DE69220927T2 - Magnetischer Kopf und Verfahren zu dessen Herstellung - Google Patents
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Description
- Die vorliegende Erfindung betrifft einen Magnetkopf mit einer Gleitvorrichtung und einem Magnetwandlerelement und ein Verfahren zum Herstellen eines solchen Magnetkopfes. Spezieller betrifft sie eine Verbesserung bei der Sicherstellung einer ebenen oder planaren Struktur für eine Luftlagerfläche, die in der Gleitvorrichtung des Magnetkopfes ausgebildet ist.
- Bei Magnetplattengeräten wurde bisher ein Magnetkopf verwendet, der einen Luftspalt zwischen einem magnetischen Aufzeichnungs/wiedergabemedium und dem Magnetkopf aufrechterhalten kann, indem er den dynamischen Druck ausnutzt, der von der Bewegung des Mediums erzeugt wird. Ein solcher Magnetkopf ist z.B. in der geprüften JP-A-28659/1993 offenbart. Gemäß einer Grundkonstruktion ist ein Magnetwandlerelement auf der Seite des Luft-Entladeendes der Gleitvorrichtung angeordnet, welche eine Luftlagerfläche auf der Seite hat, die einem magnetischen Aufzeichnungs/wiedergabemedium gegenüberliegt.
- Die dem Medium gegenüberliegende Oberfläche des Magnetkopfes dieser Bauart wird geschliffen, so daß die dem Medium gegenüberliegende Oberfläche sehr eben ist. Ferner ist es manchmal notwendig, die ebene Struktur der Luftlagerfläche zu verändem, um eine konvexe Oberfläche oder eine konkave Oberfläche innerhalb eines kleinen örtlich begrenzten Bereiches zu erhalten, um die Anlaufeigenschaften und die Betriebseigenschaften zu verbessern. Bei einem Magnetplattengerät geringer Größe z.B. muß die Gleitvorrichtung eine Kronenstruktur mit einer leicht konvexen Oberfläche haben, damit sie keinen großen Einfluß auf die Flugeigenschaften hat, um eine Zunahme des Drehmoments des Motors aufgrund von Reibung durch den gegenseitigen Kontakt zwischen dem Magnetkopf und dem magnetischen Aufzeichnungsmedium zu vermeiden, wenn das Magnetplattengerät gestartet wird.
- Die geprüfte JP-A-21329/1983 offenbart als eine Technik zum Kontrollieren der ebene Struktur der Luftlagerfläche einer Gleitvorrichtung das mechanische Schleifen der Oberfläche der Gleitvorrichtung, die dem Medium gegenüberliegt Ferner offenbart die ungeprüfte JP-A-176376/1989 eine Technik, bei der ein Härtungsharz auf die Oberfläche aufgebracht wird, die der dem Medium gegenüberliegenden Oberfläche einer Gleitvorrichtung gegenüberliegt, wobei die ebenen Struktur der Luftlagerfläche reguliert wird, indem die Aushärtungs-Schrumpffunktion des Härtungsharzes ausgenutzt wird. Ferner ist in der ungeprüften JP-A-267816/1989 eine Technik offenbart, bei der eine Rille mit einer relativ großen Breite in der Oberfläche ausgebildet wird, die der dem Medium gegenüberliegenden Oberfläche gegenüberliegt, um dadurch den Grad der Flachheit der Luftlagerfläche zu beeinflussen, indem eine Verformungsdifferenz ausgenutzt wird, wenn zwischen dem Abschnitt mit der Rille und dem anderen Abschnitt ohne die Rille die Fläche bearbeitet wird.
