JPH05342531A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
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- JPH05342531A JPH05342531A JP15183592A JP15183592A JPH05342531A JP H05342531 A JPH05342531 A JP H05342531A JP 15183592 A JP15183592 A JP 15183592A JP 15183592 A JP15183592 A JP 15183592A JP H05342531 A JPH05342531 A JP H05342531A
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- magnetic core
- head
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
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- G—PHYSICS
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3176—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps
- G11B5/3179—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps the films being mainly disposed in parallel planes
- G11B5/3183—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps the films being mainly disposed in parallel planes intersecting the gap plane, e.g. "horizontal head structure"
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 薄膜ヘッドの導体コイルと磁性コアの結合が
きわめて強く、かつ誤った記録が行われにくい高性能な
薄膜ヘッドを得る。 【構成】 基板上に下部縞状導電膜、前記下部縞状導電
膜の上に絶縁層を介して下部磁性コアを被着形成し、前
記下部磁性コアの上には絶縁層を介して上部縞状導電膜
を形成し、前記下部縞状導電膜及び前記上部縞状導電膜
の端部を連結して形成されたヘリカル状導体コイルを有
する薄膜磁気ヘッドにおいて、前記下部磁性コアは閉ル
ープの一部が欠如した形状（開ループ）に形成され、前
記ヘリカル状導体コイルは前記下部磁性コアを巻回し、
前記下部磁性コアの両端の上に上部磁性コアが被着形成
され、前記下部磁性コアと前記上部磁性コアは磁気的に
接合されており、前記上部磁性コアの一部分に溝が形成
され、前記溝がヘッドギャップとして作用し、前記ヘッ
ドギャップの摺動面が上部磁性コアの膜面と平行であ
り、前記ヘリカル導体コイルより発生する磁界の方向が
前記摺動面の摺動方向と垂直である薄膜磁気ヘッド。
きわめて強く、かつ誤った記録が行われにくい高性能な
薄膜ヘッドを得る。 【構成】 基板上に下部縞状導電膜、前記下部縞状導電
膜の上に絶縁層を介して下部磁性コアを被着形成し、前
記下部磁性コアの上には絶縁層を介して上部縞状導電膜
を形成し、前記下部縞状導電膜及び前記上部縞状導電膜
の端部を連結して形成されたヘリカル状導体コイルを有
する薄膜磁気ヘッドにおいて、前記下部磁性コアは閉ル
ープの一部が欠如した形状（開ループ）に形成され、前
記ヘリカル状導体コイルは前記下部磁性コアを巻回し、
前記下部磁性コアの両端の上に上部磁性コアが被着形成
され、前記下部磁性コアと前記上部磁性コアは磁気的に
接合されており、前記上部磁性コアの一部分に溝が形成
され、前記溝がヘッドギャップとして作用し、前記ヘッ
