JPS62139114A - 複合型磁気ヘツドの熱処理方法 - Google Patents
複合型磁気ヘツドの熱処理方法Info
- Publication number
- JPS62139114A JPS62139114A JP27976485A JP27976485A JPS62139114A JP S62139114 A JPS62139114 A JP S62139114A JP 27976485 A JP27976485 A JP 27976485A JP 27976485 A JP27976485 A JP 27976485A JP S62139114 A JPS62139114 A JP S62139114A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- magnetic head
- head element
- type magnetic
- type
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
- G11B5/3967—Composite structural arrangements of transducers, e.g. inductive write and magnetoresistive read
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、磁気抵抗効果型磁気ヘッド素子（以下ＭＲ型
磁気ヘッド素子という）と非晶質磁性材料による磁気ヘ
ッド素子を有する複合型磁気ヘッドにおける熱処理方法
に関する。
磁気ヘッド素子という）と非晶質磁性材料による磁気ヘ
ッド素子を有する複合型磁気ヘッドにおける熱処理方法
に関する。
本発明は、ＭＲ型磁気ヘッド素子と非晶質磁性材料によ
る磁気ヘッド素子（所謂誘導型ヘッド素子）を有する複
合型薄膜磁気ヘッドの熱処理において、両磁気ヘッド素
子を共にそのトランク幅方向の磁界中で熱処理すること
によって、ＭＲ磁気ヘッド素子の再生出力を劣化せずに
非晶質磁性材料による磁気ヘッド素子の記録特性を向上
するようにしたものである。
る磁気ヘッド素子（所謂誘導型ヘッド素子）を有する複
合型薄膜磁気ヘッドの熱処理において、両磁気ヘッド素
子を共にそのトランク幅方向の磁界中で熱処理すること
によって、ＭＲ磁気ヘッド素子の再生出力を劣化せずに
非晶質磁性材料による磁気ヘッド素子の記録特性を向上
するようにしたものである。
ハードディスク用磁気ヘッドにおいては、再生用磁気ヘ
ッド素子にＭＲ型磁気ヘッド素子が、また記録用磁気ヘ
ッド素子に非晶質磁性材料による誘導型磁気ヘッド素子
が夫々用いられている。
ッド素子にＭＲ型磁気ヘッド素子が、また記録用磁気ヘ
ッド素子に非晶質磁性材料による誘導型磁気ヘッド素子
が夫々用いられている。
第８図はハードディスク用の複合磁気ヘッド（６）を示
すもので、回転磁気記録媒体としてのハードディスク【
１）に対向して移動するスライダ（２）上に初期トラッ
キング信号記録用磁気ヘッド素子（３）と、トラッキン
グ信号再生用磁気ヘッド素子（４）と、データ信号記録
再生用磁気ヘッド素子（５）が形成されて成る。この例
ではデータ信号記録再生用磁気ヘッド素子（５）がハー
ドディスク（１）の外周側であり、初期トラッキング信
号記録用磁気ヘッド素子（３）が内周側であり、その中
間にトラッキング信号再生用磁気ヘッド素子（４）が位
置している。なお、第８図においてａ、ｂは夫々ハード
ディスク（１）の回転方向及びスライダ（２）の移動方
向を示す。これら各磁気ヘッド素子＋３１． ｆ４１及
び（５）は薄膜磁気ヘッドで構成され、この場合、トラ
ッキング信号再生用磁気ヘッド素子（４）がＭＲ型磁気
ヘッド素子で、データ信号記録再生用磁気ヘッド素子（
５）が非晶質磁性材による誘導型磁気ヘット素子で構成
される組合せ、或はデータ信号記録再生用磁気ヘッド素
子（５）のうち再生用がＭＲ型で、記録用が誘導型で構
成される組合せ等が考えられている。
すもので、回転磁気記録媒体としてのハードディスク【
１）に対向して移動するスライダ（２）上に初期トラッ
キング信号記録用磁気ヘッド素子（３）と、トラッキン
グ信号再生用磁気ヘッド素子（４）と、データ信号記録
再生用磁気ヘッド素子（５）が形成されて成る。この例
ではデータ信号記録再生用磁気ヘッド素子（５）がハー
