JPS6266414A - 磁気ヘツド - Google Patents
磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS6266414A JPS6266414A JP20708285A JP20708285A JPS6266414A JP S6266414 A JPS6266414 A JP S6266414A JP 20708285 A JP20708285 A JP 20708285A JP 20708285 A JP20708285 A JP 20708285A JP S6266414 A JPS6266414 A JP S6266414A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- coil
- layer
- magnetic head
- film
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
- G11B5/3967—Composite structural arrangements of transducers, e.g. inductive write and magnetoresistive read
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は＠気ヘッドの構造に関する。
本発明は、再生ヘッドとして磁気抵抗効果素子を用い、
この磁気抵抗効果素子まで磁気へ、ド先端から軟磁性膜
の磁束ガイドを設けた磁気ヘッドにおいて、この磁束ガ
イドの軟磁性膜を記録用の磁極とし、磁気ヘッド先端部
で記録電流を流すコイルの最先端部を磁極ではさみこん
でギャップを形成し、かつ、磁気ヘッドの先端部に記録
用コイルの巻数を集中させることにより、再生専用であ
った磁気抵抗効果素子ヘッドに記録能力をもたせ、かつ
その記録効率を上げたものである。
この磁気抵抗効果素子まで磁気へ、ド先端から軟磁性膜
の磁束ガイドを設けた磁気ヘッドにおいて、この磁束ガ
イドの軟磁性膜を記録用の磁極とし、磁気ヘッド先端部
で記録電流を流すコイルの最先端部を磁極ではさみこん
でギャップを形成し、かつ、磁気ヘッドの先端部に記録
用コイルの巻数を集中させることにより、再生専用であ
った磁気抵抗効果素子ヘッドに記録能力をもたせ、かつ
その記録効率を上げたものである。
従来の、磁気抵抗効果素子を用い、記録、再生のできる
磁気ヘッドは、工ＫＦＩＢ Ｔｒａｎｓ。
磁気ヘッドは、工ＫＦＩＢ Ｔｒａｎｓ。
Ｍａｇｎ、Ｖｏｌ、ＭＡＧ−１７，Ｎｏ、６（１９８１
）ｐｐ２８９０−２８９２．同誌ｖ０１゜ＭＡＧ−１９
，Ｎｏ、５（１９８３）ｐｐ１７３７−１７５９のよう
に磁気抵抗効果素子が磁気へ。
）ｐｐ２８９０−２８９２．同誌ｖ０１゜ＭＡＧ−１９
，Ｎｏ、５（１９８３）ｐｐ１７３７−１７５９のよう
に磁気抵抗効果素子が磁気へ。
ド先端に露出しており、また記録用コイルも１ターンで
ある。
ある。
〔発明が解決しようとする問題点及び目的〕しかし、前
述の従来技術では、磁気抵抗効果素子が磁気ヘッド先端
に露出しているために、特に記録密度を高くするために
記録媒体を金属媒体にした場合に耐久性が劣化する。ま
た、記録用コイルが１ターンのため、記録電流は数１０
０ｍＡ必要であり、記録装置の低消費電流化を考えた場
合問題となる。
述の従来技術では、磁気抵抗効果素子が磁気ヘッド先端
に露出しているために、特に記録密度を高くするために
記録媒体を金属媒体にした場合に耐久性が劣化する。ま
た、記録用コイルが１ターンのため、記録電流は数１０
０ｍＡ必要であり、記録装置の低消費電流化を考えた場
合問題となる。
そこで、本発明はこのような問題点を解決するもので、
その目的とするところは、磁束ガイドを用いて磁気抵抗
効果素子を磁気へ、ド内部に設け、さらにこの磁束ガイ
ドを記録用磁極として用い、記録磁界を大きくシ、かつ
、記録電流を小さくするために記録用コイルは数回巻き
とし、′ｆＪ＆気ヘッド先端にコイルを集中、すなわち
起磁力を集中させ、さらにコイルの最先端部でギャップ
ｒｔ構成することにより記録効率の良い磁気抵抗効果素
