JPH1050019A

JPH1050019A - 浮動ヘッドスライダ

Info

Publication number: JPH1050019A
Application number: JP8200330A
Authority: JP
Inventors: Kazunori Kimura; 和典木村
Original assignee: NEC Corp
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 1996-07-30
Filing date: 1996-07-30
Publication date: 1998-02-20
Anticipated expiration: 2016-07-30
Also published as: US5926344A; JP2778588B2

Abstract

(57)【要約】【課題】スライダレールの側壁に塵埃が付着しても安
定して情報の読み書きができる浮動ヘッドスライダを提
供すること。【解決手段】スライダレール１０を、磁気ディスクに
対向する所定幅の浮上圧力発生面１１と、この浮上圧力
発生面１１からスライダ本体２１に及ぶ側壁１２とによ
り構成すると共に、スライダレール１０の幅の内、スラ
イダレール１０の高さ方向の中央部の幅を浮上圧力発生
面１１側より狭く構成して、スライダレール１０の側壁
１２に所定の窪み１３ａを形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、浮動ヘッドスライ
ダにかかり、特に磁気ディスク装置に用いられる浮動ヘ
ッドスライダに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、磁気ディスク装置に使用され
る浮動ヘッドスライダとしては、図８に示すようなもの
が使用されている。即ち、一般的に用いられている浮動
ヘッドスライダ１ｇは、矩形形状のスライダ本体７１
と、このスライダ本体７１の表面から突出するスライダ
レール６０とから構成されている。そして、スライダレ
ール６０は空気流の流れに沿って延設されており、磁気
ディスクに対してはこのスライダレール６０が接触する
ようになっている。

【０００３】ところで、近年、磁気ディスクの高記録密
度化を実現するために、浮動ヘッドスライダと磁気ディ
スクとの間隔が狭くなる傾向にある。特に、コンタクト
スタートストップ（以下「ＣＳＳ」という）方式におい
ては、スライダレールがディスク面の粗さや突起を削る
ことがあり、これが塵埃の発生の原因になる。このこと
は、情報の読み書き中の浮上ヘッドスライダと磁気ディ
スクの間隔が狭くなるに従い、浮動ヘッドスライダの浮
上中にも生じるようになる。これに伴い、磁気ディスク
装置内の浮遊塵埃などがスライダレールの浮上力発生面
と磁気ディスクの間に侵入し、一時的な記録情報の読み
書き不能状態を起こしたり、また、スライダレールの表
面に塵埃が付着し、ヘッドスライダの浮上が不安定にな
り、その結果として、磁気ディスクとの間で高速摺動に
より、磁気ディスク及び浮動ヘッドスライダを破損する
危険性が高まっている。

【０００４】上記した問題点を解決するために、特開昭
６１−１７０９２２号公報には、スライダレールにおけ
る空気の流出端に所定の段差を設け、この段差によって
複雑な空気流を発生させ、スライダレールの流出端に堆
積する塵埃の量を減少させることが記載されている。ま
た、特開平５−８１８１０号公報では、スライダレール
の浮上力発生面上の空気流出端の上流に所定のＶ字形の
溝を形成し、この溝により空気流中の塵埃を捕捉し、塵
埃が磁気ディスク表面へ接触したりすることを防ぐこと
が示されている。

【０００５】また、特開平４−１３７２８６号公報に
は、浮動ヘッドスライダの先端部を、テーパ部が鋭角を
なすように形成すると共に、スライダレールの長手方向
の外側面を浮上圧力発生面と鋭角をなすテーパ面として
形成することにより、空気流中の塵埃をスライダ背面側
に導く浮動ヘッドスライダが提案されている。また、負
圧スライダにおける塵埃堆積問題を解消する浮動ヘッド
スライダとしては、特開平６−４４７１９号公報には、
空気流入端に形成されたクロスレールを開口溝により分
断し、空気流の逃げ道を形成することで塵埃の付着を抑
制したものが開示されている。

