JPH11110717A - 薄膜単磁極ヘッド - Google Patents
薄膜単磁極ヘッドInfo
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- JPH11110717A JPH11110717A JP9270172A JP27017297A JPH11110717A JP H11110717 A JPH11110717 A JP H11110717A JP 9270172 A JP9270172 A JP 9270172A JP 27017297 A JP27017297 A JP 27017297A JP H11110717 A JPH11110717 A JP H11110717A
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1278—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/313—Disposition of layers
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- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
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- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
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- Y10T29/49021—Magnetic recording reproducing transducer [e.g., tape head, core, etc.]
- Y10T29/49032—Fabricating head structure or component thereof
- Y10T29/49036—Fabricating head structure or component thereof including measuring or testing
- Y10T29/49043—Depositing magnetic layer or coating
- Y10T29/49044—Plural magnetic deposition layers
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 主磁極の効率の良い励磁が可能で、２層垂直
磁気記録媒体に対して高周波で記録する場合にも良好な
記録特性を発揮する薄膜単磁極ヘッドを提供する。 【解決手段】 軟磁性薄膜よりなる主磁極と、リターン
ヨークとを有してなる薄膜単磁極ヘッドである。上記主
磁極と略直交し且つ互いに略平行な複数の導体層を主磁
極を挟んで上下に積層し、これら導体層間を選択的に接
続することにより主磁極を励磁する薄膜コイルを構成す
る。これにより、薄膜コイルを主磁極の先端（垂直磁気
記録媒体対向面側）近傍に配置することができ、主磁極
の先端を効率良く励磁することができる。
磁気記録媒体に対して高周波で記録する場合にも良好な
記録特性を発揮する薄膜単磁極ヘッドを提供する。 【解決手段】 軟磁性薄膜よりなる主磁極と、リターン
ヨークとを有してなる薄膜単磁極ヘッドである。上記主
磁極と略直交し且つ互いに略平行な複数の導体層を主磁
極を挟んで上下に積層し、これら導体層間を選択的に接
続することにより主磁極を励磁する薄膜コイルを構成す
る。これにより、薄膜コイルを主磁極の先端（垂直磁気
記録媒体対向面側）近傍に配置することができ、主磁極
の先端を効率良く励磁することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、垂直磁気記録方式
において記録ヘッドとして用いられる単磁極ヘッドに関
するものであり、特に主磁極が軟磁性薄膜により形成さ
れてなる薄膜単磁極ヘッドに関する。
において記録ヘッドとして用いられる単磁極ヘッドに関
するものであり、特に主磁極が軟磁性薄膜により形成さ
れてなる薄膜単磁極ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、例えばハードディスクやフロッピ
ーディスク等、磁気記録の分野においては、記録密度が
飛躍的に増加しており、１Ｇビット／平方インチ、さら
には１０Ｇビット／平方インチにも到達しようとしてい
る。
ーディスク等、磁気記録の分野においては、記録密度が
飛躍的に増加しており、１Ｇビット／平方インチ、さら
には１０Ｇビット／平方インチにも到達しようとしてい
る。
【０００３】これまで、磁気記録方式としては、いわゆ
る長手記録方式（面内記録方式）が一般的であり、長手
記録媒体を用いて記録再生を行っているが、記録密度が
１０Ｇビット／平方インチにもなってくると、長手記録
媒体では反磁界係数が大きくなってくるため記録減磁が
問題となる。
る長手記録方式（面内記録方式）が一般的であり、長手
記録媒体を用いて記録再生を行っているが、記録密度が
１０Ｇビット／平方インチにもなってくると、長手記録
媒体では反磁界係数が大きくなってくるため記録減磁が
問題となる。
【０００４】また、高記録密度化のためには記録周波数
も高くする必要があり、記録ヘッドにおいては書き込み
電流波形の立ち上がり時間を小さくするためインダクタ
ンスを小さくする必要が生じている。そのために例えば
記録コイルを２層化する等の試みがなされているが、そ
の結果プロセスが煩雑化するという問題も起こってい
る。
も高くする必要があり、記録ヘッドにおいては書き込み
電流波形の立ち上がり時間を小さくするためインダクタ
ンスを小さくする必要が生じている。そのために例えば
記録コイルを２層化する等の試みがなされているが、そ
の結果プロセスが煩雑化するという問題も起こってい
る。
【０００５】このような状況の中、高記録密度でも安定
に磁化を保つことのできる垂直磁気記録方式が見直され
てきている。
に磁化を保つことのできる垂直磁気記録方式が見直され
てきている。
【０００６】垂直磁気記録方式では、垂直磁気記録媒体
に対して記録を行うことのできる磁気ヘッドが必要とな
る。例えば磁性層が１層のみの単層垂直磁気記録媒体で
は、いわゆるリングヘッドでも書き込むことは可能であ
るが、磁性層の下に高透磁率材料層を配した２層垂直磁
