JP2769655B2

JP2769655B2 - 磁気ヘッド

Info

Publication number: JP2769655B2
Application number: JP7616792A
Authority: JP
Inventors: 昭夫高山; 友久鈴木; 卓司多々見; 哲司藤田; 章信佐野; 元二江川
Original assignee: Minebea Co Ltd
Current assignee: Minebea Co Ltd
Priority date: 1992-02-27
Filing date: 1992-02-27
Publication date: 1998-06-25
Anticipated expiration: 2013-06-25
Also published as: JPH05242447A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は磁気ヘッドの導体コイル
を薄膜導体コイルにすることにより、磁気ヘッドの記
録、再生特性を向上するとともに小型化への対応を可能
にした磁気ヘッドに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の磁気ヘッドは図20ないし図22に示
すように、レ−ル１を形成したスライダ２に磁気コア３
が設けられている。この磁気コア３は図21、22に示すよ
うに、Ｉ型コア４とコの字型コア５とからなりＩ型コア
４またはコの字型コア５のどちらか（図21ではＩ型コア
４）に絶縁被覆したコイル６が巻回されている。そして
Ｉ型コア４とコの字型コア５との間に極くわずかな間隙
のギャップ７が設けられ、Ｉ型コア４とコの字型コア５
との間に磁気回路８が形成されるようになっている。そ
してレ−ル１には図20に示すように空気流出側傾斜面９
と空気流入側傾斜面10が形成され、スライダ２が浮上す
るようになっている。また、コイル６の巻回しが可能な
ように、コの字型コア５には広い空間部11が形成されて
いる。また、図13および図24に示す従来例も同様にスラ
イダー２の端面から突出するように図25に示すようなコ
の字型コア５が設けられており、このコの字コア５にコ
イル６が巻回されている。その他の部分については図20
ないし図22と同一部分には同一符号を付してその説明は
省略する。

【０００３】現在において、磁気記録は高密度化の傾向
にある。したがってこの磁気記録高密度化に対応するた
めに磁気ヘッドも小型、軽量化しなければならない。し
かしながら、この磁気ヘッドの小型、軽量化に際して上
記従来の磁気ヘッドには次のような問題があった。

【０００４】すなわち従来の磁気ヘッドを小型化するた
めにはＩ型コアおよびコの字型コアも小さなものとな
る。そこで、この小さなＩ型コアまたはコの字型コアに
コイルを巻くにはその空間部が狭いものとなるので、コ
イルはきわめて細いものを使用しなければならない。そ
のためにコイル巻回工程においてこのコイルが断線した
り、あるいは絶縁被覆が剥離して不良品が発生し歩留ま
りが悪く、かつ、信頼性が低いという問題があった。ま
た、この歩留まりと信頼性に対する対応策としてコイル
を手巻きすることも考えられるが生産性が低いという問
題がある。このような理由により、コイル巻き形式の導
体コイルを使用する磁気ヘッドにあっては構造上の面か
ら小型、軽量化するのに限界があり、磁気記録高密度化
に十分対応することができなかった。そこで、これら問
題を解決するために現在では薄膜磁気ヘッドが開発され
ている。

【０００５】上記従来の薄膜磁気ヘッドは図26に示すよ
うにスライダ２の一端に薄い厚さｔの磁気ヘッド部材12
を設けていた。この磁気ヘッド部材12は図27に示すよう
にギャップ７を形成し、薄い厚さｔ内に磁気回路13を形
成するようにしている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の薄膜磁気ヘ
ッド部材によって、前記従来のコイルを巻く形式の導体
コイルを使用した磁気ヘッドが有する問題は一応解決さ
れているが、更に次のような問題がある。すなわち、上
記従来の薄膜磁気ヘッドは磁気回路13を薄い厚さｔの磁
気ヘッド部材12内に形成するようにしていたので、磁気
回路の断面積が小さくなって磁気抵抗が増大し、このよ
うに磁気回路の面積が小さくなり磁気抵抗が大きくなる
と誘導起電力が小さくなって記録、再生特性が低下する
という問題がある。

【０００７】これを理論的に説明すると、磁気コアの磁
束Φはコイルの巻き数Ｎと電流ｉに比例し、磁気抵抗Ｒ
ｍに逆比例する。この関係を式で表わすとΦ＝Ｎｉ／Ｒ
ｍとなり磁束Φを大きくするためには磁気回路面積を大
きくして磁気抵抗Ｒｍを小さくする必要がある。一方に
おいて再生出力に必要な誘導起電力ｅは磁束Φの時間微
分に比例する。これを式で表わすとｅ＝−Ｎ×ｄΦ／ｄ
ｔとなり、誘導起電力ｅを大きくするためには磁束Φを
大きくする必要があり、磁束Φを大きくするには上式よ
り磁気回路面積を大きくして磁気抵抗Ｒｍを小さくしな
ければならない。このように磁気回路面積が小さいと磁
気抵抗が増大し誘導起電力が小さくなって記録、再生特
性が低下することになる。

