KR100366673B1 - 디스크드라이브등의장치에사용되는자기헤드서브-대기압슬라이더 - Google Patents
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Abstract
서브-기압 에어 베어링 슬라이더는 자기 판독/기록 헤드를 회전하는 디스크에 인접하도록 위치시킨다. 이 슬라이더는 슬라이더의 리딩 에지로부터 회전하는 디스크와 마주보는 면을 따라 트레일링 에지로 연장되는 제 1 및 제 2 레일을 구비한다. 각각의 레일은 슬라이더의 리딩 에지로부터 측면까지 일정각으로 연장된 허벅지 영역과, 슬라이더의 측면으로부터 트레일링 에지까지 일정각으로 연장된 발영역과, 슬라이더의 측면에서 발 영역과 허벅지 영역 사이에 결합된 무릎 영역을 포함한다. 제 1 및 제 2 레일을 형성하기 위해 복수의 홈이 제공된다. 중앙 홈은 서브-기압으로 볼륨을 제공한다. 복수의 테일은 압력의 변화가 슬라이더의 한 측면에만 생기는 것을 완전히 방지하도록 중앙 영역내에 위치할 수 있다. 제 1 및 제 2 레일의 설계로 디스크의 모든 트랙 상의 자기 헤드와 슬라이더에 대한 활강 높이가 더욱 균일하게 된다.
Description
디스크 드라이브는 워크스테이션, 퍼스널 컴퓨터, 랩탑 및 다른 컴퓨터 시스템에 사용되어 사용자가 용이하게 이용할 수 있는 대용량 데이터를 저장할 수 있는 것이 일반적이다. 디스크 드라이브는 스핀들 모터에 의해 회전되는 자기 디스크를 구비하는 것이 일반적이다. 자기 디스크 표면은 이 디스크의 둘레로 원주 형태로 연장된 일련의 데이터 트랙으로 분할된다. 각각의 데이터 트랙은 자기 트랜지션(magnetic transition)의 형태로 데이터를 디스크 표면에 저장할 수 있다.
자기 트랜스듀서와 같은 인터액티브(interactive) 소자는 자기 트랜지션을 감지하여 데이터를 판독하거나, 디스크 표면상에 자기 트랜지션을 일으키는 전류를 발생시켜 데이터를 기록하는데 사용된다. 자기 트랜스듀서는 헤드내에 장착되며, 디스크의 자기 표면과 상호작용하기에 적당한 위치에서 트랜스듀서의 능동 소자를가진 판독/기록 갭을 포함한다.
헤드는 회전식 액추에이터에 의해 장착되고, 이 회전식 액추에이터에 의해 디스크의 소정의 데이터 트랙에 헤드를 선택적으로 위치시킴으로써, 디스크가 트랜스듀서 아래에서 회전할 때 트랜스듀서는 디스크의 소정의 데이터 트랙으로부터 데이터를 판독하거나 디스크의 소정의 데이터 트랙에 데이터를 기록할 수 있다.
현재의 디스크 드라이브에 있어서, 비교적 견고하고 단단한 디스크를 자기 기록 매체로서 사용한다. 헤드는 디스크의 회전으로 발생된 유체 흐름에 의해 트랜스듀서가 디스크 표면의 데이터 트랙 위로 활강하도록 에어 베어링 표면을 형성하는 슬라이더를 포함한다. 그러므로, 트랜스듀서는 디스크 드라이브의 정상적인 동작 중에는 디스크 표면과 물리적으로 접촉하지 않는다. 트랜스듀서가 디스크 표면위로 활강할 때 디스크 표면과 이격된 높이를 "활강 높이(fly height)"라 한다. 디스크 표면위로 활강 높이만큼 떠서 동작하는 헤드 구조의 한가지 유리한 형태로는 TPC(Transverse Pressure Contour) 헤드가 있다. TPC 헤드를 이용한 현재의 디스크 드라이브 설계에서 추구하는 것은 활강 높이를 디스크 표면위 약 2μ인치로 제한하는 것이다. 헤드와 디스크 표면이 접촉한다면, 디스크 또는 헤드에 손상을 가져올 수 있다. 따라서, 디스크가 회전하는 동안, 액추에이터가 트랜스듀서를 데이터 트랙 위에 위치 설정할 때마다 적절한 활강 높이를 유지하는 것이 중요하다.
