JP2005285306A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】十分な記録磁場を発生させるために、フレアポイントをＡＢＳへ近づけても、余分な漏れ磁場を小さくでき、しかも、上部ポール部のパターンが変動した場合でも、安定したオーバーライト特性を確保し得る薄膜磁気ヘッドを提供する。
【解決手段】ポール端部２２３は、記録トラック幅を規定する幅Ｗ１１を有している。ポール後部２２２は、一端が絶縁膜２７３の端縁部またはその近傍において、ポール端部２２３と磁気的に連結されて第１のフレアポイントＦＰ１を構成し、他端が上部ヨーク部２２１に連結されて第２のフレアポイントＦＰ２を構成する。ポール後部２２２は、幅方向の両側端縁が、第２のフレアポイントＦＰ２から第１のフレアポイントＦＰ１に向かって幅が次第に増大する向きに傾斜している。第１のフレアポイントＦＰ１におけるポール端部２２３の幅Ｗ１１が、ポール後部２２２の最大幅Ｗ２１よりも小さくなっている。
【選択図】 図４

Description

本発明は、薄膜磁気ヘッド、磁気ヘッド装置及び磁気ディスク装置に関する。更に詳しくは、薄膜磁気ヘッドのポール構造の改良に係る。

近年、ハードディスク装置の面記録密度の向上に伴って、薄膜磁気ヘッドの性能向上が求められている。薄膜磁気ヘッドとしては、書き込み用の誘導型磁気変換素子を有する記録ヘッドと読み出し用の磁気抵抗（以下、ＭＲ（Magneto Resistive ）と記す。）素子を有する再生ヘッドとを積層した構造の複合型薄膜磁気ヘッドが広く用いられている。ＭＲ素子としては、スピンバルブ膜構造（以下、ＳＶ膜構造と称する）や強磁性トンネル接合素子（以下、ＴＭＲ素子と称する）などの巨大磁気抵抗（以下、ＧＭＲ（Giant Magneto Resistive ）と称する）効果を用いたＧＭＲ素子が現在の主流である。

再生ヘッドの性能を向上させる方法としては、ＧＭＲ膜のパターン幅、特に、ＭＲハイトを適切化する方法等がある。このＭＲハイトとは、ＧＭＲ素子のエアベアリング面（以下、ＡＢＳと称する）側の端部から反対側の端部までの長さ（高さ）をいい、ＡＢＳの加工の際の研磨量によって制御されるものである。なお、ここにいうＡＢＳは、薄膜磁気ヘッドの、磁気ディスクと対向する面であり、トラック面とも呼ばれる。

一方、再生ヘッドの性能向上に伴って、記録ヘッドの性能向上も求められている。記録ヘッドの性能を決定する要因としては、スロートハイト（Throat Height ：TH）がある。スロートハイトは、ＡＢＳから、磁束発生用の薄膜コイルを電気的に分離する絶縁膜のエッジまでのポール部部分の長さ（高さ）をいう。記録ヘッドの性能向上のためには、スロートハイトの縮小化が望まれている。このスロートハイトも、ＡＢＳの加工の際の研磨量によって制御される。

記録ヘッドの性能のうち、記録密度を高めるには、磁気ディスクにおけるトラック密度を上げる必要がある。このためには、記録ギャップ（write gap）を挟んでその上下に形成された下部ポール部（ボトムポール）および上部ポール部（トップポール）のＡＢＳでの幅を数ミクロンからサブミクロンオーダーまで狭くした狭トラック構造の記録ヘッドを実現する必要がある。

しかし、単に、トラック幅を縮小すればよいというものではなく、トラック幅を縮小した場合でも、強い記録磁場を発生させ、十分なオーバーライト特性は確保しなければならない。

十分に強い記録磁場を発生させるためには、所定の幅へ絞り込むフレアポイントをABSへ近づけることが有効である。しかしながら、この手法では同時に漏れ磁場の強度も増加してしまう。漏れ磁場は隣接するトラックの記録情報を消してしまう間題を引き起こす。このため、記録磁場の強度を上げるためにフレアポイントをＡＢＳへ近づけることは必ずしも容易ではない。しかも、フレアポイントをＡＢＳへ近づけると、特性の変化が大きくなるために、不安定でばらつきを生じやすくなってしまう。

