JPS6257119A - 薄膜磁気ヘツドスライダ - Google Patents
薄膜磁気ヘツドスライダInfo
- Publication number
- JPS6257119A JPS6257119A JP19638985A JP19638985A JPS6257119A JP S6257119 A JPS6257119 A JP S6257119A JP 19638985 A JP19638985 A JP 19638985A JP 19638985 A JP19638985 A JP 19638985A JP S6257119 A JPS6257119 A JP S6257119A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slider
- protective film
- magnetic head
- magnetic
- lower protective
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
- G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
- G11B5/3106—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing where the integrated or assembled structure comprises means for conditioning against physical detrimental influence, e.g. wear, contamination
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
薄膜磁気ヘッドスライダであって、薄膜磁気ヘッドの下
部保護膜を２００〜５００μｍと厚膜にして、艮ライダ
材と保護膜材間のラップ加工段差（リセス量）による浮
上量ロスを減少せしめる構造とした。
部保護膜を２００〜５００μｍと厚膜にして、艮ライダ
材と保護膜材間のラップ加工段差（リセス量）による浮
上量ロスを減少せしめる構造とした。
本発明は磁気ディスク装置に用いる浮上型磁気へラドス
ライダの構造に係り、特に薄膜磁気ヘントスライダにお
ける浮上量ロスを減少せしめるようにした薄膜磁気ヘッ
ドスライダに関する。
ライダの構造に係り、特に薄膜磁気ヘントスライダにお
ける浮上量ロスを減少せしめるようにした薄膜磁気ヘッ
ドスライダに関する。
磁気ディスク装置は、例えば第４図に示すように、モー
タ１を有するスピンドル２により回転する複数のディス
ク媒体３と、ヘッド駆動用の回転アクチュエータ４に取
り付けられたアーム５と、該アーム５にスペーサ６を介
して固定される加圧バネ７と、該加圧バネ７に図示しな
いジンバルバネを介し、薄膜磁気ヘッドを有する磁気ヘ
ッドスライダ８を設けている。なお、９は装置ベース、
１０はアーム５を回転させる為の回転軸を示す。
タ１を有するスピンドル２により回転する複数のディス
ク媒体３と、ヘッド駆動用の回転アクチュエータ４に取
り付けられたアーム５と、該アーム５にスペーサ６を介
して固定される加圧バネ７と、該加圧バネ７に図示しな
いジンバルバネを介し、薄膜磁気ヘッドを有する磁気ヘ
ッドスライダ８を設けている。なお、９は装置ベース、
１０はアーム５を回転させる為の回転軸を示す。
磁気ヘッドスライダ８はアクチュエータ４の回転により
、ディスク媒体３の半径方向に移動し、所定トラックに
位置づけられて、薄膜磁気ヘッドによりリード／ライト
される。
、ディスク媒体３の半径方向に移動し、所定トラックに
位置づけられて、薄膜磁気ヘッドによりリード／ライト
される。
ディスク媒体３に接している磁気ヘッドスライダ８は、
ディスク媒体３の回転により浮上し、ディスク媒体３の
回転停止により降下して止まる。
ディスク媒体３の回転により浮上し、ディスク媒体３の
回転停止により降下して止まる。
磁気ヘントスライダ８の浮上量は０．２〜０．３ μｍ
と僅かであり、今後益々小さく設定される傾向にあり、
その為ディスク媒体３面、磁気ヘッドスライダ８面の面
精度が要求される。
と僅かであり、今後益々小さく設定される傾向にあり、
その為ディスク媒体３面、磁気ヘッドスライダ８面の面
精度が要求される。
第５図は薄膜磁気ヘントスライダをｊ説明する図である
。図において、磁気ヘッドスライダ８はフラットな複数
（図では２つ）のレール１１と該レール１１の前端に、
空気流入のためのテーパ１３を、後端に薄膜磁気センサ