子を用いた記録・再生ヘッドを提供することにある〔問
題点を解決するための手段〕 本発明の磁気ヘッドは、軟磁性薄膜、Ｗｉ磁気抵抗効果
薄膜導体薄膜、絶縁膜等を積層してなる磁気へ、ドにお
いて、ｖｊ＆路を構成する前記軟磁性薄膜の一部が除去
され、該除去部に磁束の流れと平行に前記磁気抵抗効果
薄膜が配置され、かつ、磁気ヘッド先端部において前記
導体薄膜の一部を２枚の前記軟磁性薄膜ではさみこむこ
とによってギャップを形成することを特徴とする。
その目的とするところは、磁束ガイドを用いて磁気抵抗
効果素子を磁気へ、ド内部に設け、さらにこの磁束ガイ
ドを記録用磁極として用い、記録磁界を大きくシ、かつ
、記録電流を小さくするために記録用コイルは数回巻き
とし、′ｆＪ＆気ヘッド先端にコイルを集中、すなわち
起磁力を集中させ、さらにコイルの最先端部でギャップ
ｒｔ構成することにより記録効率の良い磁気抵抗効果素
子を用いた記録・再生ヘッドを提供することにある〔問
題点を解決するための手段〕 本発明の磁気ヘッドは、軟磁性薄膜、Ｗｉ磁気抵抗効果
薄膜導体薄膜、絶縁膜等を積層してなる磁気へ、ドにお
いて、ｖｊ＆路を構成する前記軟磁性薄膜の一部が除去
され、該除去部に磁束の流れと平行に前記磁気抵抗効果
薄膜が配置され、かつ、磁気ヘッド先端部において前記
導体薄膜の一部を２枚の前記軟磁性薄膜ではさみこむこ
とによってギャップを形成することを特徴とする。
第１図、第２図を用いて本発明の磁気ヘッドの構造を説
明する。第１図は本発明の磁気ヘッドの主要部の断面図
、第２図は本発明の磁気ヘッドの主要部の平面図である
。第２図では図面を見やすくするために、第１図のオー
バーコート膜１１６、絶縁膜１０５，１０７，１０９，
１１１は省いである。また第１層コイ１０５も一部第２
層コイル１０６と重なる部分は省いである。
明する。第１図は本発明の磁気ヘッドの主要部の断面図
、第２図は本発明の磁気ヘッドの主要部の平面図である
。第２図では図面を見やすくするために、第１図のオー
バーコート膜１１６、絶縁膜１０５，１０７，１０９，
１１１は省いである。また第１層コイ１０５も一部第２
層コイル１０６と重なる部分は省いである。
まずＡｔ、Ｏ，を表面にスパッタして研磨したＡｔ、ｏ
、・ＴｉＯ基板１０１の上にめっき法によって下磁極１
０２となる２μ溝厚のパーマｐイ軟磁性層を形成する。
、・ＴｉＯ基板１０１の上にめっき法によって下磁極１
０２となる２μ溝厚のパーマｐイ軟磁性層を形成する。
基板１０１として、非磁性基板として結晶化ガラス、サ
ファイア、チタパリなども用いることができ、また、フ
ェライトなどの磁性基板を用いれば、下磁極１０２の代
用どして用い、上磁極１１２とフェライト基板で磁路を
構成できる。また、下磁極１０２として００系非晶質合
金、センダスト等も用いることができる。
ファイア、チタパリなども用いることができ、また、フ
ェライトなどの磁性基板を用いれば、下磁極１０２の代
用どして用い、上磁極１１２とフェライト基板で磁路を
構成できる。また、下磁極１０２として００系非晶質合
金、センダスト等も用いることができる。
続いて第１層コイル１０５となるＭＯをスパッタ法で２
μｍ厚に形成し、イオンシリングでコイル形状にエツチ
ングする。この第１層コイル。
μｍ厚に形成し、イオンシリングでコイル形状にエツチ
ングする。この第１層コイル。
３の磁気ヘッドの一番先端部は磁気ヘッドの先端の研磨
後、磁気ヘッド先端に露出し、ギャップ長を決めること
になる。従って、第１層コイルのエツチング後、第１層
コイルの最先端部１０４のみもう一部イオンミリングを
行ない、コイルの厚みをギャップ長を決める厚みまで減
らす。第１層コイル１０３と第２層コイ／Ｉ／１ｏ６で
形成されるコイルの抵抗が許容できれば第１層コイル１
ｍ５の最初の付着厚みをギャップ長に等しく、あるいは
へ、ド形成後にギャップ長に等しくなる厚みにしておけ
ば、コイル先端部１０４のイオンミリングは不要となる
。第１層コイル１０ｉＳの材質は、磁気ヘッドの耐久性
が許せば、Ａｕ、Ｏｕ、Ａｔ系合金などを用いて良く、
形成方法もめっき法、スパッタ法、蒸着法等、いずれで
も良い。
