JPH1116141A - ヘッドスライダ及びこれを用いた記録再生装置 - Google Patents

ヘッドスライダ及びこれを用いた記録再生装置

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JPH1116141A
JPH1116141A JP17006297A JP17006297A JPH1116141A JP H1116141 A JPH1116141 A JP H1116141A JP 17006297 A JP17006297 A JP 17006297A JP 17006297 A JP17006297 A JP 17006297A JP H1116141 A JPH1116141 A JP H1116141A
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dynamic pressure
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Atsushi Ito
淳 伊藤
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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ヨー角依存性が少ないヘッドスライダ、及び
これを用いて記録密度の向上を図ることが可能な記録再
生装置の提供。 【解決手段】 ヘッドスライダ203aのディスクと対
向する面に設けられ、前記ディスクの回転方向に沿った
長さよりも該回転方向に略垂直な方向に沿った長さの方
が長い形状を有し、前記ディスクの回転方向に沿って深
溝3を挟んで配列される少なくとも2つの動圧発生部2
a,2bを有し、前記ディスクの回転方向に向かって後
方に位置する動圧発生部2bには、該回転方向と略垂直
な方向に沿った第1の段差7a,7bと、この段差の両
端部から該回転方向に向かって前方に延設される第2の
段差6a,6b及び第3の段差とを形成するための第1
の切欠部26a,26bが設けられる特徴とするヘッド
スライダ及びこれを用いた記録再生装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、浮上量のばらつき
や変動もしくは接触力の変動を抑制することが可能なヘ
ッドスライダ、及びこれを用いて記録再生ヘッドの低浮
上化もしくは低荷重かつ安定な接触を実現し、記録密度
の向上を図ることが可能な記録再生装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、記録再生装置においては、高記録
密度化に関する技術開発が盛んに行われており、特に磁
気ディスク装置における高記録密度化は、ビット密度
(ディスク周方向の記録密度)の増加、並びにトラック
密度(ディスク半径方向の記録密度)の増加の両面から
進められている。ここで、ビット密度を増加させるため
の技術として、記録再生ヘッド(以下「ヘッド」とい
う)を搭載したヘッドスライダ(以下「スライダ」とい
う)の低浮上化は必須となっている。しかし、従来のス
ライダにあっては、シーク時の浮上量の動的変動によ
り、ヘッドの低浮上化が妨げられている。以下その要因
について詳説する。
【0003】図39は、従来のスライダを採用した磁気
ディスク装置の概要を示したものである。いわゆるテー
パフラットスライダに代表される従来のスライダ101
のほとんどは、記録媒体であるディスク102の内外周
速差による浮上量差をヨー角依存性を利用して抑制して
いる。ここで、ヨー角とはディスク回転方向とスライダ
101の長手方向とのなす角(図中ではθ)である。
【0004】図39に示すように、いわゆるロータリア
クチュエータ103を用いた磁気ディスク装置において
は、スライダ101とディスク102との配置をディス
ク内周側Xでヨー角が小さく、ディスク外周側Yでヨー
角が大きくなるように設定している。
【0005】図40は、従来のテーパフラットスライダ
の概略を示した斜視図である。図に示すようにスライダ
101は、ディスク回転方向Aに沿って伸びる細長い形
状の動力発生部101aを有し、この動力発生部101
aと回転するディスク(図示せず)との間で発生する動
圧を利用して浮上する構成となっている。ディスクの回
転方向Aに沿って伸びる動力発生部101aは、ヨー角
が生じてディスクの回転方向がAからBに変わると、圧
力発生効率が低下する性質を有する。これは、ヨー角が
小さいときにはスライダ前縁部から流れ込む空気流はス
ライダ全長に沿って比較的長い距離を流れることによっ
て動圧を発生するのに対し、ヨー角が大きくなると、空
気流のうちある部分はスライダ全長に達する以前に側縁
部から流出し、またある部分は側縁部から流入しスライ
ダ後端部から流出するいわゆる空気流の横漏れにより、
効果的に動圧を高めるのに必要な流動距離を確保するこ
とが困難となるためである。従って、従来のテーパフラ
ットスライダ101では、ディスク外周側Yに行くにつ
れてヨー角が大きくなると空気流の横漏れによりスライ
ダ101に作用する動圧発生効率が低下する。このた
め、ディスク外周側Yに行くにつれて周速が増加しても
スライダ101に作用する浮上力は変動せず、ディスク
102内外周における浮上量差を抑制することができ
る。
【0006】ところで、図41に示すように、スライダ
101のシーク時にはディスクの周速成分Vr(5〜1
0m/s)以外に、この周速成分Vrにほぼ直交する方
向のシーク速度成分Vs(最大1m/s程度)が存在す
る。従って、この2つの速度成分の合成ベクトルVは、
スライダ101の長手方向に対して5〜10°程度の角
度をなす。即ち、シーク時には、等価的なヨー角変動
(図中ではθ’)が生じていることになる。従って、上
記したヨー角依存性と同様の原理により、シーク時には
空気流の横漏れにより動圧発生効率が低下するため、過
渡的な浮上量低下が発生する。その量は、通常10nm
を越えることが実験的にも確認されており、シーク時に
おけるディスクとスライダとの衝突を避けるためには、
この浮上量低下をマージンとして見込んだスペーシング
(浮上隙間)を設定しなければならず、スライダの低浮
上化を妨げる大きな要因となっている。
【0007】一方、現在、更なる記録密度の向上を目指
して、ヘッドをディスクに対して接触させ、実質的に浮
上量ゼロで記録再生を行う接触記録技術が検討されてい
る。この接触記録技術における最大の技術課題はヘッド
の摩耗低減である。そのためには、ヘッド−ディスク間
の接触力を低荷重かつ安定に維持することが必要とな
る。しかし、従来のスライダでは、シーク時に上記した
ような等価的なヨー角変動により接触力が変動するた
め、ヘッド−ディスク間に作用する接触力を低荷重かつ
安定に維持することはできない。また、ヘッドの摩耗が
進行した場合に、ディスク内外周で浮上姿勢が変化する
と、接触部が浮上してスペーシングが生じてしまうおそ
れもある。
【0008】さらに、最近実用化され、今後主流となる
と考えられる磁気抵抗効果素子を用いたヘッド、いわゆ
るMRヘッドを採用する場合、記録ヘッドと再生ヘッド
を別個に設ける必要があり、通常2つのヘッドをトラッ
ク方向に並べて配置する。このような構成においては、
ディスク内外周でヨー角が大きく変化すると、2つのヘ
ッド間にトラック幅方向のずれ(トラックずれ)が生じ
る。この問題に対しては、リニアアクチュエータを用い
る方法や、アクチュエータアームの長さを最適化してヨ
ー角の変動を小さくする方法(特開平5−298615
号参照)等が検討されている。従って、MRヘッドを採
用するスライダについても、ヨー角依存性を利用しない
でディスク内外周での浮上量差を抑制する手法が必要に
なる可能性が高い。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】以上説明したように、
従来のスライダでは、ヨー角依存性を利用してディスク
内外周での浮上量差を抑制するのに適した形状が採用さ
れているため、シーク時の等価的なヨー角変動により浮
上量の低下もしくは接触力の変動が生じる。従って、ヘ
ッドの低浮上化もしくはヘッド−ディスク間の低荷重か
つ安定な接触を実現することは困難である。
【0010】また、接触記録においてヘッドの摩耗が進
行した場合に、ディスク内外周で浮上姿勢が変化する
と、接触部が浮上してスペーシングが生じてしまうおそ
れもある。
【0011】さらに、MRヘッドを採用するスライダに
おいては、ヨー角依存性を利用しないでディスク内外周
での浮上量差を抑制する手法に対する要請が強い。そこ
で、本発明では、上記課題を解決し、ヨー角依存性を利
用せずにディスク内外周での浮上量差もしくは接触力変
動を抑制できるスライダ形状を提案するとともに、かか
るスライダを用いて、ヘッドの低浮上化もしくはヘッド
−ディスク間の低荷重かつ安定な接触を実現し、記録密
度の向上を図ることが可能な記録再生装置を提供するこ
とを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、回転可能な記録媒体であるディスク上
で情報の記録再生を行う記録再生ヘッドを搭載したヘッ
ドスライダにおいて、前記ヘッドスライダの前記ディス
クと対向する面に設けられ、前記ディスクの回転方向に
沿った長さよりも該回転方向に略垂直な方向に沿った長
さの方が長い形状を有し、前記ディスクの回転方向に沿
って深溝を挟んで配列される少なくとも2つの動圧発生
部を有し、これら動圧発生部のうち前記ディスクの回転
方向に向かって最も後方に位置する動圧発生部には、該
回転方向と略垂直な方向に沿った第1の段差と、この段
差の両端部から該回転方向に向かって前方に延設される
第2の段差及び第3の段差とを形成するための第1の切
欠部が設けられることを特徴とするヘッドスライダ及び
これを用いた記録再生装置を提供する。
【0013】また、本発明では、回転可能な記録媒体で
あるディスク上で情報の記録再生を行う記録再生ヘッド
を搭載したヘッドスライダにおいて、前記ヘッドスライ
ダの前記ディスクと対向する面に設けられ、前記ディス
クの回転方向に沿った長さよりも該回転方向に略垂直な
方向に沿った長さの方が長い形状を有し、前記ディスク
の回転方向に沿って深溝を挟んで配列される少なくとも
2つの動圧発生部を有し、これら動圧発生部のうち前記
ディスクの回転方向に向かって最も後方に位置する動圧
発生部は、該回転方向と略垂直な方向にほぼ沿った第1
の段差を形成することにより設けられる第1のランド部
と、この第1のランド部よりも前記ディスクの回転方向
に向かって後方に位置し、該ランド部から独立して設け
られるパッド部とを有し、このパッド部に隣接して前記
記録再生ヘッドの磁極が設けられることを特徴とするヘ
ッドスライダ及びこれを用いた記録再生装置を提供す
る。
【0014】また、本発明では、回転可能な記録媒体で
あるディスク上で情報の記録再生を行う記録再生ヘッド
を搭載したヘッドスライダにおいて、前記ヘッドスライ
ダの前記ディスクと対向する面に設けられ、前記ディス
クの回転方向に沿った長さよりも該回転方向に略垂直な
方向に沿った長さの方が長い形状を有し、前記ディスク
の回転方向に沿って深溝を挟んで配列される少なくとも
2つの動圧発生部を有し、これら動圧発生部のうち前記
ディスクの回転方向に向かって最も後方に位置する動圧
発生部は、該回転方向と略垂直な方向にほぼ沿った第1
の段差を形成することにより設けられる第1のランド部
と、この第1のランド部より前記ディスクの回転方向に
向かって後方に該ランド部から連続して設けられ、前記
第1の段差の該回転方向と略垂直な方向にほぼ沿った幅
よりも短い幅を有する第2のランド部とを有し、この第
2のランド部に隣接して前記記録再生ヘッドの磁極が設
けられることを特徴とするヘッドスライダ及びこれを用
いた記録再生装置を提供する。
【0015】また、本発明では、回転可能な記録媒体で
あるディスク上で情報の記録再生を行う記録再生ヘッド
を搭載したヘッドスライダにおいて、前記ヘッドスライ
ダの前記ディスクと対向する面に設けられ、前記ディス
クの回転方向に沿った長さよりも該回転方向に略垂直な
方向に沿った長さの方が長い形状を備え、前記ディスク
の回転方向に沿って深溝を挟んで配列される少なくとも
2つの動圧発生部を有し、これら動圧発生部のうち前記
ディスクの回転方向に向かって最も前方に位置する動圧
発生部は、該回転方向と略垂直な方向に沿った第1の段
差を形成することにより設けられるランド部を有し、こ
