JPS61153813A - 薄膜磁気ヘツド用磁極 - Google Patents
薄膜磁気ヘツド用磁極Info
- Publication number
- JPS61153813A JPS61153813A JP27733584A JP27733584A JPS61153813A JP S61153813 A JPS61153813 A JP S61153813A JP 27733584 A JP27733584 A JP 27733584A JP 27733584 A JP27733584 A JP 27733584A JP S61153813 A JPS61153813 A JP S61153813A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- film layer
- magnetic
- magnetic thin
- amorphous soft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/3113—Details for improving the magnetic domain structure or avoiding the formation or displacement of undesirable magnetic domains
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、磁性多層薄膜に関し、更に詳しくは磁気ディ
スク装置、磁気テープ装置等に用いられる薄膜磁気ヘッ
ドの磁極に関する◇ （従来技術と発明が解決しようとする問題点）、周知の
通り、最近の磁気記録の分野においては、高記録密度化
が増々進み、高保磁力を有する磁気記録媒体が種々研究
開発されている。この様な情勢を反映して、記録媒体と
共に磁気記録技術を支える磁気ヘッドにおいても、その
磁気回路を形成する磁極に対して優れた磁気特性が求め
られている。
スク装置、磁気テープ装置等に用いられる薄膜磁気ヘッ
ドの磁極に関する◇ （従来技術と発明が解決しようとする問題点）、周知の
通り、最近の磁気記録の分野においては、高記録密度化
が増々進み、高保磁力を有する磁気記録媒体が種々研究
開発されている。この様な情勢を反映して、記録媒体と
共に磁気記録技術を支える磁気ヘッドにおいても、その
磁気回路を形成する磁極に対して優れた磁気特性が求め
られている。
一般に、インダクテイプ型薄膜磁気ヘッドにおいては、
情報の書込み時にコイルを流れるヘッド駆動電流によシ
熱を生じ、この熱により薄膜磁気ヘッドの磁気回路を成
す磁極（／−ル・ピース）味加熱二冷却という、ヒート
サイクルを絶えず受けている。□その為、薄膜磁気ヘッ
ドの磁極内の磁区構造が乱れ１、局所的に方向の違う磁
気異方性が出現し、透磁率が大幅に低下し初期の優れた
磁気特性枦劣下し、薄膜磁気ヘッドの電磁変換効率が減
少するという問題点があった。特に近年従来のＮＩ Ｆ
６合金等の結晶質軟磁性膜に替わり磁極材料として用い
られつつある非晶質軟磁性膜では、非晶質膜自身が熱的
に不安定であり磁気特性の経時変化が大きく、前述のヒ
ートサイクルによる磁気特性の劣化が一層促進されると
いう問題点があった０ そこで、本発明の目的は、以上の点に鑑み、磁区構造が
安定で磁気異方性が生じ難い薄膜磁気ヘッド用磁極の提
