JP3207269B2 - 磁気記録用フライトスライダー - Google Patents

磁気記録用フライトスライダー

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JP3207269B2
JP3207269B2 JP28882392A JP28882392A JP3207269B2 JP 3207269 B2 JP3207269 B2 JP 3207269B2 JP 28882392 A JP28882392 A JP 28882392A JP 28882392 A JP28882392 A JP 28882392A JP 3207269 B2 JP3207269 B2 JP 3207269B2
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ジャン・マルク フェデリ
ピセラ・クリスチャン
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コミツサリア タ レネルジー アトミーク
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    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
    • G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
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    • G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • G11B5/3176—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps
    • G11B5/3179—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps the films being mainly disposed in parallel planes
    • G11B5/3183—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps the films being mainly disposed in parallel planes intersecting the gap plane, e.g. "horizontal head structure"

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はフライトスライダーに関
するものである。本発明のスライダーは、磁気担体上の
情報をリードおよび／またはライトする際に使用され
る。
【０００２】
【従来の技術、および解決しようとする課題】非常に一
般的には磁気記録装置は、記録担体（ディスク、テープ
等）、およびフライトまたは移動スライダーからなるリ
ードおよび／またはライト手段とから構成されている。
【０００３】上記フライトスライダーは、浮き彫りにさ
れた１本またはそれ以上の本数のレールを有することが
できる。そのようなスライダーはモノレール、２本のレ
ールを有する（いわゆるカタマラン（catamaran ）構造
と呼ばれている。）、または３本のレールを有する（い
わゆるトリマラン（trimaran）構造と呼ばれている。）
構造と呼ばれている。これらのレールまたはそれらの中
のあるものには、リードおよび／またはライトヘッドを
備えている。このレールの表面は記録担体に向かって曲
がっており、この担体が回転すると、空気の圧力を受け
る様になっている。この空気の圧力によって、担体上で
のスライダーの”フライト”が保証されている。
【０００４】浮き彫りに形成されている各々のレール
は、後端部上に磁気ヘッドを支持することができる。こ
れらの磁気ヘッドは、薄膜上に配置されたり、粘着力に
より結合されたりする。スライダーの長さは、一般に担
体が形成されている場所の材料、たとえばアルミニウム
またはフェライトの厚さによって決められており、機械
的に形作られている。
【０００５】図１はウエハー１０を示しており、その上
には薄膜ヘッド２４、２５が配置されている。図２に
は、浮き彫りにされた２本のレール２１、２２が形成さ
れ、さらに２つのヘッド２４、２５が形成されているカ
タマラン構造を有する場合のスライダー２０が示されて
いる。磁気担体がある一定の回転速度になると、スライ
ダーをそこから離すため、上記浮き彫りにされた各々の
レールの正面部に面取り部２６、２７が形成されてい
る。この面取り部を形成する方法は、シリコン製ではな
いカタマランタイプのフライトスライダーにはよく使用
されている。
【０００６】記録トラックに対するアクセスモード、お
よびアクセス時間は過去において急速に改善されたの
で、そのように速い改善に装置が適応する必要があっ
た。ディスクの場合、ディスクのあらゆる直径に対して
も、スライダーはもはやトラックに対して平行に位置せ
