JP2006302486A - 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】書込素子2の下部ポール膜212は、無機絶縁膜271に設けられたトレンチ部の内部で、下部ヨーク膜211の一面上に設けられている。下部ポール部212の上には、トレンチ部の内部で、ギャップ膜24及び上部ポール膜221が設けられている。トレンチ部は、好ましくは、前記下部ポール膜212、前記ギャップ膜24及び前記上部ポール膜221の側面と向き合う内壁面に、無機材料28の付着膜を有する。
【選択図】図4
Description
<薄膜磁気ヘッドの実施例1>
図1、図2を参照すると、本発明に係る薄膜磁気ヘッドは、スライダ5と、書込素子2と、読取素子3とを含む。スライダ5は、例えば、Al2O3−TiC等でなる基体15の表面に、Al2O3、SiO2等を用いたセラミック構造体である。スライダ5は、媒体対向面に浮上特性制御用の幾何学的形状を有している。そのような幾何学的形状の代表例として、図示では、ABS側の基底面50に、第1の段部51、第2の段部52、第3の段部53、第4の段部54、及び、第5の段部55を備える例を示してある。基底面50は、矢印F1で示す空気の流れ方向に対する負圧発生部となり、第2の段部52及び第3の段部53は、第1の段部51から立ち上がるステップ状の空気軸受けを構成する。第2の段部52及び第3の段部53の表面は、ABSとなる。第4の段部54は、基底面50からステップ状に立ち上がり、第5の段部55は第4の段部54からステップ状に立ちあがっている。電磁変換素子2、3は第5の段部55に設けられている。
図9〜図11は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの別の実施例を示している。図において、図1〜図8に現れた構成部分と対応する構成部分については、同一の参照符号を付してある。図示の薄膜磁気ヘッドも、基本的には、図1〜図8に示した薄膜磁気ヘッドと同じ構造を持ち、同等の作用を奏する。以下の説明においては、特徴的な事項を中心にして説明する。
図12〜図14は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの別の実施例を示している。図において、図1〜図8に現れた構成部分と対応する構成部分については、同一の参照符号を付してある。図示の薄膜磁気ヘッドも、基本的には、図1〜図8に示した薄膜磁気ヘッドと同じ構造をもつ。実施例について、特徴的な事項を中心にして説明すると、まず、スロートハイトを決める非磁性膜29が、ギャップ膜24の上に付着されている。このような構造であっても、図1〜図11に示した構造、つまり、スロートハイトを決める非磁性膜29をギャップ膜24の上に設ける場合と、同等の作用効果を得ることができる。
<製造方法の実施例1>
製造方法に係る実施例1は、図15〜図35に図示されている。この製造方法は、図1〜図8に図示した薄膜磁気ヘッドの製造に向けられている。図15〜図35に図示するプロセスは、ウエハー上で実行されるものであることを予め断っておく。
製造方法に係る実施例2は、図36〜図54に図示されている。この製造方法は、図9〜図11に図示した薄膜磁気ヘッドの製造に向けられている。
製造方法に係る実施例3は、図55〜図71に図示されている。この製造方法は、図12〜図14に図示した薄膜磁気ヘッドの製造に向けられている。
ところで、狭幅部281の内部で、均一な膜厚を有するギャップ膜24を、めっきによって成膜する手法として、図72及び図73に示す2段階めっきが有効である。通常、一回目のめっきによっては、図72に図示するように、めっき241の表面が波打つような形状になる。そこで、一回目のめっき処理が終わった後、2回目のめっき242を実行する。これにより、図73に図示するように、均一な膜厚のギャップ膜24が形成される。
