JP2637823B2 - 磁気ヘッド - Google Patents
磁気ヘッドInfo
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- JP2637823B2 JP2637823B2 JP1145820A JP14582089A JP2637823B2 JP 2637823 B2 JP2637823 B2 JP 2637823B2 JP 1145820 A JP1145820 A JP 1145820A JP 14582089 A JP14582089 A JP 14582089A JP 2637823 B2 JP2637823 B2 JP 2637823B2
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/187—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
- G11B5/1871—Shaping or contouring of the transducing or guiding surface
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
- G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本発明は、スライダに磁気変換素子を備えた浮上型の
磁気ヘッドに関する。
磁気ヘッドに関する。
＜従来の技術＞ 浮上型磁気ヘッドは、磁気ディスクに対して相対的に
高速移動する時に空気の粘性によって発生する動圧を利
用して、磁気ディスク面との間に微小な浮上量を発生さ
せるようにしたもので、第３図に従来の一般的な構造を
示す。図において、１はスライダ、２は磁気変換素子、
３は保護膜、４は磁気変換素子２の取出電極である。
高速移動する時に空気の粘性によって発生する動圧を利
用して、磁気ディスク面との間に微小な浮上量を発生さ
せるようにしたもので、第３図に従来の一般的な構造を
示す。図において、１はスライダ、２は磁気変換素子、
３は保護膜、４は磁気変換素子２の取出電極である。
スライダ１は、磁気ディスクとの対向面側に、空気流
出方向ａに沿って、間隔をおいて突設した２つのレール
部102、103を有し、レール部102、103の表面104、105を
浮上面として利用すると共に、表面104、105の空気流入
方向の端部にテーパ面104a、105aを設けてある。
出方向ａに沿って、間隔をおいて突設した２つのレール
部102、103を有し、レール部102、103の表面104、105を
浮上面として利用すると共に、表面104、105の空気流入
方向の端部にテーパ面104a、105aを設けてある。
レール部102、103間のスライダ面は、第４図にも示す
ように、レール部102、103の内面に沿って形成された第
１の凹溝106及び第２の凹溝107と、両凹溝106−107間に
形成された平面部108とを含んでいる。第１の凹溝106及
び第２の凹溝107は、レール部102、103を機械加工によ
って形成する際のチッピングを防止すると共に、レール
部102、103の幅を画定するために設けられたものであ
る。両凹溝106、107及び平面部108は、レール部102、10
3の表面104、105から平面部108までの深さをα、平面部
108から第１の凹溝106及び第２の凹溝107の底面までの
深さをβとしたとき、αが約100μｍ、βが約150μｍと
なるように形成してあった。
ように、レール部102、103の内面に沿って形成された第
１の凹溝106及び第２の凹溝107と、両凹溝106−107間に
形成された平面部108とを含んでいる。第１の凹溝106及
び第２の凹溝107は、レール部102、103を機械加工によ
って形成する際のチッピングを防止すると共に、レール
部102、103の幅を画定するために設けられたものであ
る。両凹溝106、107及び平面部108は、レール部102、10
3の表面104、105から平面部108までの深さをα、平面部
108から第１の凹溝106及び第２の凹溝107の底面までの
深さをβとしたとき、αが約100μｍ、βが約150μｍと
なるように形成してあった。
レール部102、103の表面から平面部108までの深さα
は、空気流出方向ａに沿うスライダ面の全長にわたって
ほぼ一定の値に保たれている。従って、レール部102、1
03の表面が浮上面として働く一方、平面部108が負圧発
生部として働くことのない通常タイプの磁気ヘッドとな
る。また、第１の凹溝106及び第２の凹溝107も空気流出
方向ａに沿うスライダ面の全長にわたって設けられてお
り、これにより、前述したチッピング防止及びレール部
102、103の幅画定が行なわれる。
は、空気流出方向ａに沿うスライダ面の全長にわたって
ほぼ一定の値に保たれている。従って、レール部102、1
03の表面が浮上面として働く一方、平面部108が負圧発
生部として働くことのない通常タイプの磁気ヘッドとな
る。また、第１の凹溝106及び第２の凹溝107も空気流出
方向ａに沿うスライダ面の全長にわたって設けられてお
り、これにより、前述したチッピング防止及びレール部
102、103の幅画定が行なわれる。
更に、レール部102、103の外面にも、第１の凹溝106
及び第２の凹溝107と同様の深さを有する第３の凹溝109
及び第４の凹溝110を設けてある。第３の凹溝109及び第
４の凹溝110も、レール部102、103を機械加工によって
形成する際のチッピング防止、レール幅画定のために設
けられたものである。
