JPH0630130B2 - 薄膜磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
薄膜磁気ヘッドの製造方法Info
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- JPH0630130B2 JPH0630130B2 JP59167274A JP16727484A JPH0630130B2 JP H0630130 B2 JPH0630130 B2 JP H0630130B2 JP 59167274 A JP59167274 A JP 59167274A JP 16727484 A JP16727484 A JP 16727484A JP H0630130 B2 JPH0630130 B2 JP H0630130B2
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- insulating layer
- film magnetic
- magnetic pole
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 13
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- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 10
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
-
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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- G11B5/3967—Composite structural arrangements of transducers, e.g. inductive write and magnetoresistive read
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
- Hall/Mr Elements (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は磁気記憶装置の磁気ヘッドの製造方法に係り、
特に記録および再生兼用であり、高再生出力、低電流記
録を持つ高性能薄膜磁気ヘッドの製造方法に関するもの
である。
特に記録および再生兼用であり、高再生出力、低電流記
録を持つ高性能薄膜磁気ヘッドの製造方法に関するもの
である。
従来の薄膜磁気ヘッドの構造を第２図および第３図に示
す。第２図は巻線型ヘッドの１例を示し、(A)はその斜
視図を、(B)はそのＡ−Ａ断面図を示す。図示の如く下
部磁性体磁極１と、その上に形成される下部絶縁層２
と、その上に形成される導電コイル３と、その上に形成
される上部絶縁層４と、その上に形成される上部磁性体
磁極５とを積層して構成される。なお第２図(A)におい
て６，７は端子を示す。
す。第２図は巻線型ヘッドの１例を示し、(A)はその斜
視図を、(B)はそのＡ−Ａ断面図を示す。図示の如く下
部磁性体磁極１と、その上に形成される下部絶縁層２
と、その上に形成される導電コイル３と、その上に形成
される上部絶縁層４と、その上に形成される上部磁性体
磁極５とを積層して構成される。なお第２図(A)におい
て６，７は端子を示す。
第２図のごとき巻線型のヘッドにおいてはその再生出力
を増大させるには媒体との相対速度を増加させるか巻線
数を増加させなければならず、その製造技術は限界に近
づきつつある。
を増大させるには媒体との相対速度を増加させるか巻線
数を増加させなければならず、その製造技術は限界に近
づきつつある。
第３図に磁気抵抗型のヘッドを示す。同図において８が
磁気抵抗効果素子、９が磁気記録媒体である。このよう
な磁気抵抗型のヘッドでは再生出力は巻線型に比して約
１０倍大きいが、しかし媒体上に記録することができな
い。
磁気抵抗効果素子、９が磁気記録媒体である。このよう
な磁気抵抗型のヘッドでは再生出力は巻線型に比して約
１０倍大きいが、しかし媒体上に記録することができな
い。
本発明は前記両ヘッドの欠点を補ない高性能な薄膜磁気
ヘッドが容易に製造できるようにしたものである。
ヘッドが容易に製造できるようにしたものである。
本発明は上記問題点を解消した高再生出力薄膜磁気ヘッ
ドを提供するものであって、その手段は下部磁性体磁極
と、前記下部磁性体磁極の上に形成される第１の絶縁層
と、前記第１の絶縁層の上に形成される導電コイルと、
前記導電コイルの上に形成される第２の絶縁層と、前記
第２の絶縁層の上に形成される上部磁性体磁極を積層し
前記下部および上部磁性体磁極で形成される磁気回路の
一部に磁気抵抗効果素子を挿入した薄膜磁気ヘッドの製
造方法であって前記下部および上部磁性体磁極のすくな
くとも一方をメッキ法で形成する際のメッキ下地導電層
の一部を磁気抵抗効果素子とすることを特徴とする薄膜
磁気ヘッドの製造方法によってなされる。
ドを提供するものであって、その手段は下部磁性体磁極
と、前記下部磁性体磁極の上に形成される第１の絶縁層
と、前記第１の絶縁層の上に形成される導電コイルと、
前記導電コイルの上に形成される第２の絶縁層と、前記
第２の絶縁層の上に形成される上部磁性体磁極を積層し