ず、使用するトラックの半径の関数として、正の角度ま
たは負の角度を有することができる。図３では、トラッ
クの接線方向に関して３つの異なる位置Ｔ- 、ＴO 、そ
してＴ+ に配置されているヘッドＴを備えたハードディ
スク３０を見ることができる。スライダーの長軸からト
ラックの方向の間で角度が変わることにより、スライダ
ーメンテナンスポイントの回りをスライダーが横方向に
ピボットしてしまう。また、このように角度が変わるこ
とにより、フライトの高さも変化してしまう。このよう
な欠点を除去するため、レールの側面は長軸方向に沿っ
て面取りされていた。
【０００７】図４は、２本のレール３６、３７、それら
の正面の面取り部３８、３９、および上記レール３６の
側方には面取り部４１、４２、そしてレール３７の側方
には面取り部４３、４４が形成されているカタメランタ
イプのスライダー３５を示している。このタイプのスラ
イダーは、米国特許出願−６７３９９６に開示されてい
る。
【０００８】この変形例は図５に示されており、先の長
軸方向の面取り部は、レール５０には縦軸方向の切り欠
き部５１、５２、そしてレール５４に対しては縦軸方向
の切り欠き部５５、５６に置き換えられている。これは
いわゆる横向き圧力輪郭またはＴＰＣ処理と呼ばれてお
り、米国特許出願−４８７０５１９に開示されている。
それは、異なるリードおよび／またはライト範囲でも安
定したフライト高さを与えるものである。しかしなが
ら、同時に角度が変えられない場合、速度増加の関数と
してフライト高さが変化する問題を解決することを目的
とはしていない。さらになお、レリーフの正面端部上に
面取り部を形成することを必要としている。
【０００９】フライトスライダーは、参照番号６１、６
２で表されている上記溝を有している図６に示されてい
るように、各々のレリーフに溝が横断するように形成さ
れているとして知られている。
【００１０】そのようなスライダーは、文献（１９８９
年９月、２５巻、Ｎｏ．５、タイトル”An air Bearing
Minimizing the Effects of Slider Skew Angle”、著
者G.CLIFFORDおよびD.HENZE ）に記載されている。
【００１１】フライトスライダーはまたシリコンから形
成されることができ、米国特許出願−４６９８７０８に
図示されている。これらのスライダーに関係している磁
気ヘッドは、スライダーの下面上に配置され、このた
め”平坦ヘッド”と呼ばれている。これらのスライダー
のランディングおよびテイクオフを改善するため、後者
はフランス出願−２６２９２４７に開示されている方法
で、レリーフの正面上に切り欠き部を有している。
【００１２】しかしながら、操作上の制約がますます厳
しくなってきているので、これらの装置（スライダーは
シリコン製、またはそうでない）はある面では満足の行
くものであるが、まだ欠点を有している。今日では、ス
ライダーのフライト状況は、角度０゜に完全に制御され
ているだけではなく、２０゜に達するであろう正の角度
または負の角度さえも完全に制御されなければならな
い。さらに得ることが非常に困難なスライダーの安定性
は、トラックの認識とともに非常にすばやいアクセスの
ため必要とされていた。さらになお、ヘッド−担体対の
寿命を長く保証するために、接触時間は最小限に短縮さ
れなければならない。最後に、制限されたフライト高さ
（約１／１０ミクロン）は、速さが１５ｍ／ｓになるた
め、小さな変化を被らないわけにはいかなかった。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明にかかるフライト
スライダーは、正面部および後部を有する少なくとも１
本のレールを有し、この後部にはリードおよび／または
ライト手段が取り付けられている磁気記録用のフライト
スライダーにおいて、少なくともその後部に切り欠き部
を有する少なくとも１本のレールを有することにより前
記問題の解決を図った。
【００１４】本発明の目的は従来のフライトスライダー
が有する欠点を除去し、上述したような高性能特性を得
ることを可能にする平面ヘッドを備えたフライトスライ
ダーを提案することを目的とする。つまり、レールの後
部を安定にさせるレリーフレールの後部に切り欠き部を
有することを推奨する。
【００１５】従来の非平面ヘッドに対して、磁気部材が
レリーフの後部フランク上に配置されているので、レリ
ーフの後部に対する表面のアクセスは、不可能であると
いうことが指摘されている。しかしながら、平面ヘッ
ド、より好ましくはシリコン上の平面ヘッドでは、磁気
部材は担体に面するレリーフの表面上の後部から約５０
０μｍ離れている。このため、負圧状態を形成するため
上記後部表面を使用している間、担体に対して磁気ヘッ
ドよりも低いポイントを有さないように、レリーフの後
部表面を裏側に配置することが重要である。この負圧状
態は速度にともなって程度が増加し、フライト高さの変
化を制限することを可能とする。この負圧状態はまた、
フライトしている間、傾きを決定することに寄与する。
出願人は充分リニアな速度変化のため良い結果（ヘッド
はトラックに対してわずかに触れる程度であった）が得
