JPH05101323A - 磁気ヘツド装置 - Google Patents
磁気ヘツド装置Info
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- JPH05101323A JPH05101323A JP29246491A JP29246491A JPH05101323A JP H05101323 A JPH05101323 A JP H05101323A JP 29246491 A JP29246491 A JP 29246491A JP 29246491 A JP29246491 A JP 29246491A JP H05101323 A JPH05101323 A JP H05101323A
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- JP
- Japan
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- insulating layer
- magnetic
- thin film
- coil
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 磁性スライダ１１の空気流出端側に、第３絶
縁層１０及びギャップ層６を形成し、該第３絶縁層１０
上に薄膜でコイルの半分（コイル用パターン２）を形成
し、その上に第１絶縁層３を形成する。そして前記ギャ
ップ層６から、前記第３絶縁層１０の上方に露出するス
ライダ１１の後面にかけて磁性薄膜部４を形成した後、
該磁性薄膜部４上に第２絶縁層５を形成し、その後、残
りの半分のコイルをボンディングマシンを用いて例えば
金線７で形成する。スライダ１１、及び実質的にコイル
が巻回された磁性薄膜部４は、ギャップ層６を介して磁
気回路を構成する。 【効果】 コイル部を自動化技術を用いて構成すること
ができるので、コイルを手巻きする必要がなく、当該磁
気ヘッド装置の製造が容易である。また磁気回路の一部
にスライダ１１を用いるので、当該磁気ヘッド装置の磁
気抵抗が従来の薄膜ヘッドに比較して小さくなり、感度
が上昇する。
縁層１０及びギャップ層６を形成し、該第３絶縁層１０
上に薄膜でコイルの半分（コイル用パターン２）を形成
し、その上に第１絶縁層３を形成する。そして前記ギャ
ップ層６から、前記第３絶縁層１０の上方に露出するス
ライダ１１の後面にかけて磁性薄膜部４を形成した後、
該磁性薄膜部４上に第２絶縁層５を形成し、その後、残
りの半分のコイルをボンディングマシンを用いて例えば
金線７で形成する。スライダ１１、及び実質的にコイル
が巻回された磁性薄膜部４は、ギャップ層６を介して磁
気回路を構成する。 【効果】 コイル部を自動化技術を用いて構成すること
ができるので、コイルを手巻きする必要がなく、当該磁
気ヘッド装置の製造が容易である。また磁気回路の一部
にスライダ１１を用いるので、当該磁気ヘッド装置の磁
気抵抗が従来の薄膜ヘッドに比較して小さくなり、感度
が上昇する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁気ヘッド装置に関する
ものであり、特に製造が容易でかつ高感度な磁気ヘッド
装置に関するものである。
ものであり、特に製造が容易でかつ高感度な磁気ヘッド
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】電算機等の磁気記録再生装置に用いられ
る磁気ヘッド装置は、従来より種々提案されているが、
コイル及びコアの製造方法の観点からは、ヘッドコアに
機械的にコイルを巻回する方式（機械的磁気ヘッド装
置）と、薄膜によりコイル及びコアを形成する方式（薄
膜磁気ヘッド装置）とに分類できる。
る磁気ヘッド装置は、従来より種々提案されているが、
コイル及びコアの製造方法の観点からは、ヘッドコアに
機械的にコイルを巻回する方式（機械的磁気ヘッド装
置）と、薄膜によりコイル及びコアを形成する方式（薄
