JPH05342530A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents

薄膜磁気ヘッド

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JPH05342530A
JPH05342530A JP15456192A JP15456192A JPH05342530A JP H05342530 A JPH05342530 A JP H05342530A JP 15456192 A JP15456192 A JP 15456192A JP 15456192 A JP15456192 A JP 15456192A JP H05342530 A JPH05342530 A JP H05342530A
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JP
Japan
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sliding surface
medium
magnetic pole
magnetic head
thin film
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP15456192A
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English (en)
Inventor
Naoyuki Yamamoto
尚之 山本
Masaki Shinohara
正喜 篠原
実 ▲高▼橋
Minoru Takahashi
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は磁気ディスク装置等に用いる集積一
体型の薄膜磁気ヘッドに関し、主体とする絶縁性屈曲体
の素子部における突出部の媒体摺動面が磁気記録媒体面
との接触動作により摩耗が生じても、該媒体摺動面に露
出する主磁極先端が磁気記録媒体面に安定に接触摺動さ
せることを目的とする。 【構成】 媒体摺動面32b を有する突出部32a を備えた
素子部32と支持部13を一体に構成した細長形状の絶縁性
屈曲体31を有し、該屈曲体31の素子部32内に電磁変換用
の主磁極14を先端が突出部32a の媒体摺動面32b に露出
するように埋設すると共に、該主磁極14に沿うように前
記屈曲体31の素子部32から支持部13に跨がって薄膜コイ
ル15及び信号導体線17を埋設してなる薄膜磁気ヘッドに
おいて、前記素子部32における突出部32a の媒体摺動面
32b を、該突出部32a の前端から後端に向かって傾斜し
たテーパー面状にした構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は小型な磁気ディスク装置
等に用いられる記録・再生用の集積一体型の薄膜磁気ヘ
ッドに関するものである。
【0002】コンピュータシステムの大容量ファイル装
置として用いられる磁気ディスク装置では、近年、情報
量の増大により益々大容量化及び小型化が進められ、高
密度記録化が要求されている。
【0003】その高密度記録化に伴って記録媒体に対す
る磁気ヘッドの低浮上動作が不可欠であり、更に究極的
には低押圧荷重な接触摺動動作を適用する傾向にある。
そのような低押圧荷重な接触摺動動作と小型化を実現し
得るヘッド構成として、薄膜磁気ヘッドと支持部材とを
組み合わせた薄膜磁気ヘッド組立体、即ち、媒体摺動面
を有する素子部と該素子部を支持する支持部とを一体に
構成した細長形状の絶縁性屈曲体中に、電磁変換素子と
信号導体線等を薄膜形成技術により積層状に埋設した集
積一体型の小型な垂直磁気記録再生用の薄膜磁気ヘッド
が提案されている。
【0004】この小型で低押圧荷重な薄膜磁気ヘッド
は、記録媒体面に長期間の接触摺動を行うと媒体摺動面
が摩耗して電磁変換素子の磁極と記録媒体面との接触状
態が不安定となり、記録再生特性の低下、特に再生出力
が低下する傾向にある。
【0005】このため、そのような薄膜磁気ヘッドの記
録媒体面に接触摺動する媒体摺動面が摩耗しても該電磁
変換素子の磁極が記録媒体面に安定に接触摺動されて記
