JP4036870B2

JP4036870B2 - 磁気ヘッド装置

Info

Publication number: JP4036870B2
Application number: JP2005128477A
Authority: JP
Inventors: 淳生上田
Original assignee: Alps Electric Co Ltd
Current assignee: Alps Alpine Co Ltd
Priority date: 2005-04-26
Filing date: 2005-04-26
Publication date: 2008-01-23
Anticipated expiration: 2025-04-26
Also published as: JP2006309825A

Description

本発明は、磁気ディスクなどの記録媒体への記録用及び／または再生用の磁気素子を備えた磁気ヘッドスライダを有する磁気ヘッド装置に関し、特に磁気ヘッドスライダに対して外部から衝撃が与えられた場合でも、磁気ヘッドスライダの角部やエッジ部が記録媒体に衝突することを抑制し、記録媒体の損傷を効果的に抑制することが可能な磁気ヘッド装置に関する。

図９は、磁気ヘッド装置に装着される従来の磁気ヘッドスライダ１００を示す斜視図である。図９に示す磁気ヘッドスライダ１００の記録媒体対向面には、ステップ面Ａ、正圧発生面Ｂ、及び負圧発生面Ｃが形成される。図９に示す磁気ヘッドスライダ１００では、前記ステップ面Ａと前記負圧発生面Ｃとが同じ高さで形成され、正圧発生面Ｂは前記ステップ面Ａおよび前記負圧発生面Ｃよりも高い高さで形成されており、前記磁気ヘッドスライダ１００の最も高い面を構成している。前記ステップ面Ａは、磁気ヘッドスライダ１００のリーディング側端面Ｓｌ側に広く大きな面積で形成され、前記正圧発生面Ｂが、前記ステップ面Ａよりもトレーリング側端面Ｓｔ側に形成される。

前記負圧発生面Ｃは前記正圧発生面Ｂ及びステップ面Ａよりもトレーリング側端面Ｓｔ側に形成されている。

図９に示すように、前記磁気ヘッドスライダ１００のトレーリング側端面Ｓｔ側には磁気ディスクに対して磁気記録を行ない、及び／または磁気ディスクに記録された磁気信号を再生するための磁気素子１１４ｃが設けられている。この磁気素子１１４ｃは記録媒体対向面上に露出するように設けられており、前記正圧発生面Ｂと同じ高さに形成された磁気素子形成面Ｅに形成されている。

図９に示すように、前記磁気ヘッドスライダ１００の前記ステップ面Ａには、上方側（図示Ｚ１方向側）に向かって延びる凸状突起部１２９ａが形成されている。また、前記磁気ヘッドスライダ１００の前記負圧発生面Ｃには、上方側に向かって延びる凸状突起部１２９ｂが形成されている。図９に示す形態では、前記凸状突起部１２９ａは、前記リーディング側端面Ｓｌ側の角部領域に位置するように２個形成されている。また、前記凸状突起部１２９ｂは、前記トレーリング側端面Ｓｔ側の各角部領域に位置するように２個形成されている。前記したように、前記ステップ面Ａと前記負圧発生面Ｃとの高さ位置は同じに形成されているため、４つの前記凸状突起部１２９ａ、１２９ｂは、前記負圧発生面Ｃから、あるいは前記負圧発生面Ｃと同じ高さ位置から上方に延びて形成されていることになる。

また、前記凸状突起部１２９ａ、１２９ｂの上面１２９ａ１、１２９ｂ１は、前記磁気ヘッドスライダ１００の最も高い位置に形成された前記正圧発生面Ｂと同じ高さ位置、若しくは前記正圧発生面Ｂよりも下方側（図示Ｚ２方向側）に形成されている。

ここで、前記凸状突起部１２９ａは、図１０および図１１に基づいて説明するように、前記磁気ヘッドスライダ１００が前記記録媒体と衝突した場合に、前記ステップ面Ａに形成された前記磁気ヘッドスライダ１００の角部１００ａが、前記記録媒体に衝突し難くするための機能を有するものである。

ここで、図１０は、前記磁気ヘッドスライダ１００が装着された前記磁気ヘッド装置に対して衝撃が与えられて、前記磁気ヘッドスライダ１００が前記リーディング側端面Ｓｌ側に傾いて、記録媒体である磁気ディスクＤに衝突した状態を示した側面図である。

図１０に示す状態では、前記磁気ヘッドスライダ１００の下面１００ｃと前記磁気ディスクＤの前記表面Ｄ１との間で規定される傾斜角度θ３を有して、前記磁気ヘッドスライダ１００が、前記磁気ディスクＤの前記表面Ｄ１に対して傾斜している。このとき、磁気ディスクＤに前記凸状突起部１２９ａが接触しているが、前記ステップ面Ａに形成された前記磁気ヘッドスライダ１００のリーディング側エッジ部１００ｂは前記磁気ディスクＤの表面Ｄ１に接触していない。また、前記正圧発生面Ｂに形成されたリーディング側エッジ部１１２ｃも、前記磁気ディスクＤの前記表面Ｄ１に接触していない。

このように、前記磁気ヘッドスライダ１００が前記リーディング側端面Ｓｌ側に傾いた場合に、前記角部１００ａや前記リーディング側エッジ部１００ｂが前記磁気ディスクＤの前記表面Ｄ１に衝突する前に、前記凸状突起部１２９ａが前記磁気ディスクＤの前記表面Ｄ１に接触することによって、前記角部１００ａや前記リーディング側エッジ部１００ｂが前記磁気ディスクＤの前記表面Ｄ１に衝突することを抑制しているのである。