- Zum Beeinflussen des Flachheitsgrades der Luftlagerfläche wird jedoch ein extrem kleiner Bereich verwendet. Die konvexe Oberfläche, die zum Bilden einer Kronenform benötigt wird, hat z.B. einen winzigen konvexen Bereich in der Größenordnung von etwa 10 nm bis etwa 300 nm. Mit den in der geprüften JP-A-21329/1993 offenbarten kontinuierlichen mechanischen Schleifverfahren ist es sehr schwierig, solche winzigen konvexen Bereiche herzustellen. Ferner wird die mechanische Bearbeitung durch Schleifen dadurch schwierig, daß es einen Trend zur Miniaturisierung der Gleitvorrichtung gibt, um geringe Flug höhen zum Erzielen einer Aufzeichnung hoher Dichte zu erreichen.
- Im Falle der gezielten Beeinflussung der Flachheit einer Luftlagerfläche durch Verändern der Menge eines aushärtbaren Harzes, das auf die Gleitvorrichtung aufgebracht werden soll, ergibt sich der Nachteil, daß sich die Flachheit der Luftlagerfläche mit der Alterung des aushärtbaren Harzes verändert.
- Das Verfahren zum gezielten Beeinflussen der Flachheit der Luftlagerfläche durch spanabhebendes Ausbilden einer Rille hat den Nachteil, daß es schwierig ist, die Rille zu schneiden und ein Werkzeug für genau diesen Zweck herzustellen, mit dem man den benötigten hohen Flachheitsgrad erhalten kann. Die Möglichkeiten der Bearbeitung waren also insgesamt schlecht, und die Herstellungskosten waren hoch.
- Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Magnetkopf anzugeben, der einfach und zuverlässig reguliert werden kann und eine gute Verarbeitbarkeit und geringe Herstellungskosten aufweist, ohne daß sich die planare Struktur der Luftlagerfläche durch Alterung verändert, sowie ein Verfahren zur Herstellung des Magnetkopfes anzugeben.
- Gemäß der vorliegenden Erfindung wird ein Magnetkopf mit einer Gleitvorrichtung gemäß Anspruch 1 vorgesehen.
- Gemäß der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zum Herstellen einer Gleitvorrichtung gemäß Anspruch 8 vorgesehen.
- In den Figuren zeigt:
- Figur 1 eine perspektivische Darstellung einer Ausführungsform des Magnetkopfes gemäß der vorliegenden Erfindung;
- Figur 2 ist eine vergrößerte Schnittdarstellung entlang der Linie A2-A2 in Figur 1, wobei Teile weggebrochen sind;
- Figur 3 ist eine vergrößerte Schnittdarstellung einer anderen Ausführungsform des Magnetkopfes gemäß der vorliegenden Erfindung, wobei Teile weggebrochen sind;
- Figur 4 ist eine perspektivische Darstellung einer weiteren Ausführungsform des Magnetkopfes gemäß der vorliegenden Erfindung;
- Figur 5 ist eine perspektivische Darstellung noch einer weiteren Ausführungsform eines Magnetkopfes gemäß der vorliegenden Erfindung;
- Figur 6 ist eine perspektivische Darstellung noch einer weiteren Ausführungsform eines Magnetkopfes gemäß der vorliegenden Erfindung;
- Figur 7 ist eine perspektivische Darstellung noch einer weiteren Ausführungsform eines Magnetkopfes gemäß der vorliegenden Erfindung;
- Figur 8 ist eine perspektivische Darstellung noch einer weiteren Ausführungsform eines Magnetkopfes gemäß der vorliegenden Erfindung;
- Figur 9 ist eine Graphik der Beziehung der Anzahl der Bearbeitungsspuren zu der planaren Struktur der Luftlagerfläche; und
- Figur 10 ist eine Graphik der Beziehung der Anzahl der Bearbeitungsspuren zu der planaren Struktur der Luftlagerfläche.