ドディスク（１）の外周側であり、初期トラッキング信
号記録用磁気ヘッド素子（３）が内周側であり、その中
間にトラッキング信号再生用磁気ヘッド素子（４）が位
置している。なお、第８図においてａ、ｂは夫々ハード
ディスク（１）の回転方向及びスライダ（２）の移動方
向を示す。これら各磁気ヘッド素子＋３１． ｆ４１及
び（５）は薄膜磁気ヘッドで構成され、この場合、トラ
ッキング信号再生用磁気ヘッド素子（４）がＭＲ型磁気
ヘッド素子で、データ信号記録再生用磁気ヘッド素子（
５）が非晶質磁性材による誘導型磁気ヘット素子で構成
される組合せ、或はデータ信号記録再生用磁気ヘッド素
子（５）のうち再生用がＭＲ型で、記録用が誘導型で構
成される組合せ等が考えられている。
そして、これら磁気ヘッド素子においては、そのＭＲ磁
性材及び非晶質磁性材を有効に使用するために、夫々異
なった熱処理が行なわれている。
性材及び非晶質磁性材を有効に使用するために、夫々異
なった熱処理が行なわれている。
即ちＭＲ磁性材には一軸異方性を発生させるために磁界
中蒸着又は磁界中熱処理が施される。非晶質磁性材には
磁気異方性を分散させるために回転磁界中熱処理が施さ
れる。
中蒸着又は磁界中熱処理が施される。非晶質磁性材には
磁気異方性を分散させるために回転磁界中熱処理が施さ
れる。
ところで、上述のＭＲ磁性材及び非晶質磁性材に対する
熱処理温度はほぼ同じところにあり、このためＭＲ＆！
性材に対して行った熱処理の効果が非晶質磁性材の熱処
理によって妨げられ、ＭＲ型磁気ヘッド素子の再生出力
が劣化する（約６ｄＢ下る）という問題があった。
熱処理温度はほぼ同じところにあり、このためＭＲ＆！
性材に対して行った熱処理の効果が非晶質磁性材の熱処
理によって妨げられ、ＭＲ型磁気ヘッド素子の再生出力
が劣化する（約６ｄＢ下る）という問題があった。
本発明は、−上述の点に鑑み、ＭＲ型磁気ヘッド素子及
び非晶質磁性材による誘導型磁気ヘッド素子の双方とも
に特性を良好ならしめる複合型磁気ヘッドの熱処理方法
を１足供するものである。
び非晶質磁性材による誘導型磁気ヘッド素子の双方とも
に特性を良好ならしめる複合型磁気ヘッドの熱処理方法
を１足供するものである。
本発明は、同一の基板（１４）上にＭＲ型磁気ヘッド素
子（１１）と非晶質磁性材による磁気ヨークによって形
成された磁気ヘッド素子（１２）を有する複合型磁気ヘ
ッド（１３）を形成した後、これら素子（１１） （
１２）を共にそのトラック幅方向の磁界中で熱処理する
ようになす。ここで、ＭＲ型磁気ヘッド素子（１１）の
ＭＲ磁性ｒｗｌ（１６）は、ごれに与えられる信号磁界
Ｈｓと直交する方向に磁化容易軸ｅ、ａを有するように
なされる。即ち、ＭＲ型磁気ヘッド素子（１１）は例え
ば第３図に示すようにＭＲＷ！ｊ磁部（１６）のＭＲ磁
性層（１６ａ）に信号磁界Ｈｓと同方向にセンス電流ｉ
を流すようにし、このＭＲ磁性層には信号磁界Ｈｓ（従
ってセンス電流ｌ）とほぼ直交する方向に磁化容易軸ｅ
、ａを有せしめるように構成される。或はＭＲ型磁気ヘ
ッドは、第４図に示すようにＭＲ感磁部（１６’）のＭ
Ｒ磁性層（ｌｅａ’）に信号磁界Ｈｓと直交する方向に
センス電流ｌを流すようにし、ＭＲ磁性層には信号磁界
Ｉｓと直交する方向（従ってセンス電流ｌと同方向）に
磁化容易軸ｅ、ａを有せしめるように構成される。
子（１１）と非晶質磁性材による磁気ヨークによって形
成された磁気ヘッド素子（１２）を有する複合型磁気ヘ
ッド（１３）を形成した後、これら素子（１１） （
１２）を共にそのトラック幅方向の磁界中で熱処理する
ようになす。ここで、ＭＲ型磁気ヘッド素子（１１）の
ＭＲ磁性ｒｗｌ（１６）は、ごれに与えられる信号磁界
Ｈｓと直交する方向に磁化容易軸ｅ、ａを有するように
なされる。即ち、ＭＲ型磁気ヘッド素子（１１）は例え
ば第３図に示すようにＭＲＷ！ｊ磁部（１６）のＭＲ磁
性層（１６ａ）に信号磁界Ｈｓと同方向にセンス電流ｉ
を流すようにし、このＭＲ磁性層には信号磁界Ｈｓ（従
ってセンス電流ｌ）とほぼ直交する方向に磁化容易軸ｅ
、ａを有せしめるように構成される。或はＭＲ型磁気ヘ
ッドは、第４図に示すようにＭＲ感磁部（１６’）のＭ
Ｒ磁性層（ｌｅａ’）に信号磁界Ｈｓと直交する方向に
センス電流ｌを流すようにし、ＭＲ磁性層には信号磁界
Ｉｓと直交する方向（従ってセンス電流ｌと同方向）に
磁化容易軸ｅ、ａを有せしめるように構成される。