特許文献１は、ポール部幅を縮小化した場合においても、ポール部幅の正確な制御を可能にすると共に、十分なオーバーライト特性が得られるようにした薄膜磁気ヘッドを開示している。その具体的構造として、上部ポール部を、ヨーク部に連なるポール後部と、それよりも狭いポール端部とに分け、ポール端部によってトラック幅を規定するようになっている。ポール後部とポール端部との連結部の位置を、スロートハイトＴＨの基準となるスロートハイトゼロ位置（ＴＨ０位置）に一致させ、ここにほぼ直角に変化する幅方向の段差を設ける。この連結部におけるポール後部の幅を、連結部におけるポール端部の幅よりも十分大きくする。

上述した従来構造によれば、ポール端部を形成するためのフォトレジストのパターン幅の広がりを防止でき、書込トラック幅の微小化が可能となる。また、大きい幅のポール後部の存在により、ヨーク部に発生した磁束がポール端部に到達する前に飽和することを防止でき、十分なオーバーライト特性が確保可能となる。

しかし、特許文献１に開示された薄膜磁気ヘッドは、オーバーライト特性がポール後部の存在に依存しているため、ポール後部のパターン変動によってオーバーライト特性が変化するという問題点を内包している。特許文献１にはその対策手段が開示されていない。
特開２０００−１０５９０７号公報

本発明の課題は、十分な記録磁場を発生させるためにフレアポイントをＡＢＳへ近づけても、余分な漏れ磁場を小さくでき、特性の安定化に資する薄膜磁気ヘッド、磁気ヘッド装置及び磁気ディスク装置を提供することである。

本発明のもう一つの課題は、上部ポール部のパターンが変動した場合でも、安定したオーバーライト特性を確保し得る薄膜磁気ヘッド、磁気ヘッド装置及び磁気ディスク装置を提供することである。

上述した課題を解決するため、本発明に係る薄膜磁気ヘッドは記録素子を含んでおり、前記記録素子は、下部磁性膜と、上部磁性膜と、ギャップ膜と、薄膜コイルとを含んでいる。

前記下部磁性膜は、下部ヨーク部と、下部ポール部とを有し、前記下部ポール部は記録媒体に対向する側に位置する前記下部ヨーク部の端部に備えられている。前記上部磁性膜は、上部ヨーク部と、上部ポール部とを有している。前記上部ヨーク部は前記下部ヨーク部から間隔を隔て、前記記録媒体に対向する側から見て後方に位置する後方結合部により、前記下部ヨーク部と磁気的に結合されている。前記薄膜コイルは、前記下部ヨーク部及び上部ヨーク部の間に絶縁膜を介して配置されている。

前記上部ポール部は、ポール端部と、ポール後部とを含み、前記ギャップ膜を挟んで前記下部ポール部と向き合っている。前記ポール端部は、記録トラック幅を規定する幅を有している。前記ポール後部は、一端が前記絶縁膜の端縁部またはその近傍において前記ポール端部と磁気的に連結されてトラック幅方向の幅が広がる第１のフレアポイントを構成し、他端が前記上部ヨーク部に連結されてトラック幅方向の幅が広がる第２のフレアポイントを構成し、幅方向の両側端縁が、前記第２のフレアポイントから前記第１のフレアポイントに向かって幅が次第に増大する向きに傾斜している。前記第１のフレアポイントにおける前記ポール端部の幅が、前記ポール後部の最大幅よりも小さくなっている。

