JPS5873011A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents
薄膜磁気ヘツドInfo
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- JPS5873011A JPS5873011A JP17099681A JP17099681A JPS5873011A JP S5873011 A JPS5873011 A JP S5873011A JP 17099681 A JP17099681 A JP 17099681A JP 17099681 A JP17099681 A JP 17099681A JP S5873011 A JPS5873011 A JP S5873011A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- head
- layer
- coil
- thin film
- Prior art date
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/313—Disposition of layers
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、磁気ディスク装置々どに使用される誘導型薄
膜磁気ヘッドに関する。
膜磁気ヘッドに関する。
従来の薄膜磁気ヘッドにおいては、第１図に示すように
、磁気コア部１Ａ、１Ｂを励磁する導体コイル部は、両
コア間にはさ壕れる渦巻状巻線１５〜１９のみであった
。１Ｃは非磁性基板、１Ｄは各巻線相互間およびそれら
と磁気コア部の間の絶縁層、１Ｅは保護膜である。一層
渦巻状構造のまま巻線数を増しても、巻線位置がギャッ
プ部より離れるにしたがい、コア自身の磁気抵抗が増大
するため、コア１人、１１３間での磁束漏洩が起こり、
多大な性能向上は期待できない。コア１Ａ、１Ｂ間には
さまれる巻線を多層構造とすれば、ヘッド性能は顕著に
向上するが、多層となるためプロセス上の歩留りが低下
するという欠点があったさらに、第１歯に示した様な構
造の薄膜ヘッドにおいては、巻線部がｉ層でも多層でも
磁性コア１Ａ、１１３間にはさまれない巻線部１０〜１
６で、磁気コアに吸込まれろ信号磁界以外の種々の磁界
を検知するため、ノイズが太きいという問題もあった。
、磁気コア部１Ａ、１Ｂを励磁する導体コイル部は、両
コア間にはさ壕れる渦巻状巻線１５〜１９のみであった
。１Ｃは非磁性基板、１Ｄは各巻線相互間およびそれら
と磁気コア部の間の絶縁層、１Ｅは保護膜である。一層
渦巻状構造のまま巻線数を増しても、巻線位置がギャッ
プ部より離れるにしたがい、コア自身の磁気抵抗が増大
するため、コア１人、１１３間での磁束漏洩が起こり、
多大な性能向上は期待できない。コア１Ａ、１Ｂ間には
さまれる巻線を多層構造とすれば、ヘッド性能は顕著に
向上するが、多層となるためプロセス上の歩留りが低下
するという欠点があったさらに、第１歯に示した様な構
造の薄膜ヘッドにおいては、巻線部がｉ層でも多層でも
磁性コア１Ａ、１１３間にはさまれない巻線部１０〜１
６で、磁気コアに吸込まれろ信号磁界以外の種々の磁界
を検知するため、ノイズが太きいという問題もあった。
１４は巻線部１０〜１６と巻線部１５〜１９の接続部を
示す。第１図、および以下の第２図、第４図、第５図の
平面図において、図を見易くするために、巻線部に斜線
が施されている。
示す。第１図、および以下の第２図、第４図、第５図の
平面図において、図を見易くするために、巻線部に斜線
が施されている。
