JPH05101336A

JPH05101336A - 磁気ヘツド装置

Info

Publication number: JPH05101336A
Application number: JP29246391A
Authority: JP
Inventors: Hiroyoshi Itoga; 宏好糸雅; Hiroshi Yagi; 博志八木
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 1991-10-11
Filing date: 1991-10-11
Publication date: 1993-04-23

Abstract

(57)【要約】【構成】非磁性のスライダ１の空気流出端側に、薄膜
でコイルの半分（コイル用パターン２）を形成し、その
上に第１絶縁層３及び磁性薄膜部４を形成する。そし
て、前記磁性薄膜部４上に第２絶縁層５を形成した後、
残りの半分のコイルをボンディングマシンを用いて例え
ば金線７で形成する。これにより、磁性薄膜部４の周囲
に実質的にコイルが巻回されたことになる。その後、前
記磁性薄膜部４の下部にギャップ層６を形成し、該ギャ
ップ層６及び前記磁性薄膜部４の上部をヘッドコア８で
連結する。【効果】コイル部を自動化技術を用いて構成すること
ができるので、コイルを手巻きする必要がなく、当該磁
気ヘッド装置の製造が容易である。またヘッドコアの断
面積が大きいので、当該磁気ヘッド装置の磁気抵抗が従
来の薄膜ヘッドに比較して小さくなり、感度が上昇す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は磁気ヘッド装置に関する
ものであり、特に製造が容易でかつ高感度な磁気ヘッド
装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】電算機等の磁気記録再生装置に用いられ
る磁気ヘッド装置は、従来より種々提案されているが、
コイル及びコアの製造方法の観点からは、ヘッドコアに
機械的にコイルを巻回する方式（機械的磁気ヘッド装
置）と、薄膜によりコイル及びコアを形成する方式（薄
膜磁気ヘッド装置）とに分類できる。

【０００３】機械的磁気ヘッド装置は、例えばフェライ
ト等の磁性材料により成型されたスライダの空気流出端
側（以下、後部という）にＣ字型のヘッドコアを取り付
け、該コアにコイルを巻回するものである。また薄膜磁
気ヘッド装置は、例えば非磁性材料のスライダの後部
に、薄膜製造技術を用いて、薄膜ヘッドを形成するもの
である。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記した機械的ヘッド
では、磁気抵抗が小さく高感度であるが、ヘッドコアに
コイルを巻回しなければならない。このコイルの巻回に
は極めて精密技術を要し、現状では、人手に頼らなけれ
ばならない。このために、当該機械的ヘッドの歩留まり
が悪く、その製造が面倒である。

【０００５】一方、薄膜ヘッドでは、その製造中に人手
に頼らざるを得ない工程はあまりなく、製造は容易であ
るが、磁気抵抗が大きいので低感度である。

【０００６】本発明は、前述の問題点を解決するために
なされたものであり、その目的は、製造が容易でかつ高
感度の磁気ヘッド装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前記の問題点を解決する
ために、本発明は、非磁性スライダの後部に、薄膜又は
線材でコイルの半分を形成し、その上に第１絶縁層を介
して磁性薄膜部を形成した後、該磁性薄膜部上に、第２
絶縁層を介して残りの半分のコイルを薄膜又は線材で形
成し、そして、前記磁性薄膜部の記録媒体対向面側（以
下、下部という）にギャップ層を形成した後、該ギャッ
プ層及び前記磁性薄膜部の記録媒体対向面側と反対側
（以下、上部という）をヘッドコアで連結するようにし
た点に特徴がある。

【０００８】

【作用】上記の構成によれば、コイル部を自動化技術を
用いて構成することができる。またヘッドコアの断面積
が大きいので、当該磁気ヘッド装置の磁気抵抗が小さく
なる。

【０００９】

【実施例】以下に図面を参照して、本発明を詳細に説明
する。図１は本発明の一実施例の要部拡大断面図であ
る。同図においては、スライダ１、並びにヘッドコア
８、高飽和磁束密度材８Ａ及び８Ｂは、断面では示され
ていない。同図において、符号１は非磁性のスライダ、
符号２はコイル用パターン、符号３は第１絶縁層、符号
４は磁性薄膜部、符号５は第２絶縁層、符号６はギャッ
プ層、符号７は金線、符号８はヘッドコアである。符号
８Ａ及び８Ｂは高飽和磁束密度材である。

【００１０】以上の構造を有する本発明の一実施例の製
造手順を図２ないし図７を用いて説明する。まず図２に
おいて、非磁性材料により形成されたスライダ１は、そ
の記録媒体対向面（以下、底面という）に複数のレール
１Ａを備えていて、その走行方向Ｆの下流側端部、すな
わちその後部にヘッド形成位置１Ｂが設定される。な
お、図２においては、スライダ１の走行方向Ｆ上流側端
部底面に形成されるテーパ部は省略されている。

