JPS61229209A - 垂直磁気ヘッド - Google Patents
垂直磁気ヘッドInfo
- Publication number
- JPS61229209A JPS61229209A JP7142185A JP7142185A JPS61229209A JP S61229209 A JPS61229209 A JP S61229209A JP 7142185 A JP7142185 A JP 7142185A JP 7142185 A JP7142185 A JP 7142185A JP S61229209 A JPS61229209 A JP S61229209A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- film
- recording
- high permeability
- permeability magnetic
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- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1278—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、磁気記録媒体を媒体面の垂直方向に磁化する
垂直磁化記録において、効率の良い記録再生を行なう垂
直磁気記録ヘッドに関する。
垂直磁化記録において、効率の良い記録再生を行なう垂
直磁気記録ヘッドに関する。
（従来技術とその問題点）
磁気記録の記録密度を高めることにおいて、従来の磁気
記録媒体の膜面に平行に記録する長手記録方式では１反
磁界の影響のため、記録密度に限界が生じる０そこで、
近年１反磁界の影響がなく。
記録媒体の膜面に平行に記録する長手記録方式では１反
磁界の影響のため、記録密度に限界が生じる０そこで、
近年１反磁界の影響がなく。
飛躍的な高記録密度が望める記録形式として媒体の膜面
に対し垂直な方向に記録する垂直記録方式ば提案され、
現在に至るまで盛んに研究が行なわれている。
に対し垂直な方向に記録する垂直記録方式ば提案され、
現在に至るまで盛んに研究が行なわれている。
垂直磁気記録における記録再生ヘッドとして従来提案さ
れているヘッドの例（第８回日本応用磁気学会学術講演
集１９８４年１１月、Ｐ２Ｓ５゜１５ａＢ−１１）を第
３図に示すＯこれは、非磁性基板５上に高透磁率磁性薄
膜からなる主磁極ｌと。
れているヘッドの例（第８回日本応用磁気学会学術講演
集１９８４年１１月、Ｐ２Ｓ５゜１５ａＢ−１１）を第
３図に示すＯこれは、非磁性基板５上に高透磁率磁性薄
膜からなる主磁極ｌと。
主磁極ｌに磁束を集中させるために形成した高透磁率磁
性膜２“と、；イル７′と、磁束のリターンパスとして
の高透磁率磁性膜４と、非磁性絶縁膜６とを集積化デバ
イス技術を使用し、薄膜化した垂直磁気記録ヘッドであ
る。
性膜２“と、；イル７′と、磁束のリターンパスとして
の高透磁率磁性膜４と、非磁性絶縁膜６とを集積化デバ
イス技術を使用し、薄膜化した垂直磁気記録ヘッドであ
る。
しかし、このようなヘッドにおいて、主磁極ｌ及び高透
磁率磁性膜２′／％４はトラック幅方向３に磁化容易軸
をもつように形成されてお９．記録再生効率が必ずしも
十分ではなかつ九〇 （発明の目的） 本発明は、上記の点に鑑み、磁性膜の磁化容易軸を一部
変更し、記録再生効率を向上させた垂直磁気記録ヘッド
を提供するものである〇（発明の構成） 本発明は、磁性薄膜を含む複数の高透磁率磁性体と、単
数又は複数のコイルとを含んで構成される磁気ヘッドに
おいて、前記複数の高透磁率磁性体が少くとも記録再生
に関与する第１の高か率磁性薄膜と、第１の高透磁率磁
性薄膜の側面に積層された第２の高透磁率磁性膜とを含
み、前記第２の高透磁率磁性膜の磁化容易軸がトラック
幅方向に対し、垂直な方向であることを特徴とする。
磁率磁性膜２′／％４はトラック幅方向３に磁化容易軸
をもつように形成されてお９．記録再生効率が必ずしも
十分ではなかつ九〇 （発明の目的） 本発明は、上記の点に鑑み、磁性膜の磁化容易軸を一部
