JPH04134771A - 磁気ヘッド、磁気ヘッド装置及び磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、浮上型磁気ヘッドに間し、スライダが媒体対
向面側に一つの連続する平面状の空気ベアリング面を有
するタイプの磁気ヘッドにおいて、空気流入端側におい
て空気ベアリング面と側端面とが形成する稜角部を、空
気ベアリング面とのなす外角が６０分以下の角度の面取
された傾斜面とすることにより、磁気ディスクとの組合
せにおいて、ヘッド吸着、ヘッドクラッシュを生じにく
く、しかも、特定された低い相対速度で浮上を開始し、
または浮上を停止する耐久性に優れた磁気ヘッド、磁気
ヘッド装置を提供すること、及び、この磁気ヘッドを得
るのに好適な製造方法を提供できるようにしたものであ
る。

〈従来の技術〉 従来より、磁気ディスク装置には、磁気記録媒体の走行
によって生じる動圧を利用して、磁気記録媒体との間に
微小な空気ベアリングによる間隙を保って浮上する磁気
ヘッドが用いられている。

従来、この種の磁気ヘッドは、セラミック構造体でなる
スライダの磁気記録媒体と対向する媒体対向面側に、２
本のレール部を間隔を隔てて設け、このレール部の表面
を空気ベアリング面として作用させると共に、磁気記録
媒体との組合せにおいて、空気流入端となるレール部の
一端部側に、テーバ部を設けた構造となりてぃた。磁気
変換素子は、テーバ部とは反対側の空気流出端部側に備
えられていた。

この種の磁気ヘッドは、磁気記録の高密度化及び高速化
に対応するため、ますます、小型化される傾向にある。

小型化は、高密度記録を達成するのに必要な浮上量低下
及びスペーシングロス減少に有効である上に、ジンバル
との組合せにおいて、共振周波数を高め、クラッシュ防
止及び耐久性向上に効果があり、しかも、動圧と支持バ
ネ圧との間の適正なバランスを保ち、フライト姿勢を良
好に保ち、安定な浮上特性が得られるからである。更に
、小型化によるヘッドの買置減少は、ジンバルを支持す
るアームのアクセス運動の高速化をもたらす。

しかし、従来の浮上型磁気ヘッドは、媒体対向面側にレ
ール部及びテーバ部を有する複雑な構造となっており、
小型化には限界がある。これを解決する手段として特開
昭６４−２１７１３号公報のように、スライダの媒体対
向面を、レール部のない平面状とした磁気ヘッドが提案
されている。

第１６図はかかる磁気ヘッドの一例の斜視図であり、１
はスライダ、２は磁気変換素子、３．４は取出電極を示
す。

スライダ１は、媒体対向面１１にレール部及びテーパ面
を持たない平面状の空気ベアリング面１１１を有してい
る。

磁気変換素子２は、磁気記録媒体との組合せにおいて、
空気流出端部側となる端面に付着させである。磁気変換
素子２は例えば幅方向の略中間部に配置されている。

磁気ディスク装置として使用する場合は、媒体対向面１
１と対向する面１２を、図示しないヘッド支持装置（ジ
ンバル）に接着し、媒体対向面１１を磁気ディスクの表
面にバネ接触させ、この状態で起動及び停止を行なう、
いわゆる、コンタクト、スタート、ストップ（以下ｃｓ
ｓと称する）方式によって駆動される。磁気ディスクが
静止しているときは、ヘッド支持装置のバネ圧により空
気ベアリング面１１１が磁気ディスクの表面に押付けら
れているが、磁気ディスクが回転すると、スライダ１の
空気ベアリング面１１１に揚力動圧が発生し、この動圧
とヘッド支持装置のバネ圧と釣り合う浮上量で動作する
。

第１６図に示す磁気ヘッドは、スライダ１の空気ベアリ
ング面１１１がレール部のない単純な平面状となってい
るため、小型化が容易であり、小型化による上記利点を
確保できる。

