JPH06349025A - 浮動高さを減少させた薄膜トランスジューサ - Google Patents

浮動高さを減少させた薄膜トランスジューサ

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JPH06349025A
JPH06349025A JP6142216A JP14221694A JPH06349025A JP H06349025 A JPH06349025 A JP H06349025A JP 6142216 A JP6142216 A JP 6142216A JP 14221694 A JP14221694 A JP 14221694A JP H06349025 A JPH06349025 A JP H06349025A
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JP
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transducer
air bearing
magnetic
slider
region
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JP6142216A
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English (en)
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Fong-Jei Lin
フォン−イエイ・リン
Shengbo Zhu
シェンボ・ズー
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MAGUNETSUKUSU CORP
Magnex Corp
Original Assignee
MAGUNETSUKUSU CORP
Magnex Corp
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Publication date
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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 トランスジューサギャップと記録媒体表面と
の間を測定した有効浮動高さを減少させたトランスジュ
ーサ／スライダ結合体を備えた磁気ディスク記録装置を
提供する。 【構成】 スライダは、前端部、後端部、及びその間に
延在した空気ベアリング表面を備えている。後端部に
は、トランスジューサの磁極端領域付近に空気ベアリン
グ表面との境界を形成する表面形状が設けられている。
従って、磁極端領域の有効浮動高さは、境界の浮動高さ
にほぼ等しい。成形表面は、傾斜平面、横ノッチまたは
小さい傾斜バンドを備えた薄いオーバコート層にするこ
とができる。磁気トランスジューサは、平坦な下磁極ま
たは窪んだ中央領域を備えた下磁極を設けることができ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、データ記録装置に使用
されるスライダ／トランスジューサアセンブリに関する
ものである。さらに言えば、本発明は、磁気媒体を用い
た回転ディスクドライブに見られる形式の磁気トランス
ジューサ／スライダアセンブリに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】回転ディスク媒体を用いた磁気ディスク
ドライブは、コンピュータ分野において以前より知られ
ており、情報の記憶及び検索に使用されている。そのよ
うなドライブは一般的に、ディスクを回転させる機構
と、磁気トランスジューサと、トランスジューサを支持
している空気ベアリングスライダと、磁気トランスジュ
ーサを磁気記録媒体の記録表面に近接させた状態で空気
ベアリングスライダを支持するヘッドアームと、ヘッド
アームを支持すると共に、トランスジューサを媒体の上
方で正確に半径方向に位置決めできるように、ヘッドア
ームを磁気記録媒体の記録表面に対して移動させる装置
とを設けている。空気ベアリングスライダは、前端部及
び後端部を備え、その前端部と後端部との間に１つまた
は複数のレールを延ばした形状で適当な素材で形成され
た本体を有している。各レールの下側が、磁気媒体がス
ライダ本体の下方で回転している時にスライダを磁気媒
体の表面の上方に浮動姿勢で支持する空気ベアリング表
面を形成している。