及び第２の凹溝107と同様の深さを有する第３の凹溝109
及び第４の凹溝110を設けてある。第３の凹溝109及び第
４の凹溝110も、レール部102、103を機械加工によって
形成する際のチッピング防止、レール幅画定のために設
けられたものである。
第５図（ａ）、（ｂ）は、凹溝加工工程を示す図であ
る。多数の磁気ヘッドを整列して形成したウエハーよ
り、多数の磁気ヘッドA1、A2、A3‥‥有する列単位の磁
気ヘッド集合体を切出した後、第５図（ａ）に示すよう
に、各磁気ヘッドA1、A2、A3毎に、斜線領域で示す溝加
工を施し、第１の凹溝106〜第４の凹溝110を形成する。
第１の凹溝106〜第４の凹溝110は、レール部102、103の
表面104、105からの深さδが、約250μｍ程度となるよ
うに形成する。第１の凹溝106〜第４の凹溝110の幅d1〜
d4は、レール部102−103間の間隔よりも著しく小さい微
小間隔であって、幅d1と幅d2、幅d3と幅d4がほぼ等しく
なるように形成する。
る。多数の磁気ヘッドを整列して形成したウエハーよ
り、多数の磁気ヘッドA1、A2、A3‥‥有する列単位の磁
気ヘッド集合体を切出した後、第５図（ａ）に示すよう
に、各磁気ヘッドA1、A2、A3毎に、斜線領域で示す溝加
工を施し、第１の凹溝106〜第４の凹溝110を形成する。
第１の凹溝106〜第４の凹溝110は、レール部102、103の
表面104、105からの深さδが、約250μｍ程度となるよ
うに形成する。第１の凹溝106〜第４の凹溝110の幅d1〜
d4は、レール部102−103間の間隔よりも著しく小さい微
小間隔であって、幅d1と幅d2、幅d3と幅d4がほぼ等しく
なるように形成する。
次に、第５図（ｂ）に示すように、第１の凹溝106と
第２の凹溝107との間のスライダ面の斜線領域を機械加
工によって研削する。このときの深さは、100μｍ程度
である。これにより、レール部102、103の表面104、105
から平面部108までの深さαが約100μｍ、平面部108か
ら第１の凹溝106及び第２の凹溝107の底面までの深さβ
が約150μｍの磁気ヘッドとなる。
第２の凹溝107との間のスライダ面の斜線領域を機械加
工によって研削する。このときの深さは、100μｍ程度
である。これにより、レール部102、103の表面104、105
から平面部108までの深さαが約100μｍ、平面部108か
ら第１の凹溝106及び第２の凹溝107の底面までの深さβ
が約150μｍの磁気ヘッドとなる。
そして、切断線Ｘ−Ｘで切断して、磁気ヘッドの単体
を取り出す。
を取り出す。
磁気変換素子２は、IC製造テクノロジと同様のプロセ
スにしたがって形成された薄膜素子である。磁気変換素
子２は、通常、１個または２個備えられ、レール部10
2、103の略中間部において、スライダ１の空気流出方向
の端面101に付着させ、アルミナ等でなる保護膜３によ
り覆ってある。
スにしたがって形成された薄膜素子である。磁気変換素
子２は、通常、１個または２個備えられ、レール部10
2、103の略中間部において、スライダ１の空気流出方向
の端面101に付着させ、アルミナ等でなる保護膜３によ
り覆ってある。
取出電極４は、磁気変換素子２のそれぞれに一対備え
られており、磁気変換素子２を構成する導体コイル膜
（図示しない）に電気的に導通している。この取出電極
４には、図示しない磁気ディスク装置から導かれたリー
ド線が接続される。
られており、磁気変換素子２を構成する導体コイル膜
（図示しない）に電気的に導通している。この取出電極
４には、図示しない磁気ディスク装置から導かれたリー
ド線が接続される。
＜発明が解決しようとする課題＞ 上述した溝加工及び磁気ヘッド端体を切出すときの切
断工程において、第１の凹溝106〜第４の凹溝110内に切
粉やスラッジ等が残る。これらの切粉やスラッジ等は、
磁気記録媒体表面の損傷や、ヘッドクラッシュ等の原因
になるので、従来は、自動刷毛線状装置を使用して排除
していた。
断工程において、第１の凹溝106〜第４の凹溝110内に切
粉やスラッジ等が残る。これらの切粉やスラッジ等は、
磁気記録媒体表面の損傷や、ヘッドクラッシュ等の原因
になるので、従来は、自動刷毛線状装置を使用して排除
していた。
第３の凹溝109及び第４の凹溝110は、一側部が外部に
開いているので、切粉やスラッジ等は上述の自動刷毛洗
浄工程により除去できる。
開いているので、切粉やスラッジ等は上述の自動刷毛洗
浄工程により除去できる。
ところが、第１の凹溝106及び第２の凹溝107は、両側
がレール部102、103の内面及び平面部の内面によって閉
じられていて、平面部108の表面からの深さβが約150μ
ｍと、かなり深いため、両凹溝106、107内に入った切粉
やフランジ等が除去しにくく、凹溝106、107内の残存し
た切粉やスラッジ等により、磁気記録媒体表面の損傷
や、ヘッドクラッシュ等を招くことがあった。
がレール部102、103の内面及び平面部の内面によって閉
じられていて、平面部108の表面からの深さβが約150μ
ｍと、かなり深いため、両凹溝106、107内に入った切粉
やフランジ等が除去しにくく、凹溝106、107内の残存し
た切粉やスラッジ等により、磁気記録媒体表面の損傷
や、ヘッドクラッシュ等を招くことがあった。
特に、磁気ヘッドは、コンピュータとの組合せにおい
て、データ転送の高速化及び磁気記録の高密度化に対応
するため、全体形状が益々小型化される傾向にある。磁
気ヘッドは小型になるほど、質量が低下し、高速アクセ
スが可能になり、高速応答性、高密度記録及び記憶容量
