JPH10228743A - 空気ベアリングスライダ - Google Patents
空気ベアリングスライダInfo
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- JPH10228743A JPH10228743A JP10042952A JP4295298A JPH10228743A JP H10228743 A JPH10228743 A JP H10228743A JP 10042952 A JP10042952 A JP 10042952A JP 4295298 A JP4295298 A JP 4295298A JP H10228743 A JPH10228743 A JP H10228743A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slider
- air bearing
- recess
- corner
- taper
- Prior art date
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B21/00—Head arrangements not specific to the method of recording or reproducing
- G11B21/16—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads
- G11B21/20—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads while the head is in operative position but stationary or permitting minor movements to follow irregularities in surface of record carrier
- G11B21/21—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads while the head is in operative position but stationary or permitting minor movements to follow irregularities in surface of record carrier with provision for maintaining desired spacing of head from record carrier, e.g. fluid-dynamic spacing, slider
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
- G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
Landscapes
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【解決手段】 薄膜磁気ヘッドについて使用される空気
ベアリングスライダには、隅部のコーナ凹所３２と前端
縁のテーパ３０とが形成されている。このテーパは、コ
ーナ凹所とスライダの一方の側部との間に配置される。
多角形の中央凹所１５が、連結部９により連結されたパ
ッド１０、１２に囲繞されている。別の実施例では、前
端部の凹所４２によりテーパが複数の部分３８、４０に
分離される。更に別の実施例では、第２コーナ凹所が前
端部に設けられ、かつテーパ４８が第１及び第２コーナ
凹所４４、５０間に配置される。スライダの凹所及び横
レリーフは、単一のエッチング工程を用いて形成され
る。 【効果】 所定形状の凹所及びテーパにより、スライダ
の浮上特性が改善され、空気ベアリング剛性が増大す
る。
ベアリングスライダには、隅部のコーナ凹所３２と前端
縁のテーパ３０とが形成されている。このテーパは、コ
ーナ凹所とスライダの一方の側部との間に配置される。
多角形の中央凹所１５が、連結部９により連結されたパ
ッド１０、１２に囲繞されている。別の実施例では、前
端部の凹所４２によりテーパが複数の部分３８、４０に
分離される。更に別の実施例では、第２コーナ凹所が前
端部に設けられ、かつテーパ４８が第１及び第２コーナ
凹所４４、５０間に配置される。スライダの凹所及び横
レリーフは、単一のエッチング工程を用いて形成され
る。 【効果】 所定形状の凹所及びテーパにより、スライダ