【０００３】磁気トランスジューサは、一般的にスライ
ダ本体の後端部に近接して、1990年１月16日に発行され
た「磁気ヘッド空気ベアリングスライダ」と題する米国
特許第 4,894,740号に示されているように一般的に本体
の後表面上に配置されている。あるいは、磁気トランス
ジューサは、スライダ本体の素材からなる基板に対して
フォトリソグラフィ技術及びバッチ処理を用いてスライ
ダ本体の後表面に形成される。現在では、より経済的で
あり、信頼できる基準で必要な小型寸法のトランスジュ
ーサを製造できることから、このバッチ処理式が業界で
好まれている。
【０００４】個別トランスジューサ／スライダアセンブ
リを用いるか、バッチ処理されたトランスジューサ／ス
ライダを用いるかには関係なく、いずれの場合もトラン
スジューサの露出表面は一般的に、仕上げ及びヘッドア
ーム支持機構への取り付け前に、比較的厚い保護層で被
覆される。バッチ処理されたトランスジューサ−／スラ
イダアセンブリでは、この保護層が「オーバコート」層
と呼ばれ、通常は二酸化珪素、Ａｌ203 、窒化珪素また
は他の適当な素材で形成されている。このオーバコート
層は、最初に仕上げ製品に望まれる厚さよりも厚く形成
されてから、続いて約40ミクロン（ 1,000マイクロイン
チ）程度の厚さの平坦な仕上げ層になるまで研摩され
る。
【０００５】設置して使用する時、磁気ディスクの回転
によって生じたスライダ本体の下側の空気の運動によっ
て、トランスジューサ／スライダアセンブリが磁気ディ
スクの表面の上へ浮動し、ディスクの表面とトランスジ
ューサとの間の空気ギャップ越しに情報が磁気表面に記
録されたり、磁気表面から読み取られる。
【０００６】長年に渡って、磁気ディスクドライブは、
ディスクの物理的寸法を減少させながら情報記憶容量を
増加させることができるように常に改良されてきた。こ
れは、インチ当たりのトラック数を増加させるためにデ
ィスク上のトラック幅を相当に狭くし、またインチ当た
りのビット数を増加させるために磁気トランスジューサ
のためのギャップ深さを相当に小さくすることを必要と
してきており、これらは共にヘッド構造によるものであ
る。また、面積当たりの情報密度を高める目的を達成す
るため、エルステッド容量が高く、記録周波数が高く、
またはディスクの角速度が高い改良形磁気媒体が使われ
てきた。この目的を達成するため、トランスジューサが
ディスクから上昇する浮動高さを減少させて、トランス
ジューサとディスク媒体表面との間の平均距離を減少さ
せることも必要である。浮動高さの実際的な下限は、デ
ィスク媒体の表面平滑度によって大きく左右され、現在
では約３マイクロインチが一般的である。
【０００７】トランスジューサ／スライダアセンブリの
浮動高さを減少させるために幾つかの技術が用いられて
きた。最初に、浮動高さは空気ベアリング表面の面積に
大きく左右されるので、レールの幅を減少させた。この
解決方法は、トランスジューサの物理的最小寸法によっ
て制限される、すなわち、レールの幅はトランスジュー
サの最大幅と同じでなければならない。スライダの浮動
高さを減少させる別の技法は、上記の米国特許第 4,89
4,740号に示されている形式の３軸空気ベアリング表面
を用いるものである。別の技法は、２つのレールを備え
たスライダ本体に対して、空気ベアリング表面の幅を減
少させるために外側レールに長手方向のスロットを形成
する変更を加える正面圧力形状原理を用いている。トラ
ンスジューサがスライダ本体の後端面に仕上げられた後
に長手方向スロットが形成されるので、この方法は磁極
端領域でのトランスジューサの最も狭い部分の幅によっ
て制限され、スロット形成工程中にこれに侵入すること
ができない。さらに別の技法は、長手方向に延びている
１対のレールを横レールで結合させることによって、ス
ライダ本体の空力特徴を変更した負圧空気ベアリング表
面を用いている。
【０００８】媒体表面平滑度によって決定される許容最
小値まで浮動高さを減少させる問題に対する上記解決方
法の各々には、変更形状を設けるために特別な処理段階
が必要であるという欠点がある。また、これらの解決方
法のいずれも、磁気トランスジューサの磁極端領域であ
る変換領域が、実際にはスライダ本体の後端面よりオー
バコート保護層の厚さにオーバコート層の内側境界と磁
極端領域の位置との間の空間を加えた量だけ内側に位置
していることを考慮に入れていない。スライダは、記録
媒体の表面に平行な平面に対して傾斜角度で浮動するよ
うに空力的に設計されているので、スライダ本体の低地
点は、空気ベアリング表面と後端面との間の縁部であ
