KR100667733B1

KR100667733B1 - 광자기 기록재생용 광자기헤드 및 그 제조방법

Info

Publication number: KR100667733B1
Application number: KR1019990047510A
Authority: KR
Inventors: 정영민; 백계동; 연철성; 이호철
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 1999-10-29
Filing date: 1999-10-29
Publication date: 2007-01-11
Also published as: KR20010039210A

Abstract

광자기 기록재생용 광자기헤드 및 그 제조방법이 개시된다. 공기동압에 의해 부상된 채로 광자기 기록매체 상에서 움직이는 슬라이더를 구비하며 자계변조를 통해 정보를 기록하고 광학식으로 정보를 재생하기 위한 광자기 기록재생용 광자기헤드에 있어서, 상기 광자기 기록매체에 대면되는 상기 슬라이더의 일면에 나선형 구조로 적층된 코일층과, 상기 코일층을 덮어서 보호하며 그 코일층의 인접한 부위들 사이를 전기적으로 절연시키는 절연층을 포함하는 코일부; 및 상기 광자기 기록매체에 대면되는 상기 슬라이더의 일면에 금속이 다수회 적층되어 형성된 적어도 두개의 에어베어링;을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 슬라이더 상에 코일부와 에어베어링이 박막으로 형성되어 있으므로 광자기 기록재생용 광자기헤드의 절대적인 두께를 줄일 수 있으며, 광자기 기록매체와의 접근거리를 작게함으로써, 근접광학계를 실현할 수 있게 되어 고밀도 기록 및 재생을 할 수 있다.

Description

광자기 기록재생용 광자기헤드 및 그 제조방법{Magneto-optical head for magneto-optical recording and reading and method for manufacturing thereof}

도 1은 일반적인 광자기 기록재생장치를 보인 개략적인 평면도,

도 2는 종래의 광자기 기록재생용 광자기헤드의 단면도,

도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ선에서 바라본 저면도,

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 광자기 기록재생용 광자기헤드의 개략적인 측면도,

도 5는 도 4에 도시된 광자기헤드를 기록매체 대향면을 상향으로 하여 나타내 보인 사시도,

도 6은 도 5에 나타낸 코일부의 코일층을 분리하여 나타내 보인 사시도,

도 7a 내지 도 7f 각각은 도 4에 도시된 광자기헤드의 제조공정을 설명하기 위해 나타낸 도면,

도 8a 내지 도 8n 각각은 도 4에 도시된 광자기헤드의 코일부 제조공정을 설명하기 위해 나타낸 도면,

도 9a 내지 도 9e 각각은 도 4에 도시된 광자기헤드의 에어베어링 제조공정을 설명하기 위해 나타낸 도면.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1...기록매체 100...광자기헤드

110...슬라이더 111...기판

120...접점 121...관통홀

130...도선 140...에어 베어링

150...렌즈 200...코일부

210...보호층 220...제1기반층

230...제1절연층 240...제1코일층

260...제2절연층 270...제2코일층

본 발명은 광자기 기록재생용 광자기헤드에 관한 것으로, 보다 상세하게는 특히 고밀도 기록용으로 적합하도록 구조가 개선된 광자기 기록재생용 광자기헤드 및 그 제조방법에 관한 것이다.

일반적으로, 광자기 기록재생장치는 레이저 광원으로부터 출사된 광이 집속되어 큐리온도 이상이 되어 자기적인 성질을 잃게된 광자기 기록매체에 대해 자계변조를 통해 정보를 기록하고 기록된 정보를 재생한다.

도 1을 참조하면, 일반적인 광자기 기록재생장치는 베이스(10)에 대해 왕복 회전 가능하게 설치된 스윙암(21)과, 상기 스윙암(21)에 회전 구동력을 제공하는 액튜에이터(23)와, 공기동압에 의해 광자기 기록매체(1)에 대해 부상된 채로 광자 기 기록매체(1)의 트랙을 스캔하면서 정보를 기록/재생하도록 슬라이더(25)와 렌즈(31)을 가지는 광자기헤드(30)를 포함하여 구성된다.