の浮上特性が改善され、空気ベアリング剛性が増大す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、パターニングされ
た前端テーパ領域を有し、かつレール又はパッド及び凹
所を形成・配置した空気ベアリングスライダに関する。
た前端テーパ領域を有し、かつレール又はパッド及び凹
所を形成・配置した空気ベアリングスライダに関する。
【０００２】
【従来の技術】回転する磁気ディスクに関して浮上する
磁気ヘッドアセンブリが、データを記録しかつ読み取る
ためのディスクドライブに幅広く使用されている。少な
くとも１つの磁気変換器を磁気記録ディスクとの間で変
換関係を有するように付着させた浮上ヘッドを用いる場
合、その目的の一つは、スライダ変換器とディスク面と
の間の浮上高さを実質的に一定に維持することである。
また、変換器とディスク表面との狭い空隙で一定の浮上
高さを維持することにより、短波長又は高周波数の信号
を記録し、それにより高記録密度及び高記憶容量のデー
タ記録を実現することが可能である。
磁気ヘッドアセンブリが、データを記録しかつ読み取る
ためのディスクドライブに幅広く使用されている。少な
くとも１つの磁気変換器を磁気記録ディスクとの間で変
換関係を有するように付着させた浮上ヘッドを用いる場
合、その目的の一つは、スライダ変換器とディスク面と
の間の浮上高さを実質的に一定に維持することである。
また、変換器とディスク表面との狭い空隙で一定の浮上
高さを維持することにより、短波長又は高周波数の信号
を記録し、それにより高記録密度及び高記憶容量のデー
タ記録を実現することが可能である。
【０００３】ディスクドライブに使用される空気ベアリ
ングスライダは、一般に前端縁にテーパを有する前端部
と、薄膜変換器が付着される後端部とを有する。一般
に、スライダは、前端部のテーパ部分と、該前端テーパ
部分から後端部に向けて延長する長手方向のレール又は
パッドを有する。前記テーパ部分は、スライダがその停
止位置からディスクに関して浮上姿勢にテイクオフする
際に急速に圧力の増加が得られるような形状にかつ長さ
に形成することができる。
ングスライダは、一般に前端縁にテーパを有する前端部
と、薄膜変換器が付着される後端部とを有する。一般
に、スライダは、前端部のテーパ部分と、該前端テーパ
部分から後端部に向けて延長する長手方向のレール又は
パッドを有する。前記テーパ部分は、スライダがその停
止位置からディスクに関して浮上姿勢にテイクオフする
際に急速に圧力の増加が得られるような形状にかつ長さ
に形成することができる。
【０００４】テーパ部及びレールの寸法及び形状は、ヘ
ッドの浮上特性を決定する手段となる。レールの設計に
より、スライダの空気ベアリング面に生じる圧力が決定
される。実際には、スライダの下側の圧力分布が、回転
磁気ディスクに関するヘッドの浮上高さ、ピッチ及びロ
ールを含む浮上特性を決定する。スライダの空気ベアリ
ング面の形状・配置（configuration）に影響される他
の特性には、テイクオフの速度、空気ベアリング剛性及
びトラックシーク性能がある。
ッドの浮上特性を決定する手段となる。レールの設計に
より、スライダの空気ベアリング面に生じる圧力が決定
される。実際には、スライダの下側の圧力分布が、回転
磁気ディスクに関するヘッドの浮上高さ、ピッチ及びロ
ールを含む浮上特性を決定する。スライダの空気ベアリ
ング面の形状・配置（configuration）に影響される他
の特性には、テイクオフの速度、空気ベアリング剛性及
びトラックシーク性能がある。
【０００５】スライダをディスク面に近接させて実質的
に一定の浮上高さで浮上させつつ、同時に急速なテイク
オフを実現し、かつドライブの信頼性に影響を与え得る
良好なトラックシーク特性を得ることが非常に望まし
い。これらの目的は、簡単化されかつ低コストの製造プ
ロセスで達成されるべきである。
に一定の浮上高さで浮上させつつ、同時に急速なテイク
オフを実現し、かつドライブの信頼性に影響を与え得る
良好なトラックシーク特性を得ることが非常に望まし
い。これらの目的は、簡単化されかつ低コストの製造プ
ロセスで達成されるべきである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、実質
的に一定の浮上高さを達成する空気ベアリングスライダ
を提供することにある。
的に一定の浮上高さを達成する空気ベアリングスライダ
を提供することにある。
【０００７】本発明の別の目的は、テイクオフの速度が
遅くかつトラックシーク浮上高さの変化が最小の空気ベ
アリングスライダを提供することにある。