図９に示す磁気ヘッドスライダ１００のように、前記負圧発生面Ｃと同じ高さ位置に形成された面から凸状突起部１２９ａが形成されており、この凸状突起部１２９ａの上面１２９ａ１が、正圧発生面Ｂと同じ高さ位置若しくは前記正圧発生面Ｂよりも下方側に形成された構造の磁気ヘッドスライダ１００は、以下に示す特許文献１に開示されている。
特開２００１−１６７４１８号公報

前記したように、前記凸状突起部１２９ａは、前記磁気ヘッドスライダ１００が前記記録媒体と衝突した場合に、前記磁気ヘッドスライダ１００の前記角部１００ａや前記リーディング側エッジ部１００ｂが前記記録媒体に衝突し難くするための機能を有するものである。

ここで、前記磁気ヘッドスライダ１００が図１０に示す状態よりもさらに大きく傾いて前記傾斜角度θ３が図１１に示すように傾斜角度θ４となった場合には、図１１に示すように、前記角部１００ａや前記リーディング側エッジ部１００ｂが前記磁気ディスクＤの前記表面Ｄ１に衝突してしまう。

しかし、図９に示す磁気ヘッドスライダ１００では、前記凸状突起部１２９ａが形成された前記ステップ面Ａが前記負圧発生面Ｃと同じ高さ位置に形成されていることから、前記角部１００ａの高さ位置を、記録媒体側（図示Ｚ１方向側）と反対方向（図示Ｚ２方向側）へ遠ざけることができないため、前記角部１００ａが前記磁気ディスクＤの前記表面Ｄ１に衝突することを効果的に抑制することはできず、前記磁気ディスクＤの損傷を効果的に抑制することができない。

また、前記凸状突起部１２９ａの前記上面１２９ａ１が、前記正圧発生面Ｂの高さ位置と同じ、若しくは下方側に形成されていることから、前記傾斜角度θ４を大きくするのには限界がある。したがって、前記磁気ヘッドスライダ１００がわずかに傾斜しただけでも前記リーディング側エッジ部１００ｂが前記磁気ディスクＤの前記表面Ｄ１に衝突してしまうこととなるため、前記リーディング側エッジ部１００ｂが前記磁気ディスクＤの前記表面Ｄ１に衝突することを効果的に抑制することができず、前記磁気ディスクＤの損傷を効果的に抑制することができない。

また、前記凸状突起部１２９ａの前記上面１２９ａ１が、前記正圧発生面Ｂの高さと同じ、若しくは下方側に形成されていることから、前記傾斜角度θ３が小さくなる方向に前記磁気ヘッドスライダ１００が傾いた場合には、前記正圧発生面Ｂに形成されたリーディング側エッジ部１１２ｃが、前記磁気ディスクＤの前記表面Ｄ１に衝突し易くもなる。

本発明は前記従来の課題を解決するためのものであり、磁気ヘッドスライダに対して外部から衝撃が与えられた場合でも、磁気ヘッドスライダの角部やエッジ部が記録媒体に衝突することを抑制し、記録媒体の損傷を効果的に抑制することが可能な磁気ヘッド装置を提供することを目的とする。

本発明は、トレーリング側端面に記録用および／または再生用の磁気素子が設けられた磁気ヘッドスライダと、前記磁気ヘッドスライダを記録媒体対向面の逆面側から弾性支持する支持部材とが設けられ、前記磁気ヘッドスライダは前記支持部材に設けられた揺動支点を中心として、ピッチ方向に揺動可能に弾性支持された磁気ヘッド装置において、
前記磁気ヘッドスライダのリーディング側端面から前記トレーリング側端面方向に向けて、ステップ面、正圧発生面、および負圧発生面がこの順番に形成され、前記ステップ面および前記正圧発生面は、前記負圧発生面よりも記録媒体方向に突出し、且つ前記正圧発生面は前記ステップ面よりも記録媒体方向に突出しており、
前記負圧発生面から磁気素子形成面が記録媒体方向に突出形成され、前記磁気素子形成面は、前記磁気素子が臨んで形成される前記正圧発生面と同高さで形成されるトレーリング側正圧面と、前記トレーリング側正圧面のリーディング側に位置し前記ステップ面と同高さで形成されるトレーリング側ステップ面とを備えて形成され、
前記磁気ヘッドスライダのリーディング側端面側の隅部には、前記ステップ面から前記負圧発生面よりも記録媒体と反対方向に位置する第１の深溝面（下側ステップ面）が形成され、前記第１の深溝面の一方の側縁と他方の側縁との交差部には角部が形成され、前記角部が前記負圧形成面よりも記録媒体と反対方向に位置しており、
この第１の深溝面から記録媒体方向へ延びる第１の凸状突起部が形成されており、
前記第１の凸状突起部の上面は、前記正圧発生面よりも記録媒体方向へ突出して形成されており、
前記スライダの前記トレーリング側端面側の隅部に、前記負圧発生面よりも記録媒体と反対方向に位置する第２の深溝面（下側ステップ面）が形成され、前記第２の深溝面から記録媒体方向へ延びる第２の凸状突起部が形成されており、
前記第２の凸状突起部の上面は、前記ステップ面よりも記録媒体方向で、且つ前記正圧発生面よりも記録媒体と反対方向に位置するように突出して形成されていることを特徴とするものである。

この場合、前記第１の下側ステップ面の一方の側縁と他方の側縁との交差部には角部が形成され、前記角部が前記負圧形成面よりも記録媒体方向に位置しているものとして構成することができる。