도 2 및 도 3를 참조하면, 종래의 광자기 기록재생용 광자기헤드(30)는 상기 스윙암(21; 도 1 참조)의 단부에 설치된 슬라이더(25)와, 이 슬라이더(25)에 설치되어 입사된 레이저광을 광자기 기록매체(1)에 광스폿을 형성하는 렌즈(31)와, 이 렌즈(31)와 광자기 기록매체(1) 사이에 위치되도록 상기 슬라이드(25)의 일측에 수평방향으로 설치된 한 쌍의 마그네틱 폴(33)(35)과, 상기 한 쌍의 마그네틱 폴(33)(35) 각각에 감긴 자계변조용 제1 및 제2코일(37)(39)을 포함한다. 여기서, 상기 마그네틱 폴(33)(35)은 상기 렌즈(31)를 통해 집속된 광이 통과할 수 있도록 상호 이격되게 배치되어 있으며, 상기 마그네틱 폴(33)(35)에 감긴 제1 및 제2코일(37)(39)은 서로 반대방향으로 감겨있다. 따라서, 상기 제1 및 제2코일(37)(39)에 인가된 전류의 방향에 따라 형성되는 수평자계에 의해 광자기 기록매체(1)에 정보를 기록한다.

이와 같은 구조의 광자기헤드(30)는 렌즈(31)의 하단부에 수평한 방향으로 설치된 마그네틱 폴(33)(35)에 제1 및 제2코일(37)(39)을 권선한 구조를 가짐으로 크기를 소형화하는데 한계가 있고, 수평자계에 의한 기록에 의해 기록밀도의 효율과 근접장 기록의 성능이 저하되는 문제점이 있다. 또한, 제1 및 제2코일(37)(39)을 마그네틱 폴(33)(35)에 권선해야 함으로 조립성 및 비용, 수율 저하 등으로 의한 양산성이 떨어진다는 단점이 있다.

본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 감안하여 안출된 것으로서, 광자기 기록재생용 광자기헤드의 코일부와 에어베어링를 반도체공정으로 형성함으로써, 박형화가 가능하며, 조립공정이 단순화되어 제조원가가 절감될 수 있는 광자기 기록재생용 광자기헤드 및 그 제조방법을 제공하는데 목적이 있다.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 공기동압에 의해 부상된 채로 광자기 기록매체 상에서 움직이는 슬라이더를 구비하며 자계변조를 통해 정보를 기록하고 광학식으로 정보를 재생하기 위한 광자기 기록재생용 광자기헤드에 있어서, 상기 광자기 기록매체에 대면되는 상기 슬라이더의 일면에 나선형 구조로 적층된 코일층과, 상기 코일층을 덮어서 보호하며 그 코일층의 인접한 부위들 사이를 전기적으로 절연시키는 절연층을 포함하는 코일부; 및 상기 광자기 기록매체에 대면되는 상기 슬라이더의 일면에 금속이 다수회 적층되어 형성된 적어도 두개의 에어베어링; 을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 광자기 기록재생용 광자기헤드 제조방법은 공기동압에 의해 부상된 채로 광자기 기록매체 상에서 움직이면서 자계변조를 통해 정보를 기록하고 광학식으로 정보를 재생하기 위한 광자기 기록재생용 광자기헤드의 제조방법에 있어서, 유리재질로 된 기판을 마련하는 공정; 상기 기판에 펑면상에서 나선형으로 감기는 형상의 코일층과, 그 코일층을 덮는 절연층을 구비하는 코일부를 형성하는 공정; 상기 기판에 에어베어링을 형성하는 공정; 및 상기 기판을 절단하는 공정;을 포함하는 것을 특징으로 한다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.

도 4 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 광자기 기록재생용 광자기헤드(100)는 슬라이더(110), 에어베어링(140), 코일부(200)를 포함하여 구성된다.

상기 슬라이더(110)는 대략 직육면체 형상으로 되어 있으며, 유리와 같이 투과성이 우수한 기판이 절단되어 사용되어진다. 한편, 상기 슬라이더(110)에는 접점(120)과 도선(130) 및 렌즈(150)가 설치된다.

상기 접점(120)은, 상기 슬라이더(110)의 일단에 구리(Cu)와 같이 도전성이 우수한 재질의 금속으로 형성된다. 상기 도선(130)은 상기 접점(120)과 전기적으로 연결되어 있으며, 금(Au)과 같이 전기적인 전도성이 우수한 재질의 금속이 적층됨으로써 형성된다. 그리고, 상기 렌즈(150)는 상기 기록매체(1)와 마주하는 상기 슬라이더(110)의 반대편에 설치되며, 근접장 기록시 레이저 등의 입사광을 광자기 기록매체(1)에 집속시켜 광스폿이 형성되도록 한다.

