JP2705026B2

JP2705026B2 - 磁気ヘッド

Info

Publication number: JP2705026B2
Application number: JP62176631A
Authority: JP
Inventors: 城一朗江▲崎▼; 善映伊藤; 幹男松崎
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 1987-07-15
Filing date: 1987-07-15
Publication date: 1998-01-26
Anticipated expiration: 2013-01-26
Also published as: JPS6421713A; US4928195A

Description

【発明の詳細な説明】〈産業上の利用分野〉本発明は、浮上面を有するスライダに読み書き素子を
備えさせた浮上型の磁気ヘッドに関する。〈従来の技術〉従来より、磁気ディスク装置には、磁気記録媒体の走
行によって生じる動圧を利用して、磁気記録媒体との間
に微小な空気ベアリングによる間隙を保って浮上する磁
気ヘッドが用いられている。浮上型磁気ヘッドは、磁気
記録媒体と対向する面側に浮上面を有するスライダに、
読み書き素子を付着させた基本的な構造を持っており、
磁性体でなるスライダにコイルを有するＵ状コアを装着
したウィンチェスタ型磁気ヘッド、非磁性セラミック構
造体でなるスライダの溝内に、バルク型の読み書き素子
を挿着したコンポジット型磁気ヘッド、メタル．イン．
ギャップ（MIG）型磁気ヘッド、及び、スライダの上に
半導体製造テクノロジーと同様のプロセスにしたがって
薄膜読み書き素子を形成した薄膜磁気ヘッドが知られて
いる。これらの各種の浮上型磁気ヘッドのうち、ウィンチェ
スタ型磁気ヘッド、コンポジット型磁気ヘッドまたはMI
G型磁気ヘッドは、例えば特公昭57−569号、特公昭58−
21329号、特公昭58−28650号、特開昭62−88112号各公
報等で公知であり、その読み書き素子は、コアに線材に
よる巻線を施したバルクタイプとなっている。薄膜磁気ヘッドは、例えば特開昭55−84019号、特開
昭55−84020号公報等で公知である。薄膜磁気ヘッド
は、スライダの上に薄膜でなる磁性膜、導体コイル膜、
コイル層間絶縁膜及び保護膜等を形成した構造となって
いる。薄膜磁気ヘッドは、バルクタイプの浮上型磁気ヘ
ッドと比較して、導体コイル膜のインダクタンス値が１
桁以上も低くなるので、高周波特性が極めて良好であ
り、本質的に高速応答性に優れ、高密度記録に適した磁
気ヘッドとなる。この特徴のために、薄膜磁気ヘッド
は、コンピュータとの組合せにおいては、バルクタイプ
の浮上型磁気ヘッドでは達成できない領域まで、データ
転送の高速化及び磁気記録の高密度化を図り得るものと
して期待されている。しかも、薄膜磁気ヘッドは、磁気回路を構成する磁性
膜が高飽和磁束密度及び高透磁率のパーマロイ等でなる
金属磁性材料で構成されていること、磁気ギャップ長を
小さくできること、読み書きポール幅を極めて狭小にで
きること等の特徴があり、導体コイル膜及びコアとなる
磁性膜のインダクタンス値が低いことによる高周波特性
の良さと相まって、バルクタイプの浮上型磁気ヘッドよ
りも著しく優れた高速応答性及び高記録密度を達成でき
る。次に、浮上型磁気ヘッドの具体例を第16図を参照して
説明する。第16図は従来の磁気ヘッドの斜視図を示し、
１は例えばセラミック構造体でなるスライダ、２は読み
書き素子である。スライダ１は磁気記録媒体と対向する面に、間隔をお
いて２つのレール部101、102を形成すると共に、レール
部101、102の表面を平面度の高い浮上面103、104として