気記録媒体では、記録減磁が起こるため、リングヘッド
でも記録はできるが高周波における記録特性が悪化す
る。そのため高周波領域でも良好な記録特性を示す記録
ヘッドが望まれる。
に対して記録を行うことのできる磁気ヘッドが必要とな
る。例えば磁性層が１層のみの単層垂直磁気記録媒体で
は、いわゆるリングヘッドでも書き込むことは可能であ
るが、磁性層の下に高透磁率材料層を配した２層垂直磁
気記録媒体では、記録減磁が起こるため、リングヘッド
でも記録はできるが高周波における記録特性が悪化す
る。そのため高周波領域でも良好な記録特性を示す記録
ヘッドが望まれる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】記録密度向上の要請に
対して、長手記録媒体においては高保磁力化、薄膜化に
より高分解能化を達成している。記録ヘッドでは、記録
媒体の高保磁力化に対応し、記録コアの高飽和密度化、
記録コア材の透磁率の周波数特性の向上、高トラック密
度に対応した狭トラックヘッド製造方法の確立、高線記
録密度化に対応してヘッドインダクタンスを低減するた
めの記録コイルの２層化、等が行われている。
対して、長手記録媒体においては高保磁力化、薄膜化に
より高分解能化を達成している。記録ヘッドでは、記録
媒体の高保磁力化に対応し、記録コアの高飽和密度化、
記録コア材の透磁率の周波数特性の向上、高トラック密
度に対応した狭トラックヘッド製造方法の確立、高線記
録密度化に対応してヘッドインダクタンスを低減するた
めの記録コイルの２層化、等が行われている。
【０００８】垂直磁気記録方式の記録ヘッドにおいて
も、主磁極の薄膜化等が検討されているが、この場合、
主磁極の先端部を効率良く励磁することが必要であり、
そのための改良が進められている。
も、主磁極の薄膜化等が検討されているが、この場合、
主磁極の先端部を効率良く励磁することが必要であり、
そのための改良が進められている。
【０００９】しかしながら、未だ実用特性を実現するこ
とのできるヘッド構造は見出されていない。
とのできるヘッド構造は見出されていない。
【００１０】本発明は、かかる従来の実情に鑑みて提案
されたものであって、主磁極の効率の良い励磁が可能
で、２層垂直磁気記録媒体に対して高周波で記録する場
合にも良好な記録特性を発揮する薄膜単磁極ヘッドを提
供することを目的とする。
されたものであって、主磁極の効率の良い励磁が可能
で、２層垂直磁気記録媒体に対して高周波で記録する場
合にも良好な記録特性を発揮する薄膜単磁極ヘッドを提
供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明は、軟磁性薄膜よりなる主磁極と、リター
ンヨークとを有してなる薄膜単磁極ヘッドにおいて、上
記主磁極と略直交し且つ互いに略平行な複数の導体層が
主磁極を挟んで上下に積層され、これら導体層間を選択
的に接続することにより主磁極を励磁する薄膜コイルが
構成されていることを特徴とするものである。
めに、本発明は、軟磁性薄膜よりなる主磁極と、リター
ンヨークとを有してなる薄膜単磁極ヘッドにおいて、上
記主磁極と略直交し且つ互いに略平行な複数の導体層が
主磁極を挟んで上下に積層され、これら導体層間を選択
的に接続することにより主磁極を励磁する薄膜コイルが
構成されていることを特徴とするものである。
【００１２】主磁極の上下に積層される互いに略平行な
複数の導体層により薄膜コイルを構成すると、この薄膜
コイルを主磁極の先端（垂直磁気記録媒体対向面側）近
傍に配置することができる。
複数の導体層により薄膜コイルを構成すると、この薄膜
コイルを主磁極の先端（垂直磁気記録媒体対向面側）近
傍に配置することができる。
【００１３】したがって、主磁極の先端をこの薄膜コイ
ルで発生した磁界により効率良く励磁することができ、
２層垂直磁気記録媒体に対して高周波で記録する場合に
も良好な記録特性が実現される。
ルで発生した磁界により効率良く励磁することができ、
２層垂直磁気記録媒体に対して高周波で記録する場合に
も良好な記録特性が実現される。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明を適用した薄膜単磁
極ヘッドの構造について、図面を参照しながら詳細に説
明する。
極ヘッドの構造について、図面を参照しながら詳細に説
明する。
【００１５】本発明の薄膜単磁極ヘッドは、例えば２層
垂直磁気記録媒体に対して信号の記録を行う際に用いら
れるもので、図１及び図２に示すように、例えばスライ
ダ１を基板として、この上に垂直磁気記録媒体に対して
記録磁界を印加する短冊状の主磁極２と、磁束のリター
ンパスとなるリターンヨーク３とが軟磁性材料の薄膜に
より形成されてなるものである。
垂直磁気記録媒体に対して信号の記録を行う際に用いら
れるもので、図１及び図２に示すように、例えばスライ
ダ１を基板として、この上に垂直磁気記録媒体に対して
記録磁界を印加する短冊状の主磁極２と、磁束のリター
ンパスとなるリターンヨーク３とが軟磁性材料の薄膜に
より形成されてなるものである。
【００１６】上記主磁極２は、先端２ａが垂直磁気記録
媒体に臨み、後端２ｂがリターンヨーク３と磁気的に結
合されている。
媒体に臨み、後端２ｂがリターンヨーク３と磁気的に結
合されている。
【００１７】一方、上記リターンヨーク３は、厚さ、幅
の何れもが上記主磁極２よりも大きく形成されており、
垂直磁気記録媒体に臨む対向面積も主磁極２よりも遥か
に大きい。
の何れもが上記主磁極２よりも大きく形成されており、
垂直磁気記録媒体に臨む対向面積も主磁極２よりも遥か
に大きい。
【００１８】２層垂直磁気記録媒体に対して信号の書き
込みを行う場合には、主磁極２を励磁することにより、
その先端２ａから垂直磁気記録媒体の垂直磁化膜に対し
て膜面に垂直な磁界が印加される。その結果、垂直磁化
膜に信号が書き込まれるが、このとき、前記磁界は、垂
直磁化層の下の設けられた高透磁率層を通り、リターン
ヨーク３へと戻り、閉ループを形成する。リターンヨー
ク３へ入る磁界の向きは、上記主磁極２からの磁界の向
きとは逆であるが、リターンヨーク３の対向面積が大き
いために、磁束密度が小さくなり、垂直磁化膜に書き込
まれた信号に対して影響を及ぼすことはない。
込みを行う場合には、主磁極２を励磁することにより、
その先端２ａから垂直磁気記録媒体の垂直磁化膜に対し
て膜面に垂直な磁界が印加される。その結果、垂直磁化