〈発明が解決しようとする課題〉 上述したように、特開昭６４−２１７１３号公報等に開
示された磁気ヘッドは、きわめて有用な特徴を有してい
る。しかしながら、次のような解決しなければならない
問題も含んでいる。

（Ａ）スライダ１の空気ベアリング面１１１がレール部
及びテーパ面のない平面状となりているため、磁気ディ
スク面に吸着し易く、Ｃ５Ｓ方式で駆動する場合にヘッ
ドクラッシュ、媒体損傷等を生じ易い。

（Ｂ）ＣＳＳ方式において駆動する場合、相対速度の小
さい領域で浮上を開始し、または停止させることが、磁
気ヘッド及び媒体の両者の耐久性向上及び損傷防止に有
効である。しかし、従来の空気ベアリング面にレール部
及びテーパ面のない磁気ヘッドは、相対速度のどの領域
で浮上を開始し停止するかは、多分に偶然性を含んでお
り、ある特定された相対速度領域で浮上させ、または停
止させるということはできなかった。このため、耐久性
保証に問題があった。

そこで、本発明の課題は、上述した従来の問題点を解決
し、ヘッド吸着、ヘッドクラッシュを生じにくく、しか
も、特定された低い相対速度で浮上を開始し、または浮
上を停止する耐久性に優れた磁気ヘッド、磁気ヘッド装
置を提供すること、及び、この磁気ヘッドを得るのに好
適な製造方法を提供することである。

〈課題を解決するための手段〉 上述した！！題解決のため、本発明に係る磁気ヘッドは
、スライダと、磁気変換素子とを有する磁気ヘッドであ
って、 前記磁気変換素子は、前記スライダの空気流出端側に備
えられており、 前記スライダは、媒体対向面側に一つの連続する平面状
の空気ベアリング面を有していて、空気流入端側におい
て前記空気ベアリング面と側端面とが形成する稜角部が
、面取された傾斜面となっており、 前記傾斜面は、前記空気ベアリング面とのなす外角が６
０分以下の角度となるように選定されていること を特徴とする。

また、本発明に係る磁気ヘッド装置は、上記構造の磁気
ヘッドを、ヘッド支持装置と組合せたことを特徴とする
。

更に、上述の磁気ヘッドを製造するため、本発明に係る
製造方法は、スライダの媒体対向面側を、弾性シートに
よって支持された研磨シートの面上に接触させ、スライ
ダを研磨シートに対して相対的に移動させて媒体対向面
を研磨することを特徴とする。

〈作用〉 スライダは媒体対向面側に一つの連続する平面状の空気
ベアリング面を有しているので、小型化が容易であり、
小型化による上記利点を確保できる。

スライダは、空気流入端側において空気ベアリング面と
側端面とが形成する稜角部が、面取された傾斜面を有し
ているので、Ｃ８Ｓ動作において、容易にスタートでき
るようになり、ヘッドクラッシュ、媒体損傷等を生じに
くくなる。

傾斜面は空気ベアリング面とのなす外角が６０分以下の
角度となるように選定されているので、ＣＳＳ方式で駆
動する場合において、数ｍ／ｓ以下の低い安定した相対
速度で浮上を開始し、または浮上を停止するようになる
。このため、耐久性が向上すると共に、所定の耐久性を
保証できるようになる。

従って、本発明によれば、ヘッド吸着、ヘッドクラッシ
ュを生じにくく、しかも、特定された低い相対速度で浮
上を開始し、または浮上を停止する耐久性に優れた磁気
ヘッド、磁気ヘッド装置が得られる。

次に、本発明に係る磁気ヘッドの製造方法は、上述の磁
気ヘッドを製造するに当り、スライダの媒体対向面側を
、弾性シートによって支持された研磨シートの面上に接
触させ、スライダを研磨シートに対して相対的に移動さ
せて媒体対向面を研磨するようにしたので、弾性シート
の沈み込み、及び、研磨シートによる研磨作用によって
、空気ベアリング面と側端面とが形成する稜角部を面取
し、傾斜面を付することができる。傾斜面の角度は、弾
性シートの弾力性、荷重の選定等によって、６０分以下
に容易に設定できる。