【０００８】また、磁気ヘッドの小型化に伴い次のよう
な問題がある。すなわち、再生出力特性を向上するには
誘導起電力ｅを大きくしなければならない。この誘導起
電力ｅを大きくするためには、上記式から明らかな通り
磁気回路面積を大きくして磁束Φを大きくし、かつ、時
間ｔを小さくする必要がある。この時間ｔを少なくする
ためには磁気ヘッドの線速度Ｖを速くしなければならな
い。すなわち、線速度Ｖは磁気ヘッドの位置から磁気デ
ィスクの回転中心までの距離Ｌと磁気ディスクの角回転
速度ωとの積、Ｖ＝ωＬであるので、磁気ヘッドの線速
度Ｖを速くするためにはＬを大きくしなければならな
い。しかしながら、磁気ディスクドライブの小型化の要
請から磁気ディスクの直径を小さくしなければならない
ので、小型化するに当たって磁気ヘッドの位置から磁気
ディスクの回転中心までの距離Ｌを大きくとることがで
きないという実情がある。したがって磁気デスクを小型
化して誘導起電力ｅを大きくし、再生出力を向上するた
めには磁気回路面積を大きくして磁束Φを大きくする以
外に方法はなく、磁気回路面積が小さい従来の薄膜磁気
ヘッドでは小型化された磁気ディスクに対して十分に対
応することができないという問題がある。

【０００９】次に、外来ノイズを相殺するためにはコイ
ルのバランス巻きが理想的であるが、従来の薄膜磁気ヘ
ッドは磁気回路を薄膜コア内に形成するようにして、導
体コイルとコアとを一体にした薄膜にしているので、コ
イルのバランス巻きをすることができない。そのために
外来ノイズの相殺をすることができないという問題があ
る。

【００１０】本発明は上記従来の薄膜磁気ヘッドのよう
に、導体コイルとコアの両方を薄膜にするのではなく、
導体コイルのみを薄膜にすることにより、磁気回路面積
を十分大きくするようにして磁気抵抗を少なくし、記
録、再生特性を向上し、かつ、小型化への対応を可能に
するとともにコイルのバランス巻きを可能にして外来ノ
イズの相殺を可能にし、同時にコイル巻き形式の磁気ヘ
ッドが有していた歩留まり、信頼性および生産性をも向
上した磁気ヘッドを提供するものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の手段は、非磁性体を挟んでその両側に磁性体を一体に
した基板を設け、該基板の非磁性体をまたいでその両側
に在る磁性体に磁気的に接続された磁性コアを設け、該
磁性コアを薄膜磁性磁心として薄膜導体コイルを形成し
て薄膜コイル組立体となし、非磁性体を挟んでその両側
に磁性体を一体にしてＩ型コアを形成し、該Ｉ型コアの
一方の磁性体との間に磁気ギャップを設けて磁性体から
なるコの字型コアを一体にして磁気ヘッドコアを形成
し、該磁気ヘッドコアを浮上用レールを有する非磁性体
からなるスライダー部に形成したスリット内に一体に嵌
合し、該嵌合した磁気ヘッドコアのＩ型コアを形成して
いる磁性体および非磁性体と前記薄膜コイル組立体の磁
性体と非磁性体とを重ねるように前記薄膜コイル組立体
を前記嵌合されている磁気ヘッドコアに貼着したことを
特徴とするものである。

【００１２】

【作用】本発明はこのように構成したので、次の通りの
作用がある。すなわち、非磁性体を挟んでその両側に磁
性体を一体にして形成した基板の非磁性体をまたいで、
その両側に在る磁性体に磁気的に接続した磁性コアを設
け、この磁性コアを薄膜磁性磁心として薄膜導体コイル
を形成するようにしたので、薄膜導体コイルのみを磁気
ヘッドコアから切り離して薄膜コイル組立体として製作
することが可能になる。

【００１３】一方磁気ヘッドコアは非磁性体を挟んでそ
の両側に磁性体を一体にしてＩ型コアを形成し、このＩ
型コアの一方の磁性体との間に磁気ギャップを設けて磁
性体からなるコの字型コアを一体にして薄膜導体コイル
とは別に生産することが可能になる。

【００１４】そして、磁気ヘッドコアを浮上用レールを
有する非磁性体からなるスライダー部に形成したスリッ
ト内に一体に嵌合し、このように嵌合した磁気ヘッドコ
アのＩ型コアを形成している磁性体および非磁性体と前
記薄膜コイル組立体の基板を形成している磁性体と非磁
性体とを重ねるように前記薄膜コイル組立体を前記嵌合
されている磁気ヘッドコアに貼着することにより、前記
薄膜導体コイルの磁性コア、非磁性体を挟んでその両側
に磁性体を一体にした基盤の磁性体、磁気ヘッドコアの
磁性体およびギャップを介して磁路が形成される。