また、前記スライダの前記トレーリング側端面側の隅部に、前記負圧発生面よりも記録媒体と反対方向に位置する第２の下側ステップ面が形成され、前記第２の下側ステップ面から記録媒体方向へ延びる第２の凸状突起部が形成されているものとして構成することができる。

また、前記第１の凸状突起部は、記録媒体方向に形成された上層部と、前記上層部の記録媒体と反対方向に形成された下層部とを有しているものとして構成することや、前記第２の凸状突起部は、記録媒体方向に形成された上層部と、前記上層部の記録媒体と反対方向に形成された下層部とを有しているものとして構成することができる。

この場合、前記上層部がＤＬＣ（ダイヤモンド・ライク・カーボン）で形成されているものとして構成することができる。
また本発明では、前記正圧発生面から前記第１の凸状突起部の上面までの高さ寸法は０ｎｍより大きく１００ｎｍ以下の範囲内で形成されることが好ましい。
また本発明では、前記正圧発生面から前記第２の凸状突起部の上面までの高さ寸法は０ｎｍより大きく３ｎｍ以下の範囲内で形成されることが好ましい。

本発明の磁気ヘッド装置では、磁気ヘッドスライダのリーディング側端面側に第１の凸状突起部が形成され、この第１の凸状突起部が形成された第１の下側ステップ面が、負圧発生面よりも記録媒体と反対方向の位置に形成されていることから、前記第１の下側ステップの高さ位置を、負圧形成面よりも更に記録媒体側と反対方向へ遠ざけることができる。したがって、前記第１の下側ステップ面の一部が記録媒体の表面に衝突することを効果的に抑制することができ、記録媒体の損傷を効果的に抑制することができる。

また、凸状突起部の上面が、正圧発生面よりも記録媒体方向に形成されているため、磁気ヘッドスライダが大きく傾斜したとしても、ステップ面に形成された磁気ヘッドスライダのリーディング側エッジ部が記録媒体の表面に衝突し難くできる。

また、第１の凸状突起部の上面が正圧発生面よりも記録媒体方向に形成されているため、正圧発生面に形成されたリーディング側エッジ部が、記録媒体の表面に衝突し難くできる。

したがって、磁気ヘッドスライダのリーディング側エッジ部および正圧発生面に形成されたリーディング側エッジ部が記録媒体の表面に衝突することを効果的に抑制することができ、記録媒体の損傷を効果的に抑制することができる。

図１は、本発明の実施の形態の磁気ヘッドスライダ１の斜視図である。図１の磁気ヘッドスライダ１は、記録媒体対向面２を上向きにして示した斜視図である。

図２は図１に示す磁気ヘッドスライダ１を記録媒体対向面２側から見た平面図である。
図１及び図２に示す磁気ヘッドスライダ１は、図３に示す磁気ヘッド装置Ｈに搭載されて前記磁気ヘッド装置Ｈの一部を構成する。前記磁気ヘッドスライダ１は、例えば図３に示すように、前記磁気ヘッドスライダ１を記録媒体対向面２の逆面側から弾性支持する支持部材３に取り付けられる。前記支持部材３は板ばねのロードビーム４と、その先部に設けられた薄い板ばねのフレキシャ（弾性支持部材）５とを有して構成される。

前記磁気ヘッド装置Ｈは、磁気ディスク装置内に搭載され、前記磁気ディスク装置内に設けられた記録媒体である磁気ディスクＤに磁気信号を記録したり、あるいは前記磁気ディスクＤに記録された磁気信号を再生する機能を有している。

図４は、前記磁気ディスク装置内に設けられた磁気ディスクＤの表面Ｄ１に前記磁気ヘッド装置Ｈを構成する磁気ヘッドスライダ１が接触した状態で停止している状態を示した側面図である。後述するように図４に示す停止状態から磁気ディスクＤが回転することによって前記磁気ヘッドスライダ１が磁気ディスクＤ上に浮上し、上記した記録・再生が行われる。

したがって、図１および図２に示す磁気ヘッドスライダ１の図示Ｚ１方向側に前記磁気ディスクＤが位置することとなる。

図４に示すように、前記フレキシャ５の下面には磁気ヘッドスライダ１が記録媒体対向面２の逆面側から接着固定されている。図５に示すように前記フレキシャ５には、例えば図示上方向に突き出した球面状のピボットＰが形成されており、このピボットＰの先端が支持部材３に当接している。

図４の状態では前記磁気ヘッドスライダ１は、支持部材３により磁気ディスクＤの記録面に対して弱い弾性力で付勢されている。磁気ディスクＤが回転し始めると空気流を受けることで前記ピボットＰを揺動支点として、前記磁気ヘッドスライダ１のリーディング側端面Ｓｌが上方に持ち上がる。前記磁気ヘッドスライダ１は磁気ディスクＤ上に浮上すると、磁気ディスク面のうねりに追従するように前記ピボットＰを揺動支点としてピッチ方向に揺動する。

図１および２に示すように、磁気ヘッドスライダ１の図示左側（図示Ｙ１方向側）の端面は「リーディング側端面Ｓｌ」と呼ばれ、図示右側（図示Ｙ２方向側）の端面は「トレーリング側端面Ｓｔ」と呼ばれている。前記リーディング側端面Ｓｌの上辺には、幅方向（図示Ｘ１−Ｘ２方向）に延びるリーディング側エッジ部２０ａが形成されている。また、前記トレーリング側端面Ｓｔの上辺には、幅方向に延びるトレーリング側エッジ部２０ｂが形成されている。