変更し、記録再生効率を向上させた垂直磁気記録ヘッド
を提供するものである〇（発明の構成） 本発明は、磁性薄膜を含む複数の高透磁率磁性体と、単
数又は複数のコイルとを含んで構成される磁気ヘッドに
おいて、前記複数の高透磁率磁性体が少くとも記録再生
に関与する第１の高か率磁性薄膜と、第１の高透磁率磁
性薄膜の側面に積層された第２の高透磁率磁性膜とを含
み、前記第２の高透磁率磁性膜の磁化容易軸がトラック
幅方向に対し、垂直な方向であることを特徴とする。
（発明の概要）
本発明の概要について１図を用いて説明するＯ第１図は
１本発明の一例を示すヘッドの一部の斜視図である。ス
パッタ法等を用いて形成した第１の高透磁率磁性膜であ
註磁極１と、さらに主磁極１に磁束を集中させるために
厚く形成した第２の高透磁率磁性膜２とを備えている。
１本発明の一例を示すヘッドの一部の斜視図である。ス
パッタ法等を用いて形成した第１の高透磁率磁性膜であ
註磁極１と、さらに主磁極１に磁束を集中させるために
厚く形成した第２の高透磁率磁性膜２とを備えている。
なお、３の矢印はトラック幅方向を示し、白ぬきの矢印
１１及び２１は、それぞれ、主磁極ｌ及び第２の高透磁
率磁性膜２の磁化容易軸の方向を示している。ここで、
第２の高透磁率磁性膜２の磁化容易軸２１がトラック幅
方向と一１９ｏｏ±２００の角度であることによシ、実
質的に記録再生電圧に関与する透磁率を高め、記録再生
効率の向上を高めるものである。ここで第２の高透磁率
磁性膜２の磁化容易軸２１゛とトラック幅方向とは垂直
であることが望ましいが９０”±２０’の範囲なら前記
効果を充分に奏するものである。
１１及び２１は、それぞれ、主磁極ｌ及び第２の高透磁
率磁性膜２の磁化容易軸の方向を示している。ここで、
第２の高透磁率磁性膜２の磁化容易軸２１がトラック幅
方向と一１９ｏｏ±２００の角度であることによシ、実
質的に記録再生電圧に関与する透磁率を高め、記録再生
効率の向上を高めるものである。ここで第２の高透磁率
磁性膜２の磁化容易軸２１゛とトラック幅方向とは垂直
であることが望ましいが９０”±２０’の範囲なら前記
効果を充分に奏するものである。
次に本発明の実施例を第２図に示す０ただし。
以下の実施例では主磁極１．高透磁率磁性膜２は、第１
図に示したように、磁化容易軸を持つように形成し九〇 （実施例） 第２図（ａ）は片側励磁盤ヘッドの実施例を示したもの
で、非磁性基板５として厚さ１ ｍｍのガラス基板上に
主磁極として厚さ０．３μｍＨａ）ＣｏＺｒ非晶質合金
からなるｊｇｌの高透磁率磁性薄膜としての主磁極１を
１次に前記主磁極に磁束を集中させるために厚づけした
厚さ３μｍの同じ＜ ＣｏＺｒ非晶質合金からなる第２
の高透磁率磁性膜２をＲＦマグネトロンスパッタ法によ
り作成した。高透磁率磁性薄膜ｌ及び２のスパッタ時に
互いに直交する方向となる磁界を加えて形成し、その後
２５０℃１時間の回転磁場中アニールを行い、それぞれ
の磁化容易軸が第１図に示したようになっていることを
カー効果法により確認した◎そして、記録再生用コイル
７を巻き１次に、Ｌ！＃をの為透磁率磁性材料４からな
る！１Ｉ１１面部材として、Ｍｎ−Ｚｎフェライトを用
い同図（ａ）のように接着した０さらに、保Ｉｌｉ膜の
役目の非磁性絶縁膜６としてエポキシ樹脂系硬質耐熱性
接着剤を用いた。記録再生の方法は、次の通９である◎
記録媒体８を移動させ、記録時にはコイル７に電圧を加
え、流れた電流による発生した磁界によ多情報を記憶し
、再生時には、記録媒体６からの漏洩磁界によシコイル
７に誘起される電圧を検出することにより情報の再生を
行なったＯ （実施例２） 第２図（ｂ）は、簿膜ヘッドの実施例を示したもので同
図（ａ）と同様のプロセスで作製した。即ち非磁性基板
５上に第１の高透磁率磁性薄膜としての主磁極ｌを形成
し１次にこれに接して第２の高透磁率磁性膜２を形成し
、さらに磁束のリターンパスとして高透磁率磁性ＩＡ２
′を、ＲＦマグネトロンスパッタ法によｊ）Ｃｏ−Ｚｒ
非晶質膜で形成した。また、コイル７′として銅をメッ
キ法により形成し。
図に示したように、磁化容易軸を持つように形成し九〇 （実施例） 第２図（ａ）は片側励磁盤ヘッドの実施例を示したもの