【０００６】また、特開平６−３３３３５４号公報で
は、空気の流入端まで達するクロスレールを用い、テー
パ部を廃するものが開示されている。これは度重なるコ
ンタクトスタートストップによっても容易に除去されな
いテーパ部と磁気ディスクとの間隙に付着する塵埃をな
くす方法である。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例には以下のような不都合があった。即ち、特開昭６
１−１７０９２２号公報および特開平５−８１８１０号
公報の浮動ヘッドスライダでは、スライダレールの表
面、特にスライダレールの流出端に堆積する塵埃の量を
減少させることはできる。しかしながら、浮動ヘッドス
ライダを搭載するアクセス機構としては、所定の回転軸
を中心に揺動して所定の半径位置に位置決めするロータ
リー方式が主に採用されているため、浮動ヘッドスライ
ダの長手方向と磁気ディスクの接線方向とはある角度
（以下、ヨー角と称す）を有しており、流入する空気流
中に含まれる塵埃は、スライダレールの側面に対しても
付着、堆積する。こうした塵埃がスライダレールの浮上
圧力発生面に達すると、堆積部がスライダレールの面積
を見かけ上増加させるため、スライダの浮上状態が不安
定になる、という不都合を生じていた。

【０００８】また、特開平４−１３７２８６号公報の浮
動ヘッドスライダにおいては、スライダレールの側面へ
の塵埃付着が考慮されてはいる。しかしながら、シーク
アクセスの場合を除けば、空気流は２本あるいは３本の
スライダレールの内側に必ず流入する構成であり、ま
た、後述するように負圧を利用したヘッドスライダの場
合、スライダの内側であっても、負圧発生部分には選択
的に塵埃の付着が生じるため、この方法による塵埃抑制
は、スライダレールの内側への塵埃付着に対しては全く
効果を発揮しない。

【０００９】また、ＴＰＣ（Transvers Pressure Conto
ure）スライダと呼ばれる浮動ヘッドスライダは、スラ
イダレールの両側に浮上圧力発生面からの深さが０．５
〔μｍ〕〜１．５〔μｍ〕の段差を有しているが、特開
平４−１３７２８６号公報の浮動ヘッドスライダでは、
スライダの外側面であっても、前述の段差部への塵埃付
着を完全には抑制できない。

【００１０】加えて、負圧を利用した浮動ヘッドスライ
ダの場合には、空気流出側のスライダレール側面の圧力
が雰囲気大気に比べ低い部分に塵埃を呼び込むことにな
るが、特開平６−４７１９号公報および特開平６−３３
３３５４号公報の浮動ヘッドスライダでは、クロスレー
ルの空気流入側の塵埃付着を抑制する効果しかなく、負
圧発生部への選択的な塵埃付着による浮動ヘッドスライ
ダの浮上状態の不安定化を防止することができない、と
いう不都合を生じていた。

【００１１】

【発明の目的】本発明は、上記各従来例の有する不都合
を改善し、特にスライダレールの側壁に塵埃が付着して
も安定して情報の読み書きができる浮動ヘッドスライダ
を提供することを、その目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ため、請求項１記載の発明では、浮動ヘッドスライダ
に、磁気ディスクに対応して配設された電磁変換素子を
支持するスライダ本体と、このスライダ本体の磁気ディ
スク側の面に所定高さだけ突出し且つ空気流に沿って延
設されると共に、磁気ディスクの回転により空気軸受け
として機能するスライダレールとを装備する。そして、
スライダレールを、磁気ディスクに対向する所定幅の浮
上圧力発生面と、この浮上圧力発生面からスライダ本体
に及ぶ側壁とにより構成すると共に、スライダレールの
幅の内、スライダレールの高さ方向の中央部の幅を浮上
圧力発生面側より狭く構成して、スライダレールの側壁
に所定の窪みを形成する、という構成を採っている。

【００１３】以上のように構成されたことにより、磁気
ディスクや浮動ヘッドスライダが収納されている装置本
体（図示略）に浮遊している多数の塵埃が、長期間にわ
たる使用により浮動ヘッドスライダの各部に堆積する。
特に、スライダレールの浮上圧力発生面の近傍の側壁に
は、上記した空気流中に含まれる塵埃が堆積する。しか
しながら、スライダレールの側壁には、所定の窪みが形
成されており効率よく塵埃を捕捉でき、他の部分への再
付着を抑制することができる。その際、浮上圧力発生面
の近傍とそれ以外の空間とでは、浮上圧力発生面の方が
圧力が高いので、塵埃はスライダレールの窪み等に導か
れやすい。そして、堆積する塵埃は浮上圧力発生面側に
は流出せず、浮上圧力発生面及びその近傍には堆積しな
い。このため、浮上圧力発面の形状及び面積が変化せ
ず、浮上ヘッドスライダに塵埃が堆積しても、初期の浮
上状態を維持することができる。