前記磁気ヘッドスライダ１は、例えばアルミナチタンカーバイトなどで形成されている。

図１及び図２に示すように、前記磁気ヘッドスライダ１の記録媒体対向面２には、リーディング側端面Ｓｌからトレーリング側端面Ｓｔ方向に向けて、ステップ面１１、正圧発生面１２、及び負圧発生面１３がこの順番で形成されている。

図１に示すようにリーディング側端面Ｓｌ側に形成されているステップ面１１は、その高さが正圧発生面１２に対し磁気ディスクＤと反対方向に位置し、且つ負圧発生面１３よりも磁気ディスクＤ方向に位置して形成される。すなわち、前記ステップ面１１および前記正圧発生面１２は、前記負圧発生面１３よりも記録媒体である磁気ディスクＤ方向に突出し、且つ前記正圧発生面１２は前記ステップ面１１よりも磁気ディスク方向に突出している。図１に示すように、前記ステップ面１１は、リーディング側端面Ｓｌの幅方向（図示Ｘ方向）全体に広がるとともに、幅方向（図示Ｘ方向）の中央部分での長さ寸法Ｌ１（図示Ｙ方向への長さ）が、その両側部分の長さ寸法よりも短くなるようにトレーリング側端面Ｓｔ方向に向けて所定形状に画定されている。前記ステップ面１１のリーディング側端面が前記磁気ヘッドスライダ１のリーディング側端面Ｓｌとなるため、前記リーディング側エッジ部２０ａは前記ステップ面１１に形成されていることとなる。

前記ステップ面１１のトレーリング側縁部１１ａから段差を介して一段高くなり、前記磁気ディスクＤ方向へ突出した正圧発生面１２が形成されている。

前記正圧発生面１２には幅方向（図示Ｘ方向）の両側からトレーリング側端面Ｓｔ方向に延びる２本の腕部１２ａ，１２ａが形成されている。また前記正圧発生面１２の上辺には、幅方向（図示Ｘ１−Ｘ２方向）に延びるリーディング側エッジ部１２ｃが形成されている。

前記正圧発生面１２のトレーリング側縁部１２ｂからトレーリング側端面Ｓｔ方向に向けて前記ステップ面１１よりも磁気ディスクＤと反対方向に位置し、前記ステップ面１１の高さよりもさらに低い高さ寸法を有する負圧発生面１３が形成されている。

例えば前記ステップ面１１の高さ寸法は、負圧発生面１３上から０．２から２．９５μｍの高さ寸法、正圧発生面１２の高さ寸法は、負圧発生面１３上から０．５から３．０μｍの高さ寸法で形成される。

図１および図２に示すように、前記磁気ヘッドスライダ１の後端領域７のトレーリング側端面Ｓｔ寄りには、磁気素子形成面１４が前記負圧発生面１３上から磁気ディスクＤ方向へ突出形成されており、前記磁気素子形成面１４に磁気素子１４ｃの記録媒体対向面が配置されている。

前記磁気素子形成面１４は、前記ステップ面１１と同じ高さのトレーリング側ステップ面１４ａと、前記トレーリング側ステップ面１４ａから、前記正圧発生面１２と同じ高さのトレーリング側正圧面１４ｂが磁気ディスクＤ方向へ突出形成される。図１に示すように、前記磁気素子１４ｃは前記磁気素子形成面１４に形成された前記トレーリング側正圧面１４ｂに形成されており、このトレーリング側正圧面１４ｂに前記磁気素子１４ｃの記録媒体対向面が配置するように形成されている。

前記磁気素子１４ｃは、例えば磁気抵抗効果を利用したスピンバルブ型薄膜素子に代表される再生用のＭＲ素子と、記録用のインダクティブ素子との複合素子であるか、あるいはＭＲ素子またはインダクティブ素子の一方のみで構成されたものである。

図２に示すように、前記磁気ヘッドスライダ１の記録媒体対向面２の後端領域７にはその幅方向の両側に前記負圧発生面１３上から磁気ディスクＤ方向へ突出するサイド面１５，１６が形成される。前記サイド面１５，１６は、前記ステップ面１１と同じ高さのサイドステップ面１５ａ，１６ａと、前記正圧発生面１２と同じ高さのサイド正圧面１５ｂ，１６ｂとで構成される。

図１及び図２に示すように、前記負圧発生面１３からは４つの凸状突起部１７が形成されている。これら凸状突起部１７の上面１７ａの高さ位置は、前記正圧発生面１２と同じか、あるいは磁気ディスクＤ方向へ位置する（高くなる）ように形成されている。

また、図１及び図２に示すように、前記正圧発生面１２上にも凸状突起部１８が形成され、また前記ステップ面１１上からも２つの凸状突起部１９が形成されている。前記凸状突起部１８の上面１８ａと前記凸状突起部１９の上面１９ａも、前記凸状突起部１７の前記上面１７ａと同じ高さ位置に形成されている。

これら凸状突起部１７，１８及び１９の各上面１７ａ、１８ａ、１９ａは同じ高さ位置に形成されている。また既に説明した前記磁気素子形成面１４の前記トレーリング側正圧面１４ｂ、および前記サイド面１５、１６に形成された前記サイド正圧面１５ｂ、１６ｂは全て同じ高さ位置で形成されている。また、前記凸状突起部１７，１８及び１９の各上面１７ａ、１８ａ、１９ａと、前記トレーリング側正圧面１４ｂ、および前記サイド面１５、１６に形成された前記サイド正圧面１５ｂ、１６ｂとは同じ高さ位置、あるいは前記トレーリング側正圧面１４ｂと前記サイド正圧面１５ｂと１６ｂの方が、磁気ディスクＤ方向へ位置する（高くなる）ように形成されている。