膜磁気ヘッド装置）とに分類できる。
【０００３】機械的磁気ヘッド装置は、例えばフェライ
ト等の磁性材料により成型されたスライダの空気流出端
側（以下、後部という）にＣ字型のヘッドコアを取り付
け、該コアにコイルを巻回するものである。また薄膜磁
気ヘッド装置は、例えば非磁性材料のスライダの後部
に、薄膜製造技術を用いて、薄膜ヘッドを形成するもの
である。
ト等の磁性材料により成型されたスライダの空気流出端
側（以下、後部という）にＣ字型のヘッドコアを取り付
け、該コアにコイルを巻回するものである。また薄膜磁
気ヘッド装置は、例えば非磁性材料のスライダの後部
に、薄膜製造技術を用いて、薄膜ヘッドを形成するもの
である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記した機械的ヘッド
では、磁気抵抗が小さく高感度であるが、ヘッドコアに
コイルを巻回しなければならない。このコイルの巻回に
は極めて精密技術を要し、現状では、人手に頼らなけれ
ばならない。このために、当該機械的ヘッドの歩留まり
が悪く、その製造が面倒である。
では、磁気抵抗が小さく高感度であるが、ヘッドコアに
コイルを巻回しなければならない。このコイルの巻回に
は極めて精密技術を要し、現状では、人手に頼らなけれ
ばならない。このために、当該機械的ヘッドの歩留まり
が悪く、その製造が面倒である。
【０００５】一方、薄膜ヘッドでは、その製造中に人手
に頼らざるを得ない工程はあまりなく、製造は容易であ
るが、磁気抵抗が大きいので低感度である。
に頼らざるを得ない工程はあまりなく、製造は容易であ
るが、磁気抵抗が大きいので低感度である。
【０００６】本発明は、前述の問題点を解決するために
なされたものであり、その目的は、製造が容易でかつ高
感度の磁気ヘッド装置を提供することにある。
なされたものであり、その目的は、製造が容易でかつ高
感度の磁気ヘッド装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記の問題点を解決する
ために、本発明は、磁性スライダの後部の、記録媒体対
向面側（以下、下部という）から順にギャップ層及び第
３絶縁層を形成し、該第３絶縁層上に薄膜又は線材でコ
イルの半分を形成し、その上に第１絶縁層を形成した
後、前記ギャップ層から、前記第３絶縁層の、前記ギャ
ップ層と反対側に露出するスライダの後部にかけて磁性
薄膜部を形成し、該磁性薄膜部上に、第２絶縁層を介し
て残りの半分のコイルを薄膜又は線材で形成した点に特
徴がある。
ために、本発明は、磁性スライダの後部の、記録媒体対
向面側（以下、下部という）から順にギャップ層及び第
３絶縁層を形成し、該第３絶縁層上に薄膜又は線材でコ
イルの半分を形成し、その上に第１絶縁層を形成した
後、前記ギャップ層から、前記第３絶縁層の、前記ギャ
ップ層と反対側に露出するスライダの後部にかけて磁性
薄膜部を形成し、該磁性薄膜部上に、第２絶縁層を介し
て残りの半分のコイルを薄膜又は線材で形成した点に特
徴がある。
【０００８】
【作用】上記の構成によれば、コイル部を自動化技術を
用いて構成することができる。また磁気回路の一部に磁
性スライダそのものを用いるので、該回路の断面積が大
きくなり、当該磁気ヘッド装置の磁気抵抗が小さくな
る。
用いて構成することができる。また磁気回路の一部に磁
性スライダそのものを用いるので、該回路の断面積が大
きくなり、当該磁気ヘッド装置の磁気抵抗が小さくな
る。
【０００９】
【実施例】以下に図面を参照して、本発明を詳細に説明
する。図１は本発明の一実施例の要部拡大断面図であ
る。同図においては、スライダ１１は断面では示されて
いない。同図において、符号１１は磁性材料により形成
されたスライダ、符号１０は第３絶縁層、符号２はコイ
ル用パターン、符号３は第１絶縁層、符号４は磁性薄膜
部、符号５は第２絶縁層、符号６はギャップ層、符号７
は金線である。
する。図１は本発明の一実施例の要部拡大断面図であ