【００１４】また、請求項２記載の発明では、浮動ヘッ
ドスライダに、磁気ディスクに対応して配設された電磁
変換素子を支持するスライダ本体と、このスライダ本体
の磁気ディスク側の面に所定高さだけ突出し且つ空気流
に沿って延設されると共に、磁気ディスクの回転により
空気軸受けとして機能するスライダレールとを装備す
る。そして、スライダレールを、磁気ディスクに対向す
る所定幅の浮上圧力発生面と、この浮上圧力発生面から
スライダ本体に及ぶ側壁とにより構成すると共に、スラ
イダレールの幅の内、スライダ本体側の幅を浮上圧力発
生面側より狭く構成して、スライダレールの側壁に所定
の窪みを形成する、という構成を採っている。

【００１５】以上のように構成されたことにより、請求
項１記載の発明と同様に作用し機能し、これに加えて、
スライダレールの幅が単純に減少する形状であるので、
加工が容易である。

【００１６】請求項３記載の発明では、浮上圧力発生面
と側壁との相互間に所定の連結面を設け、浮上圧力発生
面と連結面との交角を鈍角とすると共に、連結面と側壁
との交角を鈍角とするという構成を採り、その他の構成
は請求項１または２記載の発明と同様である。以上のよ
うに構成されたことにより、スライダレールの鋭利な部
分が削除されているので、浮動ヘッドスライダが磁気デ
ィスクに接触しても磁気ディスクに何らの悪影響も与え
ない。

【００１７】請求項４または５記載の発明では、スライ
ダレールに隣接させて浮上圧力発生面と平行な負圧発生
面を設けると共に、この負圧発生面の高さをスライダレ
ールの高さより０．５〔μｍ〕〜１．５〔μｍ〕低く設
定し、浮上圧力発生面と負圧発生面相互間の側壁及び負
圧発生面とスライダ本体相互間の側壁の両方、またはど
ちらか一方に窪みを形成するという構成を採り、その他
の構成は請求項１，２または３記載の発明と同様であ
る。以上のような構成は、負圧発生面の面積を一定にし
て浮上状態を安定させる働きをする。また、スライダ本
体側の側壁は、磁気ディスクの外周のヨー角が大きい領
域で、弱い負圧発生面がテーパ部として作用すること
で、浮上ヘッドスライダの浮上状態変化を適切に抑制す
る作用を有する。

【００１８】請求項６または７記載の発明では、スライ
ダレールを二組設けると共にこれらスライダレールの空
気流入側の端部をクロスレールで連結し、これらスライ
ダレール及びクロスレールの側壁の内スライダ本体の中
心側の側壁に窪みを形成するという構成を採り、その他
の構成は請求項１，２または３記載の発明と同様であ
る。以上のように構成したことにより、スライダレール
の側壁のみならず、クロスレールの側壁における窪みに
おいても確実に塵埃を捕捉することができる。

【００１９】

【発明の実施の形態】本発明の実施形態について図面に
基づいて説明する。

【００２０】〔第１の実施形態〕先ず、図１（Ａ）は本
発明の第１の実施形態を示す図であり、具体的には浮動
ヘッドスライダの磁気ディスクに対面する側を示す斜視
図である。この浮動ヘッドスライダ１ａは、磁気ディス
ク（図示略）に対応して配設された電磁変換素子（図示
略）を支持するスライダ本体２１と、このスライダ本体
２１の磁気ディスク側の面に所定高さだけ突出し且つ空
気流に沿って延設されると共に、磁気ディスクの回転に
より空気軸受けとして機能するスライダレール１０とを
装備する。そして、スライダレール１０を、磁気ディス
クに対向する所定幅の浮上圧力発生面１１と、この浮上
圧力発生面１１からスライダ本体２１に及ぶ側壁１２と
により構成すると共に、スライダレール１０の幅の内、
スライダレール１０の高さ方向の中央部の幅を浮上圧力
発生面１１側より狭く構成して、スライダレール１０の
側壁１２に所定の窪み１３ａを形成する、という手法を
採っている。