膜に信号が書き込まれるが、このとき、前記磁界は、垂
直磁化層の下の設けられた高透磁率層を通り、リターン
ヨーク３へと戻り、閉ループを形成する。リターンヨー
ク３へ入る磁界の向きは、上記主磁極２からの磁界の向
きとは逆であるが、リターンヨーク３の対向面積が大き
いために、磁束密度が小さくなり、垂直磁化膜に書き込
まれた信号に対して影響を及ぼすことはない。
【００１９】上記主磁極２やリターンヨーク３は、例え
ばＣｏＺｒＮｂ合金膜のようなアモルファス合金膜や、
例えばＦｅＮ微結晶膜のような結晶質膜等の軟磁性薄膜
により形成され、スパッタリング法等によりこれらの膜
を成膜し、これをパターニングすることで所定の形状と
される。
ばＣｏＺｒＮｂ合金膜のようなアモルファス合金膜や、
例えばＦｅＮ微結晶膜のような結晶質膜等の軟磁性薄膜
により形成され、スパッタリング法等によりこれらの膜
を成膜し、これをパターニングすることで所定の形状と
される。
【００２０】主磁極２やリターンヨーク３の成膜方法と
しては、例えばメッキ法等もあるが、メッキ工程を前提
に軟磁性材料を選択しようとすると、高飽和磁束密度化
はある程度達成できるが、高周波透磁率の点で不満が残
る。軟磁性材料の高周波透磁率を改善するためには、比
抵抗を高くしなければならず、メッキ工程にはなじまな
い。
しては、例えばメッキ法等もあるが、メッキ工程を前提
に軟磁性材料を選択しようとすると、高飽和磁束密度化
はある程度達成できるが、高周波透磁率の点で不満が残
る。軟磁性材料の高周波透磁率を改善するためには、比
抵抗を高くしなければならず、メッキ工程にはなじまな
い。
【００２１】スパッタリング法により形成すれば、軟磁
性材料の選択に制約がなくなり、また例えば従来の誘導
型薄膜磁気ヘッドやバルク型単磁極ヘッドに比べて主磁
極２の厚さを大幅に薄くすることができ、主磁極２の狭
トラック化が容易である。また、主磁極２の厚さを薄く
できることは、例えば同程度の高周波特性を持つ軟磁性
材料を用いたとしても誘導型薄膜磁気ヘッドに比べ高周
波特性を改善することができる、という点で有利であ
る。
性材料の選択に制約がなくなり、また例えば従来の誘導
型薄膜磁気ヘッドやバルク型単磁極ヘッドに比べて主磁
極２の厚さを大幅に薄くすることができ、主磁極２の狭
トラック化が容易である。また、主磁極２の厚さを薄く
できることは、例えば同程度の高周波特性を持つ軟磁性
材料を用いたとしても誘導型薄膜磁気ヘッドに比べ高周
波特性を改善することができる、という点で有利であ
る。
【００２２】上記主磁極２は、信号の書き込みの際に励
磁する必要があり、そのためのコイルが設けられてい
る。本発明の薄膜単磁極ヘッドにおいては、短冊状の導
体層を積層することにより主磁極２を励磁する薄膜コイ
ルが形成されている。
磁する必要があり、そのためのコイルが設けられてい
る。本発明の薄膜単磁極ヘッドにおいては、短冊状の導
体層を積層することにより主磁極２を励磁する薄膜コイ
ルが形成されている。
【００２３】すなわち、図２に示すように、リターンヨ
ーク３の上には、絶縁層４，５，６，７をそれぞれ介し
て、第１導体８、第２導体９、主磁極２、第３導体１０
が順次積層されている。
ーク３の上には、絶縁層４，５，６，７をそれぞれ介し
て、第１導体８、第２導体９、主磁極２、第３導体１０
が順次積層されている。
【００２４】これら第１導体８、第２導体９、第３導体
１０は、図１に示すように、いずれも短冊状の主磁極２
に対して直交方向に延在するように互いに平行に形成さ
れており、それぞれの一側縁が垂直磁気記録媒体対向面
に臨んでいる。なお、図１においては、これら第１導体
８、第２導体９、第３導体１０の接続構造を明瞭なもの
とするため絶縁層４，５，６，７を省略してある。
１０は、図１に示すように、いずれも短冊状の主磁極２
に対して直交方向に延在するように互いに平行に形成さ
れており、それぞれの一側縁が垂直磁気記録媒体対向面
に臨んでいる。なお、図１においては、これら第１導体
８、第２導体９、第３導体１０の接続構造を明瞭なもの
とするため絶縁層４，５，６，７を省略してある。
【００２５】上記第１導体８、第２導体９、第３導体１
０は、この順で次第に幅が狭くなっており、第３導体１
０の一端部１０ａは、第２導体９が存在しない領域にお
いて絶縁層に設けられた接続孔を介して第１導体８と電
気的に接続されている。
０は、この順で次第に幅が狭くなっており、第３導体１
０の一端部１０ａは、第２導体９が存在しない領域にお
いて絶縁層に設けられた接続孔を介して第１導体８と電
気的に接続されている。
【００２６】また、第３導体１０の他端部１０ｂは、主
磁極２を挟んで反対側において絶縁層に設けられた接続
孔を介して第２導体９と電気的に接続されている。
磁極２を挟んで反対側において絶縁層に設けられた接続
孔を介して第２導体９と電気的に接続されている。
【００２７】このような接続構造とし、第１導体８の一
端部８ａ及び第２導体９の一端部９ａを端子として電流
を流すと、先ず、主磁極２の下側を横切って第１導体８
に電流が流れる。次に、第３導体１０に入り、主磁極２
の上側を横切ってこれとは反対向きに電流が流れる。さ
らに、第３導体１０の他端部１０ｂから第２導体９に入
り、主磁極２の下側を横切って第１導体８と同様の方向
（第３導体１０とは反対向き）に電流が流れる。
端部８ａ及び第２導体９の一端部９ａを端子として電流
を流すと、先ず、主磁極２の下側を横切って第１導体８
に電流が流れる。次に、第３導体１０に入り、主磁極２
の上側を横切ってこれとは反対向きに電流が流れる。さ
らに、第３導体１０の他端部１０ｂから第２導体９に入
り、主磁極２の下側を横切って第１導体８と同様の方向
（第３導体１０とは反対向き）に電流が流れる。
【００２８】したがって、電流は主磁極２の周りを回る
如く流れることになり、主磁極２の膜厚方向において巻
線された状態となる。本例では、第１導体８、第２導体
９及び第３導体１０により１．５ターンの薄膜コイルが
主磁極２の周りに巻線されていることになる。
如く流れることになり、主磁極２の膜厚方向において巻
線された状態となる。本例では、第１導体８、第２導体
９及び第３導体１０により１．５ターンの薄膜コイルが
主磁極２の周りに巻線されていることになる。
【００２９】勿論、導体層の数を増やせばこれに応じて
ターン数を増やすことができ、要求される性能等に応じ
て任意に設計すればよいが、あまり導体層の数を増やす