遅くかつトラックシーク浮上高さの変化が最小の空気ベ
アリングスライダを提供することにある。
【０００８】本発明の更に別の目的は、製造公差に起因
してより厳しい浮上高さ分布となる空気ベアリング剛性
を高くした空気ベアリングスライダを提供することにあ
る。
してより厳しい浮上高さ分布となる空気ベアリング剛性
を高くした空気ベアリングスライダを提供することにあ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、空気ベ
アリングスライダの空気ベアリング面には、或る形状の
中央凹所を画定するレール又はパッド及びテーパが配置
・形成されている。本発明の或る実施例では、連続的な
テーパ領域が、スライダの一方の側部と角部のコーナ凹
所領域との間のスライダ前端部に形成される。別の実施
例では、凹所領域で分離した前端テーパ部分が設けら
れ、コーナ凹所領域が一方の前記テーパ部分に隣接して
いる。本発明の第３実施例では、前端テーパ部分が、２
つのコーナ凹所領域間に配置される。各実施例におい
て、多角形タイプの中央凹所が空気ベアリング面の連結
するレール又はパッドの間に画定される。前記各凹所
は、例えば反応性イオンエッチングやイオンミディング
により、１回の処理工程で同じ深さにエッチングされ
る。
アリングスライダの空気ベアリング面には、或る形状の
中央凹所を画定するレール又はパッド及びテーパが配置
・形成されている。本発明の或る実施例では、連続的な
テーパ領域が、スライダの一方の側部と角部のコーナ凹
所領域との間のスライダ前端部に形成される。別の実施
例では、凹所領域で分離した前端テーパ部分が設けら
れ、コーナ凹所領域が一方の前記テーパ部分に隣接して
いる。本発明の第３実施例では、前端テーパ部分が、２
つのコーナ凹所領域間に配置される。各実施例におい
て、多角形タイプの中央凹所が空気ベアリング面の連結
するレール又はパッドの間に画定される。前記各凹所
は、例えば反応性イオンエッチングやイオンミディング
により、１回の処理工程で同じ深さにエッチングされ
る。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下に添付図面を参照しつつ、本
発明について詳細に説明する。添付図面において、類似
の構成部分には同様の参照符号を付して説明する。図面
の各構成部分の寸法は、説明のためにかつより明確に理
解されるように、必ずしも正確に縮尺されたものでない
ことは明らかである。
発明について詳細に説明する。添付図面において、類似
の構成部分には同様の参照符号を付して説明する。図面
の各構成部分の寸法は、説明のためにかつより明確に理
解されるように、必ずしも正確に縮尺されたものでない
ことは明らかである。
【００１１】本発明を、その寸法が従来のスライダの約
５０％であるナノスライダに関連して説明する。一般に
ナノスライダは、長さ２．０３mm（０．０８０イン
チ）、幅１．６０mm（０．０６３インチ）及び高さ０．
４３２mm（０．０１７インチ）である。また、本発明
は、従来のスライダの約３０％の寸法を有するピコスラ
イダのような別の寸法のスライダにも適用することがで
きる。
５０％であるナノスライダに関連して説明する。一般に
ナノスライダは、長さ２．０３mm（０．０８０イン
チ）、幅１．６０mm（０．０６３インチ）及び高さ０．
４３２mm（０．０１７インチ）である。また、本発明
は、従来のスライダの約３０％の寸法を有するピコスラ
イダのような別の寸法のスライダにも適用することがで
きる。
【００１２】図１に関して、空気ベアリングスライダに
は、連結部９を有する２個のパッド１０、１２が形成さ
れている。パッド１０、１２及び連結部９により、スラ
イダの前端部１１と後端部１３間に延長する該スライダ
の縦軸に関して実質的に中央に配置された多角形タイプ
の中央凹所１５が画定される。凹所１５は、スライダの
連結部９から後端部１３へと延長している。
は、連結部９を有する２個のパッド１０、１２が形成さ
れている。パッド１０、１２及び連結部９により、スラ
イダの前端部１１と後端部１３間に延長する該スライダ
の縦軸に関して実質的に中央に配置された多角形タイプ
の中央凹所１５が画定される。凹所１５は、スライダの
連結部９から後端部１３へと延長している。
【００１３】図１に示されるように、本発明のスライダ
の空気ベアリング面（ＡＢＳ）の１つの形状・配置（co
nfiguration）は、その形状が略三角形をなす角部のコ
ーナ凹所３２をもって作られる。前記スライダの側部と
コーナ凹所領域の三角形の斜辺とがなす角度αは、約３