で、非磁性基板５として厚さ１ ｍｍのガラス基板上に
主磁極として厚さ０．３μｍＨａ）ＣｏＺｒ非晶質合金
からなるｊｇｌの高透磁率磁性薄膜としての主磁極１を
１次に前記主磁極に磁束を集中させるために厚づけした
厚さ３μｍの同じ＜ ＣｏＺｒ非晶質合金からなる第２
の高透磁率磁性膜２をＲＦマグネトロンスパッタ法によ
り作成した。高透磁率磁性薄膜ｌ及び２のスパッタ時に
互いに直交する方向となる磁界を加えて形成し、その後
２５０℃１時間の回転磁場中アニールを行い、それぞれ
の磁化容易軸が第１図に示したようになっていることを
カー効果法により確認した◎そして、記録再生用コイル
７を巻き１次に、Ｌ！＃をの為透磁率磁性材料４からな
る！１Ｉ１１面部材として、Ｍｎ−Ｚｎフェライトを用
い同図（ａ）のように接着した０さらに、保Ｉｌｉ膜の
役目の非磁性絶縁膜６としてエポキシ樹脂系硬質耐熱性
接着剤を用いた。記録再生の方法は、次の通９である◎
記録媒体８を移動させ、記録時にはコイル７に電圧を加
え、流れた電流による発生した磁界によ多情報を記憶し
、再生時には、記録媒体６からの漏洩磁界によシコイル
７に誘起される電圧を検出することにより情報の再生を
行なったＯ （実施例２） 第２図（ｂ）は、簿膜ヘッドの実施例を示したもので同
図（ａ）と同様のプロセスで作製した。即ち非磁性基板
５上に第１の高透磁率磁性薄膜としての主磁極ｌを形成
し１次にこれに接して第２の高透磁率磁性膜２を形成し
、さらに磁束のリターンパスとして高透磁率磁性ＩＡ２
′を、ＲＦマグネトロンスパッタ法によｊ）Ｃｏ−Ｚｒ
非晶質膜で形成した。また、コイル７′として銅をメッ
キ法により形成し。
保護膜の役目の非磁性絶縁膜６としてエポキシ樹脂系硬
質耐熱性接着剤を用いた０記録再生の方法は前記と同様
である。
質耐熱性接着剤を用いた０記録再生の方法は前記と同様
である。
（実施例３）
第２図（ｃ）及び（ｄ）は、記録媒体８を挾んで主磁極
を補助するために、補助磁極を設けた磁気ヘッドで同図
（Ｃ）は、補助磁極励磁ヘッド、同図（ｄ）は、主磁極
励磁ヘッドの実施例である。
を補助するために、補助磁極を設けた磁気ヘッドで同図
（Ｃ）は、補助磁極励磁ヘッド、同図（ｄ）は、主磁極
励磁ヘッドの実施例である。
同図（Ｃ）で、非磁性基板５上に、前述の同様の方た。
補助磁極として、高透磁率磁性材料４′から成るＭｎ−
Ｚｎフェライトにコイルを巻き使用したＯ記録再生の方
法は前記の実施例１及び２と同様であるが、記録媒体８
を挾んで主磁極と補助磁極を配置しているとζろと、記
録及び再生に補助磁極に巻かれたコイルを用いていると
ころが異なるＯ同図（ｄ）は、同図（ｄと同様で６’）
、コイル７を主磁極膜に巻き、上部に磁束をさらに集中
させるために、高透磁率磁性材料４“から成るＭｎ−Ｚ
ｎフェライトを設けたものであるｏしかし、高透磁率磁
性材料４“は、必要に応じて設ければよく、なくてもよ
い。記録再生の方法は、前記実施例１及び２と同様でら
る〇 なお、上記実施例１から３において、高透磁率磁性膜１
． ２． ２’として、スパッタ法によるＣｏ−Ｚｒ非
晶質膜を用いたが、他の成膜法１例えば、メッキ法、蒸
着法でもよく、また、パーマｐイ膜センダスト膜等でも
よい◎さらに高速ａｔｙ４ａ性材料４゜４′、４″とし
て、Ｍｎ−Ｚｎ系フェライトの他、Ｎｉ−２ｎ７ｚライ
ト、Ｎｉ−Ｆｅ合金、センダスト等でもよい。
Ｚｎフェライトにコイルを巻き使用したＯ記録再生の方
法は前記の実施例１及び２と同様であるが、記録媒体８
を挾んで主磁極と補助磁極を配置しているとζろと、記
録及び再生に補助磁極に巻かれたコイルを用いていると
ころが異なるＯ同図（ｄ）は、同図（ｄと同様で６’）
、コイル７を主磁極膜に巻き、上部に磁束をさらに集中
させるために、高透磁率磁性材料４“から成るＭｎ−Ｚ
ｎフェライトを設けたものであるｏしかし、高透磁率磁
性材料４“は、必要に応じて設ければよく、なくてもよ
い。記録再生の方法は、前記実施例１及び２と同様でら
る〇 なお、上記実施例１から３において、高透磁率磁性膜１
． ２． ２’として、スパッタ法によるＣｏ−Ｚｒ非