る。同図においては、スライダ１１は断面では示されて
いない。同図において、符号１１は磁性材料により形成
されたスライダ、符号１０は第３絶縁層、符号２はコイ
ル用パターン、符号３は第１絶縁層、符号４は磁性薄膜
部、符号５は第２絶縁層、符号６はギャップ層、符号７
は金線である。
【００１０】以上の構造を有する本発明の一実施例の製
造手順を図２ないし図６を用いて説明する。まず図２に
おいて、フェライト等の磁性材料により形成されたスラ
イダ１１は、その記録媒体対向面（以下、底面という）
に複数のレール１１Ａを備えていて、その走行方向Ｆの
下流側端部、すなわちその後部にヘッド形成位置１１Ｂ
が設定される。なお、図２においては、スライダ１１の
走行方向Ｆ上流側端部底面に形成されるテーパ部は省略
されている。
造手順を図２ないし図６を用いて説明する。まず図２に
おいて、フェライト等の磁性材料により形成されたスラ
イダ１１は、その記録媒体対向面（以下、底面という）
に複数のレール１１Ａを備えていて、その走行方向Ｆの
下流側端部、すなわちその後部にヘッド形成位置１１Ｂ
が設定される。なお、図２においては、スライダ１１の
走行方向Ｆ上流側端部底面に形成されるテーパ部は省略
されている。
【００１１】次に前記ヘッド形成位置１１Ｂ上に、図３
に示されるように、第３絶縁層１０及びギャップ層６を
ＳｉＯ2 又はガラス等のスパッタで形成する。ギャップ
層６はスライダ１１の下部に、第３絶縁層１０は前記ギ
ャップ層６の上方に形成され、その膜厚はギャップ層６
が１［μｍ］以下、望ましくは０．３〜０．６［μ
ｍ］、第３絶縁層１０が１〜２［μｍ］である。なお、
ギャップ層６は、樹脂で形成されても良い。
に示されるように、第３絶縁層１０及びギャップ層６を
ＳｉＯ2 又はガラス等のスパッタで形成する。ギャップ
層６はスライダ１１の下部に、第３絶縁層１０は前記ギ
ャップ層６の上方に形成され、その膜厚はギャップ層６
が１［μｍ］以下、望ましくは０．３〜０．６［μ
ｍ］、第３絶縁層１０が１〜２［μｍ］である。なお、
ギャップ層６は、樹脂で形成されても良い。
【００１２】なお、ギャップ層６の下部端は、スライダ
１１の底面と一致している。また磁気ヘッド特性を向上
させるためには、スライダ１１とギャップ層６との間に
金属磁性薄膜（例えば高飽和磁束密度材）を形成すると
良い。
１１の底面と一致している。また磁気ヘッド特性を向上
させるためには、スライダ１１とギャップ層６との間に
金属磁性薄膜（例えば高飽和磁束密度材）を形成すると
良い。
【００１３】そして、前記第３絶縁層１０上にコイル用
パターン２を形成する。このコイル用パターン２は複数
のストリップラインであり、各ラインの両端には幅広の
端子部２Ａが設けられる。前記コイル用パターン２の形
成は、具体的には、１〜２［μｍ］厚の銅箔をスパッタ
又はメッキ等で形成し、その上にフォトレジスト等でパ
ターンを形成し、そしてエッチングを施すことにより行
われることができる。
パターン２を形成する。このコイル用パターン２は複数
のストリップラインであり、各ラインの両端には幅広の
端子部２Ａが設けられる。前記コイル用パターン２の形
成は、具体的には、１〜２［μｍ］厚の銅箔をスパッタ
又はメッキ等で形成し、その上にフォトレジスト等でパ
ターンを形成し、そしてエッチングを施すことにより行
われることができる。
【００１４】なお、端子部２Ａに相当する部分のみをエ
ッチングで形成し、左右の端子部２ＡをＩＣ作成機であ
るボンディングマシンを用いて金線、アルミニウム線等
で接続し、実質的に図３と同様のパターンを形成しても
良い。前記線材の線径は、例えば１０［μｍ］である。
ッチングで形成し、左右の端子部２ＡをＩＣ作成機であ
るボンディングマシンを用いて金線、アルミニウム線等
で接続し、実質的に図３と同様のパターンを形成しても
良い。前記線材の線径は、例えば１０［μｍ］である。
【００１５】コイル用パターン２が形成されたならば、
図４に示されるように、前記コイル用パターン２上に、