増大に貢献できるようになる。この磁気ヘッドの小型化
のために、凹溝106、107の幅も小さくなり、切粉やスラ
ッジ等の排除が益々困難になっている。
て、データ転送の高速化及び磁気記録の高密度化に対応
するため、全体形状が益々小型化される傾向にある。磁
気ヘッドは小型になるほど、質量が低下し、高速アクセ
スが可能になり、高速応答性、高密度記録及び記憶容量
増大に貢献できるようになる。この磁気ヘッドの小型化
のために、凹溝106、107の幅も小さくなり、切粉やスラ
ッジ等の排除が益々困難になっている。
また、第１の凹溝106及び第２の凹溝107が深いため、
小型磁気ヘッドでは特に、取出電極４を形成する面積が
小さくなり、取出電極４を形成するための余裕度が小さ
くなるという問題点もあった。
小型磁気ヘッドでは特に、取出電極４を形成する面積が
小さくなり、取出電極４を形成するための余裕度が小さ
くなるという問題点もあった。
本発明の課題は、レール部の表面が浮上面として働
き、レール部間の平面部が負圧発生部として働くことの
ないタイプの磁気ヘッドを提供することである。
き、レール部間の平面部が負圧発生部として働くことの
ないタイプの磁気ヘッドを提供することである。
本発明のもう一つの課題は、レール部の内面に沿って
形成された第１の凹溝及び第２の凹溝によって、レール
部を機械加工によって形成する際のチッピングを防止す
ると共に、レール部の幅を画定するタイプの磁気ヘッド
を提供することがである。
形成された第１の凹溝及び第２の凹溝によって、レール
部を機械加工によって形成する際のチッピングを防止す
ると共に、レール部の幅を画定するタイプの磁気ヘッド
を提供することがである。
本発明のもう一つの課題は、高速応答及び高密度記録
対応の小型磁気ヘッドにおいても、切粉やスラッジ等を
簡単、かつ、確実に除去し、磁気記録媒体表面の損傷
や、ヘッドクラッシュ等を防止すると共に、取出電極を
形成するのに必要な面積を確保し、設計の自由度及びリ
ード線接続作業性を向上させた磁気ヘッドを提供するこ
とである。
対応の小型磁気ヘッドにおいても、切粉やスラッジ等を
簡単、かつ、確実に除去し、磁気記録媒体表面の損傷
や、ヘッドクラッシュ等を防止すると共に、取出電極を
形成するのに必要な面積を確保し、設計の自由度及びリ
ード線接続作業性を向上させた磁気ヘッドを提供するこ
とである。
＜課題を解決するための手段＞ 上述する課題を解決するため、本発明は、スライダに
磁気変換素子を備えた磁気ヘッドであって、 前記スライダは、磁気記録媒体と対向する面側に、空
気流出方向に沿う２つのレール部が間隔を隔てて突設さ
れており、 前記レール部間のスライダ面は、前記レール部の内面
に沿って形成された第１の凹溝及び第２の凹溝と、前記
第１の凹溝と前記第２の凹溝の間に形成された平面部と
を含んでおり、前記第１の凹溝、前記第２の凹溝及び前
記平面部は、前記空気流出方向に沿う前記スライダ面の
全長にわたって形成され、長さ方向の両端が開放されて
おり、 前記レール部の表面から前記平面部までの深さをα、
前記平面部から前記第１の凹溝及び第２の凹溝の底面ま
での深さをβとしたとき、前記深さαが前記スライダ面
の全長にわたってほぼ一定の値に保たれ、かつ、 α＞＞β 10μｍ≧β＞０ を満足すること を特徴とする。
磁気変換素子を備えた磁気ヘッドであって、 前記スライダは、磁気記録媒体と対向する面側に、空
気流出方向に沿う２つのレール部が間隔を隔てて突設さ
れており、 前記レール部間のスライダ面は、前記レール部の内面
に沿って形成された第１の凹溝及び第２の凹溝と、前記
第１の凹溝と前記第２の凹溝の間に形成された平面部と
を含んでおり、前記第１の凹溝、前記第２の凹溝及び前
記平面部は、前記空気流出方向に沿う前記スライダ面の
全長にわたって形成され、長さ方向の両端が開放されて
おり、 前記レール部の表面から前記平面部までの深さをα、
前記平面部から前記第１の凹溝及び第２の凹溝の底面ま
での深さをβとしたとき、前記深さαが前記スライダ面
の全長にわたってほぼ一定の値に保たれ、かつ、 α＞＞β 10μｍ≧β＞０ を満足すること を特徴とする。
＜作用＞ スライダは磁気記録媒体と対向する面側に、空気流出
方向に沿う２つのレール部が間隔を隔てて穿設されてお
り、レール部間のスライダ面はレール部の内面に沿って
形成された第１の凹溝及び第２の凹溝の間においてスラ
イダ面の全長にわたって形成された平面部を含み、レー
ル部の表面から平面部までの深さをαとしたとき、深さ
αがスライダ面の全長にわたって一定の値に保たれてい
るから、レール部の表面が浮上面として働く一方、平面
部が負圧発生部として働くことのない通常タイプの磁気
ヘッドが得られる。
方向に沿う２つのレール部が間隔を隔てて穿設されてお
り、レール部間のスライダ面はレール部の内面に沿って
形成された第１の凹溝及び第２の凹溝の間においてスラ
イダ面の全長にわたって形成された平面部を含み、レー
ル部の表面から平面部までの深さをαとしたとき、深さ
αがスライダ面の全長にわたって一定の値に保たれてい
るから、レール部の表面が浮上面として働く一方、平面
部が負圧発生部として働くことのない通常タイプの磁気
ヘッドが得られる。
レール部間のスライダ面は、レール部の内面に沿って
形成された第１の凹溝及び第２の凹溝を有し、第１の凹
溝及び第２の凹溝は、空気流出方向に沿うスライダ面の
全長にわたって形成され、平面部から第１の凹溝及び第
２の凹溝の底面までの深さをβとしたとき、β＞０を満
たすから、第１の凹溝及び第２の凹溝によって、レール
部を機械加工によって形成する際のピッチングを防止す