と成膜工程や接続のための工程等が複雑なものとなるた
め、実用化を考えたときには自ずと限度がある。
ターン数を増やすことができ、要求される性能等に応じ
て任意に設計すればよいが、あまり導体層の数を増やす
と成膜工程や接続のための工程等が複雑なものとなるた
め、実用化を考えたときには自ずと限度がある。
【００３０】上述のように主磁極２を膜厚方向で挟む形
でコイルを配置しているので、低インダクタンスを保っ
たまま起磁力を倍増することができる。しかも薄膜コイ
ルを磁気記録媒体対向面（いわゆるＡＢＳ面）に臨ませ
て主磁極２の先端位置に設けているので、記録に際して
主磁極２の先端２ａを飽和させることなく動作すること
ができる。
でコイルを配置しているので、低インダクタンスを保っ
たまま起磁力を倍増することができる。しかも薄膜コイ
ルを磁気記録媒体対向面（いわゆるＡＢＳ面）に臨ませ
て主磁極２の先端位置に設けているので、記録に際して
主磁極２の先端２ａを飽和させることなく動作すること
ができる。
【００３１】薄膜コイルは、効率の点からはＡＢＳ面に
臨ませて形成するのが理想的であるが、絶縁や各導体の
保護等の目的から、ＡＢＳ面から後退した位置に形成す
ることも可能である。ただし、この場合にも、なるべく
ＡＢＳ面に近い位置に各導体層を形成することが効率の
観点から好ましい。
臨ませて形成するのが理想的であるが、絶縁や各導体の
保護等の目的から、ＡＢＳ面から後退した位置に形成す
ることも可能である。ただし、この場合にも、なるべく
ＡＢＳ面に近い位置に各導体層を形成することが効率の
観点から好ましい。
【００３２】また、薄膜コイルを構成する導体層は奇数
層とすることが好ましい。本例では第１導体８〜第３導
体１０の３層としたが、導体層をこのように奇数層とす
ることで外部回路との接続のための端子を主磁極２を挟
んで両側に形成することが可能になり、リード線の引き
出しが容易なものとなる。導体層を偶数層として片側か
ら端子を引き出すようにすることも可能であるが、この
場合には端子間を離すために無用な配線が必要となり、
導体層が薄膜であることを考えると、電気抵抗等の点で
不利である。
層とすることが好ましい。本例では第１導体８〜第３導
体１０の３層としたが、導体層をこのように奇数層とす
ることで外部回路との接続のための端子を主磁極２を挟
んで両側に形成することが可能になり、リード線の引き
出しが容易なものとなる。導体層を偶数層として片側か
ら端子を引き出すようにすることも可能であるが、この
場合には端子間を離すために無用な配線が必要となり、
導体層が薄膜であることを考えると、電気抵抗等の点で
不利である。
【００３３】なお、本例では、主磁極２や薄膜コイルを
構成する各導体８，９，１０を保護するために、その表
面がアルミナ等からなる保護膜１１で覆われている。
構成する各導体８，９，１０を保護するために、その表
面がアルミナ等からなる保護膜１１で覆われている。
【００３４】以上が本発明の薄膜単磁極ヘッドの構造で
あるが、これをより一層明確なものとするために、以
下、その製造プロセスに従って説明する。
あるが、これをより一層明確なものとするために、以
下、その製造プロセスに従って説明する。
【００３５】上記単磁極ヘッドを作製するには、先ず、
図３に示すように、基板（スライダ：図示は省略す
る。）の上に、軟磁性薄膜をスパッタリング法により成
膜し、これを所定の形状にドライエッチングしてリター
ンヨーク３を形成する。ここでは、ＣｏＺｒＮｂ膜を成
膜し、リターンヨーク３とした。
図３に示すように、基板（スライダ：図示は省略す
る。）の上に、軟磁性薄膜をスパッタリング法により成
膜し、これを所定の形状にドライエッチングしてリター
ンヨーク３を形成する。ここでは、ＣｏＺｒＮｂ膜を成
膜し、リターンヨーク３とした。
【００３６】次に、図４に示すように、この上に第１の
絶縁層４を成膜する。絶縁層４は、アルミナ（Ａｌ
2Ｏ3）やＳｉＯ2 等の酸化物をスパッタリングすること
により成膜され、これを第１導体８の下部にのみ残るよ
うにドライエッチングする。
絶縁層４を成膜する。絶縁層４は、アルミナ（Ａｌ
2Ｏ3）やＳｉＯ2 等の酸化物をスパッタリングすること
により成膜され、これを第１導体８の下部にのみ残るよ
うにドライエッチングする。
【００３７】次いで、図５に示すように、導体となる銅
等の比抵抗の小さな金属材料をスパッタリングし、パタ
ーニングしたフォトレジストをマスクとしてドライエッ
チングを行い、第１導体８を形成する。
等の比抵抗の小さな金属材料をスパッタリングし、パタ
ーニングしたフォトレジストをマスクとしてドライエッ
チングを行い、第１導体８を形成する。
【００３８】さらに、図６に示すように、この上に形成
される第２導体９と第１導体８とを絶縁するために、第
２の絶縁層５を成膜する。この第２の絶縁層５は、先の
第１の絶縁層４と同様の材料、プロセスにより第１導体
８の形状にほぼ倣って形成されるが、後述の第３導体１
０と第１導体８とを接続するための接続孔５ａ、及び第
１導体８の一端部８ａを接続端子として露出させるため
の接続孔５ｂをパターニングの際に形成しておく。
される第２導体９と第１導体８とを絶縁するために、第
２の絶縁層５を成膜する。この第２の絶縁層５は、先の
第１の絶縁層４と同様の材料、プロセスにより第１導体
８の形状にほぼ倣って形成されるが、後述の第３導体１
０と第１導体８とを接続するための接続孔５ａ、及び第
１導体８の一端部８ａを接続端子として露出させるため
の接続孔５ｂをパターニングの際に形成しておく。
【００３９】次に、図７に示すように、第２導体９を第
１導体８と同様の手法で形成する。ただし、第２導体９
は第１導体８よりも幅狭とし、また上記第２の絶縁層５
に形成した接続孔５ａを避けて形成する。
１導体８と同様の手法で形成する。ただし、第２導体９
は第１導体８よりも幅狭とし、また上記第２の絶縁層５
に形成した接続孔５ａを避けて形成する。
【００４０】続いて、図８に示すように第３の絶縁層６
を形成する。この第３の絶縁層６は、他の絶縁層と同様
の材料をスパッタリングし、これを第２導体９に倣って
パターニングすることにより形成するが、このとき後述
の第３導体１０との接続孔６ａ及び第２導体９の一端部
９ａを接続端子として露出させるための接続孔６ｂをパ
ターニングしておく。
を形成する。この第３の絶縁層６は、他の絶縁層と同様
の材料をスパッタリングし、これを第２導体９に倣って
パターニングすることにより形成するが、このとき後述
