JPH05234033A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
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- JPH05234033A JPH05234033A JP3767192A JP3767192A JPH05234033A JP H05234033 A JPH05234033 A JP H05234033A JP 3767192 A JP3767192 A JP 3767192A JP 3767192 A JP3767192 A JP 3767192A JP H05234033 A JPH05234033 A JP H05234033A
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- magnetic
- head
- conductor coil
- striped conductive
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/313—Disposition of layers
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 構造が簡単で、磁性コアとコイルの結合効率
のよい高性能の薄膜磁気ヘッドを可能にする。 【構成】 基板１上に下部縞状導電膜２とその下部縞状
導電膜２の上に絶縁層３ａ，３ｂを介して下部磁性コア
４、ギャップスペーサ及び上部磁性コア６を被着形成
し、下部磁性コア４の一端の磁極と上部磁性コア６の一
端の磁極によりヘッドギャップ５が構成され、下部磁性
コア４の上には絶縁層３ｂと上部縞状導電膜７が形成さ
れ、下部縞状導電膜２及び上部縞状導電膜７の端部は連
結されてヘリカル状導体コイルが形成された薄膜磁気ヘ
ッドであって、下部磁性コア４は閉ループの一部が欠如
した形状（開ループ）に形成され、ヘリカル状導体コイ
ルは下部磁性コア４を巻回し、下部磁性コア４の磁極で
ない端と上部磁性コア６の磁極でない端が磁気的に接合
されており、磁気的接合部分と上部磁性コア６はヘリカ
ル状導体コイルの全部とは重ならない部分に配されてい
る薄膜磁気ヘッド。
のよい高性能の薄膜磁気ヘッドを可能にする。 【構成】 基板１上に下部縞状導電膜２とその下部縞状
導電膜２の上に絶縁層３ａ，３ｂを介して下部磁性コア
４、ギャップスペーサ及び上部磁性コア６を被着形成
し、下部磁性コア４の一端の磁極と上部磁性コア６の一
端の磁極によりヘッドギャップ５が構成され、下部磁性
コア４の上には絶縁層３ｂと上部縞状導電膜７が形成さ
れ、下部縞状導電膜２及び上部縞状導電膜７の端部は連
結されてヘリカル状導体コイルが形成された薄膜磁気ヘ
ッドであって、下部磁性コア４は閉ループの一部が欠如
した形状（開ループ）に形成され、ヘリカル状導体コイ
ルは下部磁性コア４を巻回し、下部磁性コア４の磁極で
ない端と上部磁性コア６の磁極でない端が磁気的に接合
されており、磁気的接合部分と上部磁性コア６はヘリカ
ル状導体コイルの全部とは重ならない部分に配されてい
る薄膜磁気ヘッド。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は構造が簡単で製造し易い
高性能な薄膜磁気ヘッドに関する。
高性能な薄膜磁気ヘッドに関する。
【０００２】
【従来技術】従来、薄膜磁気ヘッドは、基板上に薄膜堆
積法、フォトリソグラフィ技術等を用いて磁性コア、導
体コイルを絶縁層を介して形成するものであり、従来の
バルク型のヘッドに比べて小型化、高性能化が容易であ
る。従来の薄膜磁気ヘッドは、図１４に示すように、下
部磁性コア(4')上に絶縁層(3'a)を介してスパイラル状
の導体コイル(12')が被着形成されており、該スパイラ
ル状導体コイル(12')上の一部分に絶縁層(3'b)を介して
上部磁性コア(6')が被着形成されている。上述のような
スパイラル状の導体コイル(12')を有する薄膜磁気ヘッ
ドは、製造が容易であるが、導体コイルの占める面積が