상기 에어베어링(140)은 상기 기록매체(1)에 대면되는 상기 슬라이더(110)의 일면에 형성되며, 기록매체(1)가 고속으로 회전함에 따라 상기 광자기 기록재생용 광자기헤드(100)가 기록매체(1)에 대해 부상할 수 있도록 공기압을 발생시키는 역할을 한다. 이 에어베어링(140)에는 기록매체(1)에 대해 경사진 경사면(141)과 기록매체(1)에 대해 나란한 수평면(142)이 형성되어 있다. 그리고, 에어베어링(140)은 구리(Cu), 니켈(Ni)과 같이 단단한 금속재질 중에서 선택된 어느 하나의 재질로 이루어진다.

상기 코일부(200)는 상기 기록매체(1)에 대면되는 상기 슬라이더 (110)의 일면에 형성되는 것으로서, 도 6에 도시된 바와 같이 평면상에서 나선형으로 감겨서 박막 형상을 가지는 2개의 코일층(240)(270)과, 상기 코일층(240)(270) 사이에 개재되어 각 코일층(240)(270)을 전기적으로 절연시키는 절연층(230)(260)을 포함한다. 상기 코일층(240)(270)은 도전성이 양호한 구리(Cu)로 이루어지는 것이 바람직하다.

상기 절연층(230)(260)은 상기 제1 및 제2코일층(240)(270) 자체의 전기적 절연과 상기 제1층코일(240)과 제2층코일(270) 사이의 전기적 절연을 위하여 마련된 것으로, 이 절연층(230)(260)은 예를 들어, 폴리이미드(PI;polyimide) 또는 폴리카보네이트(PC;polycarbonate) 등과 같이 빛의 투과성이 좋고 유리보다 굴절률이 높거나 같으며 내구성 및 내열성이 우수한 재질로 된 것이 바람직하다.

도 6에 도시된 바와 같이, 제1코일층(240)은 코일의 외측 단부에 형성된 제1단자(241)와, 내측에 위치된 제2단자(242)을 가진다. 상기 제1단자(241)은 도선(130)과 전기적으로 연결되며, 상기 제2단자(242)는 제1수직코일(245)를 통하여 상기 제1코일층(270)의 내측에 위치한 제3단자(271)와 연결된다.

그리고, 상기 제2코일층(270)은 제1코일층(240) 상에 상기 절연층(260; 도 4 참조)에 의해 전기적으로 절연된 상태로 적층되는 것으로, 평면상에서 나선형으로 감긴 구조를 가지며, 외측 단부에 제4단자(272)를 가진다. 이 제2코일층(270)의 제4단자(272)는 상기 도선(130)으로부터 연장되어 형성된 제2수직코일(246)과 전기 적으로 연결된다.

이러한 광자기헤드(100)도, 종래의 광자기헤드와 마찬가지의 기능을 수행한다. 즉, 레이저광원(미도시)으로부터 출사되어 광이 상기 렌즈(150)에 의해 집속되어 큐리온도 이상이 되어 자기적인 성질을 잃게 된 광자기 기록매체(1)에 상기 코일부(200)에 의한 자계변조를 통해 정보를 기록하고 기록된 정보를 재생한다.

이하, 상기한 바와 같이 구성된 본 발명의 실시예에 따른 광자기 기록재생용 광자기헤드의 제조방법의 일례를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 7a 내지 도 7e에는 도 4에 도시된 광자기헤드의 제조공정의 일례가 도시되어 있다.

도 7a에 도시된 바와 같이, 유리로 된 기판(111) 상에 포토레지스트층(310)를 도포하고 노광 및 현상하여 복수의 관통홀(121)을 형성한다. 다음에, 도 7b에 도시된 바와 같이 상기 관통홀(121)에 구리(Cu)를 충전하여 접점(120)을 형성한 후 상기 포토레지스트층(310)을 제거한다.

이어서, 도 7c에 도시된 바와 같이 상기 접점(120)의 양측으로 도선(130)을 형성한다. 이 도선(130)은 금(Au), 구리(Cu) 등과 같이 도전성이 우수한 재료가 박막형태로 증착된 것이다.