ＭＲ型磁気ヘッド素子（１１）及び非晶質磁性材による
磁気ヘッド素子（１２）が共にトラック幅方向の磁界中
で熱処理されるため、ＭＲ磁性層（１６ａ）と非晶質磁
性材の磁気ヨーク（２ＯＡ ） （２０Ｂ ）の両方
には同じ方向即ちトランク幅方向に一軸異方性が発生す
る。従って、ＭＲ型磁気ヘッド素子（１１）に対する磁
界中熱処理の方向は従来と同じであるから、ＭＲ型磁気
ヘッド素子の再生出力は劣化しない。一方、非晶質磁性
材による磁気ヘッド素子（１２）では磁気ヨーク（２０
＾）（２０Ｂ）の信号磁束の通る方向が磁化困難軸とな
って高周波域での透磁率が高くなるため、記録効率が向
上する。また再生出力も向上する。
磁気ヘッド素子（１２）が共にトラック幅方向の磁界中
で熱処理されるため、ＭＲ磁性層（１６ａ）と非晶質磁
性材の磁気ヨーク（２ＯＡ ） （２０Ｂ ）の両方
には同じ方向即ちトランク幅方向に一軸異方性が発生す
る。従って、ＭＲ型磁気ヘッド素子（１１）に対する磁
界中熱処理の方向は従来と同じであるから、ＭＲ型磁気
ヘッド素子の再生出力は劣化しない。一方、非晶質磁性
材による磁気ヘッド素子（１２）では磁気ヨーク（２０
＾）（２０Ｂ）の信号磁束の通る方向が磁化困難軸とな
って高周波域での透磁率が高くなるため、記録効率が向
上する。また再生出力も向上する。
以下、本発明による複合型磁気ヘッドの熱処理方法の実
施例について説明する。
施例について説明する。
第１Ｆ！！Ｊ及び第２図は再生用ＭＲ型磁気ヘッド素子
（１１）と記録用誘導型磁気ヘッド素子（１２）を組合
せた例えばハードディスク用のデータ信号記録再生用磁
気ヘッドとしての複合型薄膜磁気ヘッド（１３）に通用
した場合である。本例では、スライダ等の基板（１４）
上に、ＭＲ型磁気ヘッド素子（１１）と誘導型磁気ヘッ
ド素子（１２）を積層して成る記録再ｌ−Ｅ用の篠台型
薄膜磁気ヘッド（１３）を形成する。ＭＲ型磁気ヘッド
素子（１１）は第３図の拡大図で示１ように磁気記録媒
体（１５）との対向面と直交する方向に廷在するように
磁気抵抗効果を有する磁性層（以下ＭＲ磁性層という）
よりなる感磁部（以−ト’ＭＲ感磁部という） （１
６）と、このＭＲ１＠磁部（１６）の前方及び後方に結
合された前方磁性層（１７Ａ）及び後方磁性層（１７Ｂ
）と、絶縁層（１８）を介してＭＲ感磁部（１６）を横
切るように通電によってバイアス磁界を発生ずるバイア
ス導体（１９）とにより構成される。前方及び後方の両
磁性層（１７＾）及び（１７Ｂ）は電気伝導性を有する
金属磁性層によって形成され、前方磁性層（１７Ａ ）
が磁気記録媒体（１５）と対向するように配され、夫々
の磁性層（１７Ａ ’）及び（１７Ｂ）より端子ｔ１及
びｔ２が導出される。このＭＲ型磁気ヘッド素子（１１
）では、そのＭＲ感磁部（１６）に、これに与えられる
信号磁界Ｈｓと同方向にセンス電流ｌを流すようにし、
ＭＲ磁性層（１６ａ）は信号磁界Ｈｓと直交する方向に
磁化容昂軸ｅ、ａを有誘導型磁気ヘッド素子（１２）は
、非晶質磁性材よりなり、後方で互に磁気的に結合され
、磁気記録媒体（１５）と対向する前方において磁気ギ
ャップｇを形成した閉磁路を構成する一対の磁気ヨーク
（２１＾）（２１Ｂ）と、コイルとして作用する導電層
（２１）とにより構成される。
（１１）と記録用誘導型磁気ヘッド素子（１２）を組合
せた例えばハードディスク用のデータ信号記録再生用磁
気ヘッドとしての複合型薄膜磁気ヘッド（１３）に通用
した場合である。本例では、スライダ等の基板（１４）
上に、ＭＲ型磁気ヘッド素子（１１）と誘導型磁気ヘッ
ド素子（１２）を積層して成る記録再ｌ−Ｅ用の篠台型
薄膜磁気ヘッド（１３）を形成する。ＭＲ型磁気ヘッド
素子（１１）は第３図の拡大図で示１ように磁気記録媒
体（１５）との対向面と直交する方向に廷在するように
磁気抵抗効果を有する磁性層（以下ＭＲ磁性層という）
よりなる感磁部（以−ト’ＭＲ感磁部という） （１
６）と、このＭＲ１＠磁部（１６）の前方及び後方に結
合された前方磁性層（１７Ａ）及び後方磁性層（１７Ｂ
）と、絶縁層（１８）を介してＭＲ感磁部（１６）を横
切るように通電によってバイアス磁界を発生ずるバイア
ス導体（１９）とにより構成される。前方及び後方の両
磁性層（１７＾）及び（１７Ｂ）は電気伝導性を有する
金属磁性層によって形成され、前方磁性層（１７Ａ ）
が磁気記録媒体（１５）と対向するように配され、夫々