晶質膜を用いたが、他の成膜法１例えば、メッキ法、蒸
着法でもよく、また、パーマｐイ膜センダスト膜等でも
よい◎さらに高速ａｔｙ４ａ性材料４゜４′、４″とし
て、Ｍｎ−Ｚｎ系フェライトの他、Ｎｉ−２ｎ７ｚライ
ト、Ｎｉ−Ｆｅ合金、センダスト等でもよい。
次に本発明ヘッドの一例として第２図（ａ）の形状を用
いたヘッドについて記録再生評価を行った。
いたヘッドについて記録再生評価を行った。
ただし、第２の高透磁率磁性膜２の磁化容易軸は。
トラック幅方向ｔ℃対し、垂直である。また、従来ヘッ
ドも、比較のため１本発明ヘッドと同じ形状を用いた０
ただし、高透磁率磁性膜２の磁化容易軸は、トラック幅
方向に対し、平行である。なお。
ドも、比較のため１本発明ヘッドと同じ形状を用いた０
ただし、高透磁率磁性膜２の磁化容易軸は、トラック幅
方向に対し、平行である。なお。
ここで用いた磁性膜は、主磁極１として０．３μｍのＣ
ｏ −Ｚｒ非晶質膜を用い、第２の高透磁率磁性膜２と
して、３μｍ（７）Ｃｏ−Ｚｒ非晶質膜を用いた口Ｇｏ
−Ｚｒ ＃の飽和磁化は、 １４，０００ Ｇａｕｓ
ｓ＠透磁率は４，０００ （困離軸、１０ＭＨｚ）であ
ったロ一方。
ｏ −Ｚｒ非晶質膜を用い、第２の高透磁率磁性膜２と
して、３μｍ（７）Ｃｏ−Ｚｒ非晶質膜を用いた口Ｇｏ
−Ｚｒ ＃の飽和磁化は、 １４，０００ Ｇａｕｓ
ｓ＠透磁率は４，０００ （困離軸、１０ＭＨｚ）であ
ったロ一方。
界２Ｋ Ｏｅ、 Ｃｏ−Ｃｒの厚み０．３５ μｍ ＊
Ｎｉ、−Ｆｅの厚み０．５μｍ）を用い、３．５イン
チフロッピーディスク評価装置にて、記録再生評価した
０その結果を第４図に示す◎第４図は、記録電流Ｉ０−
再生電圧Ｅ。特性を示したもので、これから１本発明ヘ
ッドは、従来ヘッドよシ記録し易く、再生電圧も増加す
ることがわかりた。
Ｎｉ、−Ｆｅの厚み０．５μｍ）を用い、３．５イン
チフロッピーディスク評価装置にて、記録再生評価した
０その結果を第４図に示す◎第４図は、記録電流Ｉ０−
再生電圧Ｅ。特性を示したもので、これから１本発明ヘ
ッドは、従来ヘッドよシ記録し易く、再生電圧も増加す
ることがわかりた。
（発明の効果）
本発明は、主磁極膜の厚づけ層の磁化容易軸をトラック
幅方向と垂直にすることによ）、以下の効果があった。
幅方向と垂直にすることによ）、以下の効果があった。
（１）記録時において、より少ない記録電流で媒体の磁
化を飽和テラ、消費電力も少なくなった０（２）再生電
圧は、従来より増加した口（３）従来ヘッドと同じ再生
電圧を得るのく、厚づけ層の膜厚が、よシ薄くで１！−
１生産性が向上した。
化を飽和テラ、消費電力も少なくなった０（２）再生電
圧は、従来より増加した口（３）従来ヘッドと同じ再生
電圧を得るのく、厚づけ層の膜厚が、よシ薄くで１！−
１生産性が向上した。
第１図は、本発明の概要を示す図、第２図は。
本発明の実施例を示す図、第３図は従来から提案されて
いるヘッドを示す図、第４図は従来ヘッドと本発明ヘッ
ドについて、記録電流Ｉ０と再生出力電圧Ｅ０との関係
について示した図である。 １・・・主磁極、２． ２’、 ２“高透磁率磁性膜
、３・・・トラック幅方向、４． ４’、 ４“・・・
高透磁率磁性材料、５・・・非磁性基板、６・・・非磁
性絶縁膜、７゜７′・・・；イル、８・・・記録媒体、
１１．２１・・・磁化容易方向 一′−・。 ７ｉ’１ 図 ３．トラック順方向 １１．２１．磁化容易方向 第２図 （１２） ’ （ｂＪ（リ
Ｃｄ） 第３図
いるヘッドを示す図、第４図は従来ヘッドと本発明ヘッ
ドについて、記録電流Ｉ０と再生出力電圧Ｅ０との関係
について示した図である。 １・・・主磁極、２． ２’、 ２“高透磁率磁性膜
、３・・・トラック幅方向、４． ４’、 ４“・・・
高透磁率磁性材料、５・・・非磁性基板、６・・・非磁
性絶縁膜、７゜７′・・・；イル、８・・・記録媒体、
１１．２１・・・磁化容易方向 一′−・。 ７ｉ’１ 図 ３．トラック順方向 １１．２１．磁化容易方向 第２図 （１２） ’ （ｂＪ（リ
Ｃｄ） 第３図
Claims (1)
- 磁性薄膜を含む複数の高透磁率磁性体と、単数又は複数
のコイルを含んで構成される磁気ヘッドにおいて、前記
