスク停止時における後方の動圧発生部の
接地面積を削減できることから、スライダの吸着現象を
防止することも可能となる。

【００５８】上記した本実施形態によれば、上記した第
３の実施形態と同様に、ヨー角依存性の低減により過渡
的な浮上量変動を抑制することができ、かつディスク内
外周での浮上量一定化を実現することが可能となるとと
もに、ディスク外周側でのスタイダ２０３ａのローリン
グを防止でき、しかもローリング剛性を高く維持するこ
とができるため、後方の動圧発生部２ｂがディスクに衝
突するおそれがなくなる。

【００５９】なお、上記した前方の動圧発生部２ａにお
ける段差４と本実施形態により新たに設けた段差６ａ，
６ｂ，７ａ，７ｂとを同一の深さとし、１回のエッチン
グにより形成するようにすれば、製作効率を向上させる
ことができる。

【００６０】第５の実施形態本発明の第５の実施形態について、図１４を参照しつつ
説明する。図１４は、本発明の第５の実施形態にかかる
スライダ形状を示したもので、（ａ）は斜視図、（ｂ）
は平面図、（ｃ）は側面図である。

【００６１】本実施形態では、上記した第４の実施形態
において、スライダ２０３ａを支持する図示しないサス
ペンションの取付誤差や、ディスク表面の凹凸、装置外
部からの振動等の影響により、スライダ２０３ａにロー
リングが生じた場合に、スライダ２０３ａのうち浮上量
の最も低下する後方の動圧発生部２ｂのディスク内外周
側の側端部がディスクに衝突しないよう、後方の動圧発
生部２ｂのディスク内周側Ｓin及び外周側Ｓout の側端
部を面取りすることとした。その際、スライダ２０３ａ
の側部に設ける段差６ａ，６ｂの効果を低減しないよう
に、図示のごとく段差８ａ，８ｂを形成するとともに、
段差７ａ，７ｂに対向する段差Ｙａ，Ｙｂを形成するよ
うに切欠部２７ａ，２７ｂを設けることとした。かかる
構成によれば、仮にスライダ２０３ａにローリングが生
じた場合でも、後方の動圧発生部２ｂの側端部がディス
クに衝突するおそれがなくなる。

【００６２】さらに、本実施形態においては、段差等を
形成した後、深溝３を形成する際に、前後の動圧発生部
２ａ，２ｂに形成されるランド部５，９の寸法が変動し
たり、エッジにカケ等の欠陥が発生しないように、各動
圧発生部の深溝３の近傍にマージン１０を設定してい
る。なお、かかる構成において、前方の動圧発生部２ａ
のディスク回転方向Ａに関する全長には、マージン１０
は含まれないものとする。ここで、深溝３を形成する際
に生じる寸法誤差の主な原因は、加工に用いるブレード
の厚み誤差である。一方、前後の動圧発生部２ａ，２ｂ
のうち、後方の動圧発生部２ｂについては、寸法誤差に
伴う浮上量変動の影響が小さいことから、後方の動圧発
生部２ｂの前端とブレード端部とを正確に位置決めすれ
ば、マージン１０は前方の動圧発生部２ａの後端のみに
設けるようにしてもよい。図１５は、そのようにして製
作した場合の本実施形態にかかるスライダ形状を示した
ものである。

【００６３】また、スライダ２０３ａは、通常その側面
が連結された状態で複数個同時に形成され、最後に側面
を切断することにより分割される。従って、本実施形態
においては、切断加工を行う際に、ランド部５，９のエ
ッジにカケ等の欠陥が発生しないように、各動圧発生部
の側部近傍にもマージン１１を設定している。

【００６４】第６の実施形態本発明の第６の実施形態について、図１６を参照しつつ
説明する。図１６は、本発明の第６の実施形態にかかる
スライダ形状を示したもので、（ａ）は斜視図、（ｂ）
は平面図、（ｃ）は側面図である。

【００６５】本実施形態は、上記した第５の実施形態に
係るスライダ形状の変形形態を示したものである。本実
施形態においては、切欠部２６ａ，２６ｂによって形成
される段差７ａ，７ｂと、切欠部２７ａ，２７ｂにより
段差７ａ，７ｂに対向して形成される段差Ｙａ，Ｙｂと
により挟まれたランド部９ａ，９ｂが、スライダの側部
に近づくにつれ、ディスク回転方向Ａに向かって前方に
位置するように傾けて構成されて、これによって切欠部
２６ａ，２６ｂは略Ｖ字形状に形成されている。かかる
構成によれば、ランド部９ａ，９ｂの側部をスライダ後
端部から遠ざけることができるため、図示しないサスペ
ンションの取付誤差や、ディスク表面の凹凸、装置外部
からの振動等の影響により、スライダ２０３ａにローリ
ングが生じた場合でも、ランド部９ａ，９ｂの側縁部が
ディスクに衝突するのをさらに有効に防止することがで
きる。

【００６６】なお、十分な負圧発生領域を確保するため
に負圧発生領域を拡大すると、それに対応して正圧発生
部である段差７ａ、７ｂの幅が狭くなるため、スライダ
２０３ａの立ち上がり特性が劣化する（スライダ２０３
ａがディスク上から離陸するタイミングが遅くなる）虞
がある。即ち、スライダ２０３ａのローリング剛性と立
ち上がり特性は、互いにトレードオフの関係にあると言
える。

【００６７】本実施形態においては、これら２つの特性
を両立させるための手段として、後方の動圧発生部２ｂ
に設けられる切欠部２６ａ，２６ｂの形状に特徴を持た
せている。上記した第５の実施形態においては、正圧発
生用の段差７ａ，７ｂはスライダ２０３ａの側方に開放
された形状となっているために段差７ａ，７ｂに衝突し
た空気流の一部がスライダ２０３ａの側方から逃げてし
まい、その分発生する正圧が低下する。これに対して、
本実施形態では段差７ａ，７ｂのスライダ側端部を囲う
ように切欠部２６ａ，２６ｂを略Ｖ字形とし、この切欠
部２６ａ，２６ｂで正圧発生用のポケット部を形成して
いる。

【００６８】かかる構成によれば、後方の動圧発生部２
ｂにおける正圧発生領域のスライダ側方からの空気の逃
げが抑制できるため、ディスク起動時の低周速領域にお
いても正圧を有効に発生させることができ、立ち上がり
特性を維持できるとともに、ローリング剛性を十分に発
揮させることが可能となる。

【００６９】図２５では、切欠部２６ａ，２６ｂの形状
を略Ｖ字形状としたが、例えばＵ字形状、Ｊ字形状等の
他の形状としても良い。かかる形状によれば段差６ａ，
６ｂのディスク回転方向に関する長さを調整することに
より、ローリング防止機能を最適化することが可能とな
る。

【００７０】第７の実施形態本発明の第７の実施形態について、図１７を参照しつつ
説明する。図１７は、本発明の第７の実施形態にかかる
スライダ形状を示したもので、（ａ）は斜視図、（ｂ）
は平面図、（ｃ）は側面図である。

【００７１】この図１７に示した第７実施形態の構成上
の特徴は、後方の動圧発生部２ｂにおいて、段差６ａ，
６ｂとの間に、これらに対向して配置される段差Ｘａ，
Ｘｂを形成するため、切欠部８１ａ，８１ｂを新たに設
けることとしたことである。この切欠部８１ａ，８１ｂ
を設けたことにより、後方の動圧発生部２ｂの前縁に対
向して段差Ｗａ，Ｗｂが形成される。その結果、段差８
ａ，Ｗａ，Ｘａで囲まれる領域及び段差８ｂ，Ｗｂ，Ｘ
ｂで囲まれる領域で負圧が発生する。

【００７２】このように第７の実施形態においては、後
方の動圧発生部２ｂに負圧を発生させる領域を設けるこ
とにより、この後方側で発生する負圧を利用して以下に
説明する様々な作用・効果を得ることを特徴としてい
る。