の磁性層（１７Ａ ’）及び（１７Ｂ）より端子ｔ１及
びｔ２が導出される。このＭＲ型磁気ヘッド素子（１１
）では、そのＭＲ感磁部（１６）に、これに与えられる
信号磁界Ｈｓと同方向にセンス電流ｌを流すようにし、
ＭＲ磁性層（１６ａ）は信号磁界Ｈｓと直交する方向に
磁化容昂軸ｅ、ａを有誘導型磁気ヘッド素子（１２）は
、非晶質磁性材よりなり、後方で互に磁気的に結合され
、磁気記録媒体（１５）と対向する前方において磁気ギ
ャップｇを形成した閉磁路を構成する一対の磁気ヨーク
（２１＾）（２１Ｂ）と、コイルとして作用する導電層
（２１）とにより構成される。
そして、本発明においては、このように同一の基板（１
４） ｉにＭＲ型磁気ヘット素了（１１）と誘導型磁気
ヘッド素子（１２）を形成した後、これら磁気ヘッド素
子（１１） （１２）に対してそのトランク幅方向の
磁界１１ａ中で熱処理を施す。熱処理温度は２００℃〜
３００℃である。
４） ｉにＭＲ型磁気ヘット素了（１１）と誘導型磁気
ヘッド素子（１２）を形成した後、これら磁気ヘッド素
子（１１） （１２）に対してそのトランク幅方向の
磁界１１ａ中で熱処理を施す。熱処理温度は２００℃〜
３００℃である。
この磁界中熱処理で、ＭＲ型磁気ヘット素子（１１）に
おいては、第３図に示すようにＭＲ感磁部（１６）を構
成するＭＲ磁性層（１６ａ）に信号磁界Ｈｓ（従ってセ
ンス電流ｉ）と直交する方向に一軸異方性が発生する。
おいては、第３図に示すようにＭＲ感磁部（１６）を構
成するＭＲ磁性層（１６ａ）に信号磁界Ｈｓ（従ってセ
ンス電流ｉ）と直交する方向に一軸異方性が発生する。
従って、ＭＲ型磁気ヘッド素子（１１）はその再生出力
が向上することとなる。
が向上することとなる。
一方、誘導型磁気ヘッド素子（１２）においては、磁気
ヨーク （１７Ａ ’） （１７Ｂ ）にトランク幅
方向に一軸異方性が発生し、従って磁気ヨーク（１７Ａ
）（１７Ｂ ）の信号磁束が通る方向が磁化困難軸と
なり、高周波帯域で高い透磁率を示すことになり、ヘッ
ドの記録効率が向上する。この誘導型磁気へソド素子（
１２）に対する上記磁界中熱処理は第２図に示すように
磁気ヨーク（１７Ａ） （１７Ｂ）の閉磁路を構成す
る面に対して垂直方向に磁界中熱処理するのと同じであ
る。
ヨーク （１７Ａ ’） （１７Ｂ ）にトランク幅
方向に一軸異方性が発生し、従って磁気ヨーク（１７Ａ
）（１７Ｂ ）の信号磁束が通る方向が磁化困難軸と
なり、高周波帯域で高い透磁率を示すことになり、ヘッ
ドの記録効率が向上する。この誘導型磁気へソド素子（
１２）に対する上記磁界中熱処理は第２図に示すように
磁気ヨーク（１７Ａ） （１７Ｂ）の閉磁路を構成す
る面に対して垂直方向に磁界中熱処理するのと同じであ
る。
第５図は上述の本発明熱処理を施した記録用誘導型磁気
ヘッド素子の記録効率を示す記録電流−再生電圧特性図
である。曲線（１）は本発明熱処理を施した誘導型磁気
ヘッドで、この場合の熱処理条件としては磁界５０００
ガウス、温度２５０℃、時間３０分である。曲線（ＩＩ
）は比較のためのもので、無処理（作成したままの状態
）の誘導型磁気ヘッドである。測定に使用した磁気記録
媒体は抗磁力Ｈｃ＝ ７２００ｓ、残留磁束密度Ｂｒ＝
９０００ガウス、厚みｄ＝０．０７μ鋼の３．５イン
チ回転磁気ディスクであり、回転数は３６００ｒｐｍで
ある。またヘッド浮上量（最外周）は０．３５μｍ、記
録周波数は矩形波２ 、５Ｍｈである。この第５図から
明らかなように、本発明の熱処理を施した誘導型磁気ヘ
ッドはその記録効率が向上する。尚、第１図及び第２図
の例においてはＭＲ型磁気ヘッド素子（１１）を誘導型
磁気ヘッド素子（１２）の磁気ヨーク（１７Ａ） （
１７Ｂ）の外に配した構成としたが、ＭＲ型磁気ヘッド
素子を誘導型磁気ヘッド素子の磁気ヨーク内に配した構
成とすることもできる。
ヘッド素子の記録効率を示す記録電流−再生電圧特性図
である。曲線（１）は本発明熱処理を施した誘導型磁気
ヘッドで、この場合の熱処理条件としては磁界５０００
ガウス、温度２５０℃、時間３０分である。曲線（ＩＩ
）は比較のためのもので、無処理（作成したままの状態
）の誘導型磁気ヘッドである。測定に使用した磁気記録
媒体は抗磁力Ｈｃ＝ ７２００ｓ、残留磁束密度Ｂｒ＝
９０００ガウス、厚みｄ＝０．０７μ鋼の３．５イン
チ回転磁気ディスクであり、回転数は３６００ｒｐｍで
ある。またヘッド浮上量（最外周）は０．３５μｍ、記