られた。角度の変化に加えて速度の変化により、裏側に
配置している後部表面はフライト安定性を改善する。た
とえば、後部をｚ軸に沿って０．２から４μｍの深さエ
ッチングするのに対して、ｙ軸に沿っては４０から５０
０μｍの幅をエッチングされる。
【００１６】本発明はどの様なスライダー形状にも応用
することができる。つまり、モノレール、カタマラン、
またはトリマランにも応用することができる。もし、ス
ライダーがレリーフに幾本かのレールを有しているな
ら、これらのレールの中の少なくとも１本は、後部に切
り欠き部を有している。しかしながら、いくつかまたは
全てのレールが、上記後部切り欠き部を有することもで
きる。
【００１７】レールの後部に切り欠き部を有するという
ことによる、本発明にかかる他の変形例は、面取り部ま
たは縦軸方向の切り欠き部（ＴＰＣ）、および／または
面取り部または正面の切り欠き部の存在等の周知のアレ
ンジを組み合わせることができる。レール周囲全体に切
り欠き部を有することがより好ましい。この場合、各々
長軸方向の側面に形成された切り欠き部、および正面に
形成された切り欠き部は、ある一定の機能を果たすため
に後部切り欠き部と協同している。レリーフの長軸方向
の側面の何等制限のない状態の表面は、スライダー方向
がトラックに対して角度を形成するときのフライト高さ
の変化はもちろん、そのピボットポイントの回りをスラ
イダーが横方向にピボットすることを避けることを可能
にする。レリーフの各々の長軸方向の側面の上記表面の
ｘ軸に沿った長さを変更することによって、トラックに
対して角度を有するフライトの場合、ある角度を有して
スペードを増加させ、ｚ軸に沿ってフライト高さを制限
することができる負圧状態を得ることが可能となる。出
願人は、４０から５００μｍの長さ、０．２から４μｍ
の深さで、ｘ軸に沿って横方向に移動させ、そしてヘッ
ドを２０ｎｍを越えないフライト高さで変化させたと
き、優れた安定性が得られるということを観察によって
認めた。しかしながら、移動における上記優れた品質
は、ｘ軸に沿って０．２から４μｍの深さで唯一得られ
るであろう。レリーフの正面の何等制限のない状態の表
面は、スライダーのテイクオフおよびランディング、そ
してフライトしている間の傾きを決定する。上記正面部
のｙ軸方向に沿った長さは、約４０から５００μｍであ
り、切り欠き部のｚ軸方向に沿った深さは０．２から４
μｍであり、好ましくは０．７から２μｍの間である。
【００１８】
【実施例】図７は、フライトスライダー７０を示してい
る。このフライトスライダー７０は、カタマラン形状で
あり、浮き彫りにされたレール７１、７２を有してお
り、それらは凹部７４によって分けられている。各々の
レール７１、７２の回りには各々切り欠き部７６、７８
が形成されており、それらのｚ軸に沿った方向の深さ
は、これらのレリーフの全体周囲にわたって一定してい
る。図７は、中央凹部がｚ軸に沿って深さＰを有してお
り、ｚ軸に沿った切り欠き部は高さｈを有するスライダ
ーを示している。さらに、図７は、破線で表され、記号
８０が付けられている磁気リードおよび／またはライト
ヘッドの位置となる場所が示されている。磁気ヘッド
は、レリーフの１本または各々のレリーフに配置されて
もよい。
【００１９】図８、９、１０、そして図１１は本発明に
かかる他のスライダーの具体例を示しており、レリーフ
７１そしてレリーフ７２は異なる形状を有しており、特
に丸みを帯びたり（図１０）、左右対称でない（図８、
９、１０、そして１１）形状を有している。
【００２０】使用する状況の関数として、これらの異な
る形状により、そのフライトの安定性を最も効果的にす
るために、スライダーの側面、後部、および正面の正圧
または負圧を制御することが可能となる。
【００２１】周知のフライトスライダーにおいて、レリ
ーフ間の凹部は、ｚ軸に沿って約７０から１００μｍの
深さを有している。出願人は、フライト特性は約１５μ
ｍに減縮された深さでは変更されないということを見い
だした。その値の低値は、より好ましくは２から１０μ
ｍの間であり、トラックに対して角度を有してフライト
している間、上記凹部は負圧を生じさせることができ
る。この負圧は、リード−ライトヘッドを有しているレ
リーフのフライト高さをチェックすることも可能にする
であろう。
【００２２】したがって、本発明はまた、１５μｍ以下
の深さＰの溝によって分けられているレリーフを有する
フライトスライダーに関するものである。ある応用方法
のためにはレリーフ間の溝の深さＰの値は、本発明にか
かるレリーフの周囲に形成されている切り欠き部の高さ
ｈと一致するはずである。そしてスライダーは、唯一レ
リーフの下面に対して裏側に位置している単一表面を有
しているであろう。
【００２３】図１２に示されているスライダーは、凹部
は参照記号７４で示され、切り欠き部は各々記号７６、
７８で示されている。共通の深さ（Ｐ、ｈ）は、数ミク
ロン（たとえば、２μｍ）である。そのような浅い深さ
は、選択エッチングの場合好ましく、充分な加速を得る
ことを可能にする。
【００２４】ここに述べたようなフライトスライダー
は、種々のホトエッチング操作によって得ることができ