の第３導体１０との接続孔６ａ及び第２導体９の一端部
９ａを接続端子として露出させるための接続孔６ｂをパ
ターニングしておく。
【００４１】上記第３の絶縁層６の上には、主磁極２が
形成される。主磁極２は、リターンヨーク３と同様、Ｃ
ｏＺｒＮｂアモルファス膜を成膜及びパターニングする
ことにより形成され、図９に示すように、ＡＢＳ面に対
して奥行き方向に延在する短冊状にパターニングされ
る。
形成される。主磁極２は、リターンヨーク３と同様、Ｃ
ｏＺｒＮｂアモルファス膜を成膜及びパターニングする
ことにより形成され、図９に示すように、ＡＢＳ面に対
して奥行き方向に延在する短冊状にパターニングされ
る。
【００４２】ここで、主磁極２の大部分は平坦面上に形
成されることになるため、磁気特性の劣化を抑えること
ができ、また微細なパターニングも容易である。
成されることになるため、磁気特性の劣化を抑えること
ができ、また微細なパターニングも容易である。
【００４３】主磁極２を形成した後、図１０に示すよう
に、主磁極２と第３導体１０とを絶縁するための第４の
絶縁層７を形成するが、この第４の絶縁層７の形状は第
３の絶縁層６の形状と同一である。したがって、この第
４の絶縁層７にも第３導体１０との接続孔７ａ及び第２
導体９の一端部９ａを接続端子として露出させるための
接続孔７ｂをパターニングする。
に、主磁極２と第３導体１０とを絶縁するための第４の
絶縁層７を形成するが、この第４の絶縁層７の形状は第
３の絶縁層６の形状と同一である。したがって、この第
４の絶縁層７にも第３導体１０との接続孔７ａ及び第２
導体９の一端部９ａを接続端子として露出させるための
接続孔７ｂをパターニングする。
【００４４】次いで、図１１に示すように、第４の絶縁
層７を介し主磁極２を跨ぐような形で第３導体１０を形
成する。第３導体１０は、第２の絶縁層５に設けられた
接続孔５ａ及び第３、第４の絶縁層６，７に設けられた
接続孔６ａ，７ａを介してそれぞれ第１導体８、第２導
体９と電気的に接続され、その結果１．５ターンの薄膜
コイルが構成される。
層７を介し主磁極２を跨ぐような形で第３導体１０を形
成する。第３導体１０は、第２の絶縁層５に設けられた
接続孔５ａ及び第３、第４の絶縁層６，７に設けられた
接続孔６ａ，７ａを介してそれぞれ第１導体８、第２導
体９と電気的に接続され、その結果１．５ターンの薄膜
コイルが構成される。
【００４５】最後に第１導体８及び第２導体９の各端部
８ａ，９ａにパターンメッキ等の手法を用いて端子形成
を行い、使用時あるいは加工時に主磁極２等を保護する
ための保護膜を形成して単磁極ヘッドを完成する。保護
膜は、アルミナ等の酸化物をスパッタリングで成膜する
ことにより形成し、その後、ラッピングすることで端子
出しを行う。
８ａ，９ａにパターンメッキ等の手法を用いて端子形成
を行い、使用時あるいは加工時に主磁極２等を保護する
ための保護膜を形成して単磁極ヘッドを完成する。保護
膜は、アルミナ等の酸化物をスパッタリングで成膜する
ことにより形成し、その後、ラッピングすることで端子
出しを行う。
【００４６】以上が薄膜単磁極ヘッドの製造プロセスで
あるが、実際にこの構造の単磁極ヘッドを試作し、電磁
変換特性を測定した。試作した単磁極ヘッドは、主磁極
２の膜厚０．４μｍ、リターンヨーク３の膜厚３μｍで
ある。
あるが、実際にこの構造の単磁極ヘッドを試作し、電磁
変換特性を測定した。試作した単磁極ヘッドは、主磁極
２の膜厚０．４μｍ、リターンヨーク３の膜厚３μｍで
ある。
【００４７】先ず、試作した単磁極ヘッドのインダクタ
ンスを測定したところ、１０ｎＨ（１５ＭＨｚ，１ｍ
Ａ）であった。これは従来のバルク型単磁極ヘッドの値
（２μＨ程度）や誘導型薄膜磁気ヘッドの値（１００〜
１５０ｎＨ）に比べて桁違いに小さくなっている。
ンスを測定したところ、１０ｎＨ（１５ＭＨｚ，１ｍ
Ａ）であった。これは従来のバルク型単磁極ヘッドの値
（２μＨ程度）や誘導型薄膜磁気ヘッドの値（１００〜
１５０ｎＨ）に比べて桁違いに小さくなっている。
【００４８】また、試作した単磁極ヘッドと２層垂直磁
気記録媒体とを組み合わせ、オーバーライト特性（記録
電流飽和特性）を調べた。結果を図１２に示すが、記録
電流１００ｍＡｐｐで−３０ｄＢのオーバーライト特性
が得られ、十分にオーバーライト可能であることがわか
った。
気記録媒体とを組み合わせ、オーバーライト特性（記録
電流飽和特性）を調べた。結果を図１２に示すが、記録
電流１００ｍＡｐｐで−３０ｄＢのオーバーライト特性
が得られ、十分にオーバーライト可能であることがわか
った。
【００４９】これらの測定結果より、本発明の薄膜単磁
極ヘッドでは、記録特性を損なうことなくインダクタン
スを低下させることができることがわかった。また、主
磁極２の膜厚も、誘導型薄膜磁気ヘッドが３μｍ前後で
あるのに対して０．４μｍとしたので、記録の高周波特
性も改善することができた。
極ヘッドでは、記録特性を損なうことなくインダクタン
スを低下させることができることがわかった。また、主
磁極２の膜厚も、誘導型薄膜磁気ヘッドが３μｍ前後で
あるのに対して０．４μｍとしたので、記録の高周波特
性も改善することができた。
【００５０】以上が本発明の薄膜単磁極ヘッドの基本構
造であるが、例えばこれを記録ヘッド、磁気抵抗効果素
子（ＭＲ素子）を再生ヘッドとして組み合わせ、これら
を複合化したヘッドとすることもできる。
造であるが、例えばこれを記録ヘッド、磁気抵抗効果素
子（ＭＲ素子）を再生ヘッドとして組み合わせ、これら
を複合化したヘッドとすることもできる。
【００５１】図１３は、この複合化したヘッドの一例を
示すもので、先に説明した薄膜単磁極ヘッドの下に、Ｍ
Ｒ素子１２を配し、これを再生ヘッドとしている。
示すもので、先に説明した薄膜単磁極ヘッドの下に、Ｍ
Ｒ素子１２を配し、これを再生ヘッドとしている。
【００５２】このとき、薄膜単磁極ヘッドのリターンヨ
ーク３を上層シールドとして兼用することができ、した
がってＭＲ素子１２のシールドとしては、下層シールド
１３のみを形成すればよい。
ーク３を上層シールドとして兼用することができ、した
がってＭＲ素子１２のシールドとしては、下層シールド
１３のみを形成すればよい。
【００５３】以上、本発明の薄膜単磁極ヘッドの構造に
ついて説明してきたが、本発明がこの例に限定されるも
のでないことは言うまでもなく、本発明の要旨を逸脱し
ない範囲で形状、材質、層構成等、適宜変更可能であ
る。