本発明の目的は、上記問題点を解消するため、従来の薄
膜ヘッド形状、作製プロセスともあ壕り変更せず、なお
かつ実効的に磁気コアのみに巻線したことに相当する巻
線法を開発することにより、記録再生特性、出力ノイズ
比に優れた薄膜磁気へノドを、従来ヘッドと略同じ歩留
りで提供すイ）ことである。
膜ヘッド形状、作製プロセスともあ壕り変更せず、なお
かつ実効的に磁気コアのみに巻線したことに相当する巻
線法を開発することにより、記録再生特性、出力ノイズ
比に優れた薄膜磁気へノドを、従来ヘッドと略同じ歩留
りで提供すイ）ことである。
上記目的を達成するために、冒頭に述べた種類の本発明
による薄膜ヘッドは上記磁性材料−Ｆにも少なくとも１
層渦巻状に巻線された導体コイルを有することを要旨と
する。
による薄膜ヘッドは上記磁性材料−Ｆにも少なくとも１
層渦巻状に巻線された導体コイルを有することを要旨と
する。
以下に図面を参照しながら実施例を用いて本発明を一層
詳しく説明するが、それらは例示に過ぎず、本発明の枠
を越えることなく、いろいろな改良や変形があり得るこ
とは勿論である。
詳しく説明するが、それらは例示に過ぎず、本発明の枠
を越えることなく、いろいろな改良や変形があり得るこ
とは勿論である。
実施例
第２図は、トラック幅Ｔｗ３０μｍ、ギャップ深さｇｄ
５μｍ、ギャップ長ｇ、０．５μｍとした場合の、本発
明による一実施例の薄膜磁気ヘッドの断面図および平面
図を示す。本薄膜磁気ヘッドは、例えば米国コーニング
社製フオトセラム（商品名）からなる非磁性基板２Ｃ上
にスパッタリング法で作製した膜厚路１．５μｍのＦｅ
−８２，５ｗｔ ５６ Ｎｉを上、下部磁性層２ ｔｑ
、２人とし、これを励磁する渦巻状のＡ４導体コイル２
０〜２３および２５同一形状の渦巻状コイル２０′〜２
６′および２５′〜２グとを５Ｉ０２やＡｌ２Ｏ３から
成る絶縁膜２Ｄを介して形成し、全体の上に同様にＳ
ｉ ０２やＡ１２０６から成る保護膜２Ｅを設けて成る
ものである。Ａｌ導体の幅、厚さはそれぞれ磁気コア近
傍で略２０μｍ、１μｍ゛である。本ヘッドは、第１図
に示した従来型ヘッドの上部Ａｌ配線１０′を渦巻状Ａ
ｌ配線２０′〜２３′、２５′〜２９′に変更して成る
ものであり、プロセス上、従来ヘッド作製法と差異はな
く、歩留りも全く同一であった。す々わち、本発明によ
る薄膜磁気へノドは、非磁性基板２Ｃの上に所定の磁性
材料をスパッタリング法でつけ、公知の写真蝕刻法で所
定の形状に形成し、５１０２ま。
５μｍ、ギャップ長ｇ、０．５μｍとした場合の、本発
明による一実施例の薄膜磁気ヘッドの断面図および平面
図を示す。本薄膜磁気ヘッドは、例えば米国コーニング
社製フオトセラム（商品名）からなる非磁性基板２Ｃ上
にスパッタリング法で作製した膜厚路１．５μｍのＦｅ
−８２，５ｗｔ ５６ Ｎｉを上、下部磁性層２ ｔｑ
、２人とし、これを励磁する渦巻状のＡ４導体コイル２
０〜２３および２５同一形状の渦巻状コイル２０′〜２
６′および２５′〜２グとを５Ｉ０２やＡｌ２Ｏ３から
成る絶縁膜２Ｄを介して形成し、全体の上に同様にＳ
ｉ ０２やＡ１２０６から成る保護膜２Ｅを設けて成る
ものである。Ａｌ導体の幅、厚さはそれぞれ磁気コア近
傍で略２０μｍ、１μｍ゛である。本ヘッドは、第１図
に示した従来型ヘッドの上部Ａｌ配線１０′を渦巻状Ａ
ｌ配線２０′〜２３′、２５′〜２９′に変更して成る
ものであり、プロセス上、従来ヘッド作製法と差異はな
く、歩留りも全く同一であった。す々わち、本発明によ
る薄膜磁気へノドは、非磁性基板２Ｃの上に所定の磁性
材料をスパッタリング法でつけ、公知の写真蝕刻法で所
定の形状に形成し、５１０２ま。
