JPH05342529A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents

薄膜磁気ヘッド

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JPH05342529A
JPH05342529A JP15183692A JP15183692A JPH05342529A JP H05342529 A JPH05342529 A JP H05342529A JP 15183692 A JP15183692 A JP 15183692A JP 15183692 A JP15183692 A JP 15183692A JP H05342529 A JPH05342529 A JP H05342529A
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JP
Japan
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magnetic core
magnetic
head
core
insulating layer
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Pending
Application number
JP15183692A
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English (en)
Inventor
Shigeru Takeda
茂 武田
Tetsuo Kawai
哲郎 川井
Toshiyuki Kasakoshi
利幸 笠越
Chikaichi Ito
親市 伊藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Proterial Ltd
Original Assignee
Hitachi Metals Ltd
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Publication date
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Publication of JPH05342529A publication Critical patent/JPH05342529A/ja
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/31Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • G11B5/3176Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps
    • G11B5/3179Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps the films being mainly disposed in parallel planes
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/31Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • G11B5/3109Details
    • G11B5/313Disposition of layers

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 薄膜ヘッドの導体コイルと磁性コアの結合が
きわめて強く、かつ誤った記録が行われにくい高性能な
薄膜磁気ヘッドを得る。 【構成】 基板上に下部縞状導電膜、下部磁性コアを被
着形成し、下部磁性コアの上には上部縞状導電膜を形成
し、下部縞状導電膜及び上部縞状導電膜の端部を連結し
たヘリカル状導体コイルを有する薄膜磁気ヘッドにおい
て、下部磁性コアは閉ループの一部が欠如した形状に形
成され、ヘリカル状導体コイルは下部磁性コアを巻回
し、下部磁性コアと上部磁性コアは磁気的に接合されて
おり、ヘリカル導体コイルより発生する磁界の方向が摺
動面の摺動方向と垂直である薄膜磁気ヘッド。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は構造が簡単で製造し易い
高性能な薄膜磁気ヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】薄膜磁気ヘッドは、基板上に薄膜堆積
法、フォトリソグラフィ技術等を用いて磁性膜、導体コ
イルを絶縁層を介して形成するものであり、従来のバル
ク型のヘッドに比べて小型化、高性能化が容易である。
