JPH09265750A - スライダ及びその形成方法並びにシステム - Google Patents

スライダ及びその形成方法並びにシステム

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JPH09265750A
JPH09265750A JP9028745A JP2874597A JPH09265750A JP H09265750 A JPH09265750 A JP H09265750A JP 9028745 A JP9028745 A JP 9028745A JP 2874597 A JP2874597 A JP 2874597A JP H09265750 A JPH09265750 A JP H09265750A
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JP
Japan
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slider
air bearing
bearing surface
edge portion
support structure
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Pending
Application number
JP9028745A
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English (en)
Inventor
Sanford A Bolasna
サンフォード・エイ・ボラスナ
Laurence S Samuelson
ローレンス・エス・サミュエルソン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
International Business Machines Corp
Original Assignee
International Business Machines Corp
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Filing date
Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
    • G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002—Electrical device making
    • Y10T29/4902—Electromagnet, transformer or inductor
    • Y10T29/49021—Magnetic recording reproducing transducer [e.g., tape head, core, etc.]
    • Y10T29/49032—Fabricating head structure or component thereof
    • Y10T29/49036—Fabricating head structure or component thereof including measuring or testing
    • Y10T29/49041—Fabricating head structure or component thereof including measuring or testing with significant slider/housing shaping or treating

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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 スライダとディスク間の最小機械間隔と、磁
気ヘッドとディスク間の間隔との差を最小化するエア・
ベアリング面形状を有するスライダ。 【解決手段】 後縁部１１４レールにおける浅いエッチ
ング部分１５０がスライダが記録媒体により接近して浮
上し、回転に対する感度の低下を可能にする。スライダ
は支持構造１２６と、支持構造上に隆起する側縁部１１
６、１１８及びエア・ベアリング面を有する少なくとも
１つのレール１２０、１２２、１２４を含む。レールは
少なくとも磁気素子１２８を含む。磁気素子近傍のレー
ルの側縁部がエッチングされ、レールとディスクとの衝
突を阻止する。磁気素子近傍のレールの側縁部がエア・
ベアリング面よりも低く、支持構造よりは高くなる。エ
ア・ベアリング面内の浅いエッチングがスライダとディ
スク間の最小機械間隔と、磁気ヘッドとディスク間の間
隔との差を最小化し、トランスジューサ間隔を最適化す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は一般に、記録媒体と
共に使用されるエア・ベアリング・スライダ及びその形
成方法に関し、特にスライダとディスク間の最小機械間
隔と、磁気ヘッドとディスク間の間隔との差を最小化す
るエア・ベアリング面形状を有するスライダ及びその形
成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の磁気ディスク装置は、同心データ
・トラックを有する少なくとも１つの回転磁気媒体ディ
スク、様々なトラック上のデータを読取り、また書込む
読取り／書込みトランスジューサ、一般に浮上モードに
おいて、トランスジューサを媒体上でトラックに接近し
て保持するエア・ベアリング・スライダ、エア・ベアリ
ング・スライダ及びトランスジューサをデータ・トラッ
ク上で弾力的に保持するサスペンション、及びサスペン
ションに結合され、トランスジューサを媒体を横切り所
望のデータ・トラックに移動し、読取りまたは書込み動
作の間にトランスジューサをデータ・トラック上で維持
する位置決めアクチュエータを利用する情報記憶装置で
ある。一般にはハウジングにディスクが結合されてディ
スクを遮蔽している。
【０００３】磁気記録技術では、情報が記録され、確実
に読出され得る面積密度を改善することが絶えず望まれ
ている。磁気ディスク装置の記録密度は、トランスジュ
ーサと磁気媒体間の距離により制限されるので、エア・
ベアリング・スライダ設計の目標は、エア・ベアリング
・スライダを磁気媒体と接触させないように可能な限り
磁気媒体に接近して"浮上"させることである。トランス
ジューサがディスク上の接近領域から発する磁場を見分
けることができるように、間隔または"浮上量"またはク
リアランスが小さいことが望まれる。