ドギャップの摺動面が上部磁性コアの膜面と平行であ
り、前記ヘリカル導体コイルより発生する磁界の方向が
前記摺動面の摺動方向と垂直である薄膜磁気ヘッド。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は構造が簡単で製造し易い
高性能な横型薄膜磁気ヘッドに関する。
高性能な横型薄膜磁気ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】薄膜磁気ヘッドは、基板上に薄膜堆積
法、フォトリソグラフィ技術等を用いて磁性コア、導体
コイルを絶縁層を介して形成するものであり、従来のバ
ルク型のヘッドに比べて小型化、高性能化が容易であ
る。従来のヘリカル状導体コイルを用いた薄膜磁気ヘッ
ドは、図１２に示すように、基板(1')の上に下部磁気コ
ア(4')が被着形成されており、その上に絶縁層(3'a)を
介して下部縞状導体膜(7'a)が被着形成されている。さ
らに、絶縁層(3'b)を介して上部磁性コア(6')が被着形
成されている。前記下部磁性コアと前記上部磁性コアの
対向する二つの端部はヘッドギャップ(5')となり、他の
端部は磁気的接合部分(9')により直接接合される。前記
上部磁性コア(6')の上には絶縁層(3'c)を介して上部縞
状導電膜(7'b)が被着形成される。前記下部縞状導電膜
と前記上部縞状導電膜の端部はお互いに接合されてヘリ
カル状導体コイル(7')となる。この薄膜磁気ヘッドは、
導体コイルの占める面積が小さく、小型実装に適してい
る。また、ヘリカル状の導体コイル(7')に流れる電流か
ら発生する磁界は、反磁界の小さい上部磁性コアの膜面
内のｙ方向を向いており、コイルによる小さい起磁力で
充分な磁界をヘッドギャップに形成することができる。
さらに、ヘリカル状導体コイルを用いた薄膜ヘッドで
は、スパイラル状導体コイルを用いたものに比較し、コ
イルと磁性コアの重なる面積比率がきわめて大きく、両
者の結合効率がきわめて高いという利点を持っている。
また、図１３に示すように、下部磁性コア(4")を閉ルー
プの一部が欠如した形状（開ループ）に形成し、ヘリカ
ル状導体コイルが、前記下部磁性コア（4"）に分布して
卷回された構造が提案されている。上部磁性コア(6")の
一端は、前記下部磁性コア(4")の一端と磁気的に接合さ
れており、もう一方の端は前記下部コアの一方の端と対
になってヘッドギャップ(5")を構成している。この構造
は、巻線構造が平面内に集積できるので小型化に適して
いる。しかし、従来技術の図１２及び図１３の構造は、
いずれもヘッドギャップ(5')(5")の摺動面(19)は上部及
び下部磁性コアの膜面に垂直である。この場合には、磁
性コアの膜厚が薄いためにコンター効果というヘッドギ
ャップ以外の磁性コアの端面で誤った記録が行われると
いう重大な欠点があった。これを解決する方法として、
図１４に示すように、スパイラル状導体コイル(16)を用
いた横型薄膜磁気ヘッドが提案されている（参考文献；
D.W.Chapman,IEEE,MAG-25,No.5,(1989) pp3686-368
8）。これは、ヘッドギャップがギャップ 部磁性コア(1
7)の膜面内になり、記録媒体との摺動面(19)が磁性コア
の膜面に平行であることが特徴である。このような構造
により実質的にヘッドギャップを構成する磁極の幅を広
くできるので、従来の薄膜磁気ヘッドの欠点であるコン
ター効果を著しく低減できる。しかし、この構造は、導
体コイルと磁性コアの結合効率が悪いだけでなく、スパ
イラル状導体コイル(16)が摺動面(19)のきわめて近い距
離に配されているため、前記結合効率の悪さも手伝っ
て、導体コイルにより直接発生する磁界は摺動面(19)に
垂直となり、記録媒体に影響を与える。これにより記録
媒体に誤った記録がなされるという欠点があった。
法、フォトリソグラフィ技術等を用いて磁性コア、導体
コイルを絶縁層を介して形成するものであり、従来のバ
ルク型のヘッドに比べて小型化、高性能化が容易であ
る。従来のヘリカル状導体コイルを用いた薄膜磁気ヘッ
ドは、図１２に示すように、基板(1')の上に下部磁気コ