０〜６０°の範囲内である。前記スライダの一方の側部
は、側部の逃げ１７が前端部１１と後端部１３間の全長
に亘って延長しているのに対し、該スライダの他方の側
部は、側部の逃げ１９が後端部１３から三角形の凹所３
２の傾斜側部即ち斜辺まで延長している。
の空気ベアリング面（ＡＢＳ）の１つの形状・配置（co
nfiguration）は、その形状が略三角形をなす角部のコ
ーナ凹所３２をもって作られる。前記スライダの側部と
コーナ凹所領域の三角形の斜辺とがなす角度αは、約３
０〜６０°の範囲内である。前記スライダの一方の側部
は、側部の逃げ１７が前端部１１と後端部１３間の全長
に亘って延長しているのに対し、該スライダの他方の側
部は、側部の逃げ１９が後端部１３から三角形の凹所３
２の傾斜側部即ち斜辺まで延長している。
【００１４】パッド１０には、台形領域１８及び台形領
域２６とが形成され、該台形領域１８と２６との間及び
側部の逃げ１７と凹所１５との間に狭い矩形領域２２を
有する。台形領域１８に続いて、矩形領域１４が凹所１
５と台形領域１８との間のスライダの後端部に形成され
ている。スライダの他方の側部及び凹所１５の反対側の
部分において、パッド１２には、矩形領域１４に対応す
る矩形領域１６と、台形領域１８に対応する台形領域２
０と、矩形領域２２に対応する狭い矩形領域２４と、台
形領域２６とは反対側の台形領域２８とが形成されてい
る。反対側の前記各領域の幅は、一般に大きさが異な
る。また、台形領域２８は、該領域２８をコーナ凹所３
２が横切っているので、反対側の領域２６とは形状が異
なる。
域２６とが形成され、該台形領域１８と２６との間及び
側部の逃げ１７と凹所１５との間に狭い矩形領域２２を
有する。台形領域１８に続いて、矩形領域１４が凹所１
５と台形領域１８との間のスライダの後端部に形成され
ている。スライダの他方の側部及び凹所１５の反対側の
部分において、パッド１２には、矩形領域１４に対応す
る矩形領域１６と、台形領域１８に対応する台形領域２
０と、矩形領域２２に対応する狭い矩形領域２４と、台
形領域２６とは反対側の台形領域２８とが形成されてい
る。反対側の前記各領域の幅は、一般に大きさが異な
る。また、台形領域２８は、該領域２８をコーナ凹所３
２が横切っているので、反対側の領域２６とは形状が異
なる。
【００１５】パッド１０、１２及び連結部９により、ス
ライダの空気ベアリング面に超周囲（superambient）空
気圧力領域が得られるのに対し、凹所１５及び凹所３２
により、反対の亜周囲（subambient）空気圧力領域が得
られる。
ライダの空気ベアリング面に超周囲（superambient）空
気圧力領域が得られるのに対し、凹所１５及び凹所３２
により、反対の亜周囲（subambient）空気圧力領域が得
られる。
【００１６】遅いテイクオフ速度でスライダの高い浮上
性能を可能にする本発明の特徴の１つは、図１に示すよ
うに、凹所３２の傾斜側部即ち斜辺の一部分と側部の逃
げ１７との間のスライダの前端部に配置された所定形状
・配置のテーパ３０である。テーパ３０は、凹所３２の
斜辺に隣接する該テーパの側部を傾斜させた台形であ
る。側部の逃げ１９と前記斜辺間の角度αは約３０〜６
０°の範囲内である。
性能を可能にする本発明の特徴の１つは、図１に示すよ
うに、凹所３２の傾斜側部即ち斜辺の一部分と側部の逃
げ１７との間のスライダの前端部に配置された所定形状
・配置のテーパ３０である。テーパ３０は、凹所３２の
斜辺に隣接する該テーパの側部を傾斜させた台形であ
る。側部の逃げ１９と前記斜辺間の角度αは約３０〜６
０°の範囲内である。
【００１７】本発明の特定の実施例では、矩形領域２２
及び２４の前記側部の逃げと凹所１５間の幅の測定値が
それぞれ約０．２０３mm（０．００８インチ）であり、
かつ矩形領域１４及び１６の幅がそれぞれ約０．３８１
mm（０．０１５インチ）であった。テーパ３０の前端部
１１から連結部９までの寸法の測定値は約０．２０３mm
（０．００８インチ）であり、テーパ３０の側部の逃げ
１７から凹所３２までの全長は約１．０１６mm（０．０
４０インチ）である。連結部９のテーパ３０から凹所１
５までの寸法の測定値は約０．２５４mm（０．０１０イ
ンチ）である。
及び２４の前記側部の逃げと凹所１５間の幅の測定値が
それぞれ約０．２０３mm（０．００８インチ）であり、
かつ矩形領域１４及び１６の幅がそれぞれ約０．３８１
mm（０．０１５インチ）であった。テーパ３０の前端部
１１から連結部９までの寸法の測定値は約０．２０３mm