【００２１】以下これを詳述すると、スライダ本体２１
は、平面矩形の形状となっており、本実施形態では、空
気流の方向に長く形成されている。そして、スライダ本
体２１は所定の厚みが確保されており、このスライダ本
体２１の空気流出端に図示しない電磁変換素子が装備さ
れている。

【００２２】スライダ本体２１の一方の面、より具体的
には磁気ディスクの表面に対向する側の面には、所定の
スライダレール１０が所定高さだけ突出して配設されて
いる。このスライダレール１０は、スライダ本体２１の
空気流方向から見てそれぞれ両側に２本配設されてい
る。スライダレール１０の長さは、スライダ本体２１の
長さとほぼ同等となっている。そして、スライダレール
１０は、磁気ディスクと最も近接する浮上圧力発生面１
１とスライダレール１０の側壁１２からなる。また、ス
ライダレール１０の空気流の流入端には所定の傾斜部３
１が形成されており、磁気ディスクとスライダレール１
０との相互間に適切に空気流が導入されるようになって
いる。

【００２３】次に、スライダレール１０の側壁１２の詳
細な構成について説明する。ここで、図１（Ｂ）は、図
１（Ａ）中のＡ−Ａ線で浮動ヘッドスライダ１ａを切断
したときの断面図である。この図１（Ｂ）に示すよう
に、側壁１２には通常のスライダレールの側壁とは異な
り、所定の窪み１３ａが形成されている。この窪み１３
ａは、スライダレール１０の幅が浮上圧力発生面１１側
からスライダレール１０の高さ方向の中央部に向かって
徐々に減少するように傾斜し、その後再びスライダ本体
２１に近づくに従いその幅が増大するように傾斜してい
る。そして、この側壁１２とスライダ本体２１とが相互
に連結される。

【００２４】図１（Ｂ）においては、窪み１３ａの断面
形状が円弧状となっているが、本発明はこれに限定され
るものではなく、例えばスライダレール１０の幅を浮上
圧力発生面１１からスライダレール１０の高さ方向の中
央部にかけて直線的に減少させ、逆にスライダレール１
０の高さ方向の中央部からスライダ本体２１に向かって
直線的に増大させるようにしてもよい。即ち、本発明で
は、スライダレール１０の側壁１２が、浮上圧力発生面
１１の両端から僅かに内側に傾斜していることを特徴と
しており、この条件を満たすものであればその具体的形
状は種々考えられる。

【００２５】次に、以上のように構成された浮動ヘッド
スライダ１ａの作用及び機能について説明する。先ず、
図示しない磁気ディスクが回転を始める前には。浮動ヘ
ッドスライダ１ａは磁気ディスクの表面に接触してい
る。そして、磁気ディスクが回転を始めると、これに伴
って磁気ディスクの表面に空気流が生じる。このとき、
浮動ヘッドスライダ１ａは、所定のアーム部材（図示
略）によって支持されているので、磁気ディスクが回転
を初めても所定位置に留まる。

【００２６】磁気ディスクの表面に発生した空気流は、
固定されている浮動ヘッドスライダ１ａとの間で相対速
度を有しているので、スライダレール１０の浮上圧力発
生面１１との間にこの空気流が導入され、浮動ヘッドス
ライダ１ａが磁気ディスクから浮上する。そして、磁気
ディスクとの間で、浮動ヘッドスライダ１ａに設けられ
た電磁変換素子が情報の読み書きを行う。

【００２７】このとき、浮動ヘッドスライダ１ａは磁気
ディスクの回転に伴って発生する空気流によって浮上す
るが、磁気ディスクの中心からは所定距離だけオフセッ
トされた回転中心からアーム部材を介して支持されてい
るので、直線状に形成されたスライダレール１０の方向
と磁気ディスク表面の空気流の方向とは必ずしも一致し
ない。従って、スライダレール１０の長手方向に対して
所定の角度を有する空気流がスライダレール１０の側壁
１２に当たることとなる。