従来のヘリカル状導体コイルを用いた薄膜磁気ヘッド
は、図11に示すように、基板(1')の上に下部磁気コア
(4')が被着形成されており、その上に絶縁層(3'a)を介
して下部縞状導体膜(7'a)が被着形成されている。さら
に、絶縁層(3'b)を介して上部磁性コア(6')が被着形成
されている。前記下部磁性コアと前記上部磁性コアの対
向する二つの端部はヘッドギャップ(5')となり、他の端
部は磁気的接合部分(9')により直接接合される。前記上
部磁性コア(6')の上には絶縁層(3'c)を介して上部縞状
導電膜(7'b)が被着形成される。前記下部縞状導電膜と
前記上部縞状導電膜の端部はお互いに接合されてヘリカ
ル状導体コイル(7')となる。この薄膜磁気ヘッドは、導
体コイルの占める面積が小さく、小型実装に適してい
る。また、ヘリカル状の導体コイル(7')に流れる電流か
ら発生する磁界は、反磁界の小さい上部磁性コアの膜面
内のy方向を向いており、コイルによる小さい起磁力で
充分な磁界をヘッドギャップに形成することができる。
さらに、ヘリカル状導体コイルを用いた薄膜ヘッドで
は、スパイラル状導体コイルを用いたものに比較し、コ
イルと磁性コアの重なる面積比率がきわめて大きく、両
者の結合効率がきわめて高いという利点を持っている。
しかし、このヘリカル状導体の構造では、磁気ヘッドの
性能向上のため、コイルの巻数を増やす場合、必然的に
磁気コアの長さが長くなり、小型化という点では不利で
ある。さらに、ヘリカル状導体コイルが強く結合してい
る磁性コアは上部磁性コアが主であり、下部磁性コアの
励磁は比較的弱い構造となっている。この点からも図1
1の構造は必ずしも材料特性を充分に発揮できる構造と
は言えない。これを解決する方法として、図12に示す
構造が提案されている。ここで、下部磁性コアは閉ルー
プの一部が欠如したU字型の形状をしており、ヘリカル
状導体コイルが、この磁性体に分布して巻回されてい
る。この構造は、小型形状のままで、コイルの巻数を多
くできるという利点がある。しかし、従来技術の図11
及び図12の構造は、いずれもヘッドギャップの摺動面
(19)は上部及び下部磁性コアの膜面に垂直であり、磁性
コアの膜厚が薄い場合には、コンター効果という磁性コ
アのヘッドギャップ以外の端面で誤った記録が行われる
という重大な欠点があった。これを解決する方法とし
て、図13に示すように、スパイラル状導体コイル(16)
を用いた横型薄膜磁気ヘッドが提案されている(参考文
献;D.W.Chapman,IEEE,MAG-25,No.5,(1989) pp3686-368
8)。これは、ヘッドギャップの構成がギャップ部磁性
コアの膜面内になり、記録媒体との摺動面(19)が磁性コ
アの膜面に平行であることが特徴である。しかし、この
構造は、導体コイルと磁性コアの結合効率が悪いだけで
なく、スパイラル状導体コイル(16)が摺動面(19)のきわ
めて近い距離に配されているため、前記結合効率の悪さ
も手伝って、導体コイルにより直接発生する磁界は摺動
面に垂直となり、記録媒体に影響を与える。これにより
記録媒体に誤った記録がなされるという欠点があった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記従来例の
欠点に鑑みなされたものであり、導体コイルの占める面
積が小さく、しかも導体コイルと磁性コアの結合がきわ
めて強く、かつ誤った記録が行われにくい高性能な薄膜
磁気ヘッドを提供することを目的とするものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は、基板上に下部
縞状導電膜、前記下部縞状導電膜の上に絶縁層を介して
下部磁性コアを被着形成し、前記下部磁性コアの上には
絶縁層を介して上部縞状導電膜を形成し、前記下部縞状
導電膜及び前記上部縞状導電膜の端部を連結して形成さ
れたヘリカル状導体コイルを有する薄膜磁気ヘッドにお
いて、前記下部磁性コアは閉ループの一部が欠如した形
状(開ループ)に形成され、前記ヘリカル状導体コイル
は前記下部磁性コアを巻回し、前記下部磁性コアの両端
の上に上部磁性コアが被着形成され、前記下部磁性コア
と前記上部磁性コアは磁気的に接合されており、前記上
部磁性コアの一部分に溝が形成され、前記溝がヘッドギ
ャップとして作用し、前記ヘッドギャップの摺動面が上
部磁性コアの膜面と平行であり、前記ヘリカル導体コイ
ルより発生する磁界の方向が前記摺動面の摺動方向と垂
直であることを特徴としている。
【0005】
【作用】上記構成によれば、摺動面と磁性コアの膜面が
平行であり、かつ導体コイルの発生する磁界が効率よく
磁性コアに吸収され漏洩磁界が少なく、誤動作の少ない
高性能な薄膜磁気ヘッドを実現できる。
【0006】
【実施例】以下、図面を参照しつつ本発明の実施例を詳