【００７３】なお、切欠部８１ａ，８１ｂは、例えばエ
ッチングなどの手段で形成される。また、切欠部２６
ａ，２６ｂによって形成される段差７ａ，７ｂと、切欠
部２７ａ，２７ｂによって段差７ａ，７ｂに対向して形
成される段差Ｙａ，Ｙｂとにより挟まれたランド部９
ａ，９ｂが、スライダの側部に近づくにつれ、ディスク
回転方向Ａに向かって前方に位置するように傾けて構成
されている。このように傾ける構成によれば、ランド部
９ａ，９ｂの側部をスライダ後端部から遠ざけることが
できるため、図示しないサスペンションの取付誤差や、
ディスク表面の凹凸、装置外部からの振動等の影響によ
りスライダ２０３ａにローリングが生じた場合にも、ラ
ンド部９ａ，９ｂの側縁部がディスクに衝突するのを有
効に防止することができる。

【００７４】（後方側で負圧を発生させた場合の作用・
効果）まず図１８乃至図２０を参照して、本発明に係る
後方側で負圧発生を発生させるヘッドスライダと、従来
から用いられている前方側で負圧を発生させるヘッドス
ライダとを対比する。

【００７５】図１８（ａ）は本実施形態にかかるスライ
ダ（後方負圧スライダ）の浮上姿勢を示したもの、図１
８（ｂ）は従来のスライダ（前方負圧スライダ）の浮上
姿勢を示したもの、図１９は本実施形態に係るスライダ
（後方負圧スライダ）のスライダ面の圧力分布を、図２
０は従来のスライダ（前方負圧スライダ）のスライダ面
の圧力分布をそれぞれ示したものである。

【００７６】なお、図１９と図２０においては、圧力分
布は大気圧を基準としたゲージ圧で示してあり、大気圧
よりも低い圧力を負圧（マイナス：−）、大気圧よりも
高い圧力を正圧（プラス：＋）と定義し、図中の符号
（Ｅ）は−0.5 〜−１気圧、（Ｆ）は0 〜−0.5 気圧、
（Ｇ）は0 〜＋1 気圧、（Ｈ）は＋1 〜＋2 気圧、
（Ｉ）は＋2 〜＋3 気圧、（Ｊ）は＋3 〜＋4 気圧、
（Ｋ）は＋4 気圧以上を示している。

【００７７】図２０から明らかなように、従来のスライ
ダ２０３ｂにあっては、磁極２１’を支持するスライダ
２０３ｂの後端近傍で比較的大きな正圧が発生し、負圧
のピークはスライダ全長の中央部よりも前方、すなわち
前方の正圧発生部８６の後縁付近に位置する設計になっ
ている。

【００７８】一方図１９に示すように、本実施形態によ
ればスライダの圧力分布は、正圧のピークおよび負圧の
ピークは共にスライダ後方に発生し、スライダ後方側の
空気膜剛性のみを高め、スライダ前方側については適度
な柔軟性を有する構成としている。

【００７９】このような従来スライダと本実施形態のス
ライダの構成の相違によって次のことが言える。第１の
特徴点は、スライダ後方側に負圧発生部を備えた本実施
形態に係るスライダがディスクの潤滑剤の巻き上げ現象
に伴う吸着問題を抑制できる点である。つまり、負圧発
生部を備えたスライダでは、シーク動作に伴って負圧に
よりディスク表面に存在する潤滑剤の巻き上げ（スライ
ダの負圧発生部に潤滑剤が吸引されて蓄積される）が発
生する。その結果、スライダのパーキング時にスライダ
に蓄積された潤滑剤が染み出して、スライダがディスク
に対して吸着現象を起こすおそれがある。

【００８０】従来のスライダ２０３ｂでは、正圧発生部
コの字状の正圧発生部８６の内側全体にスライダ中央付
近から後方側まで比較的大面積の負圧発生領域が設けら
れており、この大面積の負圧発生領域により多量の潤滑
剤が巻き上げられる。またスライダのパーキング時には
コの字状の大面積を有する接地面全体に潤滑油が染み出
して上述した吸着現象が顕著となる問題がある。一方、
本実施形態に係るスライダでは、負圧発生領域はスライ
ダ後方側に設けられているので、負圧をスライダ面積で
積分したトータル負圧を、従来のスライダのトータル負
圧よりも小さくすることが可能となり、その結果、潤滑
剤の巻き上げを抑制できる。またパーキング時にも後方
の小面積の接地面のみに潤滑油が染み出すに止まり、吸
着現象が比較的軽度で済む構成とすることができる。

【００８１】第２の特徴点は、スライダ後方側に負圧発
生部を備えた本実施形態に係るスライダが浮上姿勢変化
に伴うスペーシング変動の問題を抑制できる点である。
従来の負圧スライダは、図１８（ｂ）に示すように浮上
面にコの字型の接地面を設け、その内側を数μｍ掘下げ
た構造となっている。コの字のディスク回転方向Ａ‘方
向に相当する接地面の後端を基点として、コの字の内側
では負圧が発生し、この負圧と釣り合わせるための大き
な正圧が、主に接地面に発生している。この大きな正圧
は、空気膜剛性を高くする効果を有するため、従来の負
圧スライダは製造誤差による浮上量のばらつきが、負圧
を発生させない従来のスライダと比較して一応少なくで
きる。

【００８２】しかし、従来の負圧スライダの場合には、
負圧がスライダ前方側の正圧発生部の後縁近傍で最も大
きいため、スライダ全体の空気膜剛性が高く、サスペン
ション荷重誤差、大気圧変動等に伴って生じるピッチン
グ変動が小さく、スライダ全体が平行に上下動してしま
うような性質を有している。したがって、従来の負圧ス
ライダでは、サスペンションの荷重誤差、大気圧の変動
等の浮上量変動要因に関して浮上量が敏感に変動してし
まうという問題点を有している。

【００８３】一方で、本実施形態では、図１８（ａ）に
示すようにスライダ後方の正圧発生部２ｂが、記録再生
部である磁極２１よりも上流側に設けられており、負圧
発生部がスライダの後方側に形成された切欠部８１ａ，
８１ｂに集中していることから、スライダ後方側のみ空
気膜剛性を高くし、逆にスライダ前方側は正圧のみ、ま
たは弱い負圧との組合わせ構造とすることにより、サス
ペンション荷重誤差、大気圧変動等をスライダ前方側の
浮上量変動で吸収し、後方側の磁極２１の浮上量変動を
抑制することができる。

【００８４】上記について、さらに詳細に説明するため
に、本実施形態にかかるスライダの浮上姿勢を示した図
１８（ａ）と、従来のスライダの浮上姿勢を示した図１
８（ｂ）とを比較して説明する。

【００８５】従来のスライダ２０３ｂにあっては、磁極
２１’を支持するスライダ２０３ｂの後端近傍でも比較
的大きな圧力が発生するような設計になっている。この
ため、ピッチングが生じて浮上姿勢が変化した際にスペ
ーシングが変動しない点（焦点）８５’は、スライダ２
０３ｂの後端よりも外側に位置することとなる。従っ
て、上記した荷重変動や大気圧変動に伴ってピッチング
が変化すると、磁極２１’近傍のスペーシングも変動し
てしまう。

【００８６】これに対して、本実施形態によれば、焦点
８５を磁極２１の近傍に位置させることが可能となる。
その理由は、以下の通りである。磁極２１が設けられて
いる後方の動圧発生部２ｂのランド部のフラット面９ｃ
は、両側部に負圧発生領域となる切欠部８１ａ，８１ｂ
が設けられており、また、深溝３まで連続して形成され
ているので正圧を発生させるような段差もなく、また、
動圧発生部２ｂ自体が横長形状であることから、ディス
ク回転方向Ａに関して短い構成となっている。このた
め、フラット面９ｃに生じる正圧に伴うばね剛性は、比
較的弱いものとなる。

【００８７】一方、後方の動圧発生部２ｂにおいて主に
正圧が発生するのは、段差７ａ，７ｂ近傍であり、かか
る段差７ａ，７ｂは磁極２１が設けられる位置よりもデ
ィスク回転方向Ａに関して前方側に位置している。従っ
て、スライダ２０３ａに作用する圧力は主に前方の動圧
発生部２ａと、前記段差７ａ，７ｂの近傍で発生するこ
ととなり、図１８（ａ）に示すように、焦点８５をちょ
うど磁極２１の近傍に位置させることが可能となる。従
って、上記した荷重変動や大気圧変動に伴ってピッチン
グが変化しても、磁極２１近傍のスペーシングはほとん
ど変動しない。