〈実施例〉 第１図は本発明に係る磁気ヘッドの斜視図である０図に
おいて、第１６図と同一の参照符号は同一性ある構成部
分を示している。ａは磁気ディスクと組合せた場合の空
気流入方向を示す。

スライダ１は、媒体対向面１１に一つの連続する平面状
の空気ベアリング面１１１を有している。従来と異なっ
て、レール部は持っていない。

従って、小型化が容易である。

空気流入端側において空気ベアリング面１１１と側端面
１３とが形成する稜角部は、面取された傾斜面１４とな
っている。このためＣ５Ｓ動作において、容易にスター
トできるようになり、ヘッドクラッシュ、媒体損傷等を
生じにくくなる。図示の傾斜面１４は空気ベアリング面
１１１の全周に設けられているので、全方向においてヘ
ッドクラッシュ、媒体損傷の防止作用が得られる。

第２図は空気流入端側の拡大図で、傾斜面１４は、空気
ベアリング面１１１とのなす外角θが６０分以下の角度
となるように選定されている。

傾斜面の角度を前述したような値に選定すると、ＣＳＳ
方式で駆動する場合において、数ｍ／ｓ以下の低い安定
した相対速度で浮上を開始し、または浮上を停止するよ
うになる。

本発明において、外角θは次にように定義する。空気ベ
アリング面１１１と傾斜面１４との境界を２１とし、側
端面１３と傾斜面１４との境界をＰ２とし、空気ベアリ
ング面１１１の延長線と側端面１３の延長線との交点を
Ｐｏとする。点Ｐ０から点Ｐ１％Ｐ２までの各距離をり
、、ｈ。

とし、外角θは、 θ＝　ｔａｎ−’　（ｈ２／ｂ＋） と定義する。そして、角度θを６０分以下となるように
選定する。

傾斜面１４は第２図の平面状の他に、？；３図に示すよ
うに、弧状に形成してもよい。この場合も、外角θ＝　
ｔａｎ−’　（ｈｚ／ｈ＋）の関係を満たし、６０分以
下の角度となるように設定する。外角θは６０分以下の
微小角度であるから、傾斜面１４が弧状であっても、実
質的に平面と見なして取扱うことができる。

第４図はＣ８Ｓ方式で駆動した場合の傾斜面１４のなす
角度θ（分）と着地速度（ｍ／ｓ）との関係を示すデー
タである。着地速度（ｍ　／　ｓ　）は浮上開始と浮上
停止とでほぼ同じと見ることができる。第４図のデータ
から、外角θが６０分よりも小さい間は数ｍ／ｓのほぼ
安定した着地速度に保たれているが、６０分を超えると
、着地速度が急激に上昇している。従って、外角０５６
０分の付近に臨界点があることは明らかである。着地速
度が大きくなる程、磁気ヘッドと磁気ディスクとの間に
働く衝撃が大きくなるから、外角が６０分を超える範囲
では、耐久性が低くなる。これに対して外角が６０分以
下の範囲では、数ｍ／ｓのほぼ一定した着地速度に保た
れているから、耐久性が向上すると共に、ある範囲の耐
久性保証が可能である。

第１図に示した磁気ヘッドは、空気流入方向ａと直交す
る幅方向の両端縁に、空気流入方向に沿う凹部１１２．
１１３を有し、凹部１１２−１１３間が段部を持たない
空気ベアリング面１１１となっている。凹部１１２．１
１３の深さｔ、及び幅ｄ１は、スライダ１の全幅ｗ２を
１．２）、全長を１．１ｍｓ＋、厚みを０．５５ｍｍに
選定した場合、０．１ａｍ程度が適当である。

磁気変換素子２は、長さ方向の一端側において凹部１１
２−１１３間の空気ベアリング面１１１にギャップが位
置するように配置されている。この磁気変換素子２と、
磁気記録媒体との間で、磁気記録再生が行なわれる。