細に説明する。図1は本発明の一つの実施例を示す薄膜
磁気ヘッドの要部斜視図、図2(a)は上記磁気ヘッドの
平面図である。図2(b)は前記平面図のA-A’断面図で
ある。図中、(1)は結晶化ガラス等の非磁性セラミック
スからなる基板であり、該基板(1)の上面にはCu、Al
等の導電材料よりなる約2μm厚の下部縞状導電膜(2)が
形成されている。該下部縞状導電膜(2)の上にはSiO2
等の絶縁材料よりなる約1μm厚の絶縁層(3a)が形成さ
れている。前記の絶縁膜(3a)の上にはパーマロイ、セン
ダスト、Co系アモルファス磁性合金等の高透磁率磁性
薄膜よりなる下部磁性コア(4)が被着形成されている。
前記下部磁性コア(4)上には約1μmの絶縁層(3b)を介し
て上部縞状導電膜(7)((7a)(7b))が形成されている。前
記下部磁性コア(4)は図に示すように、閉ループの一部
分が欠如したU字形状(開ループ)となっており、該開
ループを形成する二つの辺がお互いに平行である。前記
開ループの両端は平行のまま非磁性基板(1)の端面に露
出している。前記下部及び上部縞状導電膜(2)(7)は、前
記下部磁性コア(4)を卷回するようにお互いに端部が連
結されてヘリカル状導体コイルとなる。前記下部磁性コ
ア(4)の両端の上には、図に示すように、上部磁性コア
(6)が磁気的接合部分(9)により直接形成されている。前
記上部磁性コア(6)の中心には溝が形成され、ヘッドギ
ャップ(5)となる。前記上部磁性コアのヘッドギャップ
近傍の部分はSiO2等の絶縁材料を介して折れ曲がり、
ヘリカル状導体コイルより表面に突き出ている。次に、
上記実施例の薄膜ヘッドの製造方法について説明する。
先ず、図3に示すように基板(1)の上面に下部縞状導電
膜(2a)(2b)を蒸着、スパッタリング等による被着形成す
る。この際、前記下部縞状導電膜(2a)(2b)は、後工程で
作製される上部縞状導電膜(7a)(7b)と重なり、ヘリカル
状導体コイルとなるように配されている。次に、図4に
示すように前記下部縞状導電膜(2a)(2b)上全域に絶縁層
(3a)を平坦に形成する。次に、前記絶縁層(3a)の上面
に、図5に示すように、閉ループの一部が欠如したU字
形状の下部磁性コア(4)を被着形成する。上記ループを
構成する2辺は対向して平行に配されており、その両端
は基板(1)の端面に露出している。次に、図6に示すよ
うに前記下部磁性コア(4)上全域に絶縁層(3b)を平坦に
形成する。次に、前記絶縁層(3b)上にマスクを形成し、
エッチングを行うことにより、図7のように下部縞状導
電膜(2)の接合端部が露出するように、スルホール加工
(10a)(10b)(10c)を施す。同時に、前記下部磁性コア(4)
の基板端面で終わっている両端の上の部分も、エッチン
グ加工により露出させる。また、図7に示すように、ヘ
ッドギャップを他の構成部分より高くするために、非磁
性スペーサー(11)をヘッドギャップ(5)となる部分に形
成する。次に、図8に示すように、上部縞状導電膜(7a)
(7b)を下部縞状導電膜(2a)(2b)と電気的に接合しヘリカ
ル状導体コイルとなるように形成する。次に、上部磁性
コア(6)をスペーサー(11)を介して下部磁性コア(4)の上
に形成する。ヘッドギャップ(5)の溝は上部磁性コア(6)
の中心にイオンミリング法等により形成される。上部磁
性コア(6)の両端は折れ曲がりその端は下部磁性コア(4)
の両端の上に磁気的に連結される。次に、図9に示すよ
うに、絶縁層(3c)を、上部磁性コア(6)のヘッドギャッ
プ部分(5)が露出するように平坦に作成する。以上の工
程により、本発明の一つの実施例が完成する。図10
は、本発明の薄膜磁気ヘッドを薄膜磁気ディスクの表面
に対向させた実施例の構成断面図である。磁気ディスク
の平面と薄膜磁気ヘッドの基板平面は平行であり、横型
薄膜磁気ヘッドの基本構成が実現されている。
【0007】
【発明の効果】本発明によれば、従来構造に比較し、磁
気ヘッドの磁気回路が平面的に構成され、かつ磁気ヘッ
ドの摺動面と磁性コアの膜面が平行であり、実質的に磁
極幅を広くとることができ、かつヘリカル状導体コイル
により発生する磁界が漏洩の少ない平面内の磁気回路を
通るので誤動作の少ない高性能で構造が簡単な薄膜磁気
ヘッドを提供し得る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係わり、薄膜磁気ヘッドの斜視図
【図2】薄膜磁気ヘッドの平面図と断面図
【図3】薄膜磁気ヘッドの製造方法を示す斜視図
【図4】薄膜磁気ヘッドの製造方法を示す斜視図
【図5】薄膜磁気ヘッドの製造方法を示す斜視図
【図6】薄膜磁気ヘッドの製造方法を示す斜視図
【図7】薄膜磁気ヘッドの製造方法を示す斜視図