【００２８】ここで、磁気ディスクや浮動ヘッドスライ
ダ１ａが収納されている装置本体（図示略）には、様々
な原因から多数の塵埃が発生している。このため、長期
間にわたる使用により浮動ヘッドスライダ１ａの各部に
上記した塵埃が堆積する。特に、スライダレール１０の
浮上圧力発生面１１の近傍の側壁１２には、上記した空
気流中に含まれる塵埃が堆積する。しかしながら、スラ
イダレール１０の側壁１２には、所定の窪み１３ａが形
成されており効率よく塵埃を捕捉でき、他の部分への再
付着を抑制することができる。その際、浮上圧力発生面
１１の近傍とそれ以外の空間とでは、浮上圧力発生面近
傍の方が圧力が高いので、塵埃はスライダレール１０の
窪み等に導かれやすい。そして、堆積する塵埃は浮上圧
力発生面１１側には流出せず、浮上圧力発生面１１及び
その近傍には堆積しない。このため、浮上圧力発面１１
の形状及び面積が変化せず、浮上ヘッドスライダ１ａに
塵埃が堆積しても、初期の浮上状態を維持することがで
きる。

【００２９】〔第２の実施形態〕図２は、本発明の第２
の実施形態について示したものである。本実施形態にか
かる浮動ヘッドスライダ１ｂでは、上記した第１の実施
形態と基本的な構成を同様としているが、スライダレー
ル１０の幅の内、スライダ本体２１側の幅を浮上圧力発
生面１１側より狭く構成している点が相違している。

【００３０】以下これを詳述すると、側壁１２の窪み１
３ｂは、浮上圧力発生面１１側からこの浮上圧力発生面
の幅を狭くする方向へと傾斜し、そのままスライダ本体
２１につながる。窪み１３ｂは、スライダレール１０の
スライダ本体２１上での十分な幅を保持するために、上
記した第１の実施形態にかかる窪み１３ａの場合に比
べ、浮上圧力発生面１１内部への傾斜角を小さくする必
要がある。このため、スライダレール１０の浮上圧力発
生面１１近傍での窪み量が小さくなり、塵埃の堆積に対
する許容量が低下し、また、初期浮上状態の継続時間も
短くなる。

【００３１】しかしながら、本実施形態にかかるスライ
ダレール１０をエッチング等によって形成する場合に
は、ミリング時の入射角調整あるいはオーバーエッチ効
果の利用により、第１の実施形態で示した窪み１３ａよ
りも作製が著しく容易である。

【００３２】〔第３の実施形態〕図３は、本発明の第３
の実施形態を示したものである。本実施形態において
は、上記した第１及び第２の実施形態の構成に加え、ス
ライダレール１０の浮上圧力発生面１１と側壁１２との
相互間に所定の連結面１４を設け、浮上圧力発生面１１
と連結面１４との交角を鈍角とすると共に、連結面１４
と側壁１２との交角を鈍角とするという手法を採ってい
る。

【００３３】以下これを詳述すると、浮上圧力発生面１
１は図３においては略水平に構成されている。そして、
浮上圧力発生面１１の両側には浮上圧力発生面１１と所
定の交角をもって連結面１４が形成されている。この連
結面１４と浮上圧力発生面１１との交角は鈍角（９０°
を超える角度）となっている。本実施形態においては、
９０°より僅かに大きな角度に設定されているため、連
結面１４が略鉛直となっている。また、連結面１４と側
壁１２との交角も鈍角となっている。具体的には、側壁
１２には上記したと同様な窪み１３ａが形成されてお
り、この窪み１３ａが始まる場所と連結面１４との交角
が鈍角となっている。

【００３４】以上のように構成されたことにより、ＣＳ
Ｓ時およびシーク動作時に浮上圧力発生面１１が磁気デ
ィスクの表面に接触した場合でも、磁気ディスクに対し
て損傷を与え難く、また与える損傷を軽減することがで
きる。

【００３５】〔第４の実施形態〕本発明の第４の実施形
態を図４（Ａ）および図４（Ｂ）を参照して説明する。
図４（Ａ）はＴＰＣスライダと呼ばれる浮動ヘッドスラ
イダ１ｄの斜視図である。このタイプの浮動ヘッドスラ
イダ１ｄにおいては、スライダレール１０を備えると共
に、浮上圧力発生面１１とスライダ本体２１の相互間に
所定の負圧発生面２２，２３を有している。この負圧発
生面２２，２３の高さは、スライダレール１０の高さよ
り０．５〔μｍ〕〜１．５〔μｍ〕低く設定されてい
る。また、浮上圧力発生面１１の外周側に弱い負圧発生
面２３を有し、内周側に強い負圧発生面２２を有してい
る。ここで外周側及び内周側としているのは、磁気ディ
スク（図示略）についてであって、図４（Ａ）における
左方が磁気ディスクの半径方向外側に対向し右方が磁気
ディスクの中心側と対向する。