그리고, 도 7d에 도시된 바와 같이, 상기 도선(130)의 양단에 코일층과 절연층을 갖는 코일부(200)를 형성한다. 이때 상기 코일부(200)와 더블어 에어베어링(140)도 함께 형성하는 것이 바람직하다. 상기 코일부(200) 및 에어베어링(140)의 제조과정에 대해서는 뒤에서 상세히 설명하기로 한다.

그 후, 도 7e에 도시된 점선을 따라 절단하면 각각 상기 접점(120)과 도선(140), 에어베어링(140) 및 코일부(200)가 형성된 기판조각들이 생기며, 각 기판조각들은 도 5에 도시된 바와 같은 광자기 기록재생용 광자기헤드(100)가 된다.

상술한 바와 같은 방법에 의하면, 한장의 기판(111)에서 복수의 광자기 기록재생용 광자기헤드(100)가 제조됨으로써, 대량생산이 가능하게 되어 제조원가를 낮출 수 있다.

상술한 과정중에서 코일부(200)의 제조공정을 도 8a 내지 도 8n을 참조하여 보다 구체적으로 설명하면 다음과 같다.

우선, 도 8a에 도시된 바와 같이, 유리로 된 기판(111) 상에 절연성의 보호층(210)과 도전성의 제1기반층(220)을 형성한다. 상기 보호층(210)은 예를 들어, DLC(Diamond Like Carbon)를 화학기상증착(CVD;Chemical Vapor Deposition)방법으로 형성할 수 있으며, 상기 제1기반층(220)은 크롬-구리(Cr-Cu) 합금 또는 티타늄-구리(Ti-Cu) 합금 등의 전기 전도성이 우수한 물질을 진공증착하여 형성할 수 있다.

다음으로, 상기 제1기반층(220)위에 포토레지스트를 도포한다. 그 후 상기 제1코일층(240; 도 6 참조)의 형상에 대응된 패턴을 가지는 마스크(미도시)를 사용하여 상기 포토레지스트를 노광 및 현상하여 도 8b에 도시된 바와 같은 포토레지스트층(320)을 형성한다. 이 포토레지스트층(320)은 상기 마스크에 대응되는 패턴을 가진다.

이어서, 상기 포토레지스트층(320)을 통해 노출된 부위의 제1기반층(220)을 도 8c에 도시된 바와 같이 식각하여 제거한다. 이와 같이하면 제1기반층(220)은 상기 제1코일층(240)과 동일한 패턴을 가지게 된다.

그 후, 제1기반층(220) 위에 남은 포토레지스트층(320)을 제거하고, 도 8d에 도시된 바와 같이 기판(111) 위에 폴리이미드(PI;polyimide)층을 도포하여 제1절연층(230)을 형성한다. 이 폴리이미드의 적층방법은 먼저 액상인 폴리아미액시드 (PAA;polyamiacide)를 기판상에 도포한 후 열처리하면 폴리아미액시드 내부의 솔벤트(solvent)는 증발하고 축합반응에 의하여 물이 제거되면서 내구성이 우수한 폴리이미드(PI)가 된다. 한편, 상기 절연층(230)의 다른 예로서는 광학특성이 좋은 폴리카보네이트(PC;polycarbonate)와 같은 폴리머(polymer) 재질을 솔벤트에 용융시켜 사용할 수도 있다.

이어서, 상기 제1절연층(230) 위에 포토레지스트를 적층한 후, 상기 제1코일층(240)과 동일한 패턴의 마스크(미도시)를 사용하여 포토레지스트를 노광 및 현상에 의해 제거하고, 그 제거된 부분을 통해 노출되는 제1절연층(230)을 건식 식각으로 제거한다. 그리고, 도 8e에 도시된 바와 같이 제1기반층(220)을 노출시킨다.

그 후, 상기 노출된 제1절연층(230)에 도 8f에 도시된 바와 같이 제1코일층(240)을 적층한다. 여기서, 상기 제1코일층(240)은 구리(Cu)를 스퍼터링(sputtering)방법으로 증착하여 형성하는 것이 바람직하다.