のランド部の内方に、前記ディスクの回転方向と略垂直
な方向に沿って設けられ、該回転方向に沿った長さより
も該回転方向に略垂直な方向に沿った長さの方が長い形
状を有する凹部が設けられていることを特徴とするヘッ
ドスライダ及びこれを用いた記録再生装置を提供する。
【0016】さらに、本発明では、回転可能な記録媒体
であるディスク上で情報の記録再生を行う記録再生ヘッ
ドを搭載したヘッドスライダにおいて、前記ヘッドスラ
イダの前記ディスクと対向する面に設けられ、前記ディ
スクの回転方向に沿った長さよりも該回転方向に略垂直
な方向に沿った長さの方が長い形状を備え、前記ディス
クの回転方向に沿って深溝を挟んで配列される少なくと
も2つの動圧発生部を有し、これら動圧発生部のうち前
記ディスクの回転方向に向かって最も後方に位置する動
圧発生部の側端部には、角部が円弧状に面取りされたラ
ンド部が設けられていることを特徴とするヘッドスライ
ダ及びこれを用いた記録再生装置を提供する。
【0017】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について、図
面を参照しつつ詳細に説明する。ここでは、記録再生装
置の一例として、磁気ディスク装置について説明する
が、本発明はこの場合に限定されず、ヘッドをスライダ
によって支持する形態を有する他の記録再生装置につい
ても適用が可能である。
【0018】まず、本発明の実施形態の説明に先立ち、
磁気ディスク装置の概要について説明する。図1は、ロ
ータリーアクチュエータを用いた磁気ディスク装置の概
略を示したものである。ディスク201は、スピンドル
202に装着され、所定の回転数で回転される。ディス
ク201上を浮上もしくは接触した状態で情報の記録再
生を行う磁極を搭載したスライダ203は、薄板状のサ
スペンション204の先端に取付られている。サスペン
ション204は、図示しない駆動コイルを保持するボビ
ン部等を有するアクチュエータアーム205の一端に接
続されている。一方、アクチュエータアーム205の他
端には、リニアモータの一種であるボイスコイルモータ
206が設けられている。ボイスコイルモータ206
は、前記アクチュエータアーム205のボビン部に巻き
上げられた図示しない駆動コイルと、それを挟み込むよ
うに対向して配置された永久磁石及び対向ヨークからな
る磁気回路とから構成される。アクチュエータアーム2
05は、固定軸207の上下2カ所に設けられた図示し
ないボールベアリングによって保持され、ボイスコイル
モータ206により回転揺動が自在にできるようになっ
ている。
【0019】次に、スライダの浮上姿勢について、図2
を参照しつつ簡単に説明する。スライダ203は、動作
時にその姿勢をディスク201に倣わせるための図示し
ない可撓性部材(ジンバル)を介してサスペンションに
より保持されており、ディスク201の回転に伴って発
生する空気流の動圧によって、その全体もしくは一部が
ディスク201から浮上している。スライダ203の姿
勢は、何らかの製造誤差あるいは動圧の変動などによっ
て微妙に変化する場合があり、その変化はローリング及
びピッチングという形で規定できる。図2に示すよう
に、ローリングとは、スライダ203のディスク回転方
向Aにほぼ沿った方向(長手方向)の軸線208回りの
回転Rをいい、ピッチングとは、スライダ201の長手
方向と直交する方向の軸線209回りの回転Pをいう。
【0020】第1の実施形態 本発明の第1の実施形態について、図3を参照しつつ説
明する。図3は、本発明の第1の実施形態にかかるスラ
イダ形状を示したもので、(a)は斜視図、(b)は平
面図、(c)は側面図である。ここで、(b)は図示し
ないディスク表面と対向する側のスライダ面を示したも
のである。スライダ203aは、ディスク回転方向Aに
向かって後方に位置する端面に磁極21を備えた記録再
生ヘッド20を搭載している。
【0021】上記したように、等価的なヨー角変動によ
り浮上量等が変動するのは、空気流の横漏れによる動圧
発生効率の低下が原因であり、これは、いわゆるテーパ
フラットスライダに代表されるディスク回転方向Aに関
して長い動圧発生部をもつスライダ形状において顕著に
見られる現象である。かかるヨー角依存性を低減するた
めには、図示したように、スライダ203aの動圧発生
部2a,2bをディスクの回転方向Aに沿った長さより
も該回転方向Aに略垂直な方向に沿った長さの方が長い
横長形状とすることが望ましい。しかし、スライダ20
3aの形状全体をかかる横長形状とすると、ピッチング
剛性の低下が問題となる。そこで、本実施形態では、横
長形状の動圧発生部2a,2bをディスク回転方向Aに
関して前後に2つ配列する構成とする。ここで、前後の
動圧発生部2a,2bは、空気流による動圧がほとんど
発生しない深溝3によって隔てられる。深溝3は、機械
加工もしくはエッチングにより形成される。
【0022】一方、単に横長形状の動圧発生部2a,2
bを複数有するスライダとしただけでは、ヨー角依存性
の低減により過渡的な浮上量変動を抑制することは可能
となるが、逆にディスク内外周で浮上量差が生じてしま
う。そこで、本実施形態においては、ヨー角依存性によ
らずにディスク内外周での浮上量差を抑制すべく、前方
の動圧発生部2aの一部にディスク回転方向Aに略垂直
な方向に沿った段差4を設けることにより、ランド部5
を形成することとした。ここで、段差4は、ランド部5
をマスキングし、エッチングにより形成する。段差4の
深さは、前方の動圧発生部2aの後端部の浮上量とほぼ
等しい程度とすることが望ましく、非常に浅く形成すれ
ば良いことから、短時間で形成でき、かつマスキングも
容易である。また、ランド部5と後方の動圧発生部2b
が同一平面をなすように形成すれば(図3(c)参
照)、1回のエッチング工程で動圧発生部2a,2bを
形成することができるため、製作効率が向上し、大量生
産にも適した構造とすることができる。
【0023】次に、本実施形態により、ディスク内外周
での浮上量差を抑制できる理由について説明する。後方
の動圧発生部2bはディスク回転方向Aに関して短く、
該回転方向Aに略垂直な方向に関して長い横長形状の平
面であり、動作時には、前方の動圧発生部2aが浮上す
るのにともなって所定のピッチングを有して浮上する。
【0024】図4は、後方の動圧発生部2bの後端のス
ペーシング(浮上隙間)を一定とした場合において、後
方の動圧発生部2bのピッチングに対する、浮上力をプ
ロットしたものである。図中で、○はスライダ203a
がディスク外周側に位置する場合、△はディスク内周側
に位置する場合の結果をそれぞれ示している。図示した
ように、浮上力はピッチングが一定であれば、ディスク
内外周ではほとんど差がない。即ち、後方の動圧発生部
2bにおける浮上力の変動は、ディスク内外周での周速
差よりも、ピッチングの変動によるところが大きいこと
がわかる。
【0025】従って、ヨー角依存性によらずにディスク
内外周での浮上量差を抑制するためには、後方の動圧発
生部2bのピッチングがディスク内外周でほぼ一定とな
るようにすればよい。即ち、ディスク内外周で後方の動
圧発生部2bのピッチングが変化しないように、前方の
動圧発生部2aの形状を設定することにより磁極21が
設けられる後方の動圧発生部2bの後端におけるスペー
シングを、ディスク内外周における周速差によらず一定
に保つことが可能となる。
【0026】図5は、スライダ203aのピッチング及
び後端のスペーシングを一定とした場合に、図3に示し
たスライダ203aの前方の動圧発生部2aのディスク
回転方向Aに関する全長Lとランド部5の同方向に関す
る長さSとの比率に対する、ディスク内外周での前方の
動圧発生部2aに作用する浮上力の比をプロットしたも
のである。ここでは、前方の動圧発生部2aの全長Lや
段差4の深さ等の条件を変化させた4種類の形状に関す
る解析結果を示した。4種類の形状の解析条件は、以下
の通りである。
【0027】 全長 L 段差の深さ □ 0.2mm 0.1μm ○ 0.3mm 0.1μm △ 0.4mm 0.2μm ▽ 0.4mm 0.3μm 尚、スライダ203aのスペーシングは50nm、ピッ
チングは100μradとしている。
【0028】この結果によれば、全長Lに対してランド
部5の長さSの比率が50%以上となる第1の領域にお
いては、ディスク内周側における浮上力よりもディスク
外周側における浮上力の方が大きくなっている。一方、
前記比率が10%より大きく50%より小さい第2の領
域においては、ディスク内外周での浮上力変化が比較的
小さい。さらに、前記比率が10%以下となる第3の領
域においては、ディスク内周側における浮上力よりもデ
ィスク外周側における浮上力の方が小さくなっている。
【0029】図6は、上記した3つの領域に属する前方
の動圧発生部2aを採用した場合において、ディスクの
周速に対するスライダ203aのピッチング及びヘッド
が設けられる後方の動圧発生部2bの後端におけるスペ
ーシングの変化をそれぞれ示したものである。ここで、
縦軸はディスク外周側でのピッチング及びスペーシング
を基準とした比で表示している。
【0030】まず、第1の領域に属する前方の動圧発生
部(前記比率が50%)を採用した場合は、ディスク内
外周において、ディスクの周速が上がるほど(ディスク
外周側へ行くほど)ピッチングが大きくなる(図中の
△)ので、それに伴ってスペーシングも増加し(図中の
黒三角)、ディスク内外周での浮上量一定化は実現でき
ない。
【0031】また、第3の領域に属する前方の動圧発生
部(前記比率が10%)を採用した場合は、ディスク内
外周において、ディスクの周速が上がるほど(ディスク
外周側へ行くほど)ピッチングが小さくなる(図中の
□)ので、それにともなってスペーシングも減少し(図
中の黒四角)、やはりディスク内外周での浮上量一定化
は実現できない。
【0032】一方、第2の領域に属する前方の動圧発生
部(前記比率が30%)を採用した場合は、ディスク内
外周において、ピッチング(図中の○)及びスペーシン
グ(図中の黒丸)はディスクの周速差によらずにほぼ一
定となるため、ディスク内外周での浮上量一定化が実現
できる。
【0033】従って、前方の動圧発生部2aに形成され
るランド部5のディスク回転方向Aに関する長さを該動
圧発生部2aの同方向Aに関する全長の10%より大き
く50%より小さい範囲とすることにより、ディスク内
外周での浮上量一定化(浮上量の変動が±10%程度は
許容できるものとする)を実現することが可能となる。
さらに、ランド部5の長さが動圧発生部2aの全長のほ
ぼ30%であれば、ディスク内外周での浮上量をほぼ完
全に一定とすることが可能となる。
【0034】なお、ランド部5の長さが動圧発生部2a
の全長のほぼ30%の場合は、段差を設けることにより
ランド部を形成したいわゆるステップ軸受における動圧
発生効率が最も高くなることが一般に知られている。従
って、この場合にはディスク内外周での浮上量一定化の
効果とともに、限られたスライダ面積内で効果的に十分
な動圧を発生させることが可能となる。
【0035】以上述べたように、本発明の第1の実施形
態によれば、ヨー角依存性の低減により過渡的な浮上量
変動を抑制することができるとともに、ディスク内外周
での浮上量一定化を実現することが可能となる。
【0036】ところで、ディスク停止時にスライダとデ
ィスクとの間に水分が凝集するなどの理由により、ディ
スク上にスライダが吸着し、ディスク起動時にスライダ
を円滑に浮上させることが困難になる場合がある。この
問題を回避するために従来はディスク31の表面にテク
スチャと呼ばれる微少な凹凸を設けることにより、停止
中のディスクとスライダとの間に隙間を維持することが
行われている。しかし、このテクスチャは動作時におけ
る浮上量のばらつきに伴って発生するスライダとディス
クとの衝突の危険度を高める原因となり、スライダの低
浮上化に対する妨げとなるおそれがある。
【0037】従って、かかる吸着現象を防止するために
は、ディスク上におけるスライダの接地面積を減少させ
ることが最も有効である。本実施形態によれば、前方の
動圧発生部2aにおいてはランド部5のみがディスク上
に接地することから、前方の動圧発生部2aの接地面積
を後方の動圧発生部2bの接地面積よりも小さくするこ
とができ、上記した吸着現象を有効に防止することが可
能となる。
【0038】以上説明した実施形態では、前方の動圧発
生部2aのみに段差4を設けることとしたが、図7に示