- Im folgenden wird die bevorzugte Ausführungsform des Magnetkopfes gemäß der vorliegenden Erfindung mit Bezug auf die Zeichnungen beschrieben. In den Figuren 1 und 2 bezeichnet das Bezugszeichen 1 eine Gleitvorrichtung, und das Bezugszeichen 2 bezeichnet ein Magnetwandlerelement. Die Gleitvorrichtung 1 umfaßt Luftlagerflächen 11, 12 auf der dem Medium gegenüberliegenden Seite und eine Rille 13, die aus den Luftlagerflächen 11, 12 ausgespart ist. Die Luftlagerflächen 11, 12 sind entlang der Längsrichtung der Gleitvorrichtung 1 ausgebildet. Die Längsvorrichtung der Gleitvorrichtung 1 entspricht der Luftströmungsrichtung a, wenn die Gleitvorrichtung 1 über ein magnetisches Aufzeichnungsmedium, wie eine Magnetplatte, gesetzt wird.
- Die Rille 13 hat Bearbeitungsspuren 31-3n geringer Tiefe, die an der Unterseite der Gleitvorrichtung 1 eine Verformung verursachen. Die Bearbeitungsspuren 31-3n werden in einer Richtung ausgebildet, die quer zur Längsrichtung der Gleitvorrichtung 1 verläuft, d.h. sie werden in der Richtung der Breite der Gleitvorrichtung ausgebildet. Die Bearbeitungsspuren 31-3n können einen dreieckigen Querschnitt haben, wie in Figur 2 gezeigt, oder einen rechteckigen Querschnitt, wie in Figur 3 gezeigt. Bei der ebenen Struktur der Luftlagerflächen 11, 12 hat jede der Luftlagerflächen eine konvexe Oberfläche, die von den Bearbeitungsspuren 31-3n reguliert wird. Das Magnetwandlerelement 2 ist an der Gleitvorrichtung 1 an einer Stirnseite in der Längsrichtung der Gleitvorrichtung 1 befestigt, wobei die Längsrichtung der Luftströmungsrichtung a entspricht.
- Die Gleitvorrichtung 1 ist eine Zweischienen-Gleitvorrichtung, bei der zwei Schienen 14, 15 in der dem Medium gegenüberliegenden Oberfläche ausgebildet sind, so daß die Oberflächen der Schienen 14, 15 als die Luftlagerflächen 11, 12 verwendet werden. Die Gleitvorrichtung 1 kann mehr als zwei Schienen haben. Die Gleitvorrichtung kann aus einer Keramikstruktur hergestellt sein, z.B. aus Al&sub2;O&sub3; -TiC oder Ferrit.
- Das Magnetwandlerelement 2 kann ein Dünnfilm-Magnetwandlerelement sein. Bei dieser Ausführungsform ist ein Dünnfilm-Magnetkopf gezeigt. Die Bezugszeichen 21, 22 bezeichnen Aufnehmerelektroden. Das Dünnfilm-Magnetwandlerelement 2 kann ein Induktions-Element oder ein Magneto-Widerstandselement sein. Das Induktions-Dünnfilm-Magnetwandlerelement 2 umfaßt ein in der Ebene liegendes Aufzeichnung/Wiedergabe-Element und ein vertikales Aufzeichnungs/Wiedergabe-Element. Bei der vorliegenden Erfindung kann anstelle des Dünnfilm-Magnetkopfs auch ein Winchester-Magnetkopf oder ein zusammengesetzter oder Verbund- Magnetkopf verwendet werden.