本発明は、更に、磁気ヘッド装置及び磁気記録再生装置についても開示する。図74及び図75を参照すると、本発明に係る磁気ヘッド装置は、図1〜図14に示した薄膜磁気ヘッド400と、ヘッド支持装置6とを含む。ヘッド支持装置6は、金属薄板でなる支持体61の長手方向の一端にある自由端に、同じく金属薄板でなる可撓体62を取付け、この可撓体62の下面に薄膜磁気ヘッド400を取付けた構造となっている。
24 ギャップ膜
28 付着膜
211 下部ヨーク膜
212 下部ポール膜
221 上部ポール膜
271 無機絶縁膜
Claims (40)
- 書込素子を含む薄膜磁気ヘッドであって、前記書込素子は、下部ヨーク膜と、第1の絶縁膜と、下部ポール膜と、ギャップ膜と、上部ポール膜とを含んでおり、
前記第1の絶縁膜は、無機絶縁材料でなり、前記下部ヨーク膜の表面に設けられ、少なくとも磁極端部に対応する部分にトレンチ部を有しており、前記トレンチ部の底面に前記下部ヨーク膜の表面が現れており、
前記下部ポール膜は、前記トレンチ部の底面において、前記下部ヨーク膜の前記表面に付着されており、
前記ギャップ膜は、導電性非磁性膜であって、前記トレンチ部の内部において、前記下部ポール膜の表面に付着されており、
前記上部ポール膜は、前記トレンチ部の内部において、前記ギャップ膜の表面に付着されている、
薄膜磁気ヘッド。 - 請求項1に記載された薄膜磁気ヘッドであって、前記下部ポール膜、前記ギャップ膜及び前記上部ポール膜は、めっき膜である、薄膜磁気ヘッド。
- 請求項1に記載された薄膜磁気ヘッドであって、前記トレンチ部は、内側面に非磁性材料でなる非磁性膜を有しており、
前記下部ポール膜の前記磁極端部及び前記上部ポール膜の前記磁極端部は、前記非磁性膜によって縮小されたトラック幅を有する、
薄膜磁気ヘッド。 - 請求項3に記載された薄膜磁気ヘッドであって、前記非磁性膜は、CVD膜である、薄膜磁気ヘッド。
- 請求項3に記載されて薄膜磁気ヘッドであって、前記非磁性膜は、Al2O3を主成分とする、薄膜磁気ヘッド。
- 請求項3に記載された薄膜磁気ヘッドであって、前記非磁性膜は、アトミックレイヤー法を用いたAl-CVD膜である、薄膜磁気ヘッド。
- 請求項6に記載された薄膜磁気ヘッドであって、前記Al-CVD膜は、膜厚が5〜50nmの範囲にある、薄膜磁気ヘッド。
- 請求項1に記載された薄膜磁気ヘッドであって、
前記トレンチ部は、狭幅部分と、拡幅部分とを含んでおり、
前記狭幅部分は、前記下部ポール膜の磁極端部、及び、前記上部ポール膜の磁極端部を収納する部分であり、
前記拡幅部は、前記狭幅部分の後方に連続しており、
前記下部ポール膜は、前記狭幅部分及び前記拡幅部において連続する、
薄膜磁気ヘッド。 - 請求項8に記載された薄膜磁気ヘッドであって、前記ギャップ膜は、前記狭幅部分及び前記拡幅部において連続する、薄膜磁気ヘッド。
- 請求項1に記載された薄膜磁気ヘッドであって、前記上部ポール膜は、後方部で面積が拡大されており、面積拡大の始点となるフレアポイントから前記媒体と対向する面までの距離が、0.1〜0.5μmの範囲にある、薄膜磁気ヘッド。
- 請求項1に記載された薄膜磁気ヘッドであって、前記上部ポール膜の後方に、スロートハイトを決める非磁性膜を有する、薄膜磁気ヘッド。
- 請求項11に記載された薄膜磁気ヘッドであって、前記非磁性膜は、前記ギャップ膜の上に付着されている、薄膜磁気ヘッド。
- 請求項11に記載された薄膜磁気ヘッドであって、