일반적으로 트랜스듀서의 판독/기록 갭을 디스크 표면과 가능한 가깝게 하는 전체 활강 높이를 달성하고, 액추에이터의 레디얼(radial) 위치와는 관계없이 활강 높이를 균일 레벨로 유지시키려고 한다. 트랜스듀서의 능동 판독/기록 갭을 디스크 표면과 가깝게 인접시킬수록, 데이터를 표현하는 디스크 표면의 자기 트랜지션에 기인하여 트랜스듀서에 의해 발생된 전기 신호가 더 강해진다. 데이터 신호는 가능한 강하게 하고, 디스크 드라이브의 전기적 성능을 신뢰할 수 있을 정도로 보장하는 것이 바람직하다.
슬라이더에서 발생하는 일반적인 문제점은 활강 높이가 액추에이터의 레디얼 위치의 함수에 따라 디스크의 다양한 트랙 위에서 변경된다는 것이다. 그러므로 어떤 데이터 트랙에 있어서의 활강 높이는 다른 데이터 트랙에서의 활강 높이 보다 더 크게 된다. 따라서, 데이터 신호는 모든 데이터 트랙에서 강한 것은 아니다. 슬라이더의 활강 높이의 안정성을 향상시키기 위한 여러 가지 설계안이 제안되어 왔다.
예컨대, 상기 언급된 TPC는 "카타마란(catamaran)" 구성에서 2개의 레일을 갖는다. 여기서, 베어링 표면의 측면 에지 각각을 따라 TPC가 제공된다. 각각의 베어링 표면에 있어서, 슬라이더에 대한 스큐 각(skew angle)(즉, 자기 디스크의 접선(tangential) 속도와, 액추에이터의 레디얼 위치에 의해 결정된 슬라이더의 축 사이의 각)으로 인해, 디스크로부터 공기 흐름에 영향을 미치는 베어링 표면의 윤곽을 가압(pressurization)하고, 이러한 공기 흐름으로부터 베어링 표면의 윤곽에 인접하여 확장시킨다.
어떤 다른 공지된 슬라이더 설계안에 있어서, 회전 디스크를 마주보는 슬라이더의 면에 홈이 제공되어, 슬라이더와 디스크 사이에 서브-대기압(sub-ambient pressure)(즉, 1 대기압(1atm)보다 작은 압력)을 제공하여, 슬라이더가 동작 동안회전 디스크를 향해 끌어당겨지도록 한다. 서브-대기압은 반작용, 즉 디스크 표면으로부터 헤드를 들어올리는 슬라이더의 동작에 어느 정도 영향을 미친다. 그 결과, 활강 높이에서의 변화를 이상적으로 막아, 활강 높이를 엄격히 제어하게 된다.
또다른 슬라이더 설계안에 있어서, 갈매기형 홈 또는 홈이 에어 베어링 표면에 제공되어, 서브-대기압이 작용하는 중앙 홈과 슬라이더 외부 영역 사이에 공기 흐름을 허용하게 된다. 이렇게 하여, 슬라이더의 롤(roll)에서의 향상이 획득된다. 다른 카타마란 설계안에 있어서, 각각의 에어 베어링 표면은 디스크 표면 위로 각각의 스큐 각에 대한 일정한 에어 베어링 표면 영역을 가깝게 유지하기 위해 슬라이더의 중심부를 향해 더 좁게 형성되어 있다.
액추에이터의 레디얼 위치에 관계없이, 자기 디스크의 데이터 트랙 위의 활강 높이의 변동에 대한 개선된 제어를 제공하는 슬라이더 설계안이 필요하다. 또한, 슬라이더의 롤 각(roll angle)을 감소시키는 슬라이더의 설계안도 필요하다.
본 발명은 자기 저장 장치 또는 디스크 드라이브 장치의 부품, 특히 디스크에 형성된 다수의 트랙 위로 일정한 활강 높이를 제공하는 자기 에어 베어링 슬라이더(Magnetic air bearing slider)에 관한 것이다.
도 1은 본 발명의 슬라이더의 일 실시예를 나타낸 상면도.
도 1a 및 1b는 활강 높이와 롤 각을 제어하는 단부를 갖는 도 1의 슬라이더의 부가적 실시예를 나타낸 상면도.
도 1c는 본 발명의 실시예에 따라 활강 높이와 롤 각을 제어하기 위해, 1 및 2개의 단부를 각각 갖는 공지된 카타마란 슬라이더를 나타낸 상면도.
