JP2846300B2 - 磁気ディスク装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク装置
に関する。 【０００２】 【従来の技術】従来より、磁気ディスク装置には、磁気
記録媒体の走行によって生じる動圧を利用して、磁気記
録媒体との間に微小な空気ベアリングによる間隙を保っ
て浮上する磁気ヘッドが用いられている。浮上型磁気ヘ
ッドは、磁気記録媒体と対向する面側に浮上面を有する
スライダに、読み書き素子を付着させた基本的な構造を
持っており、磁性体でなるスライダにコイルを有するＵ
状コアを装着したウィンチェスタ型磁気ヘッド、非磁性
セラミック構造体でなるスライダの溝内に、バルク型の
読み書き素子を挿着したコンポジット型磁気ヘッド、メ
タル．イン．ギャップ（ＭＩＧ）型磁気ヘッド、及び、
スライダの上に半導体製造テクノロジーと同様のプロセ
スにしたがって薄膜読み書き素子を形成した薄膜磁気ヘ
ッドが知られている。 【０００３】これらの各種の浮上型磁気ヘッドのうち、
ウィンチェスタ型磁気ヘッド、コンポジット型磁気ヘッ
ドまたはＭＩＧ型磁気ヘッドは、例えば特公昭５７−５
６９号、特公昭５８−２１３２９号、特公昭５８−２８
６５０号、特開昭６２−８８１１２号各公報等で公知で
あり、その読み書き素子は、コアに線材による巻線を施
したバルクタイプとなっている。 【０００４】薄膜磁気ヘッドは、例えば特開昭５５−８
４０１９号、特開昭５５−８４０２０号公報等で公知で
ある。薄膜磁気ヘッドは、スライダの上に薄膜でなる磁
性膜、導体コイル膜、コイル層間絶縁膜及び保護膜等を
形成した構造となっている。薄膜磁気ヘッドは、バルク
タイプの浮上型磁気ヘッドと比較して、導体コイル膜の
インダクタンス値が１桁以上も低くなるので、高周波特
性が極めて良好であり、本質的に高速応答性に優れ、高
密度記録に適した磁気ヘッドとなる。この特徴のため
に、薄膜磁気ヘッドは、コンピュータとの組合せにおい
ては、バルクタイプの浮上型磁気ヘッドでは達成できな
い領域まで、データ転送の高速化及び磁気記録の高密度
化を図り得るものとして期待されている。 【０００５】しかも、薄膜磁気ヘッドは、磁気回路を構
成する磁性膜が高飽和磁束密度及び高透磁率のパーマロ
イ等でなる金属磁性材料で構成されていること、磁気ギ
ャップ長を小さくできること、読み書きポール幅を極め
て狭小にできること等の特徴があり、導体コイル膜及び
コアとなる磁性膜のインダクタンス値が低いことによる
高周波特性の良さと相まって、バルクタイプの浮上型磁
気ヘッドよりも著しく優れた高速応答性及び高記録密度
を達成できる。 【０００６】次に、浮上型磁気ヘッドの具体例を図１７
を参照して説明する。図１７は従来の磁気ヘッドの斜視
図を示し、１は例えばセラミック構造体でなるスライ
ダ、２は読み書き素子である。 【０００７】スライダ１は磁気記録媒体と対向する面
に、間隔をおいて２つのレール部１０１、１０２を形成
すると共に、レール部１０１、１０２の表面を平面度の
高い浮上面１０３、１０４としてある。 【０００８】スライダ１の外形寸法は、例えば米国特許
第４，６２４，０４８号明細書等に示されるように、通
常、浮上面１０３、１０４から反対側の対向面１０５ま
での厚みｄが０．８５ｍｍ、空気流出方向の長さＬが４
ｍｍ、空気流出方向と直交する方向の幅ｗが３．２ｍｍ
という如く選定されている。浮上面１０３、１０４側に
は、磁気記録媒体との組合せにおいて、矢印ａ方向に流
れる空気流に対して流入端となる一端部側に、テーパ部
１０３ａ、１０４ａを設けた構造となっている。 【０００９】読み書き素子２は、薄膜磁気ヘッドにおい
ては、ＩＣ製造テクノロジと同様のプロセスにしたがっ
て形成された薄膜素子であり、テーパ部１０３ａ、１０
４ａとは反対側の空気流出端部側に付着されている。図
示はされていないけれども、ウィンチェスタ型磁気ヘッ
ド、コンポジット型磁気ヘッドまたはＭＩＧ型磁気ヘッ