上述のように、空気ベアリング面１１１は、その幅Ｗ、
が媒体対向面１１の全幅Ｗ２に比較して狭くなるので、
その面積が縮小される。このため、低浮上量でスペーシ
ングロスが少なく、高密度記録に適した磁気ヘッドが得
られる。

また、加工歪の残り易い幅方向の両端縁に、長さ方向に
沿って凹部１１２．１１３が設けられていて、加工歪部
分が除・去される。このため、スペーシングロスが小さ
く、ヘッドクラッシュ等を生じにくい耐久性の高い磁気
ヘッドが得られる。

更に、スライダ１の媒体対向面１１と対向する面１２は
、スライダ１の全幅Ｗ２に対応した面積となり、空気ベ
アリング面１１１の縮小化による影響を受けない。この
ため、ヘッド支持装置との間に充分な接着面積を確保し
、接着強度を増大できる。

磁気変換素子２は、ウィンチエスタ型、コンポジット型
または薄膜素子の何れでもよい。本実施例では薄膜素子
を使用した薄膜磁気ヘッドの例を第５図及び第６図に示
す。第５図は磁気変換素子２を中心としな拡大斜視図、
第６図は同じくその拡大断面図で企る。図において、２
１は下部磁性膜、２２はアルミナ等でなるギャップ膜、
２３は上部磁性膜、２４は導体コイル膜、２５はノボラ
ック樹脂等の有機樹脂で構成された絶＠膜、＋２６．２
７はリード電極、２８は保護膜である。

下部磁性Ｍ２１及び上部磁性膜２３の先端部は微小厚み
のギャップ膜２２を隔てて対向するボール部２１１．、
、．２．３１となっており、ボール部２１１．２３１に
おいて読み書きを行なう。

２１２．２３２はヨーク部であり、ボール部２１１．２
３１とは反対側にあるバックギヤ９１部において、磁気
回路を完成するように互いに結合されている。

絶縁膜２５は複数層の絶縁膜２５１〜２５３から構成さ
れていて、絶縁膜２５１．２５２の上に、ヨーク部２１
２．２３２の結合部のまわりを渦巻状にまわるように、
導体コイル膜２４を形成しである。リード電極２６．２
７は、一端側が導体コイル膜２４の両端にそれぞれ導通
接続されており、他端側に取出電極３．４が形成されて
いる。

実施例では、面内記録再生用の磁気ヘッドを示したが、
垂直磁気記録再生用の磁気ヘッドにも、本発明は適用で
きるし、実施例に示す２端子型の磁気ヘッドに限らず、
センタータップを有する３端子型の磁気ヘッド、モノリ
シック型磁気ヘッドまたはコンポジット型磁気ヘッドに
も適用できる。また、磁気変換素子の個数、位置または
取出電極の導出方向または位置等は、任意に選定でき、
図示の状態に限定されない。

′ｓ７図は本発明に係る磁気ヘッドを使用した磁気記録
再生装置の要部における工面図、第８図は円じく平面図
である。図において２．５はヘッド支持装置、６は位置
決め装置、７は磁気ヘッド、８は磁気ディスクである。

磁気ディスク８は図示しない回転駆動装置により、矢印
ａの方向に回転駆動される。磁気ヘッド７は、ジンバル
系ヘッド支持装置５により荷重を加えてピッチ運動及び
ロール運動を許容するように支持する。

ヘッド支持装置５は位置決め装置６に取付けられる剛性
アーム部５１に、弾性金属薄板でなる支持体５２の一端
を、結合具５．１λ、５１２によって取付は固定すると
共に、支持体５２の長手方向の一端にある自由端に可撓
体５３を取付け、この可撓体５３の下面に、磁気ヘッド
７を取付けた構造となっている１、支持体５２は剛性ア
ーム部５１に取付けられる部分が弾性バネ一部５２１と
なっていて、弾性バネ部、５２１に連続して剛性ビーム
部５２２を一形成しである。ヘラ、ド支持装置５は位置
決め装置６により、回転直径０．＋上で、矢印ｂｌまた
はｂ２の方向に駆動されて位置決めされ、それによっ所
一定のトランにおいて、磁気ディスク８と磁気へ一／−
５ドアどの間で、磁気記録、再生がりなわれる。