供にある。
情報の書込み時にコイルを流れるヘッド駆動電流によシ
熱を生じ、この熱により薄膜磁気ヘッドの磁気回路を成
す磁極（／−ル・ピース）味加熱二冷却という、ヒート
サイクルを絶えず受けている。□その為、薄膜磁気ヘッ
ドの磁極内の磁区構造が乱れ１、局所的に方向の違う磁
気異方性が出現し、透磁率が大幅に低下し初期の優れた
磁気特性枦劣下し、薄膜磁気ヘッドの電磁変換効率が減
少するという問題点があった。特に近年従来のＮＩ Ｆ
６合金等の結晶質軟磁性膜に替わり磁極材料として用い
られつつある非晶質軟磁性膜では、非晶質膜自身が熱的
に不安定であり磁気特性の経時変化が大きく、前述のヒ
ートサイクルによる磁気特性の劣化が一層促進されると
いう問題点があった０ そこで、本発明の目的は、以上の点に鑑み、磁区構造が
安定で磁気異方性が生じ難い薄膜磁気ヘッド用磁極の提
供にある。
（問題点を解決するための手段）
前述の問題点を解決するために本発明が提供する薄膜磁
気ヘッド用磁極は、非晶質軟磁性薄膜層と結晶質硬磁性
薄膜層とが各々少なくとも１層積層してあシ、前記非晶
質軟磁性薄膜層及び前記結、 品質硬磁性薄膜層の磁化
容易軸の方向が実質的に同一であることを特徴とする。
気ヘッド用磁極は、非晶質軟磁性薄膜層と結晶質硬磁性
薄膜層とが各々少なくとも１層積層してあシ、前記非晶
質軟磁性薄膜層及び前記結、 品質硬磁性薄膜層の磁化
容易軸の方向が実質的に同一であることを特徴とする。
−−（作用）
本発明は上述の構成をとることにより従来の問題点を改
善した薄膜磁気ヘッド用磁気コア材料の提供を可能とし
た。すなわち、非晶質軟磁性薄膜層と結晶質硬磁性薄膜
層とを各々少なくとも１層積層讐ることによシ非晶買軟
磁性薄膜層と結晶質硬磁性薄膜層とを磁気的に結合して
、前述したベッド駆動時のヒートサイクルによる磁気特
性の劣化、例えば透磁率の低下を抑制するものである。
善した薄膜磁気ヘッド用磁気コア材料の提供を可能とし
た。すなわち、非晶質軟磁性薄膜層と結晶質硬磁性薄膜
層とを各々少なくとも１層積層讐ることによシ非晶買軟
磁性薄膜層と結晶質硬磁性薄膜層とを磁気的に結合して
、前述したベッド駆動時のヒートサイクルによる磁気特
性の劣化、例えば透磁率の低下を抑制するものである。
゛ここで、非晶質軟磁性薄膜層及び結晶質硬
磁性薄膜層の磁化容易軸方向とが実質的に一致する様に
積層化されることが望ましい。これは、前記両磁性薄膜
層の磁化容易軸方向が一致していない場合（は、前記非
晶質軟磁性薄膜層の磁気特性が分散的になり、保磁力Ｈ
ａが増大し、透磁率μが劣化する等、薄膜磁気ヘッドの
磁気コア材料として用いるには問題が生ずるからである
。従って、前述し走様に非晶質軟磁性薄膜層と結晶質硬
磁性薄膜層の磁化容易軸方向とが＃１ぼ±２０’位の範
囲で実質的に一致する様に積層するととが肝要である。
磁性薄膜層の磁化容易軸方向とが実質的に一致する様に
積層化されることが望ましい。これは、前記両磁性薄膜
層の磁化容易軸方向が一致していない場合（は、前記非
晶質軟磁性薄膜層の磁気特性が分散的になり、保磁力Ｈ
ａが増大し、透磁率μが劣化する等、薄膜磁気ヘッドの
磁気コア材料として用いるには問題が生ずるからである
。従って、前述し走様に非晶質軟磁性薄膜層と結晶質硬
磁性薄膜層の磁化容易軸方向とが＃１ぼ±２０’位の範