録再生特性、特に再生出力が低下することのないヘッド
構成が必要とされている。
【0006】
【従来の技術】前記した従来の集積一体型の小型な薄膜
磁気ヘッドは、図5(a) の概略斜視図及び図5(b) の要
部側断面図に示すように記録媒体面に対して摺動する媒
体摺動面12b を有する突出部12a を備えた Al2O3膜等か
らなる素子部12と支持部13とが一体に構成された細長形
状の絶縁性屈曲体11を主体とし、その絶縁性屈曲体11の
素子部12内に電磁変換用のL字形状の主磁極14をその先
端が前記突出部12a の媒体摺動面12b に垂直に露出する
ように埋設されている。
【0007】また、該主磁極14に沿うように前記絶縁性
屈曲体11の素子部12から支持部13に跨がってヘリックス
形の薄膜コイル15と、該主磁極14の先端近傍より平行に
沿って延在し、かつ該主磁極14の後端に磁気的に接続す
る磁束リターンヨーク16と、前記薄膜コイル15から導出
する信号導体線17とが積層状に埋設されている。
【0008】更に、前記磁気ヘッドの主体とする絶縁性
屈曲体11の後端部は、図示しないヘッド位置決め機構の
支持部材、例えば支持アーム19に接着剤等により接着固
定され、前記信号導体線17の端子パッド18には外部引出
しケーブル20を接続する構成としている。
【0009】そしてこのような構成の薄膜磁気ヘッド
は、高透磁率な軟磁性裏打ち層上に垂直記録層を積層し
た二層膜構造の垂直磁気記録媒体と組み合わせ、該垂直
磁気記録媒体の軟磁性裏打ち層を前記薄膜磁気ヘッドの
主磁極14と磁束リターンヨーク16との間の磁路に利用し
て記録・再生時の磁束の閉磁路の一部とすることで、前
記垂直磁気記録媒体の垂直記録層に対して高密度な垂直
磁気記録・再生を可能にしている。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
従来の集積一体型の小型な薄膜磁気ヘッドにおいて主体
とする絶縁性屈曲体11の素子部12における突出部12a の
媒体摺動面12b は、記録媒体と平行な平坦面となってお
り、その突出部12a の媒体摺動面12b を記録再生時には
図6(a) に示すように対応する磁気記録媒体21の面に対
して10度以内の傾斜角度Q0で押し付けて接触動作させる
ことにより、該媒体摺動面12b に露出する主磁極14の先
端と磁気記録媒体面との接触摺動状態が良好に維持され
るが、これが長期間の接触摺動により該媒体摺動面12b
の当接部分の摩耗が進むにつれて図6(b) に示すように
接触面積が増加し、前記主磁極14先端の磁気記録媒体面
に対する接触摺動状態が不安定になって再生出力が変動
する。
【0011】また、前記媒体摺動面12b の接触動作時の
摩耗を極力抑制するために該媒体摺動面12b の磁気記録
媒体面に対する押圧荷重を数十mg以下にすると、磁気
記録媒体の回転に伴って発生する空気流により前記媒体
摺動面12b に正圧が作用し、該媒体摺動面12b の磁気記
録媒体面に対する押圧荷重が僅かにキャンセルされて浮
上気味になるので、磁気記録媒体面に対する主磁極14先
端の接触不良が発生して再生出力が減少するという問題
があった。
【0012】本発明は上記した従来の問題点に鑑み、磁
気記録媒体面との接触動作により素子部における突出部
の媒体摺動面に摩耗が生じても、該媒体摺動面に露出す
る主磁極先端が磁気記録媒体面に安定に接触摺動し得る
新規な薄膜磁気ヘッドを提供することを目的とするもの
である。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明は上記した目的を
達成するため、記録媒体と対向する媒体摺動面を有する
突出部を備えた素子部と支持部とを一体に構成した細長
形状の絶縁性屈曲体を有し、該屈曲体の素子部内に電磁
変換用の磁極を先端が突出部の媒体摺動面に露出するよ
うに埋設すると共に、該磁極に沿うように絶縁性屈曲体
の素子部から支持部に跨がって薄膜コイル及び信号導体
線を埋設してなる薄膜磁気ヘッドにおいて、前記素子部
における突出部の媒体摺動面を、該突出部の前端から後
端に向かって傾斜させたテーパー面状にした構成とす
る。
【0014】また、記録媒体と対向する媒体摺動面を有