- Da die Gleitvorrichtung 1 Bearbeitungsspuren 31-3n in der Rille 13 auf der dem Medium gegenüberliegenden Oberfläche, jedoch nicht auf den Luftlagerflächen 11, 12 hat, wie oben beschrieben, entsteht bei der Bearbeitung eine Verformungsdifferenz zwischen dem Teil, wo die Bearbeitungsspuren 31-3n ausgebildet sind, und dem Teil, wo keine Bearbeitungsspuren 31-3n vorhanden sind. Da die Bearbeitungsspuren 31-3n in geraden Linien angeordnet sind, welche imaginär auf die Bodenfläche der Rille 13 gezeichnet werden, entsteht durch die Bearbeitung eine Verformung, bei der die Gleitvorrichtung 1 auf beiden Seiten der geraden Linien, auf denen die Bearbeitungsspuren 31-3n ausgebildet werden, gebogen ist. Durch die Verformung bei der Bearbeitung kann die Flachheit der beiden Luftlagerflächen 11, 12 der Gleitvorrichtung 1 reguliert werden. Die ebene Struktur der Luftlagerflächen 11, 12 kann reguliert werden, indem die Form, die Richtung, die Anzahl, die Position, die Tiefe und die Breite der Bearbeitungsspuren 31- 3n geeignet gewählt werden, selbst wenn die Luftlagerflächen 11, 12 eine konvexe Oberfläche oder eine konkave Oberfläche haben. Die Regulierung der Flachheit der Luftlagerflächen mit Hilfe der Bearbeitungsspuren 31-3n ist im Vergleich zu dem Fall, daß die Flachheit der Luftlagerflächen 11, 12 direkt durch Schleifen erzielt werden soll, extrem einfach. Die ebene Struktur kann einfach in einem kleinen Bereich in der Größenordnung von Nanometern reguliert werden. Da die Form, die Richtung, die Anzahl, die Position, die Tiefe und die Breite der Bearbeitungsspuren 31-3n sich mit der Zeit nicht ändert, verändert sich darüberhinaus die ebene Struktur der Luftlagerflächen 11, 12 nicht.
- Bei den in Figuren 1 und 2 gezeigten Ausführungsformen werden die Luftlagerflächen 11, 12 und die Rille 13 entlang der Längsrichtung der Gleitvorrichtung ausgebildet, und die Bearbeitungsspuren 31-3n werden in der zur Längsrichtung senkrechten Richtung der Gleitvorrichtung 1 hergestellt. Folglich wird die ebene Struktur der Luftlagerflächen 11, 12 so reguliert, daß sich entlang der Längsrichtung der Gleitvorrichtung durch die Bearbeitungsverformung F1 aufgrund der Bearbeitungsspuren 31-3n eine konvexe Oberfläche ergibt.
- Figur 4 ist eine perspektivische Darstellung einer anderen Ausführungsform des Magnetkopfes gemäß der vorliegenden Erfindung. In Figur 4 bezeichnen dieselben Bezugszeichen die gleichen oder entsprechenden Teile. Die Bearbeitungsspuren 31-3n sind entlang der Längsrichtung der Gleitvorrichtung 1 ausgebildet. Durch eine von den Bearbeitungsspuren 31-3n bewirkte Verformung werden die Luftlagerflächen 11, 12 so reguliert, daß sie eine konvexe Oberfläche entlang der Breite der Gleitvorrichtung haben, anders als im Falle der Figuren 1 bis 3.
- Figur 5 zeigt eine weitere Ausführungsform des Magnetkopfes gemäß der vorliegenden Erfindung, bei dem die Bearbeitungsspuren 31-3n auf der entgegengesetzten Oberfläche 10 ausgebildet sind, die von der dem Medium gegenüberliegenden Oberfläche der Gleitvorrichtung abgewandt ist.
- Wenn die Bearbeitungsspuren 31-3n nur in der abgewandten Oberfläche 10 und nicht in der dem Medium gegenüberliegenden Oberfläche der Gleitvorrichtung ausgebildet sind, werden die Luftlagerflächen 11, 12 so reguliert, daß sie eine konkave Oberfläche erhalten.
- Wenn die Bearbeitungsspuren 31-3n in der dem Medium gegenüberliegenden Oberfläche und zusätzlich in der abgewandten Oberfläche 10 ausgebildet sind, wird die ebene Struktur der Luftlagerflächen 11, 12 durch die kombinierte Wirkung der konvexen Oberflächenbildung mittels der Bearbeitungsspuren (nicht gezeigt), die in der dem Medium gegenüberliegenden Oberfläche ausgebildet sind, und der konkaven Oberflächenbildung mittels der Bearbeitungsspuren 31-3n, die in der abgewandten Oberfläche 10 ausgebildet sind, reguliert. Die Bearbeitungsspuren 31- 3n der abgewandten Oberfläche 10 könne als Korrekturhilfe für den Fall verwendet werden, daß sich durch die Bearbeitungsspuren in der dem Medium gegenüberliegenden Oberfläche eine zu stark konvexe Oberfläche ergibt.