ある。スライダ１の外形寸法は、例えば米国特許第4,624,04
8号明細書等に示されるように、通常、浮上面103、104
から反対側の対向面105までの厚みｄが0.85mm、空気流
出方向の長さＬが4mm、空気流出方向と直交する方向の
幅ｗが3.2mmという如く選定されている。浮上面103、10
4側には、磁気記録媒体との組合せにおいて、矢印ａ方
向に流れる空気流に対して流入端となる一端部側に、テ
ーパ部103a、104aを設けた構造となっている。読み書き素子２は、薄膜磁気ヘッドにおいては、IC製
造テクノロジと同様のプロセスにしたがって形成された
薄膜素子であり、テーパ部103a、104aとは反対側の空気
流出端部側に付着されている。図示はされていないけれ
ども、ウィンチェスタ型磁気ヘッド、コンポジット型磁
気ヘッドまたはMIG型磁気ヘッドは、コアに線材による
巻線を施したバルクタイプとなる。読み書き素子２を薄膜素子として構成した場合は、読
み書き素子２のディメンションは、要求される電磁変換
特性を満たすため、空気流出方向と直交する方向の径D₁
が約0.3mm、浮上面103、104から対向面105の方向への径
D₂が約0.4mmとなる。更に、薄膜磁気ヘッドでは、読み
書き素子を付着させたスライダ１の側端面に取出電極20
1、202が設けられる。これらの取出電極201、202は、読
み書き素子２の図示しない導体コイル膜に導通接続さて
いる。取出電極201、202は、磁気ディスク装置に導かれ
るリード線が接続される部分であり、リード線接続面積
を確保するため、空気流出方向ａと直交する方向の長さ
l₁が0.5mm程度で、浮上面103、104からその対向面105の
方向で見た線幅h₁が約0.2mmとなっている。上述の薄膜磁気ヘッドは、フォトリソグラフィ等の高
精度パターン形成技術を駆使して、スライダ１となるウ
エハ上に多数個の薄膜読み書き素子を形成した後、ウエ
ハに切断加工を施して薄膜読み書き素子を取出し、レー
ル部101、102等に必要な溝入れ加工及び浮上面103、104
の研磨加工等を経て製造される。磁気ディスク装置として使用する場合は、磁気ヘッド
は図示しないジンバル支持装置の先端部に装着し、スラ
イダ１の浮上面103、104を磁気ディスクの表面にバネ接
触させ、この状態で起動停止を行なう、いわゆるコンタ
クト．スタート．ストップ（以下CSSと称する）方式に
よって駆動される。磁気ディスクが静止しているとき
は、バネ圧により浮上面103、104が磁気ディスクの面に
押付けられているが、磁気ディスクが回転すると、第17
図に示すように、スライダ１のテーパ面103a、104aを含
む浮上面103、104に揚力動圧が発生し、この動圧とジン
バルのバネ圧Ｐと釣り合う浮上量ｇで浮上する。〈発明が解決しようとする課題〉上述のディメンションを有する従来の磁気ヘッドは、
浮上量0.3μｍ以上の領域で安定した浮上特性が得られ
る。しかし、磁気記録の高密度化に対応するため、浮上
量ｇを樹等意の1/3以下の0.1μｍ以下に設定した場合、
安定した浮上特性を得ることが困難であった。その理由
は、従来の磁気ヘッドにおいて、浮上量を0.1μｍ以下
に低く抑えようとすると、例えば動圧と支持バネ圧との
間の適正なバランスを保つことが困難になり、フライト
姿勢（浮上姿勢）が崩れるためと、推測される。フライト姿勢については、ロール角によって定量的に
説明できる。第18図は磁気ディスＭと磁気ヘッドとの間
に生じるロール角を説明する図で、βはロール角を示し
ている。ロール角βが大きくなると、回転内周側で見た
浮上量g₁と、回転外周側で見た浮上量g₂との差が大きく
なる。ロール角が変化した場合、磁気ディスクの上下動