録周波数は矩形波２ 、５Ｍｈである。この第５図から
明らかなように、本発明の熱処理を施した誘導型磁気ヘ
ッドはその記録効率が向上する。尚、第１図及び第２図
の例においてはＭＲ型磁気ヘッド素子（１１）を誘導型
磁気ヘッド素子（１２）の磁気ヨーク（１７Ａ） （
１７Ｂ）の外に配した構成としたが、ＭＲ型磁気ヘッド
素子を誘導型磁気ヘッド素子の磁気ヨーク内に配した構
成とすることもできる。
なお、上記ＭＲ型磁気ヘッド（１１）におけるＭＲ感磁
部（１６）としては、バルクハウゼンノイズ（すなわち
磁壁の移動に基づくノイズ）の発生を回避するために２
層構造のＭＲ磁性層によって構成することもできる。又
単層のＭＲ磁性層によってＭＲ感磁部を構成するごとも
できる。第７図は２層構造のＭＲ磁性層によってＭＲ感
磁部（１６）を構成したＭＲ型磁気ヘッドの例である。
部（１６）としては、バルクハウゼンノイズ（すなわち
磁壁の移動に基づくノイズ）の発生を回避するために２
層構造のＭＲ磁性層によって構成することもできる。又
単層のＭＲ磁性層によってＭＲ感磁部を構成するごとも
できる。第７図は２層構造のＭＲ磁性層によってＭＲ感
磁部（１６）を構成したＭＲ型磁気ヘッドの例である。
同図において、ＭＲ感磁部（１６）は、非磁性中間層（
３１）を介してその上下に少くとも一方がＭＲ磁性層よ
りなり、夫々軟磁性体より成る磁性層（３２）及び（３
３）の積！−構造に構成される。非磁性中間層の厚さは
両値性層（３２）及び（３３）間に、交換相互作用に比
し静磁的相互作用が支配的に作用するような厚さの５人
を超え １００００人未満の例えば５〜５００人に選定
される。また両値性！（３２）及び（３３）はその飽和
磁束密度、厚さ等の選定によって両値性１ｍ（３２）及
び（３３）の磁束量が一致するようにして磁束が両値性
層（３２）及び（３３）に関して全体的に閉じるように
選定される。ＭＲ感磁部（１６）の両値性層（３２）及
び（３３）をＭ Ｒ＆ｆ磁性層するときは、両値性層（
３２）及び（３３）は同一材料１寸法形状とすることが
望ましいが一方をＭＲ効果がないか殆んどない磁性Ｉ−
（所謂非ＭＲ磁性ｉ）で構成するときは、この非晶質磁
性材は、ＭＲ効果のある磁性層に比し充分大なる抵抗と
なるようにその材料及び厚さ等の選定を行う。しかしな
がらこの場合において上述した両値性層の磁束量か−・
致するような条件を満たず必要がある。
３１）を介してその上下に少くとも一方がＭＲ磁性層よ
りなり、夫々軟磁性体より成る磁性層（３２）及び（３
３）の積！−構造に構成される。非磁性中間層の厚さは
両値性層（３２）及び（３３）間に、交換相互作用に比
し静磁的相互作用が支配的に作用するような厚さの５人
を超え １００００人未満の例えば５〜５００人に選定
される。また両値性！（３２）及び（３３）はその飽和
磁束密度、厚さ等の選定によって両値性１ｍ（３２）及
び（３３）の磁束量が一致するようにして磁束が両値性
層（３２）及び（３３）に関して全体的に閉じるように
選定される。ＭＲ感磁部（１６）の両値性層（３２）及
び（３３）をＭ Ｒ＆ｆ磁性層するときは、両値性層（
３２）及び（３３）は同一材料１寸法形状とすることが
望ましいが一方をＭＲ効果がないか殆んどない磁性Ｉ−
（所謂非ＭＲ磁性ｉ）で構成するときは、この非晶質磁
性材は、ＭＲ効果のある磁性層に比し充分大なる抵抗と
なるようにその材料及び厚さ等の選定を行う。しかしな
がらこの場合において上述した両値性層の磁束量か−・
致するような条件を満たず必要がある。
ＭＲ磁性層としてはＦｅ、 Ｎｉ、 Ｃｏの単体、若し
くはこれら２種以上の合金によって構成し得る。非ＭＲ
磁性層はＦｅＣｏ５１Ｂ系、ＣｏＺｒＮｂ系の各アモル
ファス合金あるいはＦｅ−Ａ７！−３ｉ系いわゆるセン
ダスト合金等によって構成し得る。（１９）は絶縁層（
３４）を介してＭＲ＠磁部（１６）を横切るように配さ
れたバイアス導体である。また（３５Ｆ ）は一方の端
子導電層であり、（３５Ｂ ）は他方の端子導電層であ
り、非磁性中間１’ｉ！ （３１）を介して積層された
２つの磁性層（３２） （３３）に電気的に接続形成
される。導電ｒｌｉ（３５Ｆ）及び（３５Ｂ ＞間の不
連続部がＭＲ％［部（１６）であり、図示のｉの様にセ
ンス電流が流される。ここで端子導電層（３５Ｆ ）
（３５Ｂ ＞は感磁部（１６）に磁束を導く導磁路を
兼ねており、導電性磁性材で構成することができる。（