１４を設けている。１６は溝を示す。
。図において、磁気ヘッドスライダ８はフラットな複数
（図では２つ）のレール１１と該レール１１の前端に、
空気流入のためのテーパ１３を、後端に薄膜磁気センサ
１４を設けている。１６は溝を示す。
第６図は従来の磁気へラドスライダの製作プロセスを説
明する図である。図（イ）に示すフェライトやアルミナ
系基板８′の上面に薄膜プロセスにより下部保護膜（図
示せず）を付け、その上に図（ロ）のように薄膜磁気ヘ
ッド１４及びその上部保護膜（図示せず）を形成した後
、ｘ、ｙ方向に切断し、図（ハ）から図（ニ）のように
切断、研摩加工Ｃごよりスライダ形状とする。この磁気
へ、７ドスライダを加圧バネ７に取り付け、図（ホ）の
ようなヘッド組立体とする。
明する図である。図（イ）に示すフェライトやアルミナ
系基板８′の上面に薄膜プロセスにより下部保護膜（図
示せず）を付け、その上に図（ロ）のように薄膜磁気ヘ
ッド１４及びその上部保護膜（図示せず）を形成した後
、ｘ、ｙ方向に切断し、図（ハ）から図（ニ）のように
切断、研摩加工Ｃごよりスライダ形状とする。この磁気
へ、７ドスライダを加圧バネ７に取り付け、図（ホ）の
ようなヘッド組立体とする。
第７図（イ）（ロ）は第５歯のＡ−Ａ断面図を示す。磁
気ヘッドスライダ８のレール１１はラップ加工される。
気ヘッドスライダ８のレール１１はラップ加工される。
その加工の際、レール１１（基板はアルミナ系セラミッ
ク）と保護膜１５．１９ （アルミナ材で１０μｍ厚で
、薄膜磁気ヘッド１４を含め厚さｔは数ｌＯμｍ）の硬
度差により、研削、研磨速度の差が発生し、第７図（イ
）（ロ）に示すスライダ材と保護膜材間のランプ加工の
段差ｅ （段差はリセス量と呼ばれ、現状０．０２〜０
．０８μｍ位）が生じる。その量はそのままヘッドの実
効浮上量の増加になり、浮上時のディスク媒体と薄膜磁
気ヘッド１４の磁極迄の距離が遠くなり、特性が劣化す
ると云う問題点があった。
ク）と保護膜１５．１９ （アルミナ材で１０μｍ厚で
、薄膜磁気ヘッド１４を含め厚さｔは数ｌＯμｍ）の硬
度差により、研削、研磨速度の差が発生し、第７図（イ
）（ロ）に示すスライダ材と保護膜材間のランプ加工の
段差ｅ （段差はリセス量と呼ばれ、現状０．０２〜０
．０８μｍ位）が生じる。その量はそのままヘッドの実
効浮上量の増加になり、浮上時のディスク媒体と薄膜磁
気ヘッド１４の磁極迄の距離が遠くなり、特性が劣化す
ると云う問題点があった。
第１図は本発明の詳細な説明する図である。
本発明は磁気ヘッドスライダ８゛が、ディスク媒体３上
で浮上状態にある時、僅かな浮上角（通常ｈｌ／ｈ２＝
２としている）を持つことを利用し、下部保護膜１５′
を２００μｍ乃至５００ＩＩｍに設定した厚膜とする。
で浮上状態にある時、僅かな浮上角（通常ｈｌ／ｈ２＝
２としている）を持つことを利用し、下部保護膜１５′
を２００μｍ乃至５００ＩＩｍに設定した厚膜とする。
１４は薄膜磁気ヘッド、１９は上部保護膜、１１はレー
ル（浮上面）、１３はレール先端で、空気を流入さすテ
ーパである。
ル（浮上面）、１３はレール先端で、空気を流入さすテ
ーパである。
即ち、磁気へラドスライダ８′の製作プロセスにおいて
、加工精度を必要とするレール（浮上面） １１のラン
プ加工時に、スライダ材と保護膜材との材質（硬度等）
の相違によりリセス量ｅがある。
、加工精度を必要とするレール（浮上面） １１のラン
プ加工時に、スライダ材と保護膜材との材質（硬度等）
の相違によりリセス量ｅがある。
しかし下部保護膜１５′を２００μＩ１１〜５００μｍ
と厚く形成したことで、浮上時に薄膜磁気ヘッド１４と
ディスク媒体３の距離Ｃが、スライダ後端とディスク媒
体の距離ｈ２と略等しくなる。これによりリセス量によ
るヘッド実効浮上量の増加を防止出来る。
と厚く形成したことで、浮上時に薄膜磁気ヘッド１４と
ディスク媒体３の距離Ｃが、スライダ後端とディスク媒
体の距離ｈ２と略等しくなる。これによりリセス量によ
るヘッド実効浮上量の増加を防止出来る。
また、下部保護膜を厚くすることによって、ラ ・ツ
ブ加工時にスライダ材と保護膜材の圧力の均一化が改善
され、リセス量そのものも減少出来る。
ブ加工時にスライダ材と保護膜材の圧力の均一化が改善
され、リセス量そのものも減少出来る。
以下、本発明の実施例を図面によって説明する。
第２図（イ）（ロ）は本発明の詳細な説明する図である
。なお、企図を通じ同一符合は同一対象物を示す。
。なお、企図を通じ同一符合は同一対象物を示す。
第２図（イ）は薄膜磁気ヘッドスライダの断面図を示し