る。従って、トランスジューサが実際に磁気媒体の表面
から浮き上がる高さは相当に高くなる。その結果、トラ
ンスジューサと記録媒体表面との間の磁気カップリング
が損なわれる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、スライダ本
体に取り付けられたトランスジューサが記録媒体の表面
から浮き上がる高さを減少させるための、個別またはバ
ッチ処理形スライダ／トランスジューサのいずれでも実
行が比較的簡単で、トランスジューサと記録媒体との間
の磁気カップリングを相当に改善する方法及び装置を提
供している。
【００１０】
【課題を解決するための手段】最も広い特徴では、本発
明は、スライダ本体及びトランスジューサを備えたスラ
イダ／トランスジューサアセンブリを有しており、スラ
イダ本体には前端部、後端部、及び前端部と後端部との
間に位置している空気ベアリング表面が設けられてい
る。トランスジューサは、スライダ本体の後端部に近接
して変換領域を設けており、スライダ本体の後端部に
は、変換領域に近接配置された空気ベアリング表面との
境界を形成している成形表面部分が設けられている。
【００１１】後端部の成形表面部分は、幾つかの形状に
することができる。１つの実施例では、成形表面部分
は、空気ベアリング表面に対して角度を付けて境界から
延在しているほぼ平坦な表面である。別の実施例では、
成形表面部分は、境界から後方へ後端部表面まで延びた
ノッチを有している。さらに別の実施例では、成形表面
部分は、トランスジューサの上に形成された薄いオーバ
コート層を有しており、これには、空気ベアリング表面
に対して角度を付けて境界から後方へ延在しているほぼ
平坦な傾斜補助部分が設けられている。
【００１２】トランスジューサは、上表面を備えた本体
部分を設けた上磁極及び下磁極を含む磁気トランスジュ
ーサにすることができ、各磁極に設けられた磁極端が、
上磁極の本体部分の上表面から間隔をおいて磁極端領域
を形成している。この実施例では、境界が上磁極の上表
面と磁極端領域との間にある。下磁極には、やはり磁極
端領域から離して下表面を設けることができる。
【００１３】特殊な特徴によれば、本発明は、スライダ
本体及び磁気トランスジューサを有しており、スライダ
本体には前端部、後端部、及び前端部と後端部との間に
位置する空気ベアリング表面が設けられている。磁気ト
ランスジューサには、それぞれ磁極端を備えている上下
の磁極が設けられており、磁極端は空気ベアリング表面
のスライダ本体の後端部に近接した部分で終了する磁極
端領域を定めている。上磁極は、上表面が磁極端領域か
ら離れた本体領域を有している。スライダ本体の後端部
には、空気ベアリング表面との境界を形成する傾斜成形
表面またはノッチ表面が設けられ、その境界はトランス
ジューサの上磁極の上表面部分と磁極端領域との間の領
域にある。成形表面の特殊な実施例では、薄いオーバコ
ート層が上磁極の上に設けられ、上磁極端を覆っている
部分の薄いオーバコート層は、境界で終了する傾斜部分
を含んでいる。ノッチ形の実施例では、スライダ本体の
後端部は、ほぼ平坦状であることが好ましい端面を有し
ており、ノッチが端面から境界まで延在している。本発
明の性質及び利点は、添付の図面を参照した以下の詳細
な説明によってさらに十分に理解されるであろう。
【００１４】
【実施例】図１は、本発明を組み込んだ磁気ディスク記
憶装置の概略斜視図である。この図面に示されているよ
うに、ディスク記憶装置に磁気ヘッドアーム10が設けら
れており、これに１対の磁気ヘッドサスペンションアセ
ンブリ12が、一方はヘッドアーム10の上側に、他方はヘ
ッドアーム10の下側に取り付けられている。各サスペン
ションアセンブリ12は端部で、回転ディスク17上の磁気
記録表面16との間で磁気変換できる変換ギャップを設け
ることができるようにして配置されたスライダ本体及び
トランスジューサを有するトランスジューサ／スライダ
アセンブリ14を支持している。図示しない導体リード線
によってトランスジューサと後続の電子回路との間で電
気信号が結合される。ヘッドアーム10は、磁気ヘッドを
ディスク上の様々なトラックに対して正確に位置決めす
るための音声コイルモータ等の従来形アクチュエータ18
に取り付けられている。
【００１５】図２において、媒体表面16がこの図面に示
された矢印の方向にスライダ本体20の下側を通過するよ
うにディスク17が回転している時、スライダがディスク
17の表面16から図示の傾斜姿勢で浮上する。スライダ本
体20の前端部21は、後端部22よりも大きくディスク17の