ア(4')が被着形成されており、その上に絶縁層(3'a)を
介して下部縞状導体膜(7'a)が被着形成されている。さ
らに、絶縁層(3'b)を介して上部磁性コア(6')が被着形
成されている。前記下部磁性コアと前記上部磁性コアの
対向する二つの端部はヘッドギャップ(5')となり、他の
端部は磁気的接合部分(9')により直接接合される。前記
上部磁性コア(6')の上には絶縁層(3'c)を介して上部縞
状導電膜(7'b)が被着形成される。前記下部縞状導電膜
と前記上部縞状導電膜の端部はお互いに接合されてヘリ
カル状導体コイル(7')となる。この薄膜磁気ヘッドは、
導体コイルの占める面積が小さく、小型実装に適してい
る。また、ヘリカル状の導体コイル(7')に流れる電流か
ら発生する磁界は、反磁界の小さい上部磁性コアの膜面
内のｙ方向を向いており、コイルによる小さい起磁力で
充分な磁界をヘッドギャップに形成することができる。
さらに、ヘリカル状導体コイルを用いた薄膜ヘッドで
は、スパイラル状導体コイルを用いたものに比較し、コ
イルと磁性コアの重なる面積比率がきわめて大きく、両
者の結合効率がきわめて高いという利点を持っている。
また、図１３に示すように、下部磁性コア(4")を閉ルー
プの一部が欠如した形状（開ループ）に形成し、ヘリカ
ル状導体コイルが、前記下部磁性コア（4"）に分布して
卷回された構造が提案されている。上部磁性コア(6")の
一端は、前記下部磁性コア(4")の一端と磁気的に接合さ
れており、もう一方の端は前記下部コアの一方の端と対
になってヘッドギャップ(5")を構成している。この構造
は、巻線構造が平面内に集積できるので小型化に適して
いる。しかし、従来技術の図１２及び図１３の構造は、
いずれもヘッドギャップ(5')(5")の摺動面(19)は上部及
び下部磁性コアの膜面に垂直である。この場合には、磁
性コアの膜厚が薄いためにコンター効果というヘッドギ
ャップ以外の磁性コアの端面で誤った記録が行われると
いう重大な欠点があった。これを解決する方法として、
図１４に示すように、スパイラル状導体コイル(16)を用
いた横型薄膜磁気ヘッドが提案されている（参考文献；
D.W.Chapman,IEEE,MAG-25,No.5,(1989) pp3686-368
8）。これは、ヘッドギャップがギャップ 部磁性コア(1
7)の膜面内になり、記録媒体との摺動面(19)が磁性コア
の膜面に平行であることが特徴である。このような構造
により実質的にヘッドギャップを構成する磁極の幅を広
くできるので、従来の薄膜磁気ヘッドの欠点であるコン
ター効果を著しく低減できる。しかし、この構造は、導
体コイルと磁性コアの結合効率が悪いだけでなく、スパ
イラル状導体コイル(16)が摺動面(19)のきわめて近い距
離に配されているため、前記結合効率の悪さも手伝っ
て、導体コイルにより直接発生する磁界は摺動面(19)に
垂直となり、記録媒体に影響を与える。これにより記録
媒体に誤った記録がなされるという欠点があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記従来例の
欠点に鑑みなされたものであり、導体コイルと磁性コア
の結合がきわめて強く、かつ誤った記録が行われにくい
高性能な薄膜磁気ヘッドを提供することを目的とするも
のである。
欠点に鑑みなされたものであり、導体コイルと磁性コア
の結合がきわめて強く、かつ誤った記録が行われにくい
高性能な薄膜磁気ヘッドを提供することを目的とするも
のである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、基板上に下部
縞状導電膜、前記下部縞状導電膜の上に絶縁層を介して
下部磁性コアを被着形成し、前記下部磁性コアの上には
絶縁層を介して上部縞状導電膜を形成し、前記下部縞状
導電膜及び前記上部縞状導電膜の端部を連結して形成さ
れたヘリカル状導体コイルを有する薄膜磁気ヘッドにお
いて、前記下部磁性コアは分離した二つの磁性薄膜より
なり、該磁性薄膜が一定の間隔を隔てて直線状に配列さ
れて被着形成され、前記ヘリカル状導体コイルは前記下