【００１５】このように薄膜導体コイルおよび磁気ヘッ
ドコアが単独で製作され、かつ、薄膜導体コイルの基板
を形成している磁性体および磁気ヘッドコアを形成して
いる磁性体を介して磁路が形成されるので、薄膜導体コ
イルを小型化し、かつ、磁気回路の面積は磁気ヘッドコ
アと薄膜導体コイルの基板の磁性体の形状寸法を任意に
選定することにより決定され、必要な磁気回路面積を得
ることが可能になる。そして薄膜導体コイルは磁性コア
を磁心として形成されるので、薄膜導体コイルのバラン
ス巻きが可能になる。

【００１６】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図１を用いて磁気ヘッドの全体構成を説明する
と、スライダ２は所定の厚みを有する四辺形の非磁性体
で形成され、四辺形の一辺に平行な浮上用レール１が設
けられている。このスライダ２の浮上用レール１に直角
な厚み面2Bにはスリット2Aが形成されており、このスリ
ット2Aには後で説明するＩ型コア24とコの字型コア27と
を非磁性体で接着し一体化してなる磁気ヘッドコア 241
が嵌入され非磁性体である例えばガラスボンディングに
より接着される。そして、後で説明する薄膜導体コイル
組立体14の基板23をスライダ２の厚み面2BおよびＩ型コ
ア24の上面にガラスボンディングあるいは樹脂接着剤に
より接着し磁気ヘッドを形成する。９は空気流出側傾斜
面、10は空気流入側傾斜面である。

【００１７】次に図２を用いてスライダ２の製作につい
て説明する。先ず所定の厚みＴおよび所定の幅Ｗの非磁
性体からなる素材 101の端面に工程（ロ）で磁気ヘッド
コア241の厚みｔに適合した溝幅Ｃのスリット2Aを所定
のピッチ間隔Ｐで加工し、このスリット2Aに磁気ヘッド
コア 241を嵌入しガラスボンディングあるいは樹脂接着
剤により接着固定する。次に（ハ）の工程でレール部分
101を形成するように溝 102を加工し、溝部 102の部分
で切断し次の工程（ニ）で空気流出側傾斜面９および空
気流入側傾斜面10を加工することにより、二本の浮上用
レール１を備え、かつ、磁気ヘッドコア 241を備えたス
ライダ２が完成される。この図２に示す実施例は二本の
浮上用レール１を備え、この浮上用レール１の一方に磁
気ヘッドコア 241を装着したスライダ２であるが、図７
に示すように浮上用レール１を三本設け、その中央の浮
上用レール１に磁気ヘッドコアを装着するようにしたス
ライダ、あるいは図９に示すように二本の浮上用レール
１のそれぞれに磁気ヘッドコアを装着したスライダなど
各種のスライダがあるので、これらスライダの種類に応
じてスリット2AのピッチＰおよび溝 102の加工をする。
このようにして、スライダ２は機械加工により自動生産
される。

【００１８】次に図３を用いて磁気ヘッドコア 241の製
作について説明する。溝 244を形成した磁性体からなる
磁気ヘッド素材 242とＵ溝 245内にガラスボンディング
などの非磁性体 246を充填し磁性体からなる磁気ヘッド
素材 243とを（ロ）の工程でガラスボンディングなどの
非磁性体で接着し一体化する。この接着に際して磁気ヘ
ッド素材 242と磁気ヘッド素材 243との間に磁気ギャッ
プ７を設けて接着する。次に（ハ）の工程で非磁性体 2
46が露出するまで磁気ヘッド素材 243を切除して鏡面加
工する。次に（ニ）の工程で磁気ギャップ７を設けた面
にスリットを加工してこのスリット内にガラスボンディ
ングなどの非磁性体 247を充填しこの面を鏡面加工し、
非磁性体 247を残すように切断する。そして、（ホ）の
工程でこの切断面を鏡加工することにより、磁気ギャッ
プ７を形成し磁性体である磁気ヘッド素材 242と 243が
非磁性体 247にて挟まれた状態で露出し、非磁性体 246
を介して磁気ヘッド素材 242と 243とが磁気的に接続さ
れた磁気ヘッドコア 241が完成される。このようにし
て、磁気ヘッドコア 241は機械加工により自動生産され
る。

【００１９】次に図４を用いてスライダ２の他の実施例
を説明する。この実施例は磁気ヘッドコアに相当する部
分をスライダ２に一体的に設けたものである。すなわ
ち、この実施例の場合にはスライダ２は磁性体であり、
浮上用レール１から空気流出側傾斜面９および厚み面2B
にかけて磁気ヘッドコア素材 243の一部を露出させると
ともに、非磁性体 246を挟んで磁気ヘッドコア素材 243
の一部を露出させたものである。そして、後で説明する
薄膜導体コイル組立体14が貼着される。７は磁気ギャッ
プである。