ドは、コアに線材による巻線を施したバルクタイプとな
る。 【００１０】読み書き素子２を薄膜素子として構成した
場合は、読み書き素子２のディメンションは、要求され
る電磁変換特性を満たすため、空気流出方向と直交する
方向の径Ｄ１が約０．３ｍｍ、浮上面１０３、１０４か
ら対向面１０５の方向への径Ｄ２が約０．４ｍｍとな
る。更に、薄膜磁気ヘッドでは、読み書き素子を付着さ
せたスライダ１の側端面に取出電極２０１、２０２が設
けられる。これらの取出電極２０１、２０２は、読み書
き素子２の図示しない導体コイル膜に導通接続さてい
る。取出電極２０１、２０２は、磁気ディスク装置に導
かれるリード線が接続される部分であり、リード線接続
面積を確保するため、空気流出方向ａと直交する方向の
長さｌ１が０．５ｍｍ程度で、浮上面１０３、１０４か
らその対向面１０５の方向で見た線幅ｈ１が約０．２ｍ
ｍとなっている。 【００１１】上述の薄膜磁気ヘッドは、フォトリソグラ
フィ等の高精度パターン形成技術を駆使して、スライダ
１となるウエハ上に多数個の薄膜読み書き素子を形成し
た後、ウエハに切断加工を施して薄膜読み書き素子を取
出し、レール部１０１、１０２等に必要な溝入れ加工及
び浮上面１０３、１０４の研磨加工等を経て製造され
る。 【００１２】磁気ディスク装置として使用する場合は、
磁気ヘッドは図示しないジンバル支持装置の先端部に装
着し、スライダ１の浮上面１０３、１０４を磁気ディス
クの表面にバネ接触させ、この状態で起動停止を行な
う、いわゆるコンタクト．スタート．ストップ（以下Ｃ
ＳＳと称する）方式によって駆動される。磁気ディスク
が静止しているときは、バネ圧により浮上面１０３、１
０４が磁気ディスクの面に押付けられているが、磁気デ
ィスクが回転すると、図１８に示すように、スライダ１
のテーパ面１０３ａ、１０４ａを含む浮上面１０３、１
０４に揚力動圧が発生し、この動圧とジンバルのバネ圧
Ｐと釣り合う浮上量ｇで浮上する。 【００１３】 【発明が解決しようとする課題】上述のディメンション
を有する従来のスライダは、浮上量０．３μｍ以上の領
域で安定した浮上特性が得られる。しかし、磁気記録の
高密度化に対応するため、浮上量ｇを従来の１／３以下
の０．１μｍ以下に設定した場合、安定した浮上特性を
得ることが困難であった。その理由は、従来のスライダ
において、浮上量を０．１μｍ以下に低く抑えようとす
ると、例えば動圧と支持バネ圧との間の適正なバランス
を保つことが困難になり、フライト姿勢（浮上姿勢）が
崩れるためと、推測される。 【００１４】フライト姿勢については、ロール角によっ
て定量的に説明できる。図１９は磁気ディスＭと磁気ヘ
ッドとの間に生じるロール角を説明する図で、βはロー
ル角を示している。ロール角βが大きくなると、回転内
周側で見た浮上量ｇ１と、回転外周側で見た浮上量ｇ２
との差が大きくなる。ロール角が変化した場合、磁気デ
ィスクの上下動がない場合でも、スライダ側の問題とし
て、浮上量が、磁気ディスクとレール下面間の距離であ
る設計中心から一定の割合で変化（静的隙間変動）し、
フライト姿勢が崩れる（静的隙間変動が大きくなる）。 【００１５】厚みｄが０．８５ｍｍ、空気流出方向の長
さＬが４ｍｍ、空気流出方向と直交する方向の幅ｗが
３．２ｍｍの如く選定されたディメンションをもつ従来
のスライダにおいて、浮上量ｇを従来の１／３以下の
０．１μｍ以下に設定した場合、ロール角を、かなり大
きな、ある値以下に低下させることが困難になり、その
ためにフライト姿勢が崩れたものと推測される。 【００１６】フライト姿勢が崩れると、実効的な浮上量
が大きくなり、スペーシングロスが増えるため、高密度
記録に限界を生じる。なお、フライト姿勢の崩れは、上
述したように、磁気ディスクの上下動がないとした場合
のスライダ側の問題であるので、磁気ディスクの回転に
より生じる面外振動やその表面に存在するうねり等を原