部磁性コアの二つをそれぞれ巻回し、前記二つの下部磁
性コアのお互いに対向する端の上に上部磁性コアが被着
形成され、前記下部磁性コアと前記上部磁性コアは磁気
的に接合されており、前記上部磁性コアの一部分に溝が
形成され、前記溝がヘッドギャップとして作用し、前記
ヘッドギャップの摺動面が上部磁性コアの膜面と平行で
あることを特徴としている。
縞状導電膜、前記下部縞状導電膜の上に絶縁層を介して
下部磁性コアを被着形成し、前記下部磁性コアの上には
絶縁層を介して上部縞状導電膜を形成し、前記下部縞状
導電膜及び前記上部縞状導電膜の端部を連結して形成さ
れたヘリカル状導体コイルを有する薄膜磁気ヘッドにお
いて、前記下部磁性コアは分離した二つの磁性薄膜より
なり、該磁性薄膜が一定の間隔を隔てて直線状に配列さ
れて被着形成され、前記ヘリカル状導体コイルは前記下
部磁性コアの二つをそれぞれ巻回し、前記二つの下部磁
性コアのお互いに対向する端の上に上部磁性コアが被着
形成され、前記下部磁性コアと前記上部磁性コアは磁気
的に接合されており、前記上部磁性コアの一部分に溝が
形成され、前記溝がヘッドギャップとして作用し、前記
ヘッドギャップの摺動面が上部磁性コアの膜面と平行で
あることを特徴としている。
【０００５】
【作用】上記構成によれば、摺動面と磁性コアの膜面が
平行であり、かつ導体コイルの発生する磁界が効率よく
磁性コアに吸収され漏洩磁界が少なく、誤動作の少ない
高性能な薄膜磁気ヘッドを実現できる。
平行であり、かつ導体コイルの発生する磁界が効率よく
磁性コアに吸収され漏洩磁界が少なく、誤動作の少ない
高性能な薄膜磁気ヘッドを実現できる。
【０００６】
【実施例】以下、図面を参照しつつ本発明の実施例を詳
細に説明する。図１は本発明の一つの実施例を示す薄膜
磁気ヘッドの要部斜視図、図２(a)は上記磁気ヘッドの
平面図である。図２(b)は前記平面図のＡ-Ａ’断面図で
ある。図中、(1)は結晶化ガラス等の非磁性セラミック
スからなる基板であり、該基板(1)の上面にはＣu、Ａl
等の導電材料よりなる約２μm厚の下部縞状導電膜(2a)
(2b)が形成されている。該下部縞状導電膜(2a)(2b)の上
にはＳiＯ2等の絶縁材料よりなる 約１μm厚の絶縁層(3
a)が形成されている。前記の絶縁膜(3a)の上にはパーマ
ロ イ、センダスト、Ｃo系アモルファス磁性合金等の高
透磁率磁性薄膜よりなる二つの下部磁性コア(4a)(4b)が
直線状に配置されて被着形成されている。前記下部磁性
コア(4a)(4b)上には約１μmの絶縁層(3b)を介して上部
縞状導電膜(7a)(7b)が形成されている。前記二つの下部
磁性コア(4a)(4b)は図に示すように、お互いに直線状に
配列されており、二つのヘリカル状導電コイルにより発
生する磁界はお互いに平行であり、かつ二つの下部磁性
コアの中心では重ね合わさるようになっている。前記下
部磁性コアのお互いに対向しない他の端はそのまま非磁
性基板(1)の端面に露出している。前記下部及び上部縞
状導電膜(2a)(2b)(7a)(7b)は、前記下部磁性コア(4a)(4
b)を卷回するようにお互いに端部が連結されてヘリカル
状導体コイルとなる。前記二つの下部磁性コア(4a)(4b)
の両端の上には、図に示すように、上部磁性コア(6)が
直接被着形成されている。両者は磁気的接合部分(9a)(9
b)により磁気的に接合されている。前記上部磁性コア
(6)の中心には溝が形成され、ヘッドギャップ(5)とな
る。前記上部磁性コアのヘッドギャップ近傍の部分はＳ
iＯ2等の絶縁材料を介して折れ曲がり、ヘリカル状導体
コイルより高さが高くなり表面に突き出ている。次に、
上記実施例の薄膜ヘッドの製造方法について説明する。
先ず、図３に示すように基板(1)の上面に下部縞状導電
膜(2a)(2b)を蒸着、スパッタリング等による被着形成す
る。この際、前記下部縞状導電膜（２ａ）（２ｂ）は、
後工程で作製される上部縞状導電膜(7a)(7b)と重なり、
ヘリカル状導体コイルとなるように配されている。次
に、図４に示すように前記下部縞状導電膜(2a)(2b)上全
域に絶縁層(3a)を平坦に形成する。次に、前記絶縁層(3