【００２０】このスライダ２は図５に示す工程により生
産される。先ず（イ）の工程において、スライダ素材 2
01は磁性体であって溝 244が形成されており、Ｕ溝 245
を設けた磁気ヘッドコア素材 243とスライダ素材 201と
をガラスボンディングなどの非磁性体 246にて一体的に
磁気ギャップ７を設けて接着する。次に（ロ）の工程で
非磁性体 246が露出するように磁気ヘッドコア素材 243
を切除し、（ハ）の工程で磁気ギャップ７が形成されて
いる面にスリットを入れてこのスリットにガラスボンデ
ィングなどの非磁性体 247を充填する。次に、（ニ）の
工程で非磁性体247を残すように切込 202を入れ、
（ホ）の工程でこの切込 202にガラスボンディングなど
の非磁性体を充填し、磁気ギャップ７を形成している面
および非磁性体 246から露出している磁気ヘッドコア素
材 243の厚み面2Bを鏡面加工する。次に、（ヘ）の工程
で浮上レール部 101を形成するように溝 102を加工し、
溝 102で切断し（ト）の工程で空気流入側傾斜面10およ
び空気流出側傾斜面９を加工し図４に示すような磁気ヘ
ッドコアが一体化されたスライダ２が完成される。この
スライダ２は機械加工により自動生産される。

【００２１】次に、図１および図４に示す薄膜導体コイ
ル組立体14について説明する。図10および図11におい
て、薄膜導体コイル組立体14は次のように構成されてい
る。磁性体15、16を非磁性体17にて接着し一体化して基
板23が形成されている。この基板23には磁心21、22を有
する磁性コア20が設けられ、この磁心21、22を磁心とし
て薄膜導体コイル19が基板23に形成されている。本実施
例では薄膜導体コイル19は19A 、19B の二層に形成さ
れ、二つの磁心21、22を磁心としたバランス巻きになっ
ている。

【００２２】次に、図12を用いて薄膜導体コイル組立体
14の製造について説明すると、第一の工程（イ）におい
て磁性体15、16（例えばフェライトなど）を非磁性体17
（例えばガラスなど）にて接着し一体化することにより
基板23が製作される。この基板23の製作は磁性体素材に
凹溝を機械加工により形成し、この凹溝に溶融した非磁
性体を充填固化した後に磁性体素材の両面を鏡面に研削
加工することにより行なわれる。次に第二の工程（ロ）
でこの基板23の鏡面に第一絶縁層29A を形成した後に第
一層薄膜導体コイル19A を公知の技術で形成する。次に
第三の工程（ハ）で第一層薄膜導体コイル19A の上に第
二層絶縁膜29B を形成した後に第二層薄膜導体コイル19
B を公知の技術で形成する。そして第四の工程（ニ）で
第二層薄膜導体コイル19C の上に第三層絶縁膜29C を形
成した後に磁気コア20を形成して完了する。

【００２３】上記薄膜導体コイル組立体14の製造におい
て、第一、第二および第三の絶縁膜29A 、29B 、29C は
フォトレジスト、ポリイミドなどの有機樹脂系絶縁膜あ
るいはＳｉＯ₂ 、Ａｌ₂ Ｏ₃ などの無機系絶縁膜を公知
の技術で形成し、第一および第二の薄膜導体コイル19A
、19B はレジストフレ−ムを用いたフレ−ムメッキ法
で銅メッキして形成する方法、あるいは銅などの導体薄
膜をフォトレジストマスクを用いてエッチングする方法
などにより形成する。次に磁性コア20の形成はエッチン
グにより磁性コア20の磁心21、22を形成するためのスル
−ホ−ルをあけ、レジストフレ−ムを用いたフレ−ムメ
ッキ法でパ−マロイなどの磁性膜をメッキする方法、あ
るいはパ−マロイなどの磁性薄膜をレジストマスクを用
いてエッチングする方法、あるいはコの字状の磁性コア
を接着する方法などを用いて行なう。このように、薄膜
導体コイル組立体14は機械的に自動生産される。

【００２４】このようにして製造された薄膜導体コイル
組立体14は図13に示すようにスライダ２に搭載される。
すなわち、図１および図２で説明したように磁性体25と
26を非磁性体17で接着して一体化されたＩ型コア24と、
コの字型コア27とからなる磁気ヘッドコア 241はスライ
ダ２に設けたスリット2A内に挿入固定され、スライダ２
の厚み面2BとＩ型コア24の面を同一面にして鏡加工され
ている。そして、薄膜導体コイル組立体14の基板23の磁
性体15と16および非磁性体17とＩ型コア24の磁性体25と
26および非磁性体 246とが重なるように薄膜導体コイル
組立体14がＩ型コア24と厚み面2Bに接着される。このよ
うに、薄膜導体コイル組立体14をスライダ２に搭載する
ことにより、磁気ギャップ７を介してＩ型コア24の磁性
体25と26、薄膜導体コイル組立体14の磁性体15と16およ
び磁性コア20、コの字型コア27により磁路34を形成す
る。また、図４に示す磁気ヘッドコアとスライダとを一
体にした実施例の場合は図５から明らかな通り、図13に
おけるコの字型コア27がスライダ２そのものを兼ねてい
るので、図13に示すものと同様に薄膜導体コイル組立体
14をスライダ２に搭載することができ、同様に磁路34を
形成する。29は絶縁材である。