３６）及び（３７）は磁性基板、ｇは磁気ギャップであ
る。
くはこれら２種以上の合金によって構成し得る。非ＭＲ
磁性層はＦｅＣｏ５１Ｂ系、ＣｏＺｒＮｂ系の各アモル
ファス合金あるいはＦｅ−Ａ７！−３ｉ系いわゆるセン
ダスト合金等によって構成し得る。（１９）は絶縁層（
３４）を介してＭＲ＠磁部（１６）を横切るように配さ
れたバイアス導体である。また（３５Ｆ ）は一方の端
子導電層であり、（３５Ｂ ）は他方の端子導電層であ
り、非磁性中間１’ｉ！ （３１）を介して積層された
２つの磁性層（３２） （３３）に電気的に接続形成
される。導電ｒｌｉ（３５Ｆ）及び（３５Ｂ ＞間の不
連続部がＭＲ％［部（１６）であり、図示のｉの様にセ
ンス電流が流される。ここで端子導電層（３５Ｆ ）
（３５Ｂ ＞は感磁部（１６）に磁束を導く導磁路を
兼ねており、導電性磁性材で構成することができる。（
３６）及び（３７）は磁性基板、ｇは磁気ギャップであ
る。
そしてＭＲ感磁部（１６）に与えられる信号磁界と、Ｍ
Ｒ感磁部に通ずるセンス電流ｉを開方に選定し、かつ感
磁部（１６）を構成する磁性層は信号磁界とほぼ直交す
る方向に磁化容易軸を有するようになされる。
Ｒ感磁部に通ずるセンス電流ｉを開方に選定し、かつ感
磁部（１６）を構成する磁性層は信号磁界とほぼ直交す
る方向に磁化容易軸を有するようになされる。
又、本発明の熱処理法は前述のハードディスク用の複合
型磁気ヘッドにおいて、トラッキング信号耳生用磁気ヘ
ッド素子をＭＲ型磁気ヘッドで構成し、データ信号記録
再生用磁気ヘッド素子を非晶質磁性材による誘導型磁気
ヘッドで構成した場合にも通用できるや即ち基板上にこ
れらトラッキング信号再生用のＭＲ型磁気ヘッド素子と
、データ信号記録再生用の誘導型磁気ヘッド素子を並べ
て形成した後、そのトランク幅方向の磁界中で熱処理を
施す。これにより、ＭＲ型のトラッキング信号再生用磁
気ヘッド素子では高い再生出力が得られ、また誘導型の
データ信号記録再生用磁気ヘッド素子では良好な記録特
性及び再生特性が得られる。即ち記録特性については前
述の第５図に示した通りである。また再生特性について
は第６図の出力周波数特性図に示す。同図中曲線（ＩＩ
Ｉ）は本発明熱処理を施した場合、曲線（ＩＶ）は従来
の回転磁界中熱処理の場合、曲線（Ｖ）は無処理の場合
である。この第６図より明らかなように本発明熱処理を
施した記録再生用の誘導型磁気ヘッドは高周波帯域にお
いて高い再生出力が得られる。
型磁気ヘッドにおいて、トラッキング信号耳生用磁気ヘ
ッド素子をＭＲ型磁気ヘッドで構成し、データ信号記録
再生用磁気ヘッド素子を非晶質磁性材による誘導型磁気
ヘッドで構成した場合にも通用できるや即ち基板上にこ
れらトラッキング信号再生用のＭＲ型磁気ヘッド素子と
、データ信号記録再生用の誘導型磁気ヘッド素子を並べ
て形成した後、そのトランク幅方向の磁界中で熱処理を
施す。これにより、ＭＲ型のトラッキング信号再生用磁
気ヘッド素子では高い再生出力が得られ、また誘導型の
データ信号記録再生用磁気ヘッド素子では良好な記録特
性及び再生特性が得られる。即ち記録特性については前
述の第５図に示した通りである。また再生特性について
は第６図の出力周波数特性図に示す。同図中曲線（ＩＩ
Ｉ）は本発明熱処理を施した場合、曲線（ＩＶ）は従来
の回転磁界中熱処理の場合、曲線（Ｖ）は無処理の場合
である。この第６図より明らかなように本発明熱処理を
施した記録再生用の誘導型磁気ヘッドは高周波帯域にお
いて高い再生出力が得られる。
尚、−Ｌ例においては、ＭＲ型磁気ヘッドとしてＭＲ磁
性層（ｌｅａ）に信号磁界Ｈｓと同方向にセンス電流ｉ
を流すようにし、且つセンス電流ｌと直交する方向に磁
化容易軸ｅ、ａを有せしめるようにしたＭＲ型磁気ヘッ
ドを用いたが、その他、第４図に示すようにＭＲ感磁部
（１６’）のＭＲ磁性層（１６ａ’）に信号磁界ＩＩｓ
と直交する方向にセンス電流ｉを流し、且つセンス電流
ｉと同方向に磁化容易軸ｅ、ａを有せしめる一般的なＭ
Ｒ型磁気ヘッド素子（４０）を用いることもできる。
性層（ｌｅａ）に信号磁界Ｈｓと同方向にセンス電流ｉ
を流すようにし、且つセンス電流ｌと直交する方向に磁
化容易軸ｅ、ａを有せしめるようにしたＭＲ型磁気ヘッ
ドを用いたが、その他、第４図に示すようにＭＲ感磁部
（１６’）のＭＲ磁性層（１６ａ’）に信号磁界ＩＩｓ