なお、図１および図２に示す実施形態では、前記凸状突起部１７は前記負圧発生面１３に４個形成されており、また前記凸状突起部１８は前記正圧発生面１２に１個形成されており、前記凸状突起部１９は前記ステップ面１１に２つ形成されているが、本発明はこのように限定されるものではなく、前記凸状突起部１７、１８、１９の数量が限定されるものではない。

また、前記凸状突起部１７と１８と１９の各上面１７ａ、１８ａ、１９ａの高さ位置は、それぞれ異なるように形成されていても良い。

なお、前記凸状突起部１７，１８，１９は図２のように上方側（図示Ｚ１方向側）から見た平面形状は円形状であるが、図１および図２に示す前記磁気ヘッドスライダ１は、前記凸状突起部１７、１８，１９の前記平面形状は円形状に限定されるものではない。

以下に、本願発明の前記磁気ヘッドスライダ１の特徴点について説明する。
図１および図２に示すように、前記磁気ヘッドスライダ１には、４箇所の隅部に第１の下側ステップ面３０ａまたは第２の下側ステップ面３０ｂが形成されている。図１および図２に示すように、前記第１の下側ステップ面３０ａは前記リーディング側端面Ｓｌ側の２箇所の隅部に形成されており、前記第２の下側ステップ面３０ｂは、前記トレーリング側端面Ｓｔ側の２箇所の隅部に形成されている。

前記第１の下側ステップ面３０ａ、および前記第２の下側ステップ面３０ｂは、前記ステップ面１１の下方側に段差４０ａ、４０ｂを介して形成されており、前記磁気ヘッドスライダ１の４箇所の隅部には、前記第１の下側ステップ面３０ａ、および前記第２の下側ステップ面３０ｂによって凹部５０ａ、５０ｂが形成されている。

図１および図２に示すように、前記第１の下側ステップ面３０ａの一方の側縁３０ａ１と他方の３０ａ２との交差部には角部１ａが形成されている。また、前記第２の下側ステップ面３０ｂの一方の側縁３０ｂ１と他方の３０ｂ２との交差部には角部１ｂが形成されている。

前記第１の下側ステップ面３０ａからは、上方側（図示Ｚ１方向側）に向かって延びる第１の凸状突起部２９ａが形成されている。また、前記第２の下側ステップ面３０ｂからは、上方側に向って延びる第２の凸状突起部２９ｂが形成されている。前記第１の凸状突起部２９ａは、前記凹部５０ａ内に位置するように形成されており、また前記第２の凸状突起部２９ｂは、前記凹部５０ｂ内に位置するように形成されている。

前記第１の凸状突起部２９ａの上面２９ａ１は、前記凸状突起部１７、１８、１９の前記各上面１７ａ、１８ａ、１９ａよりも磁気ディスクＤ方向に（高い位置に）形成されている。

図５は、図２のＶ−Ｖ線で切断した切断断面を、図２に示すＸ２方向側から見た状態を示す断面図である。図５に示すように、前記第１の下側ステップ面３０ａは、前記負圧発生面１３よりも高さ寸法ｈ４だけ更に磁気ディスクＤと反対方向（図示Ｚ２方向）に位置するように形成されている。同様に、前記第２の下側ステップ面３０ｂも、前記負圧発生面１３よりも高さ寸法ｈ５だけ更に磁気ディスクＤと反対方向に位置するように形成されている。

前記第１の凸状突起部２９ａの上面２９ａ１は、前記磁気素子形成面１４に形成された前記トレーリング側正圧面１４ｂ、および前記正圧発生面１２よりも磁気ディスクＤ方向に（高い位置に）形成されている。また、前記第１の凸状突起部２９ａの前記上面２９ａ１は、前記サイド面１５、１６に形成された前記サイド正圧面１５ｂ、１６ｂの高さ位置よりも磁気ディスクＤ方向に（高い位置に）形成されている。

また、前記第２の凸状突起部２９ｂの上面２９ｂ１は、前記正圧発生面１２、トレーリング側正圧面１４ｂ、サイド正圧面１５ｂおよび１６ｂよりも磁気ディスクＤ方向と反対方向（低い位置）で、且つ前記負圧発生面１３よりも高い位置に形成されている。

前記第１の凸状突起部２９ａは磁気ディスクＤ方向に位置するように形成された上層部２９ａ３と、前記上層部２９ａ３よりも磁気ディスクＤと反対方向に位置するように形成された下層部２９ａ２とを有して形成されている。前記下層部２９ａ２は、例えばアルミナチタンカーバイトなどで形成されており、前記上層部２９ａ３は、ＤＬＣ（ダイヤモンド・ライク・カーボン）で形成されている。前記上層部２９ａ３はＤＬＣで形成されているため、前記上層部２９ａ３が前記磁気ディスクＤの表面Ｄ１に接触しても、前記表面Ｄ１の損傷を少なくすることができる。

また、前記第２の凸状突起部２９ｂも、磁気ディスクＤ方向に位置するように形成された上層部２９ｂ３と、前記上層部２９ｂ３よりも磁気ディスクＤと反対方向に位置するように形成された下層部２９ｂ２とを有して形成されている。前記下層部２９ｂ２は、例えばアルミナチタンカーバイトなどで形成されており、前記上層部２９ｂ３は、ＤＬＣで形成されている。前記上層部２９ｂ３はＤＬＣで形成されているため、前記上層部２９ｂ３が前記磁気ディスクＤの表面Ｄ１に接触しても、前記表面Ｄ１の損傷を少なくすることができる。