ついて説明してきたが、本発明がこの例に限定されるも
のでないことは言うまでもなく、本発明の要旨を逸脱し
ない範囲で形状、材質、層構成等、適宜変更可能であ
る。
【００５４】
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明によれば、主磁極の効率の良い励磁が可能で、２層垂
直磁気記録媒体に対して高周波で記録する場合にも良好
な記録特性を発揮する薄膜単磁極ヘッドを提供すること
が可能である。
明によれば、主磁極の効率の良い励磁が可能で、２層垂
直磁気記録媒体に対して高周波で記録する場合にも良好
な記録特性を発揮する薄膜単磁極ヘッドを提供すること
が可能である。
【図１】本発明を適用した薄膜単磁極ヘッドの構成例を
示す概略斜視図である。
示す概略斜視図である。
【図２】本発明を適用した薄膜単磁極ヘッドの構成例を
示す概略断面図である。
示す概略断面図である。
【図３】本発明の薄膜単磁極ヘッドの製造プロセスを工
程順に示すもので、リターンヨーク形成工程を示す概略
斜視図である。
程順に示すもので、リターンヨーク形成工程を示す概略
斜視図である。
【図４】第１の絶縁層の形成工程を示す概略斜視図であ
る。
る。
【図５】第１導体の形成工程を示す概略斜視図である。
【図６】第２の絶縁層の形成工程を示す概略斜視図であ
る。
る。
【図７】第２導体の形成工程を示す概略斜視図である。
【図８】第３の絶縁層の形成工程を示す概略斜視図であ
る。
る。
【図９】主磁極形成工程を示す概略斜視図である。
【図１０】第４の絶縁層の形成工程を示す概略斜視図で
ある。
ある。
【図１１】第３導体の形成工程を示す概略斜視図であ
る。
る。
【図１２】試作した薄膜単磁極ヘッドのオーバーライト
特性を示す特性図である。
特性を示す特性図である。
【図１３】ＭＲ素子よりなる再生ヘッドと複合化したヘ
ッドの一例を示す概略断面図である。
ッドの一例を示す概略断面図である。
２ 主磁極、３ リターンヨーク、４，５，６，７ 絶
縁層、８ 第１導体、９第２導体、１０ 第３導体、１
２ ＭＲ素子、１３ 下層シールド
縁層、８ 第１導体、９第２導体、１０ 第３導体、１
２ ＭＲ素子、１３ 下層シールド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 片倉 亨 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内
Claims (5)
- 【請求項１】 軟磁性薄膜よりなる主磁極と、リターン
ヨークとを有してなる薄膜単磁極ヘッドにおいて、 上記主磁極と略直交し且つ互いに略平行な複数の導体層
が主磁極を挟んで上下に積層され、これら導体層間を選
択的に接続することにより主磁極を励磁する薄膜コイル
が構成されていることを特徴とする薄膜単磁極ヘッド。 - 【請求項２】 上記導体層が磁気記録媒体対向面近傍に
配置されていることを特徴とする請求項１記載の薄膜単
磁極ヘッド。 - 【請求項３】 上記各導体層の一側縁が磁気記録媒体対
向面に臨んで形成されていることを特徴とする請求項２
記載の薄膜単磁極ヘッド。 - 【請求項４】 上記導体層が奇数層形成されていること
を特徴とする請求項１記載の薄膜単磁極ヘッド。 - 【請求項５】 上記リターンヨークを上層シールドと
し、このリターンヨークと下層シールドの間に磁気抵抗
効果素子が形成され、再生用ヘッドとされていることを
特徴とする請求項１記載の薄膜単磁極ヘッド。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9270172A JPH11110717A (ja) | 1997-10-02 | 1997-10-02 | 薄膜単磁極ヘッド |
| US09/164,663 US6292329B1 (en) | 1997-10-02 | 1998-10-01 | Thin film single magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9270172A JPH11110717A (ja) | 1997-10-02 | 1997-10-02 | 薄膜単磁極ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11110717A true JPH11110717A (ja) | 1999-04-23 |
Family
ID=17482540
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9270172A Withdrawn JPH11110717A (ja) | 1997-10-02 | 1997-10-02 | 薄膜単磁極ヘッド |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6292329B1 (ja) |
| JP (1) | JPH11110717A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002039432A1 (fr) * | 2000-11-07 | 2002-05-16 | Akio Otsubo | Tete integree composite a film mince |
| KR100373672B1 (ko) * | 1999-09-24 | 2003-02-26 | 가부시끼가이샤 도시바 | 자기 헤드, 그 제조 방법 및 수직 자기 기록 장치 |
| WO2008156028A1 (ja) * | 2007-06-21 | 2008-12-24 | Seiko Instruments Inc. | 近接場光ヘッド及び情報記録再生装置 |
| JP2009020999A (ja) * | 2007-07-11 | 2009-01-29 | Samsung Electronics Co Ltd | 垂直磁気記録ヘッド及びその製造方法 |
| JP2009070548A (ja) * | 2007-09-12 | 2009-04-02 | Samsung Electronics Co Ltd | 垂直磁気記録ヘッド及びその製造方法 |
| JP2010277643A (ja) * | 2009-05-28 | 2010-12-09 | Glory Ltd | 磁気センサ |