囲で実質的に一致する様に積層するととが肝要である。
（実施例）
以下、図面を参照して本発明の・実施例を説明する０
第１図（ａ）は本発明の第１の実施例を示す断面図であ
る一層この実施例では、セ：う・・ミックス等Ｋ”より
成る基板１上に、ス／４ヅタリング法あるいは蒸着法等
の薄膜形成技術を用いで膜厚３００λ程度の結晶質硬磁
性薄膜層３、例えばＮｉ ＋ Ｃｏ合金薄薄膜層が２層
と、膜厚５００□Ｏλ程度の非晶質軟磁性薄膜層２、例
えばＣｏ’ −Ｚ’ｒ−Ｍ１３非晶質薄膜層が３層交互
に積層しである。同図（１））は本発明の第２の実施例
を示す断面図であり、この実施例では同図（−）の実施
例上同様にして、・基板１上に、膜厚３００Ａ程度の結
晶質硬磁性薄膜層３が４層、膜厚３０００λ程度の非晶
質軟磁性薄膜層２が５層交互に積層しである。勿論、両
実施例においでは結晶質硬磁性薄膜層３及び非晶質軟磁
性薄膜層２の磁化容易軸方向は互いに一致して積層しで
ある。
る一層この実施例では、セ：う・・ミックス等Ｋ”より
成る基板１上に、ス／４ヅタリング法あるいは蒸着法等
の薄膜形成技術を用いで膜厚３００λ程度の結晶質硬磁
性薄膜層３、例えばＮｉ ＋ Ｃｏ合金薄薄膜層が２層
と、膜厚５００□Ｏλ程度の非晶質軟磁性薄膜層２、例
えばＣｏ’ −Ｚ’ｒ−Ｍ１３非晶質薄膜層が３層交互
に積層しである。同図（１））は本発明の第２の実施例
を示す断面図であり、この実施例では同図（−）の実施
例上同様にして、・基板１上に、膜厚３００Ａ程度の結
晶質硬磁性薄膜層３が４層、膜厚３０００λ程度の非晶
質軟磁性薄膜層２が５層交互に積層しである。勿論、両
実施例においでは結晶質硬磁性薄膜層３及び非晶質軟磁
性薄膜層２の磁化容易軸方向は互いに一致して積層しで
ある。
第１図（ａ）、（”） に示した実施例においては、
結晶質硬磁性薄膜層３と非晶質軟磁性薄膜層２とが磁気
的に結合されているから、非晶質軟磁性薄膜層２は結晶
質硬磁性薄膜層３との結合によるバイアス磁界を受ける
こととなる、従って、前述したヘッド駆動電流によ石発
熱に基づくヒートサイクル受けて、非晶質軟磁性薄膜層
２の磁化状態に乱れを生じても、結晶質硬磁性薄膜層３
によるバイアス磁界により、初期状態に復帰するから、
安定な磁化状態が実現されるｄこのことは、非晶質軟磁
性薄膜層２の磁区状態が安定であることを意味している
。従って、第１図（ａ）、（”）の実施例では、局所的
に方向の違う磁気異方性の発生が抑制され、初期の優れ
た磁気特性が維持される。
結晶質硬磁性薄膜層３と非晶質軟磁性薄膜層２とが磁気
的に結合されているから、非晶質軟磁性薄膜層２は結晶
質硬磁性薄膜層３との結合によるバイアス磁界を受ける
こととなる、従って、前述したヘッド駆動電流によ石発
熱に基づくヒートサイクル受けて、非晶質軟磁性薄膜層
２の磁化状態に乱れを生じても、結晶質硬磁性薄膜層３
によるバイアス磁界により、初期状態に復帰するから、
安定な磁化状態が実現されるｄこのことは、非晶質軟磁
性薄膜層２の磁区状態が安定であることを意味している
。従って、第１図（ａ）、（”）の実施例では、局所的
に方向の違う磁気異方性の発生が抑制され、初期の優れ
た磁気特性が維持される。
そこで、これら実施例を用いることによシ、電磁変換効
率及び信頼性の高ら薄膜磁気ヘッドの実現が可能となり
工業的な価値は高い。
率及び信頼性の高ら薄膜磁気ヘッドの実現が可能となり