【００１１】次に前記ヘッド形成位置１Ｂ上に、図３に
示されるように、コイル用パターン２を形成する。この
コイル用パターン２は複数のストリップラインであり、
各ラインの両端には幅広の端子部２Ａが設けられる。前
記コイル用パターン２の形成は、具体的には、前記パタ
ーン形成位置に１〜２［μｍ］厚の銅箔をスパッタ又は
メッキ等で形成し、その上にフォトレジスト等でパター
ンを形成し、そしてエッチングを施すことにより行われ
ることができる。

【００１２】なお、端子部２Ａに相当する部分のみをエ
ッチングで形成し、左右の端子部２ＡをＩＣ作成機であ
るボンディングマシンを用いて金線、アルミニウム線等
で接続し、実質的に図３と同様のパターンを形成しても
良い。前記線材の線径は、例えば１０［μｍ］である。

【００１３】コイル用パターン２が形成されたならば、
図４に示されるように、前記コイル用パターン２上に、
端子部２Ａを残すようにして、ＳｉＯ₂又はガラス等の
スパッタで第１絶縁層３を形成する。膜厚は１〜２［μ
ｍ］が望ましい。

【００１４】次に図５に示されるように、前記第１絶縁
層３上にセンダストあるいはパーマロイ等をスパッタあ
るいはメッキして、磁性薄膜部４を形成する。膜厚は１
［μｍ］以上、望ましくは２〜８［μｍ］である。図５
においては、磁性薄膜部４は、その上部及び下部がスラ
イダ１に直接接触するように、前記コイル用パターン２
のストリップラインと垂直な方向に、前記第１絶縁層３
よりも突出するように行われているが、第１絶縁層３が
縦方向に比較的長く形成されていれば、磁性薄膜部４の
上部及び下部はスライダ１に直接接触しなくても良い。

【００１５】なお、前記磁性薄膜部４の下部端はスライ
ダ１の底面と一致しており、トラック幅を制御するため
に、幅狭に形成されている。

【００１６】次に、図６に示されるように、磁性薄膜部
４の下部にギャップ層６を形成する。このギャップ層６
は、ＳｉＯ₂又はガラス等のスパッタで１［μｍ］以
下、望ましくは０．３〜０．６［μｍ］の厚みで形成さ
れる。このギャップ層６は、樹脂で形成されても良い。

【００１７】また磁性薄膜部４の、コイル用パターン２
に対応する部分に、第２絶縁層５を形成する。この第２
絶縁層５は、第１絶縁層３と同様にＳｉＯ₂又はガラス
等のスパッタで例えば１〜２［μｍ］程度の膜厚で形成
され、かつ磁性薄膜部４の上部４Ｂ及びギャップ層６が
露出するように行われる。なおこの例では、第２絶縁層
５は、符号４Ｃで示された、磁性薄膜部４の、ギャップ
層６の形成部上部が露出するように形成されているが、
この露出部が形成されないように、すなわちギャップ層
６の上端部から第２絶縁層５を形成しても良い。

【００１８】次に、左右の端子部２Ａを、ボンディング
マシンを用いて、例えば１０［μｍ］径の金線７で順次
接続する。この接続により、磁性薄膜部４の周囲に実質
的にコイルが巻回されたことになる。なお、金線を用い
る代わりにアルミニウム線を用いても良く、また金線、
アルミニウム線等の導線を用いて接続する代りに、コイ
ル用パターン２と同様の手法により、薄膜で左右の端子
部２Ａを接続しても良い。

【００１９】なお、前記金線７は、表面絶縁が施されて
いるものであれば密着巻きもできる。この絶縁被覆線
は、高圧電流によりカットされるので、先端部は剥離状
態となっており、ボンディングに都合が良い。

【００２０】その後、図７に示されたような、フェライ
ト等の磁性材料により形成されたＣ字状のヘッドコア８
を、前記磁性薄膜部４の上部４Ｂ及びギャップ層６に溶
着する。ここで、ヘッドコア８の溶着面に高飽和磁束密
度材８Ａ及び８Ｂを形成しておくと、いわゆるＭＩＧ
（ＭｅｔａｌＩｎＧａｐ）ヘッドとなり、当該磁気
ヘッド装置の特性は一段と向上する。なお、前記高飽和
磁束密度材は、符号８Ａで示されるヘッドコア８の下部
溶着面のみに形成されるだけで良い。

【００２１】このようにして、図１に示したように、コ
イル用パターン２及び磁性薄膜部４より成るコイルが巻
回された磁性薄膜部４の上部及び下部がヘッドコア８に
より接続され、磁性薄膜部４及びヘッドコア８による磁
気的な閉回路が形成される。そして前記閉回路にはギャ
ップ層６が介在される。