因として、回転するディスクの上下動により浮上隙間
（浮上量）が波打って変動する現象（動的隙間変動また
は追従性）とは、異なる技術的項目として、区別して扱
う必要がある。 【００１７】そこで、本発明の課題は、浮上安定性に優
れ、高密度記録に適した磁気ディスク装置を提供するこ
とである。 【００１８】 【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ため、本発明者等は、浮上安定性に優れたスライダを得
るべく、スライダのディメンションに関して鋭意研究を
行なった。その結果、浮上面からその対向面までの厚み
が０．６５ｍｍ以下、空気流出方向の長さが１ｍｍ〜３
ｍｍ、空気流出方向と直交する方向の幅が１ｍｍ〜２．
５ｍｍのディメンションを持つスライダは、磁気ディス
ク装置に用いた場合、低浮上量を保ちつつ、高い浮上安
定性を確保できることを見出したものである。特に、上
記ディメンションを持つスライダを用いた磁気ヘッド
と、表面平滑性Ｒｍａｘが１００Å未満である磁気ディ
スクと組み合わせた磁気ディスク装置では、浮上量が
０．０９μｍの低い値になっても、フライト姿勢が崩れ
ず、安定な浮上特性が得られることが確認された。 【００１９】上記ディメンショを持つスライダが、何
故、高い浮上安定性を有することになるのか、その理由
は必ずしも明確ではないが、上記ディメンショを持つス
ライダは、従来のスライダに比較して、ロール角度（ま
たはロール値）及びその変化幅が予想し得る範囲を超え
て著しく小さくなり、フライト姿勢が安定に保たれるた
めと推測される。 【００２０】ロール角度及びその変化幅を小さくする手
段として、本願発明では、スライダの形状選定によって
対応しているので、スライダの運動中心変更等の操作が
不要である。このため、スライダ運動中心に対する質量
の偏り、運動モーメントの不均一性等の問題を生じるこ
となく、浮上姿勢を安定させ、信頼性を確保したまま
で、浮上量を低下させることが可能になる。 【００２１】浮上面からその対向面までの厚みｄが０．
６５ｍｍを超えると浮上安定性が悪くなる。その理由
は、重心位置がジンバルとの接続面である対向面側に寄
りに移るためと推測される。また、厚みが薄くなり過ぎ
ると、スライダの剛性が低下し、スライダにネジレや変
形を生じ、空気ベアリング面の平面度が確保できなくな
る。従って、厚みｄは、０．６５ｍｍ以下の範囲で、必
要な空気ベアリング面の平面度を確保し得る下限値に設
定する。 【００２２】また、長さＬ及び幅ｗが１ｍｍより小さく
なると、浮上安定性が悪くなる。その理由は、安定な浮
上特性を確保するのに充分な浮上面面積を確保できなく
なるためと推測される。 【００２３】 【実施例】図１は本発明に係る磁気ディスク装置に用い
られる磁気ヘッドの斜視図、第２図はスライダの正面
図、図３は同じく浮上面側から見た底面図、図４は側面
図である。図において、図１７と同一の参照符号は同一
性ある構成部分を示している。スライダ１は、浮上面１
０３、１０４から反対側の対向面１０５までの厚みｄを
０．６５ｍｍ以下とし、空気流出方向（走行方向）ａの
長さＬを１ｍｍ〜３ｍｍとし、空気流出方向ａと直交す
る方向の幅ｗを１ｍｍ〜２．５ｍｍとしてある。読み書
き素子２の付着部分の厚みは長さＬに比較して実質的に
無視できるから、前記長さＬは、実質的に、読み書き素
子２を含めた寸法である。実施例における読み書き素子
２は薄膜素子である。 【００２４】また、図１〜図４の実施例に示す如く、ス
ライダ１の浮上面１０３、１０４は、テーパ面を持たな
い平面状とすることもできる。空気流出方向ａで見た浮
上面１０３、１０４の端部（イ）、（ロ）は、ＣＳＳ時
における磁気ディスクの表面との引掛りをなくすため、
弧状に形成するのが望ましい。他の端部（ハ）、（ニ）
も弧状に形成できる。また、幅方向の略中間部に１本の
レール部を設け、このレール部の表面を浮上面とする構
造をとることも可能である。この構造の場合は、全体の