と直交する方向にセンス電流ｉを流し、且つセンス電流
ｉと同方向に磁化容易軸ｅ、ａを有せしめる一般的なＭ
Ｒ型磁気ヘッド素子（４０）を用いることもできる。
又、ＭＲ型磁気ヘッド素子は、ノンシールド型。
シールド型或はヨーク型構成を用いることができる。
本発明による複合型磁気ヘッドの熱処理方法によれば、
ＭＲ型磁気ヘッド素子と、非晶質磁性材による誘導型磁
気ヘッド素子を同一の基板上に形成した後、トランク幅
方向の磁界中で熱処理を行って、ＭＲ磁性層及び非晶質
磁性ヨークにトラソり幅方向に一軸異方性を発生させる
ことにより、ＭＲ型磁気ヘッド素子の再生出力を劣化さ
せることなく、誘導型磁気ヘッド素子の記録効率、再生
出力を良好ならしめることができる。従って、本発明は
例えばハードディスク用の複合型磁気ヘッドの作成に通
用して好適ならしめるものである。
ＭＲ型磁気ヘッド素子と、非晶質磁性材による誘導型磁
気ヘッド素子を同一の基板上に形成した後、トランク幅
方向の磁界中で熱処理を行って、ＭＲ磁性層及び非晶質
磁性ヨークにトラソり幅方向に一軸異方性を発生させる
ことにより、ＭＲ型磁気ヘッド素子の再生出力を劣化さ
せることなく、誘導型磁気ヘッド素子の記録効率、再生
出力を良好ならしめることができる。従って、本発明は
例えばハードディスク用の複合型磁気ヘッドの作成に通
用して好適ならしめるものである。
第１図は本発明の熱処理方法の一実施例を示す複合型磁
気ヘッドの路線的平面図、第２図は第１図の八−入線」
−の断面図、第３図はＭＲ型磁気ヘッド素子の拡大平面
図、第４図はＭＲ型磁気ヘッド素子の他の例を示す拡大
平面図、第５図は本発明の説明に供する誘導型磁気ヘッ
ド素子の記録電流−再生電圧特性図、第６図は本発明の
説明に供する誘導型磁気ヘッド素子の出力周波数特性図
、第７図は２層構造のＭＲ磁性層を有して成るＭＲ型磁
気ヘッド素子の例を示す断面図、第８図は本発明の説明
に供するハードディスク用の複合型磁気ヘッドの例を示
す斜視図である。 （１１）はＭＲ型磁気ヘッド素子、（１２）は誘導型磁
気ヘッド素子、（１３）は複合型磁気へ・ノド、（１６
）はＭＲ１Ｉ！１磁部、ｔｌａは熱処理時の磁界、ｅ、
ａは磁化容易軸である。
気ヘッドの路線的平面図、第２図は第１図の八−入線」
−の断面図、第３図はＭＲ型磁気ヘッド素子の拡大平面
図、第４図はＭＲ型磁気ヘッド素子の他の例を示す拡大
平面図、第５図は本発明の説明に供する誘導型磁気ヘッ
ド素子の記録電流−再生電圧特性図、第６図は本発明の
説明に供する誘導型磁気ヘッド素子の出力周波数特性図
、第７図は２層構造のＭＲ磁性層を有して成るＭＲ型磁
気ヘッド素子の例を示す断面図、第８図は本発明の説明
に供するハードディスク用の複合型磁気ヘッドの例を示
す斜視図である。 （１１）はＭＲ型磁気ヘッド素子、（１２）は誘導型磁
気ヘッド素子、（１３）は複合型磁気へ・ノド、（１６
）はＭＲ１Ｉ！１磁部、ｔｌａは熱処理時の磁界、ｅ、
ａは磁化容易軸である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （ａ）基板上に磁気抵抗効果型磁気ヘッド素子と、非晶
質磁性材料による磁気ヨークによって形成された磁気ヘ
ッド素子を有する複合型磁気ヘッドにおいて、 （ｂ）トラック幅方向の磁界中で熱処理することを特徴
とする複合型磁気ヘッドの熱処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27976485A JPS62139114A (ja) | 1985-12-12 | 1985-12-12 | 複合型磁気ヘツドの熱処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27976485A JPS62139114A (ja) | 1985-12-12 | 1985-12-12 | 複合型磁気ヘツドの熱処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62139114A true JPS62139114A (ja) | 1987-06-22 |
Family
ID=17615575