도 2는 도 1의 라인 a-a를 따라 절단한 면을 나타낸 측면도.
도 3은 디스크의 가장 안쪽에 있는 트랙 위에 슬라이더를 위치시키는 어셈블리를 나타낸 상면도.
도 4는 디스크의 중간에 있는 트랙 위에 슬라이더를 위치시키는 어셈블리를 나타낸 상면도.
도 5는 디스크의 가장 바깥쪽에 있는 트랙 위에 슬라이더를 위치시키는 어셈블리를 나타낸 상면도.
도 6은 슬라이더의 활강 높이 대 홈 깊이의 관계를 나타낸 그래프.
상기 문제점은 본 발명의 서브-대기압 슬라이더를 제공함으로써 해결될 수 있다. 본 발명의 슬라이더는 제 1 및 제 2레일 포함하며, 상기 각각의 레일은 슬라이더의 리딩 에지로부터 트레일링 에지까지 바닥면을 따라 연장한다. 슬라이더의 바닥면은 회전 디스크와 마주보는 면이다. 이 기술분야의 당업자는 본 발명의 슬라이더의 바닥면이 회전 디스크의 아래로 아암에 장착되면 위를 향할 것이고 회전 디스크의 위로 아암에 장착되면 아래를 향할 것이라는 것을 알 수 있을 것이다.
제 1 및 제 2 레일 각각은 슬라이더의 리딩 에지로부터 트레일링 에지까지소정 각으로 연장된 허벅지 영역(thigh region)과, 슬라이더의 측면으로부터 트레일링 에지를 향해 소정 각으로 연장된 발 영역(foot region)과, 슬라이더의 측면에서 발 영역을 허벅지 영역에 결합시키는 무릎 영역(knee region)을 포함한다. 제 1 및 제 2 허벅지 홈은 제 1 및 제 2 레일의 각 허벅지 영역의 측면을 향하여 위치한다. 제 1 및 제 2발 홈은 제 1 및 제 2레일의 발 영역 각각의 측면을 향하여 슬라이더의 하부면 상에 배치된다. 중앙 홈은 제 1 및 제 2 영역의 허벅지, 무릎 및 발 영역 사이에서 슬라이더의 바닥면에 위치한다.
제 1 및 제 2 레일은 동일하고 균일한 높이를 가질 수 있으며, 제 1 및 제 2 허벅지 홈과, 제 1 및 제 2 발 홈과, 중앙 홈은 동일하고 균일한 깊이를 가질 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 있어서, 적어도 하나의 테일(tail)이 슬라이더의 리딩 에지로부터 트레일링 에지를 향해 연장되게 제공되며, 중앙 홈을 적어도 2개의 부분으로 분리시킨다. 이렇게 하여, 슬라이더의 한 측면으로의 압력 이동이 방지된다.
공지된 슬라이더에서와 같이, 슬라이더의 리딩 에지에 테이퍼(taper)가 제공되어 슬라이더의 바닥면으로 공기 흐름을 보낼 수 있다. 또한, 슬라이더의 한 측면으로부터 이와 대향하는 다른 측면으로 연장하는 전방부를 제공할 수 있다. 전방부와 하나 이상의 테일은 제 1 및 제 2 레일의 높이와 균일하고 동일할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 있어서, 슬라이더에 대한 중앙 홈은 균일한 깊이를 갖도록 제조된다. 중앙 홈의 깊이가 균일하게 됨으로써, 회전 디스크의 트랙 위의슬라이더의 활강 높이는 균일한 깊이에서의 변동에 가장 영향을 받지 않게 된다. 이러한 균일한 깊이는 홈 깊이의 함수로서의 활강 높이는 회전 디스크의 모든 트랙에 대해 최소가 되도록 선택된다.
본 발명의 슬라이더 설계안은 디스크의 트랙의 전체에 더욱 균일한 활강 높이를 제공한다. 하나 이상의 테일을 부가함으로써 슬라이더의 롤을 더 잘 제어할 수 있다.