【００２５】図14および図15に薄膜導体コイル組立体14
の他の実施例を示す。この実施例は非磁性体17を挟んで
一体化された磁性体15および16により形成された基板の
非磁性体17をまたぐようにその両端が磁性体15と16に磁
気的に接続されて設けられた磁性コア20に薄膜導体コイ
ル19を螺旋状に巻回したものである。また、図16および
図17に示す更に他の実施例は図14に示した実施例の磁性
コア20に薄膜導体コイル19を層状に巻回したものであ
る。その他の部分については図14および図15と同一部分
には同一符号を付してその説明は省略する。

【００２６】この図14および図16に示した薄膜導体コイ
ル組立体14の生産は図10に示した薄膜導体コイル組立体
14と同様に、絶縁膜29（図15の実施例では四層図19の実
施例では九層）はフォトレジスト、ポリイミドなどの有
機樹脂系絶縁膜あるいはＳｉＯ₂ 、Ａｌ₂ Ｏ₃ などの無
機系絶縁膜を公知の技術で形成し、第一および第二の薄
膜導体コイル19A 、19B はレジストフレ−ムを用いたフ
レ−ムメッキ法で銅メッキして形成する方法、あるいは
銅などの導体薄膜をフォトレジストマスクを用いてエッ
チングする方法などにより形成する。また磁性コア20の
形成はエッチングにより磁性コア20の端部を磁性体15お
よび16に磁気的に接続するためのスル−ホ−ルをあけ、
レジストフレ−ムを用いたフレ−ムメッキ法でパ−マロ
イなどの磁性膜をメッキする方法、あるいはパ−マロイ
などの磁性薄膜をレジストマスクを用いてエッチングす
る方法、あるいはコの字状の磁性コアを接着する方法な
どを用いて行なう。

【００２７】次に、図14および図16に示す薄膜導体コイ
ル組立体14を図１および図４に示したスライダ２に搭載
する仕方は図10に示した薄膜導体コイル組立体14の場合
と同様に行われる。すなわち、図16に示す薄膜導体コイ
ル組立体14にあっては図18に示すように、また、図14に
示す薄膜導体コイル組立体14にあっては図19に示すよう
に、薄膜導体コイル組立体14の基板23の磁性体15と16お
よび非磁性体17とＩ型コア24の磁性体25と26および非磁
性体 246とが重なるように薄膜導体コイル組立体14がＩ
型コア24と厚み面2Bに接着される。このように、薄膜導
体コイル組立体14をスライダ２に搭載することにより、
磁気ギャップ７を介してＩ型コア24の磁性体25と26、薄
膜導体コイル組立体14の磁性体15と16および磁性コア2
0、コの字型コア27により図13に示すような磁路34を形
成する。また、図４に示す磁気ヘッドコアとスライダと
を一体にした実施例の場合は図５から明らかな通り、図
18および図19におけるコの字型コア27がスライダ２その
ものを兼ねているので、同様に薄膜導体コイル組立体14
をスライダ２に搭載することができ、図13に示すような
磁路34を形成する。

【００２８】このように構成した本実施例の作用につい
て次に説明する。図10、図14および図16に示す薄膜導体
コイル組立体14は非磁性体17を挟んでその両側に磁性体
15および16を一体にして形成した基板23の非磁性体17を
またいでその両側に在る磁性体15および16に磁気的に接
続した磁性コア20を設け、この磁性コア20を薄膜磁性磁
心として薄膜導体コイル19を形成するようにしたので、
薄膜導体コイル19のみを磁気ヘッドコア 241から切り離
して製作することが可能になる。

【００２９】次に、スライダ２と磁気ヘッドコア 241と
を分離した形式の図１に示す磁気ヘッドにおいて、この
磁気ヘッドコア 241は非磁性体 246を挟んでその両側に
磁性体25および26を一体にしてＩ型コア24を形成し、こ
のＩ型コア24の一方の磁性体26との間に磁気ギャップ７
を設けて磁性体からなるコの字型コア27を一体にして製
作され、この磁気ヘッドコア 241をスライダ２のスリッ
ト2Aに嵌入し固着するようにしているので、薄膜導体コ
イル組立体14とは別に磁気ヘッドコア 241を一体にした
スライダ２を生産することが可能になる。