【００８８】なお、従来の負圧スライダ２０３ｂにおい
ては、負圧を発生させる位置が磁極２１’よりもディス
ク回転方向Ａ’に関してかなり前方の正圧発生部８６の
後縁を起点とするスライダ中心付近であるために、磁極
近傍では高いばね剛性を有する正圧が発生し、本実施形
態にかかる効果を発揮することは困難である。

【００８９】第３の特徴点は、スライダ後方側に負圧発
生部を備えた本実施形態に係るスライダが負圧の効果に
よってばね剛性を向上させることができる点である。本
実施形態においては、切欠部８１ａ，８１ｂを設けるこ
とにより、段差８ａ，Ｗａ，Ｘａで囲まれる領域及び段
差８ｂ，Ｗｂ，Ｘｂで囲まれる領域で負圧が発生する。
後方の動圧発生部２ａは浮上量が小さいことから、段差
８ａ，８ｂが浅くても有効に負圧を発生させることがで
きる。

【００９０】かかる負圧の作用により以下のような効果
が生じる。まず、磁極２１近傍のスペーシングを変化さ
せることなく、段差７ａ，７ｂにより発生させる正圧を
さらに高める構成とすることができ、ローリング剛性を
向上させることが可能となる。

【００９１】また、上記したように正圧を高めることが
できれば、必然的にばね剛性（ディスクに垂直な方向に
関してスライダを支える剛性）を向上させることが可能
となる。このように、磁極２１が設けられている後方の
動圧発生部２ｂにおけるばね剛性が高められれば、次の
ような点で有利である。まず、サスペンションの製造誤
差等によりサスペンションからスライダ２０３ａに加え
られる荷重にばらつきが生じると、スライダ２０３ａの
浮上量が変動するが、ばね剛性が高ければこの浮上量変
動を小さく抑えることができる。また、使用環境の変化
等により大気圧が変動するのに伴い、やはりスライダ２
０３ａの浮上量が変動するが、ばね剛性が高ければその
浮上量変動を小さく抑えることができる。

【００９２】第４の特徴点は、スライダ後方側に負圧発
生部を備えた本実施形態に係るスライダが、ヨー角がつ
いたときのローリング防止機能の調整を行える点であ
る。上記した第４乃至第６の実施形態に係るスライダ形
状において、ヘッドとディスクとの間の所望のスペーシ
ングもしくは接触力を実現するための一方策として、後
方の動圧発生部２ｂの両側部近傍に設けられる正圧発生
用の段差７ａ，７ｂの幅（ディスク回転方向とほぼ垂直
な方向の長さ）を調整する方法がある。即ち、段差７
ａ，７ｂの幅を小さくすれば、スペーシングは小さくな
り、また、接触力は大きくなる。一方、段差７ａ，７ｂ
の幅を大きくすれば、スペーシングは大きくなり、ま
た、接触力は小さくなる。

【００９３】ところが、段差７ａ，７ｂの幅を調整する
と、必然的にスライダ長手方向の中心軸（スライダ中心
軸）からディスク回転方向Ａにほぼ沿った段差６ａ，６
ｂが設けられる位置までの距離が変動し、かかる段差６
ａ，６ｂの有するローリング防止機能（上記第３及び第
４の実施形態の説明参照）に変化が生じる。従って、所
定のスペーシングや接触力を得るために段差７ａ，７ｂ
の幅を設定した場合、そのローリング防止効果が顕著に
なりすぎて、ヨー角が大きくなるディスク外周側におい
て、スライダ２０３ａのディスク内周側Ｓinがディスク
に接近し、ディスク外周側Ｓout がディスクから離反す
るようにローリングしてしまう場合がある。

【００９４】そこで、本実施形態では、このような場合
の解決策として、前述したように後方の動圧発生部２ｂ
において、段差６ａ，６ｂとの間に、これらに対向して
配置される段差Ｘａ，Ｘｂを形成するため、切欠部８１
ａ，８１ｂを新たに設けている。

【００９５】上記したように、ディスク外周側でヨー角
がついた時には、空気流によって段差６ａにおいては正
圧が、段差６ｂにおいては負圧がそれぞれ発生する。こ
れらの圧力とスライダ中心軸から段差６ａ，６ｂが設け
られる位置までの距離との積で決まるローリングモーメ
ントによって、スライダ２０３ａのディスク外周側Ｓou
t がディスクから離反し、ディスク内周側Ｓinがディス
クに接近するようにローリングが生じる。

【００９６】一方、段差Ｘａ，Ｘｂは、これとは逆の効
果を有する。即ち、段差Ｘａにおいては負圧が、段差Ｘ
ｂにおいては正圧がそれぞれ発生し、スライダ２０３ａ
のディスク外周側Ｓout がディスクに接近し、ディスク
内周側Ｓinがディスクから離反するようにローリングが
生じる。

【００９７】従って、スライダ中心軸から段差Ｘａ，Ｘ
ｂが設けられる位置までの距離を適宜選べば、適度なロ
ーリングモーメントを発生させることが可能となること
から、上記したローリング防止機能を調整することが可
能となる。

【００９８】第５の特徴点は、スライダ後方側に負圧発
生部を備えた本実施形態に係るスライダが、ピッチング
依存性低減の効果を備えている点である。この点につい
て図１７を参照して説明する。本実施形態に係るスライ
ダ形状におては、後方の動圧発生部２ｂの前縁から連続
的に形成されているランド部の面（フラット面）９ｃが
先に説明した他の実施形態と比較して小さくなる。フラ
ット面９ｃは、周速依存性（スライダに作用する浮上力
がディスク内外周における周速差に依存する性質）は小
さいが、ピッチング依存性（スライダに作用する浮上力
がピッチングの差に依存する性質）は大きい（図４参
照）。

【００９９】したがって、フラット面９ｃの面積が大き
い場合は、スライダ２０３ａをディスクに押付ける荷重
が変動したり（荷重変動）、使用環境の変化により大気
圧が変動した（大気圧変動）場合等に、前方の動圧発生
部２ａの浮上量が低下し、スライダ２０３ａ全体のピッ
チングが変化することにより、磁極２１近傍の浮上量も
しくは接触力が変動し易くなる。

【０１００】これに対して、本実施形態に係るスライダ
形状では、後方の動圧発生部２ｂに切欠部８１ａ，８１
ｂを形成することによりフラット面９ｃの面積が削減さ
れているため、上記問題点が軽減され、磁極２１近傍の
浮上量もしくは接触力が、上記した荷重変動や大気圧変
動に対してより安定となる。

【０１０１】以上説明した本実施形態によれば、上記し
た第４の実施形態と同様に、ヨー角依存性の低減により
過渡的な浮上量変動を抑制することができ、かつディス
ク内外周での浮上量一定化を実現することが可能となる
とともに、潤滑剤の巻き上げを抑制して吸着現象が防止
でき、ディスク外周側でのスタイダ２０３ａのローリン
グをより有効に防止でき、しかもローリング剛性を高く
維持することができるとともに、スライダ−ディスク間
のスペーシングもしくは接触力の安定化を実現すること
が可能となる。

【０１０２】また、段差Ｘａ，Ｘｂを段差６ａ，６ｂ，
７ａ，７ｂ，８ａ，８ｂと同じ深さに設定すれば、１回
の工程で切欠部２６ａ，２６ｂ等と同時に切欠部８１
ａ，８１ｂを形成することができ、製作効率を向上させ
ることが可能となる。

【０１０３】なお、図２１に図１７に示した第７の実施
形態の変形例を示すように、切欠部２６ａ，２６ｂによ
って形成される段差７ａ，７ｂと、切欠部２７ａ，２７
ｂによって段差７ａ，７ｂに対向して形成される段差Ｙ
ａ，Ｙｂとにより挟まれたランド部９ａ，９ｂを、ディ
スク回転方向Ａとほぼ直交する方向へほぼ真っ直ぐに延
びるように形成して良い。