る。その例としてこれに制限されることはないが、図１
３に示される以下の操作からなる方法を挙げることがで
きる。
【００２５】ａ）ウエハー８０上に感光性樹脂８２を積
層する（図１３ａ）。 ｂ）エッチングされるべき表面を限定するマスクを通し
て、上記樹脂に照射する。（図１３ｂ） ｃ）照射後、エッチングされるべき場所（樹脂レリーフ
８６）を自由な状態とするために、照射された樹脂の現
像を行う（図１３ｃ）。 ｄ）レリーフ８８を得るために、深さ（ｈ）をチェック
しながら、シリコンの活性イオンエッチングを行う。 ｅ）レリーフ８８を得る化学的工程によって、樹脂が除
去される。 ｆ）同一の操作によって、樹脂マスク９０をレリーズ８
８の頂点に形成し、（図１３ｆ）、さらに形成されるべ
き切り欠き部を限定するために、凹部の下部にも随意に
形成する。 ｇ）０．２から４μｍ（好ましくは０．７から２μｍ）
の深さの切り欠き部を形成するために、レリーフの周囲
をエッチングする。
【００２６】Ｐ＝ｈのとき、一つの適切な形状からなる
マスク８４で、レリーフと切り欠き部との両方を限定す
るには充分である（凹部は、切り欠き部も含む）。
【００２７】図１４は、一定した高さの周囲切り欠き部
１０４を備えた１本のレールを有するフライトスライダ
ー１００の他の例を示す図である。
【００２８】図１５は、２本のレール１１２、１１４と
周囲切り欠き部とを有するカタマランタイプのフライト
スライダーの他の例を示す図である。しかしながら、正
面の切り欠き部１１６、１１８は、後端部の切り欠き部
１２０、１２２の高さと異なるものである。正面では、
高さｈ１は、０．５μｍであり、一方後部の高さｈ２は
３μｍである。
【００２９】同様に、横方向の切り欠き部の高さと、後
部の切り欠き部の高さが異なるこのタイプのヘッドを製
造することも可能ある。
【００３０】図１６は他の例を示しており、この例では
フライトスライダー１３０は、正面面取り部１３６、１
３８および後部面取り部１４０、１４２が形成された２
本のレール１３２、１３４を有している。
【００３１】最後に、図１７は３本のレール１５１、１
５２、１５３を備え、そして中央のレール１５２のみが
周囲切り欠き部１５４を有している、トリマラン−タイ
プのフライトスライダー１５０を示している。
【００３２】
【発明の効果】本発明のフライトスライダーは、正面部
および後部を有する少なくとも１本のレール（２１、２
２、３６、３７、５０、５４、７１、７２、１０２、１
１２、１１４、１３２、１３４、１５１、１５２、１５
３）からなり、この後部にはリードおよび／またはライ
ト手段（８０）が取り付けられている磁気記録用のフラ
イトスライダーにおいて、少なくともその後部に切り欠
き部（７８、１０４、１２０、１２２、１４０、１４
２、１５４）を有する少なくとも１本のレール（７１、
７２、１０２、１１２、１１４、１３２、１３４、１５
２）を有することを特徴とする磁気記録用フライトスラ
イダーである。したがって、本発明のフライトスライダ
ーは、フライトに関して安定性を有し、かつトラックへ
の接触時間が最小限に短縮されたものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 図１は、種々の薄膜ヘッドを有するウエハー
を示す斜視図である。
【図２】 図２は、後部フランク上にヘッドを備えたフ
ライトスライダーを示す斜視図である。
【図３】 図３は、トラックの半径の関数として、トラ
ックを有するスライダーによって形成された角度を示す
図である。
【図４】 図４は、正面面取り部、および側方面取り部
を有するスライダーを示す図である。
【図５】 図５は、正面面取り部、および側方切り欠き
部を有するスライダーを示す図である。
【図６】 図６は、正面面取り部、および横切り溝を有
するスライダーを有する図である。
【図７】 図７は、レリーフの回りに周囲切り欠き部が
形成された本発明にかかるフライトスライダーを示す図
である。
【図８】 図８は、本発明にかかるスライダーの他の例
を示す図である。
【図９】 図９は、本発明にかかるスライダーの他の例
を示す図である。
【図１０】 図１０は、本発明にかかるスライダーの他
の例を示す図である。
【図１１】 図１１は、本発明にかかるスライダーの他
の例を示す図である。
【図１２】 図１２は、中央凹部が周囲切り欠き部の高
さと同じ深さであるという特別なケースのスライダーを
示す図である。
【図１３】 図１３は、本発明にかかるスライダーの他
の例を示す図である。
【図１４】 図１４は、一定の高さを有する周囲切り欠
き部を有するモノレールフライトスライダーを示す図で
ある。
【図１５】 図１５は、異なる高さの切り欠き部を有す
るカタマランタイプのフライトスライダーを示す図であ
る。
【図１６】 図１６は、正面に面取り部、そして後部に
切り欠き部を有するカタマランタイプのフライトスライ
ダーを示す図である。
【図１７】 図１７は、唯一１本のレールの後部に切り
欠き部を有するトリマランタイプのフライトスライダー
を示す図である。
【符号の説明】
（図１） １０ ウエハー ２４・２５ 薄膜ヘッド （図２） ２０ スライダー ２１・２２ レリーフ ２