（０．００８インチ）であり、テーパ３０の側部の逃げ
１７から凹所３２までの全長は約１．０１６mm（０．０
４０インチ）である。連結部９のテーパ３０から凹所１
５までの寸法の測定値は約０．２５４mm（０．０１０イ
ンチ）である。
【００１８】別の実施例では、図２に示すように、図１
の前端テーパ３０が、矩形領域４０と台形領域３８とを
分離する凹所４２により分割されている。凹所４２は、
その一部が連結部９内まで延長している。この追加の凹
所部分は、ディスクに関するスライダのピッチが最適化
されるように、ディスクドライブの動作中に、回転する
磁気記憶ディスクの表面にスライダの前端部をより近接
させるのに貢献する。
の前端テーパ３０が、矩形領域４０と台形領域３８とを
分離する凹所４２により分割されている。凹所４２は、
その一部が連結部９内まで延長している。この追加の凹
所部分は、ディスクに関するスライダのピッチが最適化
されるように、ディスクドライブの動作中に、回転する
磁気記憶ディスクの表面にスライダの前端部をより近接
させるのに貢献する。
【００１９】図３は、中央テーパ４８の両側に台形のコ
ーナ凹所４４及び５０が配置された本発明の別の実施例
を示している。前記コーナ凹所は、異なる面積をもって
作られる。パッド１０及び１２を連結する部分４６は、
中央テーパ４８と、台形凹所４４及び５０の傾斜側部
と、凹所４４及び５０の内側部の一部分とにより画定さ
れる。凹所４４及び５０の傾斜側部と側部の逃げ１７及
び１９とがなす角度β１及びβ２は約１５〜４５°が好
ましい。このＡＢＳの形状・配置により、スライダの浮
上姿勢をより良好に制御することができる。
ーナ凹所４４及び５０が配置された本発明の別の実施例
を示している。前記コーナ凹所は、異なる面積をもって
作られる。パッド１０及び１２を連結する部分４６は、
中央テーパ４８と、台形凹所４４及び５０の傾斜側部
と、凹所４４及び５０の内側部の一部分とにより画定さ
れる。凹所４４及び５０の傾斜側部と側部の逃げ１７及
び１９とがなす角度β１及びβ２は約１５〜４５°が好
ましい。このＡＢＳの形状・配置により、スライダの浮
上姿勢をより良好に制御することができる。
【００２０】上記各実施例の凹所は、前記側部の逃げと
同様に約２〜５μｍの同じ深さにエッチングされる。エ
ッチングは、イオンミリングや反応性イオンエッチング
のような利用可能な技術を用いて単一のエッチング工程
により実現される。前記前端テーパは、その結果として
前記レール及びＡＢＳにおける圧力分布を制御し得るよ
うに、機械的にラッピング加工される。前記各スライダ
は、当業者に良く知られるように、後端部に１個又は２
個以上の薄膜変換器を有する。
同様に約２〜５μｍの同じ深さにエッチングされる。エ
ッチングは、イオンミリングや反応性イオンエッチング
のような利用可能な技術を用いて単一のエッチング工程
により実現される。前記前端テーパは、その結果として
前記レール及びＡＢＳにおける圧力分布を制御し得るよ
うに、機械的にラッピング加工される。前記各スライダ
は、当業者に良く知られるように、後端部に１個又は２
個以上の薄膜変換器を有する。
【００２１】本発明の利点は、一定の浮上高さ、遅いテ
イクオフ速度での速いテイクオフ、改良された空気ベア
リング剛性、及び良好なトラックシーク性能である。
イクオフ速度での速いテイクオフ、改良された空気ベア
リング剛性、及び良好なトラックシーク性能である。
【００２２】上述したジオメトリ、寸法及びパラメータ
は、本発明の技術的範囲内において変更し得ることが理
解される。例えば、前記レールの幅及び長さは、ディス
クドライブの動作性能により変更することができる。ま
た、前記凹所のエッチング深さは、様々な用途によって
異なる大きさにすることができる。前記レール及び中央
凹所は、スライダの寸法によって変更することができ
る。特定の環境で本発明を実施する場合には、その他の
変形・変更を施すことができる。以上、本発明をナノサ
イズのスライダについて説明したが、本発明の概念は、
異なるサイズの他のスライダにも適用することができ
る。
は、本発明の技術的範囲内において変更し得ることが理
解される。例えば、前記レールの幅及び長さは、ディス
クドライブの動作性能により変更することができる。ま
た、前記凹所のエッチング深さは、様々な用途によって
異なる大きさにすることができる。前記レール及び中央
凹所は、スライダの寸法によって変更することができ
る。特定の環境で本発明を実施する場合には、その他の
変形・変更を施すことができる。以上、本発明をナノサ
イズのスライダについて説明したが、本発明の概念は、