【００３０】また、図４に示すように磁気ヘッドコアと
スライダを一体にした形式の磁気ヘッドにあっては、所
定の厚みを有する四辺形の磁性体の一面に、この四辺形
の一辺に平行に浮上用レール１を設け、この浮上用レー
ル１に対して直角方向の他の一辺の厚み面2Bに非磁性体
246を挟んで両側に磁性体 243の一部を露出するよう非
磁性体 246を一体に固着するとともに、この露出した磁
性体 243の一方側に磁気ギャップ７を設けてスライダ２
を形成したので、磁気ヘッドコアを一体化したスライダ
２が薄膜導体コイル組立体14とは別に生産することが可
能になる。

【００３１】そして、スライダ２と磁気ヘッドコア 241
とを分離した形式の図１に示す磁気ヘッドにあっては、
スリット2Aに嵌合固着した磁気ヘッドコア 241のＩ型コ
ア24を形成している磁性体25と26および非磁性体27と薄
膜コイル組立体14の基板23を形成している磁性体15およ
び16と非磁性体17とを重ねるように薄膜コイル組立体14
を磁気ヘッドコア 241と厚み面2Bに貼着することによ
り、薄膜導体コイル組立体14の磁性コア20、非磁性体17
を挟んでその両側に磁性体を一体にした基盤23の磁性体
15と16、磁気ヘッドコア 241の磁性体25、26コの字型コ
ア27およびギャップ７を介して図13に示す磁路34が形成
され、また同様に図４に示すように磁気ヘッドコアとス
ライダを一体にした形式の磁気ヘッドにあっては、厚み
面2Bに露出している磁性体 243および非磁性体 246と薄
膜コイル組立体14の基板23を形成している磁性体15およ
び16と非磁性体17とを重ねるように薄膜コイル組立体14
を厚み面2Bに貼着することにより、薄膜導体コイル組立
体14の磁性コア20、非磁性体17を挟んでその両側に磁性
体を一体にした基盤23の磁性体15と16、厚み面2Bに露出
している磁性体 243およびギャップ７を介して図13に示
す磁路34が形成される。

【００３２】このように薄膜導体コイル組立体14、磁気
ヘッドコア 241および磁気ヘッドコアを一体化したスラ
イダ２が単独で製作されるので、薄膜導体コイル組立体
14の製作は磁気ヘッドコア 241あるいは磁気ヘッドコア
を一体化したスライダ２に拘束されず、薄膜導体コイル
組立体14を任意の大きさに制作することができて小型化
することが可能になり、かつ、薄膜導体コイル組立体14
の磁性コア20および基板23を形成している磁性体15と1
6、磁気ヘッドコア 241を形成している磁性体25と26あ
るいは厚み面2Bに露出している磁性体 243を介して磁路
34が形成されるので、磁気回路の面積はこれら磁性体の
形状寸法を任意に選定することにより決定することがで
き、必要な磁気回路面積を得ることが可能になる。そし
て薄膜導体コイル19は磁性コア20を磁心として形成され
るので、薄膜導体コイル19のバランス巻きが可能にな
り、かつ、薄膜胴体コイル19を磁心に近接して形成する
ことが可能になる。

【００３３】また図10、図14および図16に示す薄膜導体
コイル19は図12を用いて説明したように、レジストフレ
−ムを用いたフレ−ムメッキ法で銅メッキして形成する
方法、あるいは銅などの導体薄膜をフォトレジストマス
クを用いてエッチングする方法などにより形成するの
で、そこにはワイヤを巻回しすることによる断線という
ようなことはなく、歩留まりがよく、かつ、信頼性が高
い薄膜導体コイル19が得られる。

【００３４】

【発明の効果】以上詳述した通り本発明によれば、非磁
性体を挟んでその両側に磁性体を一体にした基板の非磁
性体をまたいでその両側に在る磁性体に磁性コアを磁気
的に接続し、この磁性コアを薄膜磁性磁心として薄膜導
体コイルを形成して薄膜コイル組立体とし、この薄膜導
体コイル組立体を磁気ヘッドコアを備えたスライダに貼
着するようにしたので、磁気ヘッドコアとは関係なく単
独に薄膜導体コイル組立体を製作することができる。

【００３５】また、非磁性体を挟んでその両側に磁性体
を一体にしたＩ型コアと、このＩ型コアの一方の磁性体
との間に磁気ギャップを設けて一体かした磁性体からな
るコの字型コアとのより磁気ヘッドコアを形成し、この
磁気ヘッドコアを浮上用レールを有する非磁性体からな
るスライダー部に形成したスリット内に一体に嵌合し、
この嵌合した磁気ヘッドコアのＩ型コアを形成している
磁性体および非磁性体と前記薄膜コイル組立体の磁性体
と非磁性体とを重ねるように前記薄膜コイル組立体を前
記嵌合されている磁気ヘッドコアに貼着したので、薄膜
導体コイル組立体の磁性コア、基板の磁性体、磁気ヘッ
ドコアを形成するＩ型コアの磁性体とコの字型コアおよ
びギャップにより磁路を構成することができ、薄膜導体
コイルに関係なく単独にスライダーを制作することがで
きる。