【０００４】ゾーン・ビット記録は、磁気ディスク記憶
ファイルにおいて、著しい性能または容量の改善を提供
することができる。この技術を容易にするために、ディ
スクの内径（ＩＤ）から外径（ＯＤ）に及ぶ全てのゾー
ンに渡り、読取り／書込みヘッドとディスクとの間で、
一定の距離を維持することが望まれる。また、振幅及び
分解能を増し、更に面積密度及びファイル容量を増すた
めにデータ・ゾーンに渡り、可能な限り低く浮上するこ
とが望ましい。しかしながら、小さな浮上量は、磁気デ
ィスク記憶ファイルにおいて、始動／停止寿命並びに長
期間浮上性の両方に関し、機械的信頼性の問題を生じ
る。
【０００５】データ・ゾーンに渡る一定の浮上量は、ス
ライダ設計における重要な挑戦を提示する。なぜなら、
回転ディスクにより生成される気流速度の絶対値、及び
エア・ベアリング・スライダに対する方向の両者が、ロ
ータリ・アクチュエータ・ファイルの全ての半径におい
て変化するからである。
【０００６】エア・ベアリング・スライダはまた、回転
による浮上量の変化にも遭遇する。ディスク回転に対し
てゼロ・スキューを有するエア・ベアリング・スライダ
では、回転はエア・ベアリング・スライダの水平軸の回
転角の測定である。回転の変化は弾力的に装着されるス
ライダがスキューを有する空気流に遭遇するとき、また
はアクチュエータがディスクとの接触に遭遇するとき、
発生する。回転変化に感応しないことがエア・ベアリン
グ・スライダにとって極めて重要である。
【０００７】最後に、エア・ベアリング・スライダは、
アクチュエータがディスクの様々な位置上のデータをア
クセスするために半径方向に高速に移動する間に状態の
変化に遭遇する。ディスクを横切る高速移動は、大きな
スライダ回転、ピッチ及びスキューを生じ得り、結果的
に浮上の変化が生じ得る。このことが、エア・ベアリン
グ・スライダが回転、ピッチ及びスキューの変化に影響
されてはならない別の理由である。
【０００８】通常のテーパフラット・タイプのスライダ
は、ゾーン・ビット記録における一定間隔の要求を満足
することができない。ほとんどのロータリ・アクチュエ
ータ構成では、テーパ・フラットなスライダの浮上量は
ヘッドがＩＤから外側に移動するにつれ、急速に増加す
る。ヘッドがデータ・バンドの中央に近づくと、浮上量
は最大間隔に達し、これは初期ＩＤ浮上量の最大２倍に
なり得る。そこから、エア・ベアリング・スライダがデ
ィスクの外縁に向けて移動するにつれ、クリアランスが
低下する。
【０００９】浮上量の前記の任意の変化が生じると、エ
ア・ベアリング・スライダと高速に回転する記録媒体と
の接触が生じ得る。こうした接触は、エア・ベアリング
・スライダ及び記録面の摩耗を生じ、潜在的には致命的
となる。
【００１０】従来のスライダ設計では、１つ以上の前記
の感度を解決することにより、この問題を回避しようと
試み、それにより、エア・ベアリング・スライダが遭遇
し得る状態変化の下でも、一様な浮上量を有するエア・
ベアリング・スライダを生成しようとした。要求される
空気力学的性能を提供するために、エア・ベアリング面
に対する別の設計が開発された。更に、これらの設計は
しばしば、所望される平坦なヘッド／ディスク間間隔を
達成するために、スライダのピッチと回転との間のトレ
ードオフを利用する。しかしながら、エア・ベアリング
面を提供するレール幅もまた読取り／書込みトランスジ
ューサを収容可能でなければならない。結果的に、スラ
イダの浮上姿勢の変化が、スライダとディスク間の機械
的な間隔を一層狭め、それに対応して、磁気ヘッドとデ
ィスク間の間隔を増加させる。
【００１１】例えば、図１は前縁部１２、後縁部１４、
及び２つの側縁部１６、１８を有する従来のスライダ１
０を示す。ディスクが回転を開始すると、スライダは図
示のように、前縁部１２が後縁部１４に対して持ち上げ
られ、ピッチを刻む。図１に示されるスライダは、所与
の性能基準を満たすために、２つの側方レール２０、２
２及び中央レール２４を含む。２つの側方レール２０、
２２及び中央レール２４は、支持構造２６上に配置され
る。トランスジューサ２８が中央レール２４上の後縁部
１４に配置され、ディスクに対して読取り／書込み動作
を実行する。図２はスライダ１０の後縁部１４における
中央レール２４の拡大図を示す。トランスジューサ２８
のヘッド・ギャップ３２も一緒に示される。前記の状態
の下で、スライダは水平方向の変位角３４により示され
る回転に遭遇し得り、これによりスライダとディスク間
の機械的な間隔が大きく狭まり、スライダが回転ディス
クに接触し得ることになる。図３は、公称回転角３４が
中央レールの側縁部４２の機械間隔を、磁気ギャップ浮
上量よりも大幅に狭める様子を示す。
【００１２】図３は、図１のラインＡ−Ａに沿う従来の
スライダ１０の背面図を示す。図３は理解を容易にする
ために誇張して示されている。図３では、中央レール２
４が支持構造２６上に配置されて示される。スライダ１
０が公称回転角３４に遭遇するとき、中央レール２４の
側縁部４２とディスク４４との間の機械間隔４０が減少
する一方で、ヘッド・ギャップ４８とディスク４４との
間の磁気間隔４６は、回転軸がスライダ中央の水平軸か
ら変位するか否かに依存して、減少するか、同じに維持
されるか、或いは増加する。図３は、ヘッド・ギャップ
４８とディスク４４との間の磁気間隔４６が、増大する
状況を示す。機械間隔４０と磁気ギャップ４８の浮上量
との差の大きさが本質的である。例えば４００μｍの後
縁部レール幅、及び公称５０μｒａｄの浮上回転姿勢を
有するスライダは、所望の磁気間隔４６の浮上量よりも
１０ナノメートル（ｎｍ）小さい最小機械間隔４０を有
するために、耐摩耗性すなわち長寿命化を考慮してスラ
イダが持ち上げられる。
【００１３】以上から、スライダとディスク間の最小機
械間隔と、磁気ヘッドとディスク間の間隔との差を最小
化するエア・ベアリング面形状を有するスライダが必要
とされる。
【００１４】更に、トランスジューサ間隔の最適化を可
能にする浅いエッチング形状を有するスライダが必要と
される。
【００１５】更に狭い後縁部レールを示す一方で、読取
り／書込みトランスジューサのための十分な領域を提供
するスライダを有することにより、スライダとディスク
間の最小機械間隔と、磁気ヘッドとディスク間の間隔と
の差を最小化するディスク装置が必要とされる。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、前記
の従来技術における制限、並びに本明細書から明らかと
なる制限を克服するために、本発明はスライダが記録媒