がない場合でも、スライダ側の問題として、浮上量が、
磁気ディスクとレール下面間の距離である設計中心から
一定の割合で変化（静的隙間変動）し、フライト姿勢が
崩れる（静的隙間変動が大きくなる）。厚みｄが0.85mm、空気流出方向の長さＬが4mm、空気
流出方向と直交する方向の幅ｗが3.2mmの如く選定され
たディメンションをもつ従来の磁気ヘッドにおいて、浮
上量ｇを従来の1/3以下の0.1μｍ以下に設定した場合、
ロール角を、かなり大きな、ある値以下に低下させるこ
とが困難になり、そのためにフライト姿勢が崩れたもの
と推測される。フライト姿勢が崩れると、実効的な浮上量が大きくな
り、スペーシングロスが増えるため、高密度記録に限界
を生じる。なお、フライト姿勢の崩れは、上述したよう
に、磁気ディスクの上下動がないとした場合のスライダ
側の問題であるので、磁気ディスクの回転により生じる
面外振動やその表面に存在するうねり等を原因として、
回転するディスクの上下動により浮上隙間（浮上量）が
波打って変動する現象（動的隙間変動または追従性）と
は、異なる技術的項目として、区別して扱う必要があ
る。そこで、本発明の課題は、浮上安定性に優れ、高密度
記録に適した浮上型磁気ヘッドを提供することである。〈課題を解決するための手段〉上述した課題を解決するため、本発明者等は、浮上安
定性に優れたスライダを得るべく、磁気ヘッドのディメ
ンションに関して鋭意研究を行なった。その結果、浮上
面からその対向面までの厚みが0.65mm以下、空気流出方
向の長さが1mm〜3mm、空気流出方向と直交する方向の幅
が1mm〜2.5mmのディメンションを持つスライダは、低浮
上量を保ちつつ、高い浮上安定性を確保できることを見
出したものである。上記ディメンションを持つ磁気ヘッドが、何故、高い
浮上安定性を有することになるのか、その理由は必ずし
も明確ではないが、上記ディメンショを持つ磁気ヘッド
は、従来の磁気ヘッドに比較して、ロール角度（または
ロール値）及びその変化幅が予想し得る範囲を越えて著
しく小さくなり、フライト姿勢が安定に保たれるためと
推測される。ロール角度及びその変化幅を小さくする手段として、
本願発明では、スライダの形状選定によって対応してい
るので、スライダの運動中心変更等の操作が不要であ
る。このため、スライダ運動中心に対する質量の偏り、
運動モーメントの不均一性等の問題を生じることなく、
浮上姿勢を安定させ、信頼性を確保したままで、浮上量
を低下させることが可能になる。浮上面からその対向面までの厚みｄが0.65mmを超える
と浮上安定性が悪くなる。その理由は、重心位置がジン
バルとの接続面である対向面側に寄りに移るためと推測
される。また、厚みが薄くなり過ぎると、スライダの剛
性が低下し、スライダにネジレや変形を生じ、空気ベア
リング面の平面度が確保できなくなる。従って、厚みｄ
は、0.65mm以下の範囲で、必要な空気ベアリング面の平
面度を確保し得る下限値に設定する。また、長さＬ及び幅ｗが1mmより小さくなると、浮上
安定性が悪くなる。その理由は、安定な浮上特性を確保
するのに充分な浮上面面積を確保できなくなるためと推
測される。〈実施例〉第１図は本発明に係る磁気ヘッドの斜視図、第２図は
スライダの正面図、第３図は同じく浮上面側から見た底
面図、第４図は側面図である。図において、第16図と同
一の参照符号は同一性ある構成部分を示している。スラ
イダ１は、浮上面103、104から反対側の対向面105まで
の厚みｄを0.65mm以下とし、空気流出方向（走行方向）
ａの長さＬを1mm〜3mmとし、空気流出方向ａと直交する
方向の幅ｗを1mm〜2.5mmとしてある。読み書き素子２の
付着部分の厚みは長さＬに比較して実質的に無視できる
