-
HINTERGRUND DER ERFINDUNG
-
Gebiet der Erfindung
-
Die vorliegende Erfindung betrifft
im allgemeinen einen fliegenden Magnetkopfgleiter, der in einem
Magnetplattenlaufwerk verwendet wird, und im besonderen einen Unterdruckgleiter,
der für
eine niedrige Flughöhe
bestimmt ist, wie er aus EP-A-0 466 502 bekannt ist und der die
Präambel
der unabhängigen
Ansprüche
1 und 15 reflektiert.
-
Beschreibung
der verwandten Technik
-
In einem Magnetkopfgleiter für ein modernes Magnetplattenlaufwerk
wird das Verringern der Flughöhe
angestrebt, um die Aufzeichnungsdichte einer Magnetplatte zu erhöhen. Ferner
wird ein Gleiter mit ausgezeichneter Flugstabilität gewünscht, da
eine große
Beschleunigung in einer Zugriffsrichtung wirkt, um eine hohe Zugriffsgeschwindigkeit
zu erreichen. Des weiteren ist in einem modernen Magnetplattenlaufwerk
ein Rotationspositionierer zu Zwecken der Größenreduzierung des Magnetplattenlaufwerkes und
der Vereinfachung eines Mechanismus weit verbreitet, und es wird
ein Unterdruckgleiter mit geringeren Abweichungen in der Flughöhe auf Grund
von Veränderungen
eines Gierwinkels gewünscht.
-
Als Unterdruckmagnetkopfgleiter,
der eine ausgezeichnete Flugstabilität besitzt, ist ein Gleiter mit
einem Paar von Schienen vorgeschlagen worden, die in der Schienenbreite
von einem Lufteinlaßende
hin zu einem Luftauslaßende
abnehmen und eine Nut zwischen dem Paar von Schienen definieren,
um einen Unterdruck in der Nut zu erzeugen (japanisches offengelegtes
Patent Nr. 4-228157, das EP-A-0 466 502 entspricht). 1A ist eine Draufsicht auf
einen herkömmlichen
Unterdruckmagnetkopfgleiter, der in der obigen Veröffentlichung
offenbart ist, und 1B ist
eine perspektivische Ansicht des in 1A gezeigten
Gleiters. Der Gleiter, der mit dem Bezugszeichen 2 gekennzeichnet
ist, hat im Grundriß eine
rechteckige Form und ein Lufteinlaßende 2a und ein Luftauslaßende 2b.
-
Ein Paar von Schienen 4 und 6 zum
Erzeugen eines Überdrucks
ist auf einer der Platte gegenüberliegenden
Oberfläche
des Gleiters 2 gebildet. Die Schienen 4 und 6 haben
ebene Luftlageroberflächen
(Schienenoberflächen) 4a bzw. 6a zum
Erzeugen einer Flugkraft während
der Rotation einer Platte. Abgeschrägte Oberflächen 4b und 6b sind
an den Lufteinlaßendabschnitten
der Schienen 4 bzw. 6 gebildet. Eine Nut 8 zum
Ausdehnen der einmal komprimierten Luft, um einen Unterdruck zu
erzeugen, ist zwischen den Schienen 4 und 6 definiert.
Ein elektromagnetischer Wandler 10 ist an dem Luftauslaßende 2b des
Gleiters 2 an einer Position gebildet, wo die Schiene 4 angeordnet
ist. Eine mittlere Schiene 11 ist zwischen den Schienen 4 und 6 auf
der Seite des Lufteinlaßendes 2a gebildet.
-
Jede der Schienen 4 und 6 hat
eine Breite, die an dem Lufteinlaßendabschnitt und dem Luftauslaßendabschnitt
größer ist
und an dem Zwischenabschnitt kleiner ist, wodurch Abweichungen in
der Flughöhe
auf Grund von Veränderungen
des Gierwinkels unterdrückt
werden. Durch das Bilden der abgeschrägten Oberflächen 4b und 6b an
den Lufteinlaßendabschnitten
der Schienen 4 und 6 können ferner Abweichungen in
der Flughöhe
auf Grund der Ablagerung von Staub unterdrückt werden. 1B ist eine perspektivische Ansicht des
Gleiters 2 von der Seite der Schienenoberflächen gesehen,
wobei die gestrichelten Pfeile einen Überdruck kennzeichnen, der
auf den Gleiter 2 wirkt, und die durchgehenden Pfeile einen
Unterdruck kennzeichnen, der auf den Gleiter 2 wirkt. Der Überdruck
wird an den Schienenoberflächen 4a und 6a erzeugt,
und der Unterdruck wird an der Nut 8 erzeugt.
-
Wenn die Flughöhe des Gleiters 2 0,05 μm oder weniger
beträgt,
wird ein Flugzustand durch die Form des Gleiters außerordentlich
beeinflußt.
Der obengenannte herkömmliche
Gleiter ist in der Form rechteckig, und jede von dem Paar von im
wesentlichen parallelen Schienen hat zwei breitere Abschnitte an
dem Lufteinlaßendabschnitt
und dem Luftauslaßendabschnitt.
Daher sind vier Spitzen bei einer Druckverteilung beim Flug des
Gleiters vorhanden. Das heißt,
der Gleiter wird beim Flug an vier Punkten gestützt. In solch einem Fall, wenn
der Gleiter beim Flug an vier Punkten gestützt wird, beeinflußt die Form
des Gleiters einen Flugzustand außerordentlich. Das heißt, der
Flugzustand des Gleiters weicht bei Abweichungen in der Krone, der
Wölbung,
der Verdrehung, etc., des Gleiters auf Grund eines Herstellungsfehlers
außerordentlich
ab.