| JP2013016245A (ja) * | 2011-06-30 | 2013-01-24 | Seagate Technology Llc | 磁気ヘッド |
| US8681590B2 (en) | 2010-11-24 | 2014-03-25 | Seagate Technology Llc | Apparatus for increasing data rates in a magnetic head |
Families Citing this family (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6621664B1 (en) * | 2000-02-28 | 2003-09-16 | Seagate Technology Llc | Perpendicular recording head having integrated read and write portions |
| US6972932B2 (en) * | 2000-09-06 | 2005-12-06 | Seagate Technology Llc | High-efficiency single-turn write head for high-speed recording |
| JP4102013B2 (ja) * | 2000-09-22 | 2008-06-18 | 株式会社東芝 | 垂直記録ヘッドおよび垂直磁気記録装置 |
| JP3875019B2 (ja) * | 2000-12-26 | 2007-01-31 | アルプス電気株式会社 | 垂直磁気記録ヘッドおよびその製造方法 |
| JP3866512B2 (ja) * | 2000-12-26 | 2007-01-10 | アルプス電気株式会社 | 垂直磁気記録ヘッドの製造方法 |
| US6728065B2 (en) * | 2001-03-29 | 2004-04-27 | Seagate Technology Llc | Single pole magnetic recording head for perpendicular magnetic recording |
| US6671128B2 (en) * | 2001-03-29 | 2003-12-30 | Seagate Technology Llc | Recording head with oppositely directed microstrip waveguide conductors to induce a magnetic write field for longitudinal or perpendicular magnetic recording |
| US6771464B2 (en) * | 2001-10-19 | 2004-08-03 | Seagate Technology Llc | Perpendicular magnetic recording head with a laminated main write pole |
| US7296339B1 (en) | 2004-09-08 | 2007-11-20 | Western Digital (Fremont), Llc | Method for manufacturing a perpendicular magnetic recording head |
| US7736765B2 (en) * | 2004-12-28 | 2010-06-15 | Seagate Technology Llc | Granular perpendicular magnetic recording media with dual recording layer and method of fabricating same |
| US8110298B1 (en) | 2005-03-04 | 2012-02-07 | Seagate Technology Llc | Media for high density perpendicular magnetic recording |
| US7552523B1 (en) | 2005-07-01 | 2009-06-30 | Western Digital (Fremont), Llc | Method for manufacturing a perpendicular magnetic recording transducer |
| US8333008B1 (en) | 2005-07-29 | 2012-12-18 | Western Digital (Fremont), Llc | Method for manufacturing a perpendicular magnetic recording transducer |
| US8119263B2 (en) | 2005-09-22 | 2012-02-21 | Seagate Technology Llc | Tuning exchange coupling in magnetic recording media |
| US7508627B1 (en) | 2006-03-03 | 2009-03-24 | Western Digital (Fremont), Llc | Method and system for providing perpendicular magnetic recording transducers |
| US8141235B1 (en) | 2006-06-09 | 2012-03-27 | Western Digital (Fremont), Llc | Method for manufacturing a perpendicular magnetic recording transducers |
| US8064160B2 (en) * | 2007-07-30 | 2011-11-22 | Tdk Corporation | Magnetic head for perpendicular magnetic recording with coil wound around pole layer |
| US8015692B1 (en) | 2007-11-07 | 2011-09-13 | Western Digital (Fremont), Llc | Method for providing a perpendicular magnetic recording (PMR) head |