【０１０４】このように図２１に示した変形例では、上
記した第７の実施形態のようにランド部９ａ，９ｂをス
ライダの側部に近づくにつれ、ディスク回転方向Ａに向
かって前方に位置するように傾けては構成していない。
しかしかかる構成によっても、ランド部９ａ，９ｂの側
部をスライダ後端部から遠ざけることができるため、図
示しないサスペンションの取付誤差や、ディスク表面の
凹凸、装置外部からの振動等の影響によりスライダ２０
３ａにローリングが生じた場合にも、ランド部９ａ，９
ｂの側縁部がディスクに衝突するのを有効に防止するこ
とができる。したがって、このような図２１に示す構成
を採用することも可能である。

【０１０５】第８の実施形態本発明の第８の実施形態について、図２２を参照しつつ
説明する。図２２は、本発明の第８の実施形態にかかる
スライダ形状を示したもので、（ａ）は斜視図、（ｂ）
は平面図、（ｃ）は側面図である。

【０１０６】本実施形態は、上記した図１７に示した第
７の実施形態にクラウンを設けたスライダ形状を示した
ものである。本実施形態は、前方の動圧発生部２ａと後
方の動圧発生部２ｂの表面が互いに同一平面上にくるこ
とのないように、該表面全体がディスク側に凸な関係に
形成されていることを特徴とする。即ち、スライダ２０
３ａのディスクに対向する面の形状を、例えば楕円筒状
もしくは円筒状の軌跡に合わせて湾曲させることにより
クラウンを形成している。

【０１０７】このような構造を実現する手段としては、
通常のスライダに利用されている方法、即ち、サスペン
ションを貼り付ける際の条件を選ぶ、スライダの腹面に
スクラッチを設けることにより表面張力を開放するなど
がある。

【０１０８】また、図示しないが、前方の動圧発生部２
ａの後部と、後方の動圧発生部２ｂの前部に膜を積層す
ることによってディスク側に凸な形状とすることも可能
である。

【０１０９】さらに、前方の動圧発生部２ａを前方から
後方に向けてディスクに近付けるように傾斜させるとと
もに、後方の動圧発生部２ｂを前方から後方に向けてデ
ィスクから遠ざけるように傾斜させることにより、全体
としてディスク側に凸な形状とすることも可能である。

【０１１０】このような構成によれば、前方の動圧発生
部２ａに迎え角がつくことにより、動圧軸受としての効
果が増大し、ピッチングが大きくなるという特徴があ
る。ピッチングが大きいと、ディスク回転中にスライダ
２０３ａとディスクとの隙間にごみが進入しても前方の
動圧発生部２ａに付着しにくくなり、かつ、後方の動圧
発生部２ｂに付着したとしても、スライダ２０３ａが前
のめりになる危険が少なく、安定した浮上もしくは接触
が可能となる。

【０１１１】また、このような構成によれば、ディスク
停止時におけるスライダ２０３ａとディスクとの接触部
が、前方の動圧発生部２ａの後端と、後方の動圧発生部
２ｂの前端になり、吸着がより起こりにくくなるという
利点もある。

【０１１２】さらに、このような構成によれば、上記し
た荷重変動や大気圧変動による浮上量変動を小さく抑え
ることが可能となる。スライダ２０３ａをディスク方向
に押付ける荷重が所定の値よりも大きくなった場合や大
気圧が下がった場合のいずれの場合にも、前方の動圧発
生部２ａにおける浮上量が低下し、ピッチングも低下す
るため、後方の動圧発生部２ｂはこれに伴って、ピッチ
ング依存性の影響により、浮上量が低下してしまう。と
ころが、クラウンの影響で迎え角がついている場合に
は、ピッチングの低下する割合が小さくなるため、後方
の動圧発生部２ｂにおける浮上量の低下も起こりにくく
なり、浮上量の安定化が実現できる。

【０１１３】第９の実施の形態本発明の第９の実施形態について、図２３を参照しつつ
説明する。図２３は、本発明の第９の実施形態にかかる
スライダ形状を示したもので、（ａ）は斜視図、（ｂ）
は平面図、（ｃ）は側面図である。

【０１１４】本実施形態は、上記の第８の実施形態の変
形例を示したものである。本実施形態では、上述した全
ての実施形態で採用されていた深溝３の形成を行わない
ことが最も特徴とする構成である。つまり、上述した実
施形態で深溝３により前方側動圧発生部２ａと後方側動
圧発生部２ｂとに分割されていた動圧発生部はスライダ
前方から後方へ連続的な動圧発生部２として形成されて
いる。更に段差６ａ，６ｂの形状を変形してランド部９
ｃをスライダの前方へ延出させるように構成している。
これに伴い負圧発生部を成している切欠部８１ａ，８１
ｂの形状もスライダ前方側へ延出されて面積が先の実施
形態と比較して大きくなっている。

【０１１５】ここで、切欠部８１ａ，８１ｂの領域は、
段差Ｗａ，Ｗｂ近傍で発生する負圧の値を決定する要素
となっている。従って、後方の動圧発生部２ｂの前縁の
形状を適宜調整できることは、以下の点で有効である。
即ち、後方の動圧発生部２ｂの前縁に設けられるランド
部９ｃの形状を調整することにより、段差６ａ，６ｂの
ディスク回転方向に関する長さ、及び段差７ａ，７ｂの
領域とは独立に切欠部８１ａ，８１ｂの領域を設定する
ことが可能となる。つまり、段差６ａ，６ｂにより得ら
れるローリング防止機能や、段差７ａ，７ｂによる正圧
発生機能とは独立に負圧発生機能を調整することが可能
となり、設計の自由度を大幅に向上させることができ
る。

【０１１６】本実施形態のように、切欠部８１ａ，８１
ｂの領域を拡張することができれば、より大きな負圧を
発生させることが可能となるので、段差６ａ，６ｂ，７
ａ，７ｂにより形成される領域を調整したり、ランド部
９ａ，９ｂの幅を長くするなどの手段により、段差７
ａ，７ｂの近傍でさらに大きな正圧を発生させる設計が
可能となり、後方の動圧発生部２ｂのローリング剛性及
びばね剛性を向上させることができる。

【０１１７】なお、本実施形態においては、動圧発生部
２の前方側には先の実施形態と同様に段差４を形成する
ことによってランド部５が形成されて正圧発生部となっ
ている。

【０１１８】このように本発明のヘッドスライダにおい
ては、深溝３を設けることなくスライダの後方側に負圧
を発生させる構成を採用することによっても、先の実施
形態の「スライダ後方側で負圧を発生させた場合の作用
・効果」の欄に記載したような第１〜第５の特徴点で示
した作用・効果を得ることが可能である。

【０１１９】第１０の実施の形態本発明の第１０の実施形態について、図２４を参照しつ
つ説明する。図２４は、本発明の第１０の実施形態にか
かるスライダ形状を示したもので、（ａ）は斜視図、
（ｂ）は平面図、（ｃ）は側面図である。

【０１２０】本実施形態は、上記の第９の実施形態の変
形例を示したものである。本実施形態では、図２３に示
した動圧発生部２をスライダの腹面を兼用して構成し、
このスライダ腹面に形成された動圧発生部２の前方側に
段差４を形成してランド部５を設け、動圧発生部２の後
方側には負圧を発生させるための切欠部８１ａ，８１ｂ
を形成してランド部９ａ，９ｂ，９ｃがそれぞれ設けら
れている。

【０１２１】このようにスライダ腹面を兼用してランド
部５及びランド部９ａ〜９ｃを同一の高さとし、１回の
エッチングにより形成するようにすれば、製作効率を著
しく向上させることができる。

【０１２２】第１１の実施形態本発明の第１１の実施形態について、図２５を参照しつ
つ説明する。図２５は、本発明の第１１の実施形態にか
かるスライダ形状を示したもので、（ａ）は斜視図、
（ｂ）は平面図、（ｃ）は側面図である。