から、前記長さＬは、実質的に、読み書き素子２を含め
た寸法である。実施例における読み書き素子２は薄膜素
子２である。また、第１図〜第４図の実施例に示す如く、スライダ
１の浮上面103、104は、テーパ面を持たない平面状とす
ることもできる。空気流出方向ａで見た浮上面103、104
の端部（イ）、（ロ）は、CSS時における磁気ディスク
の表面との引掛りをなくすため、弧状に形成するのが望
ましい。他の端部（ハ）、（ニ）も弧状に形成できる。
また、幅方向の略中間部に１本のレール部を設け、この
レール部の表面を浮上面とする構造をとることも可能で
ある。この構造の場合は、全体の小型化を図るのに都合
がよい。第５図は本発明に係る磁気ヘッドの別の実施例におけ
る斜視図を示している。第５図の実施例では、第16図の
従来例と同様に、浮上面103、104にテーパ面103a、104a
を設けてある。上記の磁気ヘッドによれば、記憶領域の増大と共に、
ヘッド支持装置との組合せにおいて、0.2μｍ以下の低
浮上量で、安定した浮上特性が得られ、高い耐久性が得
られる。次に具体例な実施例を上げて説明する。第１図
〜第４図の実施例に示す構造において、スライダ１の外
形寸法を、厚みｄ＝0.65mm 長さＬ＝2.8mm 幅ｗ＝2.3mm 浮上面103、104の幅w₁＝0.3mmとした。上記磁気ヘッドをヘッド支持装置に取付けて磁気ディ
スク装置を得た。第６図はこのようにして得られた磁気
ディスク装置と磁気ディスクとの関係を示す図で、Ｍは
磁気ディスク、３はヘッド支持装置、４は位置決め機構
である。磁気ディスクＭは図示しない回転駆動機構によ
り、矢印ａの方向に回転駆動される。ヘッド支持装置３
は位置決め機構４により、回転直径O₁上で、矢印b₁また
はb₂の方向に駆動されて位置決めされ、それによって所
定のトラッにおいて、磁気ディスクＭと磁気ヘッドとの
間で磁気記録．再生が行な行なわれる。第６図に示す磁
気ディスク装置は、リニアアクチュエータ型磁気ディ
スク装置と称されている。この他に、ヘッド支持装置を
磁気ディスクの面上で回転駆動し、磁気ディスクＭの回
転方向に対する磁気ヘッドの角度（スキュー角）を変え
ながら位置決めするスイングアーム型磁気ディスク装置
も知られており、このようなタイプにも、本願発明は当
然適用可能である。ヘッド支持装置３は、位置決め機構４に取付けられる
剛性アーム部31に、弾性金属薄板でなる支持板32の一端
を、結合具311、312によって取付け固定すると共に、支
持体32の長手方向の一端にある自由端に、同じく金属薄
板でなる可撓体33を取付け、この可撓体33の下面に、本
発明に係る磁気ヘッド34を取付けた構造となっている。
支持体32は剛性アーム部31に取付けられる部分が弾性バ
ネ部321となっていて、この弾性バネ部321に連続して剛
性ビーム部322を形成してある。剛性ビーム部322は両側
に折曲げ形成したフランジ322a、322bを有し、磁気ディ
スクＭに磁気ヘッド34を押付ける荷重力を得るようにな
っている。実施例では、磁気ヘッド34から磁気ディスク
Ｍへの荷重が9.5gとなるように、剛性アーム部31、支持
体32及び可撓体33の長さ、板厚及びバネ性等を定めた。第７図はヘッド支持装置の要部における正面図、第８
図は同じく浮上面側から見た底面図である。可撓体33は
支持体32の長手方向軸線O₂と略平行して伸びる２つの外
側可撓性枠部331、332と、支持体32から離れた端におい
て外側可撓性枠部331、332を連結する横枠333と、横枠3
33の略中央部から外側可撓性枠部331、332に略平行する
ように伸びていて先端を自由端とした中央舌状部334と
を有して構成され、横枠333のある方向とは反対側の一