【００３６】この場合の側壁１２についての詳細な説明
を行うと、図４（Ｂ）は図４（Ａ）中のＢ−Ｂ線で浮動
ヘッドスライダ１ｄを切断したときの断面図である。こ
の図４（Ｂ）に示すように、スライダレール１０の側壁
１２は、浮上圧力発生面１１と負圧発生面２２、２３と
をつなぐ側壁１２ａおよび負圧発生面２２、２３とスラ
イダ本体２１とをつなぐ側壁１２ｂから構成されてい
る。このうち、浮上圧力発生面１１側は第１の実施形態
で示した作用に加え、負圧発生面２２、２３の面積を一
定にして浮上状態を安定させる働きをする。また、スラ
イダ本体２１側の側壁１２ｂは、磁気ディスクの外周の
ヨー角が大きい領域で、弱い負圧発生面２３がテーパ部
として作用することで、浮上ヘッドスライダ１ｄの浮上
状態変化を適切に抑制する作用を有する。

【００３７】また、スライダ本体２１の側壁１２ａ，１
２ｂに形成する窪み１３ａ，１３ｂは、図４（Ｂ）に示
すように、浮上圧力発生面１１側とスライダ本体２１側
の両方に形成する場合に限定されるものではなく、浮上
圧力発生面１１側のみやスライダ本体２１側のみに形成
するようにしてもよい。

【００３８】〔第５の実施形態〕本発明の第５の実施形
態について図５及び図６に基づいて説明する。当該実施
形態においては、図５に示すように、スライダレール１
０を二組設けると共に各スライダレール１０の空気流入
側の端部をクロスレール１５で連結し、これらスライダ
レール１０及びクロスレール１５の側壁１２の内、スラ
イダ本体２１の中心側の側壁に窪み１３ｅを形成すると
いう手法を採っている。また、クロスレール１５の空気
流の流入側端部には所定の傾斜部３１が形成されてお
り、磁気ディスクとスライダレール１０との相互間に適
切に空気流が導入されるようになっている。

【００３９】そして、この浮動ヘッドスライダ１ｅは、
スライダレール１０とクロスレール１５とにより囲まれ
た部分が負圧ポケット部２４となっている。ここで、図
６（Ａ）は図５中のＣ−Ｃ線で浮動ヘッドスライダ１ｅ
を切断したときの断面図であり、図６（Ｂ）は図５中の
Ｄ−Ｄ線で浮動ヘッドスライダ１ｅを切断したときの断
面図である。

【００４０】各図に示すように、スライダレール１０お
よびクロスレール１５の側壁１２における負圧ポケット
部２４側には、それぞれ窪み１３ｅが形成されている。
このように窪み１３ｅを設けることにより、塵埃を確実
に捕捉でき浮上圧力発生面１１側への流出を抑制するこ
とができる。一方、スライダレール１０の負圧ポケット
部２４側でない側壁には特に複雑な加工を要しない。

【００４１】〔第６の実施形態〕図７（Ａ）及び図７
（Ｂ）に第６の実施形態を示す。当該実施形態において
は、図５及び図６に示した第５の実施形態と同様にスラ
イダレール１０を二組設けると共に各スライダレール１
０の空気流入側の端部をクロスレール１５で連結し、こ
れらスライダレール１０及びクロスレール１５の側壁の
内、スライダ本体２１の中心側の側壁１２に窪み１３ｆ
を形成するという手法を採っている。また、クロスレー
ル１５の空気流の流入側端部には、図５に示した所定の
傾斜部の代わりに浅いリセス部３２が形成されている。

【００４２】図７（Ｂ）は図７（Ａ）中のＥ−Ｅ線で浮
動ヘッドスライダ１ｆを切断したときの断面図である。
スライダレール１０およびクロスレール１５の負圧ポケ
ット部２４側の側壁１２は、上記した各実施形態と同様
に所定の窪み１３ｆが形成されている。加えて、クロス
レール１５の浅いリセス部３２の側壁３２ａにはレール
側面窪み３２ｆが形成されている。