たはＡ１２０６のような絶縁材料をスパッタリング法で
つける。Ａ４を蒸着法でつけ、再び写真蝕刻法によって
所定の渦巻形状に成形する。再び絶縁材料をつけ、接続
部に開口をつけ、ギャップ長ｇｌを所定の長さに形成し
た後、その上に前と同様にして上部磁性および絶縁層を
はさんで上部導体を形成することによって得られる。
つける。Ａ４を蒸着法でつけ、再び写真蝕刻法によって
所定の渦巻形状に成形する。再び絶縁材料をつけ、接続
部に開口をつけ、ギャップ長ｇｌを所定の長さに形成し
た後、その上に前と同様にして上部磁性および絶縁層を
はさんで上部導体を形成することによって得られる。
第６図には、従来型ヘッドと本発明によるヘッドの記録
再生特性をそれぞれ３１．６２として示す。記録波長は
１．４μｍである。本発明によるヘッドは、従来型に比
′べてより低い記録電流で飽和し、記録特性に優れてい
るのみならず、再生出力も高く、再生特性にも優れてい
る。さらに、本発明によるヘッドは、磁気コア部に近接
していない導体コイル部２０〜２３．２０′〜２３′で
そわぞれ記録再生電流の向きが逆であるため、従来型ヘ
ッドに比べてノイズが小さく、出力ノイズ比で１０チの
性能向上も認められた。々お、Ａｌ配線の幅を５μｍと
細くし、巻線数を８とした場合にも全く同様の結果が得
られた。
再生特性をそれぞれ３１．６２として示す。記録波長は
１．４μｍである。本発明によるヘッドは、従来型に比
′べてより低い記録電流で飽和し、記録特性に優れてい
るのみならず、再生出力も高く、再生特性にも優れてい
る。さらに、本発明によるヘッドは、磁気コア部に近接
していない導体コイル部２０〜２３．２０′〜２３′で
そわぞれ記録再生電流の向きが逆であるため、従来型ヘ
ッドに比べてノイズが小さく、出力ノイズ比で１０チの
性能向上も認められた。々お、Ａｌ配線の幅を５μｍと
細くし、巻線数を８とした場合にも全く同様の結果が得
られた。
第４図には、下部Ａｌ配線を３層渦巻型とした場合の実
施例を示す。こ＼で６層渦巻型配線は、第１図に示した
渦巻型配線および接続部１０〜１９に相当する巻線部４
０〜４６．４５〜４９と接続部４４のみで接続し、該巻
線と同一・方向に渦巻状となっている巻線４０′〜４３
′、４５′〜４９′と、これと接続部４Ｆのみで接続し
、前記４０〜４３．４５〜４９で示した巻線部と略同−
形状の巻線４０“〜４６“、４５“〜４９“とから成る
ものである。
施例を示す。こ＼で６層渦巻型配線は、第１図に示した
渦巻型配線および接続部１０〜１９に相当する巻線部４
０〜４６．４５〜４９と接続部４４のみで接続し、該巻
線と同一・方向に渦巻状となっている巻線４０′〜４３
′、４５′〜４９′と、これと接続部４Ｆのみで接続し
、前記４０〜４３．４５〜４９で示した巻線部と略同−
形状の巻線４０“〜４６“、４５“〜４９“とから成る
ものである。
本ヘッドはこの６層渦巻型薄膜磁気ヘッドを基本構造と
しく第２図に示したヘッドと同様に）、巻＠４０“〜４
６“、４５”〜４９“と接続部４４“でのみ接続し、前
記配ｍ４ｏ〜４６．４５〜４９と略同−形状の渦巻状巻
線４ＯＮ／〜４６″′、４５＃／〜４９″′とで磁気コ
ア４Ａ、４Ｂ部を励磁するものである。
しく第２図に示したヘッドと同様に）、巻＠４０“〜４
６“、４５”〜４９“と接続部４４“でのみ接続し、前
記配ｍ４ｏ〜４６．４５〜４９と略同−形状の渦巻状巻
線４ＯＮ／〜４６″′、４５＃／〜４９″′とで磁気コ
ア４Ａ、４Ｂ部を励磁するものである。
ＬＷ、 ｇｄ、’ｇｌはそれぞれ２０μｍ、 ｌａｍ、
０．３μｍであり、上、下部磁性層４Ｂ、４Ａは蒸着
法で作製したＦｅ −８２，Ｏｗｔ ％ Ｎｉで、先端