大きくなり、ヘッドを組み立てる際には、小型実装の面
で不利である。また、スパイラル状の導体コイル(12')
に流れる電流から発生する磁束は、下部及び上部の磁性
コア(4')(6')の高透磁率性を利用することによりｙ方向
の成分となりヘッドギャップ(5')に導かれる。しかし、
このときのコイルによる磁界は、図１４のＨxに示すよ
うに、反磁界の大きい磁性コアの膜面に垂直なｘ方向で
あり、磁性コアを飽和まで到達させるにはかなり大きな
起磁力が必要である。さらに、スパイラル状導体(12')
と磁性コア(4')(6')の重なっている面積比率がきわめて
小さく、導体コイルと磁性コアの結合状態という点から
見れば、図１４の従来のスパイラル状導体コイルの構造
は好ましい構造ではない。これに対して、図１５に示さ
れているようなヘリカル状の導体コイル(7")を有する薄
膜磁気ヘッドでは、導体コイルの占める面積が小さく、
小型実装に適している。また、ヘリカル状の導体コイル
(7")に流れる電流から発生する磁界は、第図１５のＨy
に示すように、反磁界の小さい上部磁性コアの膜面内の
ｙ方向を向いており、コイルによる小さい起磁力で充分
な磁界をヘッドギャップに形成することができる。さら
に、ヘリカル状導体コイルではコイルと磁性コアの重な
る面積比率がきわめて大きく、両者の結合効率がきわめ
て高いという大きな利点を持っている。しかし、１タ−
ンの導体コイルを形成するのに、導体層の形成、エッチ
ングによる形状加工、絶縁層の形成、スルーホール加工
という複雑な工程が必要であること、多数巻の導体コイ
ルを作製する場合、接続箇所が多くなり、信頼性の面で
問題があることが欠点とされてきた。しかし、最近のプ
ロセス技術の進歩により、これらの問題点は徐々に解決
されつつあり、前述のヘリカル状導体コイルの利点が注
目され始めている。また、このヘリカル状導体の構造で
は、磁気ヘッドの性能向上のため、コイルの巻数を増や
す場合、必然的に磁気コアの長さが長くなり、小型化と
いう点では不利である。さらに、図１５のような構造で
は、ヘリカル状導体が強く結合している磁性コアは上部
磁性コアが主であり、下部磁性コアの励磁は比較的弱い
構造となっている。この点からも従来のヘリカル状導体
コイルの構造は必ずしも材料特性を充分に発揮できる構
造とは言えない。
積法、フォトリソグラフィ技術等を用いて磁性コア、導
体コイルを絶縁層を介して形成するものであり、従来の
バルク型のヘッドに比べて小型化、高性能化が容易であ
る。従来の薄膜磁気ヘッドは、図１４に示すように、下
部磁性コア(4')上に絶縁層(3'a)を介してスパイラル状
の導体コイル(12')が被着形成されており、該スパイラ
ル状導体コイル(12')上の一部分に絶縁層(3'b)を介して
上部磁性コア(6')が被着形成されている。上述のような
スパイラル状の導体コイル(12')を有する薄膜磁気ヘッ
ドは、製造が容易であるが、導体コイルの占める面積が
大きくなり、ヘッドを組み立てる際には、小型実装の面
で不利である。また、スパイラル状の導体コイル(12')
に流れる電流から発生する磁束は、下部及び上部の磁性
コア(4')(6')の高透磁率性を利用することによりｙ方向
の成分となりヘッドギャップ(5')に導かれる。しかし、
このときのコイルによる磁界は、図１４のＨxに示すよ
うに、反磁界の大きい磁性コアの膜面に垂直なｘ方向で
あり、磁性コアを飽和まで到達させるにはかなり大きな
起磁力が必要である。さらに、スパイラル状導体(12')
と磁性コア(4')(6')の重なっている面積比率がきわめて
小さく、導体コイルと磁性コアの結合状態という点から
見れば、図１４の従来のスパイラル状導体コイルの構造
は好ましい構造ではない。これに対して、図１５に示さ
れているようなヘリカル状の導体コイル(7")を有する薄
膜磁気ヘッドでは、導体コイルの占める面積が小さく、
小型実装に適している。また、ヘリカル状の導体コイル
(7")に流れる電流から発生する磁界は、第図１５のＨy
に示すように、反磁界の小さい上部磁性コアの膜面内の
ｙ方向を向いており、コイルによる小さい起磁力で充分