図５に示すように、前記第１の下側ステップ面３０ａから前記ステップ面１１までの高さ寸法ｈ１は１．２から７．９５μｍの範囲内で形成される。なお、図５に示す実施形態では、前記第２の下側ステップ面３０ｂは、前記第１の下側ステップ面３０ａと同じ高さ位置に形成されているため、前記第２の下側ステップ面３０ｂから前記ステップ面１１までの高さ寸法も、前記高さ寸法ｈ１と同じに形成されている。

また、前記第１の下側ステップ面３０ａから前記第１の凸状突起部２９ａの前記上面２９ａ１までの高さ寸法ｈ２は１．５から８．１μｍの範囲内で形成される。

また、前記正圧発生面１２から前記第１の凸状突起部２９ａの前記上面２９ａ１までの高さ寸法ｈ３は０ｎｍより大きく１００ｎｍ以下の範囲内で形成される。ここで前記したように、前記正圧発生面１２と、前記磁気素子形成面１４の前記トレーリング側正圧面１４ｂと、前記サイド面１５および１６の前記サイド正圧面１５ｂおよび１６ｂとは、同じ高さ位置に形成されている。

したがって、前記磁気素子形成面１４の前記トレーリング側正圧面１４ｂから前記第１の凸状突起部２９ａの前記上面２９ａ１までの高さ寸法も０ｎｍより大きく１００ｎｍ以下の範囲内で形成されている。また、前記サイド面１５および１６の前記サイド正圧面１５ｂおよび１６ｂから前記第１の凸状突起部２９ａの前記上面２９ａ１までの高さ寸法も０ｎｍより大きく１００ｎｍ以下の範囲内で形成される。

また、前記負圧発生面１３から前記第１の下側ステップ面３０ａまでの前記高さ寸法ｈ４は１から５μｍの範囲内で形成されている。

また、前記第１の凸状突起部２９ａの前記上層部２９ａ３の厚さ寸法ｔ１は５から５０ｎｍの範囲内で形成されている。

また図５に示すように、前記第２の下側ステップ面３０ｂから前記負圧発生面１３までの高さ寸法ｈ５は１から５μｍの範囲内で形成される。なお、図５に示す実施形態では、前記第１の下側ステップ面３０ａは前記第２の下側ステップ面３０ｂと同じ高さ位置に形成されているため、前記第１の下側ステップ面３０ａから前記負圧発生面１３までの高さ寸法も前記高さ寸法ｈ５と同じに形成されている。

また、前記第２の下側ステップ面３０ｂから前記第２の凸状突起部２９ｂの前記上面２９ｂ１までの高さ寸法ｈ６は１．０から８．０μｍの範囲内で形成される。

また、前記正圧発生面１２から前記第２の凸状突起部２９ｂの前記上面２９ｂ１までの高さ寸法ｈ７は０ｎｍより大きく３μｍ以下の範囲内で形成される。ここで前記したように、前記正圧発生面１２と、前記磁気素子形成面１４の前記トレーリング側正圧面１４ｂと、前記サイド面１５および１６の前記サイド正圧面１５ｂおよび１５ｂとは、同じ高さ位置に形成されている。

したがって、前記磁気素子形成面１４の前記トレーリング側正圧面１４ｂから前記第２の凸状突起部２９ｂの前記上面２９ｂ１までの高さ寸法も０ｎｍより大きく３μｍ以下の範囲内で形成されている。また、前記サイド面１５および１６の前記サイド正圧面１５ｂおよび１６ｂから前記第２の凸状突起部２９ｂの前記上面２９ｂ１までの高さ寸法も０より大きく３μｍ以下の範囲内で形成される。

また、前記負圧発生面１３から前記第２の下側ステップ面３０ｂまでの前記高さ寸法ｈ５は１から５μｍの範囲内で形成されている。

また、前記第２の凸状突起部２９ｂの前記上層部２９ｂ３の厚さ寸法ｔ２は５から５０ｎｍの範囲内で形成されている。

なお、図１および図２に示した実施形態では、前記第１の下側ステップ面３０ａおよび前記第２の下側ステップ面３０ｂは、上方側から見た平面形状が扇形に形成されている。ただし、本願発明では、前記第１の下側ステップ面３０ａおよび前記第２の下側ステップ面３０ｂの前記平面形状が扇型に限定されるものではなく、他の形状で形成されていても良い。

図６は、前記磁気ヘッドスライダ１が搭載された前記磁気ヘッド装置Ｈに対して外力が与えられて、前記磁気ヘッドスライダ１が図４に示す状態から前記リーディング側端面Ｓｌ側に傾いた状態を示した側面図である。なお、図６では、支持部材３を省略して示している。

図６に示す状態では、前記磁気ディスクＤの表面Ｄ１に前記第１の凸状突起部２９ａが接触するとともに、前記リーディング側エッジ部２０ａが前記磁気ディスクＤに接触している。そして、前記磁気ヘッドスライダ１の下面１ｃと前記磁気ディスクＤの前記表面Ｄ１との間で規定される傾斜角度θ１を有して、前記磁気ヘッドスライダ１が、前記磁気ディスクＤの前記表面Ｄ１に対して傾斜している。