【０１２３】本実施形態では、前方の動圧発生部２ａの
ランド部５の後方に、第１の深さの段差３０が設けら
れ、ランド部５の後方に前方の動圧発生部２ａが延長さ
れている。そして、延長された前方の動圧発生部２ａに
更に第２の深さの段差３１ａ，３１ｂを形成するように
切欠部３２が設けられている。この切欠部３２は、深溝
３側に開口して設けられる。

【０１２４】ここで、第１の深さ（段差３０の持つ深
さ）をランド部５の前方に段差４と同じ深さとすれば、
ランド部５の形成時に段差３０を同時に形成することが
可能である。

【０１２５】第２の深さ（段差３１の持つ深さ）は数μ
ｍのオーダであり、ディスクの回転方向Ａに沿って第１
の深さの段差３０よりも深く形成されているので、ディ
スクの回転に伴い、スライダ２０３ａに発生する空気流
の作用により、段差３１ａを基点に切欠部３２の境界領
域において当該スライダ２０３ａに負圧が発生する。

【０１２６】また、切欠部３２は、動圧発生部２ａの延
長部分によりその両側部を囲まれるように形成されてい
るため、負圧がスライダ側部で大気圧に開放されること
により低減されることなく効率的に発生する。また、動
圧発生部２ａの延長部分により構成される側部は、スラ
イダ２０３の対ディスク表面接地面積を増やすことなく
負圧を効果的に発生させることができるので、一般の負
圧スライダが吸着作用に困窮するのに対し、かかる吸着
防止の面で非常に有利となる。また、このような構成に
よれば、正圧と負圧の和であるサスペンション荷重を小
さく設定することが可能である。

【０１２７】第１２の実施の形態本発明の第１２の実施形態について、図２６を参照しつ
つ説明する。図２６は、本発明の第１２の実施形態にか
かるスライダ形状を示したもので、（ａ）は斜視図、
（ｂ）は平面図、（ｃ）は側面図である。

【０１２８】本実施形態に係るスライダは、図２５に示
した第１１の実施形態に示したスライダの変形例を示す
もので、深溝３を設けないように構成した点が特徴であ
る。つまり、上述した実施形態で深溝３により前方側動
圧発生部２ａと後方側動圧発生部２ｂとに分割されてい
た動圧発生部は段差３１ｂとランド部５によって囲まれ
た切欠部３２を介して分割されている。ランド部９ａ，
９ｂ，９ｃの形状は、図２３，図２４に示した実施形態
とほぼ同様である。

【０１２９】切欠部３２の深さは数μｍのオーダであ
り、ディスク方向に突出する動圧発生部２ａよりもディ
スクから遠ざかる方向へ深く形成されているので、ディ
スクの回転に伴い、スライダ２０３ａに発生する空気流
の作用により、ランド部５の後縁を基点に切欠部３２の
境界領域において当該スライダ２０３ａに負圧が発生す
る。この圧力分布の様子を図２７に示す。

【０１３０】この図２７の圧力分布特性にも示されるよ
うに、切欠部３２は、動圧発生部２ａの延長部分に形成
された段差３１ｂによりその両側部を囲まれるように形
成されているため、負圧がスライダ側部で大気圧に開放
されることにより低減されることなく効率的に発生す
る。また、動圧発生部２ａの延長部分により構成される
段差３１ａは、スライダ２０３ａの対ディスク表面接地
面積を増やすことなく負圧を効果的に発生させることが
できるので、一般の負圧スライダが吸着作用に困窮する
のに対し、かかる吸着防止の面で非常に有利となるとい
った図２５に示した第１１の実施形態とほぼ同様の作用
・効果を得ることができる。

【０１３１】すなわち本実施形態は、スライダ前方とス
ライダ後方の２個所に別々の負圧発生部を設け、それぞ
れの負圧作用が独立に最適に作用できる構成としたもの
である。したがって、図１８に説明した大気圧の変化お
よび荷重のばらつき等に対して所望の挙動を実現するこ
とが可能であり、さらにスライダ全体の浮上安全性をも
満足させる設計が可能となる。なお、スライダ後方側の
動圧発生部２ｂの構成・作用・効果については先に示し
た図２３、図２４の第９、第１０の実施形態とほぼ同様
である。

【０１３２】第１３の実施の形態本発明の第１３の実施形態について、図２８を参照しつ
つ説明する。図２８は、本発明の第１３の実施形態にか
かるスライダ形状を示したもので、（ａ）は斜視図、
（ｂ）は平面図、（ｃ）は側面図である。

【０１３３】本実施形態に係るスライダは、前方側の動
圧発生部２ａと、後方側の動圧発生部２ｂと、前方側の
動圧発生部２ａに設けられた段差４により形成されるラ
ンド部５と、後方側の動圧発生部に形成されたランド部
９ａ，９ｂ，９ｃと、ランド部９ｃからスライダ前方側
へ延出されてランド５と接続されたランド部９ｄとを主
に特徴的な構成としている。

【０１３４】前方側の動圧発生部に形成されたランド部
５は、スライダ後方側へ向かって凸形状となる略Ｖ字形
状を成し、このランド５に沿って正圧が発生する。後方
側のランド部９ａ〜９ｃの周囲では先の実施形態と同様
に切欠部８１ａ，８１ｂのポケットで負圧が発生し、ラ
ンド部９ａ，９ｂ近傍では正圧が発生している。このよ
うに前方側のランド５と後方側のランド部９ｃとの間を
ランド部９ｄで接続した構成においても、先に示した実
施形態と同様の作用・効果を奏することができる。

【０１３５】第１４の実施形態本発明の第１４の実施形態について、図２９を参照しつ
つ説明する。図２９は、本発明の第１４の実施形態にか
かるスライダ形状を示したもので、（ａ）は斜視図、
（ｂ）は平面図、（ｃ）は側面図、（ｄ）はスライダが
ディスク上に接地しているときの側面図である。

【０１３６】本実施形態においては、前方の動圧発生部
２ａと後方の動圧発生部２ｂとの間に突出部２ｃを設け
ている。この突出部２ｃのディスク対向面は、そのディ
スク回転方向Ａに略垂直な方向に関してほぼ中央に接地
パッド９０が形成されるようにその両側部を後退させた
構成を有する。ここで、突出部２ｃは、機械加工もしく
はエッチングにより深溝３ａ，３ｂを設けることにより
形成される。また、接地パッド９０は、その部分をマス
キングし、エッチングにより両側部を後退させることに
より形成される。

【０１３７】また、本実施形態においては、前後の動圧
発生部２ａ，２ｂに設けられるランド部５，９ａ，９
ｂ，９ｃ及びその間に位置する突出部２ｃに設けられる
接地パッド９０のうち、接地パッド９０が最もディスク
側に突出した構成となっている。このような構成とする
には、接地パッド９０以外の面をエッチング等で後退さ
せる、接地パッド９０がその頂点近傍に位置するように
クラウン（スライダのディスク対向面をディスク側に凸
形状としたもの）を設ける、もしくは、接地パッド９０
の部分のみに保護膜を厚く形成する等の手段を施せばよ
い。ここで、図２９（ｄ）に示すように図示しないサス
ペンションにより、前方の動圧発生部２ａと突出部２ｃ
との間に荷重Ｐを付与するようにすれば、前方の動圧発
生部２ａに設けられたランド部５と、突出部２ｃに設け
られた接触パッド９０のみがディスク停止時にディスク
２０１上に接地するようになる。従って、磁極２１が設
けられている後方の動圧発生部２ｂをディスク２０１と
非接触の状態に保つことができ、スライダ２０３ａとデ
ィスク２０１との接地面積を低減することが可能とな
り、ひいてはスライダ２０３ａとディスク２０１との吸
着を防止することが可能となる。また、後方の動圧発生
部２ｂをディスク２０１と非接触の状態に保つことがで
きれば、ディスク起動時に生じる摩耗粉等のごみが磁極
２１の近傍に付着することを防止することができる。