도 1 및 도 2에는 본 발명의 서브-대기압 슬라이더의 실시예가 도시되어 있다. 슬라이더(1)는 슬라이더의 리딩 에지에 위치하며 슬라이더(1) 아래로 공기 흐름을 보내는 테이퍼(3)를 구비한다. 이 실시예에 있어서, 슬라이더(1)와 테이퍼(3)의 폭은 60mil(즉, 0.06인치)이며, 테이퍼(3)의 길이와 깊이는 8mil이다. 테이퍼(3)는 전방부(4)와 접하게 된다. 슬라이더(1)의 길이를 따라, 공지된 카타마란 설계로부터 상당히 변경된 2개의 레일(5,7)이 제공되며, 각각의 레일(5, 7)은 3개의 주요 구성부분을 포함한다. 이 3개의 주요 구성부분은 허벅지 부분(5a,7a)과, 무릎 부분(5b,7b)과, 발 부분(5c,7c)이다. 이 실시예에 있어서, 슬라이더의 전방부(4)와, 레일(5,7)의 모든 부분(5a,7a,5b,7b,5c,7c)은 동일한 높이(예를 들어, 이 실시예에서 슬라이더의 높이는 17mil이다)를 갖는다.
슬라이더에는 여러 가지 홈 부분(11 내지 15)이 제공된다. 이 실시예에 있어서, 모든 홈 부분(11 내지 15)은 동일한 깊이(예를 들어, 홈 영역의 깊이는 제 1 및 제 2 레일(5,7)의 최상단에서 측정해서 약 150μ 인치가 된다)를 갖는다. 중앙 홈(11)은 레일의 허벅지 영역과 발 영역에 의해 어느 정도의 다이아몬드 형태를 갖는다. 허벅지 홈(12,13)은 허벅지 영역(5a,7a)의 외부 측면에 위치한다. 발 홈(14,15)은 발 영역(5c,7c)의 외부 측면에 위치한다.
이 기술분야에서 공지된 것과 같이, 자기 헤드(특히 도 1 및 도 2에는 도시안됨)는 발 영역(5c)(도 1에서는 "활성 레일"이라고 표시됨)에 인접하여 슬라이더(1)의 후방부에 결합된다.
본 발명의 슬라이더의 동작은 도 3 내지 도 5에 도시되어 있다. 디스크(17)가 회전할 때, 공기는 슬라이더의 아래로 흐르기 위해 슬라이더(1)의 테이퍼(3)에 의해 채널화된다. 디스크(17)가 처음 회전할 때 테이퍼(3)가 슬라이더(1)의 신속한 부상(take-off)에 도움을 준다. 공기는 슬라이더의 레일(5,7) 아래로 가압되어, 슬라이더(이어서 자기 헤드)가 디스크(17)의 표면으로부터 상승되도록 한다. 홈 영역(11 내지 15)에 있어서, 공기는 서브-대기압으로 "팽창"되어, 흡인력을 발생시켜 슬라이더(이어서 자기 헤드)가 이동중인 디스크쪽으로 당겨지게 한다.
도 3 내지 도 5에 도시된 것과 같이, 슬라이더(1)는 아암(19)과 액추에이터(21)에 장착되고, 이 액추에이터에 의해 슬라이더(1)와 자기 헤드를 원하는 트랙 위에 위치시킨다. 도 3에 있어서, 슬라이더(1)는 디스크(17)의 가장 안쪽 트랙에 인접하여 위치되어 있다. 다시 도 1을 참조하여, 제 1 및 제 2 레일(5,7)의 허벅지 영역(5a,7a)은 슬라이더(1)의 정면 중간 부분으로부터 바깥쪽으로 슬라이더의 2개의 대향 측면으로 연장되며, 여기서 무릎 부분(5b,7b)이 슬라이더의 측면과 접하게 된다. 허벅지 영역(5a,7a)이 전방부(4)와 이루는 각은 슬라이더가 가장 안쪽 트랙에 있을 때 슬라이더 스큐 각과 동일하도록 설계된다. 가장 안쪽 트랙은 접촉 개시-정지(contact start-stop:CSS) 죤으로 공지되었다. 가장 안쪽 트랙(이후, 안쪽 직경 또는 "ID(inner diameter)"라 한다)에서 디스크 표면 속도가 가장 낮다. 허벅지 영역(5a,7a)의 방향은 제 1 및 제 2 레일(5,7)의 아래로 가해지는 압력이 슬라이더(1)의 측면으로 누설되는 것을 방지하는데 도움이 된다(이로 인해 슬라이더는 바람직한 높이보다 낮게 활강하게 된다).