上述したように、本発明に係る薄膜磁気ヘッドにおいて、上部ヨーク部は下部ヨーク部から間隔を隔て、記録媒体に対向する側から見て後方に位置する後方結合部により、下部ヨーク部と磁気的に結合されている。上部ポール部はギャップ膜を挟んで下部ポール部と向き合っている。薄膜コイルは、前記下部ヨーク部及び上部ヨーク部の間に絶縁膜を介して配置されている。従って、上部ヨーク部、上部ポール部、ギャップ膜、下部ポール部、下部ヨーク部及び後方結合部により、薄膜コイルに流れる電流によって生じた磁束のための薄膜磁気回路が形成される。

上部ポール部は、ポール端部と、ポール後部とを含んでいる。ポール端部は、記録トラック幅を規定する幅を有している。ポール後部は、一端が絶縁膜の端縁部またはその近傍においてポール端部と磁気的に連結されて第１のフレアポイントを構成し、他端が上部ヨーク部に連結されて第２のフレアポイントを構成している。第１のフレアポイントにおけるポール端部の幅は、ポール後部の最大幅よりも小さくなっている。この構造に係る薄膜磁気ヘッドは、オーバーライト特性において高い性能を発揮する。すなわち、この上部ポール部は、スロートハイト零の位置において、ポール端部と連結しているポール後部の幅は、記録媒体上のトラック幅を規定するポール端部の幅よりもかなり大きい幅を有し、ポール後部のボリュームは、従来のそれに比べて大きい。このため、薄膜コイルによってヨーク部に発生した磁束は、ポール後部で飽和せず、ポール端部にまで十分に到達する。したがって、ポール端部が例えばサブミクロンという狭トラック幅に対応したものであっても、オーバーライト用の磁束として十分な大きさが得られる。すなわち、狭トラック化を実現しつつ、十分なオーバーライト特性を確保することが可能である。

しかも、ポール後部は、幅方向の両側端縁が、第２のフレアポイントから、第１のフレアポイントに向かって、幅が次第に増大する向きに傾斜しているから、傾斜角度の範囲内において、ポール後部の最大幅が変化しても、安定したオーバーライト特性を確保することができる。

なお、薄膜磁気ヘッドとしては、上部ヨーク部及び上部ポール部が、実質的に平坦な連続する膜でなるタイプ（プレーナタイプと称する）と、上部ヨーク部及び上部ポール部が、互いに分離されていて、上部ヨーク部の端部が上部ポール部に重ねられているタイプ（HSタイプと称する）が知られているが、本発明は、何れのタイプのものにも適用でき、等質的作用効果を生じる。

本発明は、更に、上記薄膜磁気ヘッドとヘッド支持装置とを組み合わせた磁気ヘッド装置及び、この磁気ヘッド装置と磁気ディスクとを組み合わせた磁気ディスク装置についても開示する。

本発明の他の特徴及びそれによる作用効果は、添付図面を参照し、実施例によって更に詳しく説明する。

図１は薄膜磁気ヘッドの一例を示す図で、媒体対向面側から見た平面図、図２は図１に図示された薄膜磁気ヘッドの断面図、図３は図１及び図２に図示された薄膜磁気ヘッドの磁気変換素子部分を拡大して示す図、図４は図１〜図３に示した薄膜磁気ヘッドの構成をモデル化して示す平面図、図５は図４に対応する側面図である。図示された薄膜磁気ヘッドは、スライダ基体１と、書込み素子２及び読取素子３とを含む。

スライダ基体１は、例えば、アルティック（Ａｌ₂Ｏ₃−ＴｉＣ）等のセラミック材料からなり、媒体対向面に浮上特性制御用の幾何学的形状を有している。そのような幾何学的形状の代表例として、実施例では、スライダ基体１の基底面１０に、第１の段部１１、第２の段部１２、第３の段部１３、第４の段部１４、及び、第５の段部１５を備える例を示してある。基底面１０は、矢印Aで示す空気の流れ方向に対する負圧発生部となり、第２の段部１２及び第３の段部１３は、第１の段部１１から立ち上がるステップ状の空気軸受けを構成する。第２の段部１２及び第３の段部１３の表面はＡＢＳとなる。