a)の上面に、図５に示すように、ある距離を隔てて直線
状に配列した二つの下部磁性コア(4a)(4b)を被着形成す
る。下部磁性コアのお互いに対向しない端は基板(1)の
端面に露出している。次に、図６に示すように前記下部
磁性コア(4)上全域に絶縁層(3b)を平坦に形成する。次
に、前記絶縁層(3b)上にマスクを形成し、エッチングを
行うことにより、図７のように下部縞状導電膜(2a)(2b)
の接合端部が表面に露出するように、スルホール加工(1
0a)(10b)を施す。同時に、前記下部磁性コア(4a)(4b)の
お互いに対向する端の上の部分も、エッチング加工によ
り露出させる。また、図７に示すように、ヘッドギャッ
プを他の構成部分より高くするために、非磁性スペーサ
ー(11)を二つの下部磁性コアの対向する端の間に形成す
る。次に、図８に示すように、上部縞状導電膜(7a)(7b)
を下部縞状導電膜(2a)(2b)と電気的に接合しヘリカル状
導体コイルとなるように形成する。次に、上部磁性コア
(6)をスペーサー(11)を介して下部磁性コア(4)の上に形
成する。ヘッドギャップ(5)の溝は上部磁性コア(6)の中
心にイオンミリング法等により形成される。上部磁性コ
ア(6)の両端は折れ曲がり下部磁性コア(4a)(4b)の上に
磁気的に連結される。次に、図９に示すように、絶縁層
(3c)を、上部磁性コア(6)のヘッドギャップ部分(5)が露
出するように平坦に作成する。以上の工程により、本発
明の一つの実施例が完成する。図１０は、本発明の薄膜
磁気ヘッドを薄膜磁気ディスクの表面に対向させた実施
例の構成断面図である。磁気ディスクの平面と薄膜磁気
ヘッドの上部磁性コアの膜面は平行であり、横型薄膜磁
気ヘッドの基本構成が実現されている。図１１(a)(b)
は、本発明の別の実施例を示す。二つの下部磁性コアの
お互いに対向しない端は基板平面内で折れ曲がり、閉磁
路を形成するように連結されている。(a)は一つの磁路
を有し、(B)は二つの一つの磁路を有する。このような
構造にすることにより、外来雑音に強い薄膜磁気ヘッド
を作製することができる。本構造は、上部磁気コアとそ
の下の二つの下部磁気コアが直線的に配列されているこ
と及びヘリカル状導体コイルも直線的に配列されている
こと等の本発明の基本的要件を備えていることは、本技
術分野に関する専門家であれば容易に理解できるであろ
う。
細に説明する。図１は本発明の一つの実施例を示す薄膜
磁気ヘッドの要部斜視図、図２(a)は上記磁気ヘッドの
平面図である。図２(b)は前記平面図のＡ-Ａ’断面図で
ある。図中、(1)は結晶化ガラス等の非磁性セラミック
スからなる基板であり、該基板(1)の上面にはＣu、Ａl
等の導電材料よりなる約２μm厚の下部縞状導電膜(2a)
(2b)が形成されている。該下部縞状導電膜(2a)(2b)の上
にはＳiＯ2等の絶縁材料よりなる 約１μm厚の絶縁層(3
a)が形成されている。前記の絶縁膜(3a)の上にはパーマ
ロ イ、センダスト、Ｃo系アモルファス磁性合金等の高
透磁率磁性薄膜よりなる二つの下部磁性コア(4a)(4b)が
直線状に配置されて被着形成されている。前記下部磁性
コア(4a)(4b)上には約１μmの絶縁層(3b)を介して上部
縞状導電膜(7a)(7b)が形成されている。前記二つの下部
磁性コア(4a)(4b)は図に示すように、お互いに直線状に
配列されており、二つのヘリカル状導電コイルにより発
生する磁界はお互いに平行であり、かつ二つの下部磁性
コアの中心では重ね合わさるようになっている。前記下
部磁性コアのお互いに対向しない他の端はそのまま非磁
性基板(1)の端面に露出している。前記下部及び上部縞
状導電膜(2a)(2b)(7a)(7b)は、前記下部磁性コア(4a)(4
b)を卷回するようにお互いに端部が連結されてヘリカル
状導体コイルとなる。前記二つの下部磁性コア(4a)(4b)
の両端の上には、図に示すように、上部磁性コア(6)が
直接被着形成されている。両者は磁気的接合部分(9a)(9
b)により磁気的に接合されている。前記上部磁性コア
(6)の中心には溝が形成され、ヘッドギャップ(5)とな