体により接近して浮上することを可能にする、後縁部レ
ールにおける浅いエッチングを開示し提供することにあ
る。
【００１７】
【課題を解決するための手段】本発明の原理に従うシス
テムは、記録媒体の動きに対する側縁部、前縁部及び後
縁部を有する支持構造、並びに支持構造上に隆起する側
縁部及びエア・ベアリング面を有する少なくとも１つの
レールを含む。レールの少なくとも１つが磁気素子を含
み、磁気素子近傍のレールの側縁部がディスク上での磁
気素子の浮上量を最小化するようにエッチングされる一
方で、回転状態の間のレールとディスクとの衝突を阻止
する。レールのエッチング形状が浮彫りの後縁部分を形
成し、磁気素子近傍のレールの側縁部が、他のエア・ベ
アリング面よりも低くなり得るが、支持構造よりは高く
形成される。
【００１８】本発明の１態様は、スライダがスライダと
ディスク間の最小機械間隔と、磁気ヘッドとディスク間
の間隔との差を最小化するエア・ベアリング形状を有す
ることである。
【００１９】本発明の別の態様は、スライダがトランス
ジューサ間隔の最適化を可能にする浅いエッチング形状
を有することである。
【００２０】本発明の更に別の態様は、ディスク装置が
狭い後縁部を示す一方で、読取り／書込みトランスジュ
ーサのための十分な領域を提供するスライダを含むこと
により、スライダとディスク間の最小機械間隔と、磁気
ヘッドとディスク間の間隔との差を最小化することであ
る。
【００２１】別の実施例では、磁気素子近傍のエア・ベ
アリング面の側縁部が、エッチングまたはイオン・ミリ
ングにより短小化される。すなわち、これらは完全には
後縁部まで延長しない。
【００２２】
【発明の実施の形態】図４は、図１に示される従来のス
ライダに類似する本発明によるスライダ１００を示す。
本発明によるスライダ１００は、前縁部１１２、後縁部
１１４及び２つの側縁部１１６、１１８を含む。所与の
空気力学的性能基準を満たす２つの側方エア・ベアリン
グ面またはレール１２０、１２２及び中央レール１２４
が、支持構造１２６上に配置される。トランスジューサ
１２８が中央レール１２４上の後縁部１１４に配置さ
れ、ディスクに対して読取り／書込み動作を実行する。
しかしながら、中央レール１２４は磁気素子１２８近傍
に浅いエッチング形状１５０を含み、中央レール１２４
の一部が支持構造１２６の後縁部１１４まで達しないよ
うに形成される。従って、浅いエッチングが磁気ヘッド
・ギャップ１３２が配置される中央レール１２４の後縁
部１１４にノッチ１５２を形成する。
【００２３】図５は、スライダ１００の後縁部１１４に
おける中央レール１２４の拡大図を示す。一緒にヘッド
・ギャップ１３２も示される。しかしながら、本発明に
よれば、角度１３４で示される前記の回転状態が、スラ
イダとディスク間の機械的クリアランス（または間隔）
と、磁気ヘッドとディスク間の間隔との大きな差を生じ
ることがない。
【００２４】浅いエッチング１５０が後縁部１１４にお
いて、効果的に中央レール１２４の幅を狭める一方で、
読取り／書込みトランスジューサ１２８のための十分な
領域を提供する。中央レール１２４の浅いエッチング部
分１５０は、磁気素子１２８近傍の浮彫りの後縁部分１
５４を含み、ここでは中央レール１２４の一部が除去さ
れ、従って、この部分は支持構造１２６上おいて、中央
レール１２４の残りのエア・ベアリング面１５６と同一
の高さまでは隆起しない。好適には、エッチング工程の
深さは、素子構造を妨害せずにトランスジューサまたは
エア・ベアリング設計への影響を最小化するように十分
に浅くあるべきである。通常、エッチング工程の深さ
は、０．５μｍ以下のオーダである。浅いエッチング・
プロセスは、イオン・ミリング、反応イオン・エッチン
グ、またはスライダ製作に携わる当業者には既知の他の
適切な技術により達成され得る。図６は、公称回転角１
３４が、本発明によるスライダの機械的及び磁気的ギャ
ップ間隔に影響を及ぼす様子を示す。
【００２５】図６は、図４のラインＢ−Ｂに沿う、スラ
イダ１００の背面図を示す。再度、図６は理解を容易に
するために誇張して示されている。図６では、中央レー
ル１２４は支持構造１２６上に配置されて示される。ス
ライダ１００が公称回転角１３４に遭遇するとき、中央
レール１２４の側縁部１５２とディスク１４４との間の
機械間隔１４０は最小機械間隔に影響しない。それによ
り、浅いエッチング部分１５０がギャップ１４８におけ
るエア・ベアリング面の幅を効果的に低減する。従っ
て、スライダにとっての最小の機械間隔１４０が磁気ヘ
ッド・ギャップ１４８が配置される中央レール１２４先
端のノッチ１５２の側縁部において発生する。その結
果、最小機械間隔１４０の位置が磁気ギャップ１４８に
一層近づき、最小機械間隔１４０と最小磁気間隔１４６
との差が低減される。例えば、０．１２５μｍのエッチ
ング深さ、従って結果的に８０μｍのノッチ幅を有する
スライダは、公称５０μｒａｄの浮上回転姿勢に遭遇す
るが、これは所望の磁気間隔４６よりも僅かに２ナノメ
ートル（ｎｍ）だけ小さな最小機械間隔４０を有する。
【００２６】当業者には、浅いエッチング形状が、磁気
トランスジューサがスライダの後縁部近傍に配置される
中央レール上での利用に制限されるものでないことが理
解されよう。磁気トランスジューサがスライダの後縁部
近傍に配置されないプレーナ・ヘッド設計においても、
類似の結果が達成され得る。
【００２７】図７は、前縁部２１２、後縁部２１４及び
２つの側縁部２１６、２１８を有する標準的な負圧スラ
イダ設計２００を示す。所与の性能基準を満たす２つの
側方レール２２０、２２２が支持構造２２６上に配置さ
れる。右側方レール２２０は、後縁部において、ディス
クに対して読取り／書込み動作を実行するトランスジュ
ーサまたは磁気ヘッド素子２２８を支持する幅広の領域
２６０を含む。ヘッド・ギャップ２４８が右側方レール
２２０の後縁部２１４に示される。側方レール２２０、
２２２の各々はクロス・バー・セクション２６２及び負
圧ポケット２６６を生成するサブレール２６４を含む。
更に２つの側方レール２２０、２２２は、チャネル２６
８により分離される。
【００２８】図８は、図７のスライダのエア・ベアリン
グ面形状を有する、本発明によるスライダ３００を示
す。しかしながら、図８に示されるように、浅いエッチ
ング３５０が、磁気素子３２８近傍の右側方レール３２
０内に形成される。しかしながら、磁気素子３２８はス
ライダ３００の後縁部３１４には配置されない。図８の
浅いエッチング３５０の形状は、スライダ３００に対し
て最小の回転及びピッチ姿勢感度の両方を提供する。