異なるサイズの他のスライダにも適用することができ
る。
【００２３】
【発明の効果】本発明の空気ベアリングスライダは、上
述したように構成されているので、その所定形状の凹所
及びテーパにより、スライダの浮上特性を向上させ、空
気ベアリング剛性を増大させるという効果を奏する。
述したように構成されているので、その所定形状の凹所
及びテーパにより、スライダの浮上特性を向上させ、空
気ベアリング剛性を増大させるという効果を奏する。
【図１】本発明により形成された空気ベアリングスライ
ダの空気ベアリング面を示す上面図である。
ダの空気ベアリング面を示す上面図である。
【図２】本発明の第２実施例の上面図である。
【図３】本発明の第３実施例の上面図である。
９ 連結部 １０ パッド １１ 前端部 １２ パッド １３ 後端部 １４ 矩形領域 １５ 中央凹所 １６ 矩形領域 １７ 側部の逃げ １８ 台形領域 １９ 側部の逃げ ２０ 台形領域 ２２ 矩形領域 ２４、２６、２８ 台形領域 ３０ テーパ ３２ コーナ凹所 ３８ 台形領域 ４０ 矩形領域 ４２ 凹所 ４４ コーナ凹所 ４６ 連結部分 ４８ 中央テーパ ５０ コーナ凹所
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 クリストファー・エイ・リー アメリカ合衆国・カリフォルニア州・ 94588，プレザントン，トレイ・コート・ 2606 (72)発明者 マーク・ジェイ・ドノバン アメリカ合衆国・カリフォルニア州・ 95134，サン・ノゼ，＃505・リバー・オー クス・サークル・373
Claims (11)
- 【請求項１】 その後端部に磁気ディスクとの変換作用
のために配置された少なくとも１個の薄膜磁気変換器を
有する空気ベアリングスライダであって、 空気ベアリング面と前端部及び後端部とを有し、第１及
び第２スライダ側部が前記前端部から前記後端部へと実
質的に平行に延長し、前記スライダが前記両端部間に中
央縦軸を有し、 前記後端部に配置された所定形状・配置のテーパと、 前記スライダの角部に配置され、前記前端部に接するコ
ーナ側部と前記スライダの前記第２側部に接するコーナ
側部とを有する第１コーナ凹所と、 前記第１及び第２パッド間に形成され、かつ前記連結部
から前記後端部に延長する所定形状の中央凹所と、 前記凹所の両側に配置された第１及び第２パッドと、 前記第１及び第２パッドを連結する前記中央凹所と前記
テーパ間の連結部とを備えることを特徴とする空気ベア
リングスライダ。 - 【請求項２】 前記スライダの前記第１及び第２側部に
沿ってそれぞれ形成された第１及び第２横レリーフを有
することを特徴とする請求項１記載の空気ベアリングス
ライダ。 - 【請求項３】 前記凹所及び前記横レリーフが、同じ深
さにエッチングされていることを特徴とする請求項２記
載の空気ベアリングスライダ。 - 【請求項４】 前記エッチングの深さが約２〜５μｍで
あることを特徴とする請求項３記載の空気ベアリングス
ライダ。 - 【請求項５】 前記テーパが、前記第１横レリーフから
前記第１コーナ凹所まで連続していることを特徴とする
請求項２記載の空気ベアリングスライダ。 - 【請求項６】 前記前端部に配置された、前記テーパを
分離された部分に分割する矩形凹所を有することを特徴
とする請求項１記載の空気ベアリングスライダ。 - 【請求項７】 前記所定形状の凹所が、実質的に多角形
の形状・配置（configuration）であることを特徴とす
る請求項１記載の空気ベアリングスライダ。 - 【請求項８】 前記第１コーナ凹所が三角形をなし、か
つ前記第１コーナ凹所の前記両側部の端部間に延長する
斜辺を有するようにパターニングされ、前記斜辺が前記
スライダの前記側部に関して３０〜６０°の範囲内の角
度で配置されていることを特徴とする請求項１記載の空
気ベアリングスライダ。 - 【請求項９】 前記前端部に前記スライダの前記第１側
部に隣接する第２コーナ凹所を有することを特徴とする
請求項１記載の空気ベアリングスライダ。 - 【請求項１０】 前記前端部の前記テーパが前記第１及
び第２コーナ凹所間に配置されていることを特徴とする
請求項９記載の空気ベアリングスライダ。 - 【請求項１１】 前記第２コーナ凹所に、前記スライダ
の前記第１側部に延長する傾斜側部が形成され、前記傾
斜側部が前記スライダの前記第１側部に関して１５〜４
５°の範囲内の角度をなすことを特徴とする請求項９記
載の空気ベアリングスライダ。
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