表面16から上昇している。ディスクの表面からスライダ
20の下コーナ縁部24までの距離が「浮動高さ」と呼ばれ
るが、それはここで空気ベアリング表面25が記録表面16
に最も接近するからである。
【００１６】図３は、図２と同様な拡大詳細図であり、
スライダの浮動高さｄと、記録表面16からのトランスジ
ューサ15の有効浮動高さＤとの違いを示している。この
図面に示されているように、空気ベアリング表面25は、
記録表面16に平行な水平面に対して角度θで傾斜してい
る。当業者には理解されるように、実際の記録表面16は
完全には平坦ではないので、点線28で示された水平軸線
は近似的なものである。トランスジューサ15は、後端面
23とトランスジューサ15のギャップ30との間で測定した
厚さがｌになるように形成されたオーバコート層29で覆
われている。一般的なバッチ処理トランスジューサにお
けるオーバコート層29の厚さｌは、約1,000 マイクロイ
ンチ（40ミクロン）程度である。記録表面層16からのト
ランスジューサギャップ30の有効浮動高さＤは、式： Ｄ＝ｄ＋ｌ・sinθ で与えられる。従って、従来構造では、記録層表面16か
らのトランスジューサギャップ30の有効浮動高さは、オ
ーバコート層29の厚さの関数である。有効浮動高さＤ
は、オーバコート層の厚さｌを減少させることによって
減少させることができる。しかし、オーバコート層29を
薄くし過ぎると、この層によって繊細なトランスジュー
サ構造に与えられる機械的保護が相当に減じられる。
【００１７】図４及び５は、トランスジューサ15に対す
る機械的及び摩耗保護を与えるオーバコート層29の能力
を損なうことなく、有効浮動高さＤを相当に減じること
ができる本発明の第１実施例を示している。これらの図
面からわかるように、２レール形スライダ本体35には、
その後端面に近接して１対のトランスジューサ15が形成
されている。オーバコート層29は、従来形オーバコート
層と同じ厚さにしたり、あるいは従来装置よりも薄い
が、トランスジューサ15の機械的及び摩耗保護を十分に
行うことができる厚さの薄型にすることができる。ま
た、傾斜したほぼ平坦な表面40が、後端面36から空気ベ
アリング表面25へと向けて形成されている。表面40と空
気ベアリング表面25との間の境界42が、トランスジュー
サギャップ30に近接する、好ましくはギャップ30を通
り、空気ベアリング表面25に直交する第１平面と、トラ
ンスジューサ15の上磁極の上表面に接し、空気ベアリン
グ表面25に直交する第２平面とによって定められる領域
内にあるように、表面40が傾斜している。この領域の大
きさは、一般的に約15ミクロン〜約40ミクロンの範囲で
変動する。傾斜表面40は、トランスジューサ／スライダ
アセンブリのバッチ製造中に、最初に表面36を所望の厚
さまで研摩してから、スライダ本体35を必要角度に傾斜
させて研摩処理を継続して表面40を作り出すことによっ
て容易に得られる。実際の製造処理では、多数のトラン
スジューサ／スライダアセンブリが１つのウェハ基板上
に形成され、表面全体を覆うオーバコート層が研摩され
る。次に、ウェハを切断して、幾つかのトランスジュー
サ／スライダアセンブリを含む横列バーにする。次に、
個々の横列バーを移送工具に取り付けて、ＡＢＳレール
を成形する。その後、移送工具によってバーを傾斜させ
て、傾斜表面40を研摩する。あるいは、必要に応じて傾
斜表面40を研摩する前に、個々のトランスジューサ／ス
ライダアセンブリを分離してもよい。
【００１８】図６及び７は、傾斜表面40の代わりに、水
平辺46と、空気ベアリング表面25との境界48で終了して
いる垂直辺47とを備えたノッチ45を設けている。ノッチ
45は、空気ベアリング表面25の横方向に延びており、好
ましくは、ノッチ45のコーナ部49を、トランスジューサ
15の上磁極の上表面と磁極端領域内の上磁極の上表面と
の間に配置する。ノッチ45は、ラッピング、スクライビ
ング、イオンミリングまたはレーザエッチングによって
オーバコート層19内に形成される。
【００１９】図８は、薄いオーバコート層50を用いた本
発明の別の実施例を示している。この実施例では、トラ
ンスジューサ15のバッチ製造の最終段階で、上磁極層52
を含むトランスジューサの上表面を約15〜20マイクロイ
ンチ程度の厚さで覆う薄いオーバコート層50が形成され
る。トランスジューサの磁極端領域30を覆っている部分
の薄膜オーバコート層50は、境界54が空気ベアリング表
面25と磁極端領域30に近接したアセンブリの後表面との
間に位置するように、ラッピングまたは上記の他の技法