後、磁気ヘッド先端に露出し、ギャップ長を決めること
になる。従って、第１層コイルのエツチング後、第１層
コイルの最先端部１０４のみもう一部イオンミリングを
行ない、コイルの厚みをギャップ長を決める厚みまで減
らす。第１層コイル１０３と第２層コイ／Ｉ／１ｏ６で
形成されるコイルの抵抗が許容できれば第１層コイル１
ｍ５の最初の付着厚みをギャップ長に等しく、あるいは
へ、ド形成後にギャップ長に等しくなる厚みにしておけ
ば、コイル先端部１０４のイオンミリングは不要となる
。第１層コイル１０ｉＳの材質は、磁気ヘッドの耐久性
が許せば、Ａｕ、Ｏｕ、Ａｔ系合金などを用いて良く、
形成方法もめっき法、スパッタ法、蒸着法等、いずれで
も良い。
続いて第ｔ ＃ＭＡ縁膜１０５をポジ型フォトレジスト
をｌストベーク後さらに高い温度で焼きしめることによ
って形成する。第１層絶縁膜１０５に限らず、本発明の
磁気ヘッドを構成する絶縁膜は、磁性膜の磁気特性を劣
化させない範囲で、ボリイｔド樹脂、バイアススパッタ
法で付着させたＳ１０．でも良い。
をｌストベーク後さらに高い温度で焼きしめることによ
って形成する。第１層絶縁膜１０５に限らず、本発明の
磁気ヘッドを構成する絶縁膜は、磁性膜の磁気特性を劣
化させない範囲で、ボリイｔド樹脂、バイアススパッタ
法で付着させたＳ１０．でも良い。
続いて筒２層コイル１０６としてめっき法でＯｕを２μ
溝厚で形成した。第１層コイル１ｏ３とはコイル接合部
２０５で接合され、コイルに記録電流を流すための端子
は２０４である。
溝厚で形成した。第１層コイル１ｏ３とはコイル接合部
２０５で接合され、コイルに記録電流を流すための端子
は２０４である。
第１層フィル１０３と第２層コイル１０Ｓは、磁気ヘッ
ド先端で密に巻かれている。これは、記録電流による起
磁力を磁気ヘッド先端に集中させ、発生磁界を大きくす
るためである。また、磁気ヘッド後端部のコイルは幅を
広くしであるが、これは磁気抵抗効果素子１１０の下地
となる絶縁層を平担化するためのものである。
ド先端で密に巻かれている。これは、記録電流による起
磁力を磁気ヘッド先端に集中させ、発生磁界を大きくす
るためである。また、磁気ヘッド後端部のコイルは幅を
広くしであるが、これは磁気抵抗効果素子１１０の下地
となる絶縁層を平担化するためのものである。
次に、第１層絶縁膜１０５と同様に第２層絶縁膜１０７
を形成する。
を形成する。
続いて、再生時に磁気抵抗効果索子１１０にバイアスを
印加するためのバイアス導体１０８としてＯｕをめっき
して１μ渦厚で形成する。
印加するためのバイアス導体１０８としてＯｕをめっき
して１μ渦厚で形成する。
次に、ポジ形フォトレジストを焼きしめて第３層絶縁膜
１０９を彫成し、その上にパーマロイの磁気抵抗効果索
子１１０をＫＢ蒸着法によって５００Ｘの厚さで付着さ
せ、イオンミリンダ法によってパターンを形成する。
１０９を彫成し、その上にパーマロイの磁気抵抗効果索
子１１０をＫＢ蒸着法によって５００Ｘの厚さで付着さ
せ、イオンミリンダ法によってパターンを形成する。
次に第１図には現われていないが、再生時に磁気抵抗効
果索子１１０に電流を流すためのコンダクタ２０１とし
てめっき法でＯｕを０．５μ賜厚に形成した。
果索子１１０に電流を流すためのコンダクタ２０１とし
てめっき法でＯｕを０．５μ賜厚に形成した。
次に第４層絶縁膜１１１を、ポジ形フォトレジストを焼
きしめて形成する。
きしめて形成する。
続いて、上磁極１１２としてめっき法でパーマロイを２
μ洛厚に形成する。上磁極１１２は、磁気抵抗効果索子
１１０の上部で一部不連続になっており、上磁極１１２
と下磁極１０２は、磁極接合部１１４で接合されている
。
μ洛厚に形成する。上磁極１１２は、磁気抵抗効果索子
１１０の上部で一部不連続になっており、上磁極１１２
と下磁極１０２は、磁極接合部１１４で接合されている
。
このように形成された磁気ヘッドの上には、スパッタ法
でｈｌ、ｏ、のオーバーコート膜１１６を付着させる。
でｈｌ、ｏ、のオーバーコート膜１１６を付着させる。
その後、切断、研削、研摩等の機械加工によって磁気ヘ
ッドの形状を作る。
ッドの形状を作る。
以上述べたように、本発明によれば、再生ヘッドとして