な磁界をヘッドギャップに形成することができる。さら
に、ヘリカル状導体コイルではコイルと磁性コアの重な
る面積比率がきわめて大きく、両者の結合効率がきわめ
て高いという大きな利点を持っている。しかし、１タ−
ンの導体コイルを形成するのに、導体層の形成、エッチ
ングによる形状加工、絶縁層の形成、スルーホール加工
という複雑な工程が必要であること、多数巻の導体コイ
ルを作製する場合、接続箇所が多くなり、信頼性の面で
問題があることが欠点とされてきた。しかし、最近のプ
ロセス技術の進歩により、これらの問題点は徐々に解決
されつつあり、前述のヘリカル状導体コイルの利点が注
目され始めている。また、このヘリカル状導体の構造で
は、磁気ヘッドの性能向上のため、コイルの巻数を増や
す場合、必然的に磁気コアの長さが長くなり、小型化と
いう点では不利である。さらに、図１５のような構造で
は、ヘリカル状導体が強く結合している磁性コアは上部
磁性コアが主であり、下部磁性コアの励磁は比較的弱い
構造となっている。この点からも従来のヘリカル状導体
コイルの構造は必ずしも材料特性を充分に発揮できる構
造とは言えない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記従来例の
欠点に鑑みなされたものであり、導体コイルの占める面
積が小さく、しかも導体コイルと磁性コアの結合がきわ
めて強い高性能な薄膜磁気ヘッドを提供することを目的
とするものである。
欠点に鑑みなされたものであり、導体コイルの占める面
積が小さく、しかも導体コイルと磁性コアの結合がきわ
めて強い高性能な薄膜磁気ヘッドを提供することを目的
とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、基板上に下部
縞状導電膜、前記下部縞状導電膜の上に絶縁層を介して
下部磁性コア、ギャップスペーサ及び上部磁性コアを被
着形成し、前記下部磁性コアの一端の磁極と前記上部磁
性コアの一端の磁極によりヘッドギャップが構成され、
前記下部磁気コアの上には絶縁層と上部縞状導電膜が形
成され、前記下部縞状導電膜及び上部縞状導電膜の端部
は連結されてヘリカル状導体コイルが形成された薄膜磁
気ヘッドにおいて、前記下部磁性コアは閉ループの一部
が欠如した形状（開ループ）に形成され、前記ヘリカル
状導体コイルは前記下部磁性コアを巻回し、前記下部磁
性コアの磁極でない端と前記上部磁性コアの磁極でない
端が磁気的に接合されており、該磁気的接合部分と前記
上部磁性コアは前記ヘリカル状導体コイルの全部とは重
ならない部分に配されていることを特徴としている。
縞状導電膜、前記下部縞状導電膜の上に絶縁層を介して
下部磁性コア、ギャップスペーサ及び上部磁性コアを被
着形成し、前記下部磁性コアの一端の磁極と前記上部磁
性コアの一端の磁極によりヘッドギャップが構成され、
前記下部磁気コアの上には絶縁層と上部縞状導電膜が形
成され、前記下部縞状導電膜及び上部縞状導電膜の端部
は連結されてヘリカル状導体コイルが形成された薄膜磁
気ヘッドにおいて、前記下部磁性コアは閉ループの一部
が欠如した形状（開ループ）に形成され、前記ヘリカル
状導体コイルは前記下部磁性コアを巻回し、前記下部磁
性コアの磁極でない端と前記上部磁性コアの磁極でない
端が磁気的に接合されており、該磁気的接合部分と前記
上部磁性コアは前記ヘリカル状導体コイルの全部とは重
ならない部分に配されていることを特徴としている。
【０００５】
【作用】上記構成によれば、コイル部分は閉ループの一
部が欠如した形状（開ループ）の下部磁性コアを巻回し
ているだけであり、従来構造より構造が簡単である。さ
らに、全体の磁気回路を占める下部磁性コアの部分がき
わめて大きいので、多数回巻かれた導体コイルの分布が
磁路全体にわたり、磁性コアとコイルの結合を強くする
ことができ、高性能な薄膜磁気ヘッドを実現できる。
部が欠如した形状（開ループ）の下部磁性コアを巻回し
ているだけであり、従来構造より構造が簡単である。さ
らに、全体の磁気回路を占める下部磁性コアの部分がき