すように、前後の動圧発生部2a,2bに段差4,4’
を設ける構成としても、本実施形態と同様の作用効果が
期待できる。かかる構成によれば、後方の動圧発生部2
bも、前方の動圧発生部2aと同様の浮上力を得ること
から、後方の動圧発生部2b全体の面積を低減すること
ができ、スライダ全体を小型化することが可能となると
ともに、吸着現象をさらに低減することが可能となる。
【0039】第2の実施形態 本発明の第2の実施形態について、図8を参照しつつ説
明する。図8は、本発明の第2の実施形態にかかるスラ
イダ形状を示したもので、(a)は斜視図、(b)は平
面図、(c)は側面図である。なお、図中で、図2に示
した部分と同一の部分もしくは同一機能を有する部分に
ついては、同一の符号を付すことにより重複説明を省略
する(以下の実施形態においても同様とする)。
【0040】上記したように、第1の実施形態のごとく
横長形状の動圧発生部2a,2bを有するスライダ20
3aにおいては、ディスク外周側でヨー角がつくと、空
気流に伴って発生する動圧の圧力中心がスライダ203
aのディスク内周側Sinにシフトする。このため、ディ
スク外周側でヨー角がつくと、ディスク内周側Sinが高
く、ディスク外周側Sout が低くなるようにローリング
した姿勢で飛行することになる。そこで、本実施形態に
おいては、スライダ203aの動圧発生部2a,2bを
ディスク回転方向Aに沿って前後2段に配列し、前方の
動圧発生部2aにディスク内外周での浮上量差を抑制す
るため、段差4を設けてランド部5を形成するととも
に、後方の動圧発生部2bのディスク内周側及び外周側
の側部に切欠部25a,25bを形成し、ディスク回転
方向Aにほぼ沿った段差6a,6bを設ける構成とし
た。
【0041】ディスクの回転方向は、厳密にはディスク
内外周でヨー角の変動分だけ相違する(図8(b)参
照)。ここでは、スライダ203aがディスク内周側に
位置しているときの該ディスクの回転方向を矢印Aで示
し、スライダ203aがディスク外周側に位置している
ときの該ディスクの回転方向を図中の矢印Bで示す。ス
ライダ203aがディスク外周側に位置する場合、ディ
スク外周側の段差6aではスライダ203aをディスク
から離反させる方向の圧力(正圧)が発生するのに対し
て、ディスク内周側の段差6bでは、それと反対方向の
圧力(負圧)が発生する。このため、スライダ203a
は、ディスク内周側Sinが低く、ディスク外周側Sout
が高くなるようにローリングした姿勢をとろうとする。
即ち、ディスク外周側でヨー角がつくことにより、空気
流に伴って発生する動圧の圧力中心がディスクの内周側
にシフトするため、スライダ203aのディスク内周側
Sinが高く、ディスク外周側Sout が低くなるようにロ
ーリングした姿勢をとろうとする作用に対して、段差6
a,6bを設けることにより、それとは反対の姿勢をと
ろうとする作用が生じることになる。従って、両作用が
相殺されることにより、ディスク外周側でのローリング
を防止することが可能となる。
【0042】また、かかるローリング防止機能は、スラ
イダ203aのシーク時に等価的なヨー角変動が生じた
場合にも有効である。即ち、スライダ203aのシーク
時に生じる等価的なヨー角変動に伴って過渡的なローリ
ングが生じた場合でも、段差6a,6bの作用によりそ
れを調整することができ、スライダ側端部がディスクに
衝突する危険を回避することが可能となる。
【0043】本実施形態によれば、上記した第1の実施
形態と同様に、ヨー角依存性の低減により過渡的な浮上
量変動を抑制することができ、かつディスク内外周での
浮上量一定化を実現することが可能となるとともに、デ
ィスク外周側でのスタイダ203aのローリング及びシ
ーク時における過渡的なローリング変動を防止できるた
め、後方の動圧発生部2bがディスクに衝突するおそれ
がなくなる。
【0044】なお、ここで、上記した前方の動圧発生部
2aにおける段差4と本実施形態により新たに設けた段
差6a,6bとを同一の深さとし、1回のエッチングに
より形成するようにすれば、製作効率を向上させること
ができる。
【0045】第3の実施形態 本発明の第3の実施形態について、図9を参照しつつ説
明する。図9は、本発明の第3の実施形態にかかるスラ
イダ形状を示したもので、(a)は斜視図、(b)は平
面図、(c)は側面図である。
【0046】上記した第2の実施形態によれば、ディス
ク外周側でのスタイダ203aのローリングを防止でき
るが、後方の動圧発生部2bの側部に切欠部25a,2
5bを設けることから、その部分の動圧が低下するた
め、スライダ203aのローリング剛性が多少減少す
る。そこで、本実施形態では、後方の動圧発生部2bの
側部にディスク回転方向Aにほぼ沿った段差6a,6b
と同回転方向Aに略垂直な方向に沿った段差7a,7b
を設けるよう切欠部26a,26bを形成している。か
かる構成によれば、上記した第2の実施形態と同様の効
果が生じるとともに、前記段差7a,7bによって、正
圧が発生することから、後方の動圧発生部2bにおける
所定の動圧を確保しつつ、両側部近傍の圧力分布を高め
ることができ、スライダ203aのローリング剛性を高
く維持することが可能となる。
【0047】図10は、後方の動圧発生部におけるディ
スクの回転方向と略垂直な方向(スライダ幅方向)に関
する圧力分布を示したものである。図中で、D1は上記
した第1の実施形態に示した単一のフラット面からなる
動圧発生部を有する場合の圧力分布、D2は本実施形態
に係る動圧発生部を有する場合の圧力分布をそれぞれ示
したものである。
【0048】図示したように、単一のフラット面からな
る動圧発生部を有する場合は、スライダ幅方向の中央部
で最も圧力が高く、両側端に近づくにつれて圧力が大気
圧に漸近するような圧力分布となる。これに対して、本
実施形態にかかる動圧発生部を有する場合は、圧力が段
差7a,7bの近傍で高く、スライダ幅方向の中央付近
では低い圧力分布となる。従って、後方の動力発生部2
bでの浮上力が仮に同じであっても、本実施形態に係る
動圧発生部の形状の方がより高いローリング剛性を得る
ことができる。
【0049】一方、上記した第1の実施形態において示
したような単一のフラット面に比べて、段差7a,7b
を形成した方がより大きな正圧を発生させることができ
るため、本実施形態にかかる構成によれば、後方の動圧
発生部2bをディスク回転方向に関して短く形成するこ
とができ、スライダ全体を小型化することが可能となる
とともに、ディスク停止時における後方の動圧発生部の
接地面積を削減できることから、スライダの吸着現象を
防止することも可能となる。
【0050】また、本実施形態によれば、上記した第2
の実施形態と同様に、ヨー角依存性の低減により過渡的
な浮上量変動を抑制することができ、かつディスク内外
周での浮上量一定化を実現することが可能となるととも
に、ディスク外周側でのスタイダ203aのローリング
を防止でき、しかもローリング剛性を高く維持すること
ができるため、後方の動圧発生部2bがディスクに衝突
するおそれがなくなる。
【0051】なお、上記した前方の動圧発生部2aにお
ける段差4と本実施形態により新たに設けた段差6a,
6b,7a,7bとを同一の深さとし、1回のエッチン
グにより形成するようにすれば、製作効率を向上させる
ことができる。
【0052】第4の実施形態 本発明の第7の実施形態について、図11を参照しつつ
説明する。図11は、本発明の第7の実施形態にかかる
スライダ形状を示したもので、(a)は斜視図、(b)
は平面図、(c)は側面図である。
【0053】本実施形態の第1の特徴は、ヨー角がつい
たときのローリング防止機能の調整にある。上記した第
3の実施形態に係るスライダ形状において、ヘッドとデ
ィスクとの間の所望のスペーシングもしくは接触力を実
現するための一方策として、後方の動圧発生部2bの両
側部近傍に設けられる正圧発生用の段差7a,7bの幅
(ディスク回転方向とほぼ垂直な方向の長さ)を調整す
る方法がある。即ち、段差7a,7bの幅を小さくすれ
ば、スペーシングは小さくなり、また、接触力は大きく
なる。一方、段差7a,7bの幅を大きくすれば、スペ
ーシングは大きくなり、また、接触力は小さくなる。
【0054】ところが、段差7a,7bの幅を調整する
と、必然的にスライダ長手方向の中心軸(スライダ中心
軸)からディスク回転方向Aにほぼ沿った段差6a,6
bが設けられる位置までの距離が変動し、かかる段差6
a,6bの有するローリング防止機能(上記第3の実施
形態の説明参照)に変化が生じる。従って、所定のスペ
ーシングや接触力を得るために段差7a,7bの幅を設
定した場合、そのローリング防止効果が顕著になりすぎ
て、ヨー角が大きくなるディスク外周側において、スラ
イダ203aのディスク内周側Sinがディスクに接近
し、ディスク外周側Sout がディスクから離反するよう
にローリングしてしまう場合がある。
【0055】特に、本実施形態のごとく、磁極21がス
ライダ203aの側方に寄せて配置されている場合にお
いては、図示しないサスペンションのねじれやピボット
位置の誤差等に起因するローリングのばらつきが大きな
問題となるため、スライダ203aのローリング剛性を
向上させる必要があることから、後方の動圧発生部2b
において正圧を発生させる段差7a,7bはできるだけ
スライダ203aの側端部近傍に形成することが望まし
い。従って、ローリング防止機能を発揮する段差6a,
6bは必然的にスライダ中心軸から遠ざかる傾向にあ
り、ローリング防止効果が顕著になり易い。
【0056】そこで、本実施形態では、このような場合
の解決策として、後方の動圧発生部2bにおいて、ディ
スク回転方向Aにほぼ沿った段差6a,6bとの間に、
これらに対向して配置される段差Xa,Xbを形成する
ため、切欠部81を新たに設けることとした。かかる切
欠部81a,81bは、例えばエッチングなどの手段で
形成される。
【0057】上記したように、ディスク外周側でヨー角
がついた時には、空気流によって段差6aにおいては正
圧が、段差6bにおいては負圧がそれぞれ発生する。こ
れらの圧力とスライダ中心軸から段差6a,6bが設け
られる位置までの距離との積で決まるローリングモーメ
ントによって、スライダ203aのディスク外周側Sou
t がディスクから離反し、ディスク内周側Sinがディス
クに接近するようにローリングが生じる。
【0058】一方、段差Xa,Xbは、これとは逆の効
果を有する。即ち、段差Xaにおいては負圧が、段差X
bにおいては正圧がそれぞれ発生し、スライダ203a
のディスク外周側Sout がディスクに接近し、ディスク
内周側Sinがディスクから離反するようにローリングが
生じる。
【0059】従って、スライダ中心軸から段差Xa,X
bが設けられる位置までの距離を適宜選べば、適度なロ
ーリングモーメントを発生させることが可能となること
から、上記したローリング防止機能を調整することが可
能となる。
【0060】次に、本実施形態の第2の特徴である負圧
の効果による剛性の向上について説明する。本実施形態
においては、切欠部81を設けることにより、後方の動
圧発生部2bの前縁に対向した段差Wが形成される。そ
の結果、段差Xa,W,Xbで囲まれる領域で負圧が発
生する。後方の動圧発生部2aは浮上量が小さいことか
ら、段差Wが浅くても有効に負圧を発生させることがで
きる。
【0061】かかる負圧の作用により以下のような効果
が生じる。まず、磁極21近傍のスペーシングを変化さ
せることなく、段差7a,7bにより発生させる正圧を
さらに高める構成とすることができ、ローリング剛性を
向上させることが可能となる。
【0062】また、上記したように正圧を高めることが
できれば、必然的にばね剛性(ディスクに垂直な方向に
関してスライダを支える剛性)を向上させることが可能
となる。このように、磁極21が設けられている後方の
動圧発生部2bにおけるばね剛性が高められれば、次の
ような点で有利である。まず、サスペンションの製造誤
差等によりサスペンションからスライダ203aに加え
られる荷重にばらつきが生じると、スライダ203aの
浮上量が変動するが、ばね剛性が高ければこの浮上量変
動を小さく抑えることができる。また、使用環境の変化
等により大気圧が変動するのに伴い、やはりスライダ2
03aの浮上量が変動するが、ばね剛性が高ければその
浮上量変動を小さく抑えることができる。
【0063】以上説明した本実施形態によれば、上記し
た第3の実施形態と同様に、ヨー角依存性の低減により