機能する磁気抵抗効果素子を記録媒体と接触する場合の
ある磁気ヘッド先端から、軟磁性膜で形成された磁束ガ
イドを用いて磁気ヘッド内部に設けた磁気ヘッドにおい
て、この磁束ガイドとしての軟磁性膜を記録用の磁極と
し、記録用のコイルを磁気ヘッド先端部に集中させ、さ
らに磁気へ、ドの最先端であるギャップもコイルで形成
することによって、磁極先端から発生する記録磁界を強
くすることができ、磁気抵抗効果素子を再生ヘッドとし
て用いた記録・再生ヘッドにおいて記録効率を上げるこ
とができるという効果を有する。
機能する磁気抵抗効果素子を記録媒体と接触する場合の
ある磁気ヘッド先端から、軟磁性膜で形成された磁束ガ
イドを用いて磁気ヘッド内部に設けた磁気ヘッドにおい
て、この磁束ガイドとしての軟磁性膜を記録用の磁極と
し、記録用のコイルを磁気ヘッド先端部に集中させ、さ
らに磁気へ、ドの最先端であるギャップもコイルで形成
することによって、磁極先端から発生する記録磁界を強
くすることができ、磁気抵抗効果素子を再生ヘッドとし
て用いた記録・再生ヘッドにおいて記録効率を上げるこ
とができるという効果を有する。
またテープや小径ディスクのように磁気ヘッドと記録媒
体の相対速度が小さい場合、従来のコイルによりて出力
を得る誘導型の薄膜磁気ヘッドではコイルの巻数を２０
タ一ン以上にもする必要があり、製造プロセスが非常に
難かしいが、本発明では再生ヘッドとして磁気抵抗効果
素子を用いているので、大きな出力を得ることができる
という効果を有する。
体の相対速度が小さい場合、従来のコイルによりて出力
を得る誘導型の薄膜磁気ヘッドではコイルの巻数を２０
タ一ン以上にもする必要があり、製造プロセスが非常に
難かしいが、本発明では再生ヘッドとして磁気抵抗効果
素子を用いているので、大きな出力を得ることができる
という効果を有する。
第１図は本発明の磁気へ、ドの主要部の断面図であり、
第２図は本発明の磁気ヘッドの主要部の平面図である。 １０１・・・・・・基 板 １０２・・・・・・下磁極 １０３・・・・・・第１層コイル １０４・・・・・・コイル先端部 １０５・・・・・・第１層絶縁膜 １０６・・・・・・第２層コイル １０７・・・・・・第２層絶縁膜 １０８・・・・・・バイアス導体 １０９・・・・・・第３層絶縁膜 １１０・・・・・・磁気抵抗効果素子 １１１・・・・・・第４層絶縁膜 １１２・・・・・・上磁極 １１３・・・・・・上磁極除去部 １１４・・・・・・磁極接合部 １１５・・・・・・ギャップ ２０１・・・・・・コンダクタ ２０２・・・・・・コンダクタ−磁気抵抗効果素子接合
部 ２０３ｅ・・…コイル接合部 ２０４・・・・・・コイル端子 ２０５・・・・・・コンダクタ端子 ２０６・・・・・・バイアス端子 以上
第２図は本発明の磁気ヘッドの主要部の平面図である。 １０１・・・・・・基 板 １０２・・・・・・下磁極 １０３・・・・・・第１層コイル １０４・・・・・・コイル先端部 １０５・・・・・・第１層絶縁膜 １０６・・・・・・第２層コイル １０７・・・・・・第２層絶縁膜 １０８・・・・・・バイアス導体 １０９・・・・・・第３層絶縁膜 １１０・・・・・・磁気抵抗効果素子 １１１・・・・・・第４層絶縁膜 １１２・・・・・・上磁極 １１３・・・・・・上磁極除去部 １１４・・・・・・磁極接合部 １１５・・・・・・ギャップ ２０１・・・・・・コンダクタ ２０２・・・・・・コンダクタ−磁気抵抗効果素子接合
部 ２０３ｅ・・…コイル接合部 ２０４・・・・・・コイル端子 ２０５・・・・・・コンダクタ端子 ２０６・・・・・・バイアス端子 以上
Claims (1)
- 軟磁性薄膜、磁気抵抗効果薄膜、導体薄膜、絶縁膜等を
積層してなる磁気ヘッドにおいて、磁路を構成する前記
軟磁性薄膜の一部が除去され、該除去部に磁束の流れと
平行に前記磁気抵抗効果薄膜が配置され、かつ、磁気ヘ
ッド先端部において前記導体薄膜の一部を２枚の前記軟
磁性薄膜ではさみこむことによってギャップを形成する