【００３６】また、所定の厚みを有する四辺形の磁性体
の一面にこの四辺形の一辺に平行に浮上用レールを設
け、この浮上用レールに対して直角方向の他の一辺の厚
み面に非磁性体を挟んで両側に磁性体の一部を露出する
よう非磁性体を一体に固着するとともにこの露出した磁
性体の一方側に磁気ギャップを設けてスライダー部を形
成し、このスライダー部の厚み面に形成した磁性体およ
び非磁性体と薄膜コイル組立体の磁性体および非磁性体
とが重なるように薄膜コイル組立体をスライダーの厚み
面に貼着することにより、薄膜導体コイル組立体の磁性
コア、基板の磁性体、スライダの厚み面に露出している
磁性体およびギャップにより磁路を構成することがで
き、薄膜導体コイルに関係なく単独にスライダーを制作
することができる。

【００３７】このように、薄膜導体コイルと磁気ヘッド
コアが互いに単独で制作することができるので、磁気ヘ
ッドコアに巻線用の窓が不要となり、このため磁路断面
積を大きくすることができ、かつ、磁路長さを短くする
ことができるので、磁気ヘッドコアの磁気抵抗を小さく
することができる。これにより、例え磁気ディスクの直
径が小さくても磁気抵抗を小さくして、記録、再生特性
を向上することができ、磁気ディスクの小型化に対応す
ることができる磁気ヘッドを得ることができる。

【００３８】また、薄膜導体コイルをバランス巻きする
ことができるので、磁気ノイズを消去することができる
とともに、磁性コアを磁心として薄膜導体コイルを形成
することにより磁心と薄膜導体コイルとを近接すること
ができるので磁気ヘッドとしての電磁変換効率を向上す
ることができる。そして、薄膜導体コイル組立体を磁気
ヘッドコアとは切り離して単独で製作するようにしたの
で、薄膜導体コイルおよび絶縁層の形成はフォトレジス
ト、ポリイミドなどの有機樹脂系絶縁膜などの無機系絶
縁膜を用いた公知の技術、およびレジストフレ−ムを用
いたフレ−ムメッキ法で銅メッキして形成する周知の方
法の適応が可能になり、断線や絶縁不良に起因する歩留
まりおよび信頼性を向上することができ、かつ、薄膜導
体コイル組立体、磁気ヘッドコアおよびスライダの自動
生産ができるので生産性をも向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す斜視図である。

【図２】図１におけるスライダの製作過程を示す斜視図
である。

【図３】図１における磁気ヘッドコアの製作過程を示す
斜視図である。

【図４】本発明の他の一実施例示す斜視図をである。

【図５】図４におけるスライダの製作過程を示す斜視図
である。

【図６】浮上用レールを三本有するスライダの一例を示
す正面図である。

【図７】図６の平面図である。

【図８】浮上用レールを二本有するスライダの一例を示
す正面図である。

【図９】図８の平面図である。

【図10】図１における薄膜導体コイル組立体の斜視図で
ある。

【図11】図10のＡーＡ線における縦断面図である。

【図12】図10に示す薄膜導体コイル組立体の製作過程を
示す図である。

【図13】スライダに薄膜導体コイル組立体を接着した状
態を示す縦断面図である。

【図14】薄膜導体コイルを螺旋状に巻いた薄膜導体コイ
ル組立体の斜視図である。

【図15】図14のＢーＢ線における縦断面図である。

【図16】薄膜導体コイルを層状に巻いた薄膜導体コイル
組立体の斜視図である。

【図17】図16のＣーＣ線における縦断面図である。

【図18】スライダに図16に示す薄膜導体コイル組立体を
接着した状態を示す縦断面図である。

【図19】スライダに図14に示す薄膜導体コイル組立体を
接着した状態を示す縦断面図である。

【図20】従来の磁気ヘッドの斜視図である。

【図21】図20における導体コイルの側面図である。

【図22】図21の右側面図である。

【図23】浮上用レールを三本有する従来例の平面図であ
る。

【図24】浮上用レールを二本有する従来例の平面図であ
る。

【図25】図23および図24における導体コイルの側面図で
ある。

【図26】薄膜導体コイルを有する従来例の平面図であ
る。

【図27】図26の正面図である。

【符合の説明】

１浮上用レール２スライダ 2A スリット 2B 厚み面７磁気ギャップ 14 薄膜導体コイル組立体 15 磁性体 16 磁性体 17 非磁性体 19 薄膜導体コイル 23 基板 24 Ｉ型コア 241 磁気ヘッドコア 243 磁性体 246 非磁性体 25 磁性体 26 磁性体 27 コの字型コア