わめて大きいので、多数回巻かれた導体コイルの分布が
磁路全体にわたり、磁性コアとコイルの結合を強くする
ことができ、高性能な薄膜磁気ヘッドを実現できる。
【０００６】
【実施例】以下、図面を参照しつつ本発明の実施例を詳
細に説明する。図１は本発明の一つの実施例を示す薄膜
磁気ヘッドの要部斜視図、図２(a)は上記磁気ヘッドの
平面図である。図２(b)は前記平面図のＡ-Ａ’断面図で
ある。図中、(1)は結晶化ガラス等の非磁性セラミック
スからなる基板であり、該基板(1)の上面にはＣu、Ａl
等の導電材料よりなる約２μm厚の下部縞状導電膜(2)が
形成されている。該下部縞状導電膜(2)の上にはＳiＯ2
等の絶縁材料よりなる約１μm厚の絶縁層(3a)が形成さ
れている。前記の絶縁膜(3a)の上にはパーマロイ、セン
ダスト、Ｃo系アモルファス磁性合金等の高透磁率磁性
薄膜よりなる下部磁性コア(4)が被着形成されている。
前記下部磁性コア(4)上には約１μmの絶縁層(3b)を介し
て上部縞状導電膜(7)((7a)(7b))が形成されている。前
記下部磁性コア(4)は図に示すように、閉ループの一部
分が欠如した形状（開ループ）となっており、該開ルー
プを形成する二つの辺がお互いに平行である。前記開ル
ープの一端は、前記平行な二つの辺の中心にあり、かつ
平行となって、その端面は非磁性基板(1)の端面に露出
し、ヘッドギャップ(5)の一つの磁極となっている。前
記下部及び上部縞状導電膜(2)(7)は、前記下部磁性コア
(4)を卷回するようにお互いに端部が連結されてヘリカ
ル状導体コイルとなる。前記下部磁性コア(4)の他方の
一端は、前記磁極となった一端の近傍で基板上で終端と
なる。これら両方の端は磁気的な干渉がないよう充分離
れている必要があるが、後工程で作製される上部磁性コ
ア(6)の長さをできるだけ短くするためには近い方がよ
い。前記下部磁性コア(4)の磁極となった一端の上に
は、ＳiＯ2等の絶縁材料よりなるヘッドギャップ(5)を
介して上部磁性コア(6)が被着形成されており、この一
端は基板の端面に露出し、ヘッドギャップのもう一つの
磁極となる。上部磁性コア(6)の他端は、折曲がって下
部磁性コア(4)の他の端の上面に磁気的に接合されてい
る。これは、図１及び図２に磁気的接合部分(9)として
示されている。次に、上記実施例の薄膜ヘッドの製造方
法について説明する。先ず、図３に示すように基板(1)
の上面に下部縞状導電膜(2a)(2b)を蒸着、スパッタリン
グ等による被着形成する。この際、前記下部縞状導電膜
(2a)(2b)は、後工程で作製される上部縞状導電膜(7a)(7
b)と重なり、ヘリカル状導体コイルとなるように配され
ている。次に、図４に示すように前記下部縞状導電膜(2
a)(2b)上全域に絶縁層(3a)を平坦に形成する。次に、前
記絶縁層(3a)の上面に、図５に示すように、閉ループの
一部が欠如した形状の下部磁性コア(4)を被着形成す
る。上記ループを構成する２辺は対向して平行に配され
ており、その端の一端は基板面内で折れ曲がり基板(1)
の端面にヘッドギャップの一つの磁極として露出し、他
端は基板(1)の上面内で終わっている。次に、図６に示
すように前記下部磁性コア(4)上全域に絶縁層(3b)を平
坦に形成する。次に、前記絶縁層(3b)上にマスクを形成
し、エッチングを行うことにより、図７のように下部縞
状導電膜(2)の接合端部が露出するように、加工する。
同時に、前記下部磁性コア(4)の基板上で終わっている
他の端の上の部分も、エッチング加工により露出させ
る。次に、図８に示すように、上部縞状導電膜(7a)(7b)
を下部縞状導電膜(2a)(2b)と電気的に接合しヘリカル状
導体コイルとなるように形成する。次に、図９に示すよ
うに、効率のよいヘッドギャップを作製するために、非
磁性スペーサー(11)を絶縁層(3b)の上面のヘッドギャッ
プ(5)の磁極となる部分の近傍に形成する。次に、上部
磁性コア(6)を絶縁層(3b)とスペーサー(11)を介して下
部磁性コア(4)の上に形成する。ヘッドギャップ(5)の厚
みは絶縁層(3b)の厚みと同じである。下部磁性コア(4)