端を、支持体32の自由端付近に溶接（ホ）等の手段によ
って取付けてある。可撓体33の中央舌状部334の上面には、例えば半球状
等の荷重用突起335が設けられていて、この荷重用突起3
35により、支持体32の自由端から中央舌状部334へ荷重
を伝えるようにしてある。中央舌状部334の下面には本
発明に係る磁気ヘッド34を接着等の手段によって固着し
てある。第６図の構成において、磁気ディスクＭの周速が9m/s
となる部分で浮上させたところ、0.09μｍの浮上量が得
られた。また、スライダ１のディメンションを前述のような寸
法に設定し、トラック幅８μｍ、トラックピッチ12.7μ
ｍの一般的な薄膜読み書き素子を形成した場合、従来寸
法のスライダを用いた薄膜磁気ヘッドよりも、磁気ディ
スクＭ上での記憶領域を、約80トラック余分に増やすこ
とができた。第９図は第６図〜第８図に示した磁気ディスク装置の
浮上特性測定データを示す図である。第９図の測定デー
タは、第10図に示すような測定システムによって得られ
たものである。第10図において、５はアコースチック．
エミッション．センサ（以下AEセンサと称する。）、６
はフィルタ、７は増幅器、８はオシロスコープである。
第10図における測定条件は次の通りである。磁気ヘッド34の浮上量;0.09μｍバネ荷重;9.5g 磁気ディスクＭの周速;9m/s 測定周波数;150kHz〜400kHz 増幅率;60dB 磁気ディスクＭの表面平滑性;Rmax＜100Å オシロスコープ8;X軸5sec/div Ｙ軸50mv/div 第９図の測定データに示すように、本発明に係る浮上
型磁気ヘッド34を使用した磁気ディスク装置では、AEセ
ンサ主が殆ど生じていない。このことから、本発明に係
る浮上型磁気ヘッドは、浮上量が0.09μｍの低い値にな
っても、フライト姿勢が崩れず、安定な浮上特性が得ら
れることが解る。本発明に係る磁気ヘッドが、低浮上量で安定した浮上
姿勢を保つことは、第11図〜第14図の実測データによっ
ても裏付けられる。第11図〜第14図のデータは、ヘッド
支持装置を磁気ディスクの面上で回転駆動し、磁気ディ
スクＭの回転方向に対する磁気ヘッドの角度（スキュー
角）を変えながら位置決めするスイングアーム型磁気デ
ィスク装置によって得られたものである。第11図〜第14図において、横軸に磁気ディスクの周速
（m/s）及び磁気ヘッドのスキュー角（度）を取り、縦
軸にロール値（μｍ）を取ってある。ロール値は空気ベ
アリング面における外周側浮上量と内周側浮上量との絶
対値差である。例えば第17図を参照すると、レール101
の浮上量g₂とレール102の浮上量g₁との差｜g₂−g₁｜と
なる。従って、ロール値が大きいことと、ロール角が大
きいことは同義である。第11図は直径1.8インチの磁気
ディスクを用いた場合の特性、第12図は直径2.5インチ
の磁気ディスクを用いた場合の特性、第13図は3.5イン
チの磁気ディスクを用いた場合の特性、第14図は5.25イ
ンチの磁気ディスクを用いた場合の特性をそれぞれ示し
ている。第11図〜第14図を通して、データプロット点に
表示された□印は、Ｌ×Ｗ×ｄ＝2.8×2.3×0.65 のディメンションを持つ磁気ヘッドを用いた場合のデー
タを示し、＋印は、Ｌ×Ｗ×ｄ＝２×1.6×0.45 のディメンションを持つ磁気ヘッドを用いた場合のデー
タを示し、△印はＬ×Ｗ×ｄ＝４×3.2×0.85 のディメンションを持つ磁気ヘッドを用いた場合のデー
タをそれぞれ示している。従って、△印は従来の磁気ヘ
ッドのデータを表示し、□印及び＋印は本発明に係る磁
気ヘッドのデータを表示している。第11図〜第14図に示すように、本発明に係る磁気ヘッ