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27976485A Pending JPS62139114A (ja) | 1985-12-12 | 1985-12-12 | 複合型磁気ヘツドの熱処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62139114A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH031513A (ja) * | 1989-02-08 | 1991-01-08 | Fuji Photo Film Co Ltd | 軟磁性薄膜の製造方法 |
| JPH05120626A (ja) * | 1991-04-22 | 1993-05-18 | Sharp Corp | 複合型薄膜磁気ヘツドおよびその製造方法 |
-
1985
- 1985-12-12 JP JP27976485A patent/JPS62139114A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH031513A (ja) * | 1989-02-08 | 1991-01-08 | Fuji Photo Film Co Ltd | 軟磁性薄膜の製造方法 |
| JPH0744123B2 (ja) * | 1989-02-08 | 1995-05-15 | 富士写真フイルム株式会社 | 軟磁性薄膜の製造方法 |
| JPH05120626A (ja) * | 1991-04-22 | 1993-05-18 | Sharp Corp | 複合型薄膜磁気ヘツドおよびその製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6221218B1 (en) | Method of forming an inductive write head for magnetic data storage media | |
| US4896235A (en) | Magnetic transducer head utilizing magnetoresistance effect | |
| JPH10143820A (ja) | インダクティブ／ｍｒ複合型薄膜磁気ヘッド | |
| JPH0291806A (ja) | 垂直磁化薄膜ヘッド | |
| JPH0969211A (ja) | 磁気抵抗効果膜，磁気ヘッドおよび磁気記録再生装置 | |
| JP2533255B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JPS61120318A (ja) | 一体化薄膜磁気ヘツド | |
| JPS62139114A (ja) | 複合型磁気ヘツドの熱処理方法 | |
| JPH0950612A (ja) | 磁気抵抗効果膜，磁気抵抗効果素子，磁気ヘッドおよび磁気記録再生装置 | |
| JPH03154217A (ja) | 磁気ヘッドおよび磁気記憶装置 | |
| JP2871055B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPS60256907A (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
| JPH069083B2 (ja) | 垂直磁気ヘッド | |
| JPH0619809B2 (ja) | 垂直磁気記録方式 | |
| JP2861714B2 (ja) | 磁気抵抗効果型ヘッド及び磁気ディスク装置 | |
| JP3044012B2 (ja) | 磁気抵抗効果素子、磁気抵抗効果型ヘッド、磁気ヘッド及び磁気記録再生装置 | |
| JPH07320235A (ja) | 磁気抵抗効果型ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH0256713A (ja) | 磁気抵抗効果型再生ヘッド | |
| JPH10334422A (ja) | 磁気記録装置 | |
| JP2001084531A (ja) | 磁気抵抗効果型薄膜磁気ヘッド | |
| JP3040892B2 (ja) | 磁気抵抗効果型薄膜磁気ヘッド | |
| JP2002008210A (ja) | 磁気ヘッド製造方法 | |
| JPH048846B2 (ja) | ||
| JPS61153813A (ja) | 薄膜磁気ヘツド用磁極 | |
| JPH07118061B2 (ja) | 磁気抵抗効果ヘッド |