JP2009070548A - 垂直磁気記録ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】メインポールと、メインポールが記録媒体に情報を記録する磁場を発生させるようにメインポールをソレノイド状に取り囲むコイルと、メインポールと共に磁場の磁路を形成するものであって、メインポールと所定ギャップとを介して対向するスロット部を有するリターンヨークと、を備え、ギャップは、ABS側の一端での厚さが他端での厚さより薄いことを特徴とする垂直磁気記録ヘッドである。
【選択図】図4
Description
120 メインポール
130 リターンヨーク
130a スロット部
140 ギャップ
C コイル
TH スロット長
Claims (16)
- メインポールと、
前記メインポールが記録媒体に情報を記録する磁場を発生させるように前記メインポールをソレノイド状に取り囲むコイルと、
前記メインポールと共に磁場の磁路を形成するものであって、前記メインポールとギャップとを介して対向するスロット部を有するリターンヨークと、を備え、
前記ギャップは、ABS(Air Bearing Surface)側の一端での厚さが前記スロット部の他端での厚さより薄いことを特徴とする垂直磁気記録ヘッド。 - 前記ギャップの断面形状は、くさび形状を有することを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録ヘッド。
- 前記メインポールは、ABS側に行くほど薄くなる形状を含むことを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録ヘッド。
- ABS側の端部での前記ギャップの厚さは、15nmないし40nmの範囲であることを特徴とする請求項1ないし3のうち何れか1項に記載の垂直磁気記録ヘッド。
- 前記他端での前記ギャップの厚さは、100nmないし200nmの範囲であることを特徴とする請求項4に記載の垂直磁気記録ヘッド。
- 前記コイルは、前記メインポールを1回取り囲む構造であることを特徴とする請求項1ないし3のうち何れか1項に記載の垂直磁気記録ヘッド。
- メインポール、前記メインポールをソレノイド状に取り囲むコイル及び前記メインポールと所定ギャップとを介して対向するスロット部を有するリターンヨークを備える垂直磁気記録ヘッドの製造方法において、
(a)下部コイル層、メインポール及び第1絶縁層を順次形成する工程と、
(b)前記第1絶縁層上に上部コイル層を形成する工程と、
(c)前記上部コイル層を覆う第2絶縁層を形成する工程と、
(d)前記ギャップのABS側の厚さが前記上部コイル層に隣接した部分の厚さより薄くなるように、前記第1絶縁層及び前記第2絶縁層をエッチングする工程と、
(e)前記ギャップと対向するスロット部を有するリターンヨークを形成する工程と、を含むことを特徴とする垂直磁気記録ヘッドの製造方法。 - 前記第1絶縁層及び前記第2絶縁層は、ALD(Atomic Layer Deposition)方法で形成されることを特徴とする請求項7に記載の垂直磁気記録ヘッドの製造方法。
- 前記(e)工程は、
前記メインポールのABS側の厚さが前記上部コイル層に隣接した部分の厚さより薄くなるように、前記第1絶縁層、第2絶縁層及びメインポールをエッチングする工程と、
前記上部コイル層及び前記エッチングによって露出されたメインポールを覆うために、第3絶縁層をさらに蒸着する工程と、を含むことを特徴とする請求項7に記載の垂直磁気記録ヘッドの製造方法。 - 前記第3絶縁層は、ALD方法で形成されることを特徴とする請求項9に記載の垂直磁気記録ヘッドの製造方法。
- 前記コイルは、前記メインポールを1回取り囲む形状であることを特徴とする請求項7ないし10のうち何れか1項に記載の垂直磁気記録ヘッドの製造方法。
- (e)工程は、前記メインポールのABS側の端部をラップアラウンド状に取り囲む形状に前記リターンヨークを形成することを特徴とする請求項7ないし10のうち何れか1項に記載の垂直磁気記録ヘッドの製造方法。
- メインポールと、
前記メインポールを1回取り囲むコイルと、
前記メインポール上に置かれた一端部と前記メインポールから離隔されてギャップを形成する他端部とを有するリターンヨークと、を備え、
前記ギャップのABS側の端部は、反対側の端部より薄いことを特徴とする垂直磁気記録ヘッド。 - 前記ギャップの断面形状は、くさび形状を有することを特徴とする請求項13に記載の垂直磁気記録ヘッド。
- ヨーク長は、2μm以下であることを特徴とする請求項13に記載の垂直磁気記録ヘッド。
- 前記メインポールは、リターンヨークより飽和磁束密度の高い物質からなることを特徴とする請求項13に記載の垂直磁気記録ヘッド。
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