する突出部を備えた素子部と支持部とを一体に構成した
細長形状の絶縁性屈曲体を有し、該屈曲体の素子部内に
電磁変換用の磁極を先端が突出部の媒体摺動面に露出す
るように埋設すると共に、該磁極に沿うように絶縁性屈
曲体の素子部から支持部に跨がって薄膜コイル及び信号
導体線を埋設してなる薄膜磁気ヘッドにおいて、前記突
出部の媒体摺動面における磁極先端が露出する部位より
前端側に該磁極先端と段差を有する負圧発生部を設けた
構成とする。
【0015】更に、前記負圧発生部の媒体対向面が、突
出部の媒体摺動面における磁極先端が露出する部位より
前端側に向かって、磁気ヘッドの支持アームに対する取
り付け角度よりも小さい角度で傾斜させた傾斜面とした
構成とする。
【0016】
【作用】本発明では、主体とする絶縁性屈曲体の素子部
における突出部の媒体摺動面を、該突出部の前端から後
端に向かって傾斜するテーパー面状にした構成とし、そ
の突出部のテーパー面状からなる媒体摺動面を対応する
磁気記録媒体面に対して10度以内の傾斜角度で押し付け
て接触動作させることにより、該媒体摺動面の接触部分
が摩耗しても、該媒体摺動面に露出する主磁極先端を磁
気記録媒体面に安定に接触摺動させることができる。
【0017】また、主体とする絶縁性屈曲体の素子部に
おける突出部の媒体摺動面の磁極先端が露出する部位よ
り前端側に該磁極先端と段差を有する負圧発生部を設け
た構成、或いは突出部の媒体摺動面における磁極先端が
露出する部位より前端側に向かって、磁気ヘッドの支持
アームに対する取り付け角度よりも小さい角度で傾斜さ
せた傾斜面を有する負圧発生部を設けた構成とし、その
突出部の媒体摺動面を回転する磁気記録媒体面に対して
10度以内の傾斜角度で押し付けて接触動作させることに
より、磁気記録媒体の回転に伴って発生し、該磁気記録
媒体面と媒体摺動面間に流入した空気流が前記段差部
分、或いは傾斜面へ流出した際に膨張して負圧が発生す
る。
【0018】従って、該媒体摺動面の接触部分が摩耗し
ても、該媒体摺動面が前記負圧発生部で発生する負圧に
より磁気記録媒体面に引き付けられて該媒体摺動面に露
出する主磁極先端を磁気記録媒体面に安定に接触摺動さ
せることができる。この結果、再生出力の変動や減少が
解消される。
【0019】
【実施例】以下図面を用いて本発明の実施例について詳
細に説明する。図1(a) は本発明の薄膜磁気ヘッドの一
実施例を示す要部側断面図である。
【0020】図1(a) において、31は磁気記録媒体と対
向する媒体摺動面32b を有する突出部32a を備えたAl2O
3 膜からなる素子部32と支持部13とを一体に構成した細
長形状の絶縁性屈曲体であり、該素子部32における突出
部32a の媒体摺動面32b は、該突出部32a の前端から後
端に向かって例えば15度程度に傾斜するテーパー面状に
形成され、その素子部32内には従来例と同様な電磁変換
用のL字形状の主磁極14がその先端を磁気記録媒体面と
対向する突出部32a のテーパー面状の媒体摺動面32b に
垂直に露出するように埋設されている。
【0021】また、その主磁極14に沿うように前記絶縁
性屈曲体31の素子部32から支持部13に跨がってヘリック
ス形の薄膜コイル15と、該主磁極14の後端に磁気的に接
続する磁束リターンヨーク16と、該薄膜コイル15から導
出する信号導体線17とが積層状に埋設された構成として
いる。
【0022】そしてこのような構成の薄膜磁気ヘッドの
主体とする前記絶縁性屈曲体31の支持部13の後端を図示
しないヘッド位置決め機構の支持アーム19に接着剤等に
より固定すると共に、前記信号導体線17の端子パッド18
に外部引出しケーブル20を接続した状態で、図1(b) に
示すように前記素子部32の突出部32a のテーパー面状か
らなる媒体摺動面32b を対応する磁気記録媒体21の表面
に対して10度以内の傾斜角度で押し付けて接触動作させ
ることにより、該媒体摺動面32b の接触部分が摩耗して
も、該媒体摺動面32b に露出する主磁極先端を長期間に
わたり磁気記録媒体面に安定に接触摺動させることがで
きる。
【0023】図2(a) は本発明の薄膜磁気ヘッドの他の
実施例を示す要部側断面図であり、図1(a) と同等部分
には同一符号を付している。この図で示す実施例が図1