【０１３８】ところで、荷重Ｐを付与する位置は上記し
た場合に限られない。例えば、後方の動圧発生部２ｂと
突出部２ｃとの間に荷重Ｐを付与するとすれば、前方の
動圧発生部２ａをディスク２０１と非接触の状態に保つ
ことができ、やはりスライダ２０３ａとディスク２０１
との接地面積を低減することが可能となり、ひいてはス
ライダ２０３ａとディスク２０１との吸着を防止するこ
とが可能となる。また、荷重Ｐを付与する位置を適当に
選べば、接地パッド９０のみを接地させることも可能と
なる。

【０１３９】なお、ここで、前方の動圧発生部２ａにお
ける段差４と接地パッド９０を設けるために新たに設け
た突出部２ｃの後退深さとを同一の深さとし、１回のエ
ッチングにより形成するようにすれば、製作効率を向上
させることができるまた、本実施形態は図２９に示した
場合に限られず、上記した全ての実施形態に示したスラ
イダ形状とも適宜組合せることが可能である。

【０１４０】第１５の実施形態本発明の第１５の実施形態について、図３０を参照しつ
つ説明する。図３０は、本発明の第１５の実施形態にか
かるスライダ形状を示したもので、（ａ）は斜視図、
（ｂ）は平面図、（ｃ）は側面図である。

【０１４１】本実施形態では、上記した第１４の実施形
態で設けた突出部２ｃに相当する構成を設けず、接地パ
ッド９０を直接設ける構成としている。接地パッド９０
は、エッチングで深溝３を形成する際に、その部分をマ
スキングして残すことにより形成される。また、接地パ
ッド９０を設ける位置は、図３０に示した場合に限られ
ず、適宜変更することができ、接地パッド９０の個数も
適宜変更することができる。また、接地パッド９０の形
状も任意に設計することができる。例えば、図３１（２
０）に示すように、中空半円筒状としてもよい。かかる
構成によれば、図３１（ｄ）に示したように、接地面積
を増やさずに、接地領域を拡大することができ、安定な
接地を可能とするとともに、接地パッド９０のみを接地
させることも容易となる。従って、かかる構成によれば
吸着防止効果をさらに向上させることができる。

【０１４２】一方、本実施形態では、スライダ２０３ａ
の加工を全てエッチングにより行うことから、スライダ
２０３ａの四隅を面取りすることも容易であり、種々の
要因によるローリング変動やピッチング変動あるいは浮
上量変動が生じても、スライダ２０３ａがディスクと衝
突する危険を回避することが容易となる。また、装置に
衝撃が加わり、スライダ２０３ａがディスクから一旦離
れ、再び接地する際にディスクに傷を付けることがあ
る。特に接地の際の姿勢がディスクと平行でない場合、
スライダの四隅のいずれかがディスクに鋭い傷を形成す
る原因となる。従って、スライダ２０３ａの四隅を面取
りすることは、かかるディスクへの損傷を防止する効果
をも有する。

【０１４３】第１６の実施形態本発明の第１６の実施形態について、図３２を参照しつ
つ説明する。図３２は、本発明の第１６の実施形態にか
かるスライダ形状を示したもので、（ａ）は斜視図、
（ｂ）は平面図、（ｃ）は側面図である。

【０１４４】本実施形態の特徴は、深溝３をエッチング
で形成するため、前方の動圧発生部２ａの後縁と、後方
の動圧発生部２ｂの前縁を任意の形状に加工できる点に
ある。本実施形態では、前方の動圧発生部２ａの後縁に
凹部９１ａを設けて、効率よく負圧を発生させるように
するとともに、後方の動圧発生部２ｂの前縁にも凹部９
１ｂを設け、段差７ａ，７ｂを形成するために設けられ
る切欠部２６ａ，２６ｂの領域を拡張している。

【０１４５】ここで、切欠部２６ａ，２６ｂの領域は、
段差７ａ，７ｂ近傍で発生する正圧の値、あるいはディ
スクの周速やスライダのピッチングの変化に伴う正圧の
挙動を決定する要素となっている。従って、後方の動圧
発生部２ｂの前縁の形状を適宜調整できることは、以下
の点で有効である。即ち、後方の動圧発生部２ｂの前縁
に設けられる凹部９１ｂの形状を調整することにより、
段差６ａ，６ｂのディスク回転方向に関する長さと段差
７ａ，７ｂを形成するために設けられる切欠部２６ａ，
２６ｂの領域を独立に設定することが可能となる。つま
り、段差６ａ，６ｂにより得られるローリング防止機能
と、段差７ａ，７ｂによる正圧発生機能とを独立に調整
することが可能となり、設計の自由度を大幅に向上させ
ることができる。

【０１４６】また、凹部９１ｂの形状を調整することに
より、段差６ａ，６ｂと、段差Ｘａ，Ｘｂのディスク回
転方向に沿った方向の長さを適宜変更することもでき
る。その際、段差７ａ，７ｂによる正圧発生機能とは独
立にその長さを決定することが出きるため、上記第６の
実施形態で説明したローリング防止機能の調整を容易に
行うことが可能となる。

【０１４７】第１７の実施形態本発明の第１７の実施形態について、図３３を参照しつ
つ説明する。図３３は、本発明の第１７の実施形態にか
かるスライダ形状を示したもので、（ａ）は斜視図、
（ｂ）は平面図、（ｃ）は側面図である。

【０１４８】本実施形態では、前方の動圧発生部２ａの
後縁に凹部９１ａを設けて、負圧を発生させるようにす
るとともに、後方の動圧発生部２ｂの前縁にも凹部９１
ｂを設け、負圧を発生させる段差Ｗａ，Ｗｂを形成する
ために設けられる切欠部８１ａ，８１ｂの領域を拡張し
ている。

【０１４９】ここで、切欠部８１ａ，８１ｂの領域は、
段差Ｗａ，Ｗｂ近傍で発生する負圧の値を決定する要素
となっている。従って、後方の動圧発生部２ｂの前縁の
形状を適宜調整できることは、以下の点で有効である。
即ち、後方の動圧発生部２ｂの前縁に設けられる凹部９
１ｂの形状を調整することにより、段差６ａ，６ｂのデ
ィスク回転方向に関する長さ、及び段差７ａ，７ｂを形
成するために設けられる切欠部２６ａ，２６ｂの領域と
は独立に切欠部８１ａ，８１ｂの領域を設定することが
可能となる。つまり、段差６ａ，６ｂにより得られるロ
ーリング防止機能や、段差７ａ，７ｂによる正圧発生機
能とは独立に負圧発生機能を調整することが可能とな
り、設計の自由度を大幅に向上させることができる。

【０１５０】本実施形態のように、切欠部８１ａ，８１
ｂの領域を拡張することができれば、より大きな負圧を
発生させることが可能となるので、切欠部２６ａ，２６
ｂの領域を調整したり、ランド部９ａ，９ｂの幅を長く
するなどの手段により、段差７ａ，７ｂの近傍でさらに
大きな正圧を発生させる設計が可能となり、後方の動圧
発生部２ｂのローリング剛性及びばね剛性を向上させる
ことができる。

【０１５１】以上、種々の実施形態について説明した
が、いずれもスライダ２０３ａの後方動圧発生部２ｂ上
に形成されるランド部９はスライダ長手方向の中心軸線
を中心に対称形状としたが、これは必ずしも対称形状で
ある必要はなく、状況に応じて非対称とすることも可能
である。

【０１５２】また、上記した各実施形態は、ヨー角依存
性によらずにディスク内外周における浮上量もしくは接
触力を一定に維持する機能を有するものであるから、Ｍ
Ｒヘッドを採用し、ディスク内外周でトラックずれを防
止するためにヨー角変動が生じないようなシークを行う
場合にも、非常に適したスライダ形状であるといえる。

【０１５３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ヨー角依存性の低減により過渡的な浮上量変動を抑制す
ることができるとともに、ディスク内外周での浮上量一
定化もしくはヘッド−ディスク間の接触力の一定化を実
現することが可能なヘッドスライダを提供することがで
きる。

【０１５４】また、本発明にかかるヘッドスライダを用
いることにより、ヘッドスライダの低浮上化、あるいは
ヘッド−ディスク間の低荷重かつ安定な接触が可能とな
ることから、記録密度の向上を図ることが可能な記録再
生装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】記録再生装置の一例である磁気ディスク装置
の概略図。