前記非磁性膜は、前部分が前記下部ポール膜に付着され、後部分が前記前部分から立上がり前記非磁性膜に付着されている、薄膜磁気ヘッド。 - 請求項1に記載された薄膜磁気ヘッドであって、上部ヨーク膜と、薄膜コイルとを含み、
前記上部ヨーク膜は、前記上部ポール膜と、前記下部ヨーク膜の後部とを磁気的に結合しており、
前記薄膜コイルは、前記下部ヨーク膜、前記下部ポール膜、前記ギャップ膜、前記上部ポール膜及び前記上部ヨーク膜を巡る磁気回路を励磁する、
薄膜磁気ヘッド。 - 請求項14に記載された薄膜磁気ヘッドであって、
前記上部ポール膜と、前記下部ヨーク膜との結合部と、前記下部ポール膜、前記ギャップ膜及び前記上部ポール膜との間が、第2の絶縁膜によって埋められており、
前記薄膜コイルは、前記第2の絶縁膜の前記表面に形成されている、
薄膜磁気ヘッド。 - 請求項15に記載された薄膜磁気ヘッドであって、前記第2の絶縁膜及び前記上部ポール膜の表面は、表面が、同一平面となるように平坦化されている、薄膜磁気ヘッド。
- 請求項14に記載された薄膜磁気ヘッドであって、
前記下部ヨーク膜は、第1の下部ヨーク膜と、第2の下部ヨーク膜とを含み、
前記第1の下部ヨーク膜は、表面が平坦面を構成しており、
前記第2の下部ヨーク膜は、前記第1の下部ヨーク膜の前記表面上において、限定された位置に設けられており、
前記下部ポール膜、前記ギャップ膜及び前記上部ポール膜は、前記第2の下部ヨーク膜の表面に設けられており、
前記薄膜コイルは、第1の薄膜コイルと、第2の薄膜コイルとを含み、
前記第1の薄膜コイルは、前記上部ポール膜と前記下部ヨーク膜との結合部と、前記第2の下部ヨーク膜との間に設けられており、
前記第1の薄膜コイルの上において、前記上部ポール膜と前記下部ヨーク膜との結合部と、前記下部ポール膜、前記ギャップ膜及び前記上部ポール膜との間が、前記第1の絶縁膜によって埋められており、
前記第2の薄膜コイルは、前記第1の絶縁膜の上に設けられている、
薄膜磁気ヘッド。 - 請求項17に記載された薄膜磁気ヘッドであって、前記第1の絶縁膜及び前記上部ポール膜の表面は、平坦化されている、薄膜磁気ヘッド。
- 請求項18に記載された薄膜磁気ヘッドであって、
更に、第2の上部ポール膜を含み、前記第2の上部ポール膜は、前記第1の上部ポール膜の上に設けられており、
前記第2の上部ポール膜及び前記第2の薄膜コイルは、表面が、同一平面となるように平坦化されている、
薄膜磁気ヘッド。 - 請求項1に記載された薄膜磁気ヘッドであって、さらに、読取素子を含む、薄膜磁気ヘッド。
- 請求項20に記載された薄膜磁気ヘッドであって、前記読取素子は、GMR素子又は強磁性トンネル接合膜を含む、薄膜磁気ヘッド。
- 薄膜磁気ヘッドと、磁気記録媒体とを含む磁気記録再生装置であって、
前記薄膜磁気ヘッドは、書込素子を含んでおり、前記書込素子は、下部ヨーク膜と、第1の絶縁膜と、下部ポール膜と、ギャップ膜と、上部ポール膜とを含んでおり、
前記第1の絶縁膜は、無機絶縁材料でなり、前記下部ヨーク膜の表面に設けられ、少なくとも磁極端部に対応する部分にトレンチ部を有しており、前記トレンチ部の底面に前記下部ヨーク膜の表面が現れており、
前記下部ポール膜は、前記トレンチ部の底面において、前記下部ヨーク膜の前記表面に付着されており、
前記ギャップ膜は、導電性非磁性膜であって、前記トレンチ部の内部において、前記下部ポール膜の前記磁極端部の表面に付着されており、
前記上部ポール膜は、前記トレンチ部の内部において、前記ギャップ膜の表面に付着されており、
前記薄膜磁気ヘッドは、前記磁気記録媒体との間で磁気記録及び再生を行なう、