る。前記上部磁性コアのヘッドギャップ近傍の部分はＳ
iＯ2等の絶縁材料を介して折れ曲がり、ヘリカル状導体
コイルより高さが高くなり表面に突き出ている。次に、
上記実施例の薄膜ヘッドの製造方法について説明する。
先ず、図３に示すように基板(1)の上面に下部縞状導電
膜(2a)(2b)を蒸着、スパッタリング等による被着形成す
る。この際、前記下部縞状導電膜（２ａ）（２ｂ）は、
後工程で作製される上部縞状導電膜(7a)(7b)と重なり、
ヘリカル状導体コイルとなるように配されている。次
に、図４に示すように前記下部縞状導電膜(2a)(2b)上全
域に絶縁層(3a)を平坦に形成する。次に、前記絶縁層(3
a)の上面に、図５に示すように、ある距離を隔てて直線
状に配列した二つの下部磁性コア(4a)(4b)を被着形成す
る。下部磁性コアのお互いに対向しない端は基板(1)の
端面に露出している。次に、図６に示すように前記下部
磁性コア(4)上全域に絶縁層(3b)を平坦に形成する。次
に、前記絶縁層(3b)上にマスクを形成し、エッチングを
行うことにより、図７のように下部縞状導電膜(2a)(2b)
の接合端部が表面に露出するように、スルホール加工(1
0a)(10b)を施す。同時に、前記下部磁性コア(4a)(4b)の
お互いに対向する端の上の部分も、エッチング加工によ
り露出させる。また、図７に示すように、ヘッドギャッ
プを他の構成部分より高くするために、非磁性スペーサ
ー(11)を二つの下部磁性コアの対向する端の間に形成す
る。次に、図８に示すように、上部縞状導電膜(7a)(7b)
を下部縞状導電膜(2a)(2b)と電気的に接合しヘリカル状
導体コイルとなるように形成する。次に、上部磁性コア
(6)をスペーサー(11)を介して下部磁性コア(4)の上に形
成する。ヘッドギャップ(5)の溝は上部磁性コア(6)の中
心にイオンミリング法等により形成される。上部磁性コ
ア(6)の両端は折れ曲がり下部磁性コア(4a)(4b)の上に
磁気的に連結される。次に、図９に示すように、絶縁層
(3c)を、上部磁性コア(6)のヘッドギャップ部分(5)が露
出するように平坦に作成する。以上の工程により、本発
明の一つの実施例が完成する。図１０は、本発明の薄膜
磁気ヘッドを薄膜磁気ディスクの表面に対向させた実施
例の構成断面図である。磁気ディスクの平面と薄膜磁気
ヘッドの上部磁性コアの膜面は平行であり、横型薄膜磁
気ヘッドの基本構成が実現されている。図１１(a)(b)
は、本発明の別の実施例を示す。二つの下部磁性コアの
お互いに対向しない端は基板平面内で折れ曲がり、閉磁
路を形成するように連結されている。(a)は一つの磁路
を有し、(B)は二つの一つの磁路を有する。このような
構造にすることにより、外来雑音に強い薄膜磁気ヘッド
を作製することができる。本構造は、上部磁気コアとそ
の下の二つの下部磁気コアが直線的に配列されているこ
と及びヘリカル状導体コイルも直線的に配列されている
こと等の本発明の基本的要件を備えていることは、本技
術分野に関する専門家であれば容易に理解できるであろ
う。
【０００７】
【発明の効果】本発明によれば、従来構造に比較し、磁
気ヘッドの磁気回路が平面的に構成され、かつ磁気ヘッ
ドの摺動面と磁性コアの膜面が平行であり、実質的に磁
極幅を広くとることができ、かつヘリカル状導体コイル
により発生する磁界が漏洩の少ない平面内の磁気回路を
通るので誤動作の少ない高性能で構造が簡単な薄膜磁気
ヘッドを提供し得る。
気ヘッドの磁気回路が平面的に構成され、かつ磁気ヘッ
ドの摺動面と磁性コアの膜面が平行であり、実質的に磁
極幅を広くとることができ、かつヘリカル状導体コイル
により発生する磁界が漏洩の少ない平面内の磁気回路を
通るので誤動作の少ない高性能で構造が簡単な薄膜磁気
ヘッドを提供し得る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の薄膜磁気ヘッドの斜視図
【図２】本発明の薄膜磁気ヘッドの平面図と断面図
【図３】本発明の薄膜磁気ヘッドの製造方法を示す斜視
図
図
【図４】本発明の薄膜磁気ヘッドの製造方法を示す斜視