ギャップ部は略１μｍ、後部コア部は略２μｍ厚である
。
０．３μｍであり、上、下部磁性層４Ｂ、４Ａは蒸着
法で作製したＦｅ −８２，Ｏｗｔ ％ Ｎｉで、先端
ギャップ部は略１μｍ、後部コア部は略２μｍ厚である
。
４Ｃは非磁性基板、４Ｄは絶縁層、４Ｅは保護膜である
。本ヘッドは、第２図に示したヘッドとは異なり、後部
巻線部４０〜４３．４０′〜４３′、４０′〜４６“、
４０″′〜４３＃で外部ノイズに対して完全には打ち消
す効果がないため、従来型３層ヘッドに比べてノイズ特
性の向上は少ないが、略５％の性能向上が認められた。
。本ヘッドは、第２図に示したヘッドとは異なり、後部
巻線部４０〜４３．４０′〜４３′、４０′〜４６“、
４０″′〜４３＃で外部ノイズに対して完全には打ち消
す効果がないため、従来型３層ヘッドに比べてノイズ特
性の向上は少ないが、略５％の性能向上が認められた。
また、再生出力は従来型の１．２となった。
第２図、第４図に示した薄膜磁気ヘットにおいては、上
部配線は１層構造であったが、多層構造でもよい。第５
図に非磁性基板５Ｃ上に形成した場合の実施例を示す。
部配線は１層構造であったが、多層構造でもよい。第５
図に非磁性基板５Ｃ上に形成した場合の実施例を示す。
’Ｘｖｓ ｇｄ、ｇ、はそれそｔｒ１５７４１１１．２
７０１１．０．２μｍである。５０〜５３．５５〜５９
ばそれぞれ上部および下部磁性層５Ｉ３゜５Ａから成ろ
磁気コアにはさ捷れ、接続部５４のみで接続され、互に
同じ向きに巻線された２層高巻型巻線であり、５０′〜
５３′、５５′〜５９′は上部ｌ磁性層５Ｂ上に配線さ
れ、その一端が前記配線と接続部５■“でのみ接続し、
前記配線と逆向き′に渦巻状となっている配線と接続部
５４′で接続し、中心部から同−向きに渦巻状になって
いる２層巻線である。図中、５Ｄは絶縁層、５Ｉ・〕は
保護膜である。なお、上、下部磁性層はスパノタリ／ダ
法で作製したＦｅ−８１，５Ｗｉ係Ｎ１薄膜であり、膜
厚はギャップ先端部で略１μｍ、後部で略２７１ｍであ
る。本ヘットは、従来法による２層渦巻巻線型薄膜ヘッ
トに比べ、再生出力で１．４倍、出力ノイズ比で１０チ
の性能向」−が認められた。
７０１１．０．２μｍである。５０〜５３．５５〜５９
ばそれぞれ上部および下部磁性層５Ｉ３゜５Ａから成ろ
磁気コアにはさ捷れ、接続部５４のみで接続され、互に
同じ向きに巻線された２層高巻型巻線であり、５０′〜
５３′、５５′〜５９′は上部ｌ磁性層５Ｂ上に配線さ
れ、その一端が前記配線と接続部５■“でのみ接続し、
前記配線と逆向き′に渦巻状となっている配線と接続部
５４′で接続し、中心部から同−向きに渦巻状になって
いる２層巻線である。図中、５Ｄは絶縁層、５Ｉ・〕は
保護膜である。なお、上、下部磁性層はスパノタリ／ダ
法で作製したＦｅ−８１，５Ｗｉ係Ｎ１薄膜であり、膜
厚はギャップ先端部で略１μｍ、後部で略２７１ｍであ
る。本ヘットは、従来法による２層渦巻巻線型薄膜ヘッ
トに比べ、再生出力で１．４倍、出力ノイズ比で１０チ
の性能向」−が認められた。
なお本発明では非磁性基板を使用したが、Ｍｎ−Ｚｎフ
ェライト、Ｎｉ−Ｚｎフェライトなどの磁性基板を用い
れば、下部磁性層は省略して良く、また垂直磁気錘用ヘ
ッドとしては、非磁性基板を用い、々おかつ下部磁性層
を省略しても良い。さらに、前記Ｎｉ−Ｐｅ合金は、Ｆ
ｅ −ＡＩ −Ｓｉ合金、Ｆｅ ｓｉｏ−Ｂア７モル
フッ合金など高透磁率、高飽和磁束密度材料であれば良
く、配線用金属としてはＡ、ｌだけでなく、Ｃｕ、Ａｕ
、など他の金属でも良いことは言う壕でも々い。
ェライト、Ｎｉ−Ｚｎフェライトなどの磁性基板を用い