ると共に、レール部の幅を精度良く画定することができ
る。
形成された第１の凹溝及び第２の凹溝を有し、第１の凹
溝及び第２の凹溝は、空気流出方向に沿うスライダ面の
全長にわたって形成され、平面部から第１の凹溝及び第
２の凹溝の底面までの深さをβとしたとき、β＞０を満
たすから、第１の凹溝及び第２の凹溝によって、レール
部を機械加工によって形成する際のピッチングを防止す
ると共に、レール部の幅を精度良く画定することができ
る。
また、平面部から第１の凹溝及び第２の凹溝の底面ま
での深さをβとしたとき、α＞＞βを満足することによ
り、第１の凹溝及び第２の凹溝が浅くなるので、高速ア
クセス及び高密度記録対応の小型磁気ヘッドにおいて
も、切粉やスラッジ等を確実に除去できる。特に、10μ
ｍ≧βの範囲であると、切粉やスラッジ等を確実に除去
できる。
での深さをβとしたとき、α＞＞βを満足することによ
り、第１の凹溝及び第２の凹溝が浅くなるので、高速ア
クセス及び高密度記録対応の小型磁気ヘッドにおいて
も、切粉やスラッジ等を確実に除去できる。特に、10μ
ｍ≧βの範囲であると、切粉やスラッジ等を確実に除去
できる。
しかも、第１の凹溝、第２の凹溝及び平面部は空気流
出方向に沿うスライダ面の全長にわったって形成され、
長さ方向の両端が開放されているから、読み書き動作に
おいて、磁気記録媒体と磁気ヘッドとの間に、塵埃等の
異物が入った場合でも、負圧による吸着作用を生じるこ
となく、第１の凹溝、第２の凹溝及び平面部を通って、
外部に自動的に排出できる。このため、磁気記録媒体表
面の損傷や、ヘッドクラッシュ等を防止することができ
る。これとは異なって、もし、第１の凹溝、第２の凹溝
及び平面部の何れかが、長さ方向の一端側で閉鎖されて
いる場合、その部分で負圧を発生し、塵埃を吸着してし
まう。
出方向に沿うスライダ面の全長にわったって形成され、
長さ方向の両端が開放されているから、読み書き動作に
おいて、磁気記録媒体と磁気ヘッドとの間に、塵埃等の
異物が入った場合でも、負圧による吸着作用を生じるこ
となく、第１の凹溝、第２の凹溝及び平面部を通って、
外部に自動的に排出できる。このため、磁気記録媒体表
面の損傷や、ヘッドクラッシュ等を防止することができ
る。これとは異なって、もし、第１の凹溝、第２の凹溝
及び平面部の何れかが、長さ方向の一端側で閉鎖されて
いる場合、その部分で負圧を発生し、塵埃を吸着してし
まう。
更に、第１の凹溝及び第２の凹溝が浅くなることか
ら、小型磁気ヘッドにおいても、取出電極を形成するた
めの面積余裕度が増す。
ら、小型磁気ヘッドにおいても、取出電極を形成するた
めの面積余裕度が増す。
＜実施例＞ 第１図は本発明に係る浮上型磁気ヘッドの斜視図であ
る。図において、第３図と同一の参照符号は同一性ある
構成部分を示している。本発明においても、レール部10
2−103間のスライダ面が、レール部102、103の内面に沿
って形成された第１の凹溝106及び第２の凹溝107と、第
１の凹溝106と第２の凹溝107の間に形成された平面部10
8とを含むことは、従来と同様である。従来と著しく異
なる点は、第２図にも示すように、レール部102、103の
表面104、105から平面部108まで深さをα、平面108から
第１の凹溝106及び第２の凹溝107の底面までの深さをβ
としたとき、 α＞＞β を満足することである。深さα、βの具体的な数値関係
は、 α＝100μｍ としたとき、 β＝10μｍ となるように設定する。従って、深さαが深さβよりも
著しく大きくなる。深さαは、通常の磁気ヘッドでは、
30μｍ以上あれば、安定した浮上特性が得られることが
知られている。
る。図において、第３図と同一の参照符号は同一性ある
構成部分を示している。本発明においても、レール部10
2−103間のスライダ面が、レール部102、103の内面に沿
って形成された第１の凹溝106及び第２の凹溝107と、第
１の凹溝106と第２の凹溝107の間に形成された平面部10
8とを含むことは、従来と同様である。従来と著しく異
なる点は、第２図にも示すように、レール部102、103の
表面104、105から平面部108まで深さをα、平面108から
第１の凹溝106及び第２の凹溝107の底面までの深さをβ
としたとき、 α＞＞β を満足することである。深さα、βの具体的な数値関係
は、 α＝100μｍ としたとき、 β＝10μｍ となるように設定する。従って、深さαが深さβよりも
著しく大きくなる。深さαは、通常の磁気ヘッドでは、
30μｍ以上あれば、安定した浮上特性が得られることが
知られている。
上述のように、第１の凹溝106及び第２の凹溝107が浅
くなるので、溝加工等において凹溝106、107に入った切
粉やスラッジ等を簡単、かつ、確実に除去できる。しか
も、第１の凹溝６、第２の凹溝107及び平面部108は空気
流出方向に沿うスライダ面の全長にわたって形成され、
長さ方向の両端が開放されているから、読み書き動作に
おいて、磁気記録媒体と磁気ヘッドとの間に、塵埃等の
異物が入った場合でも、負圧による吸着作用を生じるこ
となく、第１の凹溝106、第２の凹溝107及び平面部108
を通って、外部に自動的に排出できる。このため、磁気
記録媒体表面の損傷や、ヘッドクラッシュ等の発生を防
止することができる。チッピング防止及びレール幅画定
のために、第１の凹溝106及び第２の凹溝107が必要であ
ること、即ち、β＞０を満たす必要があること、上記の
具体例に示す如く、β＝10μｍでよい結果が得られたこ
と、深さβが小さければ小さいほど切粉やスラッジ等の
排出が容易になると予想できること、反対に深さβが大