前記下部および上部磁性体磁極で形成される磁気回路の
一部に磁気抵抗効果素子を挿入した薄膜磁気ヘッドの製
造方法であって前記下部および上部磁性体磁極のすくな
くとも一方をメッキ法で形成する際のメッキ下地導電層
の一部を磁気抵抗効果素子とすることを特徴とする薄膜
磁気ヘッドの製造方法によってなされる。
本発明においては、第３図の磁気抵抗型ヘッドを利用す
る場合に、第２図の記録用の巻線型ヘッドと組合わせる
ことによってはじめて高出力の記録再生用薄膜磁気ヘッ
ドが実現する。
る場合に、第２図の記録用の巻線型ヘッドと組合わせる
ことによってはじめて高出力の記録再生用薄膜磁気ヘッ
ドが実現する。
以下図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する。
第１図に本発明の実施例を示し、(A)はその斜視図を、
(B)はＡ−Ａ′断面図を示す。第１図において第２図と
同一記号は第２図と同一構成部分を示す。
(B)はＡ−Ａ′断面図を示す。第１図において第２図と
同一記号は第２図と同一構成部分を示す。
第１図において本発明の特徴とするところは、第２図の
上部磁性層５の一部に第３図の磁気抵抗効果素子１１を
設けた構造となっている。なお第３図の薄膜磁気ヘッド
の磁極はメッキ法によりパーマロイで形成される場合が
多く、その際のメッキ導電性下地膜としてパーマロイを
使用しており、その膜厚は５００〜１０００Å程度であ
る。パーマロイは外部から磁界を受けた時にその電気抵
抗が変化する磁性抵抗効果が大きく固有抵抗２〜３％が
変化する。そこで薄膜磁気ヘッドの製造の磁極をメッキ
形成時に磁極の一部をマスクし、メッキ成膜されないよ
うにメッキ下地のまゝ残すことにより容易に磁気抵抗素
子を形成することができる。
上部磁性層５の一部に第３図の磁気抵抗効果素子１１を
設けた構造となっている。なお第３図の薄膜磁気ヘッド
の磁極はメッキ法によりパーマロイで形成される場合が
多く、その際のメッキ導電性下地膜としてパーマロイを
使用しており、その膜厚は５００〜１０００Å程度であ
る。パーマロイは外部から磁界を受けた時にその電気抵
抗が変化する磁性抵抗効果が大きく固有抵抗２〜３％が
変化する。そこで薄膜磁気ヘッドの製造の磁極をメッキ
形成時に磁極の一部をマスクし、メッキ成膜されないよ
うにメッキ下地のまゝ残すことにより容易に磁気抵抗素
子を形成することができる。
本発明によれば、通常の電磁誘導型薄膜磁気ヘッドと、
磁気抵抗効果型ヘッドが併設され、記録および再生が同
一ヘッドで行なわれ、さらに従来の再生出力より約１０
倍大きい再生出力が得られる良好な特性をもつ薄膜磁気
ヘッドを製造するプロセスが簡単になる。
磁気抵抗効果型ヘッドが併設され、記録および再生が同
一ヘッドで行なわれ、さらに従来の再生出力より約１０
倍大きい再生出力が得られる良好な特性をもつ薄膜磁気
ヘッドを製造するプロセスが簡単になる。
第１図の実施例では、上部磁極の一部に単一の磁気抵抗
効果素子を設けたが、下部磁極の一部に設けても同様な
効果が得られる。また上下磁極にそれぞれ１つづつ設け
る等、複数個の磁気抵抗効果素子を設けることにより再
生出力の増大およびＳ／Ｎの向上を果すことができる。
効果素子を設けたが、下部磁極の一部に設けても同様な
効果が得られる。また上下磁極にそれぞれ１つづつ設け
る等、複数個の磁気抵抗効果素子を設けることにより再
生出力の増大およびＳ／Ｎの向上を果すことができる。
通常、磁気抵抗効果の再生出力の直線性を良くするため
にバイアス磁界が必要であるが、本発明の場合、薄膜コ
イルに微少電流を流すことにより容易に発生することが
できる。またメッキ導電性下地を２重構造とすること
で、通常のシャントバイアスも形成可能である。
にバイアス磁界が必要であるが、本発明の場合、薄膜コ
イルに微少電流を流すことにより容易に発生することが
できる。またメッキ導電性下地を２重構造とすること
で、通常のシャントバイアスも形成可能である。
以上詳細に説明したように、本発明によれば、製造プロ
セスが簡単になり、記録効率のよい巻線型薄膜磁気ヘッ
ドと、再生出力の大きな磁気抵抗効果型ヘッドが併設さ
れ、記録および再生が同一ヘッドで行なわれ、さらに従
来の再生出力より約１０倍大きい再生出力が得られる良
好な特性をもつ薄膜磁気ヘッドを容易に製造できる。
セスが簡単になり、記録効率のよい巻線型薄膜磁気ヘッ
ドと、再生出力の大きな磁気抵抗効果型ヘッドが併設さ
れ、記録および再生が同一ヘッドで行なわれ、さらに従
来の再生出力より約１０倍大きい再生出力が得られる良
好な特性をもつ薄膜磁気ヘッドを容易に製造できる。
第１図は本発明にかゝる薄膜磁気ヘッドの１実施例の構
造を示す図、第２図は従来の巻線型薄膜磁気ヘッドの１
例の構造を示す図、第３図は従来の磁気抵抗型磁気ヘッ
ドの１例の構造を示す図である。 図面において、１が下部磁性体磁極、２が下部絶縁層、
３が導電コイル、４が上部絶縁層、５が上部磁性体磁
極、１１が磁気抵抗効果素子をそれぞれ示す。
造を示す図、第２図は従来の巻線型薄膜磁気ヘッドの１
例の構造を示す図、第３図は従来の磁気抵抗型磁気ヘッ
ドの１例の構造を示す図である。 図面において、１が下部磁性体磁極、２が下部絶縁層、
３が導電コイル、４が上部絶縁層、５が上部磁性体磁
極、１１が磁気抵抗効果素子をそれぞれ示す。
Claims (1)
- 【請求項１】下部磁性体磁極と、前記下部磁性体磁極の
上に形成される第１の絶縁層と、前記第１の絶縁層の上
に形成される導電コイルと、前記導電コイルの上に形成