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者藤田哲司静岡県磐田郡浅羽町浅名1743−１ミネベア株式会社開発技術センタ内 (72)発明者佐野章信静岡県磐田郡浅羽町浅名1743−１ミネベア株式会社開発技術センタ内 (72)発明者江川元二静岡県磐田郡浅羽町浅名1743−１ミネベア株式会社開発技術センタ内 (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G11B 5/60 G11B 5/31

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】非磁性体を挟んでその両側に磁性体を一
体にした基板を設け、該基板の非磁性体をまたいでその
両側に在る磁性体に磁気的に接続された磁性コアを設
け、該磁性コアを薄膜磁性磁心として薄膜導体コイルを
形成して薄膜コイル組立体となし、非磁性体を挟んでそ
の両側に磁性体を一体にしてＩ型コアを形成し、該Ｉ型
コアの一方の磁性体との間に磁気ギャップを設けて磁性
体からなるコの字型コアを一体にして磁気ヘッドコアを
形成し、該磁気ヘッドコアを浮上用レールを有する非磁
性体からなるスライダー部に形成したスリット内に一体
に嵌合し、該嵌合した磁気ヘッドコアのＩ型コアを形成
している磁性体および非磁性体と前記薄膜コイル組立体
の磁性体と非磁性体とを重ねるように前記薄膜コイル組
立体を前記嵌合されている磁気ヘッドコアに貼着したこ
とを特徴とする磁気ヘッド。
【請求項２】非磁性体を挟んでその両側に磁性体を一
体にした基板を設け、該基板の非磁性体をまたいで磁性
体に磁気的に接続された磁性コアを設け、該磁性コアを
薄膜磁性磁心として前記基板に薄膜導体コイルを形成し
薄膜コイル組立体としたことを特徴とする請求項１記載
の磁気ヘッド。
【請求項３】非磁性体を挟んでその両側に磁性体を一
体にした基板を設け、該基板の非磁性体をまたいで磁性
体に磁気的に接続された磁性コアを設け、該磁性コアを
薄膜磁性磁心として該磁性コアに薄膜導体コイルを螺旋
状に巻回し薄膜コイル組立体としたことを特徴とする請
求項１記載の磁気ヘッド。
【請求項４】非磁性体を挟んでその両側に磁性体を一
体にした基板を設け、該基板の非磁性体をまたいで磁性
体に磁気的に接続された磁性コアを設け、該磁性コアを
薄膜磁性磁心として該磁性コアに薄膜導体コイルを層状
に巻回し薄膜コイル組立体としたことを特徴とする請求
項１記載の磁気ヘッド。
【請求項５】非磁性体を挟んでその両側に磁性体を一
体にした基板を設け、該基板の非磁性体をまたいでその
両側に在る磁性体に磁気的に接続された磁性コアを設
け、該磁性コアを薄膜磁性磁心として薄膜導体コイルを
形成して薄膜コイル組立体となし、所定の厚みを有する
四辺形の磁性体の一面に該四辺形の一辺に平行に浮上用
レールを設け、該浮上用レールに対して直角方向の他の
一辺の厚み面に非磁性体を挟んで両側に磁性体の一部を
露出するよう非磁性体を一体に固着するとともに該露出
した磁性体の一方側に磁気ギャップを設けてスライダー
部を形成し、該スライダー部の厚み面に形成した磁性体
および非磁性体と前記薄膜コイル組立体の磁性体および
非磁性体とが重なるように薄膜コイル組立体をスライダ
ーの厚み面に貼着したことを特徴とする磁気ヘッド。
【請求項６】非磁性体を挟んでその両側に磁性体を一
体にした基板を設け、該基板の非磁性体をまたいで磁性
体に磁気的に接続された磁性コアを設け、該磁性コアを
薄膜磁性磁心として前記基板に薄膜導体コイルを形成し
薄膜コイル組立体としたことを特徴とする請求項５記載
の磁気ヘッド。
【請求項７】非磁性体を挟んでその両側に磁性体を一
体にした基板を設け、該基板の非磁性体をまたいで磁性
体に磁気的に接続された磁性コアを設け、該磁性コアを
薄膜磁性磁心として該磁性コアに薄膜導体コイルを螺旋
状に巻回し薄膜コイル組立体としたことを特徴とする請
求項５記載の磁気ヘッド。
【請求項８】非磁性体を挟んでその両側に磁性体を一
体にした基板を設け、該基板の非磁性体をまたいで磁性
体に磁気的に接続された磁性コアを設け、該磁性コアを
薄膜磁性磁心として該磁性コアに薄膜導体コイルを層状
に巻回し薄膜コイル組立体としたことを特徴とする請求
項５記載の磁気ヘッド。