ドは、従来の磁気ヘッドよりもロール値、即ちロール角
が小さくなっている。特に周速が大きくなる外周に向か
う程、本発明に係る磁気ヘッドのロール角は、従来の磁
気ヘッドのロール角よりも著しく小さくなる。しかも、
本発明に係る磁気ヘッドは、磁気ディスクの最内周と最
外周との間におけるロール値の差が、従来の磁気ヘッド
と比較して、著しく小さくなっている。このため、本発
明によれば、磁気ディスクの全面にわたって、浮上姿勢
の安定した磁気ヘッドが得られる。また、ロール角が小
さくなるために、実効的な浮上量が低下し、スペーシン
グロスが減少し、高記録密度に適した磁気ヘッドが得ら
れる。第11図〜第14図のデータには、更に注目すべき技術的
事項が含まれている。即ち、ロール値またはロール角が
磁気ヘッドのディメンションに比例するのであれば、
（2.8×2.3×0.65）のディメンションを有する磁気ヘッ
ドのデータである□印は、（４×3.2×0.85）のディメ
ンションを持つ従来の磁気ヘッドのデータである△印の
データの70％前後でなければならない。また、（２×1.
6×0.45）のディメンションを有する磁気ヘッドのデー
タである＋印は、（４×3.2×0.85）のディメンション
を持つ従来の磁気ヘッドのデータである△印のデータの
50％前後の位置になければならい。ところが、第11図〜
第14図のデータは、そのようにはなっていない。（2.8
×2.3×0.65）及び（２×1.6×0.45）のディメンション
を持つ磁気ヘッドのデータである□印、＋印は、互いに
接近した値を示しており、（４×3.2×0.85）のディメ
ンションを有する従来の磁気ヘッドのデータである△印
との間に、明らかな有意差が認められる。これらのデー
タを見ると、デイメンション比75％前後にロール角を低
下させるクリティカルポイントがあると推測することが
できる。しかも、第11図〜第14図を見ると、上述の有意差は、
磁気ディスクと磁気ヘッドとの間の相対速度が大きくな
る外周側において特に顕著に現れている。従って、本来
的にロール角を低下させなければならない磁気ディスク
外周側において、ロール角を予測可能範囲を超えて低下
させ、実効的な浮上量を低下させ、スペーシングロスを
減少させ、高密度記録を達成できる。第６図に示したリニアアクチュエータ型磁気ディス
ク装置でも、同様のロール低減作用が得られる。第15図
はリニアアクチュエータ型磁気ディスク装置における
磁気ディスク周速（m/s）とロール値（μｍ）との関係
をグラフ化して示す図である。100％と表示されている
特性は、Ｌ×ｗ×ｄ＝４×3.2×0.85 のディメンションを持つ磁気ヘッドを用いた場合の特
性、70％と表示されている特性は、Ｌ×ｗ×ｄ＝2.8×2.3×0.65 のデメンションを持つ磁気ヘッドを用いた場合の特性、
50％と表示されている特性は、Ｌ×ｗ×ｄ＝２×1.6×0.45 のデメンションを持つ磁気ヘッドを用いた場合の特性を
それぞれ示している。第15図を見ると、（2.8×2.3×0.65）及び（２×1.6
×0.45）のディメンションを有する磁気ヘッドを用いた
場合、（４×3.2×0.85）のディメンションを有する磁
気ヘッドを用いた場合より、ロール値が、第11図〜第14
図で説明したと同様に、有意差をもって低下しているこ
とが分る。しかも、この有意差は磁気ディスクと磁気ヘ
ッドとの間の相対速度が大きくなる外周側において特に
顕著に現れている。従って、リニアアクチュエータ型
磁気ディスク装置を構成した場合でも、本来的にロール
角を低下させなければならない磁気ディスク外周側にお
いて、ロール角を予測可能範囲を超えて低下させ、実効
的な浮上量を低下させ、スペーシングロスを減少させ、