【図２】スライダの浮上姿勢に関する説明図。

【図３】本発明の第１の実施形態にかかるヘッドスラ
イダの形状を示した図。

【図４】後方の動圧発生部のピッチングに対して、同
動圧発生部の後端のスペーシングを一定とした場合の浮
上力をプロットした図。

【図５】前方の動圧発生部のディスク回転方向に関す
る全長Ｌとランド部の同方向に関する長さＳとの比率に
対する、スライダの後端のスペーシングを一定とした場
合のディスク内外周での浮上力の比をプロットした図。

【図６】ディスクの周速に対するスライダのピッチン
グ及びヘッドが設けられる後方の動圧発生部の後端にお
けるスペーシングの変化を示した図。

【図７】ディスク起動時の状態を示した説明図。

【図８】本発明の第１の実施形態にかかるヘッドスラ
イダの変形例の形状を示した図。

【図９】本発明の第２の実施形態にかかるヘッドスラ
イダの形状を示した図。

【図１０】本発明の第２の実施形態にかかるヘッドス
ライダの変形例の形状を示した図。

【図１１】本発明の第３の実施形態にかかるヘッドス
ライダの形状を示した図。

【図１２】本発明の第４の実施形態にかかるヘッドス
ライダの形状を示した図。

【図１３】後方の動圧発生部におけるディスクの回転
方向と略垂直な方向（スライダ幅方向）に関する圧力分
布を示した図。

【図１４】本発明の第５の実施形態にかかるヘッドス
ライダの形状を示した図。

【図１５】本発明の第５の実施形態にかかるヘッドス
ライダの変形例の形状を示した図。

【図１６】本発明の第６の実施形態にかかるヘッドス
ライダの形状を示した図。

【図１７】本発明の第７の実施形態にかかるヘッドス
ライダの形状を示した図。

【図１８】本発明の第７の実施形態にかかるスライダ
と従来のスライダの浮上量変動についての説明図。

【図１９】本発明の第７の実施形態にかかるスライダ
の圧力分布特性を示した図。

【図２０】従来のスライダの圧力分布特性を示した
図。

【図２１】本発明の第７の実施形態の変形例にかかる
スライダの形状を示した図。

【図２２】本発明の第８の実施形態にかかるヘッドス
ライダの形状を示した図。

【図２３】本発明の第９の実施形態にかかるヘッドス
ライダの形状を示した図。

【図２４】本発明の第１０の実施形態にかかるヘッド
スライダの形状を示した図。

【図２５】本発明の第１１の実施形態にかかるヘッド
スライダの形状を示した図。

【図２６】本発明の第１２の実施形態にかかるヘッド
スライダの形状を示した図。

【図２７】本発明の第１２の実施形態にかかるヘッド
スライダの圧力分布特性を示した図。

【図２８】本発明の第１３の実施形態にかかるヘッド
スライダの形状を示した図。

【図２９】本発明の第１４の実施形態にかかるヘッド
スライダの形状を示した図。

【図３０】本発明の第１５の実施形態にかかるヘッド
スライダの形状を示した図。

【図３１】本発明の第１５の実施形態の変形例にかか
るヘッドスライダの形状を示した図。

【図３２】本発明の第１６の実施形態にかかるヘッド
スライダの形状を示した図。

【図３３】本発明の第１７の実施形態にかかるヘッド
スライダの形状を示した図。

【図３４】従来のスライダを採用した磁気ディスク装
置の概略図。

【図３５】従来のテーパフラットスライダの概略を示
した斜視図。

【図３６】シーク時における等価的なヨー角変動の説
明図。

【符号の説明】

２０３ａヘッドスライダ２ａ，２ｂ動圧発生部３深溝４，６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂ，８ａ，８ｂ，Ｘａ，Ｘ
ｂ，Ｙａ，Ｙｂ，Ｗａ，Ｗｂ，３０，３１ａ，３１ｂ
段差５，９ａ，９ｂ，９ｃランド部１０，１１マージン２０記録再生ヘッド２１磁極２５ａ，２５ｂ，２６ａ，２６ｂ、２７ａ、２７ｂ、８
１ａ，８１ｂ切欠部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】回転可能な記録媒体であるディスク上で情
報の記録再生を行う記録再生ヘッドを搭載したヘッドス
ライダにおいて、前記ヘッドスライダの前記ディスクと対向する面に形成
され動圧を発生させるための動圧発生部と、前記ヘッドスライダの前記ディスクと対向する面内で前
記ディスクの回転方向に関して前記ヘッドスライダの中
央部分よりも後方側に設けられ負圧を発生させるための
負圧発生部とを備えたことを特徴とするヘッドスライ
ダ。
【請求項２】回転可能な記録媒体であるディスク上で情
報の記録再生を行う記録再生ヘッドを搭載したヘッドス
ライダにおいて、前記ヘッドスライダの前記ディスクと対向する面に設け
られ、前記ディスクの回転方向に沿って配列される少な
くとも２つの動圧発生部と、前記ヘッドスライダの前記ディスクと対向する面に設け
られ、前記動圧発生部のうち前記ディスクの回転方向に
関して最も前方に位置する動圧発生部と該回転方向に関
して最も後方に位置する動圧発生部との間に位置し、前
記ディスク方向に最も突出して設けられる接地パッドと
を有することを特徴とするヘッドスライダ。
【請求項３】回転可能な記録媒体であるディスク上で情
報の記録再生を行う記録再生ヘッドを搭載したヘッドス
ライダにおいて、前記ヘッドスライダの前記ディスクと対向する面に設け
られ、前記ディスクの回転方向に沿って溝を挟んで配列
される少なくとも２つの動圧発生部を有し、前記動圧発生部のうち前記ディスクの回転方向に関して
最も後方に位置する動圧発生部の前記溝に面した前縁に
は、凹部が形成されていることを特徴とするヘッドスラ
イダ。
【請求項４】前記負圧発生部は、前記動圧発生部に切欠
部を形成することにより構成されて成ることを特徴とす
る請求項１記載のヘッドスライダ。
【請求項５】前記動圧発生部は、前記ディスクの回転方
向に沿って少なくとも２つ設けられており、前記負圧発
生部は前記動圧発生部のうち前記ディスクの回転方向に
関して最も後方に位置する動圧発生部に設けられている
ことを特徴とする請求項１記載のヘッドスライダ。
【請求項６】前記動圧発生部は、前記ディスクの回転方
向に沿った長さよりも該回転方向に略垂直な方向に沿っ
た長さの方が長い形状を有していることを特徴とする請
求項１、２、３のいずれか１項に記載のヘッドスライ
ダ。
【請求項７】前記前記動圧発生部のうち前記ディスクの
回転方向に関して最も後方に位置する動圧発生部には、
負圧を発生させるための負圧発生部が設けられているこ
とを特徴とする請求項２または３に記載のヘッドスライ
ダ。
【請求項８】前記動圧発生部は、正圧を発生させるため
の領域と負圧を発生させるための領域とを含んで成るこ
とを特徴とする請求項１または７のいずれかに記載のヘ
ッドスライダ。
【請求項９】前記動圧発生部のうち前記ディスクの回転
方向に関して最も後方に位置する動圧発生部には、該回
転方向にほぼ沿った第１の段差及び該回転方向と略垂直
な方向にほぼ沿った第２の段差を形成する第１の切欠部
が設けられていることを特徴とする請求項２または３の
いずれかに記載のヘッドスライダ。
【請求項１０】前記負圧発生部は、前記ディスクの回転
方向とほぼ直交する方向に沿って配置される第１、第２
のランド部と、これら第１、第２のランド部に挟まれて
前記ディスクの回転方向にほぼ沿って配置される第３の
ランド部とを備え、第１及び第２のランド部と第３のラ
ンド部とでそれぞれ囲まれた領域で負圧を発生するよう
に構成したことを特徴とする請求項１または請求項７の
いずれかに記載のヘッドスライダ。
【請求項１１】前記負圧発生部には、前記ディスクの回