過渡的な浮上量変動を抑制することができ、かつディス
ク内外周での浮上量一定化を実現することが可能となる
とともに、ディスク外周側でのスタイダ203aのロー
リングをより有効に防止でき、しかもローリング剛性を
高く維持することができるとともに、スライダ−ディス
ク間のスペーシングもしくは接触力の安定化を実現する
ことが可能となる。
【0064】さらに、本実施形態においては、段差等を
形成した後、深溝3を形成する際に、前方の動圧発生部
2aに形成されるランド部5の寸法が変動したり、エッ
ジにカケ等の欠陥が発生しないように、該動圧発生部2
aの深溝3の近傍にマージン10を設定している。な
お、かかる構成において、前方の動圧発生部2aのディ
スク回転方向Aに関する全長には、マージン10は含ま
れないものとする。ここで、深溝3を形成する際に生じ
る寸法誤差の主な原因は、加工に用いるブレードの厚み
誤差である。一方、前後の動圧発生部2a,2bのう
ち、後方の動圧発生部2bについては、寸法誤差に伴う
浮上量変動の影響が小さいことから、後方の動圧発生部
2bの前端とブレード端部とを正確に位置決めすれば、
マージン10は前方の動圧発生部2aの後端のみに設け
るように設ければ十分である。ただし、後方の動圧発生
部2bの前縁にも同様にマージンを設けてもよい(図示
省略)。
【0065】また、スライダ203aは、通常その側面
が連結された状態で複数個同時に形成され、最後に側面
を切断することにより分割される。従って、本実施形態
においては、切断加工を行う際に、ランド部5のエッジ
にカケ等の欠陥が発生しないように、各動圧発生部の側
部近傍にもマージン11を設定している。
【0066】尚、本実施形態において、段差Xa,X
b,Wを段差6a,6b,7a,7bと同じ深さに設定
すれば、1回の工程で切欠部26a,26b等と同時に
切欠部81a,81bを形成することができ、製作効率
を向上させることが可能となる。
【0067】第5の実施形態 本発明の第5の実施形態について、図12を参照しつつ
説明する。図12は、本発明の第5の実施形態にかかる
スライダ形状を示したもので、(a)は斜視図、(b)
は平面図、(c)は側面図である。
【0068】本実施形態は、上記した第4の実施形態に
クラウンを設けたスライダ形状を示したものである。本
実施形態は、前方の動圧発生部2aと後方の動圧発生部
2bの表面が互いに同一平面上にくることのないよう
に、該表面全体がディスク側に凸な関係に形成されてい
ることを特徴とする(図12(c)参照)。即ち、スラ
イダ203aのディスクに対向する面の形状を、例えば
楕円筒状もしくは円筒状の軌跡に合わせて湾曲させるこ
とによりクラウンを形成している。
【0069】このような構造を実現する手段としては、
通常のスライダに利用されている方法、即ち、サスペン
ションを貼り付ける際の条件を選ぶ、スライダの腹面に
スクラッチを設けることにより表面張力を開放するなど
がある。
【0070】また、図示しないが、前方の動圧発生部2
aの後部と、後方の動圧発生部2bの前部に膜を積層す
ることによってディスク側に凸な形状とすることも可能
である。
【0071】さらに、前方の動圧発生部2aを前方から
後方に向けてディスクに近付けるように傾斜させるとと
もに、後方の動圧発生部2bを前方から後方に向けてデ
ィスクから遠ざけるように傾斜させることにより、全体
としてディスク側に凸な形状とすることも可能である。
【0072】このような構成によれば、前方の動圧発生
部2aに迎え角がつくことにより、動圧軸受としての効
果が増大し、ピッチングが大きくなるという特徴があ
る。ピッチングが大きいと、ディスク回転中にスライダ
203aとディスクとの隙間にごみが進入しても前方の
動圧発生部2aに付着しにくくなり、かつ、後方の動圧
発生部2bに付着したとしても、スライダ203aが前
のめりになる危険が少なく、安定した浮上もしくは接触
が可能となる。
【0073】また、このような構成によれば、ディスク
停止時におけるスライダ203aとディスクとの接触部
が、前方の動圧発生部2aの後端と、後方の動圧発生部
2bの前端になり、吸着がより起こりにくくなるという
利点もある。
【0074】さらに、このような構成によれば、上記し
た荷重変動や大気圧変動による浮上量変動を小さく抑え
ることが可能となる。スライダ203aをディスク方向
に押付ける荷重が所定の値よりも大きくなった場合や大
気圧が下がった場合のいずれの場合にも、前方の動圧発
生部2aにおける浮上量が低下し、ピッチングも低下す
るため、後方の動圧発生部2bはこれに伴って、ピッチ
ング依存性(スライダに作用する浮上力がピッチングの
差に依存する性質)(図4参照)の影響により、浮上量
が低下してしまう。ところが、クラウンの影響で迎え角
がついている場合には、ピッチングの低下する割合が小
さくなるため、後方の動圧発生部2bにおける浮上量の
低下も起こりにくくなり、浮上量の安定化が実現でき
る。
【0075】第6の実施形態 本発明の第6の実施形態について、図13を参照しつつ
説明する。図13は、本発明の第6の実施形態にかかる
スライダ形状を示したもので、(a)は斜視図、(b)
は平面図、(c)は側面図である。
【0076】本実施形態は、上記した第5の実施形態の
変形形態を示したものであり、前後の動圧発生部2a,
2bを仕切る深溝3を含め、スライダ203aのディス
ク対向面を全てミリングにより加工することを特徴とす
るものである。上記した各実施形態は、深溝3を機械加
工により形成するため、前方の動圧発生部の後縁及び後
方の動圧発生部の前縁は、それぞれ面一に形成されてい
るが、ミリングによればかかる形状を任意に形成するこ
とが可能となる。
【0077】本実施形態では、特に、後方の動圧発生部
の前縁に凸部31を設けることにより、段差Xa,W,
Xbにより囲まれる切欠部81の領域を拡張している。
ここで、切欠部81の領域は段差Wの後方で発生する負
圧の値を決定する要素となって。従って、凸部31の形
状を適時調整することにより、段差7a,7bにおいて
発生する正圧の値とは独立に負圧の値を調整することが
可能となり、設計の自由度を大幅に向上させることがで
きる。即ち、本実施形態のように切欠部81の領域を拡
張することができれば、より大きな負圧を発生させるこ
とが可能となるので、段差7a,7bにおいて更に大き
な正圧を発生させる設計が可能となり、後方の動圧発生
部2bのローリング剛性及びばね剛性を向上させること
ができる。
【0078】また、本実施形態では、スライダ203a
の四隅32をミリングにより面取りしている。これによ
り、種々の要因によるローリング変動やピッチング変動
あるいは浮上量変動が生じても、スライダ203aがデ
ィスクと衝突する危険を回避することが容易となる。ま
た、装置に衝撃が加わり、スライダ203aがディスク
から一旦離れ、再び接地する際にディスクに傷を付ける
ことがある。特に接地の際の姿勢がディスクと平行でな
い場合、スライダ203aの四隅32のいずれかがディ
スクに鋭い傷を形成する原因となる。従って、スライダ
203aの四隅32を面取りすることは、かかるディス
クへの損傷を防止する効果をも有する。
【0079】尚、本実施形態において、段差4,6a,
6b,7a,7b,Xa,Xb,Wを同じ深さとし、深
溝3及び四隅32の面取りを同じ深さとすれば、2回の
ミリングにより切欠部等を形成することができ、製作効
率を向上させることが可能となる。
【0080】第7の実施形態 本発明の第7の実施形態について、図14を参照しつつ
説明する。図14は、本発明の第7の実施形態にかかる
スライダ形状を示したもので、(a)は斜視図、(b)
は平面図、(c)は側面図である。
【0081】本実施形態は、上記した第6の実施形態の
変形形態を示したものであり、後方の動圧発生部の前縁
に凸部31を設けることにより、段差Xa,W,Xbに
より囲まれる切欠部81の領域を拡張するとともに、あ
わせて凸部41a,41bを設けることにより、段差7
a,7bを形成するために設けられる切欠部26a,2
6bの領域を拡張している。ここで、切欠部26a,2
6bの領域は、段差7a,7b近傍で発生する正圧の
値、あるいはディスクの周速やスライダのピッチングの
変化に伴う正圧の挙動を決定する要素となっている。従
って、後方の動圧発生部2bの前縁の形状を適宜調整で
きることは、以下の点で有効である。
【0082】まず、後方の動圧発生部2bの前縁に設け
られる凸部41a,41bの形状を適宜調整することに
より、段差6a,6bのディスク回転方向に関する長さ
と段差7a,7bを形成するために設けられる切欠部2
6a,26bの領域を独立に設定することが可能とな
る。即ち、段差6a,6bにより得られるローリング防
止機能と、段差7a,7bによる正圧発生機能とを独立
に調整することが可能となり、設計の自由度を大幅に向
上させることができる。
【0083】また、段差Wの後方で発生する負圧との関
係から、段差7a,7bで発生する正圧の値を独立に調
整することも可能となる。
【0084】第8の実施形態 本発明の第8の実施形態について、図15を参照しつつ
説明する。図15は、本発明の第8の実施形態にかかる
スライダ形状を示したもので、(a)は斜視図、(b)
は平面図、(c)は側面図である。本実施形態では、前
方の動圧発生部2aの後方の側端部近傍にランド部50
a,50bを設けることにより、ディスクの回転方向に
沿った段差51a,51bが形成されている。かかる段
差51a,51b及び前方の動圧発生部2aの後縁によ
り囲まれ、深溝3側に開口した切欠部52では、ディス
クの回転に伴って発生する空気流の作用により負圧が発
生する。ここで、切欠部52は、ランド部50a,50
bによりその両側部を囲まれるように形成されているた
め、負圧がスライダ203aの側部で大気圧に開放され
ることにより低減されることなく効率的に発生する。
【0085】また、ランド部50a,50bは、前方の
動圧発生部2aに設けられるランド部5よりも段差4の
分だけ退いた部分と面一に形成されており、スライダ2
03aの対ディスク表面接地面積を増やすことなく負圧
を効果的に発生させることができるので、一般の負圧ス
ライダが吸着作用に困窮するのに対し、かかる吸着防止
の面で非常に有利となる。
【0086】一方、上記した第6または第7の実施形態
のごとく深溝3をミリングにより形成する場合には、機
械加工に比べて深溝3の深さが浅くなることから、後方
の動圧発生部2bの前縁で生ずる正圧が無視できなくな
る場合がある。例えば、ミリングによる深溝3の深さを
10μm以下にした場合、ディスクの内周から外周にか
けて周速が増加するにつれ後方の動圧発生部2bの前縁
で発生する正圧が大きくなり、ディスク内外周での浮上
量一定化が妨げられる可能性がある。
【0087】かかる場合でも、本実施形態のごとく前方
の動圧発生部2aの後方で負圧発生させる構成によれ
ば、ディスク内外周での浮上量一定化を実現することが
可能である。即ち、前方の動圧発生部2aの後方の切欠
部53において発生する負圧も、ディスクの内周から外
周にかけて周速が増加するにつれて大きくなる性質を有
することから、上記した後方の動圧発生部2bの前縁で
発生する正圧を打ち消すように作用し、ディスク内外周
での浮上量一定化が実現される。また、本実施形態よう
な構成によれば、正圧と負圧の和であるサスペンション
荷重を小さく設定することも容易となる。
【0088】第9の実施形態 本発明の第9の実施形態について、図16を参照しつつ
説明する。図16は、本発明の第9の実施形態にかかる
スライダ形状を示したもので、(a)は斜視図、(b)
は平面図、(c)は側面図である。
【0089】本実施形態では、前方の動圧発生部2aに
形成されるランド部5の側端部近傍にディスクの回転方
向と反対方向に伸びる延長ランド部60a,60bを設
けることにより、ディスクの回転方向に沿った段差61
a,61bが形成されている。
【0090】上記したように、磁極21がスライダ20
3aの側方に寄せて配置されている場合においては、図
示しないサスペンションのねじれやピボット位置の誤差
等に起因するローリングのばらつきが大きな問題となる
ため、スライダ203aのローリング剛性を向上させる
必要があることから、後方の動圧発生部2bにおいて正
圧を発生させる段差7a,7bはできるだけスライダ2
03aの側端部近傍に形成することが望ましい。従っ
て、ローリング防止機能(上記第3の実施形態の説明参
照)を発揮する段差6a,6bは必然的にスライダ中心