- Die Bearbeitungsspuren 31-3n können in der Richtung der Breite der Gleitvorrichtung ausgebildet werden.
- Figur 6 ist eine perspektivische Darstellung noch einer weiteren Ausführungsform des Magnetkopfes gemäß der vorliegenden Erfindung. Bei dieser Ausführungsform ist jede der Bearbeitungs spuren 31-3n mit Unterbrechungen ausgebildet.
- Figur 7 ist eine perspektivische Darstellung noch einer weiteren Ausführungsform des Magnetkopfes gemäß der vorliegenden Erfindung. Die Bearbeitungsspuren 31-3n sind relativ zu der Längsrichtung und der Breite der Gleitvorrichtung jeweils schräg ausgebildet.
- Gemäß einer Modifikation kann eine weitere Gruppe aus Bearbeitungsspuren so ausgebildet sein, daß sie die Bearbeitungsspuren 31-3n kreuzt.
- Figur 8 ist eine perspektivische Darstellung noch einer weiteren Ausführungsform des Magnetkopfes gemäß der vorliegenden Erfindung. Die Bearbeitungsspuren 31-3n sind hier mit einer punktähnlichen Verteilung gezeigt, so daß sie einen bestimmten ebenen Bereich vollständig abdecken.
- Es ist möglich, die oben erläuterten Anordnungen der Bearbeitungsspuren 31-3n zu kombinieren, obwohl dies in der Zeichnung nicht dargestellt ist. Mit einer solchen Kombination kann die ebene Struktur der Luftlagerflächen 11, 12 nach Wunsch reguliert werden.
- Die Bearbeitungsspuren 31-3n können durch spanabhebende Bearbeitung der Gleitvorrichtung hergestellt werden, z.B. bei Verwendung einer Schneidvorrichtung oder eines nadelartigen Werkzeugs aus Diamant, Keramik oder Karbid, oder durch Laserbestrahlung, Elektronenstrahlen, Ionenstrahlen oder Ultraschallwellen, die auf einen gewünschten Teil der Gleitvorrichtung gerichtet werden, oder durch Bestrahlen der Gleitvorrichtung mit feinen Schleifpartikeln. Mit solchen Mitteln zum Herstellen der Bearbeitungsspuren, können die Form, die Richtung, die Anzahl, die Position, die Tiefe und die Breite der Bearbeitungsspuren 31-3n nach Wunsch gewählt werden. Die Bearbeitungsvorgänge sind extrem einfach, während es gleichzeitig möglich ist, ein präzises Ergebnis im Nanometer-Bereich zu erhalten, im Vergleich zu dem Fall, daß die Luftlagerflächen 11, 12 direkt geschliffen werden, um die ebene Struktur der Luftlagerflächen zu erhalten.
- Die Figuren 9 und 10 sind jeweils beobachtete Daten, die die Beziehung der Anzahl der Bearbeitungsspuren zu dem Grad der Regulierung der ebenen Strukturen der Luftlagerflächen zeigen, wobei die Abszisse die Anzahl der Bearbeitungsspuren wiedergibt, und die Ordinate gibt PV-Werte (nm) wieder, die an der Luftlagerfläche gemessen wurden. Diese Daten wurden mit dem in den Figuren 1 bis 3 gezeigten Magnetkopf erhalten.