도 4에 있어서, 슬라이더(1)는 중간 트랙(즉, 안쪽 및 바깥쪽 트랙 사이의 평균 거리에 있는 트랙)에 위치한다. 중간 트랙에서, 스큐 각은 거의 제로가 된다. 슬라이더(1)의 허벅지 영역(5a,7a)의 설계에 의해, 이러한 영역들의 측면에 대한 압력 누설이 더욱 커진다. 허벅지 영역(5a,7a)에서의 누설에 기인한 압력 손실은 디스크(17)의 표면 속도를 증가시킴으로써 보상된다. 슬라이더(1)의 활강 높이는 발 홈(14,15)의 작동에 대해서만 제외하고 중간 트랙에서 가장 클 것이며, 이는 슬라이더(1)에 대한 가압 영역이 감소하게 되고, 제 1 및 제 2 레일(5,7)의 발 부분(5c,7c)에서 발생된 상승력이 감소하게 된다.
도 5에 있어서, 슬라이더(1)와 자기 헤드는 가장 바깥쪽 트랙(이후, 바깥쪽 직경 또는 "OD(outer diameter)"라 한다)에 위치한다. OD에서 큰 스큐 각으로 인해 레일(5,7)의 측면으로 누설되는 압력의 양이 커지게 된다. 슬라이더(1)의 허벅지 영역(5a,7a)의 설계에 의해, 이러한 영역들에는 상대적으로 작은 패드 길이 때문에 매우 작은 압력이 생기게 된다. 슬라이더(1) 아래에 가해지는 대부분의 압력은 슬라이더(1)의 무릎 영역(5b,7b) 아래에서 발생된다. 비록 무릎 영역 아래의 패드 영역이 작다고 하더라도, OD에서의 큰 디스크 표면 속도는 일정한 활강 높이를 유지하기 위해 슬라이더(1)의 레일(5,7) 아래로 충분한 압력을 발생시킨다.
상기 기술된 바와 같이, 홈 영역(11 내지 15)은 슬라이더를 디스크 표면으로 당기는 서브-대기압을 발생시킨다. 대부분의 서브-대기압은 중앙 홈(11)에 형성된다. 허벅지 홈(12,13)은 슬라이더(1)에 대해 여분의 롤의 안정성을 제공한다. 발 홈(14,15)은 슬라이더(1)의 발 영역에서의 유효 가압 영역을 감소시켜, 슬라이더가거의 제로에 가까운 스큐 각에서 디스크 표면 위로 너무 높게 활강하지 않도록 한다. 또한, 발 홈(14,15)은 레일(5,7)의 발 영역(5c,7c)을 재형성하여, 슬라이더(1)가 바깥쪽 트랙에 있을 때, 발 영역은 유입되는 공기와 평행하게 된다. 이 점에 있어서, 바깥쪽 레일(즉, 레일(5))의 활강 높이는 슬라이더의 설계에 의해 제어된다. 슬라이더 롤(즉, 가장 안쪽 레일(7)과 가장 바깥쪽 레일(7)의 활강 높이에서의 차)을 제어하기 위해, 안쪽 레일(즉, 레일(7))의 형태는 안쪽 레일의 활강 높이를 제어하기 위한 방식으로 조정될 수 있다.
본 발명의 또다른 실시예가 도 1a 및 1b에 도시되어 있다. 슬라이더(1)의 중앙 홈(11)은 슬라이더에서 서브-대기압에 대한 가장 큰 수용부(receptacle)이다. 중앙 홈(11)은 디스크(17) 표면 위의 슬라이더(1)의 활강 높이를 어떻게 일정하게 하는가, 또한 슬라이더(1)에 대한 롤의 양을 어떻게 일정하게 하는가에 큰 영향을 미친다. 슬라이더(1)에 대한 활강 높이와 롤을 제어하기 위한 부가적인 방법으로서, 하나 이상의 테일(2)이 중앙 홈(11)에 "부가"된다. 슬라이더의 제조에 있어서, 테일 영역은 중앙 홈(11)이 형성될 때 테일 영역 주위에 있는 물질을 에칭하거나 제거함으로써 형성된다.