軸から遠ざかる傾向にあり、ローリング防止効果が顕著
になり易い。
【0091】本実施形態によれば、ディスク外周側でヨ
ー角がついた場合、段差61aにおいては負圧が、段差
61bにおいては正圧が発生することから、顕著になり
すぎたローリング防止効果を調整することが可能とな
る。
【0092】また、延長ランド部をディスクの回転方向
と反対方向に延設し、段差4の側方を段差61a,61
bで囲むことにより、空気流の横漏れが低減され、段差
4において効率的に正圧を発生させることができるた
め、スライダ203aのピッチングを大きくすることが
可能となる。
【0093】第10の実施形態 本発明の第10の実施形態について、図17及び図18
を参照しつつ説明する。
【0094】図17は、本発明の第10の実施形態にか
かるスライダ形状を示したもので、(a)は斜視図、
(b)は平面図、(c)は側面図である。本実施形態
は、上記した第8及び第9の実施形態を組合せたもので
ある。かかる構成によれば、双方の実施形態が有する効
果を同時に満たすスライダ203aを形成することも可
能である。
【0095】一方、図18は、本発明の第10の実施形
態にかかるスライダ形状の変形例を示したもので、
(a)は斜視図、(b)は平面図、(c)は側面図であ
る。本実施形態では、延長ランド部60a,60bを、
前方の動圧発生部2aの後方に設けられる負圧発生用の
ランド部50a,50bに重なるように、ディスクの回
転方向側に延設したものである。
【0096】かかる構成によっても、上記した第8及び
第9の実施形態が有する効果を同時に満たすスライダ2
03aを形成することも可能である。また、負圧発生用
のランド部50a,50bのディスク回転方向の長さ
は、発生する負圧の値を決定する要素となっており、延
長ランド部60a,60bの同方向の長さは、ローリン
グ防止効果の調整の程度を決定する要素となっている。
従って、それぞれの長さは、それぞれに機能に応じて適
宜決定される。
【0097】第11の実施形態 本発明の第11の実施形態について、図19を参照しつ
つ説明する。図19は、本発明の第11の実施形態にか
かるスライダ形状を示したもので、(a)は斜視図、
(b)は平面図、(c)は側面図である。
【0098】本実施形態では、段差Xa,W,Xbの深
さを深溝3と同一もしくは同程度の深さとすることを特
徴とするものである。かかる深い段差Wにより発生する
負圧は、ディスクの内周側では比較的小さく、ディスク
の外周側にへ行くにつれて大きくなる性質を示す。
【0099】上記したように、深溝3をミリングにより
形成する場合には、機械加工に比べて深溝3の深さが浅
くなることから、後方の動圧発生部2bの前縁で生ずる
正圧が無視できなくなる場合がある。例えば、ミリング
による深溝3の深さを10μm以下にした場合、ディス
クの内周から外周にかけて周速が増加するにつれ後方の
動圧発生部2bの前縁で発生する正圧が大きくなり、デ
ィスク内外周での浮上量一定化が妨げられる可能性があ
る。
【0100】しかし、本実施形態によれば、段差Wの後
方において発生する負圧も、ディスクの内周から外周に
かけて周速が増加するにつれて大きくなる性質を有する
ことから、上記した後方の動圧発生部2bの前縁で発生
する正圧を打ち消すように作用し、ディスク内外周での
浮上量一定化が実現できる。
【0101】また、本実施形態によれば、ディスク起動
時における低周速領域においては、発生する負圧が小さ
いため、スライダ203aが比較的早くディスク上から
離陸する特性が期待できる。
【0102】尚、段差Xa,W,Xbの深さを深溝3と
同一とすれば、他の実施形態と同様に2回のミリングに
より切欠部26a,26b,81等を形成することがで
き、製作効率を向上させることが可能となる。
【0103】第12の実施形態 本発明の第12の実施形態について、図20を参照しつ
つ説明する。図20は、本発明の第12の実施形態にか
かるスライダ形状を示したもので、(a)は斜視図、
(b)は平面図、(c)は側面図である。
【0104】本実施形態は、上記した第11の実施形態
の変形形態を示したものであり、後方の動圧発生部2b
の前縁と段差Wとに挟まれた部分に浅いミリングを施し
て切欠部70を形成したものである。かかる構成によれ
ば、前方の動圧発生部2aの後方に設けられる負圧発生
部と、後方の動圧発生部2bに設けられる負圧発生部の
双方の負圧発生効率を最適化することが可能となる。
【0105】ここで、負圧の発生効率について図20,
21を参照しつつ説明する。図21は、負圧の発生効率
についての説明図であり、(a)は、上記した第11の
実施形態に係るスライダ形状の場合、(b)は本実施形
態に係るスライダ形状の場合をそれぞれ示している。
【0106】一般に、負圧の発生効率は、負圧を発生さ
せる段差W,71のディスク回転方向に向かって前方の
面とディスク面との間の狭い隙間(S1,S3)と、負
圧を発生させる段差W,71の後方の面とディスク面と
の間の広い隙間(S2,S4)との比率に依存してい
る。従って、図21(a)に示すように、上記した第1
1の実施形態に係るスライダ形状では、スライダ203
aにピッチングが生じると、前方の動圧発生部2aの後
方の負圧発生部における上記比率と、後方の動圧発生部
2bに設けられる負圧発生部における同比率が異なるも
のとなるため、いずれか一方の負圧発生効率を最適化す
ると、他方の負圧発生効率を最適化することはできな
い。
【0107】これに対して、図21(b)に示すよう
に、本実施形態によれば、切欠部70の深さを適宜調整
することにより、スライダ203aにピッチングが生じ
ても、前方の動圧発生部2aの後方に設けられる負圧発
生部及び後方の動圧発生部2bに設けられる負圧発生部
の双方における上記比率を同じにすることができる。従
って、本実施形態によれば、双方の負圧発生部における
負圧発生効率を最適化することが可能となる。その結
果、負圧スライダの有する高い空気膜剛性、ディスクか
らの早い離陸等の特徴を最大限に生かすことが可能とな
る。
【0108】また、切欠部70を設けることにより、後
方の動圧発生部2bの前縁における周速依存性のある正
圧が発生し難くなるため、ディスク外周側において浮上
量が大きくなる傾向を抑制することも可能となる。
【0109】尚、切欠部70の深さを段差4,6a,6
b,7a,7bと同一とすれば、他の実施形態と同様に
2回のミリングにより切欠部70を形成することがで
き、製作効率を向上させることが可能となる。
【0110】第13の実施形態 本発明の第13の実施形態について、図22を参照しつ
つ説明する。図22は、本発明の第13の実施形態にか
かるスライダ形状を示したもので、(a)は斜視図、
(b)は平面図、(c)は側面図である。
【0111】本実施形態では、前方の動圧発生部2aの
段差4の前方に、かかる段差4よりも深い段差Zを設け
るための切欠部75が形成されている。かかる深い段差
Zを設けることにより得られる効果について、図23を
参照しつつ説明する。図23は、ディスク起動時におけ
るスライダの立ち上がり特性をピッチングとスライダ後
端のスペーシングにより示したもので、(a)は深い溝
Zを設けないスライダ形状の場合、(b)は本実施形態
に係るスライダ形状の場合をそれぞれ示したものであ
る。
【0112】図23(a)に示すように、深い段差Zを
設けていない場合は、ディスクの周速が非常に低いうち
から前方の動圧発生部に大きな浮上力が発生するので、
ディスク起動時から比較的早い段階で十分大きなピッチ
ングが実現され、ピッチング変動によるスライダの不安
定性を防止するには非常に効果的である。その一方、ピ
ッチングが早い段階で十分大きくなる場合は、スライダ
の後端が接触した状態で、スライダの前方が持ち上げら
れるので、ディスクと後方の動圧発生部の前縁との隙間
が大きくなっていくため、スライダの後端がディスクか
ら離陸するタイミングが多少遅くなる。
【0113】図23(b)に示すように、本実施形態の
ごとく深い段差Zを設けた場合は、ディスクの周速に応
じて、徐々に前方の動圧発生部で発生する浮上力が変化
する特性となる。従って、十分なピッチングが実現され
るまでの時間は多少遅そくなるが、その分、スライダ後
端がディスクから離陸するタイミングを早くすることが
できる。
【0114】ここで、十分なピッチングが実現されるま
での時間と、スライダ後端がディスクから離陸するタイ
ミングを適宜調整するためには、段差Zを形成する切欠
部75の領域を調整すればよい。即ち、切欠部75の領
域が大きければ、穏やかなピッチング上昇と、スライダ
後端の早い離陸が実現され、逆に切欠部75の領域が小
さい場合は、早いピッチングの立ち上がりが実現され
る。
【0115】また、切欠部75を設ける際に、図22に
示すように、段差76a,76bを形成するようにすれ
ば、上記した第9の実施形態で説明したようなローリン
グ防止効果の調整やピッチングを大きくする効果をも併
せて発揮させることが可能となる。
【0116】尚、段差Z,76a,76bの深さと深溝
3の深さとを同一とすれば、他の実施形態と同様に2回
のミリングにより切欠部75を形成することができ、製
作効率を向上させることが可能となる。
【0117】第14の実施形態 本発明の第14の実施形態について、図24を参照しつ
つ説明する。図24は、本発明の第14の実施形態にか
かるスライダ形状を示したもので、(a)は斜視図、
(b)は平面図、(c)は側面図である。
【0118】本実施形態は、上記した各実施形態の構成
を組合せたものである。即ち、前方の動圧発生部2a
は、第10の実施形態(図17参照)と同様の構成を有
する。かかる構成によれば、前方の動圧発生部2aの後
方の側端部近傍に設けられるランド部50a,50bに
より囲まれる領域で負圧を効果的に発生させることがで
きる。また、ランド部5の側端部近傍に延長ランド部6
0a,60bを設けることにより、ローリング剛性の向
上を図るとともに、段差61a,61bが形成されるこ
とから、ローリング防止効果の調整を行うことが可能と
なる。
【0119】一方、後方の動圧発生部2bは、第7の実
施形態(図14参照)と第12の実施形態(図20参
照)とを組合せた構成を有する。即ち、第12の実施形
態で示した切欠部70と第7の実施形態で示した拡張さ
れた切欠部26a,26bとを組合せ、それぞれの切欠
部の深さを同一にすることにより1回のミリングで形成
することにより製作効率を向上させるとともに、切欠部
70の後方に負圧発生領域となる切欠部81を設けるこ
とにより、前方の動圧発生部2aの後方に設けられる負
圧発生領域との関係で、2つの負圧発生領域における負
圧発生効率を最適化する構成を可能にしている。
【0120】これにより、後方の動圧発生部2bは、ロ
ーリング調整用の段差6a,6bと正圧発生用の段差7
a,7bを備えたランド部77a,77bと負圧発生領
域となる切欠部81が形成された構成となり、それぞれ
の機能を独立に調整し、最適な設計を行うことが可能と
なる。
【0121】第15の実施形態 本発明の第15の実施形態について、図25を参照しつ
つ説明する。図25は、本発明の第15の実施形態にか
かるスライダ形状を示したもので、(a)は斜視図、
(b)は平面図、(c)は側面図である。
【0122】上記した第15の実施形態等において示し
たように、後方の動圧発生部2b に負圧発生領域となる
切欠部81を設ける構成においては、かかる負圧の作用
により段差7a,7bにおいて発生する正圧を高める設
計を可能とし、スライダ203aのローリング剛性を高
めるように工夫されている。しかし、十分なローリング
剛性を確保するために負圧発生領域を拡大すると、それ
に対応して正圧発生部である段差7a,7bの幅が狭く
なるため、スライダ203aの立ち上がり特性が劣化す
る(スライダ203aがディスク上から離陸するタイミ
ングが遅くなる)おそれがある。即ち、スライダ203
aのローリング剛性と立ち上がり特性とは、互いにトレ
ードオフの関係にあるといえる。
【0123】本実施形態においては、これら2つの特性
を両立させるための手段として、後方の動圧発生部2b
に設けられるランド部77a,77bの形状に特徴を持
たせている。上記した第14の実施形態においては、正
圧発生用の段差7a,7bはスライダ203aの側方に
開放された形状となっているため、段差7a,7bに衝
突した空気流の一部がスライダ203aの側方から逃げ
てしまい、その分発生する正圧が低下する。これに対し
て、本実施形態では、段差7a,7bのスライダ側端部
を囲うようにディスク回転方向に沿った方向にランド部