される第２の絶縁層と、前記第２の絶縁層の上に形成さ
れる上部磁性体磁極を積層し前記下部および上部磁性体
磁極で形成される磁気回路の一部に磁気抵抗効果素子を
挿入した薄膜磁気ヘッドの製造方法であって、前記下部
および上部磁性体磁極のすくなくとも一方をメッキ法で
形成する際のメッキ下地導電層の一部を磁気抵抗効果素
子とすることを特徴とする薄膜磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59167274A JPH0630130B2 (ja) | 1984-08-11 | 1984-08-11 | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59167274A JPH0630130B2 (ja) | 1984-08-11 | 1984-08-11 | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6148116A JPS6148116A (ja) | 1986-03-08 |
| JPH0630130B2 true JPH0630130B2 (ja) | 1994-04-20 |
Family
ID=15846701
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59167274A Expired - Lifetime JPH0630130B2 (ja) | 1984-08-11 | 1984-08-11 | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0630130B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6243813A (ja) * | 1985-08-20 | 1987-02-25 | Seiko Epson Corp | 磁気ヘツド |
| JPS62241120A (ja) * | 1986-04-11 | 1987-10-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜磁気ヘツド |
| AU1628188A (en) * | 1987-04-01 | 1988-11-02 | Digital Equipment Corporation | Magneto-resistive thin film head for digital magnetic storage device |
| US5111352A (en) * | 1987-07-29 | 1992-05-05 | Digital Equipment Corporation | Three-pole magnetic head with reduced flux leakage |
| US5075956A (en) * | 1988-03-16 | 1991-12-31 | Digital Equipment Corporation | Method of making recording heads with side shields |
| JP2563597B2 (ja) * | 1989-08-04 | 1996-12-11 | 松下電器産業株式会社 | 複合型薄膜磁気ヘッド |
| JPH0383213A (ja) * | 1989-08-24 | 1991-04-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜磁気ヘッド |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS529413A (en) * | 1975-07-11 | 1977-01-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Magnetic head |
| JPS5212814A (en) * | 1975-07-17 | 1977-01-31 | Philips Nv | Thin film magnetic head |
| JPS5998319A (ja) * | 1982-11-29 | 1984-06-06 | Sony Corp | 磁気ヘツド |
-
1984
- 1984-08-11 JP JP59167274A patent/JPH0630130B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS529413A (en) * | 1975-07-11 | 1977-01-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Magnetic head |
| JPS5212814A (en) * | 1975-07-17 | 1977-01-31 | Philips Nv | Thin film magnetic head |
| JPS5998319A (ja) * | 1982-11-29 | 1984-06-06 | Sony Corp | 磁気ヘツド |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6148116A (ja) | 1986-03-08 |
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