JPS6148116A - 薄膜磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
薄膜磁気ヘッドの製造方法Info
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- JPS6148116A JPS6148116A JP59167274A JP16727484A JPS6148116A JP S6148116 A JPS6148116 A JP S6148116A JP 59167274 A JP59167274 A JP 59167274A JP 16727484 A JP16727484 A JP 16727484A JP S6148116 A JPS6148116 A JP S6148116A
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- Japan
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- magnetic head
- plating
- head
- magnetic
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
-
- G—PHYSICS
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
- G11B5/3967—Composite structural arrangements of transducers, e.g. inductive write and magnetoresistive read
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Magnetic Heads (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は磁気記憶装置の磁気ヘッドに係シ、特に記録お
よび再生兼用であシ、高再生出力、低電流記録をもつ高
性能薄膜磁気ヘッドの構造に関するものである。
よび再生兼用であシ、高再生出力、低電流記録をもつ高
性能薄膜磁気ヘッドの構造に関するものである。
従来の薄膜磁気ヘッドの構造をｆａ２図および第３図に
示す。ｐＪ２図は巻線型ヘッドの１例を示し、（４）は
その斜視図を、■はそのＡ−Ａ断面図を示す。
示す。ｐＪ２図は巻線型ヘッドの１例を示し、（４）は
その斜視図を、■はそのＡ−Ａ断面図を示す。
図示の如く下部磁性体磁極１と、その上に形成される下
部絶縁層２と、その上に形成される導電コイル３と、そ
の上に形成される上部絶縁層４と、その上に形成される
上部磁性体磁極５とを積層して構成される。なお第２図
（２）において６，７は端子を示す。
部絶縁層２と、その上に形成される導電コイル３と、そ
の上に形成される上部絶縁層４と、その上に形成される
上部磁性体磁極５とを積層して構成される。なお第２図
（２）において６，７は端子を示す。
第２図のごとき巻線型のヘッドにおいてはその再生出力
を増大させるには媒体との相対速度を増加させるか巻線
数を増加させなければならず、その製造技術は限界に近
づきつつある。
を増大させるには媒体との相対速度を増加させるか巻線
数を増加させなければならず、その製造技術は限界に近
づきつつある。
第３図に磁気抵抗型のヘッドを示す。同図において８が
磁気抵抗効果素子、９が磁気記録媒体である。このよう
な磁気抵抗型のヘッドでは再生出力は巻線型に比して約
１０倍大きいが、しかし媒体上に記録することができな
い。
磁気抵抗効果素子、９が磁気記録媒体である。このよう
な磁気抵抗型のヘッドでは再生出力は巻線型に比して約
１０倍大きいが、しかし媒体上に記録することができな
い。
本発明は前記両ヘッドの欠点を補ない高性能な薄膜磁気
ヘッドが容易に製造できるようにしたものである。
ヘッドが容易に製造できるようにしたものである。
本発明は上記問題点を解消した高再生出力薄膜磁気ヘッ
ドを提供するものであって、その手段は、下部磁性体磁
極と、前記下部磁性体磁極の上に形成される第１の絶縁
層と、前記第１の絶縁層の上く形成される導電コイルと
、前記導電コイルの上 ・に形成される第２の絶縁層と
、前記第２の絶縁層の上に形成される上部磁性体磁極を
積層して構成される薄膜磁気ヘッドにおいて、前記下部
および上部磁性体磁極で形成される磁気回路の一部に磁
気抵抗効果素子を挿入した薄膜磁気ヘッドによってなさ
れる。
ドを提供するものであって、その手段は、下部磁性体磁
極と、前記下部磁性体磁極の上に形成される第１の絶縁
層と、前記第１の絶縁層の上く形成される導電コイルと
、前記導電コイルの上 ・に形成される第２の絶縁層と
、前記第２の絶縁層の上に形成される上部磁性体磁極を
積層して構成される薄膜磁気ヘッドにおいて、前記下部
および上部磁性体磁極で形成される磁気回路の一部に磁
気抵抗効果素子を挿入した薄膜磁気ヘッドによってなさ
れる。
本発明においては、第３図の磁気抵抗型ヘッドを利用す
る場合に、第２図の記録用の巻線型ヘッドと組合わせる
ことによってはじめて高出力の記録再生用薄膜磁気ヘッ
ドが実現する。
る場合に、第２図の記録用の巻線型ヘッドと組合わせる
ことによってはじめて高出力の記録再生用薄膜磁気ヘッ
ドが実現する。
以下図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する。
第１図に本発明の実施例を示し、囚はその斜視図を、（
ｎ）はＡ−Ｖ断面図を示す。第１図において第２図と同
一記号は第２図と同一構成部分を示す。
ｎ）はＡ−Ｖ断面図を示す。第１図において第２図と同
一記号は第２図と同一構成部分を示す。
第１図において本発明の特徴とするところは、第２図の
上部磁性層５の一部に第３図の磁気抵抗効果素子１１を
設けた構造となっている。なお第３歯の薄膜磁気ヘッド
の磁極はメッキ法によシノクーマロイで形成される場合
が多く、その際のメッキ導電性下地膜としてパーマロイ
を使用しておシ、その膜厚は５００〜１０００＾程度で