77a,77bが延長されている。即ち、図示したよう
にランド部77a,77bを略U字形とし、正圧発生用
のポケット部を形成するように切欠部26a,26bが
設けられている。
【0124】かかる構成によれば、後方の動圧発生部2
bにおける正圧発生領域のスライダ側方からの空気流の
逃げが抑制できるため、ディスク起動時の低周速領域に
おいても正圧を有効に発生させることができ、立ち上が
り特性を維持できるとともに、ローリング剛性を十分に
発揮させることが可能となる。
【0125】図25では、後方の動圧発生部2bに設け
れられるランド部77a,77bの形状を略U字形とし
たが、図26に示すように、かかる形状を略J 字形とし
てもよい。かかる形状によれば、段差6a,6bのディ
スク回転方向に関する長さを調整することにより、ロー
リング防止機能を最適化することが可能となる。
【0126】第16の実施形態 本発明の第16の実施形態について、図27を参照しつ
つ説明する。図27は、本発明の第16の実施形態にか
かるスライダ形状を示したもので、(a)は斜視図、
(b)は平面図、(c)は側面図である。
【0127】上記した各実施形態においては、後方の動
圧発生部2bにおける正圧発生用のランド部77a,7
7bがスライダ203aの後方端部に配置され、これに
隣接して磁極21を有する記録再生ヘッド20が設けら
れていた。
【0128】これに対して、本実施形態では、正圧発生
用のランド部77a,77bを後方の動圧発生部2b内
でディスク回転方向に関して前方に移動させ、記録再生
ヘッド20の磁極21が設けられる位置の近傍に独立し
たパッド部78a,78bを設ける構成とした。図中で
は、パッド部78aの近傍にのみ磁極21が設けられて
いるが、本発明はこの場合に限られず、パッド部78b
の近傍のみ、もしくはパッド部78a,78b双方の近
傍に磁極21を設けてもよい。
【0129】かかる構成によれば、スライダ203aの
浮上姿勢が多少変化しても、磁極21部分のスペーシン
グは変動せず、安定した記録再生が可能となる。次に、
浮上姿勢変化に伴うスペーシング変動の低減作用につい
て、図28を参照しつつ説明する。図28(a)は本実
施形態にかかるスライダ203aの浮上姿勢を示したも
のであり、図28(b)は通常のスライダ(負圧スライ
ダ)203bの浮上姿勢を示したものである。通常のス
ライダ203bにあっては、磁極21’を支持するスラ
イダ203bの後端近傍でも比較的大きな圧力が発生す
るような設計になっている。このため、ピッチングが生
じて浮上姿勢が変化した際にスペーシングが変動しない
点(焦点)85’は、スライダ203bの後端よりも外
側に位置することとなる。従って、上記した荷重変動や
大気圧変動に伴ってピッチングが変化すると、磁極2
1’近傍のスペーシングも変動してしまう。
【0130】これに対して、本実施形態によれば、正圧
発生領域と磁極21との間隔を比較的大きくとることが
できることから、焦点85を磁極21の近傍に位置させ
ることが可能となる。従って、上記した荷重変動や大気
圧変動に伴ってピッチングが変化しても、磁極21近傍
のスペーシングはほとんど変動しない構成とすることが
できる。
【0131】図29は、本実施形態に上記した第15の
実施形態を組合せた変形例を示したもので、(a)は斜
視図、(b)は平面図、(c)は側面図である。なお、
本実施形態においては、後方の動圧発生部2bに設けら
れるランド部77a,77bが略U字形状というよりも
略V字形状に近いものになっているが、かかる形状でも
上記した第の実施形態と同様の効果を奏することが可能
である。
【0132】従って、かかる構成によれば、スライダ2
03aの浮上姿勢変化に伴うスペーシング変動を防止で
きるとともに、スライダ203aのローリング剛性及び
立ち上がり特性を十分に維持することが可能となる。
【0133】第17の実施形態 本発明の第17の実施形態について、図30を参照しつ
つ説明する。図30は、本発明の第17の実施形態にか
かるスライダ形状を示したもので、(a)は斜視図、
(b)は平面図、(c)は側面図である。
【0134】上記した第16の実施形態においては、後
方の動圧発生部2bにおける正圧発生領域である段差7
a,7b近傍の領域と磁極21との間隔を比較的大きく
取るために、磁極21が設けられるパッド部78を正圧
発生用のランド部77とは独立に設ける構成としたが、
両者の間隔は極めて微少であり、製作上の観点からはむ
しろ独立に設ける方が難しい場合もある。
【0135】そこで、本実施形態では、両者を一体とし
つつ、上記した浮上姿勢変化に伴うスペーシング変動の
低減作用を有効に発揮させる構成として、正圧発生用の
ランド部77a,77bよりもディスク回転方向に関し
て略垂直な方向に関して幅の狭いランド部79a,79
bをディスク回転方向にほぼ沿った方向に延接し、その
端部に磁極21を設ける構成とした。図中では、ランド
部79aの近傍にのみ磁極21が設けられているが、本
発明はこの場合に限られず、ランド部79bの近傍の
み、もしくはランド部79a,79b双方の近傍に磁極
21を設けてもよい。その結果、後方の動圧発生部2b
に設けられるランド部は、全体として略T字形状を呈す
ることとなる。
【0136】かかる構成によれば、正圧は主として段差
7a,7bの近傍で発生することから、正圧発生領域と
磁極21との間隔を比較的大きくとることができ、スラ
イダ203aの姿勢変化に伴う焦点85を磁極21の近
傍に位置させることが可能となる。よって、上記した第
16の実施形態と同様に、荷重変動や大気圧変動に伴っ
てピッチングが変化しても、磁極21近傍のスペーシン
グはほとんど変動しない構成とすることができる。
【0137】図31は、本実施形態に上記した第15の
実施形態を組合せた変形例を示したもので、(a)は斜
視図、(b)は平面図、(c)は側面図である。なお、
本実施形態においては、後方の動圧発生部2bに設けら
れるランド部77a,77bが略U字形状というよりも
略V字形状に近いものになっており、ランド部全体とし
ては略Y字形状となっているが、かかる形状でも上記し
た第15の実施形態及び本実施形態と同様の効果を奏す
ることが可能である。
【0138】従って、かかる構成によれば、スライダ2
03aの浮上姿勢変化に伴うスペーシング変動を防止で
きるとともに、スライダ203aのローリング剛性及び
立ち上がり特性を十分に維持することが可能となる。
【0139】第18の実施形態 本発明の第18の実施形態について、図32を参照しつ
つ説明する。図31は、本発明の第18の実施形態にか
かるスライダ形状を示したもので、(a)は斜視図、
(b)は平面図、(c)は側面図である。
【0140】本実施形態においては、後方の動圧発生部
2bに設けられるランド部77a,77bの形状を、デ
ィスク回転方向の後方に頂点を有し、該回転方向とは反
対の方向に開口した略V字形状とし、その頂点近傍に磁
極21が設けられる構成としている。図中では、ランド
部77aの近傍にのみ磁極21が設けられているが、本
発明はこの場合に限られず、ランド部77bの近傍の
み、もしくはランド部77a,77b双方の近傍に磁極
21を設けてもよい。
【0141】かかる形状によれば、上記した第15の実
施形態と同様に、スライダ203aのローリング剛性及
び立ち上がり特性を十分に維持することが可能となると
ともに、後方の動圧発生部2bにおける正圧発生領域を
磁極21の近傍からディスク回転方向に関してやや前方
に移動させることが可能となることから、上記した第1
6もしくは第17の実施形態と同様に、浮上姿勢変化に
伴うスペーシング変動を防止することも可能となる。
【0142】第19の実施形態 本発明の第19の実施形態について、図33を参照しつ
つ説明する。図33は、本発明の第19の実施形態にか
かるスライダ形状を示したもので、(a)は斜視図、
(b)は平面図、(c)は側面図である。
【0143】本実施形態では、前方の動圧発生部2aに
設けられるランド部5上に、該ランド部5に沿ってディ
スク回転方向に略垂直な方向に延設される凹部88が設
けられている。上記したように、ランド部5は、ディス
ク回転方向に略垂直な方向に長い、いわゆる横長形状を
有しており、ディスク回転方向、即ち空気流の流動方向
に関しては、短い形状となっている。このため、ディス
ク回転方向に関するランド部5近傍の圧力分布は、ラン
ド部5の前縁である段差4において発生した正圧が、凹
部88において大きく低下することなく維持され、凹部
88後方の段差4’で再び生じる正圧につながるような
分布となる。従って、このような凹部88を設けても、
ランド部5において生じる正圧は、凹部88がない場合
に比べてほとんど変化しない。これに対し、凹部88を
設けることにより、ディスク停止時におけるランド部5
のディスクに対する接地面積を低減することができるた
め、吸着現象を有効に防止することが可能となる。即
ち、本実施形態によれば、前方の動圧発生部2aにおい
て十分な正圧を発生させるとともに、吸着現象を有効に
防止することが可能な構成とすることができる。
【0144】第20の実施形態 本発明の第20の実施形態について、図34を参照しつ
つ説明する。図34は、本発明の第20の実施形態にか
かるスライダ形状を示したもので、(a)は斜視図、
(b)は平面図、(c)は側面図である。
【0145】本実施形態では、例えば上記した図34に
示したスライダ203aにおいて、後方の動圧発生部2
bの後端の両側端部近傍に切欠部26a,27bと同じ
深さ分だけランド部77a,77bよりも後退し、角部
が円弧状に面取りされた浅いランド部89a,89bが
形成されている。かかる浅いランド部89a,89bを
設けることによるメリットを図35を参照しつつ説明す
る。
【0146】図35は、図34のC−C断面図である。
図中の実線は、本実施形態にかかる浅いランド部89を
有するスライダ203aの断面を示し、図中の点線は、
かかるランド部89が形成されていない場合(例えば図
33に示したスライダ)の断面をそれぞれ示している。
【0147】装置に衝撃が加わると、スライダ203a
はディスクから跳躍し、再びディスク上に落下する。そ
の際の着地姿勢によっては、機械加工により形成された
側端のエッジ頂点Eがディスクに衝突し、ディスクに傷
がつくおそれがある。本実施形態は、かかるエッジ頂点
Eのディスクへの衝突を防止する効果を有するものであ
る。
【0148】図中の点線に示すように、後方の側端部近
傍に浅いランド部89が設けられていない場合は、図中
の一点鎖線aに示す角度でスライダ203aが着地した
場合にエッジ頂点Eがディスクと衝突する。これに対し
て、本実施形態のごとく、後方の側端部近傍に浅いラン
ド部89が設けられている場合は、通常一点鎖線bに示
すような状態でスライダ203aがディスク上に着地す
るため、エッジ頂点Eがディスクと衝突するおそれはな
い。ここで、浅いランド部89はミリングにより加工さ
れるため、表面がだれて形成されており、また角部は円
弧状に面取りされているため、ディスクに衝突した際に
ディスクを傷つけるおそれがエッジ頂点Eに比べて格段
に小さい。仮に、本実施形態においてエッジ頂点Eがデ
ィスクに衝突する場合を考えると、図中の一点鎖線cに
示す角度でスライダ203aがディスク上に着地する必
要があり、このような状態でスライダ203aがディス
ク上に落下する確率は非常に小さいと考えられる。ま
た、浅いランド部89の角部に設けられた円弧状の面取
りは、着地の際にスライダ203aとディスクとの間に
生ずる応力を低減する効果をも奏するものである。
【0149】第21の実施形態 本発明の第21の実施形態について、図36を参照しつ
つ説明する。図36は、本発明の第21の実施形態にか
かるスライダ形状を示したもので、(a)は斜視図、
(b)は平面図、(c)は側面図、(d)はスライダが
ディスク上に接地しているときの側面図である。
【0150】本実施形態においては、前方の動圧発生部
2aと後方の動圧発生部2bとの間に突出部2cを設け
ている。この突出部2cのディスク対向面は、そのディ
スク回転方向Aに略垂直な方向に関してほぼ中央に接地
パッド90が形成されるようにその両側部を後退させた
構成を有する。ここで、突出部2cは、機械加工もしく
はエッチングにより深溝3a,3bを設けることにより
形成される。また、接地パッド90は、その部分をマス
キングし、エッチングにより両側部を後退させることに
より形成される。
【0151】また、本実施形態においては、前後の動圧