【００２９】図９は、図７及び図８に示されるそれぞれ
標準設計４１０及び浅いエッチング付き設計４１２に対
応する模範結果４００を示す。図９から明らかなよう
に、２つの負圧設計における最小の機械浮上量４４０
は、実質的に同一である。しかしながら、図８の浅いエ
ッチング付き負圧設計４１２は、図７の標準負圧設計よ
りも、小さな最小ギャップ浮上量４４６を有する。全体
的に、本発明による浅いエッチング形状を有するスライ
ダは、この形状を有さない設計よりも、約４ｎｍ小さな
読取り／書込みヘッド・ギャップ４７０を有する。結果
的に、浅いエッチング形状を有するスライダ４１２は改
善された磁気性能を生成する。
【００３０】本発明の好適な実施例及び代替実施例の上
述の説明は、本発明を例証することを目的とするもので
あり、本発明はここで開示された厳密な形態（数値限定
されたものを含む）に制限されるものではない。前記の
教示に鑑み、多くの変更が可能である。
【００３１】まとめとして、本発明の構成に関して以下
の事項を開示する。
【００３２】（１）移動記録媒体上でトランスジューサ
を支持するスライダであって、記録媒体の動きに対する
側縁部、前縁部及び後縁部を有する支持構造と、前記支
持構造上に隆起する側縁部及びエア・ベアリング面を有
する少なくとも１つのレールであって、前記レールの少
なくとも１つが磁気素子を含み、前記磁気素子近傍の前
記レールの前記側縁部がエッチングされて、前記記録媒
体上での前記磁気素子の浮上量を最小化し、前記レール
の前記側縁部と前記記録媒体との間のクリアランスを最
大化し、前記レールの前記側縁部と前記記録媒体との衝
突を阻止する、前記レールと、を含む、スライダ。 （２）前記磁気素子が前記支持構造の前記後縁部に支持
される、前記（１）記載のスライダ。 （３）前記レールが浮彫りの後縁部分を含み、前記磁気
素子近傍の前記レールの前記側縁部が、前記支持構造の
前記後縁部に対して短小化される、前記（１）記載のス
ライダ。 （４）前記磁気素子を支持する前記レールが前記スライ
ダ上で、前記支持構造の前記側縁部間の中央に配置され
る、前記（１）記載のスライダ。 （５）前記磁気素子を支持する前記レールが、前記支持
構造の一方の側に沿って配置される、前記（１）記載の
スライダ。 （６）前記スライダの空気力学的制御を提供する少なく
とも１つの追加のレールを含む、前記（１）記載のスラ
イダ。 （７）前記磁気素子近傍の前記レールの前記短小の側縁
部が、前記支持構造の高さに完全に除去される、前記
（３）記載のスライダ。 （８）前記磁気素子近傍の前記レールの前記側縁部が、
反応イオン・エッチング法によりエッチングされる、前
記（１）記載のスライダ。 （９）前記磁気素子近傍の前記レールの前記側縁部が、
イオン・ミリングによりエッチングされる、前記（１）
記載のスライダ。 （１０）前記磁気素子の両側近傍の前記エア・ベアリン
グ面の側縁部が除去される、前記（１）記載のスライ
ダ。 （１１）前記磁気素子近傍の前記エア・ベアリング面の
前記側縁部が、前記エア・ベアリング面よりも低く、前
記支持構造よりも高い高さに除去される、前記（１０）
記載のスライダ。 （１２）前記磁気素子近傍の前記エア・ベアリング面の
側縁部が、前記エア・ベアリング面よりも低く、前記支
持構造よりも高い高さに除去される、前記（１）記載の
スライダ。 （１３）トランスジューサを支持するスライダであっ
て、前記スライダが移動記録ディスク上を浮上し、ディ
スクとスライダ間の機械的クリアランス、及び磁気ヘッ
ドとディスク間のクリアランスを有するものにおいて、
前記記録ディスクの動きに対する側縁部、前縁部及び後
縁部を有する支持構造と、前記移動記録ディスクに対向
する前記支持構造上に配置される少なくとも１つのエア
・ベアリング面であって、前記エア・ベアリング面の少
なくとも１つが、前記磁気ヘッドの実装面を提供し、前
記磁気ヘッド近傍の前記エア・ベアリング面の少なくと
も一方の側縁部が除去されて、前記ディスクと前記スラ
イダ間の前記機械的クリアランスを増加させる、前記エ
ア・ベアリング面と、を含む、スライダ。 （１４）前記磁気ヘッドの両側近傍の前記エア・ベアリ
ング面の側縁部が除去される、前記（１３）記載のスラ
イダ。 （１５）前記磁気ヘッドの実装面を提供する前記エア・
ベアリングが、前記スライダの中央に位置する、前記
（１３）記載のスライダ。 （１６）前記磁気ヘッドの両側近傍の前記エア・ベアリ
ング面の側縁部が除去される、前記（１５）記載のスラ
イダ。 （１７）前記磁気ヘッド近傍の前記エア・ベアリング面
の前記側縁部が、前記支持構造が露出するように完全に
除去される、前記（１６）記載のスライダ。 （１８）前記磁気ヘッド近傍の前記エア・ベアリング面
の前記側縁部が、前記エア・ベアリング面よりも低く、
前記支持構造よりも高い高さに除去される、前記（１
６）記載のスライダ。 （１９）前記磁気ヘッド近傍の前記エア・ベアリング面
の前記側縁部が、反応イオン・エッチング法により除去
される、前記（１６）記載のスライダ。 （２０）前記磁気ヘッド近傍の前記エア・ベアリング面
の前記側縁部が、イオン・ミリングにより除去される、
前記（１６）記載のスライダ。 （２１）前記磁気ヘッド近傍の前記エア・ベアリング面
の前記側縁部が、反応イオン・エッチング法により除去
される、前記（１３）記載のスライダ。 （２２）前記磁気ヘッド近傍の前記エア・ベアリング面
の前記側縁部が、イオン・ミリングにより除去される、
前記（１３）記載のスライダ。 （２３）前記磁気ヘッド近傍の前記エア・ベアリング面
の一部が、前記支持構造の前記後縁部に対して短小化さ
れ、前記ヘッドが前記後縁部よりも奥まって配置され
る、前記（１３）記載のスライダ。 （２４）情報を記憶及び取り出すシステムであって、デ
ータを記録する記録面を有する少なくとも１つの回転デ
ィスクと、前記ディスクに結合され、前記ディスクを遮
蔽するハウジングと、前記ハウジングに結合されるアク
チュエータ・アーム・アセンブリと、前記回転ディスク
の前記記録面に接近する前記アクチュエータ・アーム・
アセンブリに結合される支持構造であって、前記支持構
造が前記回転ディスクの前記記録面上で選択的に位置決
め可能であり、前記記録媒体の動きに対する側縁部、前
縁部及び後縁部を有する、前記支持構造と、前記支持構
造上に隆起する側縁部及びエア・ベアリング面を有する
少なくとも１つのレールであって、前記レールの少なく
とも１つが、前記支持構造の前記後縁部近傍に実装され
る磁気素子を含み、前記磁気素子近傍の前記レールの前
記側縁部が、前記支持構造の前記後縁部に対して短小化
されて、前記ディスク上での前記磁気素子の浮上量を最