- Figur 9 zeigt Daten, die erhalten werden, wenn Bearbeitungsspuren mit einer Länge von 600 µm und einem Abstand von 200 µm mit Hilfe eines Diamantwerkszeugs hergestellt werden, das einen Kantenwinkel von 120º hat und auf das eine Last von 100 g aufgebracht wird. Figur 10 zeigt Daten, die erhalten werden, wenn Bearbeitungsspuren mit einer Länge von 700 µm und einem Abstand von 100 µm mit einem Diamantwerkzeug hergestellt werden, das einen Kantenwinkel von 120º hat und auf das eine Last von 150 g aufgebracht wird.
- Aus diesen Daten hat sich gezeigt, daß der PV-Wert abhängig von der Tiefe und Breite der Bearbeitungsspuren (die von der Last abhängt), der Anzahl, der Länge und des Abstandes der Bearbeitungsspuren reguliert werden kann.
- Mit der vorliegenden Erfindung können die folgenden Vorteile erzielt werden:
- (a) Die Gleitvorrichtung wird mit Bearbeitungsspuren auf wenigstens einer Oberfläche versehen, der dem Medium gegenüberliegenden Oberfläche, ohne die Luftlagerflächen, und/ - oder der Oberfläche, die von der dem Medium gegenüberliegenden Oberfläche abgewandt ist, wobei die Bearbeitungsspuren auf geraden Linien ausgebildet werden, die imaginär auf diese Oberfläche oder Oberflächen gezeichnet werden. Somit kann man einen Magnetkopf erhalten, der die Flachheit der Luftlagerflächen der Gleitvorrichtung regulieren kann, indem eine Verformungsdifferenz ausgenutzt wird, die zwischen einem Teil mit Bearbeitungsspuren und einem Teil ohne Bearbeitungsspuren entsteht.
- (b) Es kann ein Magnetkopf vorgesehen werden, der in Bezug auf die Wahl der ebenen Struktur der Luftlagerflächen sehr flexibel ist; ob die Luftlagerflächen eine konvexe Oberfläche oder eine konkave Oberfläche haben, kann nämlich bestimmt werden, indem die Richtung, die Anzahlf die Position, die Tiefe, die Breite und die Form der Bearbeitungsspuren geeignet gewählt werden.
- (c) es kann ein Magnetkopf vorgesehen werden, bei dem im Vergleich zu dem Fall, daß die Luftlagerflächen direkt geschliffen werden, die ebenen Struktur der Luftlagerflächen leicht reguliert werden kann, und bei dem die ebenen Struktur der Luftlagerflächen in einem kleinen Flächenbereichen der Größenordnung von Nanometern beeinflußt werden kann.
- (d) Da die Richtung, die Anzahl, die Position, die Tiefe und die Breite der Bearbeitungsspuren sich mit der Zeit nicht ändern, kann ein Magnetkopf vorgesehen werden, bei dem sich die ebene Struktur der Luftlagerflächen durch zeitliche Veränderungen nicht verändert.
- (e) Da die Bearbeitungsspuren durch mechanische Bearbeitung der Gleitvorrichtung mit Hilfe einer Schneideinrichtung oder eines nadelartigen Werkzeuges aus Diamant, Keramik oder Karbid hergestellt wird, oder durch Laserbestrahlung, Elektronenstrahlen, Ionenstrahlen oder Ultraschallwellen, die auf einen entsprechenden Teil der Gleitvorrichtung gerichtet werden, oder durch Bestrahlen der Gleitvorrichtung mit feinen Schleifpartikeln kann ein Herstellungsverfahren für den Magnetkopf angegeben werden, das es ermöglicht, die Anzahl, die Position, die Tiefe, die Breite und die Form der Bearbeitungsspuren zu wählen, und mit dem die Gleitvorrichtung im Vergleich zu dem Fall, daß die Luftlagerflächen der Gleitvorrichtung direkt geschliffen werden, leicht bearbeitet werden kann, um die ebenen Struktur zu regulieren, wobei die Bearbeitung mit einer Genauigkeit im Nanometer-Bereich erfolgen kann.