高密度記録を達成できる。このように、本発明によれば、従来の磁気ヘッドとの
間のディメンション比からは推測できない範囲でロール
角を低下させ、浮上姿勢の安定した磁気ヘッドを提供で
きるという特有の効果が得られる。〈発明の効果〉以上述べたように、本発明によれば、次のような効果
が得られる。（ａ）スライダは、浮上面からその対向面までの厚みが
0.65mm以下であり、空気流出方向の長さが1mm〜3mmであ
り、空気流出方向と直交する方向の幅が1mm〜2.5mmであ
るから、高い浮上安定性を有し、高密度記録に適した磁
気ヘッドが得られる。（ｂ）従来の磁気ヘッドとの間のディメンション比から
は推測できない範囲でロール角を低下させ、浮上姿勢を
安定させた、高密度記録に適した磁気ヘッドを提供でき
る。（ｃ）ロール角度を小さくする手段として、スライダの
形状選定によって対応しているので、スライダ運動中心
に対する質量の偏り、運動モーメントの不均一性等の問
題を生じることなく、浮上姿勢を安定させ、信頼性を確
保したままで、浮上量を低下させ得る磁気ヘッドを提供
できる。

【図面の簡単な説明】第１図は本発明に係る磁気ヘッドの斜視図、第２図はス
ライダの正面図、第３図は同じく浮上面側から見た底面
図、第４図は同じくその側面図、第５図（Ａ）、（Ｂ）
は本発明に係る磁気ヘッドの別の実施例における斜視
図、第６図は本発明に係る磁気ヘッドを使用した磁気デ
ィスク装置を示す図、第７図はヘッド支持装置の要部に
おける正面図、第８図は同じく浮上面側から見た底面
図、第９図は本発明に係る磁気ヘッドを使用した磁気デ
ィスク装置の浮上安定性測定データを示す図、第10図は
第９図の測定データを得るための測定システムを示す
図、第11図〜第14図は磁気ディスク周速（m/s）及び磁
気ヘッドのスキュー角（度）とロール値（μｍ）との関
係を示すデータ、第15図はリニアアクチュエータ型磁気
ディクス装置における磁気ディスク周速（m/s）とロー
ル（μｍ）との関係をグラフ化して示す図、第16図は従
来の磁気ヘッドの斜視図、第17図は浮上型の磁気ヘッド
の動作状態を示す図、第18図は同じく浮上型磁気ヘッド
の動作状態を示す図である。１……スライダ２……読み書き素子 103、104、106……浮上面ｄ……浮上面からその対向面までの厚みＬ……空気流出方向の長さｗ……空気流出方向と直交する方向の幅

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者松崎幹男東京都中央区日本橋１丁目13番１号ティーディーケイ株式会社内 (56)参考文献「発明協会公開技報」Ｖｏｌ．11− 29、公技番号86−8397（1986年６月20 日、発明協会発行) 「研究実用化報告」第26巻第２号（1977年、日本電信電話公社、武蔵野通信研究所発行）第407〜413頁「電気学会雑誌」第105巻４号第35〜 41頁（昭和60年４月20日発行)

Claims

(57)【特許請求の範囲】１．磁気記録媒体と対向する面側に浮上面を有するスラ
イダの空気流出端部側に、薄膜素子でなる読み書き素子
を付着させた磁気ヘッドであって、前記スライダは、前記浮上面からその対向面までの厚み
が0.65mm以下であり、空気流出方向の長さが1mm〜3mmで
あり、空気流出方向と直交する方向の幅が1mm〜2.5mmで
あり、前記スライダは、磁気記録媒体と対向する面側にレール
部を有し、前記レール部の表面が前記浮上面を構成して
おり、前記浮上面は、前記空気流出端部近傍の幅が0.3mm以下
であることを特徴とする磁気ヘッド。２．前記浮上面は、空気流入部にテーパ面を持たないこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の磁気ヘッ
ド。