-
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
-
Deshalb ist es eine Aufgabe der vorliegenden
Erfindung, einen Kopfgleiter mit guten Flugcharakteristiken vorzusehen,
der Abweichungen in der Flughöhe
auf Grund einer Schienenoberflächenplanheitstoleranz
beim Bearbeiten eines Gleiters und Abweichungen in der Flughöhe auf Grund
einer Abschrägungsbearbeitungstoleranz
unterdrücken
kann.
-
Diese Aufgabe wird durch die Merkmale
von Anspruch 1 erfüllt.
-
Da der Kopfgleiter der vorliegenden
Erfindung solch eine Trapezform hat, daß das Lufteinlaßende schmaler
als das Luftauslaßende
ist, ist sich das Paar von Schienen am Lufteinlaßende näher als am Luftauslaßende. Daher
sind bei einer Druckverteilung beim Flug des Gleiters drei Spitzen
vorhanden. Das heißt,
der Gleiter wird beim Flug an drei Punkten gestützt. Da der Gleiter beim Flug
an drei Punkten gestützt
wird, können
Abweichungen in der Flughöhe
des Gleiters unterdrückt
werden, obwohl die Krone, die Wölbung,
die Verdrehung, etc., des Gleiters auf Grund eines Herstellungsfehlers
abweichen. Daher können
gute Flugcharakteristiken des Gleiters realisiert werden.
-
Vorzugsweise hat jede Schiene solch
eine Form, daß das
Zentrum des Luftauslaßendabschnittes
außerhalb
einer geraden Linie positioniert ist, die das Zentrum des Lufteinlaßendabschnittes
und das Zentrum des Zwischenabschnittes verbindet. Ferner hat jede
Schiene vorzugsweise eine abgeschrägte Oberfläche zum Erzeugen eines Überdrucks
an dem Lufteinlaßendabschnitt,
und die abgeschrägte
Oberfläche
hat eine Breite, die von dem Lufteinlaßende hin zu dem Luftauslaßende kontinuierlich
abnimmt.
-
Auch das obige Ziel wird durch die
Merkmale von Anspruch 15 erreicht.
-
Vorzugsweise hat der Schienenverbindungsabschnitt
eine abgeschrägte
Oberfläche
zum Erzeugen eines Überdrucks
an dem Lufteinlaßabschnitt, und
die abgeschrägte
Oberfläche
hat eine Breite, die von dem Lufteinlaßende hin zu dem Luftauslaßende kontinuierlich
abnimmt.
-
Durch das Studium der folgenden Beschreibung
und der beigefügten
Ansprüche
unter Bezugnahme auf die beigelegten Zeichnungen, die einige bevorzugte
Ausführungsformen
der Erfindung zeigen, werden die obigen und andere Ziele, Merkmale und
Vorteile der vorliegenden Erfindung und die Art und Weise des Realisierens
derer deutlicher und wird die Erfindung selbst am besten verstanden.
-
KURZE BESCHREIBUNG
DER ZEICHNUNGEN
-
1A ist
eine Draufsicht auf einen Magnetkopfgleiter nach Stand der Technik;
-
1B ist
eine perspektivische Ansicht des in 1A gezeigten
Gleiters in seinem Flugzustand;
-
2 ist
eine perspektivische Ansicht eines Magnetplattenlaufwerkes;
-
3 ist
eine Draufsicht auf einen Gleiter und zeigt eine erste bevorzugte
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
-
4 ist
eine perspektivische Ansicht des in 3 gezeigten
Gleiters in seinem Flugzustand;
-
5 ist
eine Ansicht, die eine Druckverteilung des Gleiters von 3 zeigt;
-
6 ist
eine Draufsicht auf einen Gleiter und zeigt eine zweite bevorzugte
Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung;
-
7 ist
eine Draufsicht auf einen Gleiter und zeigt eine dritte bevorzugte
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
-
8 ist
eine Draufsicht auf einen Gleiter und zeigt eine vierte bevorzugte
Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung;
-
9 ist
eine Draufsicht auf einen Gleiter und zeigt eine fünfte bevorzugte
Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung;
-
10 ist
eine Draufsicht auf einen Gleiter und zeigt eine sechste bevorzugte
Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung;
-
11 ist
eine Draufsicht auf einen Gleiter und zeigt eine siebte bevorzugte
Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung;
-
12 ist
eine Draufsicht auf einen Gleiter und zeigt eine achte bevorzugte
Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung;
-
13 ist
eine Draufsicht auf einen Gleiter und zeigt eine neunte bevorzugte
Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung;
-
14 ist
eine Draufsicht auf einen Gleiter und zeigt eine zehnte bevorzugte
Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung;
-
15A ist
eine Draufsicht auf einen Gleiter und zeigt eine elfte bevorzugte
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
-
15B ist
ein Querschnitt längs
der Linie B-B in 15A;
-
16 ist
eine Draufsicht auf einen Gleiter und zeigt eine zwölfte bevorzugte
Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung;
-
17 ist
eine Draufsicht auf einen Gleiter und zeigt eine dreizehnte bevorzugte
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
-
18 ist
eine Draufsicht auf einen Gleiter und zeigt eine vierzehnte bevorzugte
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
-
19A ist
eine Draufsicht auf einen Gleiter und zeigt eine fünfzehnte
bevorzugte Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
-
19B ist
ein Querschnitt längs
der Linie B-B in 19A;
-
20 ist
eine Draufsicht auf einen Gleiter und zeigt eine sechzehnte bevorzugte
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
-
21 ist
ein Graph, der die Flughöhe
des Gleiters von 20 zeigt;
-
22A ist
eine perspektivische Ansicht eines Wafers;
-
22B ist
eine perspektivische Ansicht eines stangenförmigen Wafers, der von dem
Wafer von 22A abgeschnitten
ist;
-
23 ist
eine perspektivische Ansicht, die ein erstes Schneideverfahren zeigt;
-
24 ist
eine Schnittansicht, die die Form eines Schneideblattes zeigte
-
25 ist
eine perspektivische Ansicht einer Bühne;
-
26A ist
ein Querschnitt längs
der Linie 26A-26A in 25;
-
26B ist
ein Querschnitt längs
der Linie 26B-26B in 25;
-
27 ist
eine perspektivische Ansicht, die ein zweites Schneideverfahren
zeigt; und
-
28 ist
eine perspektivische Ansicht eines stangenförmigen Wafers, der zum Positionieren von
Schneideblättern
geeignet ist.