Claims (11)
1. Magnetkopf mit einer Gleitvorrichtung, welche eine
Luftlagerfläche (11, 12) bei einer einem Medium
gegenüberliegenden Oberfläche aufweist, dadurch
gekennzeichnet, daß wenigstens eine Bearbeitungsspur
(31-3n) in wenigstens einer Oberfläche (13) zwischen der
dem Medium gegenüberliegenden Oberfläche und der
Oberfläche (10), welche der dem Medium gegenüberliegenden
Oberfläche der Gleitvorrichtung gegenüberliegt, vorgesehen
ist, welche nicht die Luftlagerfläche ist, wobei die
Bearbeitungsspur auf einer geraden Linie angeordnet ist,
welche imaginär auf dieser Oberfläche (13) gezeichnet
wird, um die Krümmung der Luftlagerfläche durch eine
Differenz der Verformung zwischen einer Stelle mit der
wenigstens einen Bearbeitungsspur und einer Stelle ohne
Bearbeitungs spur zu kontrollieren.
2. Magnetkopf nach Anspruch 1, bei dem zwei Luftlagerflächen
(11, 12) mit einem Zwischenraum in der Längsrichtung der
Gleitvorrichtung angeordnet sind, und die
Bearbeitungsspur in der dem Medium gegenüberliegenden Oberfläche (13)
zwischen den Luftlagerflächen vorgesehen ist.
3. Magnetkopf nach Anspruch 1 oder 2, bei dem die
Bearbeitungsspur eine Streifenform hat.
4. Magnetkopf nach Anspruch 2, bei dem mehr als zwei
Bearbeitungsspuren in Intervallen vorgesehen sind.
5. Magnetkopf nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei
dem die Bearbeitungsspur diskret ausgebildet ist.
6. Magnetkopf nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei
dem die Gleitvorrichtung ein Magnetwandlerelement (2) an
einer Stirnseite in ihrer Längsrichtung aufweist und die
Bearbeitungsspur in der zur Längsrichtung der
Gleitvorrichtung quer verlaufenden Richtung ausgebildet ist.
7. Magnetkopf nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei
dem die Gleitvorrichtung ein Magnetwandlerelement an
einem Stirnende in ihrer Längsrichtung aufweist und die
Bearbeitungsspur entlang der Längsrichtung ausgebildet
ist.
8. Verfahren zum Herstellen einer Gleitvorrichtung mit einer
Luftlagerfläche in einer einem Medium gegenüberliegenden
Oberfläche für einen Magnetkopf,
gekennzeichnet durch Ausbilden wenigstens einer Bearbeitungsspur
in wenigstens einer Oberfläche (13) zwischen der dem
Medium gegenüberliegenden Oberfläche und der Oberfläche,
welche der dem Medium gegenüberliegenden Oberfläche der
Gleitvorrichtung gegenüberliegt, ausschließlich der
Luftlagerfläche der Gleitvorrichtung, um die Krümmung der
Luftlagerfläche durch eine Differenz der Verformung
zwischen einer Stelle mit der wenigstens einen
Bearbeitungsspur und einer Stelle ohne Bearbeitungsspur zu
kontrollieren.
9. Verfahren zum Herstelleneiner Gleitvorrichtung für einen
Magnetkopf nach Anspruch 8, bei dem die Bearbeitungsspur
durch Bearbeiten der Gleitvorrichtung mit einem
Schneidoder Nadelwerkzeug aus Diamant, Keramik oder einem
Karbidmaterial hergestellt wird.
10. Verfahren zum Herstellen eines Gleitstücks für einen
Magnetkopf nach Anspruch 8, bei dem die Bearbeitungsspur
durch Aufbringen von Laser-, Elektronenstrahlen,
Ionenstrahlen oder Ultraschallwellen auf das Gleitstück
hergestellt wird.
11. Verfahren zum Herstellen eines Gleitstücks für einen
Magnetkopf nach Anspruch 8, bei dem die Bearbeitungsspur
durch Einspritzen feiner Schleifpartikel hergestellt
wird.
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