(a) で示す実施例と異なる点は、薄膜磁気ヘッドの主体
とするAl2O3 膜からなる細長形状の絶縁性屈曲体41にお
ける素子部42の記録媒体と対向する媒体摺動面42b を有
する突出部42a を、プラズマCVD 法とフォトリソグラフ
ィ工程等によりアモルファスカーボン (ダイアモンドラ
イクカーボン) 膜で形成し、前記素子部42と突出部42a
の前端面と該素子部42内に従来例と同様な電磁変換用の
L字形状の主磁極14が、図示のようにその先端を前記突
出部42a の媒体摺動面42b に垂直に露出するよう配設す
ると共に、その他の部分は埋設されている。
【0024】また、前記主磁極14が配設された素子部42
と突出部42a の前端面に Al2O3膜をブロック状に形成
し、該 Al2O3膜を含む前記突出部42a の媒体摺動面42b
を前記主磁極14の先端が露出するように平坦に研摩する
ことにより、該 Al2O3膜に突出部42a のアモルファスカ
ーボン膜との硬度差によって主磁極先端と段差が形成さ
れた負圧発生部43を設けた構成としたことである。
【0025】このような実施例のヘッド構成において
は、主体とする前記絶縁性屈曲体41の支持部13の後端を
図示しないヘッド位置決め機構の支持アーム19に接着剤
等により固定すると共に、前記信号導体線17の端子パッ
ド18に外部引出しケーブル20を接続した状態で、図2
(b) に示すように前記素子部42の突出部42a の媒体摺動
面42b を対応する磁気記録媒体21の表面に対して10度以
内の傾斜角度で押し付けて接触動作させることにより、
磁気記録媒体21の回転に伴って発生し、該磁気記録媒体
面と媒体摺動面42b 間に流入した空気流が前記段差部分
43a へ流出した際に膨張して負圧が発生する。
【0026】この負圧発生部43の段差部分43a で発生す
る負圧は、図4に示すように該媒体摺動面42b の接触部
分が摩耗してその段差部分43a の段差hが小さくなり、
かつ接触面積が増加するにつれて大きくなり、該媒体摺
動面42b が前記磁気記録媒体面に引き付けられて該媒体
摺動面42b に露出する主磁極14の先端を磁気記録媒体面
に安定に接触摺動させることができるので、従来のよう
な再生出力の変動や減少等を容易に解消することが可能
となる。
【0027】なお、前記負圧発生部43の段差部分43a の
段差hは、該負圧発生部43の形状、前記媒体摺動面42b
の磁気記録媒体面に対する接触角度等にもよるが、例え
ば0.01〜1.0 μmの段差hとすることが望ましい。
【0028】また、前記図2(b) で示す負圧発生部43の
段差43a の部分を、図3で示すように前記主磁極14の先
端が露出する部位より前端側に向かって、磁気ヘッドの
支持アームに対する取り付け角度Q2よりも小さい角度Q1
で傾斜させた傾斜面51a を有する負圧発生部51を設けた
構成とすることによっても、前記図2(a), (b)による実
施例と同様に負圧発生部51の傾斜面部分で負圧が発生す
るので、その負圧により突出部42a の該媒体摺動面42b
が磁気記録媒体21の表面に引き付けられて該媒体摺動面
42b に露出する主磁極14の先端を磁気記録媒体面に安定
に接触摺動され、再生出力の変動や減少を容易に解消す
ることが可能となる。
【0029】更に、前記負圧発生部43の段差部分43a の
両側、或いは負圧発生部51の傾斜面51a の両側に側壁を
設けた構成とすることにより、負圧の発生効果がより向
上する。
【0030】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係る薄膜磁気ヘッドによれば、主体とする絶縁性屈曲
体における素子部の媒体滑動面を傾斜させた面にする、
或いは媒体滑動面に沿って負圧発生部を設けた構成とす
ることにより、磁気記録媒体面に接触摺動動作中の突出
部における媒体摺動面の接触部分が摩耗しても、該媒体
摺動面に露出する主磁極先端を長期間にわたり磁気記録
媒体面に安定に接触摺動させることが可能となり、再生
出力の変動や減少が容易に解消される利点を有し、実用
上優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の薄膜磁気ヘッドの一実施例を示す要