다음으로, 도 8g에 도시된 바와 같이 상기 제1절연층(230)과 제1코일층(240)의 상면에 상기 제1코일층(240)과 후술하는 제2코일층(270) 사이의 전기적인 절연을 위하여 다시 폴리이미드(231)를 적층한 후, 상기 제1코일층(240)의 제2단자(242) 및 후술하는 제2코일층(270)의 제4단자(271)가 도선(130)과 전기적으로 연결될 수 있도록 제1수직코일(245)을 상술한 바와 같은 반도체공정으로 형성한다. 또한, 후술하는 제2코일층(270)의 제4단자(272)와 상기 도선(130)이 전기적으로 연결되도록 제2수직코일(246)도 함께 형성한다.

다음에, 도 8h에 도시된 바와 같이 제2기반층(250)과 포토레지스트층(330)을 형성한다. 여기서, 상기 제2기반층(250)의 재질은 앞서 설명된 제1기반층(220)의 재질과 같이 크롬-구리(Cr-Cu) 합금 또는 티타늄-구리(Ti-Cu) 중에 선택된 합금이 사용되는 것이 바람직하다.

이어서, 상술한 바와 마찬가지의 방법을 사용하여 도 8i에 도시된 바와 같이, 제2층코일(270)의 형상에 대응되게 상기 포토레지스트층(330)을 노광하여 패터닝하고, 도 8j에 도시된 바와 같이 그 포토레지스트층(330)을 통해 노출된 부위의 제2기반층(250)을 식각하여 제거한다.

다음에, 도 8j에 도시된 바와 같이 상기 노광되어 제거된 포토레지스트층(330)과 식각되어 제거된 제2기반층(250) 위에 도 8k에 도시된 바와 같이, 제2절연층(260)을 형성한다. 이 제2절연층(260)의 재질로는 상기 제1절연층(230)과 마찬가지로 폴리이미드를 사용하는 것이 바람직하다.

이어서, 상기 제2절연층(260)을 포토레지스트(미도시)와 마스크(미도시)를 이용하여 8l에 도시된 바와 같이, 패터닝한 후 도 8m에 도시된 바와 같이, 상기 제2절연층(260)이 제거된 영역에 소정 선폭의 나선형 구조를 갖는 제2코일층(270)을 적층한다. 여기서, 상기 코일층(270)은 구리(Cu)를 스퍼터링(sputtering)방법으 로 증착하여 형성하는 것이 바람직하다.

다음으로, 도 8n에 도시된 바와 같이 상기 제2절연층(260)과 제2코일층(270)의 상면에 폴리이미드(261)를 도포하여 2층구조의 코일부(200)을 완성한다.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 에어베어링(140)의 형성공정을 도 9a내지 도 9e를 참조하여 구체적으로 설명하면 다음과 같다.

먼저, 유리로된 기판(111)에 포토레지스트를 도포한 후 에어베어링(140; 도 5 참조)이 형성될 부위를 노광시켜 도 9a에 도시된 바와 같은 패턴의 포토레지스트층(340)을 형성한다. 그리고, 도 9b에 도시된 바와 같이 노광된 부위에 구리(Cu) 또는 니켈(Ni) 등과 같이 경도가 큰 금속을 적층하여 에어베어링(140)의 제1금속층(143)을 형성한 후 그 포토레지스트층(340)을 제거한다.

이어서, 도 9c에 도시된 바와 같이 상기 제1금속층(143) 위에 포토레지스트를 적층한 후 상기 제1금속층(143)보다 면적이 작게 노광하여 제거한 포토레지스트층(350)을 형성한다. 이것은 상기 에어베어링(140)을 적층하여 제조함므로써 에어베어링의 경사면(141)을 형성하기 위해서 상기 기판(111)으로부터 멀어지는 방향으로 적층되는 금속층의 면적을 작게하여 상기 경사면(141;도 5 참조)과 같은 구조를 가지게 하기 위함이다. 그리고, 도 9d에 도시된 바와 같이 상기 노광된 부위에 제2금속층(144)을 적층한 후, 상기 포토레지스트층(350)을 제거한다.

상기 제1금속층(143) 및 제2금속층(144)이 형성된 것과 같이 반복하여 복수의 증착공정(미도시)으로 금속을 적층하면 도 9e에 도시된 바와 같이, 경사면(141)과 수평면(142)을 가지는 에어베어링(140)이 형성된다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따르면 코일부(200) 및 에어베어링(140)의 제조과정은 일련의 반도체 공정에 의해서 자동으로 이루어지므로 작업자의 조립공정 등이 필요하지 않게 되므로 제조원가를 낮출 수 있는 장점이 있다.