発生部2a,2bに設けられるランド部5,9及びその
間に位置する突出部2cに設けられる接地パッド90の
うち、接地パッド90が最もディスク側に突出した構成
となっている。このような構成とするには、接地パッド
90以外の面をエッチング等で後退させる、接地パッド
90がその頂点近傍に位置するようにクラウン(スライ
ダのディスク対向面をディスク側に凸形状としたもの)
を設ける、もしくは、接地パッド90の部分のみに保護
膜を厚く形成する等の手段を施せばよい。
【0152】ここで、図36(d)に示すように図示し
ないサスペンションにより、前方の動圧発生部2aと突
出部2cとの間に荷重Pを付与するようにすれば、前方
の動圧発生部2aに設けられたランド部5と、突出部2
cに設けられた接触パッド90のみがディスク停止時に
ディスク201上に接地するようになる。従って、磁極
21が設けられている後方の動圧発生部2bをディスク
201と非接触の状態に保つことができ、スライダ20
3aとディスク201との接地面積を低減することが可
能となり、ひいてはスライダ203aとディスク201
との吸着を防止することが可能となる。また、後方の動
圧発生部2bをディスク201と非接触の状態に保つこ
とができれば、ディスク起動時に生じる摩耗粉等のごみ
が磁極21の近傍に付着することを防止することができ
る。
【0153】ところで、荷重Pを付与する位置は上記し
た場合に限られない。例えば、後方の動圧発生部2bと
突出部2cとの間に荷重Pを付与するとすれば、前方の
動圧発生部2aをディスク201と非接触の状態に保つ
ことができ、やはりスライダ203aとディスク201
との接地面積を低減することが可能となり、ひいてはス
ライダ203aとディスク201との吸着を防止するこ
とが可能となる。また、荷重Pを付与する位置を適当に
選べば、接地パッド90のみを接地させることも可能と
なる。
【0154】なお、ここで、前方の動圧発生部2aにお
ける段差4と接地パッド90を設けるために新たに設け
た突出部2cの後退深さとを同一の深さとし、1回のエ
ッチングにより形成するようにすれば、製作効率を向上
させることができるまた、本実施形態は図36に示した
場合に限られず、上記した第1乃至第20の実施形態に
示したスライダ形状とも適宜組合せることが可能であ
る。
【0155】第22の実施形態 本発明の第22の実施形態について、図37を参照しつ
つ説明する。図37は、本発明の第22の実施形態にか
かるスライダ形状を示したもので、(a)は斜視図、
(b)は平面図、(c)は側面図である。
【0156】本実施形態では、上記した第21の実施形
態で設けた突出部2cに相当する構成を設けず、接地パ
ッド90を直接設ける構成としている。接地パッド90
は、ミリングで深溝3を形成する際に、その部分をマス
キングして残すことにより形成される。また、接地パッ
ド90を設ける位置は、図37に示した場合に限られ
ず、適宜変更することができ、接地パッド90の個数も
適宜変更することができる。また、接地パッド90の形
状も任意に設計することができる。
【0157】例えば、図28に示すように、中空半円筒
状としてもよい。かかる構成によれば、図38(d)に
示したように、接地面積を増やさずに、接地領域を拡大
することができ、安定な接地を可能とするとともに、接
地パッド90のみを接地させることも容易となる。従っ
て、かかる構成によれば吸着防止効果をさらに向上させ
ることができる。
【0158】以上、種々の実施形態について説明した
が、いずれもスライダ203aの後方動圧発生部2b上
に形成されるランド部9はスライダ長手方向の中心軸線
を中心に対称形状としたが、これは必ずしも対称形状で
ある必要はなく、状況に応じて非対称とすることも可能
である。また、前方の動圧発生部と後方の動圧発生部と
の組合せは、スライダの設計仕様により適宜選択が可能
であり、上記した実施形態に示したものに限られない。
【0159】一方、上記した各実施形態は、ヨー角依存
性によらずにディスク内外周における浮上量もしくは接
触力を一定に維持する機能を有するものであるから、M
Rヘッドを採用し、ディスク内外周でトラックずれを防
止するためにヨー角変動が生じないようなシークを行う
場合にも、非常に適したスライダ形状であるといえる。
【0160】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ヨー角依存性の低減により過渡的な浮上量変動を抑制す
ることができるとともに、ディスク内外周での浮上量一
定化もしくはヘッド−ディスク間の接触力の一定化を実
現することが可能なヘッドスライダを提供することがで
きる。
【0161】また、本発明にかかるヘッドスライダを用
いることにより、ヘッドスライダの低浮上化、あるいは
ヘッド−ディスク間の低荷重かつ安定な接触が可能とな
ることから、記録密度の向上を図ることが可能な記録再
生装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 記録再生装置の一例である磁気ディスク装置
の概略図。
【図2】 スライダの浮上姿勢に関する説明図。
【図3】 本発明の第1の実施形態にかかるヘッドスラ
イダの形状を示した図。
【図4】 後方の動圧発生部のピッチングに対して、同
動圧発生部の後端のスペーシングを一定とした場合の浮
上力をプロットした図。
【図5】 前方の動圧発生部のディスク回転方向に関す
る全長Lとランド部の同方向に関する長さSとの比率に
対する、スライダの後端のスペーシングを一定とした場
合のディスク内外周での浮上力の比をプロットした図。
【図6】 ディスクの周速に対するスライダのピッチン
グ及びヘッドが設けられる後方の動圧発生部の後端にお
けるスペーシングの変化を示した図。
【図7】 本発明の第1の実施形態にかかるヘッドスラ
イダの変形例の形状を示した図。
【図8】 本発明の第2の実施形態にかかるヘッドスラ
イダの形状を示した図。
【図9】 本発明の第3の実施形態にかかるヘッドスラ
イダの形状を示した図。
【図10】 後方の動圧発生部におけるディスクの回転
方向と略垂直な方向(スライダ幅方向)に関する圧力分
布を示した図。
【図11】 本発明の第4の実施形態にかかるヘッドス
ライダの形状を示した図。
【図12】 本発明の第5の実施形態にかかるヘッドス
ライダの形状を示した図。
【図13】 本発明の第6の実施形態にかかるヘッドス
ライダの形状を示した図。
【図14】 本発明の第7の実施形態にかかるヘッドス
ライダの形状を示した図。
【図15】 本発明の第8の実施形態にかかるヘッドス
ライダの形状を示した図。
【図16】 本発明の第9の実施形態にかかるヘッドス
ライダの形状を示した図。
【図17】 本発明の第10の実施形態にかかるヘッド
スライダの形状を示した図。
【図18】 本発明の第10の実施形態にかかるヘッド
スライダの変形例の形状を示した図。
【図19】 本発明の第11の実施形態にかかるヘッド
スライダの形状を示した図。
【図20】 本発明の第12の実施形態にかかるヘッド
スライダの形状を示した図。
【図21】 負圧の発生効率についての説明図。
【図22】 本発明の第13の実施形態にかかるヘッド
スライダの形状を示した図。
【図23】 ディスク起動時におけるスライダの立ち上
がり特性をピッチングとスライダ後端のスペーシングに
より示した図。
【図24】 本発明の第14の実施形態にかかるヘッド
スライダの形状を示した図。
【図25】 本発明の第15の実施形態にかかるヘッド
スライダの形状を示した図。
【図26】 本発明の第15の実施形態にかかるヘッド
スライダの変形例の形状を示した図。
【図27】 本発明の第16の実施形態にかかるヘッド
スライダの形状を示した図。
【図28】 本発明の第16の実施形態が有する浮上量
変動低減作用についての説明図。
【図29】 本発明の第16の実施形態にかかるヘッド
スライダの変形例の形状を示した図。
【図30】 本発明の第17の実施形態にかかるヘッド
スライダの形状を示した図。
【図31】 本発明の第17の実施形態にかかるヘッド
スライダの変形例の形状を示した図。
【図32】 本発明の第18の実施形態にかかるヘッド
スライダの形状を示した図。
【図33】 本発明の第19の実施形態にかかるヘッド
スライダの形状を示した図。
【図34】 本発明の第20の実施形態にかかるヘッド
スライダの形状を示した図。
【図35】 図34のC−C断面図。
【図36】 本発明の第21の実施形態にかかるヘッド
スライダの形状を示した図。
【図37】 本発明の第22の実施形態にかかるヘッド
スライダの形状を示した図。
【図38】 本発明の第22の実施形態にかかるヘッド
スライダの変形例の形状を示した図。
【図39】 従来のスライダを採用した磁気ディスク装
置の概略図。
【図40】 従来のテーパフラットスライダの概略を示
した斜視図。
【図41】 シーク時における等価的なヨー角変動の説
明図。
【符号の説明】
203a ヘッドスライダ 2a,2b 動圧発生部 3 深溝 4,6a,6b,7a,7b,51a,51b,61
a,61b,76a,76b,Xa,Xb,W,Z 段
差 5,9,50a,50b,77a,77b,79a,7
9b ランド部 60a,60b 延長ランド部 10,11 マージン 20 記録再生ヘッド 21 磁極 25a,25b,26a,26b,27a,27b,5
2,75,81 切欠部 78a,78b パッド部 88 凹部

Claims (24)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 回転可能な記録媒体であるディスク上で
    情報の記録再生を行う記録再生ヘッドを搭載したヘッド
    スライダにおいて、 前記ヘッドスライダの前記ディスクと対向する面に設け
    られ、前記ディスクの回転方向に沿った長さよりも該回
    転方向に略垂直な方向に沿った長さの方が長い形状を有
    し、前記ディスクの回転方向に沿って深溝を挟んで配列
    される少なくとも2つの動圧発生部を有し、 これら動圧発生部のうち前記ディスクの回転方向に向か
    って最も後方に位置する動圧発生部には、該回転方向と
    略垂直な方向に沿った第1の段差と、この段差の両端部
    から該回転方向に向かって前方に延設される第2の段差
    及び第3の段差とを形成するための第1の切欠部が設け
    られることを特徴とするヘッドスライダ。
  2. 【請求項2】 前記動圧発生部のうち前記ディスクの回
    転方向に向かって最も後方に位置する動圧発生部には、
    前記深溝に面した該動圧発生部の前縁に対向する第4の
    段差を形成する第2の切欠部が設けられることを特徴と
    する請求項1記載のヘッドスライダ。
  3. 【請求項3】 前記動圧発生部のうち前記ディスクの回
    転方向に関して最も前方に位置する動圧発生部には、前
    記ディスクの回転方向と略垂直な方向に沿った第5の段
    差を形成することによりランド部が設けられることを特
    徴とする請求項1記載のヘッドスライダ。
  4. 【請求項4】 前記ランド部の前記ディスクの回転方向
    に関する長さを、該回転方向に向かって最も前方に位置
    する動圧発生部の該回転方向に関する全長の10%より
    大きく50%より小さい長さとすることを特徴とする請
    求項3記載のヘッドスライダ。
  5. 【請求項5】 回転可能な記録媒体であるディスク上で
    情報の記録再生を行う記録再生ヘッドを搭載したヘッド
    スライダにおいて、 前記ヘッドスライダの前記ディスクと対向する面に設け
    られ、前記ディスクの回転方向に沿った長さよりも該回
    転方向に略垂直な方向に沿った長さの方が長い形状を有
    し、前記ディスクの回転方向に沿って深溝を挟んで配列
    される少なくとも2つの動圧発生部を有し、 これら動圧発生部のうち前記ディスクの回転方向に向か
    って最も後方に位置する動圧発生部は、該回転方向と略
    垂直な方向にほぼ沿った第1の段差を形成することによ
    り設けられる第1のランド部と、この第1のランド部よ
    りも前記ディスクの回転方向に向かって後方に位置し、
    該ランド部から独立して設けられるパッド部とを有し、
    このパッド部に隣接して前記記録再生ヘッドの磁極が設
    けられることを特徴とするヘッドスライダ。
  6. 【請求項6】 前記動圧発生部のうち前記ディスクの回