れば、下部磁性層は省略して良く、また垂直磁気錘用ヘ
ッドとしては、非磁性基板を用い、々おかつ下部磁性層
を省略しても良い。さらに、前記Ｎｉ−Ｐｅ合金は、Ｆ
ｅ −ＡＩ −Ｓｉ合金、Ｆｅ ｓｉｏ−Ｂア７モル
フッ合金など高透磁率、高飽和磁束密度材料であれば良
く、配線用金属としてはＡ、ｌだけでなく、Ｃｕ、Ａｕ
、など他の金属でも良いことは言う壕でも々い。
第１図は従来型の薄膜ヘッド断面図および平面図、第２
図は本発明による薄膜磁気ヘッドの断面図および平面図
、第６図は第１図、第２図に示した薄膜ヘッドの記録再
生特性を示す図、第４図、第５図は本発明による他の多
層巻線型薄膜ヘッドの断面図および平面図である。 １Ａ、ＩＢ、２Ａ、２Ｂ、４Ａ、、４１３．５Ａ１５Ｂ
・・・ 磁気コア部 １（゛、２Ｃ１４（゛、５Ｃ・・・非磁性基板１１）、
２ Ｄ、４丁）、５Ｄ・・・絶縁層１Ｅ、２Ｅ、４Ｅ、
５Ｅ・・・保護膜 １０〜１６、１５〜１９、２０浸２３、２５〜２９．２
０′〜２３′、２５′〜２９′、４０〜４３．４５〜４
９．４０’〜４６′、４５′〜４グ、４０″〜４３″、
４５″〜４９″、４０″′〜４３″、４５“′〜４９“
′、５０〜５６．５５〜５９．５０’〜５６′、５５′
〜５９ ・・・ 渦巻状巻線 １０′ ・・・ 」二部配線 １４．２４．２４′、４４．４４′、４４“、４Ｆ、５
４．５４′、５Ｆ ・・・ 接続部 ３１・従来のヘッドによる記録再生特性３２・・・本発
明のヘットによる記録再生特性代理人弁理士 中村純之
助 ′Ｉｆｐ１ 図 １’２図 ２Ａフ１２Ｂ 第１頁の続き ０発 明 者 品用合成 国分寺市東恋ケ窪−丁目２８０番 地株式会社日立製作所中央研究 所内 ０発 明 者 上坂保太部 国分寺市東恋ケ窪−丁目２８０番 地株式会社日立製作所中央研究 所内 ０発 明 者 前板登行 国分寺市東恋ケ窪−丁目２８０番 地株式会社日立製作所中央研究 所内 ０発 明 者 由比藤勇 国分寺市東恋ケ窪−丁目力番 地株式会社日立製作所中央研究 所内
図は本発明による薄膜磁気ヘッドの断面図および平面図
、第６図は第１図、第２図に示した薄膜ヘッドの記録再
生特性を示す図、第４図、第５図は本発明による他の多
層巻線型薄膜ヘッドの断面図および平面図である。 １Ａ、ＩＢ、２Ａ、２Ｂ、４Ａ、、４１３．５Ａ１５Ｂ
・・・ 磁気コア部 １（゛、２Ｃ１４（゛、５Ｃ・・・非磁性基板１１）、
２ Ｄ、４丁）、５Ｄ・・・絶縁層１Ｅ、２Ｅ、４Ｅ、
５Ｅ・・・保護膜 １０〜１６、１５〜１９、２０浸２３、２５〜２９．２
０′〜２３′、２５′〜２９′、４０〜４３．４５〜４
９．４０’〜４６′、４５′〜４グ、４０″〜４３″、
４５″〜４９″、４０″′〜４３″、４５“′〜４９“
′、５０〜５６．５５〜５９．５０’〜５６′、５５′
〜５９ ・・・ 渦巻状巻線 １０′ ・・・ 」二部配線 １４．２４．２４′、４４．４４′、４４“、４Ｆ、５
４．５４′、５Ｆ ・・・ 接続部 ３１・従来のヘッドによる記録再生特性３２・・・本発
明のヘットによる記録再生特性代理人弁理士 中村純之
助 ′Ｉｆｐ１ 図 １’２図 ２Ａフ１２Ｂ 第１頁の続き ０発 明 者 品用合成 国分寺市東恋ケ窪−丁目２８０番 地株式会社日立製作所中央研究 所内 ０発 明 者 上坂保太部 国分寺市東恋ケ窪−丁目２８０番 地株式会社日立製作所中央研究 所内 ０発 明 者 前板登行 国分寺市東恋ケ窪−丁目２８０番 地株式会社日立製作所中央研究 所内 ０発 明 者 由比藤勇 国分寺市東恋ケ窪−丁目力番 地株式会社日立製作所中央研究 所内
Claims (1)
- 磁気コアを形成するために上部および下部２層の磁性材
料の間に少なくとも１層渦巻状に巻線された導体コイル