、磁気ヘッドスライダ８′は複数のフラットなレール１
１と該レール１１の前端に、空気流入のためのテーパ１
３を、後端に下部保護膜を２００μｍ〜５００μｍ付け
、その上に薄膜磁気ヘッド１４と上部保護膜１９を設け
ている。
、磁気ヘッドスライダ８′は複数のフラットなレール１
１と該レール１１の前端に、空気流入のためのテーパ１
３を、後端に下部保護膜を２００μｍ〜５００μｍ付け
、その上に薄膜磁気ヘッド１４と上部保護膜１９を設け
ている。
本発明の薄膜磁気へラドスライダは下部保護膜を２００
μｍ〜５００μｍと厚く形成したもので、その製作プロ
セスは第６図に示す従来の磁気へラドスライダの製作プ
ロセスと同様であるので、説明は省略する。
μｍ〜５００μｍと厚く形成したもので、その製作プロ
セスは第６図に示す従来の磁気へラドスライダの製作プ
ロセスと同様であるので、説明は省略する。
第３図はリセス量と下部保護膜による浮上量ロスを示す
図で、これはスライダ材と保護膜間のリセス量ｅと下部
保護膜厚をパラメータとして、浮上量ロス（浮上ロス＝
ヘソｔ′実効浮上量−スライダ浮上量）を求めたもので
ある。なお、ヘッド実効浮上量は第１図に示すディスク
媒体３と薄膜磁気ヘッド１４迄の距離Ｃであり、スライ
ダ浮上量はスライダ後端とディスク媒体塩の距離ｈ２で
ある。
図で、これはスライダ材と保護膜間のリセス量ｅと下部
保護膜厚をパラメータとして、浮上量ロス（浮上ロス＝
ヘソｔ′実効浮上量−スライダ浮上量）を求めたもので
ある。なお、ヘッド実効浮上量は第１図に示すディスク
媒体３と薄膜磁気ヘッド１４迄の距離Ｃであり、スライ
ダ浮上量はスライダ後端とディスク媒体塩の距離ｈ２で
ある。
リセス量を０．０１から０．０５μｍまでとり、スライ
ダの浮上角度を一定（通常のｈ２／ｈｌ＝２ ＞ と
しご計算したものである。
ダの浮上角度を一定（通常のｈ２／ｈｌ＝２ ＞ と
しご計算したものである。
この表より、リセス量が０．０３μｍ生じるとすると、
下部保護膜を３００μｍに設定すれば、浮上量ロスは０
．００５μｍに押さえられることを示す。この浮上量ロ
スは従来の下部保護膜１０μｍの浮上量ロスに比べて極
端に小さく、ヘッドの実効浮上量の増加とはならない。
下部保護膜を３００μｍに設定すれば、浮上量ロスは０
．００５μｍに押さえられることを示す。この浮上量ロ
スは従来の下部保護膜１０μｍの浮上量ロスに比べて極
端に小さく、ヘッドの実効浮上量の増加とはならない。
フェライトやアルミナ系基板上に薄膜プロセスにより下
部保護膜１５′を２００〜５００μｍと厚くすることに
より、ラップ加工時のスライダ材と保δＷ膜間の圧力の
均一化が改善され、リセス量そのものも減少出来る。な
お、現状のリセスｆｆ１０．０２〜０゜０８μｍからし
て、現状の加工条件で容易にリセス量を０．０３μｍと
することが出来る。
部保護膜１５′を２００〜５００μｍと厚くすることに
より、ラップ加工時のスライダ材と保δＷ膜間の圧力の
均一化が改善され、リセス量そのものも減少出来る。な
お、現状のリセスｆｆ１０．０２〜０゜０８μｍからし
て、現状の加工条件で容易にリセス量を０．０３μｍと
することが出来る。
以上説明したように本発明によれば、下部保護膜に厚膜
を設けることにより、リセス量を減少させ、リセス量に
よって生じるヘッドの実効浮上量増加が防止され、磁気
特性を向上させることが出来る。
を設けることにより、リセス量を減少させ、リセス量に
よって生じるヘッドの実効浮上量増加が防止され、磁気
特性を向上させることが出来る。
第１図は本発明の詳細な説明する図、
第２図（イ）（ロ）は本発明の詳細な説明する図、
第３図はリセス量と下部保護膜厚０
スを示す図、
第４図は磁気ディスク装置を説明する図、第５図は従来
の薄膜磁気ヘントスライダを説明する図、 第６図は従来の磁気へラドスライダの製作プロセスを説
明する図、 。 第７図（イ）（ロ）は第４図のＡ−Ａ断面図を示す。 図において、 ３は磁気ディスク媒体、 ８′は磁気へラドスライダ、 １１はレール、 １３はテーパ、 １４は薄膜磁気ヘッド１． １５′は下部保護膜、 イ芝釆−簿腫石琺〉しへ・ソドスライグを言兎νＲ１３
Ｄづ邦 ５ 図 第６図
の薄膜磁気ヘントスライダを説明する図、 第６図は従来の磁気へラドスライダの製作プロセスを説
明する図、 。 第７図（イ）（ロ）は第４図のＡ−Ａ断面図を示す。 図において、 ３は磁気ディスク媒体、 ８′は磁気へラドスライダ、 １１はレール、 １３はテーパ、 １４は薄膜磁気ヘッド１． １５′は下部保護膜、 イ芝釆−簿腫石琺〉しへ・ソドスライグを言兎νＲ１３