第４の段部１４は、基底面１０からステップ状に立ち上がり、第５の段部１５は第４の段部１４からステップ状に立ちあがっている。書込み素子２及び読取素子３は第５の段部１５に設けられている。

図３を参照すると、読取素子３は、ＭＲ素子３０を含む。ＭＲ素子３０は、ＳＶ膜またはＴＭＲ膜を含んでいる。ＳＶ膜の場合は、ＣＩＰタイプまたはＣＰＰタイプが用いられる。ＴＭＲ膜は、本来、膜面に垂直にセンス電流を流すものである。ＭＲ素子３０は、第１のシールド層３１と第２のシールド層３３との間の絶縁ギャップ膜３２の内部に配置されている。

書込み素子２は、下部磁性膜２１と、上部磁性膜２２と、薄膜コイル２３と、書込みギャップ膜２４とを含む。下部磁性膜２１は、下部ヨーク部２１０と、下部ポール部２１１とを有する。下部ポール部２１１は記録媒体に対向する側、即ち、ＡＢＳ１２、１３の側において、下部ヨーク部２１０の端部に突出して備えられている。下部ヨーク２１０は、第２のシールド膜３３に隣接させた絶縁膜３４の上に設けられている。

書込みギャップ膜２４は、下部磁性膜２１の下部ポール部２１１と、上部磁性膜２２の上部ポール部（２２２、２２３）との間に設けられている。上部磁性膜２２は、上部ポール部が、下部磁性膜２１の下部ポール部２１１と、書込みギャップ膜２４を介して向き合っている。

下部ポール部２１１は、書込みギャップ膜２４と向き合う上面に、凹部を有しており、この凹部内に絶縁膜２７３が配置されており、この絶縁膜２７３のＡＢＳ１２、１３の側の端部、即ち、絶縁膜２７３と、下部ポール部２１１の凹部の内壁面との接触境界がスロートハイト零を決める。

上部磁性膜２２は、上部ヨーク部２２１と、上部ポール部（２２２、２２３）とを有している。ヨーク部とポール部の区別は、磁気回路上、必ずしも明確ではないが、本発明では、面積の大小によって区別している。すなわち、広い面積を有する部分をヨーク部と称し、この広い面積の部分から絞り込まれた結果、小面積となった部分を、ポール部と称する。上部磁性膜２２は、アルミナなどの絶縁膜２７４によって覆われている。

本発明において、上部ヨーク部２２１及び上部ポール部（２２２、２２３）は、同一面内に存在している。上部ヨーク部２２１は下部ヨーク部２１０から間隔を隔て、記録媒体に対向するＡＢＳ１２、１３の側から見て後方に位置する後方結合部２６により、下部ヨーク部２１０と磁気的に結合されている。薄膜コイル２３は、下部ヨーク部及び上部ヨーク部２２１の間に存在する絶縁膜２５、２７１〜２７３によって、電気的に絶縁されている。絶縁膜２５、２７１〜２７３は、有機絶縁膜、無機絶縁膜又はそれらの組み合わせによって構成される。

上部ポール部（２２２、２２３）は、ポール端部２２３と、ポール後部２２２とを含み、書込みギャップ膜２４を挟んで下部ポール部２１１と向き合っている。ポール端部２２３は、記録トラック幅を規定する幅Ｗ１１を有している。ポール端部２２３は、その全長にわたって、ほぼ同一の幅Ｗ１１を維持する。

上部磁性膜２２を構成する上部ポール部（２２２、２２３）の構成は、本発明の特徴部分である。次に、この点について、図４及び図５を参照して説明する。

ポール後部２２２は、一端が絶縁膜２７３の端縁部またはその近傍において、ポール端部２２３と磁気的に連結されて、第１のフレアポイントＦＰ１を構成する。本発明において、フレアポイントとは、幅の拡大する開始点という意味で用いている。ポール端部２２３は、ＡＢＳ１２、１３から第１のフレアポイントＦＰ１まで、ほぼ同一の幅Ｗ１１を保っている。第１のフレアポイントＦＰ１は、スロートハイト零を与える下部ポール部２１１の凹部の内壁面との接触境界よりも、ＡＢＳ１２、１３の側に位置する。