-
BESCHREIBUNG
DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
-
Unter Bezugnahme auf 2 ist eine perspektivische Ansicht eines
Magnetplattenlaufwerkes gezeigt, in das ein Magnetkopfgleiter gemäß der vorliegenden
Erfindung montiert ist. Bezugszeichen 12 bezeichnet ein
Gehäuse
(Plattenumhüllung),
das eine Basis 14 und eine Abdeckung 16 umfaßt. Eine Spindelnabe
(nicht gezeigt), die durch einen Innennabenmotor rotierbar angetrieben
wird, ist auf der Basis 14 vorgesehen. Eine Vielzahl von
Magnetplatten 20 und Abstandshaltern (nicht gezeigt) ist
auf die Spindelnabe auf solch eine Weise montiert, um alternierend
gestapelt zu sein. Das heißt,
die vielen Magnetplatten 20 sind durch Befestigen einer
Plattenklemme 18 an der Spindelnabe durch Schrauben fest an
die Spindelnabe montiert, und durch die Abstandshalter sind sie
in einem gegebenen Abstand gleichmäßig angeordnet.
-
Bezugszeichen 22 bezeichnet
einen Rotationsbetätiger,
der eine Betätigerarmbaugruppe 26 und
eine Magnetschaltung 28 umfaßt. Die Betätigerarmbaugruppe 26 ist
so montiert, daß sie
um einen Schaft 24, der an der Basis 14 fixiert
ist, rotierbar ist. Die Betätigerarmbaugruppe 26 enthält eine Vielzahl
von Betätigerarmen 30,
die sich von dem Rotationszentrum in einer Richtung erstrecken,
und ein Spulenstützglied 36,
das sich von dem Rotationszentrum in eine Richtung erstreckt, die
der Richtung gegenüberliegt,
in der sich die Betätigerarme 30 erstrecken.
-
Eine Aufhängung 34 ist an ihrem
Basisendabschnitt an einem vorderen Endabschnitt von jedem Betätigerarm 30 fixiert.
Ein Magnetkopfgleiter 32 wird an einem vorderen Endabschnitt
der Aufhängung 34 gestützt. Eine
Spule 38 wird durch das Spulenstützglied 36 gestützt. Die
Magnetschaltung 28 und die Spule 38, die in eine
Lücke der
Magnetschaltung 28 eingefügt ist, bilden einen Schwingspulenmotor
(VCM) 40.
-
Bezugszeichen 42 bezeichnet
eine flexible gedruckte Schaltungsplatte (FPC) zum Aufnehmen eines
Signals von einem elektromagnetischen Wandler, der an den Kopfgleiter 32 montiert
ist. Die flexible gedruckte Schaltungsplatte 42 ist an
ihrem einen Ende durch ein Fixierglied 44 fixiert und mit
einem Verbinder (nicht gezeigt) elektrisch verbunden. Eine ringförmige Dichtungsbaugruppe 46 ist
an die Basis 14 montiert. Das Gehäuse 12 wird durch
Befestigen der Abdeckung 16 über die Dichtungsbaugruppe 46 an
der Basis 14 durch Schrauben abgedichtet.
-
3 ist
eine Draufsicht auf einen Magnetkopfgleiter 50A, die eine
erste bevorzugte Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt, und 4 zeigt
eine perspektivische Ansicht des Magnetkopfgleiters 50A in
seinem Flugzustand. In dieser bevorzugten Ausführungsform und allen folgenden bevorzugten
Ausführungsformen
sind die Teile, die im wesentlichen dieselben sind, mit denselben
Bezugszeichen versehen. Der Magnetkopfgleiter 50A hat ein
Lufteinlaßende 52a und
ein Luftauslaßende 52b und
in der Draufsicht gesehen eine Trapezform, so daß das Lufteinlaßende 52a schmaler
als das Luftauslaßende 52b ist.
Der Magnetkopfgleiter 50A wird durch die in 2 gezeigte Aufhängung gestützt.
-
Ein Paar von Schienen 54 und 56,
die jeweilig ebene Schienenoberflächen (Luftlageroberflächen) 54a und 56a haben,
sind auf der einer Platte gegenüberliegenden
Oberfläche
des Magnetkopfgleiters 50A gebildet. Abgeschrägte Oberflächen 54b und 56b sind
an Lufteinlaßendabschnitten
der Schienen 54 bzw. 56 gebildet. Da der Gleiter 50A trapezförmig ist,
sind die Schienen 54 und 56 an ihren Lufteinlaßendabschnitten
dichter aneinander angeordnet, und ein Spalt 58 ist zwischen
den Lufteinlaßendabschnitten
der Schienen 54 und 56 definiert. Ferner ist eine
Nut 60 zum Erzeugen eines Unterdrucks zwischen den Schienen 54 und 56 definiert.