と上部磁性コア(6)はヘッドギャップ(5)を形成する部分
の近傍ではほぼ平行で同じ形状をしているが、上部磁性
コア(6)はスペーサー(11)を介する部分から分かれて折
れ曲がりその端は下部磁性コア(4)の他端の上に磁気的
に連結される。以上の工程により、本発明の一つの実施
例が完成する。図１１(a)(b)は、本発明のもう一つの実
施例を示す平面図と断面図である。第図２の前記実施例
とは異なり、上部縞上導電膜と下部縞状導電膜は１タ−
ン毎に下部磁性コア(4)の平行な２辺に交互に接続され
て巻回されているのが特徴である。図１２(a)(b)は、本
発明のもう一つの実施例を示す平面図と断面図である。
前記実施例とは異なり、下部磁性コア(4)の平行な２辺
の１辺が折れ曲がらずに直線のまま基板(1)の端面に露
出しヘッドギャップの一つの磁極となるのが特徴であ
る。図１３(a)(b)は、本発明のもう一つの実施例を示す
平面図と断面図である。前記実施例とは異なり、下部磁
性コア(4)の一端が大きく折れ曲がって他方の平行な辺
に平行な位置まで達してヘッドギャップ(5)の一つの磁
極となっている。この実施例では、上部磁性コア(6)は
基板平面に投影した形状では折れ曲がらずにそのまま直
線状に基板の端面に露出して磁極となるのが特徴であ
る。これらの実施例は、本発明の特許請求の範囲の基礎
的事項である、ヘリカル状導体コイルが下部磁性コアに
のみ巻回されていること、下部磁性コアと上部磁性コア
の磁気的接合部及び上部磁性コアはヘリカル状導体コイ
ルと重ならない位置に配されていること等を含んでいる
ことから、本分野の専門家であれば上記実施例が本発明
の範囲に含まれることは容易に理解できるであろう。
細に説明する。図１は本発明の一つの実施例を示す薄膜
磁気ヘッドの要部斜視図、図２(a)は上記磁気ヘッドの
平面図である。図２(b)は前記平面図のＡ-Ａ’断面図で
ある。図中、(1)は結晶化ガラス等の非磁性セラミック
スからなる基板であり、該基板(1)の上面にはＣu、Ａl
等の導電材料よりなる約２μm厚の下部縞状導電膜(2)が
形成されている。該下部縞状導電膜(2)の上にはＳiＯ2
等の絶縁材料よりなる約１μm厚の絶縁層(3a)が形成さ
れている。前記の絶縁膜(3a)の上にはパーマロイ、セン
ダスト、Ｃo系アモルファス磁性合金等の高透磁率磁性
薄膜よりなる下部磁性コア(4)が被着形成されている。
前記下部磁性コア(4)上には約１μmの絶縁層(3b)を介し
て上部縞状導電膜(7)((7a)(7b))が形成されている。前
記下部磁性コア(4)は図に示すように、閉ループの一部
分が欠如した形状（開ループ）となっており、該開ルー
プを形成する二つの辺がお互いに平行である。前記開ル
ープの一端は、前記平行な二つの辺の中心にあり、かつ
平行となって、その端面は非磁性基板(1)の端面に露出
し、ヘッドギャップ(5)の一つの磁極となっている。前
記下部及び上部縞状導電膜(2)(7)は、前記下部磁性コア
(4)を卷回するようにお互いに端部が連結されてヘリカ
ル状導体コイルとなる。前記下部磁性コア(4)の他方の
一端は、前記磁極となった一端の近傍で基板上で終端と
なる。これら両方の端は磁気的な干渉がないよう充分離
れている必要があるが、後工程で作製される上部磁性コ
ア(6)の長さをできるだけ短くするためには近い方がよ
い。前記下部磁性コア(4)の磁極となった一端の上に
は、ＳiＯ2等の絶縁材料よりなるヘッドギャップ(5)を
介して上部磁性コア(6)が被着形成されており、この一
端は基板の端面に露出し、ヘッドギャップのもう一つの
磁極となる。上部磁性コア(6)の他端は、折曲がって下
部磁性コア(4)の他の端の上面に磁気的に接合されてい
る。これは、図１及び図２に磁気的接合部分(9)として
示されている。次に、上記実施例の薄膜ヘッドの製造方
法について説明する。先ず、図３に示すように基板(1)
の上面に下部縞状導電膜(2a)(2b)を蒸着、スパッタリン
グ等による被着形成する。この際、前記下部縞状導電膜
(2a)(2b)は、後工程で作製される上部縞状導電膜(7a)(7