端子部２Ａを残すようにして、第３絶縁層１０と同様
に、ＳｉＯ2 又はガラス等のスパッタで第１絶縁層３を
形成する。膜厚は１〜２［μｍ］が望ましい。
図４に示されるように、前記コイル用パターン２上に、
端子部２Ａを残すようにして、第３絶縁層１０と同様
に、ＳｉＯ2 又はガラス等のスパッタで第１絶縁層３を
形成する。膜厚は１〜２［μｍ］が望ましい。
【００１６】その後、図５に示されるように、前記ギャ
ップ層６から、第３絶縁層１０の上方に露出するスライ
ダ１１の後部にかけて、センダストあるいはパーマロイ
等をスパッタあるいはメッキし、磁性薄膜部４を形成す
る。膜厚は１［μｍ］以上、望ましくは２〜８［μｍ］
である。前記磁性薄膜部４の下部は、スライダ１の底面
と一致しており、トラック幅を制御するために、幅狭に
形成されている。
ップ層６から、第３絶縁層１０の上方に露出するスライ
ダ１１の後部にかけて、センダストあるいはパーマロイ
等をスパッタあるいはメッキし、磁性薄膜部４を形成す
る。膜厚は１［μｍ］以上、望ましくは２〜８［μｍ］
である。前記磁性薄膜部４の下部は、スライダ１の底面
と一致しており、トラック幅を制御するために、幅狭に
形成されている。
【００１７】このように、コイル用パターン２が形成さ
れた第３絶縁層１０の上方に位置するスライダ１１の後
部と、ギャップ層６とに接触するように磁性薄膜部４を
形成することにより、スライダ１１及び磁性薄膜部４に
よる磁気的な閉回路が形成される。そして前記閉回路に
はギャップ層６が介在される。
れた第３絶縁層１０の上方に位置するスライダ１１の後
部と、ギャップ層６とに接触するように磁性薄膜部４を
形成することにより、スライダ１１及び磁性薄膜部４に
よる磁気的な閉回路が形成される。そして前記閉回路に
はギャップ層６が介在される。
【００１８】次に、図６に示されるように、前記磁性薄
膜部４の、コイル用パターン２に対応する部分に、第２
絶縁層５を形成する。この第２絶縁層５は、第１絶縁層
３と同様にＳｉＯ2 又はガラス等のスパッタで例えば１
〜２［μｍ］程度の膜厚で形成され、かつコイル用パタ
ーン２の端子部２Ａが露出するように行われる。
膜部４の、コイル用パターン２に対応する部分に、第２
絶縁層５を形成する。この第２絶縁層５は、第１絶縁層
３と同様にＳｉＯ2 又はガラス等のスパッタで例えば１
〜２［μｍ］程度の膜厚で形成され、かつコイル用パタ
ーン２の端子部２Ａが露出するように行われる。
【００１９】そして、左右の端子部２Ａを、ボンディン
グマシンを用いて、例えば１０［μｍ］径の金線７で順
次接続する。この接続により、磁性薄膜部４の周囲に実
質的にコイルが巻回されたことになる。なお、金線を用
いる代わりにアルミニウム線を用いても良く、また金
線、アルミニウム線等の導線を用いて接続する代りに、
コイル用パターン２と同様の手法により、薄膜で左右の
端子部２Ａを接続しても良い。
グマシンを用いて、例えば１０［μｍ］径の金線７で順
次接続する。この接続により、磁性薄膜部４の周囲に実
質的にコイルが巻回されたことになる。なお、金線を用
いる代わりにアルミニウム線を用いても良く、また金
線、アルミニウム線等の導線を用いて接続する代りに、
コイル用パターン２と同様の手法により、薄膜で左右の
端子部２Ａを接続しても良い。
【００２０】なお、前記金線７は、表面絶縁が施されて
いるものであれば密着巻きもできる。この絶縁被覆線
は、高圧電流によりカットされるので、先端部は剥離状
態となっており、ボンディングに都合が良い。
いるものであれば密着巻きもできる。この絶縁被覆線
は、高圧電流によりカットされるので、先端部は剥離状
態となっており、ボンディングに都合が良い。
【００２１】このようにして磁気ヘッド装置が完成する
が、この後、必要に応じて、スライダ１１の底面を研磨
してギャップ深さを調整し、またヘッドギャップ部のス
ライダレールをトラック幅に仕上げても良い。また、図
６のように形成された磁気ヘッドの表面をＳｉＯ2 、樹
脂等で被覆しても良い。