Ein elektromagnetischer Wandler 62 ist an dem Luftauslaßende 52b des
Gleiters 50A an einer Position gebildet, wo die Schiene 54 angeordnet
ist.
-
Der Gleiter 50A wird aus
Al2O3-TiC gebildet, indem
zuerst eine Vielzahl von elektromagnetischen Wandlern 62 auf
einem Wafer gebildet wird, als nächstes
der Wafer in Stäbe
oder Stangen geschnitten wird, dann eine Seitenoberfläche von
jedem Stab bearbeitet wird, um eine Vielzahl von Paaren von Schienen 54 und 56 zu
bilden, und schließlich
der Stab zerschnitten wird, um individuelle Gleiter 50A zu erhalten.
Der Gleiter 50A hat eine Größe von 1,25 mm × 0,25 – 0,75 mm
(Lufteinlaßende) × 1 mm (Luftauslaßende) und
eine Dicke von 0,3 mm. Jede der Schienen 54 und 56 hat
eine minimale Breite von 100 μm
oder weniger. Daher werden die Schienen 54 und 56 durch
ein photolithographisches Verfahren gebildet. Das heißt, nach
dem Aufbringen eines Resists mit einem gewünschten Schienenmuster, das
zu bilden ist, wird die Waferoberfläche durch Ionenstrahlätzen abgetragen,
um den Spalt 58 und die Nut 60 zu bilden. Die
abgeschrägten
Oberflächen 54b und 56b werden
durch eine Formgebung vor oder nach dem Bilden der Schienen 54 und 56 gebildet.
-
Der Abschrägungswinkel von jeder der abgeschrägten Oberflächen 54b und 56b wird
vorzugsweise auf 0,5° bis
4,0° festgelegt,
und die Länge
von jeder der abgeschrägten
Oberflächen 54b und 56b wird
vorzugsweise auf 1/10 bis 1/20 von der Länge von jeder der Schienen 54 und 56 festgelegt.
Ein Oberdruck, der an den abgeschrägten Oberflächen 54b und 56b erzeugt
wird, verhindert die Ablagerung von Staub auf den Schienen 54 und 56 an
ihren Lufteinlaßendabschnitten.
-
Wie aus 4 hervorgeht, die einen Flugzustand des
Gleiters 50A zeigt, wird ein Oberdruck an den Schienenoberflächen (Luftlageroberflächen) 54a und 56a erzeugt,
wie es durch die gestrichelten Pfeile gekennzeichnet ist, und eine
Unterdruck-Anziehungskraft wird an der Nut 60 erzeugt,
wie es durch die durchgehenden Pfeile gekennzeichnet ist. Das heißt, die
an dem Spalt 58 einmal komprimierte Luft wird in der Nut 60 ausgedehnt,
um dadurch einen Unterdruck in der Nut 60 zu erzeugen.
-
Wie aus 5 hervorgeht, die eine Druckverteilung
an dem Gleiter 50A zeigt, werden drei Druckspitzen erhalten,
weil der Gleiter 50A eine Trapezform hat. Daher wird der
Gleiter 50A in seinem Flugzustand an drei Punkten gestützt. Selbst
wenn die Krone, Wölbung,
Verdrehung, etc., des Gleiters 50A auf Grund eines Bearbeitungsfehlers
abweichen, ist die Abweichungsrate bei der Flughöhe niedrig, da der Gleiter 50A an
drei Punkten gestützt
wird. Da der Gleiter 50A ferner trapezförmig ist, beträgt die Masse
des Gleiters 50A etwa 1/2 bis 3/4 der Masse des herkömmlichen
Gleiters, der dieselbe Dicke hat. Zum Beispiel beträgt die Masse
des herkömmlichen Gleiters
1,757 mg, während
die Masse des Gleiters 50A der ersten bevorzugten Ausführungsform
0,984 bis 1,378 mg beträgt.
Falls der Gleiter 50A an eine Aufhängung mit einer Masse von 1,161
mg montiert wird, kann daher eine Resonanzfrequenz um 3,8 bis 13%
erhöht
werden.
-
6 ist
eine Draufsicht auf einen Gleiter 50B, die eine zweite
bevorzugte Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung zeigt. Der Gleiter 50B hat ein Paar
von parallelen Seitenoberflächen 64a und 64b,
die auf der Seite des Luftauslaßendes 52b gebildet
sind, und ein Paar von geneigten Seitenoberflächen 66a und 66b,
die die Seitenoberflächen 64a und 64b mit
dem Lufteinlaßende 52a verbinden.
Da der Gleiter 50B das Paar von parallelen Seitenoberflächen 64a und 64b auf
der Seite des Luftauslaßendes 52b hat,
kann das Positionieren des Gleiters 50B durch seitliches
Drücken
bei der Bearbeitung des Gleiters 50B erleichtert werden.
Da ferner der Winkel von jedem Eckabschnitt des Gleiters 50B auf
der Seite des Luftauslaßendes 52b nicht
spitz ist, kann eine Beschädigung
durch die Eckabschnitte des Gleiters 50B bei Kollision
reduziert werden.
-
7 ist
eine Draufsicht auf einen Gleiter 50C, die eine dritte
bevorzugte Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt. Der Gleiter 50C hat ein Paar
von Schienen 68 und 70. Ein Spalt 72 zum Komprimieren
der eingeführten
Luft und eine Nut 74 zum Ausdehnen der einmal komprimierten
Luft, um einen Unterdruck zu erzeugen, sind zwischen den Schienen 68 und 70 definiert.