【図8】薄膜磁気ヘッドの製造方法を示す斜視図
【図9】薄膜磁気ヘッドの製造方法を示す斜視図
【図10】本発明の薄膜磁気ヘッドの使用例を示す断面
【図11】従来の薄膜磁気ヘッドの平面図と断面図であ
る。
【図12】従来の薄膜磁気ヘッドの平面図と断面図であ
る。
【図13】従来の薄膜磁気ヘッドの平面図と断面図であ
る。
【符号の説明】
1 基板 2 下部縞状導電膜 3 絶縁層 4 下部磁性コア 5 ヘッドギャップ 6 上部磁性コア 7a 下部縞状導電膜 7b 上部縞状導電膜 7 ヘリカル状導体コイル 8 端子 9 磁気的接合部分 10 スルーホール 11 スペーサー 12 磁気記録媒体 13 磁気ディスク基板 14 磁気ディスク回転方向 15 磁気ヘッド組立体 16 スパイラル状導体コイル 17 ギャップ部磁性コア 18 ヨ−ク部磁性コア 19 摺動面
フロントページの続き (72)発明者 伊藤 親市 埼玉県熊谷市三ケ尻5200番地日立金属株式 会社磁性材料研究所内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板上に下部縞状導電膜、前記下部縞状
    導電膜の上に絶縁層を介して下部磁性コアを被着形成
    し、前記下部磁性コアの上には絶縁層を介して上部縞状
    導電膜を形成し、前記下部縞状導電膜及び前記上部縞状
    導電膜の端部を連結して形成されたヘリカル状導体コイ
    ルを有する薄膜磁気ヘッドにおいて、前記下部磁性コア
    は閉ループの一部が欠如した形状(開ループ)に形成さ
    れ、前記ヘリカル状導体コイルは前記下部磁性コアを巻
    回し、前記下部磁性コアの両端の上に上部磁性コアが被
    着形成され、前記下部磁性コアと前記上部磁性コアは磁
    気的に接合されており、前記上部磁性コアの一部分に溝
    が形成され、前記溝がヘッドギャップとして作用し、前
    記ヘッドギャップの摺動面が上部磁性コアの膜面と平行
    であり、前記ヘリカル導体コイルより発生する磁界の方
    向が前記摺動面の摺動方向と垂直であることを特徴とす
    る薄膜磁気ヘッド。
  2. 【請求項2】 請求項1において、前記ヘッドギャップ
    を構成する前記上部磁性コアの溝の部分が前記上部縞状
    導体より高くなっていることを特徴とする薄膜磁気ヘッ
    ド。
  3. 【請求項3】 請求項1もしくは、請求項2において、
    前記下部磁性コアの形状は少なくとも二つの平行な辺を
    有し、前記ヘリカル状導体コイルがそれぞれの辺に分布
    して巻回されていることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
  4. 【請求項4】 請求項3において、前記ヘッドギャップ
    の溝が前記下部磁性コアの二つの平行な辺のほぼ中心に
    配されたことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
JP15183692A 1992-06-11 1992-06-11 薄膜磁気ヘッド Pending JPH05342529A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4876670A (en) * 1986-12-10 1989-10-24 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Variable delay circuit for delaying input data
US5346706A (en) * 1991-10-28 1994-09-13 John Labatt Limited Malt beverage process
US7667927B2 (en) 2004-12-10 2010-02-23 Tdk Corporation Magnetic head having toroidal coil layer and manufacturing method thereof

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US4876670A (en) * 1986-12-10 1989-10-24 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Variable delay circuit for delaying input data
US5346706A (en) * 1991-10-28 1994-09-13 John Labatt Limited Malt beverage process
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