小型化を図るのに都合がよい。 【００２５】更に、スライダの長さ及び幅が１ｍｍ以
上、１．５ｍｍ以下の場合には、ディスクと対向する側
の面全てを浮上面としてもよい。 【００２６】図５は本発明に係る磁気ディスク装置に用
いられる磁気ヘッドの別の実施例における斜視図を示し
ている。図５の実施例では、スライダ１の浮上面６はレ
ール部を持たない平面状とし、その端縁（イ）〜（ニ）
を弧状に形成してある。 【００２７】図６は本発明に係る磁気ディスク装置に用
いられる磁気ヘッドの別の実施例における斜視図を示し
ている。図６の実施例では、図１６の従来例と同様に、
浮上面１０３、１０４にテーパ面１０３ａ、１０４ａを
設けてある。 【００２８】上記の磁気ヘッドによれば、記憶領域の増
大と共に、ヘッド支持装置との組合せにおいて、０．２
μｍ以下の低浮上量で、安定した浮上特性が得られ、高
い耐久性が得られる。次に具体例な実施例を上げて説明
する。図１〜図４の実施例に示す構造において、スライ
ダ１の外形寸法を、 浮上面１０３、１０４の幅ｗ１＝０．３ｍｍとした。 【００２９】上記スライダを用いた磁気ヘッドをヘッド
支持装置に取付けて磁気ディスク装置を得た。図７はこ
のようにして得られた磁気ディスク装置と磁気ディスク
との関係を示す図で、Ｍは磁気ディスク、３はヘッド支
持装置、４は位置決め機構である。磁気ディスクＭは図
示しない回転駆動機構により、矢印ａの方向に回転駆動
される。ヘッド支持装置３は位置決め機構４により、回
転直径Ｏ１上で、矢印ｂ１またはｂ２の方向に駆動され
て位置決めされ、それによって所定のトラッにおいて、
磁気ディスクＭと磁気ヘッドとの間で磁気記録．再生が
行な行なわれる。図７に示す磁気ディスク装置は、リニ
ア アクチュエータ型磁気ディスク装置と称されてい
る。この他に、ヘッド支持装置を磁気ディスクの面上で
回転駆動し、磁気ディスクＭの回転方向に対する磁気ヘ
ッドの角度（スキュー角）を変えながら位置決めするス
イングアーム型磁気ディスク装置も知られており、この
ようなタイプにも、本願発明は当然適用可能である。 【００３０】ヘッド支持装置３は、位置決め機構４に取
付けられる剛性アーム部３１に、弾性金属薄板でなる支
持体３２の一端を、結合具３１１、３１２によって取付
け固定すると共に、支持体３２の長手方向の一端にある
自由端に、同じく金属薄板でなる可撓体３３を取付け、
この可撓体３３の下面に、本発明に係るスライダを用い
た磁気ヘッド３４を取付けた構造となっている。支持体
３２は剛性アーム部３１に取付けられる部分が弾性バネ
部３２１となっていて、この弾性バネ部３２１に連続し
て剛性ビーム部３２２を形成してある。剛性ビーム部３
２２は両側に折曲げ形成したフランジ３２２ａ、３２２
ｂを有し、磁気ディスクＭに磁気ヘッド３４を押付ける
荷重力を得るようになっている。実施例では、磁気ヘッ
ド３４から磁気ディスクＭへの荷重が９．５ｇとなるよ
うに、剛性アーム部３１、支持体３２及び可撓体３３の
長さ、板厚及びバネ性等を定めた。 【００３１】図８はヘッド支持装置の要部における正面
図、図９は同じく浮上面側から見た底面図である。可撓
体３３は支持体３２の長手方向軸線Ｏ２ と略平行して
伸びる２つの外側可撓性枠部３３１、３３２と、支持体
３２から離れた端において外側可撓性枠部３３１、３３
２を連結する横枠３３３と、横枠３３３の略中央部から
外側可撓性枠部３３１、３３２に略平行するように伸び
ていて先端を自由端とした中央舌状部３３４とを有して
構成され、横枠３３３のある方向とは反対側の一端を、
支持体３２の自由端付近に溶接（ホ）等の手段によって
取付けてある。 【００３２】可撓体３３の中央舌状部３３４の上面に
は、例えば半球状等の荷重用突起３３５が設けられてい
て、この荷重用突起３３５により、支持体３２の自由端
から中央舌状部３３４へ荷重を伝えるようにしてある。
中央舌状部３３４の下面には本発明に係る磁気ヘッド３