小化し、前記レールの前記側縁部と前記記録媒体との間
のクリアランスを最大化し、前記レールと前記記録媒体
との衝突を阻止する、前記レールと、を含む、システ
ム。 （２５）前記レールが浮彫りの後縁部分を含み、前記磁
気素子近傍の前記レールの前記側縁部が、前記支持構造
の前記後縁部に対して短小化される、前記（２４）記載
のシステム。 （２６）前記磁気素子を支持する前記レールが、前記支
持構造の前記側縁部間の前記スライダ中央に配置され
る、前記（２４）記載のシステム。 （２７）前記磁気素子を支持する前記レールが、前記支
持構造の一方の側に沿って配置される、前記（２４）記
載のシステム。 （２８）前記スライダの空気力学的制御を提供する少な
くとも１つの追加のレールを含む、前記（２４）記載の
システム。 （２９）前記磁気素子近傍の前記レールの前記短小の側
縁部が、前記支持構造の高さに完全に除去される、前記
（２４）記載のシステム。 （３０）前記磁気素子近傍の前記レールの前記側縁部
が、反応イオン・エッチング法により短小化される、前
記（２４）記載のシステム。 （３１）前記磁気素子近傍の前記レールの前記側縁部
が、イオン・ミリングにより短小化される、前記（２
４）記載のシステム。 （３２）前記磁気素子の両側近傍の前記エア・ベアリン
グ面の側縁部が除去される、前記（２４）記載のシステ
ム。 （３３）前記磁気素子近傍の前記エア・ベアリング面の
前記側縁部が、前記エア・ベアリング面よりも低く、前
記支持構造よりも高い高さに除去される、前記（３２）
記載のシステム。 （３４）前記磁気素子近傍の前記エア・ベアリング面の
側縁部が、前記エア・ベアリング面よりも低く、前記支
持構造よりも高い高さに除去される、前記（２４）記載
のシステム。 （３５）ヘッドとディスク間の間隔を最適化するスライ
ダを形成する方法であって、側縁部、前縁部及び後縁部
を有する支持構造を形成する工程と、移動記録ディスク
に対向し、磁気ヘッドの実装面を提供する少なくとも１
つのエア・ベアリング面を前記支持構造上に形成する工
程と、前記磁気ヘッド近傍の前記エア・ベアリング面の
少なくとも一方の側縁部を除去し、前記ディスクと前記
スライダ間の機械的クリアランスを増加する、前記除去
工程と、を含む、方法。 （３６）前記磁気ヘッドの両側近傍の前記エア・ベアリ
ング面の側縁部を除去する工程を含む、前記（３５）記
載の方法。 （３７）前記磁気ヘッドの前記実装面を提供する前記工
程が、前記磁気ヘッドを前記スライダの中央に位置決め
する工程を含む、前記（３５）記載の方法。 （３８）前記磁気ヘッド近傍の前記エア・ベアリング面
の前記側縁部を除去する前記工程が、前記支持構造が露
出するように、前記側縁部を完全に除去する工程を含
む、前記（３５）記載の方法。 （３９）前記磁気ヘッド近傍の前記エア・ベアリング面
の前記側縁部を除去する前記工程が、前記側縁部を前記
エア・ベアリング面よりも低く、前記支持構造よりも高
い高さに除去する工程を含む、前記（３５）記載の方
法。 （４０）前記磁気ヘッド近傍の前記エア・ベアリング面
の前記側縁部を除去する前記工程が、反応イオン・エッ
チング法により前記側縁部を除去する工程を含む、前記
（３５）記載の方法。 （４１）前記磁気ヘッド近傍の前記エア・ベアリング面
の前記側縁部を除去する前記工程が、イオン・ミリング
により前記側縁部を除去する工程を含む、前記（３５）
記載の方法。 （４２）前記磁気ヘッド近傍の前記エア・ベアリング面
の一部を除去する前記工程が、前記エア・ベアリング面
を前記支持構造の前記後縁部に対して短小化し、前記ヘ
ッドを前記後縁部から奥まって配置する、前記（３９）
記載の方法。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のスライダを示す図である。
【図２】図１の従来のスライダの中央レールの後縁部を
示す拡大図である。
【図３】図１のラインＡ−Ａに沿う従来のスライダの背
面図（後面図）である。
【図４】本発明による浅いエッチング形状を有するスラ
イダを示す図である。
【図５】本発明による浅いエッチング形状を有するスラ
イダの中央レールの後縁部を示す拡大図である。
【図６】図４のラインＢ−Ｂに沿う、本発明による浅い
エッチング形状を有するスライダの背面図（後面図）で
ある。
【図７】磁気トランスジューサが後縁部に装着されない
負圧スライダ設計を示す図である。
【図８】図７のスライダのエア・ベアリング面形状を有
する、本発明による浅いエッチング形状を有するスライ
ダを示す図である。
【図９】図７及び図８に示されるスライダに対応する、
最小機械間隔、最小磁気間隔、及びそれらの間の差の模
範結果を含む表を示す図である。
【符号の説明】
１０、１００、２００、３００ スライダ １２、１１２、２１２、３１２ 支持構造の前縁部 １４、１１４、２１４、３１４ 支持構造の後縁部 １６、１８、１１６、１１８、２１６、２１８、３１６
支持構造の側縁部 ２０、２２、１２０、１２２、２２０、２２２、３２
０、３２２ 側方レール ２４、１２４ 中央レール ２６、１２６、２２６ 支持構造 ２８、１２８、２２８、３２８ トランスジューサ（磁
気素子） ３２、４８、１３２、２４８、３４８ 磁気ヘッド・ギ
ャップ ３４、１３４ 公称回転角（浮上回転姿勢） ４０、１４０ 機械間隔 ４２ 中央レールの側縁部 ４６、１４６ 磁気間隔 ４４、１４４ 磁気ディスク ４８、１４８ 磁気ギャップ（ヘッド・ギャップ） １５０、３５０ エッチング部分（エッチング形状） １５２ ノッチ １５４ 浮彫りの後縁部分 １５６ エア・ベアリング面 ２６０、３６０ 側方レールの幅広領域 ２６２、３６２ クロスバー・セッション ２６４、３６４ サブレール ２６６、３６６ 負圧ポケット ２６８、３６８ チャネル ４００ 模範結果 ４１０ 標準設計 ４１２ 浅いエッチング付き不圧設計 ４４０ 機会浮上量 ４４６ 最小ギャップ浮上量 ４７０ 読取り／書込みヘッド・ギャップ
フロントページの続き (72)発明者 ローレンス・エス・サミュエルソン アメリカ合衆国95123−5268、カリフォル ニア州サン・ホセ、ウースレイ・ドライブ 6378

Claims (42)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】移動記録媒体上でトランスジューサを支持
    するスライダであって、 記録媒体の動きに対する側縁部、前縁部及び後縁部を有
    する支持構造と、 前記支持構造上に隆起する側縁部及びエア・ベアリング
    面を有する少なくとも１つのレールであって、前記レー