b)と重なり、ヘリカル状導体コイルとなるように配され
ている。次に、図４に示すように前記下部縞状導電膜(2
a)(2b)上全域に絶縁層(3a)を平坦に形成する。次に、前
記絶縁層(3a)の上面に、図５に示すように、閉ループの
一部が欠如した形状の下部磁性コア(4)を被着形成す
る。上記ループを構成する２辺は対向して平行に配され
ており、その端の一端は基板面内で折れ曲がり基板(1)
の端面にヘッドギャップの一つの磁極として露出し、他
端は基板(1)の上面内で終わっている。次に、図６に示
すように前記下部磁性コア(4)上全域に絶縁層(3b)を平
坦に形成する。次に、前記絶縁層(3b)上にマスクを形成
し、エッチングを行うことにより、図７のように下部縞
状導電膜(2)の接合端部が露出するように、加工する。
同時に、前記下部磁性コア(4)の基板上で終わっている
他の端の上の部分も、エッチング加工により露出させ
る。次に、図８に示すように、上部縞状導電膜(7a)(7b)
を下部縞状導電膜(2a)(2b)と電気的に接合しヘリカル状
導体コイルとなるように形成する。次に、図９に示すよ
うに、効率のよいヘッドギャップを作製するために、非
磁性スペーサー(11)を絶縁層(3b)の上面のヘッドギャッ
プ(5)の磁極となる部分の近傍に形成する。次に、上部
磁性コア(6)を絶縁層(3b)とスペーサー(11)を介して下
部磁性コア(4)の上に形成する。ヘッドギャップ(5)の厚
みは絶縁層(3b)の厚みと同じである。下部磁性コア(4)
と上部磁性コア(6)はヘッドギャップ(5)を形成する部分
の近傍ではほぼ平行で同じ形状をしているが、上部磁性
コア(6)はスペーサー(11)を介する部分から分かれて折
れ曲がりその端は下部磁性コア(4)の他端の上に磁気的
に連結される。以上の工程により、本発明の一つの実施
例が完成する。図１１(a)(b)は、本発明のもう一つの実
施例を示す平面図と断面図である。第図２の前記実施例
とは異なり、上部縞上導電膜と下部縞状導電膜は１タ−
ン毎に下部磁性コア(4)の平行な２辺に交互に接続され
て巻回されているのが特徴である。図１２(a)(b)は、本
発明のもう一つの実施例を示す平面図と断面図である。
前記実施例とは異なり、下部磁性コア(4)の平行な２辺
の１辺が折れ曲がらずに直線のまま基板(1)の端面に露
出しヘッドギャップの一つの磁極となるのが特徴であ
る。図１３(a)(b)は、本発明のもう一つの実施例を示す
平面図と断面図である。前記実施例とは異なり、下部磁
性コア(4)の一端が大きく折れ曲がって他方の平行な辺
に平行な位置まで達してヘッドギャップ(5)の一つの磁
極となっている。この実施例では、上部磁性コア(6)は
基板平面に投影した形状では折れ曲がらずにそのまま直
線状に基板の端面に露出して磁極となるのが特徴であ
る。これらの実施例は、本発明の特許請求の範囲の基礎
的事項である、ヘリカル状導体コイルが下部磁性コアに
のみ巻回されていること、下部磁性コアと上部磁性コア
の磁気的接合部及び上部磁性コアはヘリカル状導体コイ
ルと重ならない位置に配されていること等を含んでいる
ことから、本分野の専門家であれば上記実施例が本発明
の範囲に含まれることは容易に理解できるであろう。
【０００７】
【発明の効果】本発明によれば、従来構造に比較し、磁
気ヘッドの磁気回路が主に下部磁性コアにより構成さ
れ、かつヘリカル状導体コイルが下部磁性コアにのみ巻
回されており、さらに、磁気回路全体にわたり多数回の
コイルを有効に巻回できることから磁性コアとコイルの
結合効率のよい高性能で構造が簡単な薄膜磁気ヘッドを
提供し得る。
気ヘッドの磁気回路が主に下部磁性コアにより構成さ
れ、かつヘリカル状導体コイルが下部磁性コアにのみ巻
回されており、さらに、磁気回路全体にわたり多数回の
コイルを有効に巻回できることから磁性コアとコイルの
結合効率のよい高性能で構造が簡単な薄膜磁気ヘッドを
提供し得る。
【図１】薄膜磁気ヘッドの斜視図
【図２】薄膜磁気ヘッドの平面図と断面図
【図３】薄膜磁気ヘッドの製造方法を示す斜視図
【図４】薄膜磁気ヘッドの製造方法を示す斜視図