슬라이더(1)가 큰 스큐 각을 가지게 되면, 공기가 슬라이더(1)의 아래로 흐를 때의 각도 커지게 된다. 이 결과, 레일(5,7)의 측면으로의 압력의 누설로 인해, 레일 아래의 압력이 변하고 압력의 중심이 이동되게 된다. 압력이 감소되면 활강 높이가 낮아지고, 압력 중심이 변함으로 인해서 롤 각이 증가하게 된다. 또한, 중앙 홈(11)은 한 레일의 활강 높이를 다른 레일의 크기의 편차를 결합시키기위한 기능을 한다. 테일(2)은 상대적으로 좁은 구조를 갖기 때문에, 에어 베어링 표면 형성에 기여하지 못한다. 반대로, 테일(2)은 중앙 홈(11)을 2개 이상의 볼륨으로 분리시켜, 중앙 홈(11)내의 서브-대기압의 분배에 의해 슬라이더(1)의 한 측면으로 완전하게 이동하는 것을 방지하게 된다. 테일(2)의 방향과 길이를 최적으로 함으로써, 슬라이더(1)의 롤 각에 대한 흡인력의 영향을 제어할 수 있다. 도 1a 및 1b에 도시된 점선은 테일(2)에 대한 가능한 방향과 길이를 나타낸다. 또한, 테일(2)을 사용함으로써, 한 테일의 활강 높이가 다른 테일 크기의 변경과 결부되는 것을 방지한다.
도 1c에 있어서, 종래의 카타마란 슬라이더는 상기 기술된 바와 같이 테일(4)을 구비하고 있다.
중앙 홈(11)의 깊이는 디스크의 모든 트랙에 대한 활강 높이에 영향을 미칠 수 있다. 압력의 변화와 공기의 흐름 경로도 활강 높이에 영향을 미칠 수 있다. 중앙 홈(11)에 대해 적절한 깊이를 선택함으로써, 활강 높이 값의 범위(즉, 디스크의 모든 트랙 위의 헤드의 최대 활강 높이와 최소 활강 높이 간의 차)는 통상적인 카타마란 타입의 슬라이더보다 더 작게 될 수 있다. 도 6에는 ID, MD(중간 직경) 및 OD에 대하여 X-축은 홈 깊이를 Y-축은 활강 높이를 나타내는 그래프(활강 높이는 홈 깊이의 함수로 도시되었음)가 도시되어 있다. 통상적인 홈 깊이가 200미크론이면, 슬라이더에 대한 활강 높이는 ID, MD 및 OD 곡선의 급격한 경사를 따라 떨어질 것이다. 이것으로, 선택된 홈 깊이에 좌우되는 활강 높이 감도와 슬라이더가 사용된 곳의 높이는 더 커질 것이다. 만일 ID, MD 및 OD 곡선의 경사가 최소일 때홈 깊이가 선택되면(즉, 균일한 깊이는 홈 깊이의 함수로서의 활강 높이가 회전중인 디스크의 모든 트랙에 대해 최소, 즉 110 내지 150마이크로인치 범위가 되게 선택됨), 허용공차 및 동작 높이에 기인한 홈 깊이의 변동에 대한 슬라이더의 감도는 최소로 된다. 전술한 기술을 이용하여 홈을 선택하는 다른 이점은 에어 베어링의 안정성이 최대로 되어, 활강 높이의 감도를 더 감소시키는데 도움을 주게 된다는 것이다.
Claims (24)
- 회전하는 디스크에 인접하도록 자기 판독/기록 헤드를 위치시키는 에어 베어링 슬라이더에 있어서,상기 회전하는 디스크와 마주보는 슬라이더 바닥면을 따라 상기 슬라이더의 리딩 에지로부터 트레일링 에지까지 연장되는 제 1 및 제 2레일을 포함하며,상기 제 1 및 제 2레일은:상기 슬라이더의 리딩 에지로부터 수직 측면 에지까지 소정 각으로 연장된 허벅지 영역:상기 슬라이더의 상기 측면 에지로부터 안쪽으로 소정 각도로 연장된 제 1부분, 상기 제 1부분으로부터 상기 측면 에지에 수직인 상기 트레일링 에지를 향해 상기 측면 에지와 평행한 방향으로 일정 각으로 연장된 제 2부분 및 상기 제 2부분으로부터 상기 트레일링 에지를 따라 상기 슬라이더의 상기 측면 에지로 연장된 제 3부분을 가지는 발 영역; 및상기 슬라이더의 측면에서 상기 발 영역을 상기 허벅지 영역과 결합시키는 무릎 영역을 포함하며,상기 제 1 및 제 2 레일은 상기 각각의 허벅지 영역의 측면을 향해 위치하고 연장되는 제 1 및 제 2 허벅지 홈을 형성하며,상기 제 1 및 제 2 레일은 상기 각각의 발 영역의 측면 에지를 향해 상기 슬라이더의 바닥면상에 위치하고 상기 발 영역의 측면 에지로 연장되는 제 1 및 제 2발 홈을 형성하며, 상기 레일은 각각의 발 홈과 허벅지를 분리하며,상기 제 1 및 제 2 레일은 상기 허벅지, 무릎 및 발 영역 사이에서 상기 슬라이더의 바닥면 상에 위치한 중앙 홈을 구비하는 것을 특징으로 하는 에어 베어링 슬라이더.