Ｄづ邦 ５ 図 第６図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 セラミック基板上に下部保護膜（１５′）を形成し、該
保護膜（１５′）上に磁性層、コイル層、絶縁層より構
成される薄膜磁気ヘッド（１４）を配置し、さらに該薄
膜磁気ヘッド（１４）上に上部保護膜（１９）を形成し
た構造の薄膜磁気ヘッドスライダ（８′）であって、 前記下部保護膜（１５′）の膜厚を２００μｍ乃至５０
０μｍとしたことを特徴とする薄膜磁気ヘッドスライダ
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19638985A JPS6257119A (ja) | 1985-09-05 | 1985-09-05 | 薄膜磁気ヘツドスライダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19638985A JPS6257119A (ja) | 1985-09-05 | 1985-09-05 | 薄膜磁気ヘツドスライダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6257119A true JPS6257119A (ja) | 1987-03-12 |
Family
ID=16357055
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19638985A Pending JPS6257119A (ja) | 1985-09-05 | 1985-09-05 | 薄膜磁気ヘツドスライダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6257119A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0627732A1 (en) * | 1993-06-04 | 1994-12-07 | Magnex Corporation | Thin film transducer with reduced flying height |
| WO1996019803A1 (en) * | 1994-12-19 | 1996-06-27 | Seagate Technology, Inc. | A partially etched protective overcoat for a disk drive slider |
| US7142393B2 (en) * | 1994-03-17 | 2006-11-28 | Fujitsu Limited | Magnetic head and magnetic disk apparatus |
-
1985
- 1985-09-05 JP JP19638985A patent/JPS6257119A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0627732A1 (en) * | 1993-06-04 | 1994-12-07 | Magnex Corporation | Thin film transducer with reduced flying height |
| US7142393B2 (en) * | 1994-03-17 | 2006-11-28 | Fujitsu Limited | Magnetic head and magnetic disk apparatus |
| WO1996019803A1 (en) * | 1994-12-19 | 1996-06-27 | Seagate Technology, Inc. | A partially etched protective overcoat for a disk drive slider |
| US5985163A (en) * | 1994-12-19 | 1999-11-16 | Seagate Technology, Inc. | Partially etched protective overcoat for a disk drive slider |
| US6014288A (en) * | 1994-12-19 | 2000-01-11 | Seagate Technology, Inc. | Partially etched protective overcoat for a disk drive slider |
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