ある。パーマロイは外部から磁界を受けた時にその電気
抵抗が変化する磁性抵抗効果が大きく固有抵抗の２〜３
％が変化する。そこで薄膜磁気ヘッドの製造の磁極をメ
ッキ形成時に磁極の一部をマスクし、メツΦ成膜されな
いようにメッキ下地のま＼残すことによシ容易に磁気抵
抗素子を形成することができる。
上部磁性層５の一部に第３図の磁気抵抗効果素子１１を
設けた構造となっている。なお第３歯の薄膜磁気ヘッド
の磁極はメッキ法によシノクーマロイで形成される場合
が多く、その際のメッキ導電性下地膜としてパーマロイ
を使用しておシ、その膜厚は５００〜１０００＾程度で
ある。パーマロイは外部から磁界を受けた時にその電気
抵抗が変化する磁性抵抗効果が大きく固有抵抗の２〜３
％が変化する。そこで薄膜磁気ヘッドの製造の磁極をメ
ッキ形成時に磁極の一部をマスクし、メツΦ成膜されな
いようにメッキ下地のま＼残すことによシ容易に磁気抵
抗素子を形成することができる。
本発明によれば、通常の電磁肪導型薄膜磁気ヘッドと、
磁気抵抗効果型ヘッドが併設され、記録および再生が同
一ヘッドで行なわれ、さらに従来の再生出力よシ約１０
倍大きい再生出力が得られる良好な特性をもつ薄膜磁気
ヘッドを容易に製造できる。
磁気抵抗効果型ヘッドが併設され、記録および再生が同
一ヘッドで行なわれ、さらに従来の再生出力よシ約１０
倍大きい再生出力が得られる良好な特性をもつ薄膜磁気
ヘッドを容易に製造できる。
第１図の実施例では、上部磁極の一部に単一の磁気抵抗
効果素子を設けたが、下部磁極の一部に設けても同様な
効果が得られる。また上下磁極にそれぞれ１つづつ設け
る等、複数個の磁気抵抗効果素子を設けることによシ再
生出力の増大およびＳ／Ｎの向上を果すことができる。
効果素子を設けたが、下部磁極の一部に設けても同様な
効果が得られる。また上下磁極にそれぞれ１つづつ設け
る等、複数個の磁気抵抗効果素子を設けることによシ再
生出力の増大およびＳ／Ｎの向上を果すことができる。
通常、磁気抵抗効果の再生出力の直線性を良くするため
にバイアス磁界が必要であるが、本発明の場合、薄膜コ
イルに微少電流を流すことによシ容易に発生することが
できる。またメッキ導゛屯性下地を２重構造とすること
で、通常のシャントバイアスも形成可能である。
にバイアス磁界が必要であるが、本発明の場合、薄膜コ
イルに微少電流を流すことによシ容易に発生することが
できる。またメッキ導゛屯性下地を２重構造とすること
で、通常のシャントバイアスも形成可能である。
以上詳細に説明したように１本発明によれば、記録効率
のよい巻線型薄膜磁気ヘッドと、再生出力の大きな磁気
抵抗効果型ヘッドが併設され、記録および再生が同一ヘ
ッドで行なわれ、さらに従来の再生出力よシ約１０倍大
きい再生出力が得られる良好な特性をもつ薄膜磁気ヘッ
ドを容易に製造できる。
のよい巻線型薄膜磁気ヘッドと、再生出力の大きな磁気
抵抗効果型ヘッドが併設され、記録および再生が同一ヘ
ッドで行なわれ、さらに従来の再生出力よシ約１０倍大
きい再生出力が得られる良好な特性をもつ薄膜磁気ヘッ
ドを容易に製造できる。
第１図は本発明にか＼る薄膜磁気ヘッドの１実施例の構
造を示す図、第２図は従来の巻線型薄膜磁気ヘッドの１
例の構造を示す図、第３図は従来の磁気抵抗型磁気ヘッ
ドの１例の構造を示す図である。 図面において、ｌが下部磁性体磁極、２が下部絶縁層、
３が導電コイル、４が上部絶縁層、５が上部磁性体磁極
、１１が磁気抵抗効果素子をそれぞれ示す。 第１図 （Ｂ） 第２図 第３図
造を示す図、第２図は従来の巻線型薄膜磁気ヘッドの１
例の構造を示す図、第３図は従来の磁気抵抗型磁気ヘッ
ドの１例の構造を示す図である。 図面において、ｌが下部磁性体磁極、２が下部絶縁層、
３が導電コイル、４が上部絶縁層、５が上部磁性体磁極
、１１が磁気抵抗効果素子をそれぞれ示す。 第１図 （Ｂ） 第２図 第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、下部磁性体磁極と、前記下部磁性体磁極の上に形成
される第１の絶縁層と、前記第１の絶縁層の上に形成さ
れる導電コイルと、前記導電コイルの上に形成される第
２の絶縁層と、前記第２の絶縁層の上に形成される上部
磁性体磁極を積層して構成される薄膜磁気ヘッドにおい
て、前記下部および上部磁性体磁極で形成される磁気回
路の一部に磁気抵抗効果素子を挿入することを特徴とす
る薄膜磁気ヘッド。 ２、前記下部および上部磁性体磁極のすくなくとも一方
をメッキ法で形成する際のメッキ下地導電層の一部を磁
気抵抗効果素子とすることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59167274A JPH0630130B2 (ja) | 1984-08-11 | 1984-08-11 | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59167274A JPH0630130B2 (ja) | 1984-08-11 | 1984-08-11 | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6148116A true JPS6148116A (ja) | 1986-03-08 |
| JPH0630130B2 JPH0630130B2 (ja) | 1994-04-20 |
Family
ID=15846701
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59167274A Expired - Lifetime JPH0630130B2 (ja) | 1984-08-11 | 1984-08-11 | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0630130B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6243813A (ja) * | 1985-08-20 | 1987-02-25 | Seiko Epson Corp | 磁気ヘツド |