きくなると切粉やスラッジ等がその中に入ってしまって
排出できなくなると予想されること等を考え合わせる
と、深さβの最適な範囲はα＞＞βで、かつ、10μｍ≧
β＞０を満足する範囲ということができる。
くなるので、溝加工等において凹溝106、107に入った切
粉やスラッジ等を簡単、かつ、確実に除去できる。しか
も、第１の凹溝６、第２の凹溝107及び平面部108は空気
流出方向に沿うスライダ面の全長にわたって形成され、
長さ方向の両端が開放されているから、読み書き動作に
おいて、磁気記録媒体と磁気ヘッドとの間に、塵埃等の
異物が入った場合でも、負圧による吸着作用を生じるこ
となく、第１の凹溝106、第２の凹溝107及び平面部108
を通って、外部に自動的に排出できる。このため、磁気
記録媒体表面の損傷や、ヘッドクラッシュ等の発生を防
止することができる。チッピング防止及びレール幅画定
のために、第１の凹溝106及び第２の凹溝107が必要であ
ること、即ち、β＞０を満たす必要があること、上記の
具体例に示す如く、β＝10μｍでよい結果が得られたこ
と、深さβが小さければ小さいほど切粉やスラッジ等の
排出が容易になると予想できること、反対に深さβが大
きくなると切粉やスラッジ等がその中に入ってしまって
排出できなくなると予想されること等を考え合わせる
と、深さβの最適な範囲はα＞＞βで、かつ、10μｍ≧
β＞０を満足する範囲ということができる。
また、第１の凹溝106及び第２の凹溝106、107が浅く
なることから、取出電極４を形成するための面積が増大
し、その設計の自由度が上がる。第３の凹溝109及び第
４の凹溝110も、第１の凹溝106及び第２の凹溝107と同
様の深さにする。
なることから、取出電極４を形成するための面積が増大
し、その設計の自由度が上がる。第３の凹溝109及び第
４の凹溝110も、第１の凹溝106及び第２の凹溝107と同
様の深さにする。
図示では、磁気変換素子２を薄膜素子によって構成し
た薄膜磁気ヘッドを示したが、コンポジット型磁気ヘッ
ドにも適用できることは、当業者とって自明である。
た薄膜磁気ヘッドを示したが、コンポジット型磁気ヘッ
ドにも適用できることは、当業者とって自明である。
＜発明の効果＞ 以上述べたように、本発明によれば、次のような効果
を得ることができる。
を得ることができる。
（ａ）レール部の表面が浮上面として働き、レール部間
の平面部が負圧発生部として働くことのないタイプの磁
気ヘッドを提供できる。
の平面部が負圧発生部として働くことのないタイプの磁
気ヘッドを提供できる。
（ｂ）レール部の内面に沿って形成された第１の凹溝及
び第２の凹溝によって、レール部を機械加工によって形
成する際のチッピングを防止すると共に、レール部の幅
を精度良く画定するタイプの磁気ヘッドを提供できる。
び第２の凹溝によって、レール部を機械加工によって形
成する際のチッピングを防止すると共に、レール部の幅
を精度良く画定するタイプの磁気ヘッドを提供できる。
（ｃ）高速応答及び高密度記録対応の小型磁気ヘッドに
おいても、切粉やスラッジ、読み書き動作において発生
する異物等を簡単、かつ、確実に除去し、磁気記録媒体
表面の損傷や、ヘッドクラッシュ等を防止すると共に、
取出電極を形成するのに必要な面積を確保し、設計の自
由度及びリード線接続作業性を向上させた磁気ヘッドを
提供できる。
おいても、切粉やスラッジ、読み書き動作において発生
する異物等を簡単、かつ、確実に除去し、磁気記録媒体
表面の損傷や、ヘッドクラッシュ等を防止すると共に、
取出電極を形成するのに必要な面積を確保し、設計の自
由度及びリード線接続作業性を向上させた磁気ヘッドを
提供できる。
第１図は本発明に係る浮上型磁気ヘッドの斜視図、第２
図は同じく空気流出端側から見た側面図、第３図は従来
の磁気ヘッドの斜視図、第４図は同じく空気流出端側か
ら見た側面図、第５図はスライダ溝加工工程を示す図で
ある。 １……スライダ、２……磁気変換素子 101……端面 102、103……レール部 104、105……レール部の表面 106……第１の凹溝、107……第２の凹溝 108……平面部
図は同じく空気流出端側から見た側面図、第３図は従来
の磁気ヘッドの斜視図、第４図は同じく空気流出端側か
ら見た側面図、第５図はスライダ溝加工工程を示す図で
ある。 １……スライダ、２……磁気変換素子 101……端面 102、103……レール部 104、105……レール部の表面 106……第１の凹溝、107……第２の凹溝 108……平面部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭59−142776（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−92978（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−113818（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−292358（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−240488（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−247872（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】スライダに磁気変換素子を備えた磁気ヘッ
ドであって、 前記スライダは、磁気記録媒体と対向する面側に、空気