複数の高透磁率磁性体が少くとも記録再生に関与する第
１の高透磁率磁性薄膜と、第１の高透磁率磁性薄膜の側
面に積層された第２の高透磁率磁性膜とを含み、前記第
２の高透磁率磁性膜の磁化容易軸がトラック幅方向に対
し、９０°±２０°の角度を有することを特徴とする磁
気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7142185A JPH069083B2 (ja) | 1985-04-04 | 1985-04-04 | 垂直磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7142185A JPH069083B2 (ja) | 1985-04-04 | 1985-04-04 | 垂直磁気ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61229209A true JPS61229209A (ja) | 1986-10-13 |
| JPH069083B2 JPH069083B2 (ja) | 1994-02-02 |
Family
ID=13460028
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7142185A Expired - Lifetime JPH069083B2 (ja) | 1985-04-04 | 1985-04-04 | 垂直磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH069083B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02181402A (ja) * | 1988-08-03 | 1990-07-16 | Digital Equip Corp <Dec> | 信号磁束を広げる薄膜磁気装置 |
| US5085935A (en) * | 1988-08-03 | 1992-02-04 | Digital Equipment Corporation | Flux spreading thin film magnetic devices |
| US5384680A (en) * | 1988-08-03 | 1995-01-24 | Digital Equipment Corporation | Perpendicular anisotropy in thin film devices |
-
1985
- 1985-04-04 JP JP7142185A patent/JPH069083B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02181402A (ja) * | 1988-08-03 | 1990-07-16 | Digital Equip Corp <Dec> | 信号磁束を広げる薄膜磁気装置 |
| US5085935A (en) * | 1988-08-03 | 1992-02-04 | Digital Equipment Corporation | Flux spreading thin film magnetic devices |
| US5089334A (en) * | 1988-08-03 | 1992-02-18 | Digital Equipment Corporation | Flux spreading thin film magnetic devices |
| US5384680A (en) * | 1988-08-03 | 1995-01-24 | Digital Equipment Corporation | Perpendicular anisotropy in thin film devices |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH069083B2 (ja) | 1994-02-02 |
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