Die Schiene 68 enthält einen
Lufteinlaßendabschnitt 68a,
einen Luftauslaßendabschnitt 68b und
einen Zwischenabschnitt 68c. Das Zentrum des Luftauslaßendabschnittes 68b ist
außerhalb
einer geraden Linie 69 positioniert, die das Zentrum des
Lufteinlaßendabschnittes 68a und das
Zentrum des Zwischenabschnittes 68c verbindet.
-
Ähnlich
enthält
die Schiene 70 einen Lufteinlaßendabschnitt 70a,
einen Luftauslaßendabschnitt 70b und
einen Zwischenabschnitt 70c. Das Zentrum des Luftauslaßendabschnittes 70b ist
außerhalb
einer geraden Linie 71 positio niert, die das Zentrum des
Lufteinlaßendabschnittes 70a und
das Zentrum des Zwischenabschnittes 70c verbindet. Auf
Grund von solch einer spezifischen Form von jeder der Schienen 68 und 70 kann
der Luftstrom von dem Lufteinlaßende 52a leicht
unterbrochen werden, so daß eine
Flughöhe
reduziert werden kann, wobei eine Schienenbreite, die zum stabilen
Fliegen erforderlich ist, beibehalten wird.
-
8 ist
eine Draufsicht auf einen Gleiter 50D, die eine vierte
bevorzugte Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt. In dieser bevorzugten Ausführungsform
wird die Breite von jeder der abgeschrägten Oberflächen 68d und 70d der
Schienen 68 und 70 von dem Lufteinlaßende 52a hin
zu dem Luftauslaßende 52b verringert.
Selbst wenn die Länge von
jeder abgeschrägten
Oberfläche
auf Grund einer Abschrägungsbearbeitungstoleranz
abweicht, können
daher Abweichungen in der Flughöhe
des Gleiters 50D reduziert werden.
-
Das heißt, die Flughöhe nimmt
mit einer Zunahme der Länge
von jeder abgeschrägten
Oberfläche
zu. Durch Verringern der Breite von jeder abgeschrägten Oberfläche von
dem Lufteinlaßende 52a hin
zu dem Luftauslaßende 52b kann
die Flughöhe jedoch
reduziert werden, um dadurch die Zunahme der Flughöhe auf Grund
der Zunahme der Länge
von jeder abgeschrägten
Oberfläche
zu unterdrücken.
-
9 ist
eine Draufsicht auf einen Gleiter 50E, die eine fünfte bevorzugte
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt. In dieser bevorzugten Ausführungsform
ist eine mittlere Schiene 76 zwischen den Schienen 68 und 70 vorgesehen.
Die übrige
Konfiguration ist jener ähnlich,
die in 8 gezeigt ist.
-
10 ist
eine Draufsicht auf einen Gleiter 50F, die eine sechste
bevorzugte Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung zeigt. In dieser bevorzugten Ausführungsform
sind gegenüberliegende
Innenränder 68f und 70f der
Schienen 68 und 70, die den Spalt 72 definieren,
zu einer sich longitudinal erstreckenden Mittellinie des Gleiters 50F parallel.
Zusätzlich
wird die Breite von jeder von abgeschrägten Oberflächen 68e und 70e der
Schienen 68 und 70 von dem Lufteinlaßende 52a hin
zu dem Luftauslaßende 52b verringert.
Wie bei den vierten und fünften bevorzugten
Ausführungsformen
können
daher Abweichungen in der Flughöhe
des Gleiters 50F reduziert werden, obwohl die Länge von
jeder abgeschrägten
Oberfläche
auf Grund einer Abschrägungsbearbeitungstoleranz
abweicht.
-
11 ist
eine Draufsicht auf einen Gleiter 50G, die eine siebte
bevorzugte Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung zeigt. In dieser bevorzugten Ausführungsform
sind ein Paar von Schienen 78 und 80 durch einen
Schienenverbindungsabschnitt 82, der auf der Seite des
Lufteinlaßendes 52a gebildet
ist, zusammen verbunden. Das heißt, die Schienenform des Gleiters 50G ist
eine invertierte V-Form, ohne daß ein Spalt zwischen den Schienen 78 und 80 definiert
ist. Daher wird die von dem Lufteinlaßende 52a eingeführte Luft
an dem Schienenverbindungsabschnitt 82 außerordentlich
komprimiert, und die so komprimierte Luft wird als nächstes in
einer Nut 84 ausgedehnt, wodurch leicht ein Unterdruck
erzeugt wird. Der Schienenverbindungsabschnitt 82 hat eine
abgeschrägte
Oberfläche 82a auf
der Seite des Lufteinlaßendes 52a.
-
Falls solch eine invertierte V-Form
oder eine invertierte U-Form auf die Schienenform des herkömmlichen
rechteckigen Gleiters angewendet wird, wird die Breite der abgeschrägten Oberfläche vergrößert, um
zu der Erzeugung eines übermäßigen Überdrucks
zu führen.
Daher ist es schwierig, eine niedrige Flughöhe des Gleiters zu realisieren.
Um dieses Problem zu bewältigen,
ist es erforderlich, die Breite der abgeschrägten Oberfläche zu reduzieren. In diesem Fall
werden jedoch schienenlose Abschnitte auf den gegenüberliegenden
Seiten der abgeschrägten Oberfläche bei
dem herkömmlichen
Gleiter breiter. Als Resultat kommen in dem Fall, wenn der Gleiter an
seinem Lufteinlaßende
nach unten geneigt wird, die Ecken des Gleiters an seinem Lufteinlaßende mit der
Magnetplatte in Kontakt.