流出方向に沿う２つのレール部が間隔を隔てて突設され
ており、 前記レール部間のスライダ面は、前記レール部の内面に
沿って形成された第１の凹溝及び第２の凹溝と、前記第
１の凹溝と前記第２の凹溝の間に形成された平面部とを
含んでおり、前記第１の凹溝、前記第２の凹溝及び前記
平面部は前記空気流出方向に沿う前記スライダ面の全長
にわたって形成され、長さ方向の両端が開放されてお
り、 前記レール部の表面から前記平面部までの深さをα、前
記平面部から前記第１の凹溝及び第２の凹溝の底面まで
の深さをβとしたとき、前記深さαが前記スライダ面の
全長にわたってほぼ一定の値に保たれ、かつ、 α＞＞β 10μｍ≧β＞０ を満足すること を特徴とする磁気ヘッド。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1145820A JP2637823B2 (ja) | 1989-06-08 | 1989-06-08 | 磁気ヘッド |
| US07/534,235 US5134531A (en) | 1989-06-08 | 1990-06-07 | Magnetic head having a slider with a particular surface arrangement |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1145820A JP2637823B2 (ja) | 1989-06-08 | 1989-06-08 | 磁気ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0312081A JPH0312081A (ja) | 1991-01-21 |
| JP2637823B2 true JP2637823B2 (ja) | 1997-08-06 |
Family
ID=15393892
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1145820A Expired - Fee Related JP2637823B2 (ja) | 1989-06-08 | 1989-06-08 | 磁気ヘッド |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03245312A (ja) * | 1990-02-22 | 1991-10-31 | Tdk Corp | 薄膜磁気ヘッド |
| JPH0724096B2 (ja) * | 1992-05-29 | 1995-03-15 | ティーディーケイ株式会社 | 磁気ヘッドの加工方法 |
| US5301077A (en) * | 1992-06-26 | 1994-04-05 | Tdk Corporation | Thin film magnetic head |
| TW226464B (ja) * | 1992-12-29 | 1994-07-11 | Ibm | |
| JPH09503607A (ja) * | 1993-10-07 | 1997-04-08 | クワンタム・ペリフェラルズ・コロラド・インコーポレーテッド | ロール・モーメントに対する感受性を低下させた定浮上量スライダ |
| US5550693A (en) * | 1994-10-31 | 1996-08-27 | International Business Machines Corporation | Air bearing slider having projections that provide minimal actual contact area |
| US5825587A (en) | 1996-03-01 | 1998-10-20 | International Business Machines Corporation | Shallow etch air bearing surface features for optimized transducer spacing |
| US5751517A (en) * | 1997-04-11 | 1998-05-12 | Western Digital Corporation | Air bearing slider having debris removing channels |
| JPWO2001069601A1 (ja) * | 2000-03-14 | 2004-01-08 | 富士通株式会社 | 負圧ヘッドスライダ及びディスク装置 |
Family Cites Families (43)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3668668A (en) * | 1970-12-07 | 1972-06-06 | Rca Corp | Transducing head mount apparatus |
| GB1385945A (en) * | 1972-06-06 | 1975-03-05 | Int Computers Ltd | Methods of manufacturing magnetic transducing heads and parts thereof |
| US3855625A (en) * | 1973-12-19 | 1974-12-17 | Ibm | Magnetic head slider assembly |
| US3990106A (en) * | 1975-05-30 | 1976-11-02 | Nippon Hoso Kyokai | Dynamic negative pressure type floating head system |