が、この後、必要に応じて、スライダ１１の底面を研磨
してギャップ深さを調整し、またヘッドギャップ部のス
ライダレールをトラック幅に仕上げても良い。また、図
６のように形成された磁気ヘッドの表面をＳｉＯ2 、樹
脂等で被覆しても良い。
【００２２】さて、図３に示されたように、コイル用パ
ターン２の両端には、幅広の端子部２Ａが形成されるも
のとしたが、該幅広部は、特に設けられなくても良い。
ターン２の両端には、幅広の端子部２Ａが形成されるも
のとしたが、該幅広部は、特に設けられなくても良い。
【００２３】また、図２に示されたように、スライダ１
にはレール１Ａが２本設けられているが、本発明は、３
本のレールを有するスライダに適用されても良いことは
当然である。
にはレール１Ａが２本設けられているが、本発明は、３
本のレールを有するスライダに適用されても良いことは
当然である。
【００２４】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、コイル部を自動化技術を用いて構成すること
ができるので、コイルを手巻きする必要がなく、当該磁
気ヘッド装置の製造が容易であり、またスライダを磁気
回路の一部として用いるので、当該磁気ヘッド装置の磁
気抵抗が従来の薄膜ヘッドに比較して小さくなり、感度
が上昇する。すなわち、従来の機械的磁気ヘッド装置及
び薄膜磁気ヘッド装置双方の利点を兼ね備えることがで
きる。
によれば、コイル部を自動化技術を用いて構成すること
ができるので、コイルを手巻きする必要がなく、当該磁
気ヘッド装置の製造が容易であり、またスライダを磁気
回路の一部として用いるので、当該磁気ヘッド装置の磁
気抵抗が従来の薄膜ヘッドに比較して小さくなり、感度
が上昇する。すなわち、従来の機械的磁気ヘッド装置及
び薄膜磁気ヘッド装置双方の利点を兼ね備えることがで
きる。
【図１】 本発明の一実施例の要部拡大断面図である。
【図２】 スライダの斜視図である。
【図３】 スライダ後部にギャップ層、第３絶縁層及び
コイル用パターンが形成された様子を示す図である。
コイル用パターンが形成された様子を示す図である。
【図４】 コイル用パターン上に第１絶縁層が形成され
た様子を示す図である。
た様子を示す図である。
【図５】 磁性薄膜部が形成された様子を示す図であ
る。
る。
【図６】 磁性薄膜部上に第２絶縁層を形成し、コイル
用パターン両端を金線を用いて接続した様子を示す図で
ある。
用パターン両端を金線を用いて接続した様子を示す図で
ある。
２…コイル用パターン、２Ａ…端子部、３…第１絶縁
層、４…磁性薄膜部、５…第２絶縁層、６…ギャップ
層、７…金線、１０…第３絶縁層、１１…スライダ、１
１Ｂ…ヘッド形成位置
層、４…磁性薄膜部、５…第２絶縁層、６…ギャップ
層、７…金線、１０…第３絶縁層、１１…スライダ、１
１Ｂ…ヘッド形成位置
Claims (4)
- 【請求項１】 磁性材で形成された空気浮上型磁気ヘッ
ドスライダと、 前記スライダの空気流出端側に形成された第３絶縁層
と、 前記スライダの空気流出端側の、前記第３絶縁層の下部
に形成されたギャップ層と、 前記第３絶縁層に導電性薄膜で形成された複数本のコイ
ル用パターンと、 前記各コイル用パターンの両端部を残すように、該コイ
ル用パターン上に形成された第１絶縁層と、 前記ギャップ層から、前記第３絶縁層の上方に露出する
スライダの後面にかけて形成された磁性薄膜部と、 少なくとも前記各コイル用パターンの両端部間に位置す
る前記磁性薄膜部を覆うように、該磁性薄膜部上に形成
された第２絶縁層と、 前記各コイル用パターンのうちの、それぞれ隣接するも
の同士の左端及び右端を前記第２絶縁層上において接続
し、前記各コイル用パターンと共に、前記磁性薄膜部に
実質的にコイルを巻回する導電性接続手段とを具備した
ことを特徴とする磁気ヘッド装置。 - 【請求項２】 磁性材で形成された空気浮上型磁気ヘッ
ドスライダと、 前記スライダの空気流出端側に形成された第３絶縁層
と、 前記スライダの空気流出端側の、前記第３絶縁層の下部