-
Bei dem Gleiter 50G dieser
bevorzugten Ausführungsform
ist die Breite des Lufteinlaßendes 52a jedoch
kleiner als bei dem herkömmlichen
Gleiter, da der Gleiter 50G trapezförmig ist. Daher ist es unnötig, die
Breite der abgeschrägten
Oberfläche zum
Zweck des Unterdrückens
des Oberdrucks zu reduzieren. Als Resultat kann der Kontakt der
Ecken des Gleiters und der Magnetplatte auf Grund des Neigens des
Gleiters 50G vermieden werden.
-
12 ist
eine Draufsicht auf einen Gleiter 50H, die eine achte bevorzugte
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt. In dieser bevorzugten Ausführungsform
wird die Breite einer abgeschrägten
Oberfläche 86a an
einem Schienenverbindungsabschnitt 86, der die Schienen 78 und 80 verbindet, von
dem Lufteinlaßende 52a hin
zu dem Luftauslaßende 52b verringert.
Selbst wenn die Länge
der abgeschrägten
Oberfläche
auf Grund einer Abschrägungsbearbeitungstoleranz
abweicht, können
daher Abweichungen in der Flughöhe
des Gleiters 50H reduziert werden.
-
13 ist
eine Draufsicht auf einen Gleiter 50I, die eine neunte
bevorzugte Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt. In dieser bevorzugten Ausführungsform
ist ein Spalt 88 an dem Schienenverbindungsabschnitt 86 gebildet,
um sich von der Seite des Lufteinlaßendes 52b zu einem
Teil der abgeschrägten
Oberfläche 86a zu
erstrecken. Daher kann der Überdruck
an dem Schienenverbindungsabschnitt 86 unterdrückt werden,
um dadurch leicht eine niedrige Flughöhe des Gleiters 50I zu
erreichen.
-
14 ist
eine Draufsicht auf einen Gleiter 50J, die eine zehnte
bevorzugte Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung zeigt. Wie bei dem in 13 gezeigten Gleiter 50I ist
ein Spalt 90 an dem Schienenverbindungsabschnitt 86 gebildet,
um sich von der Seite des Luftauslaßendes 52b zu einem
Teil der abgeschrägten
Oberfläche 86a zu
erstrecken. In dieser bevorzugten Ausführungsform wird die Breite des
Spaltes 90 von der Seite des Luftauslaßendes 52b hin zu
der Seite des Lufteinlaßendes 52a allmählich verringert.
Als Resultat kann an dem Schienenverbindungsabschnitt 86 leicht
ein Paar von Schienenabschnitten gebildet werden, die in der Breite
von der Seite des Lufteinlaßendes 52a hin
zu der Seite des Luftauslaßendes 52b jeweils
abnehmen, und Abweichungen in der Flughöhe des Gleiters 50J können reduziert
werden, obwohl die Länge
der abgeschrägten
Oberfläche
auf Grund einer Abschrägungsbearbeitungstoleranz
abweicht.
-
15A ist
eine Draufsicht auf einen Gleiter 50K, die eine elfte bevorzugte
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt, und 15B ist
ein Querschnitt längs
der Linie B-B in 15A.
Ein Spalt 92 ist an dem Schienenverbindungsabschnitt 86 gebildet,
um sich von der Seite des Luftauslaßendes 52b zu dem
Lufteinlaßende 52a zu
erstrecken. Der Spalt 92 ist flacher als die Nut 84.
Daher kann leicht ein Unterdruck erzeugt werden, und es wird verhindert,
daß der
Strom der in dem Spalt 92 komprimierten Luft in der Nut 84 schnell
ausgedehnt wird, wodurch die Ablagerung von Staub auf der Oberfläche der
Nut 84 verhindert wird.
-
16 ist
eine Draufsicht auf einen Gleiter 50L, die eine zwölfte bevorzugte
Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung zeigt. In dieser bevorzugten Ausführungsform
wird die Breite der abgeschrägten
Oberfläche 86a an
dem Schienenverbindungsabschnitt 86 von dem Lufteinlaßende 52a hin
zu dem Luftauslaßende 52b verringert.
Selbst wenn die Länge
der abgeschrägten
Oberfläche
auf Grund einer Abschrägungsbearbeitungstoleranz
abweicht, können
daher Abweichungen in der Flughöhe
des Gleiters 50L reduziert werden.
-
17 ist
eine Draufsicht auf einen Gleiter 50M, die eine dreizehnte
bevorzugte Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt. In dieser bevorzugten Ausführungsform
ist ein Spalt 94 an dem Schienenverbindungsabschnitt 86 gebildet,
um sich von der Seite des Luftauslaßendes 52b zu dem
Lufteinlaßende 52a zu
erstrecken. Der Spalt 94 ist flacher als die Nut 84,
und die Breite des Spaltes 94 wird von dem Lufteinlaßende 52a hin
zu dem Luftauslaßende 52b allmählich verringert.
Ferner wird die Breite der abgeschrägten Oberfläche 86a von dem Lufteinlaßende 52a hin
zu dem Luftauslaßende 52b verringert.
Selbst wenn die Länge
der abgeschrägten
Oberfläche
auf Grund einer Abschrägungsbearbeitungstoleranz
abweicht, können
daher Abweichungen in der Flughöhe
des Gleiters 50M reduziert werden.
-
18 ist
eine Draufsicht auf einen Gleiter 50N, die eine vierzehnte
bevorzugte Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt. In dieser bevorzugten Ausführungsform
ist ein Spalt 96 an dem Schienenverbindungsabschnitt 86 gebildet,
um sich von der Seite des Luftauslaßendes 52b hin zu
einem Teil der abgeschrägten
Oberfläche 86a zu
erstrecken. Der Spalt 96 ist flacher als die Nut 84.