を有する誘導型薄膜磁気ヘッドにおいて、上部磁性材料
上にも少なくとも１層渦巻状に巻線された導体コイルを
有することを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17099681A JPS5873011A (ja) | 1981-10-26 | 1981-10-26 | 薄膜磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17099681A JPS5873011A (ja) | 1981-10-26 | 1981-10-26 | 薄膜磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5873011A true JPS5873011A (ja) | 1983-05-02 |
Family
ID=15915178
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17099681A Pending JPS5873011A (ja) | 1981-10-26 | 1981-10-26 | 薄膜磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5873011A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0147003A1 (en) * | 1983-11-28 | 1985-07-03 | Ferix Corporation | Thin-film magnetic read/write head with multiple-layer coil |
| WO2001099112A3 (en) * | 2000-06-20 | 2002-07-11 | Seagate Technology Llc | Disc drive with layered write coil |
-
1981
- 1981-10-26 JP JP17099681A patent/JPS5873011A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0147003A1 (en) * | 1983-11-28 | 1985-07-03 | Ferix Corporation | Thin-film magnetic read/write head with multiple-layer coil |
| WO2001099112A3 (en) * | 2000-06-20 | 2002-07-11 | Seagate Technology Llc | Disc drive with layered write coil |
| GB2379793A (en) * | 2000-06-20 | 2003-03-19 | Seagate Technology Llc | Disc drive with layered write coil |
| US6654202B2 (en) | 2000-06-20 | 2003-11-25 | Seagate Technology Llc | Disc drive with layered write coil |
| GB2379793B (en) * | 2000-06-20 | 2004-03-17 | Seagate Technology Llc | Disc drive with layered write coil |
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