ポール後部２２２は、第１のフレアポイントＦＰ１において、ポール端部２２３に連結され、第１のフレア終止点ＥＰ１までは、後方に向かうにつれてその幅が拡大されている。そして、第１のフレア終止点ＥＰ１において、最大幅Ｗ２１となる。図示実施例では、第１のフレア終止点ＥＰ１は、スロートハイト零を与える下部ポール部２１１の凹部の内壁面との接触境界よりも、若干、ＡＢＳ１２、１３の側に位置する。

ポール後部２２２は、ポール端部２２３との連結部分となる一端とは反対側の他端が上部ヨーク部２２１に連結されて第２のフレアポイントＦＰ２を構成する。ポール後部２２２は、図６にも図示するように、幅方向の両側端縁が、第２のフレアポイントＦＰ２から第１のフレアポイントＦＰ１に向かって幅が次第に増大する向きに、角度αで傾斜する。従って、第１のフレアポイントＦＰ１におけるポール端部２２３の幅Ｗ１１は、ポール後部２２２の最大幅Ｗ２１よりも、必ず小さくなる。角度αは、図６に図示するように、ＡＢＳ１２、１３に対する垂線Ｏ１及びその平行線Ｏ１１を基準（角度零）とする角度である。

第２のフレアポイントＦＰ２からは、上部ヨーク部２２１の幅拡大が始まる。上部ヨーク部２２１は、後方に向かって、幅を次第に拡大してゆき、第２のフレア終止点ＥＰ２において、最大幅になる。

図示実施例の薄膜磁気ヘッドにおいて、上部磁性膜２２は、上部ヨーク部２２１と、上部ポール部（２２２、２２３）とを有しており、上部ヨーク部２２１及び上部ポール部（２２２、２２３）は、同一面内に存在しているから、planar型の薄膜磁気ヘッドが得られる。このような構造は、製造が容易である。但し、本発明に係る薄膜磁気ヘッドは、図示のplanar型に限定されるものではない。どのようなヨーク構造のものであっても、幅広く適用できる。

上部ヨーク部２２１は、下部ヨーク部２１０から間隔を隔て、ＡＢＳ１２、１３の側から見て後方に位置する後方結合部２６により、下部ヨーク部２１０と磁気的に結合されている。上部ポール部（２２２、２２３）は書込みギャップ膜２４を挟んで下部ポール部２１１と向き合っている。薄膜コイル２３は、下部ヨーク部２１０及び上部ヨーク部２２１の間に絶縁膜を介して配置されている。従って、上部ヨーク部２２１、上部ポール部（２２２、２２３）、書込みギャップ膜２４、下部ポール部２１１、下部ヨーク部２１０及び後方結合部２６により、薄膜コイル２３に流れる電流によって生じた磁束のための薄膜磁気回路が形成される。

上部ポール部（２２２、２２３）は、ポール端部２２３と、ポール後部２２２とを含んでいる。ポール端部２２３は、記録トラック幅を規定する幅Ｗ１１を有している。ポール後部２２２は、一端が絶縁膜２７３の端縁部またはその近傍においてポール端部２２３と磁気的に連結されて第１のフレアポイントＦＰ１を構成し、他端が上部ヨーク部２２１に連結されて第２のフレアポイントＦＰ２を構成している。第１のフレアポイントＦＰ１におけるポール端部２２３の幅Ｗ１１は、ポール後部２２２の最大幅Ｗ２１よりも小さくなっている。この構造に係る薄膜磁気ヘッドは、オーバーライト特性において高い性能を発揮する。

すなわち、この上部ポール部（２２２、２２３）は、スロートハイト零の位置において、記録媒体上のトラック幅を規定するポール端部２２３の幅Ｗ１１よりもかなり大きい幅Ｗ２１を有し、ポール後部２２２のボリュームは、従来のそれに比べて大きい。このため、薄膜コイル２３によってヨーク部に発生した磁束は、ポール後部２２２では飽和せず、ポール端部２２３にまで十分に到達する。したがって、ポール端部２２３が例えばサブミクロンという狭トラック幅に対応したものであっても、オーバーライト用の磁束として十分な大きさが得られる。すなわち、狭トラック化を実現しつつ、十分なオーバーライト特性を確保することが可能である。