    ルの少なくとも１つが磁気素子を含み、前記磁気素子近
    傍の前記レールの前記側縁部がエッチングされて、前記
    記録媒体上での前記磁気素子の浮上量を最小化し、前記
    レールの前記側縁部と前記記録媒体との間のクリアラン
    スを最大化し、前記レールの前記側縁部と前記記録媒体
    との衝突を阻止する、前記レールと、 を含む、スライダ。
  2. 【請求項２】前記磁気素子が前記支持構造の前記後縁部
    に支持される、請求項１記載のスライダ。
  3. 【請求項３】前記レールが浮彫りの後縁部分を含み、前
    記磁気素子近傍の前記レールの前記側縁部が、前記支持
    構造の前記後縁部に対して短小化される、 請求項１記載のスライダ。
  4. 【請求項４】前記磁気素子を支持する前記レールが前記
    スライダ上で、前記支持構造の前記側縁部間の中央に配
    置される、請求項１記載のスライダ。
  5. 【請求項５】前記磁気素子を支持する前記レールが、前
    記支持構造の一方の側に沿って配置される、請求項１記
    載のスライダ。
  6. 【請求項６】前記スライダの空気力学的制御を提供する
    少なくとも１つの追加のレールを含む、請求項１記載の
    スライダ。
  7. 【請求項７】前記磁気素子近傍の前記レールの前記短小
    の側縁部が、前記支持構造の高さに完全に除去される、
    請求項３記載のスライダ。
  8. 【請求項８】前記磁気素子近傍の前記レールの前記側縁
    部が、反応イオン・エッチング法によりエッチングされ
    る、請求項１記載のスライダ。
  9. 【請求項９】前記磁気素子近傍の前記レールの前記側縁
    部が、イオン・ミリングによりエッチングされる、請求
    項１記載のスライダ。
  10. 【請求項１０】前記磁気素子の両側近傍の前記エア・ベ
    アリング面の側縁部が除去される、請求項１記載のスラ
    イダ。
  11. 【請求項１１】前記磁気素子近傍の前記エア・ベアリン
    グ面の前記側縁部が、前記エア・ベアリング面よりも低
    く、前記支持構造よりも高い高さに除去される、請求項
    １０記載のスライダ。
  12. 【請求項１２】前記磁気素子近傍の前記エア・ベアリン
    グ面の側縁部が、前記エア・ベアリング面よりも低く、
    前記支持構造よりも高い高さに除去される、請求項１記
    載のスライダ。
  13. 【請求項１３】トランスジューサを支持するスライダで
    あって、前記スライダが移動記録ディスク上を浮上し、
    ディスクとスライダ間の機械的クリアランス、及び磁気
    ヘッドとディスク間のクリアランスを有するものにおい
    て、 前記記録ディスクの動きに対する側縁部、前縁部及び後
    縁部を有する支持構造と、 前記移動記録ディスクに対向する前記支持構造上に配置
    される少なくとも１つのエア・ベアリング面であって、
    前記エア・ベアリング面の少なくとも１つが、前記磁気
    ヘッドの実装面を提供し、前記磁気ヘッド近傍の前記エ
    ア・ベアリング面の少なくとも一方の側縁部が除去され
    て、前記ディスクと前記スライダ間の前記機械的クリア
    ランスを増加させる、前記エア・ベアリング面と、 を含む、スライダ。
  14. 【請求項１４】前記磁気ヘッドの両側近傍の前記エア・
    ベアリング面の側縁部が除去される、請求項１３記載の
    スライダ。
  15. 【請求項１５】前記磁気ヘッドの実装面を提供する前記
    エア・ベアリングが、前記スライダの中央に位置する、
    請求項１３記載のスライダ。
  16. 【請求項１６】前記磁気ヘッドの両側近傍の前記エア・
    ベアリング面の側縁部が除去される、請求項１５記載の
    スライダ。
  17. 【請求項１７】前記磁気ヘッド近傍の前記エア・ベアリ
    ング面の前記側縁部が、前記支持構造が露出するように
    完全に除去される、請求項１６記載のスライダ。
  18. 【請求項１８】前記磁気ヘッド近傍の前記エア・ベアリ
    ング面の前記側縁部が、前記エア・ベアリング面よりも
    低く、前記支持構造よりも高い高さに除去される、請求
    項１６記載のスライダ。
  19. 【請求項１９】前記磁気ヘッド近傍の前記エア・ベアリ
    ング面の前記側縁部が、反応イオン・エッチング法によ
    り除去される、請求項１６記載のスライダ。
  20. 【請求項２０】前記磁気ヘッド近傍の前記エア・ベアリ
    ング面の前記側縁部が、イオン・ミリングにより除去さ
    れる、請求項１６記載のスライダ。
  21. 【請求項２１】前記磁気ヘッド近傍の前記エア・ベアリ
    ング面の前記側縁部が、反応イオン・エッチング法によ
    り除去される、請求項１３記載のスライダ。
  22. 【請求項２２】前記磁気ヘッド近傍の前記エア・ベアリ
    ング面の前記側縁部が、イオン・ミリングにより除去さ
    れる、請求項１３記載のスライダ。
  23. 【請求項２３】前記磁気ヘッド近傍の前記エア・ベアリ
    ング面の一部が、前記支持構造の前記後縁部に対して短
    小化され、前記ヘッドが前記後縁部よりも奥まって配置
    される、請求項１３記載のスライダ。
  24. 【請求項２４】情報を記憶及び取り出すシステムであっ
    て、 データを記録する記録面を有する少なくとも１つの回転
    ディスクと、 前記ディスクに結合され、前記ディスクを遮蔽するハウ
    ジングと、 前記ハウジングに結合されるアクチュエータ・アーム・
    アセンブリと、 前記回転ディスクの前記記録面に接近する前記アクチュ
    エータ・アーム・アセンブリに結合される支持構造であ
    って、前記支持構造が前記回転ディスクの前記記録面上
    で選択的に位置決め可能であり、前記記録媒体の動きに
    対する側縁部、前縁部及び後縁部を有する、前記支持構
    造と、 前記支持構造上に隆起する側縁部及びエア・ベアリング
    面を有する少なくとも１つのレールであって、前記レー
    ルの少なくとも１つが、前記支持構造の前記後縁部近傍
    に実装される磁気素子を含み、前記磁気素子近傍の前記
    レールの前記側縁部が、前記支持構造の前記後縁部に対
    して短小化されて、前記ディスク上での前記磁気素子の
    浮上量を最小化し、前記レールの前記側縁部と前記記録
    媒体との間のクリアランスを最大化し、前記レールと前
    記記録媒体との衝突を阻止する、前記レールと、 を含む、システム。