磁気ヘッド７はヘッド支持装置５により荷重を加えてピ
ッチ運動及びロール運動を許容するように支持する。

磁気ディスク８は図示しない回転駆動装置により、矢印
ａの方向に回転駆動される。磁気ディスク８としては、
従来より知られているもの、またはこれから提案される
ことのあるものを広く用いることができる０例として、
表面粗さＲ，１つが１Ｏｎ１以下、例えば５ｎｍ以下の
表面性の良好な媒体が、本発明に係る磁気ヘッドとの組
合せから望ましい、このような磁気ディスク８は剛性基
体の表面に真空成膜法によりて磁気記録層を形成するこ
とによって得られる。磁気記録層はｒ　−Ｆｅ１２゜ま
たはＣｏ−Ｎｆ、　Ｃｏ−Ｃｒ等の磁性薄膜として形成
する。真空成膜法によって形成される磁気記録層の膜厚
は０．５μ■程度以下であるので、剛性基体の表面性が
そのまま記録層の表面性として反映される。従って、剛
性基体としては、表面粗さＲ１□が１０ｎａ＋以下のも
のを使用する。そのような剛性基体の具体例としては、
ガラス、化学強化されたソーダアルミノ珪酸ガラスまた
はセラミックを主成分とする剛性基体が通している１表
面粗さＲ１１，が１０ｎｍ以下、特に５ｎｍ以下の範囲
では、単接触の動作の場合でも、磁気ディスク８と磁気
ヘッドフとの衝突を回避し、耐久性を向上させることが
できる。

磁気記録層は、γ−Ｆｅ２０ｓ等の磁性酸化鉄や磁性窒
化物で構成することができる。また、磁性層が金属や合
金等の場合には、表面に酸化物層、窒化物層を設けるか
、または表面を酸化皮膜゛とするのが望ましい、こうす
ることにより、磁気記録層の耐久性が向上し、磁気ディ
スク８の損傷を防止できる。酸化物層及び窒化物層は、
反応性スパッタ、反応性蒸着等によって形成できる。ま
た、表面の酸化皮膜は、Ｃｏ−ＣｒまたはＣｏ−Ｎｆ等
のように、鉄、コバルト、ニッケルのうち、少なくとも
一種を含む金属または合金でなる磁気記録層の表面を、
反応性プラズマ処理等により、意図的に酸化して形成で
きる。磁気ディスク８は、磁気記録層の記録残留磁化が
膜面に対して垂直方向の成分を主成分とする垂直記録、
膜面白成分を主成分とする面内記録のいずれであっても
よい０図示は省略したが、磁気記録層の表面に潤滑剤を
塗布してもよい。

′ｓ９図及び第１０図は磁気ヘッドフとヘッド支持装置
５の組立構造を示す図で、支持体５２の自由端に設けら
れた可撓体５３の下面に、磁気ヘッドフを取付けた構造
となっている。支持体５２の剛性ビーム部５２２は両側
に折曲げ形成したフランジ５２２ｍ、５２２ｂを有して
いる。

可視体５３は支持体５２の長手方向軸線と略平行して伸
びる２つの外側可撓性枠部５３１．５３２と、支持体５
２から離れた端において外側可撓性枠部５３１．５３２
を連結する横枠５３３と、横枠５３３の略中央部から外
側可撓性枠部５３１．５３２に略平行するように伸びて
いて先端を自由端とした中央舌状部５３４とを有して構
成され、横枠５３３のある方向とは反対側の一端を、支
持体５２の自由端付近に溶接等の手段によって取付けで
ある。