しかも、ポール後部２２２は、幅方向の両側端縁が、第２のフレアポイントＦＰ２から、第１のフレアポイントＦＰ１に向かって、幅が次第に増大する向きに、角度αで傾斜しているから、傾斜角度αの範囲内において、ポール後部２２２の最大幅が変化しても、安定したオーバーライト特性を確保することができる。

図７は、角度αと記録磁場（Ｏｅ）との関係を示すデータである。図示するように、角度αがマイナスとなる領域、即ち、ポール後部２２２の幅方向の両側端縁が、第２のフレアポイントＦＰ２から、第１のフレアポイントＦＰ１に向かって、幅が次第に増大する向きに、角度αで傾斜する場合、角度αの変化に対する記録磁場の変動幅が非常に少ない。しかも、高い安定した記録磁場が得られる。従って、狭トラック化を実現しつつ、十分なオーバーライト特性を確保することができる。

図８は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの更に別の実施例を示す図である。図において、図４に表れた構成部分に相当する部分については、同一の参照符号を付してある。この実施例の特徴は、ポール後部２２２の最前縁が、第１のフレアポイントＦＰ１にあり、かつ、この位置で、ポール後部２２２が最大幅Ｗ２２となる点にある。換言すれば、ポール後部２２２は、その最前縁が、ポール端部２２３の側面に対してほぼ直交する関係にある。この実施例の場合も、先に述べた実施例と同様の作用効果を奏する。

図９は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの更に別の実施例を示す断面図、図１０は図９に示した薄膜磁気ヘッドの上部ポール部及び上部ヨーク部を拡大して示す平面図である。図９、図１０において、図１〜図６に現れた構成部分に相当する部分については同一の参照符号を付してある。参照符号２７０、２７５はアルミナなどでなる絶縁膜、参照符号２３１、２３２は薄膜コイル、参照符号２１３は下部ヨーク部２１０に設けられた凹部である。

この実施例では、上部ポール部（２２２、２２３）と、上部ヨーク２２１とを分離し、上部ポール部（２２２、２２３）の上に、上部ヨーク部２２１の端部を重ねた構造（HSタイプ）となっている。上部ポール部（２２２、２２３）は、ポール端部２２３と、ポール後部２２２とを含んでいる。ポール端部２２３は、記録トラック幅を規定する幅Ｗ１１を有している。ポール後部２２２は、ポール端部２２３と第１のフレアポイントＦＰ１の部分で連続する。第１のフレアポイントＦＰ１におけるポール端部２２３の幅Ｗ１１は、ポール後部２２２の最大幅Ｗ２１よりも小さくなっている。この構造に係る薄膜磁気ヘッドは、オーバーライト特性において高い性能を発揮する。

上部ヨーク２２１は、絶縁膜２７６の表面に付着され、その先端部がポール後部２２２の部分で重なり、その後方側では、絶縁膜２７６の立ち上がり斜面に沿って立ち上がっており、立ち上がり部分の付近に、第２のフレアポイントＦＰ２を有する。

図９及び図１０に示した薄膜磁気ヘッドは、第１のフレアポイントFP1を、上部ヨーク部２２１から分離して設けられた上部ポール部（２２２、２２３）に設定されている点で、図１〜図６に示した薄膜磁気ヘッド（プレーナタイプ）と構造的に異なるように見えるが、第１のフレアポイントFP1を、図１〜図６のプレーナタイプから下側に平行的に移したもの捉えることができるのであって、機能面では等質的である。

図１１は、図９に示した薄膜磁気ヘッドのポール部の別の実施例を拡大して示す平面図である。この実施例では、第１のフレア終止点ＥＰ１の後方に、更に、第３のフレアポイントFP3を設定してある。この実施例は、フレアポイントの数を、これまで図示されたものに限定することなく、増減できることを示唆するものである。