Daher kann bei dem Gleiter 50N dieser bevorzugten Ausführungsform
ohne weiteres ein Unterdruck erzeugt werden, und eine niedrige Flughöhe kann
leicht realisiert werden.
-
19A ist
eine Draufsicht auf einen Gleiter 50P, die eine fünfzehnte
bevorzugte Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt, und 19B ist
ein Querschnitt längs
der Linie B-B in 19A.
In jeder vorhergehenden bevorzugten Ausführungsform, die dritte bevorzugte
Ausführungsform
von 7 ausgenommen, ist
die Schienenoberfläche
an ihrem Lufteinlaßendabschnitt
abgeschrägt,
um einen Überdruck
an diesem Abschnitt zu erzeugen. Im Gegensatz dazu werden bei dieser
bevorzugten Ausführungsform
Stufen 98 und 100 verwendet, die an den Lufteinlaßendabschnitten
der Schienen 68 und 70 gebildet sind. Jede der
Stufen 98 und 100 hat eine Tiefe, die etwa 1/2
bis 1/4 der Tiefe der Nut 74 ausmacht (z. B. 0,5 bis 2 μm in dem
Fall, wenn die Tiefe der Nut 74 2 bis 4 μm beträgt). Ferner
ist eine Stufe 102 an dem Lufteinlaßendabschnitt des Spaltes 72 gebildet.
-
Ein Überdruck wird an den Stufen 98 und 100 erzeugt,
die an den Lufteinlaßendabschnitten der
Schienen 68 und 70 gebildet sind. Im Vergleich zu
dem herkömmlichen
rechteckigen Gleiter ist die Breite des Lufteinlaßendes 52a bei
dem Gleiter 50P dieser bevorzugten Ausführungsform kleiner.
-
Daher kann die Ablagerungsmenge von Staub
reduziert werden, so daß Abweichungen
in der Flughöhe
des Gleiters 50P reduziert werden.
-
20 ist
eine Draufsicht auf einen Gleiter 50Q, die eine sechzehnte
bevorzugte Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt. Der Gleiter 50Q hat ein
Paar von Schienen 104 und 106, die sich in der
durchschnittlichen Schienenbreite unterscheiden. Das heißt, die
durchschnittliche Schienenbreite der Schiene 106, wo der
elektromagnetische Wandler 62 positioniert ist, ist kleiner
als die durchschnittliche Schienenbreite der Schiene 104,
so daß die Flughöhe der Schiene 106,
wo der elektromagnetische Wandler 62 positioniert ist,
mehr reduziert wird. Daher kann die Wahrscheinlichkeit, daß der Gleiter 50Q mit
der Magnetplatte während
des Fluges in geringer Höhe
in Kontakt gelangen kann, reduziert werden. Eine Nut 108 ist
zwischen den Schienen 104 und 106 definiert.
-
21 ist
ein Graph, der die Flughöhen
des Gleiters 50Q an seinem Lufteinlaßende und seinem Luftauslaßende gemäß der sechzehnten
bevorzugten Ausführungsform
zeigt. In 21 stellt
die vertikale Achse die Flughöhe
des Gleiters 50Q dar, und die horizontale Achse stellt
den radialen Abstand von dem Zentrum der Magnetplatte dar. Die durchgehende
Linie zeigt die Flughöhe
der Schiene 106, wo der elektromagnetische Wandler 62 positioniert
ist, und die gestrichelte Linie zeigt die Flughöhe der Schiene 104,
wo kein elektromagnetischer Wandler positioniert ist. Wie aus 21 hervorgeht, ist die Flughöhe der Schiene 106 sowohl
an dem Lufteinlaßende
als auch an dem Luftauslaßende
niedriger als jene der Schiene 104.
-
Nun wird kurz ein Herstellungsverfahren
für einen
Gleiter unter Bezugnahme auf 22A und 22B beschrieben. Wie in 22A gezeigt, wird zunächst eine
Vielzahl von elektromagnetischen Wandlern 62 auf einem
Wafer 110 gebildet. Der Wafer 110 wird als nächstes in
eine Vielzahl von stabförmigen Al2O3-TiC-Substraten 112 zerschnitten,
die jeweils die in einer Zeile angeordneten elektromagnetischen Wandler 62 haben.
In dieser Beschreibung wird jedes Substrat 112 als stangenartiger
Wafer bezeichnet. Dann wird ein Maskenmuster aus Photoresist auf dem
stangenartigen Wafer 112 gebildet, und der stangenartige
Wafer 112 wird durch Ionenstrahlätzen geätzt, um dadurch eine Vielzahl
von Paaren von Schienen 54 und 56 auf dem stangenartigen
Wafer 112 zu bilden.
-
Unter Bezugnahme auf 23 ist ein erstes Schneideverfahren für den stangenartigen
Wafer 112 gezeigt. Da der Gleiter der vorliegenden Erfindung eine
Trapezform hat, ist ein spezielles Schneideverfahren erforderlich,
um den stangenartigen Wafer 112 in individuelle trapezförmige Gleiter
zu zerschneiden. Bei dem ersten Schneideverfahren wird eine Vielzahl
von rotierenden Messern 114 verwendet, die jeweils ein
Schneideblatt 116 über
dem Außenumfang
haben. Das Schneideblatt oder der Schneiderand 116 hat
eine spezielle Schnittform, wie in 24 gezeigt.