可撓体５３の中央舌状部５３４の上面には、例えば半球
状等の荷重用突起５３５が設けられていて、この荷重用
突起５３５により、支持体５２の自由端から中央舌状部
５３４へ荷重を伝えるようにしである。中央舌状部５３
４の下面には磁気ヘッド７を接着等の手段によって固着
しである。

磁気ヘッドフのヘッド支持装置５に取付ける場合、空気
流入方向ａで見た荷重点ｐ、に対し、磁気ヘッド７の位
置を選定することにより、ピッチ角を制御することがで
きる。ピッチ角は、第１１図に示すように、空気流入方
向ａで見た磁気ディスク８に対する磁気ヘッド７の傾き
角βである。

第１２図は荷重点Ｐ、に対する磁気ヘッドの取付は位置
とピッチとの関係を示すデータである。

横軸にとられたＸ方向位置（μ−）は、′！Ｊ１０図に
おいて、磁気へラド７の空気流入方向における中心点が
荷重点Ｐ、に一致している場合を基準値−０とし、磁気
ヘッド７の中心点がＸ軸に付された矢印方向に移動した
場合を（＋）、逆方向に移動した場合を（−）として示
しである。縦軸にとられたピッチ（μ■）は、第１１図
において、空気ベアリング面１１１の最低部と最高部と
の高低Ｍ　Ｈｒであり、間接的にピッチ角βを表示して
いる。

第１２図に示すように、荷重点Ｐｆに対する磁気ヘッド
フの取付は位置を選定することにより、その位置に応じ
たピッチ角βまたはピッチＨ，を得ることができる。ピ
ッチ角βの選定は、スペーシングロス減少、それによる
高記録密度化、ヘッドクラッシ：ＬｒＩｊ止、浮上特性
の安定化等に間して、極めて重要な事項である。

第１３図及び第１４図は第１図〜第３図に示した磁気ヘ
ッドの製造方法を示す図である０図において、７は磁気
ヘッド、９１は弾性シート、９２は研磨シート、９３は
加工台、９４は治具である。

磁気ヘッド７は、その複数個を接着等の手段によって治
具９４に取付けである。そして、治具９４に荷重Ｆ１を
加えながら、スライダ１の媒体対向面１１側を、弾性シ
ート９１によって支持された研磨シート９２の面上に接
触させ、スライダ１を研磨シート９２に対して、矢印Ｃ
１、Ｃ＊のように相対的に移動させる。これにより、Ｎ
１図に示した如く、空気ベアリング面１１１と側端面と
が形成する稜角部が面取され、所定の傾斜面が形成され
る。荷重Ｆ１％弾性シート９１の弾力性は、傾斜面の角
度が６０分以下となるように選定する。

〈発明の効果〉 以上述べたように、本発明によれば、次のような効果が
得られる。

（ａ）スライダは媒体対向面倒に一つの連続する平面状
の空気ベアリング面を有しているので、低浮上量で、ス
ペーシングロスが少なく、高密度記録に適し、ヘッド支
持装置との組合せにおいて、共振周波数を高め、クラッ
シュを防止し、耐久性を向上させ、アクセス運動の高速
化を図った磁気ヘッド及び磁気ヘッド装置を提供できる
。

（ｂ）スライダは、空気流入端側において空気ベアリン
グ面と側端面とが形成する稜角部が、面取された傾斜面
を有しているので、Ｃ５Ｓ動作において、容易にスター
トできるようになり、ヘッドクラッシェ、媒体損傷等を
生じにくい磁気ヘッド及び磁気ヘッド装置を提供できる
。

（Ｃ）傾斜面は空気ベアリング面とのなす外角が６０分
以下の角度となるように選定されているので、Ｃ５Ｓ方
式で駆動する場合において、数ｍ／ｓ以下の低い安定し
た相対速度で浮上開始／浮上停止し、耐久性が高く、し
かも所定の耐久性を保証し得る磁気ヘッド及び磁気ヘッ
ド装置を提供できる。