- 제 1항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 레일은 동일하고 균일한 높이를 갖는 것을 특징으로 하는 에어 베어링 슬라이더.
- 제 2항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 허벅지 홈, 제 1 및 제 2 발 홈, 및 중앙 홈은 유사하고 균일한 깊이를 갖는 것을 특징으로 하는 에어 베어링 슬라이더.
- 제 1항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 허벅지 홈, 제 1 및 제 2 발 홈, 및 중앙 홈은 유사하고 균일한 깊이를 갖는 것을 특징으로 하는 에어 베어링 슬라이더.
- 제 1항에 있어서, 상기 슬라이더의 리딩 에지로부터 트레일링 에지로 연장되며, 상기 중앙 홈을 적어도 2개의 부분으로 분리하는 적어도 하나의 테일을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 에어 베어링 슬라이더.
- 제 5항에 있어서, 상기 각각의 테일과 제 1 및 제 2 레일은 유사하고 균일한 높이를 갖는 것을 특징으로 하는 에어 베어링 슬라이더.
- 제 5항에 있어서, 상기 각각의 테일은 상기 슬라이더의 리딩 에지로부터 서정 각으로 연장되는 것을 특징으로 하는 에어 베어링 슬라이더.
- 제 5항에 있어서, 상기 각각의 테일은 상기 제 1 및 제 2 레일의 폭보다 더 좁은 것을 특징으로 하는 에어 베어링 슬라이더.
- 제 1항에 있어서, 상기 허벅지 영역이 상기 슬라이더의 리딩 에지로부터 연장되는 상기 각은 상기 슬라이더가 회전하는 디스크의 가장 안쪽 트랙에 있을 때 슬라이더의 스큐 각과 유사한 것을 특징으로 하는 에어 베어링 슬라이더.
- 회전하는 디스크에 인접하도록 자기 판독/기록 헤드를 위치시키는 서브-대기압 에어 베어링 슬라이더에 있어서,상기 슬라이더의 리딩 에지에 형성되며 공기 흐름을 회전하는 디스크와 마주보는 상기 슬라이더의 바닥면으로 향하게 하는 테이퍼와;상기 슬라이더의 제 1 측면 에지로부터 상기 슬라이더의 제 2 측면 에지로 연장하는 전방부와;상기 슬라이더의 바닥면을 따라 슬라이더의 상기 전방부로부터 상기 슬라이더의 트레일링 에지까지 연장되며, 상기 슬라이더의 리딩 에지로부터 상기 슬라이더의 측면 에지중 하나까지 소정 각으로 연장된 허벅지 영역; 상기 슬라이더의 측면 에지중 하나로부터 안쪽으로 소정 각으로 연장된 제 1부분, 상기 측면 에지에 평행한 방향으로 상기 슬라이더의 트레일링 에지쪽으로 연장하는 제 2부분, 및 상기 트레일링 에지를 따라 바깥쪽으로 상기 슬라이더의 측면 에지쪽으로 연장하는 제 3부분을 가진 연속 발 부분; 및 상기 슬라이더의 상기 측면중 하나에서 상기 발 영역을 상기 허벅지 영역과 결합시키는 무릎 영역을 포함하는 제 1 및 제 2 레일과;상기 제 1 및 제 2 레일의 각 허벅지 영역의 측면 에지를 향하여 위치한 제 1 및 제 2 허벅지 홈과;상기 제 1 및 제 2 레일의 각 발 영역의 측면 에지중 하나를 향해 상기 슬라이더의 바닥면 상에 위치한 제 1 및 제 2 발 홈과;상기 제 1 및 제 2 레일의 허벅지, 무릎 및 발 영역 사이에서 상기 슬라이더의 바닥면 상에 위치한 중앙 홈을 구비하는 것을 특징으로 하는 서브-대기압 에어 베어링 슬라이더.
- 제 10항에 있어서, 상기 전방부와 제 1 및 제 2 레일은 유사하고 균일한 높이를 갖는 것을 특징으로 하는 서브-대기압 에어 베어링 슬라이더.