４・２５ ヘッド ２６・２７ 面取り部 （図３） ３０ ハードディスク （図４） ３５ カタマランタイプのスライダー ３６・３７ ３５で示されているスライダーのレール ３８ ３６で示されているレールの正面面取り部 ３９ ３７で示されているレールの正面面取り部 ４１・４２ ３６で示されているレールの側方面取り部 ４３・４４ ３７で示されているレールの側方面取り部 （図５） ５０・５４ カタマランタイプのスライダーのレール ５１・５２ ５０で示されているレールの切り欠き部 ５５・５６ ５４で示されているレールの切り欠き部 （図６） ６１・６２ 横切り溝 （図７、図８、図９、図１０、図１１、図１２） ７０ フライトスライダー ７１・７２ ７０で示されているスライダーのレール ７４ ７０で示されているスライダーの中央凹部 ７６ ７１で示されているレールの切り欠き部 ７８ ７２で示されているレールの切り欠き部 ８０ 磁気リード／ライトヘッドが置かれるであろう場
所 Ｐ 中央凹部のｚ軸方向に対する深さ ｈ 切り欠き部のｚ軸方向に対する高さ （図１３） ８０ ウエハー ８２ 感光性樹脂 ８
４ マスク ８６ 樹脂レリーフ ８８レリーフ ｈ
レリーフの深さ （図１４） １００ １本のレールを有するスライダー １０２ １本のレール １０４ 周囲切り欠き部 （図１５） １１０ カタマランタイプのスライダー １１２・１１４ １１０で示されているスライダーのレ
ール １１６ １１２で示されているレールの正面に形成され
ている切り欠き部 １１８ １１４で示されているレールの正面に形成され
ている切り欠き部 １２０ １１２で示されているレールの後部に形成され
ている切り欠き部 １２２ １１４で示されているレールの後部に形成され
た切り欠き部 ｈ１ レールの正面に形成されている切り欠き部の高さ ｈ２ レールの後部に形成されている切り欠き部の高さ （図１６） １３０ フライトスライダー １３２・１３４ １３０で示されているスライダーが有
するレール １３６ １３２で示されるレールの正面に形成されてい
る面取り部 １３８ １３４で示されるレールの正面に形成されてい
る面取り部 １４０ １３２で示されるレールの後部に形成されてい
る面取り部 １４２ １３４で示されるレールの後部に形成されてい
る面取り部 （図１７） １５０ トリマランタイプのフライトスライダー １５１・１５２・１５３ １５０で示されるフライトス
ライダーのレール （１５２ 中央レール） １５４ １５２で示されている中央レールに形成された
周囲切り欠き部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 フェデリ ジャン・マルク フランス・38140・ボウクロワッサン・ ル・モラール・（番地なし) (72)発明者 ピセラ・クリスチャン フランス・38140・ボウクロワッサン・ ル・モラール・（番地なし) (56)参考文献 特開 平３−40278（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−170922（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−156491（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−19555（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−255883（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G11B 21/21 G11B 5/60

Claims (14)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 支持構造と、 前記支持構造によって支持され、かつ、 正面部、後部お
    よび前記支持構造の上に高さ（ｈ）を有する少なくとも
    １本のレールと、前記少なくとも１本のレールの前記 後部に取り付けられ
    ているリードおよび／またはライト手段と、 を有する磁気記録用フライトスライダーにおいて、前記少なくとも１本のレールは、前記 後部に前記支持構
    造にまで至る階段状切り欠き部を有し、前記階段状切り
    欠き部は、さらに、前記レールの高さ（ｈ）に等しい高
    さを有することを特徴とする磁気記録用フライトスライ
    ダー。
  2. 【請求項２】 １本のレール（１０２）を有しており、
    このレールが後部に少なくとも１箇所の切り欠き部を有
    していることを特徴とする請求項１記載のフライトスラ
    イダー。
  3. 【請求項３】 浮き彫りにされた２本のレール（７１、
    ７２、１１２、１１４、１３２、１３４）を有してお
    り、そしてこれらのレールの少なくとも１本が後部に切
    り欠き部（７８、１２０、１２２、１４０、１４２）を
    有していることを特徴とする請求項１記載のフライトス
    ライダー。
  4. 【請求項４】 ３本のレール（１５１、１５２、１５
    ３）を有しており、これらのレールの少なくとも１本