| US4489484A (en) * | 1977-09-02 | 1984-12-25 | Lee Fred S | Method of making thin film magnetic recording heads |
| US4321641A (en) * | 1977-09-02 | 1982-03-23 | Magnex Corporation | Thin film magnetic recording heads |
| JPS54126521A (en) * | 1978-03-24 | 1979-10-01 | Mitsubishi Electric Corp | Magnetic head |
| US4219853A (en) * | 1978-12-21 | 1980-08-26 | International Business Machines Corporation | Read/write thin film head |
| FR2475267A1 (fr) * | 1980-01-31 | 1981-08-07 | Cii Honeywell Bull | Plate-forme contenant au moins un transducteur de lecture et/ou d'enregistrement d'un support d'informations |
| US4670806A (en) * | 1980-03-14 | 1987-06-02 | Memorex Corporation | Self loading slider for magnetic recording heads |
| US4346965A (en) * | 1980-05-27 | 1982-08-31 | Xerox Corporation | Light modulator/deflector using acoustic surface waves |
| JPS5798120A (en) * | 1980-12-10 | 1982-06-18 | Comput Basic Mach Technol Res Assoc | Thin film magnetic head |
| US4399476A (en) * | 1981-04-13 | 1983-08-16 | Datapoint Corporation | Suspension assembly for magnetic head |
| JPS59142776A (ja) * | 1983-02-04 | 1984-08-16 | Nec Corp | 負圧スライダおよびその製造方法 |
| JPS60167173A (ja) * | 1984-02-09 | 1985-08-30 | Nec Corp | ヘツドスライダ加圧支持機構 |
| US4648087A (en) * | 1984-06-28 | 1987-03-03 | International Business Machines Corporation | Capacitive sensing employing thin film inductors |
| JPS61210511A (ja) * | 1985-03-15 | 1986-09-18 | Tdk Corp | 可撓性媒体用薄膜磁気ヘツド及びそれを用いた磁気記憶装置 |
| US4721367A (en) * | 1985-04-01 | 1988-01-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid crystal device |
| JPS61240488A (ja) * | 1985-04-18 | 1986-10-25 | Seiko Epson Corp | 磁気ヘツド |
| US4803577A (en) * | 1985-06-12 | 1989-02-07 | Tdk Corporation | Vertical magnetic recording system using rigid disk |
| US4809104A (en) * | 1985-08-22 | 1989-02-28 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Recording head and support arm for stretched surface recording medium |
| US4670804A (en) * | 1985-10-15 | 1987-06-02 | International Business Machines Corporation | Expandable suspension for a read/write head in a disk file |
| JPH0622053B2 (ja) * | 1986-04-23 | 1994-03-23 | 住友特殊金属株式会社 | 基板材料 |
| US4870520A (en) * | 1986-05-29 | 1989-09-26 | Magnetic Peripherals Inc. | Read/write head with side winding slot |
| JPS62292358A (ja) * | 1986-06-10 | 1987-12-19 | Seiko Epson Corp | 浮動形磁気ヘツドの製造方法 |