４を接着等の手段によって固着してある。 【００３３】図７の構成において、磁気ディスクＭの周
速が９ｍ／ｓとなる部分で浮上させたところ、０．０９
μｍの浮上量が得られた。 【００３４】また、スライダ１のディメンションを前述
のような寸法に設定し、トラック幅８μｍ、トラックピ
ッチ１２．７μｍの一般的な薄膜読み書き素子を形成し
た場合、従来寸法のスライダを用いた薄膜磁気ヘッドよ
りも、磁気ディスクＭ上での記憶領域を、約８０トラッ
ク余分に増やすことができた。 【００３５】図１０は図７〜図９に示した磁気ディスク
装置の浮上特性測定データを示す図である。図１０の測
定データは、図１１に示すような測定システムによって
得られたものである。図１１において、５はアコースチ
ック．エミッション．センサ（以下ＡＥセンサと称す
る。）、６はフィルタ、７は増幅器、８はオシロスコー
プである。図１１における測定条件は次の通りである。 【００３６】図１０の測定データに示すように、本発明に係るスライ
ダを用いた浮上型磁気ヘッド３４を使用した磁気ディス
ク装置では、ＡＥセンサ出力が殆ど生じていない。この
ことから、本発明に係る磁気ディスク装置では、磁気ヘ
ッドの浮上量が０．０９μｍの低い値になっても、フラ
イト姿勢が崩れず、安定な浮上特性が得られることが解
る。 【００３７】本発明に係る磁気ディスク装置において、
磁気ヘッドが、低浮上量で安定した浮上姿勢を保つこと
は、図１２〜図１５の実測データによっても裏付けられ
る。図１２〜図１５のデータは、ヘッド支持装置を磁気
ディスクの面上で回転駆動し、磁気ディスクＭの回転方
向に対する磁気ヘッドの角度（スキュー角）を変えなが
ら位置決めするスイングアーム型磁気ディスク装置によ
って得られたものである。 【００３８】図１２〜図１５において、横軸に磁気ディ
スクの周速（ｍ／ｓ）及び磁気ヘッドのスキュー角
（度）を取り、縦軸にロール値（μｍ）を取ってある。
ロール値は空気ベアリング面における外周側浮上量と内
周側浮上量との絶対値差である。例えば図１８を参照す
ると、レール１０１の浮上量ｇ２とレール１０２の浮上
量ｇ１との差｜ｇ２−ｇ１｜となる。従って、ロール値
が大きいことと、ロール角が大きいことは同義である。
図１２は直径１．８インチの磁気ディスクを用いた場合
の特性、図１３は直径２．５インチの磁気ディスクを用
いた場合の特性、図１４は３．５インチの磁気ディスク
を用いた場合の特性、図１５は５．２５インチの磁気デ
ィスクを用いた場合の特性をそれぞれ示している。図１
２〜図１５を通して、データプロット点に表示された□
印は、 Ｌ×Ｗ×ｄ＝２．８×２．３×０．６５ のディメンションを持つスライダを用いた場合のデータ
を示し、＋印は、 Ｌ×Ｗ×ｄ＝２×１．６×０．４５ のディメンションを持つスライダを用いた場合のデータ
を示し、△印は Ｌ×Ｗ×ｄ＝４×３．２×０．８５ のディメンションを持つスライダを用いた場合のデータ
をそれぞれ示している。従って、△印は従来のスライダ
を用いた磁気ヘッドのデータを表示し、□印及び＋印は
本発明に係るスライダを用いた磁気ヘッドのデータを表
示している。 【００３９】図１２〜図１５に示すように、本発明に係
る磁気ディスク装置では、従来よりも、磁気ヘッドのロ
ール値、即ちロール角が小さくなっている。本発明に係
る磁気ディスク装置において、磁気ヘッドのロール角
は、特に周速が大きくなる外周に向かう程、従来の磁気
ヘッドのロール角よりも著しく小さくなる。しかも、本
発明に係る磁気ディスク装置では、磁気ディスクの最内
周と最外周との間におけロール値の差が、従来と比較し
て、著しく小さくなっている。このため、本発明によれ
ば、磁気ディスクの全面にわたって、浮上姿勢の安定し
た磁気ディスク装置が得られる。また、ロール角が小さ
くなるために、実効的な浮上量が低下し、スペーシング
ロスが減少し、高記録密度に適した磁気ディスク装置が
得られる。 【００４０】図１２〜図１５のデータには、更に注目す