【００２２】このようにして磁気ヘッド装置が完成する
が、この後、必要に応じて、スライダ１の底面を研磨し
て、ギャップ深さを調整し、またヘッドギャップ部のス
ライダレールをトラック幅に仕上げても良い。

【００２３】さて、図３に示されたように、コイル用パ
ターン２の両端には、幅広の端子部２Ａが形成されるも
のとしたが、該幅広部は、特に設けられなくても良い。

【００２４】また、ヘッドコア８を溶着する代りに、さ
らに別の絶縁層を第２絶縁層５の上部からギャップ層６
の上方にまで形成し、その後、磁性薄膜部４の上端４Ｂ
からギャップ層６の下部にまで、他の金属磁性膜を形成
しても良い。

【００２５】また、図２に示されたように、スライダ１
にはレール１Ａが２本設けられているが、本発明は、３
本のレールを有するスライダに適用されても良いことは
当然である。

【００２６】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、コイル部を自動化技術を用いて構成すること
ができるので、コイルを手巻きする必要がなく、当該磁
気ヘッド装置の製造が容易であり、またヘッドコアの断
面積が大きいので、当該磁気ヘッド装置の磁気抵抗が従
来の薄膜ヘッドに比較して小さくなり、感度が上昇す
る。すなわち、従来の機械的磁気ヘッド装置及び薄膜磁
気ヘッド装置双方の利点を兼ね備えることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の要部拡大断面図である。

【図２】スライダの斜視図である。

【図３】コイル用パターンを示す図である。

【図４】コイル用パターン上に第１絶縁層が形成され
た様子を示す図である。

【図５】第１絶縁層上に磁性薄膜部が形成された様子
を示す図である。

【図６】磁性薄膜部上に第２絶縁層及びギャップ層を
形成し、コイル用パターン両端を金線を用いて接続した
様子を示す図である。

【図７】ヘッドコアの側面図である。

【符号の説明】

１…スライダ、１Ｂ…ヘッド形成位置、２…コイル用パ
ターン、２Ａ…端子部、３…第１絶縁層、４…磁性薄膜
部、５…第２絶縁層、６…ギャップ層、７…金線、８…
ヘッドコア、８Ａ，８Ｂ…高飽和磁束密度材

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】非磁性材で形成された空気浮上型磁気ヘ
ッドスライダと、前記スライダの空気流出端側に導電性薄膜で形成された
複数本のコイル用パターンと、前記各コイル用パターンの両端部を残すように、該コイ
ル用パターン上に形成された第１絶縁層と、前記第１絶縁層上に形成された磁性薄膜部と、前記磁性薄膜部の下端部上に形成されたギャップ層と、少なくとも前記各コイル用パターンの両端部間に位置す
る前記磁性薄膜部を覆うように、かつ少なくとも前記磁
性薄膜部の上端部、及び前記ギャップ層を露出するよう
に、前記磁性薄膜部上に形成された第２絶縁層と、前記各コイル用パターンのうちの、それぞれ隣接するも
の同士の左端及び右端を前記第２絶縁層上において接続
し、前記各コイル用パターンと共に、前記磁性薄膜部に
実質的にコイルを巻回する導電性接続手段と、前記磁性薄膜部の上端部、及び前記ギャップ層に接続さ
れたヘッドコアとを具備したことを特徴とする磁気ヘッ
ド装置。
【請求項２】非磁性で形成された空気浮上型磁気ヘッ
ドスライダと、前記スライダの空気流出端側に、導電性薄膜で、所定の
間隔をおいて左右２列に複数個形成された端子部と、前記端子部のうちの、それぞれ左右に対応するもの同士
を接続し、複数本のコイル用パターンを構成する複数本
のコイル用導電性線材と、前記各コイル用パターンの両端部を残すように、該コイ
ル用パターン上に形成された第１絶縁層と、前記第１絶縁層上に形成された磁性薄膜部と、前記磁性薄膜部の下端部上に形成されたギャップ層と、少なくとも前記各コイル用パターンの両端部間に位置す
る前記磁性薄膜部を覆うように、かつ少なくとも前記磁
性薄膜部の上端部、及び前記ギャップ層を露出するよう
に、前記磁性薄膜部上に形成された第２絶縁層と、前記各コイル用パターンのうちの、それぞれ隣接するも
の同士の左端及び右端を前記第２絶縁層上において接続
し、前記各コイル用パターンと共に、前記磁性薄膜部に
実質的にコイルを巻回する導電性接続手段と、前記磁性薄膜部の上端部、及び前記ギャップ層に接続さ
れたヘッドコアとを具備したことを特徴とする磁気ヘッ
ド装置。
【請求項３】前記導電性接続手段は、導電性の線材で
あることを特徴とする請求項１又は２記載の磁気ヘッド
装置。
【請求項４】前記導電性接続手段は、導電性薄膜で形
成されたことを特徴とする請求項１又は２記載の磁気ヘ
ッド装置。