図５に示すように、前記磁気ヘッドスライダ１では、前記第１の凸状突起部２９ａが形成された前記第１の下側ステップ面３０ａが、前記負圧発生面１３よりも磁気ディスクＤと反対方向（下方）の位置に形成されていることから、図６に示すように、図９ないし図１１に示す従来の前記磁気ヘッドスライダ１００に比較して、前記角部１ａの高さ位置を、前記負圧発生面１３よりも更に記録媒体である前記磁気ディスクＤ側（図示Ｚ１方向側）と反対方向（図示Ｚ２方向側）へ遠ざけることができるため、角部１ａが前記磁気ディスクＤの前記表面Ｄ１に衝突することを効果的に抑制することができ、前記磁気ディスクＤの損傷を効果的に抑制することができる。

また図７に示すように、例えば前記磁気ヘッドスライダ１がノートパソコン内のＨＤＤに搭載されているとき、このノートパソコンが落下して前記ＨＤＤに衝撃が与えられた場合には、前記磁気ヘッドスライダ１にも衝撃が与えられ、前記支持部材３に支持されている前記磁気ヘッドスライダ１が前記リーディング側を前記磁気ディスク側に向けた状態で斜めに傾斜する場合がある。このように前記磁気ヘッドスライダ１が傾斜した場合に、前記第１の下側ステップ面３０ａが前記負圧発生面１３よりも磁気ディスクＤと反対方向に位置しているため、前記角部１ａが前記磁気ディスクＤの表面Ｄ１に衝突することを抑制することができる。

また図５に示すように、前記第１の凸状突起部２９ａの前記上面２９ａ１が、前記正圧発生面１３よりも磁気ディスクＤ方向に（高い位置に）形成されているため、図９ないし図１１に示す従来の前記磁気ヘッドスライダ１００に比較して、図６に示す前記傾斜角度θ１を大きくすることができる。したがって、前記磁気ヘッドスライダ１が大きく傾斜したとしても、前記リーディング側エッジ部２０ａが前記磁気ディスクＤの前記表面Ｄ１に衝突し難くできるため、前記リーディング側エッジ部２０ａが前記磁気ディスクＤの前記表面Ｄ１に衝突することを効果的に抑制することができ、前記磁気ディスクＤの損傷を効果的に抑制することができる。

また図１、図２および図５に示すように、前記第１の凸状突起部２９ａの前記上面２９ａ１が、前記正圧発生面１２よりも前記磁気ディスクＤ方向に形成されているため、前記正圧発生面１２に形成されたリーディング側エッジ部１２ｃが前記磁気ディスクＤの前記表面Ｄ１に衝突するのを抑制することができる。

図８は、前記磁気ヘッドスライダ１が搭載された前記磁気ヘッド装置Ｈに対して外力が与えられて、前記磁気ヘッドスライダ１が図４に示す状態から前記トレーリング側端面Ｓｔ側が前記磁気ディスクＤ方向に斜めに傾いた状態を示した斜視図である。なお、図８では、支持部材３を省略して示している。

図５に示すように、前記磁気ヘッドスライダ１では、前記第２の凸状突起部２９ｂが形成された前記下側第２の下側ステップ面３０ｂが、前記負圧発生面１３よりも磁気ディスクＤと反対方向（下方）の位置に形成されていることから、前記角部１ｂの高さ位置を、前記負圧発生面１３よりも更に記録媒体である前記磁気ディスクＤ側（図示Ｚ１方向側）と反対方向（図示Ｚ２方向側）へ遠ざけることができるため、図８に示すように、角部１ｂが前記磁気ディスクＤの前記表面Ｄ１に衝突することを効果的に抑制することができ、前記磁気ディスクＤの損傷を効果的に抑制することができる。

また図５に示すように、前記第２の凸状突起部２９ｂの前記上面２９ｂ１が、前記負圧発生面１３よりも磁気ディスク方向に（高い位置に）形成されているため、前記磁気ヘッドスライダ１の前記トレーリング側端面Ｓｔ側が前記磁気ディスクＤ方向に斜めに大きく傾斜したとしても、前記トレーリング側エッジ部２０ｂが前記磁気ディスクＤの前記表面Ｄ１に衝突し難くできるため、前記トレーリング側エッジ部２０ｂが前記磁気ディスクＤの前記表面Ｄ１に衝突することを効果的に抑制することができ、前記磁気ディスクＤの損傷を効果的に抑制することができる。

前記磁気ヘッドスライダ１では、前記リーディング側端面Ｓｌ側の２隅に形成された前記第１の下側ステップ面３０ａおよび前記第１の凸状突起部２９ａに加えて、前記トレーリング側端面Ｓｔ側の２隅にも前記第２の下側ステップ面３０ｂが形成されているとともに、前記第２の凸状突起部２９ｂが形成されている。したがって、前記磁気ヘッドスライダ１では、前記したように、前記トレーリング側端面Ｓｔ側に形成された前記角部１ｂおよび前記トレーリング側エッジ部２０ｂが、前記磁気ディスクＤの前記表面Ｄ１に衝突することをも効果的に抑制することができる。

なお、図１および図２に示した実施形態では、前記リーディング側端面Ｓｌと前記トレーリング側端面Ｓｔとの両方に、それぞれ前記下側第１の下側ステップ面３０ａと前記第１の凸状突起部２９ａ、あるいは前記下側第２の下側ステップ面３０ｂと前記第２の凸状突起部２９ｂが設けられているが、本発明はこれに限定されるものではなく、前記トレーリング側端面Ｓｔ側に形成された前記下側第２の下側ステップ面３０ｂおよび前記第２の凸状突起部２９ｂが設けられていなくても良い。あるいは、前記リーディング側端面Ｓｌ側に形成された前記下側第１の下側ステップ面３０ａおよび前記第１の凸状突起部２９ａが設けられていなくても良い。