図１２は磁気ヘッド装置の正面図、図１３は図１２に示した磁気ヘッド装置の底面図である。図示された磁気ヘッド装置は、図１乃至図１０に示した薄膜磁気ヘッド５と、ヘッドサスペンション６とを含む。ヘッドサスペンション６は、金属薄板でなる支持体６０の長手方向の一端にある自由端に、同じく金属薄板でなる可撓体を取付け、この可撓体の下面に薄膜磁気ヘッド５を取付けた構造となっている。

具体的には、可撓体は、支持体６０の長手方向軸線と略平行して伸びる２つの外側枠部６１、６２と、支持体６０から離れた端において外側枠部６１、６２を連結する横枠６３と、横枠６３の略中央部から外側枠部６１、６２に略平行するように延びていて先端を自由端とした舌状片６４とを有する。横枠６３のある方向とは反対側の一端は、支持体６０の自由端付近に溶接等の手段によって取付けられている。

支持体６０の下面には、例えば半球状の荷重用突起６５が設けられている。この荷重用突起６５により、支持体６０の自由端から舌状片６４へ荷重力が伝えられる。

薄膜磁気ヘッド５は、舌状片６４の下面に接着等の手段によって取付けられている。薄膜磁気ヘッド５は、ピッチ動作及びロール動作が許容されるように支持されている。

本発明に適用可能なヘッドサスペンション６は、上記実施例に限定するものではなく、これまで提案され、またはこれから提案されることのあるヘッド支持装置を、広く適用できる。例えば、支持体６０と舌状片６４とを、タブテープ（ＴＡＢ）等のフレキシブルな高分子系配線板を用いて一体化したもの等を用いることもできる。また、従来より周知のジンバル構造を持つものを自由に用いることができる。

図１４は磁気ディスク装置の具体的な構造を示す斜視図である。図示された磁気ディスク装置は、軸７０の回りに回転可能に設けられた磁気ディスク７１と、磁気ディスク７１に対して情報の記録及び再生を行う薄膜磁気ヘッド５と、薄膜磁気ヘッド５を磁気ディスク７１のトラック上に位置決めするためのアッセンブリキャリッジ装置７３とを備えている。

アセンブリキャリッジ装置７３は、軸７４を中心にして回動可能なキャリッジ７５と、このキャリッジ７５を回動駆動する例えばボイスコイルモータ(ＶＣＭ)からなるアクチュエータ７６とから主として構成されている。

キャリッジ７５には、軸７４の方向にスタックされた複数の駆動アーム７７の基部が取り付けられており、各駆動アーム７７のポール端部には、薄膜磁気ヘッド５を搭載したヘッドサスペンションアッセンブリ６が固着されている。各ヘッドサスペンションアセンブリ６は、そのポール端部に有する薄膜磁気ヘッド５が、各磁気ディスク７１の表面に対して対向するように駆動アーム７７のポール端部に設けられている。図１４に示した磁気ディスク装置は、図１〜図８を参照して説明した作用効果を奏する。

以上、好ましい実施例を参照して本発明の内容を具体的に説明したが、本発明の基本的技術思想及び教示に基づいて、当業者であれば、種々の変形態様を採り得ることは自明である。

薄膜磁気ヘッドの一例を示す図で、媒体対向面側から見た平面図である。 図１に図示された薄膜磁気ヘッドの断面図である。 図１及び図２に図示された薄膜磁気ヘッドの磁気変換素子部分を拡大して示す図である。 図１〜図３に示した薄膜磁気ヘッドの構成をモデル化して示す平面図である。 図４に対応する側面図である。 図１乃至図５に示した薄膜磁気ヘッドの上部ヨーク部の構成を説明する図である。 本発明に係る薄膜磁気ヘッドにおける角度αと記録磁場（Ｏｅ）との関係を示すデータである。 本発明に係る薄膜磁気ヘッドの更に別の実施例を示す図である。 本発明に係る薄膜磁気ヘッドの更に別の実施例を示す断面図である。 図９に示した薄膜磁気ヘッドのポール部を拡大して示す平面図である。 図９に示した薄膜磁気ヘッドのポール部の別の例を拡大して示す平面図である。 磁気ヘッド装置の正面図である。 図１２に示した磁気ヘッド装置の底面図である。 本発明に係る磁気ディスク装置の斜視図である。