| JPS62241120A (ja) * | 1986-04-11 | 1987-10-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜磁気ヘツド |
| JPH0383213A (ja) * | 1989-08-24 | 1991-04-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜磁気ヘッド |
| US5075956A (en) * | 1988-03-16 | 1991-12-31 | Digital Equipment Corporation | Method of making recording heads with side shields |
| US5095397A (en) * | 1989-08-04 | 1992-03-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Thin film magnetic head of embodied recording and reproducing transducer type |
| US5111352A (en) * | 1987-07-29 | 1992-05-05 | Digital Equipment Corporation | Three-pole magnetic head with reduced flux leakage |
| JPH0738251B2 (ja) * | 1987-04-01 | 1995-04-26 | ディジタル イクイプメント コーポレーション | デジタル磁気記憶装置用の磁気抵抗性薄膜ヘッド |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS529413A (en) * | 1975-07-11 | 1977-01-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Magnetic head |
| JPS5212814A (en) * | 1975-07-17 | 1977-01-31 | Philips Nv | Thin film magnetic head |
| JPS5998319A (ja) * | 1982-11-29 | 1984-06-06 | Sony Corp | 磁気ヘツド |
-
1984
- 1984-08-11 JP JP59167274A patent/JPH0630130B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS529413A (en) * | 1975-07-11 | 1977-01-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Magnetic head |
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| JPS5998319A (ja) * | 1982-11-29 | 1984-06-06 | Sony Corp | 磁気ヘツド |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6243813A (ja) * | 1985-08-20 | 1987-02-25 | Seiko Epson Corp | 磁気ヘツド |
| JPH0348570B2 (ja) * | 1985-08-20 | 1991-07-24 | Seiko Epson Corp | |
| JPS62241120A (ja) * | 1986-04-11 | 1987-10-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜磁気ヘツド |
| JPH0738251B2 (ja) * | 1987-04-01 | 1995-04-26 | ディジタル イクイプメント コーポレーション | デジタル磁気記憶装置用の磁気抵抗性薄膜ヘッド |
| US5111352A (en) * | 1987-07-29 | 1992-05-05 | Digital Equipment Corporation | Three-pole magnetic head with reduced flux leakage |
| US5075956A (en) * | 1988-03-16 | 1991-12-31 | Digital Equipment Corporation | Method of making recording heads with side shields |
| US5095397A (en) * | 1989-08-04 | 1992-03-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Thin film magnetic head of embodied recording and reproducing transducer type |
| JPH0383213A (ja) * | 1989-08-24 | 1991-04-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜磁気ヘッド |
| US5025342A (en) * | 1989-08-24 | 1991-06-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Thin-film magnetic head device for recording and reproducing |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0630130B2 (ja) | 1994-04-20 |
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