  25. 【請求項２５】前記レールが浮彫りの後縁部分を含み、
    前記磁気素子近傍の前記レールの前記側縁部が、前記支
    持構造の前記後縁部に対して短小化される、請求項２４
    記載のシステム。
  26. 【請求項２６】前記磁気素子を支持する前記レールが、
    前記支持構造の前記側縁部間の前記スライダ中央に配置
    される、請求項２４記載のシステム。
  27. 【請求項２７】前記磁気素子を支持する前記レールが、
    前記支持構造の一方の側に沿って配置される、請求項２
    ４記載のシステム。
  28. 【請求項２８】前記スライダの空気力学的制御を提供す
    る少なくとも１つの追加のレールを含む、請求項２４記
    載のシステム。
  29. 【請求項２９】前記磁気素子近傍の前記レールの前記短
    小の側縁部が、前記支持構造の高さに完全に除去され
    る、請求項２４記載のシステム。
  30. 【請求項３０】前記磁気素子近傍の前記レールの前記側
    縁部が、反応イオン・エッチング法により短小化され
    る、請求項２４記載のシステム。
  31. 【請求項３１】前記磁気素子近傍の前記レールの前記側
    縁部が、イオン・ミリングにより短小化される、請求項
    ２４記載のシステム。
  32. 【請求項３２】前記磁気素子の両側近傍の前記エア・ベ
    アリング面の側縁部が除去される、請求項２４記載のシ
    ステム。
  33. 【請求項３３】前記磁気素子近傍の前記エア・ベアリン
    グ面の前記側縁部が、前記エア・ベアリング面よりも低
    く、前記支持構造よりも高い高さに除去される、請求項
    ３２記載のシステム。
  34. 【請求項３４】前記磁気素子近傍の前記エア・ベアリン
    グ面の側縁部が、前記エア・ベアリング面よりも低く、
    前記支持構造よりも高い高さに除去される、請求項２４
    記載のシステム。
  35. 【請求項３５】ヘッドとディスク間の間隔を最適化する
    スライダを形成する方法であって、 側縁部、前縁部及び後縁部を有する支持構造を形成する
    工程と、 移動記録ディスクに対向し、磁気ヘッドの実装面を提供
    する少なくとも１つのエア・ベアリング面を前記支持構
    造上に形成する工程と、 前記磁気ヘッド近傍の前記エア・ベアリング面の少なく
    とも一方の側縁部を除去し、前記ディスクと前記スライ
    ダ間の機械的クリアランスを増加する、前記除去工程
    と、 を含む、方法。
  36. 【請求項３６】前記磁気ヘッドの両側近傍の前記エア・
    ベアリング面の側縁部を除去する工程を含む、請求項３
    ５記載の方法。
  37. 【請求項３７】前記磁気ヘッドの前記実装面を提供する
    前記工程が、前記磁気ヘッドを前記スライダの中央に位
    置決めする工程を含む、請求項３５記載の方法。
  38. 【請求項３８】前記磁気ヘッド近傍の前記エア・ベアリ
    ング面の前記側縁部を除去する前記工程が、前記支持構
    造が露出するように、前記側縁部を完全に除去する工程
    を含む、請求項３５記載の方法。
  39. 【請求項３９】前記磁気ヘッド近傍の前記エア・ベアリ
    ング面の前記側縁部を除去する前記工程が、前記側縁部
    を前記エア・ベアリング面よりも低く、前記支持構造よ
    りも高い高さに除去する工程を含む、請求項３５記載の
    方法。
  40. 【請求項４０】前記磁気ヘッド近傍の前記エア・ベアリ
    ング面の前記側縁部を除去する前記工程が、反応イオン
    ・エッチング法により前記側縁部を除去する工程を含
    む、請求項３５記載の方法。
  41. 【請求項４１】前記磁気ヘッド近傍の前記エア・ベアリ
    ング面の前記側縁部を除去する前記工程が、イオン・ミ
    リングにより前記側縁部を除去する工程を含む、請求項
    ３５記載の方法。
  42. 【請求項４２】前記磁気ヘッド近傍の前記エア・ベアリ
    ング面の一部を除去する前記工程が、前記エア・ベアリ
    ング面を前記支持構造の前記後縁部に対して短小化し、
    前記ヘッドを前記後縁部から奥まって配置する、請求項
    ３９記載の方法。
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SG (1) SG50784A1 (ja)
TW (1) TW419648B (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005032420A (ja) * 2003-07-08 2005-02-03 Sae Magnetics (Hk) Ltd 超低位浮上高さスライダの設計態様

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6421205B1 (en) 1999-02-23 2002-07-16 International Business Machines Corporation Recessed slider trailing edge for reducing stiction
JP3914366B2 (ja) * 2000-02-22 2007-05-16 Ｔｄｋ株式会社 薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法
US6657820B2 (en) 2001-01-18 2003-12-02 Hitachi, Ltd. Magnetic head slider
US6852013B2 (en) * 2001-05-25 2005-02-08 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Method of burnishing a burnishable rear pad slider in a disk drive
US20020197936A1 (en) * 2001-06-21 2002-12-26 International Business Machines Corporation Method of burnishing a burnishable rear pad slider in a disk drive
JP2005235290A (ja) * 2004-02-19 2005-09-02 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv 磁気ヘッドスライダ