    （１５２）が後部に切り欠き部（１５４）を有している
    ことを特徴とする請求項１記載のフライトスライダー。
  5. 【請求項５】 後部に切り欠き部を有している各々のレ
    ール（１４０、１４２）が正面部に面取り部（１３６、
    １３８）を有していることを特徴とする請求項１から請
    求項４までのいずれか１項に記載のフライトスライダ
    ー。
  6. 【請求項６】 後部に切り欠き部を有している各々のレ
    ール（１２０、１２２）がまた正面部に切り欠き部（１
    １６、１１８）を有していることを特徴とする請求項１
    から請求項４までのいずれか１項に記載のフライトスラ
    イダー。
  7. 【請求項７】 前記正面部の切り欠き部（１１６、１１
    ８）が第一高さ（ｈ１）を有し、後部の切り欠き部（１
    ２０、１２２）が第二高さ（ｈ２）を有し、この第二高
    さ（ｈ２）が第一高さ（ｈ１）と異なることを特徴とす
    る請求項６記載のフライトスライダー。
  8. 【請求項８】 後部に切り欠き部を有している各々のレ
    ールが、また横方向にも切り欠き部（７６、７８、１０
    ４、１５４）を有していることを特徴とする請求項１か
    ら請求項７までのいずれか１項に記載のフライトスライ
    ダー。
  9. 【請求項９】 後部に切り欠き部を有している各々のレ
    ール（７１、７２、１０２、１５２）が、その全周囲に
    切り欠き部（７６、７８、１０４、１５４）を有してい
    ることを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれ
    か１項に記載のフライトスライダー。
  10. 【請求項１０】 ２本のレール（７１、７２、１１２、
    １１４、１３２、１３４、１５１、１５２、１５３）の
    間に凹部（７４）を有し、この凹部がレールの頂点から
    一定の深さ（Ｐ）を有していることを特徴とする請求項
    １、請求項３、または請求項４のいずれか１項に記載の
    フライトスライダー。
  11. 【請求項１１】 前記凹部（７４）の深さ（Ｐ）が、後
    部切り欠き部（７６、７８）の高さ（ｈ）と同じである
    ことを特徴とする請求項１０記載のフライトスライダ
    ー。
  12. 【請求項１２】 前記凹部（７４）の深さ（Ｐ）が、レ
    ールの周囲の切り欠き部の高さ（ｈ）と同じであること
    を特徴とする請求項９または請求項１０記載のフライト
    スライダー。
  13. 【請求項１３】 前記切り欠き部の高さが０．２μｍか
    ら４μｍの間であることを特徴とする請求項１から請求
    項１２のいずれか１項記載のフライトスライダー。
  14. 【請求項１４】 前記切り欠き部の高さが０．７μｍか
    ら２μｍであることを特徴とする請求項１３記載のフラ
    イトスライダー。
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Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5396386A (en) * 1993-05-28 1995-03-07 International Business Machines Corporation Roll insensitive air bearing slider
US5636086A (en) * 1993-05-28 1997-06-03 International Business Machines Corporation Roll insensitive air bearing slider
CA2123436A1 (en) * 1993-06-04 1994-12-05 Fong-Jei Lin Thin film transducer with reduced flying height
FR2709856B1 (fr) * 1993-09-06 1995-10-20 Commissariat Energie Atomique Patin de vol à profil perfectionné.
US5841608A (en) * 1994-08-30 1998-11-24 Fujitsu Limited Head slider with projections arranged on rails thereof
JPH10172125A (ja) * 1996-12-09 1998-06-26 Alps Electric Co Ltd 磁気ヘッド、この磁気ヘッドを備えた磁気記録再生装置および磁気ヘッドの製造方法
JPH10255424A (ja) * 1997-03-17 1998-09-25 Fujitsu Ltd 磁気ヘッドスライダ及び磁気ディスク装置
EP0866457A1 (en) * 1997-03-18 1998-09-23 Fujitsu Limited Levitation type head for accessing a zone-texture storage medium and a disk apparatus having the levitation type head