ことを特徴とする磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20708285A JPS6266414A (ja) | 1985-09-19 | 1985-09-19 | 磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20708285A JPS6266414A (ja) | 1985-09-19 | 1985-09-19 | 磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6266414A true JPS6266414A (ja) | 1987-03-25 |
Family
ID=16533898
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20708285A Pending JPS6266414A (ja) | 1985-09-19 | 1985-09-19 | 磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6266414A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0638765U (ja) * | 1992-11-12 | 1994-05-24 | アスワン株式会社 | カーペットの取り付け装置 |
| FR2767599A1 (fr) * | 1997-01-31 | 1999-02-26 | Alps Electric Co Ltd | Tete magnetique a combinaison de couches minces magnetoresistive/inductive et son procede de fabrication |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS516008A (en) * | 1974-07-03 | 1976-01-19 | Hitachi Ltd | Jikihetsudono seizohoho |
| JPS5263709A (en) * | 1975-11-21 | 1977-05-26 | Hitachi Ltd | Film magnetic head of magnetic resistance effective type |
| JPS5924427A (ja) * | 1982-07-31 | 1984-02-08 | Sony Corp | 磁気抵抗効果型磁気ヘツド |
-
1985
- 1985-09-19 JP JP20708285A patent/JPS6266414A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS516008A (en) * | 1974-07-03 | 1976-01-19 | Hitachi Ltd | Jikihetsudono seizohoho |
| JPS5263709A (en) * | 1975-11-21 | 1977-05-26 | Hitachi Ltd | Film magnetic head of magnetic resistance effective type |
| JPS5924427A (ja) * | 1982-07-31 | 1984-02-08 | Sony Corp | 磁気抵抗効果型磁気ヘツド |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0638765U (ja) * | 1992-11-12 | 1994-05-24 | アスワン株式会社 | カーペットの取り付け装置 |
| FR2767599A1 (fr) * | 1997-01-31 | 1999-02-26 | Alps Electric Co Ltd | Tete magnetique a combinaison de couches minces magnetoresistive/inductive et son procede de fabrication |
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