べき技術的事項が含まれている。即ち、ロール値または
ロール角がスライダのディメンションに比例するのであ
れば、（２．８×２．３×０．６５）のディメンション
を有するスライダのデータである□印は、（４×３．２
×０．８５）のディメンションを持つ従来のスライダの
データである△印のデータの７０％前後でなければなら
い。また、（２×１．６×０．４５）のディメンション
を有するスライダのデータである＋印は、（４×３．２
×０．８５）のディメンションを持つ従来のスライダの
データである△印のデータの５０％前後の位置になけれ
ばならい。ところが、図１２〜図１５のデータは、その
ようにはなっていない。（２．８×２．３×０．６５）
及び（２×１．６×０．４５）のディメンションを持つ
磁気ヘッドのデータである□印、＋印は、互いに接近し
た値を示しており、（４×３．２×０．８５）のディメ
ンションを有する従来の磁気ヘッドのデータである△印
との間に、明らかな有意差が認められる。これらのデー
タを見ると、デイメンション比７５％前後にロール角を
低下させるクリティカルポイントがあると推測すること
ができる。 【００４１】しかも、図１２〜図１５を見ると、上述の
有意差は、磁気ディスクと磁気ヘッドとの間の相対速度
が大きくなる外周側において特に顕著に現れている。従
って、本来的にロール角を低下させなければならない磁
気ディスク外周側において、ロール角を予測可能範囲を
超えて低下させ、実効的な浮上量を低下させ、スペーシ
ングロスを減少させ、高密度記録を達成できる。 【００４２】図７に示したリニア アクチュエータ型磁
気ディスク装置でも、同様のロール低減作用が得られ
る。図１６はリニア．アクチュエータ型磁気ディスク装
置における磁気ディスク周速（ｍ／ｓ）とロール値（μ
ｍ）との関係をグラフ化して示す図である。１００％と
表示されている特性は、 Ｌ×ｗ×ｄ＝４×３．２×０．８５ のディメンションを持つスライダを用いた場合の特性、
７０％と表示されている特性は、 Ｌ×ｗ×ｄ＝２．８×２．３×０．６５ のデメンションを持つスライダを用いた場合の特性、５
０％と表示されている特性は、 Ｌ×ｗ×ｄ＝２×１．６×０．４５ のデメンションを持つスライダを用いた場合の特性をそ
れぞれ示している。 【００４３】図１６を見ると（２．８×２．３×０．６
５）及び（２×１．６×０．４５）のディメンションを
有するスライダを用いた場合、（４×３．２×０．８
５）のディメンションを有するスライダを用いた場合よ
り、ロール値が、図１２〜図１５で説明したと同様に、
有意差をもって低下していることが分る。しかも、この
有意差は磁気ディスクと磁気ヘッドとの間の相対速度が
大きくなる外周側において特に顕著に現れている。従っ
て、リニア アクチュエータ型磁気ディスク装置を構成
した場合でも、本来的にロール角を低下させなければな
らない磁気ディスク外周側において、ロール角を予測可
能範囲を超えて低下させ、実効的な浮上量を低下させ、
スペーシングロスを減少させ、高密度記録を達成でき
る。 【００４４】このように、本発明によれば、従来の磁気
ヘッドとの間のディメンション比からは推測できない範
囲でロール角を低下させ、浮上姿勢の安定した磁気ディ
スク装置を提供できるという特有の効果が得られる。 【００４５】 【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、次
のような効果が得られる。 （ａ）磁気ヘッドを、高い浮上安定性で浮上させること
ができ、高密度記録に適した磁気ディスク装置を提供で
きる。 （ｂ）従来のスライダとの間のディメンション比からは
推測できない範囲で、磁気ヘッドのロール角を低下さ
せ、浮上姿勢を安定させた、高密度記録に適した磁気デ
ィスク装置を提供できる。 （ｃ）ロール角度を小さくする手段として、スライダの
形状選定によって対応しているので、スライダ運動中心