Das heißt,
das Schneideblatt 116 hat einen Neigungswinkel, der dem
Winkel der geneigten Seitenoberfläche des trapezförmigen Gleiters 50A gleich
ist. Ferner hat das Schneideblatt 116 eine radiale Länge L, die
größer als
die Länge
des trapezförmigen
Gleiters 50A ist, das heißt, als die Breite des stangenartigen
Wafers 112.
-
Wie in 23 gezeigt,
sind die vielen rotierenden Messer 114, die jeweils das
spezifische Schneideblatt 116 haben, wie oben erwähnt, in gleichmäßigen Abständen nebeneinander
angeordnet. Der stangenartige Wafer 112 wird aufrecht positioniert,
so daß das
Lufteinlaßende 52a von
jedem Gleiter 50A auf der oberen Seite angeordnet ist,
und der stangenartige Wafer 112 wird in solch einem aufrechten
Zustand den Messern 114 in einer horizontalen Richtung
zugeführt,
wie durch einen Pfeil 118 gezeigt, wodurch der stangenartige
Wafer 112 in die individuellen Gleiter 50A zerschnitten
wird.
-
Bei diesem Schneideverfahren ist
es wichtig, daß die
Beziehung zwischen der Höhe
des stangenartigen Wafers 112 und der Höhe des Schneideblattes 116 von
jedem Messer 114 während
des Zuführens
des stangenartigen Wafers 112 berücksichtigt wird. Das heißt, der
stangenartige Wafer 112 wird so zugeführt, daß die Höhenbeziehung, wie in 24 gezeigt, an einer Position
unmittelbar unter den Messern 114 erhalten wird. Wenn der
stangenartige Wafer 112 die Position unmittelbar unter
den Messern 114 passiert, wird der stangenartige Wafer 112 in
die vielen trapezförmigen
Gleiter 50A zerschnitten.
-
Um das Zerschneiden des stangenartigen Wafers 112 zu
automatisieren, wird eine Bühne 120 verwendet,
wie in 25 gezeigt. Die
Bühne 120 hat eine
Vielzahl von Nuten 122 jeweils zum genauen Aufnehmen des
stangenartigen Wafers 112. Die Bühne 120 hat ferner
eine Vielzahl von Spalten 124, die zu jeder Nut 122 senkrecht
sind, um das Passieren der Schneideblätter 116 zu gestatten. 26A ist ein Querschnitt
längs der
Linie 26A-26A in 25,
und 26B ist ein Querschnitt
längs der
Linie 26B-26B in 25.
-
Beim Zerschneiden der vielen stangenartigen
Wafer 112 unter Verwendung der Bühne 120 werden die
stangenartigen Wafer 112 in die Nuten 122 der
Bühne 120 auf
solch eine Weise eingefügt, daß die Lufteinlaßenden der
Gleiter 50A von jedem stangenartigen Wafer 112 auf
der oberen Seite angeordnet sind. Dann wird die Bühne 120 mittels
eines Trägers
horizontal zugeführt,
um jeden stangenartigen Wafer 112 in die individuellen
Gleiter 50A zu zerschneiden. Beim Zerschneiden von jedem
stangenartigen Wafer 112 werden die Schneideblätter 116 der
rotierenden Messer 114 durch die Spalte 124 der Bühne 120 geführt.
-
Unter Bezugnahme auf 27 ist als nächstes ein zweites Schneideverfahren
für den
stangenartigen Wafer 112 gezeigt. Gemäß diesem Schneideverfahren
wird der stangenartige Wafer 112 aufrecht positioniert,
so daß das
Lufteinlaßende 52a von
jedem Gleiter 50A auf der oberen Seite liegt, und direkt unter
den rotierenden Messern 114 angeordnet. Dann wird der stangenartige
Wafer 112 in einer vertikalen Richtung nach oben zu den
Messern 114 bewegt, so daß eine Schneideposition im
wesentlichen auf einer vertikalen Linie liegt, die durch die Mitte
von jedem Messer 114 verläuft, um dadurch den stangenartigen
Wafer 112 in die individuellen Gleiter 50A zu zerschneiden.
Das Schneideblatt 116 von jedem Messer 114 hat
eine Form, die jener von 24 ähnlich ist.
-
Unter Bezugnahme auf 28 ist als nächstes ein stangenartiger Wafer 112' gezeigt, der
zum Positionieren der Schneideblätter 116 geeignet
ist. Der stangenartige Wafer
112' hat eine Vielzahl von Rippen 128,
die sich über
die Breite des stangenartigen Wafers 112' erstrecken (d. h., über die
Länge von jedem
Gleiter). Jede Rippe 128 ist zwischen benachbarten Gleitern
angeordnet. Die Rippen 128 werden gleichzeitig mit der
Bildung der Schienen 54 und 56 durch Ionenstrahlätzen gebildet.
Da der stangenartige Wafer 112' die vielen Rippen 128 hat,
können
die Rippen 128 als Führungen
zum Positionieren der Schneideblätter 116 der
Messer 114 verwendet werden. Durch das Zerschneiden des
stangenartigen Wafers 112' mit
den Rippen 128, die als Führungen verwendet werden, kann
der stangenartige Wafer 112' leicht
in die individuellen Gleiter getrennt werden.
-
Gemäß der vorliegenden Erfindung
ist es möglich,
einen Kopfgleiter mit guten Flugcharakteristiken vorzusehen, wodurch
Abweichungen in der Flughöhe
auf Grund einer Schienenoberflächenplanheitstoleranz
beim Bearbeiten eines Gleiters und Abweichungen in der Flughöhe auf Grund
einer Abschrägungsbearbeitungstoleranz
unterdrückt
werden können.