図
図
【図５】本発明の薄膜磁気ヘッドの製造方法を示す斜視
図
図
【図６】本発明の薄膜磁気ヘッドの製造方法を示す斜視
図
図
【図７】本発明の薄膜磁気ヘッドの製造方法を示す斜視
図
図
【図８】本発明の薄膜磁気ヘッドの製造方法を示す斜視
図
図
【図９】本発明の薄膜磁気ヘッドの製造方法を示す斜視
図
図
【図１０】本発明の薄膜磁気ヘッドの使用例を示す断面
図
図
【図１１】本発明の薄膜磁気ヘッドの他の実施例を示す
図
図
【図１２】従来の薄膜磁気ヘッドの平面図と断面図
【図１３】従来の薄膜磁気ヘッドの平面図と断面図
【図１４】従来の薄膜磁気ヘッドの平面図と断面図
１ 基板 ２ 下部縞状導電膜 ３ 絶縁層 ４ 下部磁性コア ５ ヘッドギャップ ６ 上部磁性コア ７ａ 上部縞状導電膜 ７’ ヘリカル状導体コイル ８ 端子 ９ 磁気的接合部分 １０ スルーホール １１ スペーサー １２ 磁気記録媒体 １３ 磁気ディスク基板 １４ 磁気ディスク回転方向 １５ 磁気ヘッド組立体 １６ スパイラル状導体コイル １７ ギャップ部磁性コア １８ ヨ−ク部磁性コア １９ 摺動面
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊藤 親市 埼玉県熊谷市三ケ尻5200番地日立金属株式 会社磁性材料研究所内
Claims (3)
- 【請求項１】 基板上に下部縞状導電膜、前記下部縞状
導電膜の上に絶縁層を介して下部磁性コアを被着形成
し、前記下部磁性コアの上には絶縁層を介して上部縞状
導電膜を形成し、前記下部縞状導電膜及び前記上部縞状
導電膜の端部を連結して形成されたヘリカル状導体コイ
ルを有する薄膜磁気ヘッドにおいて、前記下部磁性コア
は分離した二つの磁性薄膜よりなり、該磁性薄膜が一定
の間隔を隔てて直線状に配列されて被着形成され、前記
ヘリカル状導体コイルは前記下部磁性コアの二つをそれ
ぞれ巻回し、前記二つの下部磁性コアのお互いに対向す
る端の上に上部磁性コアが被着形成され、前記下部磁性
コアと前記上部磁性コアは磁気的に接合されており、前
記上部磁性コアの一部分に溝が形成され、前記溝がヘッ
ドギャップとして作用し、前記ヘッドギャップの摺動面
が上部磁性コアの膜面と平行であることを特徴とする薄
膜磁気ヘッド。 - 【請求項２】 請求項１において、前記ヘッドギャップ
を構成する前記上部磁性コアの溝の部分が前記上部縞状
導体より高くなっていることを特徴とする薄膜磁気ヘッ
ド。 - 【請求項３】 請求項１もしくは請求項２において、前
記二つの下部磁性コアの前記上部磁性コアに接合しない
それぞれの端は、基板平面上で折れ曲がり、磁気的に接
合されていることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15183592A JPH05342531A (ja) | 1992-06-11 | 1992-06-11 | 薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15183592A JPH05342531A (ja) | 1992-06-11 | 1992-06-11 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05342531A true JPH05342531A (ja) | 1993-12-24 |
Family
ID=15527344
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15183592A Pending JPH05342531A (ja) | 1992-06-11 | 1992-06-11 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05342531A (ja) |
-
1992
- 1992-06-11 JP JP15183592A patent/JPH05342531A/ja active Pending
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