본원 발명에서는 코일부의 코일층을 2개층으로 제조하는 것을 예시하였으나, 상기 코일부의 코일층을 1개층 또는 3개층 이상으로 적층할 수 있으며, 또한 상기 에어베어링을 상기 코일부가 적층될 때 함께 형성하는 것을 예시하였으나, 상기 코일부를 형성한후 별도로 에어베어링을 형성할 수도 있다.

상기한 바와 같이, 구성된 본 발명에 따른 광자기 기록재생용 광자기헤드 및 그 제조방법에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.

슬라이더 상에 코일부와 에어베어링이 박막으로 형성되어 있으므로 광자기 기록재생용 광자기헤드의 절대적인 두께를 줄일 수 있으며, 광자기 기록매체와의 접근거리를 작게함으로써, 근접광학계를 실현할 수 있게 되어 고밀도 기록 및 재생을 할 수 있다.

또한, 코일부 및 에어베어링을 반도체 공정으로 제조함으로써 조립공정을 단순화할 수 있으며, 하나의 기판에서 많은 양의 광자기 기록재생용 광자기헤드를 제조함으로써 대량생산이 가능하게 되어 제조원가를 줄일 수 있는 효과가 있다.

Claims

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공기동압에 의해 부상된 채로 광자기 기록매체 상에서 움직이면서 자계변조를 통해 정보를 기록하고 광학식으로 정보를 재생하기 위한 광자기 기록재생용 광자기헤드의 제조방법에 있어서,

유리재질로 된 기판을 마련하는 공정;

상기 기판에 펑면상에서 나선형으로 감기는 형상의 코일층과, 그 코일층을 덮는 절연층을 구비하는 코일부를 형성하는 공정;

상기 기판에 에어베어링을 형성하는 공정; 및

상기 기판을 절단하는 공정;을 포함하는 것을 특징으로 하는 광자기 기록재생용 광자기헤드의 제조방법.
제9항에 있어서,

상기 코일부를 형성하는 공정은

상기 기판상에 보호층과 기반층을 형성하는 단계;

상기 기반층 위에 나선패턴의 포토레지스트층을 형성하는 단계;

상기 나선패턴의 포토레지스트층에 의해 외부로 노출되는 부분의 기반층을 식각하여 그 기반층을 나선형으로 만드는 단계;

상기 나선형 기반층상에 금속을 적층시켜서 상기 나선형의 코일층을 형성하는 단계; 및

상기 코일층 위에 상기 절연층을 형성하는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 광자기 기록재생용 광자기헤드의 제조방법.
제9항에 있어서,

상기 에어베어링은 상기 코일부가 형성되는 단계에서 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 광자기 기록재생용 광자기헤드의 제조방법.
제9항에 있어서, 상기 에어베어링을 형성하는 공정은

(a) 상기 기판에 포토레지스트를 도포하는 단계;

(b) 상기 포토레지스트가 도포된 기판에 에어베어링이 형성될 부위를 제외한 영역을 노광하여 제거하는 단계;

(c) 상기 노광된 부위에 금속을 적층하는 단계;

상기 (a), (b), (c) 단계를 반복하여 소정의 높이로 복수층의 금속을 적층하는 것을 특징으로 하는 광자기 기록재생용 광자기헤드의 제조방법.
제12항에 있어서,

상기 에어베어링의 금속층은 상기 슬라이더로부터 상방으로 가면서 그 면적이 작아지는 것을 특징으로 하는 광자기 기록재생용 광자기헤드의 제조방법.
제9항에 있어서,

상기 기판에 코일부를 형성하기 전에 기판에 포토레지스트를 도포한 후 복수의 관통홀을 뚫고, 이 관통홀에 도전성 금속을 적층하고, 상기 포토레지스트를 제 거하여 접점을 형성하는 단계를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 광자기 기록재생용 광자기헤드의 제조방법.
제14항에 있어서,

상기 접점 양측으로 상기 접점과 상기 코일부가 전기적으로 연결되도록 도선을 형성하는 단계를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 광자기 기록재생용 광자기헤드의 제조방법.