【００４３】以上、本発明の各種実施形態について詳述
したが、第４ないし第６の実施形態にかかる浮動ヘッド
スライダにおいて、側壁に形成される窪みの形状は、第
２の実施形態で示したようなスライダ本体に近接するに
従いその幅が徐々に減少する形状でも良いし、また、第
３の実施形態で示した連結面を有した形状であってもよ
い。

【００４４】また、本発明の各実施形態では、２本のス
ライダレールを有する浮動ヘッドスライダについて説明
した。しかしながら本発明はこれに限定されるものでは
なく、各スライダレールの間に更に別のレールあるいは
所定のパッドを装備する場合には、そのレールあるいは
パッドに対しても適用可能である。

【００４５】更に、各実施形態中において、スライダレ
ールの両側に設けられている窪みは、レールの片側のみ
（磁気ディスクの内周側のみ、あるいは外周側のみ）に
設けてもよく、複数のスライダレールのうちのいずれか
を選択する形で設けてもよい。この場合には、浮上量の
低い側のスライダレールに設けることが望ましい。

【００４６】

【発明の効果】本発明は、スライダ本体にスライダレー
ルを設け、このスライダレールの側壁に所定の窪みを形
成した。このため、スライダレールの側壁に塵埃が付着
する場合でも上記窪みに付着して、浮上圧力発生面の近
傍には付着堆積しない。この結果、浮上圧力発生面の面
積は変化せず、長期間の使用によっても浮動ヘッドスラ
イダの浮上状態の変化を確実に抑制できる、という優れ
た効果を生じる。また、側壁の窪みが空気流中の塵埃を
捕捉して、浮動ヘッドスライダの浮上圧力発生面に付着
する塵埃量を低下させることができる、という優れた効
果を生じる。

【００４７】また、本発明の浮動ヘッドスライダでは、
浮上圧力発生面の面積等はそのままとして、側壁に窪み
を設けるという構成を採っている。このため、従来使用
していた浮動ヘッドスライダに本発明を適用する場合で
も、ほとんど設計変更が必要なく、容易に製造できると
いう優れた効果を生じる。また、浮動ヘッドスライダの
浮上姿勢や浮上均一性を決定するのは主としてスライダ
レールの浮上圧力発生面であり、本発明のレール形状を
適用しても圧力発生面自体の形状は全く変化しないの
で、長期間にわたり従来の浮動ヘッドスライダと同様の
動作を実現できる。

【００４８】また、スライダレールの断面形状を、幅が
浮上圧力発生面側からスライダ本体側に向けて徐々に減
少させる形状とした。このような形状は特にエッチング
による加工において、ミリング時の入射角調整或いはオ
ーバーエッチ効果の利用により容易に形成することがで
きるので、製造コストの削減をすることができる、とい
う優れた効果を生じる。

【００４９】また、スライダレールを構成する浮上圧力
発生面と連結面との交角を鈍角とした。このため、いわ
ゆるコンタクトスタートストップ方式の浮動ヘッドスラ
イダにおいて、浮動ヘッドスライダのスライダレールが
磁気ディスクの表面に接触しても、磁気ディスクに対し
て悪影響を与えない、という優れた効果を生じる。

【００５０】また、スライダレールの両側に負圧発生面
を設け、各側壁それぞれに窪みを形成したので、確実に
塵埃を捕捉できると共に、浮動ヘッドスライダの浮上状
態を安定化させることができる、という優れた効果を生
じる。

【００５１】更に、二組のスライダレールを空気流の流
入端においてクロスレールで連結し、これらスライダレ
ール及びクロスレールの側壁にも窪みを形成したので、
各レールによって囲まれた負圧ポケット部に流入する塵
埃を確実に捕捉することができる、という優れた効果を
生じる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態を示す図であり、図１
（Ａ）は斜視図を示し、図１（Ｂ）は図１（Ａ）中に示
したＡ−Ａ線における断面図を示す。

【図２】本発明の第２の実施形態を示す断面図である。

【図３】本発明の第３の実施形態を示す断面図である。

【図４】本発明の第４の実施形態を示す図であり、図４
（Ａ）は斜視図を示し、図４（Ｂ）は図４（Ａ）中に示
したＢ−Ｂ線における断面図を示す。

【図５】本発明の第５の実施形態を示す斜視図である。

【図６】図５に開示した浮動ヘッドスライダを示す図で
あり、図６（Ａ）は図５中のＣ−Ｃ線における断面図を
示し、図６（Ｂ）は図５中のＤ−Ｄ線における断面図を
示す。