の１つで仕上げられる。
【００２０】図９は、仕上げ段階の前のオーバコート層
50の形状を示している。図９に示されているように、磁
極端領域30の上に重なっている部分のオーバコート層50
は、隆起した中央部分56と、１対の側部低地点57とを備
えている。背景部分59が、トランスジューサ15の上表面
の残りを覆っている。隆起中央部分56は、磁極端31に対
して十分な機械的及び摩擦保護を与えることができるよ
うにして上磁極片31の被覆深さを最小にする（15〜25μ
程度）必要性の避けられない結果である。この実施例
は、一部の用途にはさらなる改良を加えずに使用できる
が、次の手順によって優れた浮動特徴を備えたトランス
ジューサ／スライダアセンブリを提供できると考えられ
る。オーバコート層を図９（空気ベアリング表面25の下
側から見た図）に示すように形成した後、図９に示され
ている凹凸状の線の形状をほぼなくすことができるよう
に適当な角度（例えば45゜）で研摩して、図10に示され
ている平滑なバンド60を形成する。
【００２１】図11は、本発明の別の実施例を示してい
る。この図面に示されているように、磁気トランスジュ
ーサ15に設けられた下磁極61の中央部分62が、磁極端領
域30から上磁極65の中央部分64とは逆の方向に変位して
いる。後端部の後表面36の下コーナ部をベベル状にし
て、図４及び５の実施例と実質的に同様にしてオーバコ
ート層29のほぼ平坦な傾斜表面40を形成している。下磁
極61の構造は、1984年12月18日に発行されて、本発明と
同一の譲受人に譲渡されている「薄膜トランスジューサ
を製造する方法」と題する米国特許第 4,489,105号に示
されているものに類似しており、それに開示されている
下磁極を形成するために使用ている技法を図11の実施例
に用いることができる。
【００２２】上記説明から明かなように、本発明は、実
質的に全製造工程に１段階を加えるだけであり、現時点
でトランスジューサ／スライダアセンブリのバッチ製造
に使用されている既存のラッピング、イオンミリング、
スクライビングまたはレーザエッチング装置及び技法を
用いて容易に実行できる、記録素子の表面からのトラン
スジューサギャップ30の有効浮動高さを減少させる簡単
な技法を提供している。従って、本発明は既存の製造作
業で比較的低コストで実行することができる。また、本
発明は、上記従来技術の場合のように特別な構造の空気
ベアリングレールまたはレール形状を必要としないの
で、浮動高さを改善するためのコスト及び複雑さをさら
に軽減できる。
【００２３】以上に本発明の好適な実施例を完全に開示
してきたが、必要に応じて様々な変更構造を用いること
ができる。例えば、本発明を磁気トランスジューサにつ
いて説明してきたが、その原理は、浮動スライダ及び可
動媒体に組み合わせて用いられる他の形式のトランスジ
ューサにも同様に適用される。また、特定の磁気トラン
スジューサを図示してきたが、他の形式の磁気トランス
ジューサ、例えば1984年12月25日に発行された「薄膜磁
気記録ヘッドを製造する方法」と題する米国特許第 4,4
89,484号に記載されているような磁気レストリクティブ
（ＭＲ）トランスジューサを本発明に用いることもでき
る。さらに、本発明を図１において垂直形アームアセン
ブリについて説明しているが、直列形のアセンブリも同
様に用いることができる。従って、上記説明は、本発明
を制限するものではなく、本発明は請求項のみによって
定義される。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明を組み込んだ磁気ディスク記憶装置の
概略斜視図である。
【図２】 浮動姿勢に示されている従来形スライダの側
面図である。
【図３】 図２の浮動スライダの後端部の配置を示す拡
大詳細図である。
【図４】 本発明の第１実施例の斜視図である。
【図５】 図４の実施例の側面図である。
【図６】 本発明の第２実施例の斜視図である。
【図７】 図６の実施例の側面図である。
【図８】 本発明の別の実施例の、一部断面で示した拡
大図である。
【図９】 様々な製造段階にある図８の実施例を示して
いる。
【図１０】 様々な製造段階にある図８の実施例を示し
ている。
【図１１】 本発明の別の実施例の、一部断面で示した
側面図である。
【符号の説明】
14 スライダ／トランスジューサアセンブリ、 15 ト
ランスジューサ 20 スライダ本体、 21 前端部、 22 後端部、 25
空気ベアリング表面 30 変換ギャップ、 40 傾斜表面、 42 境界