に対する質量の偏り、運動モーメントの不均一性等の問
題を生じることなく、磁気ヘッドの浮上姿勢を安定さ
せ、信頼性を確保したままで、浮上量を低下させ得る磁
気ディスク装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】 【図１】本発明に係る磁気ディスク装置に用いられる磁
気ヘッドの斜視図である。 【図２】本発明に係る磁気ディスク装置に用いられるス
ライダの正面図である。 【図３】本発明に係る磁気ディスク装置に用いられるス
ライダの浮上面側から見た底面図である。 【図４】本発明に係る磁気ディスク装置に用いられるス
ライダの側面図である。 【図５】本発明に係る磁気ディスク装置に用いられる磁
気ヘッドの別の実施例における斜視図である。 【図６】本発明に係る磁気ディスク装置に用いられる磁
気ヘッドの別の実施例における斜視図である。 【図７】本発明に係る磁気ディスク装置に用いられる磁
気ヘッドを使用した磁気ディスク装置を示す図である。 【図８】ヘッド支持装置の要部における正面図である。 【図９】ヘッド支持装置を浮上面側から見た底面図であ
る。 【図１０】本発明に係る磁気ディスク装置の浮上安定性
測定データを示す図である。 【図１１】図１０の測定データを得るための測定システ
ムを示す図である。 【図１２】磁気ディスク周速（ｍ／ｓ）及び磁気ヘッド
のスキュー角（度）とロール値（μｍ）との関係を示す
データである。 【図１３】磁気ディスク周速（ｍ／ｓ）及び磁気ヘッド
のスキュー角（度）とロール値（μｍ）との関係を示す
データである。 【図１４】磁気ディスク周速（ｍ／ｓ）及び磁気ヘッド
のスキュー角（度）とロール値（μｍ）との関係を示す
データである。 【図１５】磁気ディスク周速（ｍ／ｓ）及び磁気ヘッド
のスキュー角（度）とロール値（μｍ）との関係を示す
データである。 【図１６】リニアアクチュエータ型磁気ディスク装置に
おける磁気ディスク周速（ｍ／ｓ）とロール（μｍ）と
の関係をグラフ化して示す図である。 【図１７】従来の磁気ヘッドの斜視図である。 【図１８】浮上型の磁気ヘッドの動作状態を示す図であ
る。 【図１９】同じく浮上型磁気ヘッドの動作状態を示す図
である。 【符号の説明】 １ スライダ ２ 読み書き素子 １０３、１０４、１０６ 浮上面 ｄ 浮上面からその対向面ま
での厚み Ｌ 空気流出方向の長さ ｗ 空気流出方向と直交する
方向の幅

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭64−21713（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−334641（ＪＰ，Ａ) 特開 昭49−79216（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G11B 5/60 G11B 21/21 101

Claims (1)

1. (57)【特許請求の範囲】 １．磁気ディスクと、磁気ヘッドとを含み、前記磁気デ
   ィスクの走行によって前記磁気ヘッドと前記磁気ディス
   クとの間に生じる動圧を利用して、前記磁気ヘッドを、
   前記磁気ディスクとの間に浮上量を保って浮上させる磁
   気ディスク装置であって、 前記磁気ディスクは、表面平滑性Ｒｍａｘが１００オン
   グストローム未満であり、 前記磁気ヘッドは、前記磁気ディスクと対向する面側に
   浮上面を有するスライダの空気流出端部側に読み書き素
   子を付着させてあり、 前記スライダは、前記浮上面からその対向面までの厚み
   が０．６５ｍｍ以下であり、空気流出方向の長さが１ｍ
   ｍ〜３ｍｍであり、空気流出方向と直交する方向の幅が
   １ｍｍ〜２．５ｍｍである磁気ディスク装置。 ２．請求項１に記載された磁気ディスク装置であって、 前記浮上面は、空気流入部にテーパ面を持たない平面で
   ある磁気ディスク装置。