【図７】本発明の第６の実施形態を示す図であり、図７
（Ａ）は斜視図を示し、図７（Ｂ）は図７中のＥ−Ｅ線
における断面図を示す。

【図８】従来の浮動ヘッドスライダの一例を示す図であ
り、図８（Ａ）は斜視図を示し、図８（Ｂ）は図８
（Ａ）中のＦ−Ｆ線における断面図を示す。

【符号の説明】

１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅ，１ｆ浮動ヘッドスラ
イダ１０スライダレール１１浮上圧力発生面１２側壁１３ａ，１３ｂ，１３ｅ，１３ｆ窪み１４連結面１５クロスレール２１スライダ本体２２，２３負圧発生面

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】磁気ディスクに対応して配設された電磁
変換素子を支持するスライダ本体と、このスライダ本体
の前記磁気ディスク側の面に所定高さだけ突出し且つ空
気流に沿って延設されると共に、前記磁気ディスクの回
転により空気軸受けとして機能するスライダレールとを
備えた浮動ヘッドスライダにおいて、前記スライダレールを、前記磁気ディスクに対向する所
定幅の浮上圧力発生面と、この浮上圧力発生面から前記
スライダ本体に及ぶ側壁とにより構成し、前記スライダレールの幅の内、スライダレールの高さ方
向の中央部の幅を前記浮上圧力発生面側より狭く構成し
て、前記スライダレールの側壁に所定の窪みを形成する
ことを特徴とした浮動ヘッドスライダ。
【請求項２】磁気ディスクに対応して配設された電磁
変換素子を支持するスライダ本体と、このスライダ本体
の前記磁気ディスク側の面に所定高さだけ突出し且つ空
気流に沿って延設されると共に、前記磁気ディスクの回
転により空気軸受けとして機能するスライダレールとを
備えた浮動ヘッドスライダにおいて、前記スライダレールを、前記磁気ディスクに対向する所
定幅の浮上圧力発生面と、この浮上圧力発生面から前記
スライダ本体に及ぶ側壁とにより構成し、前記スライダレールの幅の内、前記スライダ本体側の幅
を前記浮上圧力発生面側より狭く構成して、前記スライ
ダレールの側壁に所定の窪みを形成することを特徴とし
た浮動ヘッドスライダ。
【請求項３】前記浮上圧力発生面と前記側壁との相互
間に所定の連結面を設け、前記浮上圧力発生面と前記連
結面との交角を鈍角とすると共に、前記連結面と前記側
壁との交角を鈍角とすることを特徴とした請求項１また
は２記載の浮動ヘッドスライダ。
【請求項４】前記スライダレールに隣接させて前記浮
上圧力発生面と平行な負圧発生面を設けると共に、この
負圧発生面の高さを前記スライダレールの高さより０．
５〔μｍ〕〜１．５〔μｍ〕低く設定し、前記浮上圧力発生面と負圧発生面の相互間の側壁及び前
記負圧発生面とスライダ本体相互間の側壁に前記窪みを
形成することを特徴とした請求項１，２または３記載の
浮動ヘッドスライダ。
【請求項５】前記スライダレールに隣接させて前記浮
上圧力発生面と平行な負圧発生面を設けると共に、この
負圧発生面の高さを前記スライダレールの高さより０．
５〔μｍ〕〜１．５〔μｍ〕低く設定し、前記浮上圧力
発生面と負圧発生面相互間の側壁または前記負圧発生面
とスライダ本体相互間の側壁のいずれか一方に前記窪み
を形成することを特徴とした請求項１，２または３記載
の浮動ヘッドスライダ。
【請求項６】前記スライダレールを二組設けると共
に、これらスライダレールの空気流入側の端部をクロス
レールで連結し、これらスライダレール及びクロスレー
ルの側壁の内、前記スライダ本体の中心側の側壁に前記
窪みを形成することを特徴とした請求項１，２または３
記載の浮動ヘッドスライダ。
【請求項７】前記クロスレールにおける空気流入側端
縁に沿って、空気流入方向と垂直に所定の段差部を形成
し、この段差部を形成する側壁に前記窪みを設けること
を特徴とした請求項６記載の浮動ヘッドスライダ。