【図５】薄膜磁気ヘッドの製造方法を示す斜視図
【図６】薄膜磁気ヘッドの製造方法を示す斜視図
【図７】薄膜磁気ヘッドの製造方法を示す斜視図
【図８】薄膜磁気ヘッドの製造方法を示す斜視図
【図９】薄膜磁気ヘッドの製造方法を示す斜視図
【図１０】薄膜磁気ヘッドの製造方法を示す斜視図
【図１１】薄膜磁気ヘッドの他の実施例を示す平面図と
断面図
断面図
【図１２】薄膜磁気ヘッドの他の実施例を示す平面図と
断面図
断面図
【図１３】薄膜磁気ヘッドの他の実施例を示す平面図と
断面図
断面図
【図１４】従来の薄膜ヘッドの平面図と断面図である。
【図１５】従来の薄膜ヘッドの平面図と断面図である。
１ 基板 ２ 下部縞状導電膜 ３ 絶縁層 ４ 下部磁性コア ５ ヘッドギャップ ６ 上部磁性コア ７ 上部縞状導電膜 ７" ヘリカル状導体コイル ８ 端子 ９ 磁気的接合部分 １０ スルーホール １１ スペーサー １２' スパイラル状導体コイル
Claims (4)
- 【請求項１】 基板上に下部縞状導電膜、前記下部縞状
導電膜の上に絶縁層を介して下部磁性コア、ギャップス
ペーサ及び上部磁性コアを被着形成し、前記下部磁性コ
アの一端の磁極と前記上部磁性コアの一端の磁極により
ヘッドギャップが構成され、前記下部磁気コアの上には
絶縁層と上部縞状導電膜が形成され、前記下部縞状導電
膜及び前記上部縞状導電膜の端部は連結されてヘリカル
状導体コイルが形成された薄膜磁気ヘッドにおいて、前
記下部磁性コアは閉ループの一部が欠如した形状（開ル
ープ）に形成され、前記ヘリカル状導体コイルは前記下
部磁性コアを巻回し、前記下部磁性コアの磁極でない端
と前記上部磁性コアの磁極でない端が磁気的に接合され
ており、該磁気的接合部分と前記上部磁性コアは前記ヘ
リカル状導体コイルの全部とは重ならない部分に配され
ていることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項２】 請求項１において、前記下部磁性コアの
形状は少なくとも二つの平行な辺を有し、前記ヘリカル
状導体コイルがそれぞれの辺に分布して巻回されている
ことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項３】 請求項１及び２において、ヘッドギャッ
プが前記下部磁性コアの二つの平行な辺のほぼ中心に配
されたことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項４】 請求項１及び２において、ヘッドギャッ
プが前記下部磁性コアの二つの平行な辺のどちらか一方
の辺の延長上に配されたことを特徴とする薄膜磁気ヘッ
ド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3767192A JPH05234033A (ja) | 1992-02-25 | 1992-02-25 | 薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3767192A JPH05234033A (ja) | 1992-02-25 | 1992-02-25 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05234033A true JPH05234033A (ja) | 1993-09-10 |
Family
ID=12504101
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3767192A Pending JPH05234033A (ja) | 1992-02-25 | 1992-02-25 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05234033A (ja) |
-
1992
- 1992-02-25 JP JP3767192A patent/JPH05234033A/ja active Pending
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