符号の説明

２１ 下部磁性膜
２１０ 下部ヨーク部
２１１ 下部ポール部
２２ 上部磁性膜
２２１ 上部ヨーク部
２２２ ポール後部
２２３ ポール端部
ＦＰ１ 第１のフレアポイント
ＦＰ２ 第２のフレアポイント

Claims (7)

1. 記録素子を含む薄膜磁気ヘッドであって、
   前記記録素子は、下部磁性膜と、上部磁性膜と、ギャップ膜と、薄膜コイルとを含んでおり、
   前記下部磁性膜は、下部ヨーク部と、下部ポール部とを有し、前記下部ポール部は記録媒体に対向する側に位置する前記下部ヨーク部の端部に備えられており、
   前記上部磁性膜は、上部ヨーク部と、上部ポール部とを有しており、
   前記上部ヨーク部は、前記下部ヨーク部から間隔を隔て、前記記録媒体に対向する側から見て後方に位置する後方結合部により、前記下部ヨーク部と磁気的に結合されており、
   前記薄膜コイルは、前記下部ヨーク部及び上部ヨーク部の間に絶縁膜を介して配置されており、
   前記上部ポール部は、ポール端部と、ポール後部とを含み、前記ギャップ膜を挟んで前記下部ポール部と向き合っており、
   前記ポール端部は、記録トラック幅を規定する幅を有しており、
   前記ポール後部は、一端が前記絶縁膜の端縁部またはその近傍において前記ポール端部と磁気的に連結されてトラック幅方向の幅が広がる第１のフレアポイントを構成し、他端が前記上部ヨーク部に連結されてトラック幅方向の幅が広がる第２のフレアポイントを構成し、幅方向の両側端縁が、前記第２のフレアポイントから前記第１のフレアポイントに向かって幅が次第に増大する向きに傾斜しており、
   前記第１のフレアポイントにおける前記ポール端部の幅が、前記ポール後部の最大幅よりも小さくなっている、
   薄膜磁気ヘッド。
2. 請求項１に記載された薄膜磁気ヘッドであって、前記ポール後部は、最大幅の部分から前記第１のフレアポイントに向かって幅の縮小する部分を有する薄膜磁気ヘッド。
3. 請求項１に記載された薄膜磁気ヘッドであって、前記ポール後部は、前記第１のフレアポイントが最前縁で、かつ、最大幅を有する薄膜磁気ヘッド。
4. 請求項１乃至３の何れかに記載された薄膜磁気ヘッドであって、前記上部ヨーク部及び前記上部ポール部は、実質的に平坦な連続する膜でなる薄膜磁気ヘッド。
5. 請求項１乃至３の何れかに記載された薄膜磁気ヘッドであって、前記上部ヨーク部及び前記上部ポール部は、分離されており、前記上部ヨーク部は端部が前記上部ポール部に重ねられている薄膜磁気ヘッド。
6. 薄膜磁気ヘッドと、ヘッド支持装置とを含む磁気ヘッド装置であって、
   前記薄膜磁気ヘッドは、請求項１乃至５の何れかに記載されたものでなり、
   前記ヘッド支持装置は、前記薄膜磁気ヘッドを支持する
   磁気ヘッド装置。
7. 磁気ヘッド装置と、磁気ディスクとを含む磁気ディスク装置であって、
   前記磁気ヘッド装置は、請求項６に記載されたものでなり、
   前記磁気ディスクは、前記磁気ヘッド装置との協働により、磁気記録の記録及び再生を行なう
   磁気ディスク装置。

Images