| US8697260B2 (en) * | 2008-07-25 | 2014-04-15 | Seagate Technology Llc | Method and manufacture process for exchange decoupled first magnetic layer |
| US9099118B1 (en) | 2009-05-26 | 2015-08-04 | Western Digital (Fremont), Llc | Dual damascene process for producing a PMR write pole |
| US8486285B2 (en) | 2009-08-20 | 2013-07-16 | Western Digital (Fremont), Llc | Damascene write poles produced via full film plating |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS554734A (en) * | 1978-06-23 | 1980-01-14 | Fujitsu Ltd | Thin film magnetic head for vertical magnetic recording |
| JPS5512522A (en) * | 1978-07-10 | 1980-01-29 | Fujitsu Ltd | Thin film magnetic head for vertical magnetization recording |
| US4751598A (en) * | 1985-02-01 | 1988-06-14 | Censtor Corporation | Thin-film, cross-field, closed-flux, anisotropic electromagnetic field device |
| JPH0833978B2 (ja) * | 1991-04-26 | 1996-03-29 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
| FR2727555B1 (fr) * | 1994-11-25 | 1996-12-20 | Thomson Csf | Tete magnetique d'enregistrement/lecture et son procede de realisation |
| US6038106A (en) * | 1995-05-10 | 2000-03-14 | International Business Machines Corporation | Piggyback magneto-resistive read/write tape head with optimized process for same gap read/write |
| JPH08339508A (ja) * | 1995-06-14 | 1996-12-24 | Nec Corp | 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法ならびに磁気記憶装 置 |
| US5703740A (en) * | 1995-08-24 | 1997-12-30 | Velocidata, Inc. | Toroidal thin film head |
| US5936814A (en) * | 1996-06-03 | 1999-08-10 | Seagate Technology, Inc. | Magnetic recording head using a last insulator to obtain an adjustable take off angle |
| JPH1186238A (ja) * | 1997-09-10 | 1999-03-30 | Fujitsu Ltd | 磁気ヘッド |
-
1997
- 1997-10-02 JP JP9270172A patent/JPH11110717A/ja not_active Withdrawn
-
1998
- 1998-10-01 US US09/164,663 patent/US6292329B1/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100373672B1 (ko) * | 1999-09-24 | 2003-02-26 | 가부시끼가이샤 도시바 | 자기 헤드, 그 제조 방법 및 수직 자기 기록 장치 |
| WO2002039432A1 (fr) * | 2000-11-07 | 2002-05-16 | Akio Otsubo | Tete integree composite a film mince |
| WO2008156028A1 (ja) * | 2007-06-21 | 2008-12-24 | Seiko Instruments Inc. | 近接場光ヘッド及び情報記録再生装置 |
| JP2009020999A (ja) * | 2007-07-11 | 2009-01-29 | Samsung Electronics Co Ltd | 垂直磁気記録ヘッド及びその製造方法 |
| JP2009070548A (ja) * | 2007-09-12 | 2009-04-02 | Samsung Electronics Co Ltd | 垂直磁気記録ヘッド及びその製造方法 |
| JP2010277643A (ja) * | 2009-05-28 | 2010-12-09 | Glory Ltd | 磁気センサ |
| US8681590B2 (en) | 2010-11-24 | 2014-03-25 | Seagate Technology Llc | Apparatus for increasing data rates in a magnetic head |
| JP2013016245A (ja) * | 2011-06-30 | 2013-01-24 | Seagate Technology Llc | 磁気ヘッド |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6292329B1 (en) | 2001-09-18 |
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