- 제 11항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 허벅지 홈, 제 1 및 제 2 발 홈, 및 중앙 홈은 유사하고 균일한 깊이를 갖는 것을 특징으로 하는 서브-대기압 에어 베어링 슬라이더.
- 제 10항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 허벅지 홈, 제 1 및 제 2 발 홈, 및 중앙 홈은 유사하고 균일한 깊이를 갖는 것을 특징으로 하는 서브-대기압 에어 베어링 슬라이더.
- 제 10항에 있어서, 상기 슬라이더의 리딩 에지로부터 트레일링 에지로 연장되며, 상기 중앙 홈을 적어도 2개의 부분으로 분리하는 적어도 하나의 테일을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 서브-대기압 에어 베어링 슬라이더.
- 제 14항에 있어서, 상기 각각의 테일과 제 1 및 제 2 레일은 유사하고 균일한 높이를 갖는 것을 특징으로 하는 서브-대기압 에어 베어링 슬라이더.
- 제 14항에 있어서, 상기 각각의 테일은 상기 슬라이더의 리딩 에지로부터 45도 각으로 연장되는 것을 특징으로 하는 서브-대기압 에어 베어링 슬라이더.
- 제 14항에 있어서, 상기 각각의 테일은 상기 제 1 및 제 2 레일의 폭보다 좁은 것을 특징으로 하는 서브-대기압 에어 베어링 슬라이더.
- 제 10항에 있어서, 상기 허벅지 영역이 상기 슬라이더의 리딩 에지로부터 연장되는 상기 각은 상기 슬라이더가 회전하는 디스크의 가장 안쪽 트랙에 있을 때슬라이더의 스큐 각과 유사한 것을 특징으로 하는 서브-대기압 에어 베어링 슬라이더.
- 제 10항에 있어서, 상기 레일은 상기 각각의 발 및 허벅지 홈을 분리하는 것을 특징으로 하는 서브-대기압 에어 베어링 슬라이더.
- 회전하는 디스크에 인접하도록 자기 판독/기록 헤드를 위치시키는 서브-대기압 에어 베어링 슬라이더에 있어서,상기 슬라이더의 리딩 에지에 형성되며 공기 흐름을 회전하는 디스크와 마주보는 상기 슬라이더의 바닥면으로 향하게 하는 테이퍼와;상기 슬라이더의 제 1 측면 에지로부터 상기 슬라이더의 제 2 측면 에지로 연장하는 전방부;상기 슬라이더의 바닥면을 따라 상기 슬라이더의 전방부로부터 트레일링 에지까지 상기 제 1 및 제 2측면 에지를 따라 연장하는 제 1 및 제 2 레일을 포함하는데, 상기 제 1 및 제 2레일은 상기 전방부로부터 상기 슬라이더의 각각의 측면 에지쪽으로 소정 각으로 바깥쪽으로 연장하는 허벅지 영역을 가지며, 상기 측면 에지는 상기 전방부, 허벅지 영역 및 각각의 측면 에지에 의하여 한정되는 홈 영역을 형성하며;상기 제 1 및 제 2 레일 사이의 상기 슬라이더의 바닥면 상에 위치한 중앙 홈과;상기 슬라이더의 전면부로부터 상기 슬라이더의 트레일링 에지로 연장되며, 상기 중앙 홈을 적어도 2개의 부분으로 분리하는 적어도 하나의 테일을 구비하는 것을 특징으로 하는 서브-대기압 에어 베어링 슬라이더.
- 제 20항에 있어서, 상기 중앙 홈은 유사하고 균일한 깊이를 갖는 것을 특징으로 하는 서브-대기압 에어 베어링 슬라이더.
- 제 20항에 있어서, 상기 각각의 테일은 상기 슬라이더의 리딩 에지로부터 소정 각으로 연장되는 것을 특징으로 하는 서브-대기압 에어 베어링 슬라이더.
- 제 20항에 있어서, 상기 각각의 테일은 상기 제 1 및 제 2 레일의 폭보다 더 좁은 것을 특징으로 하는 서브-대기압 에어 베어링 슬라이더.
- 제 20항에 있어서, 상기 전방부, 각각의 테일 및 제 1 및 제 2 레일은 유사하고 균일한 높이를 갖는 것을 특징으로 하는 서브-대기압 에어 베어링 슬라이더.
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