| US4819094A (en) * | 1986-08-12 | 1989-04-04 | Oberg Gary R | Damped magnetic head suspension assembly |
| US4929524A (en) * | 1986-09-12 | 1990-05-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Organic photo conductive medium |
| JPH0679122B2 (ja) * | 1986-10-22 | 1994-10-05 | セイコー電子工業株式会社 | 電気光学装置 |
| US4789914A (en) * | 1986-10-28 | 1988-12-06 | International Business Machines Corporation | Thin film magnetic read-write head/arm assemblies |
| US4761699A (en) * | 1986-10-28 | 1988-08-02 | International Business Machines Corporation | Slider-suspension assembly and method for attaching a slider to a suspension in a data recording disk file |
| JPS63113818A (ja) * | 1986-10-29 | 1988-05-18 | Tdk Corp | 薄膜磁気ヘツドの製造方法 |
| JPH0823935B2 (ja) * | 1986-11-10 | 1996-03-06 | 富士電機株式会社 | 薄膜磁気記録媒体 |
| US4910621A (en) * | 1987-02-09 | 1990-03-20 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic head device having sloped sliding surface which is formed thermally curved |
| JP2705026B2 (ja) * | 1987-07-15 | 1998-01-26 | ティーディーケイ株式会社 | 磁気ヘッド |
| EP0304695A1 (de) * | 1987-08-17 | 1989-03-01 | Siemens Aktiengesellschaft | Magnetische Speichereinrichtung mit einem Spurführungssystem |
| JPS6455702A (en) * | 1987-08-27 | 1989-03-02 | Tdk Corp | Magnetic recording and reproducing device |
| EP0308527B1 (en) * | 1987-09-22 | 1992-06-03 | Ibm Deutschland Gmbh | Air bearing slider rail design and mechanical method for producing it |
| US4856181A (en) * | 1987-09-24 | 1989-08-15 | Simens Aktiengesellschaft | Method for manufacturing terminal contacts for thin-film magnetic heads |
| JP2620591B2 (ja) * | 1987-09-26 | 1997-06-18 | ティーディーケイ株式会社 | 磁気記録再生装置 |
| US4962437A (en) * | 1988-02-24 | 1990-10-09 | Magnetic Peripherals Inc. | Thin film servo head employing the inactive transducer coils to cancel write noise from nearby data heads |
| JPH02103714A (ja) * | 1988-10-11 | 1990-04-16 | Fujitsu Ltd | 浮動型薄膜磁気ヘッドスライダ |
| US4939604A (en) * | 1989-03-23 | 1990-07-03 | Tdk Corporation | Magnetic recording and reproducing apparatus and a magnetic head used for the apparatus |
| US5001583A (en) * | 1989-04-19 | 1991-03-19 | Tdk Corporation | Flexible polymeric resinous magnetic head supporting device |
-
1989
- 1989-06-08 JP JP1145820A patent/JP2637823B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1990
- 1990-06-07 US US07/534,235 patent/US5134531A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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