US7233459B2 (en) 2004-05-25 2007-06-19 Sae Magnetics (H.K.) Ltd. Integral wear-pad for slider-disk interference detection
US8300360B2 (en) * 2008-05-13 2012-10-30 Hitachi Global Storage Technologies, Netherlands B.V. Compliant air bearing slider
US8164860B1 (en) 2010-10-20 2012-04-24 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Servo write robust and good altitude performance ABS

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4673996B1 (en) * 1985-04-29 1997-02-04 James W White Magnetic head air bearing slider assembly utilizing transverse pressurization contours
JPS6443812A (en) * 1987-08-11 1989-02-16 Fujitsu Ltd Thin film magnetic head slider
JPH02156493A (ja) * 1988-12-09 1990-06-15 Victor Co Of Japan Ltd 浮上型磁気ヘッド構体
US5166845A (en) * 1989-02-22 1992-11-24 Iomega Corporation Integrated read/write heads, flexure assembly and air-bearing structure on common unitary substrate
US5097370A (en) * 1989-03-17 1992-03-17 Digital Equipment Corporation Subambient pressure air bearing slider for disk drive
JP2637823B2 (ja) * 1989-06-08 1997-08-06 ティーディーケイ株式会社 磁気ヘッド
US5343343A (en) * 1990-05-25 1994-08-30 Seagate Technology, Inc. Air bearing slider with relieved rail ends
JPH04134771A (ja) * 1990-09-27 1992-05-08 Tdk Corp 磁気ヘッド、磁気ヘッド装置及び磁気ヘッドの製造方法
JPH04307408A (ja) * 1991-04-03 1992-10-29 Sumitomo Special Metals Co Ltd 垂直磁気記録再生薄膜ヘッド
JPH04362582A (ja) * 1991-06-10 1992-12-15 Hitachi Ltd 磁気ディスク装置用薄膜磁気ヘッド
JPH04366411A (ja) * 1991-06-13 1992-12-18 Ngk Insulators Ltd 薄膜磁気ヘッド
SG47739A1 (en) * 1991-06-14 1998-04-17 Seagate Technology Air bearing slider with relieved trailing edge
US5267109A (en) * 1991-06-14 1993-11-30 Seagate Technology, Inc. Air bearing slider with relieved trailing edge
US5327310A (en) * 1992-06-25 1994-07-05 Read-Rite Corporation Thin film contact recording head
JPH06203515A (ja) * 1992-11-30 1994-07-22 Read Rite Corp 磁気ヘッドスライダ
US5404256A (en) * 1992-12-07 1995-04-04 White; James W. Transverse and negative pressure contour gas bearing slider
JP3478556B2 (ja) * 1993-03-18 2003-12-15 松下電器産業株式会社 磁気ヘッドスライダ
JP2500479B2 (ja) * 1993-04-22 1996-05-29 ティーディーケイ株式会社 磁気ヘッド装置用スライダ及び該スライダの製造方法
CA2123436A1 (en) * 1993-06-04 1994-12-05 Fong-Jei Lin Thin film transducer with reduced flying height
US5418667A (en) * 1993-08-03 1995-05-23 International Business Machines Corporation Slider with transverse ridge sections supporting air-bearing pads and disk drive incorporating the slider
US5654853A (en) * 1994-02-04 1997-08-05 Seagate Technology, Inc. Disc storage device having a magnetic head air bearing slider configuration for reduced disc overhead
US5774304A (en) * 1996-01-16 1998-06-30 Seagate Technology, Inc. Disc head slider having center rail with asymmetric edge steps

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005032420A (ja) * 2003-07-08 2005-02-03 Sae Magnetics (Hk) Ltd 超低位浮上高さスライダの設計態様

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