転方向にほぼ沿った第１の段差及び該回転方向と略垂直
な方向にほぼ沿った第２の段差を形成する第１の切欠部
と、前記第１の段差と対向する第３の段差を形成する第
２の切欠部とが設けられていることを特徴とする請求項
８記載のヘッドスライダ。
【請求項１２】前記負圧発生部には、前記ディスクの回
転方向にほぼ沿った第１の段差及び該回転方向と略垂直
な方向にほぼ沿った第２の段差を形成する第１の切欠部
と、前記第１の段差と対向する第３の段差及び前記第２
の段差のほぼ反対方向へ延びる第４の段差を形成する第
２の切欠部とを設けたことを特徴とする請求項８記載の
ヘッドスライダ。
【請求項１３】前記第１の切欠部及び前記第２の切欠部
は、前記ヘッドスライダの両側部近傍にそれぞれ一対づ
つ設けられることを特徴とする請求項１１または１２記
載のヘッドスライダ。
【請求項１４】前記第３のランド部を前記第１及び第２
のランド部に対する前記ディスクの回転方向上流側に突
出させ、この突出量は必要とする前記負圧の大きさに応
じて決定されて成ることを特徴とする請求項１０記載の
ヘッドスライダ。
【請求項１５】前記動圧発生部のうち前記ディスクの回
転方向に関して最も前方に位置する動圧発生部と該回転
方向に関して最も後方に位置する動圧発生部との間に位
置し、前記ディスク方向に最も突出して設けられる接地
パッドを更に備えたことを特徴とする請求項３または５
記載のヘッドスライダ。
【請求項１６】前記動圧発生部のうち前記ディスクの回
転方向に関して最も後方に位置する動圧発生部の側端部
を面取りしたことを特徴とする請求項２、３、５のいず
れか１項に記載のヘッドスライダ。
【請求項１７】前記動圧発生部のうち前記ディスクの回
転方向に関して最も後方に位置する動圧発生部に、正圧
発生用段差と、この正圧発生用段差よりも該回転方向に
略垂直な方向に関して内側に位置する負圧発生用段差と
を設けたことを特徴とする請求項２、３、５のいずれか
１項に記載のヘッドスライダ。
【請求項１８】前記動圧発生部のうち前記ディスクの回
転方向に関して最も前方に位置する動圧発生部に、前記
ディスクの回転方向と略垂直な方向に沿った段差を形成
することによりランド部を設けたことを特徴とする請求
項２、３、５のいずれか１項に記載のヘッドスライダ。
【請求項１９】前記動圧発生部のうち前記ディスクの回
転方向に関して最も前方に位置する動圧発生部に、前記
ディスクの回転方向と略垂直な方向に沿った段差を形成
することによりランド部を設け、該ランド部の該回転方
向に関する長さを該動圧発生部の該回転方向に関する全
長の１０％より大きく５０％より小さい長さとすること
を特徴とする請求項２、３、５のいずれか１項に記載の
ヘッドスライダ。
【請求項２０】前記ランド部の前記回転方向に関する長
さを前記動圧発生部の前記回転方向に関する全長のほぼ
３０％の長さとすることを特徴とする請求項１９記載の
ヘッドスライダ。
【請求項２１】前記ランド部の接地面積は、該ランド部
が設けられる動圧発生部よりも前記ディスクの回転方向
に向って後方に位置する動圧発生部の接地面積よりも小
さいことを特徴とする請求項１９記載のヘッドスライ
ダ。
【請求項２２】前記動圧発生部のうち前記ディスクの回
転方向に関して最も前方に位置する動圧発生部に、前記
ディスクの回転方向と略垂直な方向に沿った段差を形成
することにより設けられるランド部と、このランド部よ
りも該回転方向に関して後方に設けられる負圧発生用段
差とを設けたことを特徴とする請求項２、３、５のいず
れか１項に記載のヘッドスライダ。
【請求項２３】回転可能な記録媒体であるディスクと、
このディスク上で情報の記録再生を行う記録再生ヘッド
と、この記録再生ヘッドを搭載するヘッドスライダと、
このヘッドスライダを支持し前記ディスク上を移動させ
るアクチュエータとを備えた記録再生装置において、前記ヘッドスライダの前記ディスクと対向する面に形成
され動圧を発生させるための動圧発生部と、前記ヘッドスライダの前記ディスクと対向する面内で前
記ディスクの回転方向に関して前記ヘッドスライダの中
央部分よりも後方側に設けられ負圧を発生させるための
負圧発生部とを備えたことを特徴とする記録再生装置。
【請求項２４】回転可能な記録媒体であるディスクと、
このディスク上で情報の記録再生を行う記録再生ヘッド
と、この記録再生ヘッドを搭載するヘッドスライダと、
このヘッドスライダを支持し前記ディスク上を移動させ
るアクチュエータとを備えた記録再生装置において、前記ヘッドスライダの前記ディスクと対向する面に設け
られ、前記ディスクの回転方向に沿って配列される少な
くとも２つの動圧発生部と、前記ヘッドスライダの前記ディスクと対向する面に設け
られ、前記動圧発生部のうち前記ディスクの回転方向に
関して最も前方に位置する動圧発生部と該回転方向に関
して最も後方に位置する動圧発生部との間に位置し、前
記ディスク方向に最も突出して設けられる接地パッドと
を有することを特徴とする記録再生装置。
【請求項２５】回転可能な記録媒体であるディスクと、
このディスク上で情報の記録再生を行う記録再生ヘッド
と、この記録再生ヘッドを搭載するヘッドスライダと、
このヘッドスライダを支持し前記ディスク上を移動させ
るアクチュエータとを備えた記録再生装置において、前記ヘッドスライダの前記ディスクと対向する面に設け
られ、前記ディスクの回転方向に沿って溝を挟んで配列
される少なくとも２つの動圧発生部を有し、前記動圧発生部のうち前記ディスクの回転方向に関して
最も後方に位置する動圧発生部の前記溝に面した前縁に
は、凹部が形成されていることを特徴とする記録再生装
置。
【請求項２６】前記負圧発生部は、前記動圧発生部に切
欠部を形成することにより構成されて成ることを特徴と
する請求項２３記載の記録再生装置。
【請求項２７】前記動圧発生部は、前記ディスクの回転
方向に沿って少なくとも２つ設けられており、前記負圧
発生部は前記動圧発生部のうち前記ディスクの回転方向
に関して最も後方に位置する動圧発生部に設けられてい
ることを特徴とする請求項２３記載の記録再生装置。
【請求項２８】前記動圧発生部は、前記ディスクの回転
方向に沿った長さよりも該回転方向に略垂直な方向に沿
った長さの方が長い形状を有していることを特徴とする
請求項２３、２４、２５のいずれか１項に記載の記録再
生装置。
【請求項２９】前記前記動圧発生部のうち前記ディスク
の回転方向に関して最も後方に位置する動圧発生部に
は、負圧を発生させるための負圧発生部が設けられてい
ることを特徴とする請求項２４または２５に記載の記録
再生装置。
【請求項３０】前記負圧発生部は、正圧を発生させるた
めの領域と負圧を発生されるための領域とを含んで成る
ことを特徴とする請求項２３または２９のいずれかに記
載の記録再生装置。
【請求項３１】前記動圧発生部のうち前記ディスクの回
転方向に関して最も後方に位置する動圧発生部には、該
回転方向にほぼ沿った第１の段差及び該回転方向と略垂
直な方向にほぼ沿った第２の段差を形成する第１の切欠
部が設けられていることを特徴とする請求項２４または
２５のいずれかに記載の記録再生装置。
【請求項３２】前記負圧発生部は、前記ディスクの回転
方向とほぼ直交する方向に沿って配置される第１、第２
のランド部と、これら第１、第２のランド部に挟まれて
前記ディスクの回転方向にほぼ沿って配置される第３の
ランド部とを備え、第１及び第２のランド部と第３のラ
ンド部とでそれぞれ囲まれた領域で負圧を発生するよう
に構成したことを特徴とする請求項２３または請求項２
９のいずれかに記載のヘッドスライダ。