ただし、前記リーディング側端面Ｓｌは前記トレーリング側端面Ｓｔに比較すると、記録媒体である前記磁気ディスクＤに衝突する頻度が多いため、前記リーディング側端面Ｓｌ側に形成された前記下側第１の下側ステップ面３０ａおよび前記第１の凸状突起部２９ａは設けられていることが好ましい。

本発明の磁気ヘッド装置に搭載される本発明の磁気ヘッドスライダを示す斜視図、図１に示す磁気ヘッドスライダを記録媒体対向面側から見た平面図、図１に示す磁気ヘッドスライダが搭載された磁気ヘッド装置を示す斜視図、図１に示す磁気ヘッドスライダが磁気ディスクの表面に接触した状態で停止している状態を示す側面図、図２のＶ−Ｖ線での切断断面図、図１に示す磁気ヘッドスライダが図４に示す状態からリーディング側端面側に傾いた状態を示す側面図、図１に示す磁気ヘッドスライダが図４に示す状態から、リーディング側を磁気ディスク側に向けた状態で斜めに傾斜した状態を示す斜視図、図１に示す磁気ヘッドスライダが図４に示す状態から、トレーリング側を磁気ディスク側に向けた状態で斜めに傾斜した状態を示す斜視図、磁気ヘッド装置に搭載される従来の磁気ヘッドスライダを示す斜視図、図９に示す磁気ヘッドスライダがリーディング側端面側に傾いた状態を示す側面図、図９に示す磁気ヘッドスライダが図１０に示す状態から更にリーディング側端面側に傾いた状態を示す側面図、

符号の説明

１磁気ヘッドスライダ
１ａ，１ｂ角部
２記録媒体対向面
３支持部材
１１ステップ面
１２正圧発生面
１３負圧発生面
１４磁気素子形成面
１４ｃ磁気素子
１５，１６サイド面
２０ａリーディング側エッジ部
２０ｂトレーリング側エッジ部
２９ａ第１の凸状突起部
２９ｂ第２の凸状突起部
２９ａ１，２９ｂ１上面
３０ａ第１の下側ステップ面
３０ｂ第２の下側ステップ面
３０ａ１，３０ｂ１一方の側縁
３０ａ２，３０ｂ２他方の側縁

Claims

トレーリング側端面に記録用および／または再生用の磁気素子が設けられた磁気ヘッドスライダと、前記磁気ヘッドスライダを記録媒体対向面の逆面側から弾性支持する支持部材とが設けられ、前記磁気ヘッドスライダは前記支持部材に設けられた揺動支点を中心として、ピッチ方向に揺動可能に弾性支持された磁気ヘッド装置において、
前記磁気ヘッドスライダのリーディング側端面から前記トレーリング側端面方向に向けて、ステップ面、正圧発生面、および負圧発生面がこの順番に形成され、前記ステップ面および前記正圧発生面は、前記負圧発生面よりも記録媒体方向に突出し、且つ前記正圧発生面は前記ステップ面よりも記録媒体方向に突出しており、
前記負圧発生面から磁気素子形成面が記録媒体方向に突出形成され、前記磁気素子形成面は、前記磁気素子が臨んで形成される前記正圧発生面と同高さで形成されるトレーリング側正圧面と、前記トレーリング側正圧面のリーディング側に位置し前記ステップ面と同高さで形成されるトレーリング側ステップ面とを備えて形成され、
前記磁気ヘッドスライダのリーディング側端面側の隅部には、前記ステップ面から前記負圧発生面よりも記録媒体と反対方向に位置する第１の深溝面（下側ステップ面）が形成され、前記第１の深溝面の一方の側縁と他方の側縁との交差部には角部が形成され、前記角部が前記負圧形成面よりも記録媒体と反対方向に位置しており、
この第１の深溝面から記録媒体方向へ延びる第１の凸状突起部が形成されており、
前記第１の凸状突起部の上面は、前記正圧発生面よりも記録媒体方向へ突出して形成されており、
前記スライダの前記トレーリング側端面側の隅部に、前記負圧発生面よりも記録媒体と反対方向に位置する第２の深溝面（下側ステップ面）が形成され、前記第２の深溝面から記録媒体方向へ延びる第２の凸状突起部が形成されており、
前記第２の凸状突起部の上面は、前記ステップ面よりも記録媒体方向で、且つ前記正圧発生面よりも記録媒体と反対方向に位置するように突出して形成されていることを特徴とする磁気ヘッド装置。
前記第１の凸状突起部は、記録媒体方向に形成された上層部と、前記上層部の記録媒体と反対方向に形成された下層部とを有している請求項１記載の磁気ヘッド装置。
前記第２の凸状突起部は、記録媒体方向に形成された上層部と、前記上層部の記録媒体と反対方向に形成された下層部とを有している請求項１または２記載の磁気ヘッド装置。
前記上層部がＤＬＣ（ダイヤモンド・ライク・カーボン）で形成されている請求項２または３記載の磁気ヘッド装置。
前記正圧発生面から前記第１の凸状突起部の上面までの高さ寸法は０ｎｍより大きく１００ｎｍ以下の範囲内で形成される請求項１ないし４のいずれかに記載の磁気ヘッド装置。
前記正圧発生面から前記第２の凸状突起部の上面までの高さ寸法は０ｎｍより大きく３ｎｍ以下の範囲内で形成される請求項１ないし５のいずれかに記載の磁気ヘッド装置。