JPH11144219A (ja) * 1997-11-11 1999-05-28 Teac Corp 磁気ヘッド
US6115329A (en) * 1998-04-06 2000-09-05 Seagate Technology Inc. Air bearing surface design for constant fly height profile
JPH11353774A (ja) * 1998-06-11 1999-12-24 Mitsumi Electric Co Ltd 磁気ヘッド
US6683753B1 (en) 1999-08-20 2004-01-27 International Business Machines Corporation Metal carbide air bearing surface layer on a silicon read/write head element
US6654205B1 (en) * 1999-11-01 2003-11-25 Maxtor Corporation Air bearing surface for reducing pressure gradients
US6646831B1 (en) 2000-11-22 2003-11-11 Matsushita Kotobuki Electronics Peripherals Of America, Inc. Air bearing slider having optimized etch depth ratio
US6501621B1 (en) 2000-11-22 2002-12-31 Matsushita Kotobuki Electronics Peripherals Of America, Inc. Air bearing slider having improved take-off velocity
US6809904B2 (en) * 2001-09-27 2004-10-26 Seagate Technology Llc Disc head slider designs with particle flushing channels
WO2003063142A1 (en) * 2002-01-22 2003-07-31 Fujitsu Limited Floating slider, and magneto-optical storage device comprising it
JP4643115B2 (ja) * 2002-11-13 2011-03-02 東芝ストレージデバイス株式会社 ヘッドスライダ、記録媒体駆動装置およびヘッドサスペンションアセンブリ
CN111686452B (zh) * 2020-07-14 2021-08-27 王笠成 一种可调式磁力匀速滑梯

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4218715A (en) * 1979-03-12 1980-08-19 International Business Machines Corporation Magnetic head slider assembly
US4670806A (en) * 1980-03-14 1987-06-02 Memorex Corporation Self loading slider for magnetic recording heads
JPS56159865A (en) * 1980-05-13 1981-12-09 Fujitsu Ltd Thin film magnetic head
JPS5823359A (ja) * 1981-07-31 1983-02-12 Toshiba Corp 磁気ヘツド用スライダ
JPS5960760A (ja) * 1982-09-30 1984-04-06 Toshiba Corp 浮動ヘツドスライダ
JPS59186172A (ja) * 1983-04-08 1984-10-22 Toshiba Corp 浮動ヘツドスライダ
FR2559297B1 (fr) * 1984-02-03 1990-01-12 Commissariat Energie Atomique Nouveau patin de vol pour tetes magnetiques d'enregistrement
FR2559296B1 (fr) * 1984-02-03 1988-12-30 Commissariat Energie Atomique Nouveau patin du type catamaran pour tetes magnetiques d'enregistrement et son procede de fabrication
US4636894A (en) * 1984-03-12 1987-01-13 Censtor Corp. Recording head slider assembly
US4673996B1 (en) * 1985-04-29 1997-02-04 James W White Magnetic head air bearing slider assembly utilizing transverse pressurization contours