（ｄ）上述の磁気ヘッドを製造するに当り、スライダの
媒体対向面側を、弾性シートによって支持された研磨シ
ートの面上に接触させ、スライダを研磨シートに対して
相対的に移動させて媒体対向面を研磨するようにしたの
で、本発明に係る磁気ヘッドを容易に得ることができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る磁気ヘッドの斜視図、第２図は本
発明に係る磁気ヘッドの空気流入端側の拡大図、′！Ｊ
３図は同じく別の実施例における空気流入端側の拡大図
、第４図はＣＳＳ方式で駆動した場合の傾斜面の角度θ
（分）と着地速度（ｍ／ｓ）との関係を示すデータ、第
５図は本発明に係る磁気ヘッドを構成し得る磁気変換素
子の構成を示す斜視図、第６図は同じくその拡大断面図
、第７図は本発明に係る磁気ヘッドを使用した磁気録再
主装置の要部における正面図、第８図は同じく平面図、
第９図は第７図及び第８図に示した磁気記録再生装置に
おける磁気ヘッドとヘッド支持装置の組立構造を示す正
面拡大図、第１０図は同じくその底面図、第１１図はピ
ッチ角の説明をする図、第１２図は荷重点に対する磁気
ヘッドの取付は位置とピッチとの関係を示すグラフ、第
１３図は第１図〜第３図に示した磁気ヘッドの製造方法
を示す正面図、第１４図は同じくその平面図、第１５図
は同じく磁気ヘッドに対する研磨作６図は従来の磁気ヘ
ラ 用を説明する図、第１ 斜視図である。 １・・・スライダ １１・・・媒体対向面 １１１・・・空気ベアリ １４・・・傾斜面 ング面 ドの ・磁気変換素子 第２図 −−−」−一一 第１６図

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）スライダと、磁気変換素子とを有する磁気ヘッド
   であって、 前記磁気変換素子は、前記スライダの空気流出端側に備
   えられており、 前記スライダは、媒体対向面側に一つの連続する平面状
   の空気ベアリング面を有していて、少なくとも空気流入
   端側において前記空気ベアリング面と側端面とが形成す
   る稜角部が面取された傾斜面となっており、 前記傾斜面は、前記空気ベアリング面とのなす外角が６
   ０分以下の角度となるように選定されていること を特徴とする磁気ヘッド。
2. （２）前記スライダは、媒体対向面の幅方向の両端縁に
   長さ方向に沿う凹部を有しており、前記空気ベアリング
   面は、前記凹部間に設けられており、 前記磁気変換素子は、前記凹部間に配置されていること を特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッド。
3. （３）磁気ヘッドと、ヘッド支持装置とを含む磁気ヘッ
   ド装置であって、 前記磁気ヘッドは、スライダと、磁気変換素子とを有し
   ており、 前記磁気変換素子は、前記スライダの空気流出端側に備
   えられており、 前記スライダは、媒体対向面側に一つの連続する平面状
   の空気ベアリング面を有していて、少なくとも空気流入
   端側において前記空気ベアリング面と側端面とが形成す
   る稜角部が、面取された傾斜面となっており、 前記傾斜面は、前記空気ベアリング面とのなす外角が６
   ０分以下の角度となるように選定されていること を特徴とする磁気ヘッド装置。
4. （４）前記ヘッド支持装置は、前記磁気ヘッドに対しロ
   ール運動及びピッチ運動を許容するように前記磁気ヘッ
   ドを支持し、前記スライダの媒体対向面側とは反対側の
   面から前記磁気ヘッドに対して荷重を加えており、 空気流入方向で見た荷重点の位置に応じてピッチ角を制
   御すること を特徴とする請求項３に記載の磁気ヘッド装置。
5. （５）請求項１または２に記載の磁気ヘッドを製造する
   ための方法であって、 前記スライダの前記媒体対向面側を、弾性シートによっ
   て支持された研磨シートの面上に接触させ、前記スライ
   ダを前記研磨シートに対して相対的に移動させて前記媒
   体対向面を研磨することを特徴とする磁気ヘッドの製造
   方法。