に形成されたギャップ層と、 前記第３絶縁層に、導電性薄膜で、所定の間隔をおいて
左右２列に複数個形成された端子部と、 前記端子部のうちの、それぞれ左右に対応するもの同士
を接続し、複数本のコイル用パターンを構成する複数本
のコイル用導電性線材と、 前記各コイル用パターンの両端部を残すように、該コイ
ル用パターン上に形成された第１絶縁層と、 前記ギャップ層から、前記第３絶縁層の上方に露出する
スライダの後面にかけて形成された磁性薄膜部と、 少なくとも前記各コイル用パターンの両端部間に位置す
る前記磁性薄膜部を覆うように、該磁性薄膜部上に形成
された第２絶縁層と、 前記各コイル用パターンのうちの、それぞれ隣接するも
の同士の左端及び右端を前記第２絶縁層上において接続
し、前記各コイル用パターンと共に、前記磁性薄膜部に
実質的にコイルを巻回する導電性接続手段とを具備した
ことを特徴とする磁気ヘッド装置。 - 【請求項３】 前記導電性接続手段は、導電性の線材で
あることを特徴とする請求項１又は２記載の磁気ヘッド
装置。 - 【請求項４】 前記導電性接続手段は、導電性薄膜で形
成されたことを特徴とする請求項１又は２記載の磁気ヘ
ッド装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29246491A JPH05101323A (ja) | 1991-10-11 | 1991-10-11 | 磁気ヘツド装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29246491A JPH05101323A (ja) | 1991-10-11 | 1991-10-11 | 磁気ヘツド装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05101323A true JPH05101323A (ja) | 1993-04-23 |
Family
ID=17782150
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29246491A Withdrawn JPH05101323A (ja) | 1991-10-11 | 1991-10-11 | 磁気ヘツド装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05101323A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0627732A1 (en) * | 1993-06-04 | 1994-12-07 | Magnex Corporation | Thin film transducer with reduced flying height |
| US6195232B1 (en) * | 1995-08-24 | 2001-02-27 | Torohead, Inc. | Low-noise toroidal thin film head with solenoidal coil |
-
1991
- 1991-10-11 JP JP29246491A patent/JPH05101323A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0627732A1 (en) * | 1993-06-04 | 1994-12-07 | Magnex Corporation | Thin film transducer with reduced flying height |
| US6195232B1 (en) * | 1995-08-24 | 2001-02-27 | Torohead, Inc. | Low-noise toroidal thin film head with solenoidal coil |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990107 |