EP0218811B1 (en) * 1985-07-19 1991-05-29 Kabushiki Kaisha Toshiba Magnetic head slider assembly
FR2604021B1 (fr) * 1986-09-17 1988-10-28 Commissariat Energie Atomique Procede de realisation de tetes magnetiques en couches minces et a structure planaire et tete obtenue par ce procede
US4757402A (en) * 1986-10-03 1988-07-12 Censtor Corp. Slider assembly for supporting a magnetic head
JPH0740413B2 (ja) * 1986-11-06 1995-05-01 三菱電機株式会社 浮動形磁気ヘッドスライダ
US4802042A (en) * 1987-02-05 1989-01-31 Magnetic Peripherals Inc. Side-vented magnetic head air bearing slider
JPS63259879A (ja) * 1987-04-16 1988-10-26 Mitsubishi Electric Corp 浮動形磁気ヘツド
JPS63304419A (ja) * 1987-06-05 1988-12-12 Toshiba Corp フロッピーディスク装置の磁気ヘッド装置
JPS6443812A (en) * 1987-08-11 1989-02-16 Fujitsu Ltd Thin film magnetic head slider
US4870519B1 (en) * 1987-11-20 1997-01-28 James W White Uniform flying height slider assembly with improved dynamic air bearing characteristics
FR2629247B1 (fr) * 1988-03-28 1994-06-10 Commissariat Energie Atomique Patin de vol pour tetes magnetiques de lecture et d'ecriture sur un support magnetique
JP2688632B2 (ja) * 1988-03-28 1997-12-10 株式会社日立製作所 浮動ヘッドスライダ
US5012572A (en) * 1988-03-31 1991-05-07 Ngk Insulators, Ltd. Method for producing a head core slider
US4870521A (en) * 1988-06-23 1989-09-26 Kyocera Corporation Floating magnetic head
US4894740A (en) * 1988-09-28 1990-01-16 International Business Machines Corporation Magnetic head air bearing slider
US5010429A (en) * 1988-11-22 1991-04-23 Hitachi Metals, Ltd. Floating magnetic head having improved static friction coefficient
US5062017A (en) * 1990-05-25 1991-10-29 Seagate Technology, Inc. Hour-glass disk head slider
JPH04106714A (ja) * 1990-08-28 1992-04-08 Mitsubishi Electric Corp 磁気ヘッドの製造方法
US5267109A (en) * 1991-06-14 1993-11-30 Seagate Technology, Inc. Air bearing slider with relieved trailing edge

Also Published As

Publication number Publication date
FR2683369A1 (fr) 1993-05-07
JPH05210932A (ja) 1993-08-20
FR2683369B1 (fr) 1993-12-24
EP0543690A1 (fr) 1993-05-26
DE69217841D1 (de) 1997-04-10
EP0543690B1 (fr) 1997-03-05
US5748408A (en) 1998-05-05
DE69217841T2 (de) 1997-09-11

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