    転方向に向かって最も後方に位置する動圧発生部には、
    前記深溝に面した該動圧発生部の前縁に対向する第2の
    段差を形成する切欠部が設けられることを特徴とする請
    求項5記載のヘッドスライダ。
  7. 【請求項7】 前記動圧発生部のうち前記ディスクの回
    転方向に関して最も前方に位置する動圧発生部には、前
    記ディスクの回転方向と略垂直な方向に沿った第3の段
    差を形成することにより第2のランド部が設けられるこ
    とを特徴とする請求項5記載のヘッドスライダ。
  8. 【請求項8】 前記第2のランド部の前記ディスクの回
    転方向に関する長さを、該回転方向に向かって最も前方
    に位置する動圧発生部の該回転方向に関する全長の10
    %より大きく50%より小さい長さとすることを特徴と
    する請求項7記載のヘッドスライダ。
  9. 【請求項9】 回転可能な記録媒体であるディスク上で
    情報の記録再生を行う記録再生ヘッドを搭載したヘッド
    スライダにおいて、 前記ヘッドスライダの前記ディスクと対向する面に設け
    られ、前記ディスクの回転方向に沿った長さよりも該回
    転方向に略垂直な方向に沿った長さの方が長い形状を有
    し、前記ディスクの回転方向に沿って深溝を挟んで配列
    される少なくとも2つの動圧発生部を有し、 これら動圧発生部のうち前記ディスクの回転方向に向か
    って最も後方に位置する動圧発生部は、該回転方向と略
    垂直な方向にほぼ沿った第1の段差を形成することによ
    り設けられる第1のランド部と、この第1のランド部よ
    り前記ディスクの回転方向に向かって後方に該ランド部
    から連続して設けられ、前記第1の段差の該回転方向と
    略垂直な方向にほぼ沿った幅よりも短い幅を有する第2
    のランド部とを有し、この第2のランド部に隣接して前
    記記録再生ヘッドの磁極が設けられることを特徴とする
    ヘッドスライダ。
  10. 【請求項10】 前記動圧発生部のうち前記ディスクの
    回転方向に向かって最も後方に位置する動圧発生部に
    は、前記深溝に面した該動圧発生部の前縁に対向する第
    2の段差を形成する切欠部が設けられることを特徴とす
    る請求項9記載のヘッドスライダ。
  11. 【請求項11】 前記動圧発生部のうち前記ディスクの
    回転方向に関して最も前方に位置する動圧発生部には、
    前記ディスクの回転方向と略垂直な方向に沿った第3の
    段差を形成することにより第3のランド部が設けられる
    ことを特徴とする請求項9記載のヘッドスライダ。
  12. 【請求項12】 前記第3のランド部の前記ディスクの
    回転方向に関する長さを、該回転方向に向かって最も前
    方に位置する動圧発生部の該回転方向に関する全長の1
    0%より大きく50%より小さい長さとすることを特徴
    とする請求項11記載のヘッドスライダ。
  13. 【請求項13】 回転可能な記録媒体であるディスク上
    で情報の記録再生を行う記録再生ヘッドを搭載したヘッ
    ドスライダにおいて、 前記ヘッドスライダの前記ディスクと対向する面に設け
    られ、前記ディスクの回転方向に沿った長さよりも該回
    転方向に略垂直な方向に沿った長さの方が長い形状を備
    え、前記ディスクの回転方向に沿って深溝を挟んで配列
    される少なくとも2つの動圧発生部を有し、 これら動圧発生部のうち前記ディスクの回転方向に向か
    って最も前方に位置する動圧発生部は、該回転方向と略
    垂直な方向に沿った第1の段差を形成することにより設
    けられるランド部を有し、このランド部の内方に、前記
    ディスクの回転方向と略垂直な方向に沿って設けられ、
    該回転方向に沿った長さよりも該回転方向に略垂直な方
    向に沿った長さの方が長い形状を有する凹部が設けられ
    ていることを特徴とするヘッドスライダ。
  14. 【請求項14】 前記動圧発生部のうち前記ディスクの
    回転方向に関して最も後方に位置する動圧発生部には、
    該回転方向と略垂直な方向にほぼ沿った第2の段差を形
    成する第1の切欠部が設けられることを特徴とする請求
    項13記載のヘッドスライダ。
  15. 【請求項15】 前記動圧発生部のうち前記ディスクの
    回転方向に関して最も後方に位置する動圧発生部には、
    前記深溝に面した該動圧発生部の前縁に対向する第3の
    段差を形成する第2の切欠部が設けられることを特徴と
    する請求項13記載のヘッドスライダ。
  16. 【請求項16】 前記ランド部の前記ディスクの回転方
    向に関する長さを、該回転方向に向かって最も前方に位
    置する動圧発生部の該回転方向に関する全長の10%よ
    り大きく50%より小さい長さとすることを特徴とする
    請求項13乃至15のいずれかに記載のヘッドスライ
    ダ。
  17. 【請求項17】 回転可能な記録媒体であるディスク上
    で情報の記録再生を行う記録再生ヘッドを搭載したヘッ
    ドスライダにおいて、 前記ヘッドスライダの前記ディスクと対向する面に設け
    られ、前記ディスクの回転方向に沿った長さよりも該回
    転方向に略垂直な方向に沿った長さの方が長い形状を備
    え、前記ディスクの回転方向に沿って深溝を挟んで配列
    される少なくとも2つの動圧発生部を有し、 これら動圧発生部のうち前記ディスクの回転方向に向か
    って最も後方に位置する動圧発生部の側端部には、角部
    が円弧状に面取りされたランド部が設けられていること
    を特徴とするヘッドスライダ。
  18. 【請求項18】 前記動圧発生部のうち前記ディスクの
    回転方向に関して最も後方に位置する動圧発生部には、
    該回転方向と略垂直な方向にほぼ沿った第1の段差を形
    成する第1の切欠部が設けられることを特徴とする請求
    項17記載のヘッドスライダ。
  19. 【請求項19】 前記動圧発生部のうち前記ディスクの
    回転方向に関して最も後方に位置する動圧発生部には、
    前記深溝に面した該動圧発生部の前縁に対向する第2の
    段差を形成する第2の切欠部が設けられることを特徴と
    する請求項17記載のヘッドスライダ。
  20. 【請求項20】 回転可能な記録媒体であるディスク
    と、このディスク上で情報の記録再生を行う記録再生ヘ
    ッドと、この記録再生ヘッドを搭載するヘッドスライダ
    と、このヘッドスライダを支持し前記ディスク上を移動
    させるアクチュエータとを備えた記録再生装置におい
    て、 前記ヘッドスライダは、その前記ディスクと対向する面
    に、前記ディスクの回転方向に沿った長さよりも該回転
    方向に略垂直な方向に沿った長さの方が長い形状を有
    し、前記ディスクの回転方向に沿って深溝を挟んで配列
    される少なくとも2つの動圧発生部を有し、 これら動圧発生部のうち前記ディスクの回転方向に向か
    って最も後方に位置する動圧発生部には、該回転方向と
    略垂直な方向に沿った第1の段差と、この段差の両端部
    から該回転方向に向かって前方に延設される第2の段差
    及び第3の段差とを形成するための第1の切欠部が設け
    られることを特徴とする記録再生装置。
  21. 【請求項21】 回転可能な記録媒体であるディスク
    と、このディスク上で情報の記録再生を行う記録再生ヘ
    ッドと、この記録再生ヘッドを搭載するヘッドスライダ
    と、このヘッドスライダを支持し前記ディスク上を移動
    させるアクチュエータとを備えた記録再生装置におい
    て、 前記ヘッドスライダは、その前記ディスクと対向する面
    に、前記ディスクの回転方向に沿った長さよりも該回転
    方向に略垂直な方向に沿った長さの方が長い形状を有
    し、前記ディスクの回転方向に沿って深溝を挟んで配列
    される少なくとも2つの動圧発生部を有し、 これら動圧発生部のうち前記ディスクの回転方向に向か
    って最も後方に位置する動圧発生部は、該回転方向と略
    垂直な方向にほぼ沿った第1の段差を形成することによ
    り設けられる第1のランド部と、この第1のランド部よ
    りも前記ディスクの回転方向に向かって後方に位置し、
    該ランド部から独立して設けられるパッド部とを有し、
    このパッド部に隣接して前記記録再生ヘッドの磁極が設
    けられることを特徴とする記録再生装置。
  22. 【請求項22】 回転可能な記録媒体であるディスク
    と、このディスク上で情報の記録再生を行う記録再生ヘ
    ッドと、この記録再生ヘッドを搭載するヘッドスライダ
    と、このヘッドスライダを支持し前記ディスク上を移動
    させるアクチュエータとを備えた記録再生装置におい
    て、 前記ヘッドスライダは、その前記ディスクと対向する面
    に、前記ディスクの回転方向に沿った長さよりも該回転
    方向に略垂直な方向に沿った長さの方が長い形状を有
    し、前記ディスクの回転方向に沿って深溝を挟んで配列
    される少なくとも2つの動圧発生部を有し、 これら動圧発生部のうち前記ディスクの回転方向に向か
    って最も後方に位置する動圧発生部は、該回転方向と略
    垂直な方向にほぼ沿った第1の段差を形成することによ
    り設けられる第1のランド部と、この第1のランド部よ
    り前記ディスクの回転方向に向かって後方に該ランド部
    から連続して設けられ、前記第1の段差の該回転方向と
    略垂直な方向にほぼ沿った幅よりも短い幅を有する第2
    のランド部とを有し、この第2のランド部に隣接して前
    記記録再生ヘッドの磁極が設けられることを特徴とする
    記録再生装置。
  23. 【請求項23】 回転可能な記録媒体であるディスク
    と、このディスク上で情報の記録再生を行う記録再生ヘ
    ッドと、この記録再生ヘッドを搭載するヘッドスライダ
    と、このヘッドスライダを支持し前記ディスク上を移動
    させるアクチュエータとを備えた記録再生装置におい
    て、 前記ヘッドスライダは、その前記ディスクと対向する面
    に、前記ディスクの回転方向に沿った長さよりも該回転
    方向に略垂直な方向に沿った長さの方が長い形状を有
    し、前記ディスクの回転方向に沿って深溝を挟んで配列
    される少なくとも2つの動圧発生部を有し、前記ヘッド
    スライダの前記ディスクと対向する面に設けられ、前記
    ディスクの回転方向に沿った長さよりも該回転方向に略
    垂直な方向に沿った長さの方が長い形状を備え、前記デ
    ィスクの回転方向に沿って深溝を挟んで配列される少な
    くとも2つの動圧発生部を有し、 これら動圧発生部のうち前記ディスクの回転方向に向か
    って最も前方に位置する動圧発生部は、該回転方向と略
    垂直な方向に沿った第1の段差を形成することにより設
    けられるランド部を有し、このランド部の内方に、前記
    ディスクの回転方向と略垂直な方向に沿って設けられ、
    該回転方向に沿った長さよりも該回転方向に略垂直な方
    向に沿った長さの方が長い形状を有する凹部が設けられ
    ていることを特徴とする記録再生装置。
  24. 【請求項24】 回転可能な記録媒体であるディスク
    と、このディスク上で情報の記録再生を行う記録再生ヘ
    ッドと、この記録再生ヘッドを搭載するヘッドスライダ
    と、このヘッドスライダを支持し前記ディスク上を移動
    させるアクチュエータとを備えた記録再生装置におい
    て、 前記ヘッドスライダは、その前記ディスクと対向する面
    に、前記ディスクの回転方向に沿った長さよりも該回転
    方向に略垂直な方向に沿った長さの方が長い形状を有
    し、前記ディスクの回転方向に沿って深溝を挟んで配列
    される少なくとも2つの動圧発生部を有し、 これら動圧発生部のうち前記ディスクの回転方向に向か
    って最も後方に位置する動圧発生部の側端部には、角部
    が円弧状に面取りされたランド部が設けられていること
    を特徴とする記録再生装置。
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