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 スライダ本体及びトランスジューサを有
    しており、前記スライダ本体は前端部、後端部、及び前
    端部と後端部との間に位置する空気ベアリング表面を備
    え、後端部は空気ベアリング表面との境界を形成する成
    形表面部分を備えており、前記トランスジューサは後端
    部に近接して変換領域を設けており、前記境界は変換領
    域に近接して形成されていることを特徴とするスライダ
    ／トランスジューサアセンブリ。
  2. 【請求項２】 スライダ本体及び磁気トランスジューサ
    を有しており、前記スライダ本体は前端部、後端部、及
    び前端部と後端部との間に位置する空気ベアリング表面
    を備え、前記磁気トランスジューサには、それぞれが磁
    極端を備えた上下磁極が設けられており、前記磁極端
    は、前記空気ベアリング表面の、前記スライダ本体の後
    端部に隣接した部分で終了する磁極端領域を定めてお
    り、前記上磁極は、前記磁極端領域から離れた上表面部
    分を備えた本体領域を有し、前記スライダ本体の前記後
    端部は前記空気ベアリング表面との境界を形成する傾斜
    表面を備えており、前記境界は前記上表面部分と前記磁
    極端領域との間の領域にあることを特徴とするトランス
    ジューサ／スライダアセンブリ。
  3. 【請求項３】 スライダ本体及び磁気トランスジューサ
    を有しており、前記スライダ本体は前端部、後端部、及
    び前端部と後端部との間に位置する空気ベアリング表面
    を備え、前記磁気トランスジューサには、それぞれが磁
    極端を備えた上下磁極が設けられており、前記磁極端
    は、前記空気ベアリング表面の、前記スライダ本体の後
    端部に隣接した部分で終了する磁極端領域を定めてお
    り、前記上磁極は、前記磁極端領域から離れた上表面部
    分を備えた本体領域を有し、前記スライダ本体の前記後
    端部は前記空気ベアリング表面との境界を形成する成形
    表面を備えており、前記境界は前記上表面部分と前記磁
    極端領域との間の領域にあることを特徴とするトランス
    ジューサ／スライダアセンブリ。
  4. 【請求項４】 スライダ本体及び磁気トランスジューサ
    を有しており、前記スライダ本体は前端部、後端部、及
    び前端部と後端部との間に位置する空気ベアリング表面
    を備え、前記磁気トランスジューサには、それぞれが磁
    極端を備えた上下磁極が設けられており、前記磁極端
    は、前記空気ベアリング表面の、前記スライダ本体の後
    端部に隣接した部分で終了する磁極端領域を定めてお
    り、前記上磁極は、前記磁極端領域から離れた上表面部
    分を備えた本体領域を有し、前記スライダ本体の前記後
    端部は、端面と、前記端面から前記境界まで延在したノ
    ッチを備えており、前記境界は前記上表面部分と前記磁
    極端領域との間の領域にあることを特徴とするトランス
    ジューサ／スライダアセンブリ。
  5. 【請求項５】 記録表面を設けた磁気記録媒体と、 スライダ本体及びトランスジューサを有するスライダ／
    トランスジューサアセンブリと、 前記トランスジューサが前記磁気記録媒体の記録表面に
    近接するように、前記スライダ／トランスジューサアセ
    ンブリを支持するヘッドアーム手段と、 前記ヘッドアーム手段を支持し、前記ヘッドアーム手段
    を前記磁気記録媒体の記録表面に対して移動させるアク
    セス手段とを有しており、 前記スライダ本体は前端部、後端部、及び前端部と後端
    部との間に位置する空気ベアリング表面を備え、後端部
    は前記空気ベアリング表面との境界を形成する成形表面
    部分を備えており、 前記トランスジューサは後端部に近接して変換領域を設
    けており、前記境界は変換領域に近接配置されているこ
    とを特徴とする磁気ディスク記録装置。
JP6142216A 1993-06-04 1994-06-02 浮動高さを減少させた薄膜トランスジューサ Pending JPH06349025A (ja)

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EP0627732A1 (en) 1994-12-07
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