磁気記録再生装置。 - 請求項22に記載された磁気記録再生装置であって、前記下部ポール膜、前記ギャップ膜及び前記上部ポール膜は、めっき膜である、磁気記録再生装置。
- 請求項22に記載された磁気記録再生装置であって、
前記トレンチ部は、内側面に非磁性材料でなる付着膜を有しており、
前記下部ポール膜の前記磁極端部及び前記上部ポール膜の前記磁極端部は、前記付着膜によって縮小されたトラック幅を有する、
磁気記録再生装置。 - 請求項24に記載された磁気記録再生装置であって、前記付着膜は、CVD膜である、磁気記録再生装置。
- 請求項24に記載されて磁気記録再生装置であって、前記非磁性膜は、Al2O3を主成分とする、磁気記録再生装置。
- 請求項22に記載された磁気記録再生装置であって、前記非磁性膜は、アトミックレイヤー法を用いたAl-CVD膜である、磁気記録再生装置。
- 請求項27に記載された磁気記録再生装置であって、前記Al-CVD膜は、膜厚が5〜50nmの範囲にある、磁気記録再生装置。
- 請求項22に記載された磁気記録再生装置であって、
前記トレンチ部は、狭幅部分と、拡幅部分とを含んでおり、
前記狭幅部分は、前記下部ポール膜の前記磁極端部、及び、前記上部ポール膜の前記磁極端部を収納する部分であり、
前記拡幅部は、前記狭幅部分の後方に連続しており、
前記下部ポール膜は、前記狭幅部分及び前記拡幅部において連続する、
磁気記録再生装置。 - 請求項29に記載された磁気記録再生装置であって、前記ギャップ膜は、前記狭幅部分及び前記拡幅部において連続する、磁気記録再生装置。
- 請求項22に記載された磁気記録再生装置であって、前記上部ポール膜は、後方部で面積が拡大されており、面積拡大の始点となるフレアポイントから前記媒体と対向する面までの距離が、0.1〜0.5μmの範囲にある、磁気記録再生装置。
- 請求項22に記載された磁気記録再生装置であって、前記上部ポール膜の後方に、スロートハイトを決める非磁性膜を有する、磁気記録再生装置。
- 請求項22に記載された磁気記録再生装置であって、前記薄膜磁気ヘッドは、さらに、読取素子を含む、磁気記録再生装置。
- 請求項32に記載された磁気記録再生装置であって、前記読取素子は、GMR素子又は強磁性トンネル接合膜を含む、磁気記録再生装置。
- 書込素子を含む薄膜磁気ヘッドの製造方法であって、
下部ヨーク膜の表面上に無機絶縁膜を形成し、
前記無機絶縁膜に、前記下部ヨーク膜の前記表面が底部に露出するように、トレンチ部を形成し、
その後、前記トレンチ部の内部に、下部ポール膜、ギャップ膜及び上部ポール膜をめっき法によって形成する、
工程を含む、製造方法。 - 請求項35に記載された製造方法であって、
前記無機絶縁膜に、前記トレンチ部を形成した後、前記トレンチ部の内部に、前記下部ポール膜、前記ギャップ膜及び前記上部ポール膜を形成する前、前記トレンチ部の内壁面に、無機材料の付着膜を形成し、
次に、前記付着膜のうち、前記トレンチ部の底部に存在する部分を除去する工程を含む、製造方法。 - 請求項36に記載された製造方法であって、前記付着膜はCVD法によって形成する、製造方法。
- 請求項37に記載された製造方法であって、前記付着膜は、アトミックレイヤー法によって形成する、製造方法。
- 請求項38に記載された製造方法であって、前記付着膜は、膜厚が5〜50nmの範囲となるように形成する、製造方法。
- 請求項39に記載された製造方法であって、前記下部ポール膜を形成した後、前記上部ポール膜を形成する前に、前記下部ポール膜の後方に、スロートハイトを決める非磁性膜を形成する工程を含む、製造方法。
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