部側断面図と要部側面図である。
【図2】 本発明の薄膜磁気ヘッドの他の実施例を示す
要部側断面図と要部側面図である。
【図3】 本発明の薄膜磁気ヘッドの他の実施例の変形
例を示す要部部分図である。
【図4】 負圧発生部における段差の大きさとその段差
で発生する負圧の大きさとの関係を示す図である。
【図5】 従来の薄膜磁気ヘッドを説明するための概略
斜視図と要部側断面図である。
【図6】 従来の薄膜磁気ヘッドの問題点を説明するた
めの要部側面図である。
【符号の説明】
13 支持部 14 主磁極 15 薄膜コイル 16 磁束リターンヨーク 17 信号導体線 18 端子パッド 19 支持アーム 20 外部引出しケーブル 21 磁気記録媒体 31,41 絶縁性屈曲体 32,42 素子部 32a,42a 突出部 32b,42b 媒体摺動面 43,51 負圧発生部 43a 段差部分 51a 傾斜面

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 記録媒体(21)と対向する媒体摺動面(32
    b) を有する突出部(32a) を備えた素子部(32)と支持部
    (13)とを一体に構成した細長形状の絶縁性屈曲体(31)を
    有し、該屈曲体(31)の素子部(32)内に電磁変換用の磁極
    (14)を先端が突出部(32a) の媒体摺動面(32b) に露出す
    るように埋設すると共に、該磁極(14)に沿うように絶縁
    性屈曲体(31)の素子部(32)から支持部(13)に跨がって薄
    膜コイル(15)及び信号導体線(17)を埋設してなる薄膜磁
    気ヘッドにおいて、 前記素子部(32)における突出部(32a) の媒体摺動面(32
    b) を、該突出部(32a)の前端から後端に向かって傾斜さ
    せたテーパー面状にしたことを特徴とする薄膜磁気ヘッ
    ド。
  2. 【請求項2】 記録媒体(21)と対向する媒体摺動面(42
    b) を有する突出部(42a) を備えた素子部(42)と支持部
    (13)とを一体に構成した細長形状の絶縁性屈曲体(41)を
    有し、該屈曲体(41)の素子部(42)内に電磁変換用の磁極
    (14)を先端が突出部(42a) の媒体摺動面(42b) に露出す
    るように埋設すると共に、該磁極(14)に沿うように絶縁
    性屈曲体(41)の素子部(42)から支持部(13)に跨がって薄
    膜コイル(15)及び信号導体線(17)を埋設してなる薄膜磁
    気ヘッドにおいて、 前記突出部(42a) の媒体摺動面(42b) における磁極先端
    が露出する部位より前端側に該磁極先端と段差を有する
    負圧発生部(43)を設けたことを特徴とする薄膜磁気ヘッ
    ド。
  3. 【請求項3】 前記負圧発生部(51)の媒体対向面が、突
    出部(42a) の媒体摺動面(42b) における磁極先端が露出
    する部位より前端側に向かって、磁気ヘッドの支持アー
    ムに対する取り付け角度よりも小さい角度で傾斜させた
    傾斜面(51a)からなることを特徴とする請求項2の薄膜
    磁気ヘッド。
JP15456192A 1992-06-15 1992-06-15 薄膜磁気ヘッド Withdrawn JPH05342530A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06301918A (ja) * 1993-03-15 1994-10-28 Internatl Business Mach Corp <Ibm> 磁気変換器/サスペンション・アセンブリおよび製造方法並びにディスク駆動装置アセンブリ
US6219200B1 (en) * 1993-06-29 2001-04-17 Hitachi, Ltd. Thin film magnetic head with air bearing end face of magnetic film protruding beyond air bearing end face of substrate

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