工業的な価値は高い。
尚、前述の実施例で示した構成、例えば各層の１漠厚、
各層の構成材料は、本発明による磁極が用いられる薄膜
磁気ヘッドの仕様に応じて選定されるべきものであって
本発明を規定するものでは無いことは勿論である。例え
ば、前述の実施例では、非晶質軟磁性薄膜層としてＣＱ
＋ ｚｒ −Ｎｂ非晶質薄頃を挙げたが、本発明では
非晶質軟磁性薄膜層とし−（ＺｒＳＮｂＳＴｉ、Ｔｌｆ
、 ｙ、 ｙ、 Ｔａのうち少なくとも１つの元素
とＣｏとの組合せより成るＣｏ−メタル系非晶質薄膜又
はＢＳｇｉ、Ｐ、（）ｅのうち少なくとも１つの元素と
Ｃｏ若しくはＣｏ −Ｆｅ との組合せより成るＣｏ−
メタロイド系若しくはＣｏ−Ｆｅ −メタロイド系非
晶質薄膜等が用い得る。
各層の構成材料は、本発明による磁極が用いられる薄膜
磁気ヘッドの仕様に応じて選定されるべきものであって
本発明を規定するものでは無いことは勿論である。例え
ば、前述の実施例では、非晶質軟磁性薄膜層としてＣＱ
＋ ｚｒ −Ｎｂ非晶質薄頃を挙げたが、本発明では
非晶質軟磁性薄膜層とし−（ＺｒＳＮｂＳＴｉ、Ｔｌｆ
、 ｙ、 ｙ、 Ｔａのうち少なくとも１つの元素
とＣｏとの組合せより成るＣｏ−メタル系非晶質薄膜又
はＢＳｇｉ、Ｐ、（）ｅのうち少なくとも１つの元素と
Ｃｏ若しくはＣｏ −Ｆｅ との組合せより成るＣｏ−
メタロイド系若しくはＣｏ−Ｆｅ −メタロイド系非
晶質薄膜等が用い得る。
また、前述の実施例では結晶質硬磁性薄膜層としてＮｌ
＋ Ｃｏ合金薄膜層を例示したが、本発明では結晶質
硬磁性薄膜層としてＮ１＋ Ｃｏ金合金Ｃｏ−Ｐｔ合金
、ＣｒＯ，薄膜、１−Ｆｅ、Ｄ、薄膜等が用い得る。
＋ Ｃｏ合金薄膜層を例示したが、本発明では結晶質
硬磁性薄膜層としてＮ１＋ Ｃｏ金合金Ｃｏ−Ｐｔ合金
、ＣｒＯ，薄膜、１−Ｆｅ、Ｄ、薄膜等が用い得る。
（発明の効果）
本発明によれば、以上説明したように、磁区構造が安定
で磁気異方性が生じ難い薄膜磁気ヘッド用磁極が提供で
きる。そこで、本発明の磁極を用いれば、電磁変換効率
の高い薄膜磁気ヘッドが実現できる。
で磁気異方性が生じ難い薄膜磁気ヘッド用磁極が提供で
きる。そこで、本発明の磁極を用いれば、電磁変換効率
の高い薄膜磁気ヘッドが実現できる。
第１図（ａ）及び（１））はそれぞれ本発明の第１及び
第２の実施例を示す模式的な断面図である。 １・・・基板、２・・・非晶質軟磁性薄膜層、３・・・
結晶 ゛質硬磁性薄膜層。 、７゛−゛・ 代理人 弁理士 内 原 音・＋、＋
第２の実施例を示す模式的な断面図である。 １・・・基板、２・・・非晶質軟磁性薄膜層、３・・・
結晶 ゛質硬磁性薄膜層。 、７゛−゛・ 代理人 弁理士 内 原 音・＋、＋
Claims (3)
- （１）非晶質軟磁性薄膜層と結晶質硬磁性薄膜層とが各
々少なくとも１層積層してあり、前記非晶質軟磁性薄膜
層及び前記結晶質硬磁性薄膜層の磁化容易軸の方向が実
質的に同一であることを特徴とする薄膜磁気ヘッド用磁
極。 - （２）非晶質軟磁性薄膜層がＺｒ、Ｎｂ、Ｔｉ、Ｈｆ、
Ｙ、Ｖ、Ｔａのうち少なくとも１つの元素とＣｏとの組
合せより成るＣｏ−メタル系非晶質薄膜又はＢ、Ｓｉ、
Ｐ、Ｇｅのうち少なくとも１つの元素とＣｏ若しくはＣ
ｏ−Ｆｅとの組合せより成るＣｏ−メタロイド系若しく
はＣｏ−Ｆｅ−メタロイド系非晶質薄膜である特許請求
の範囲第１項記載の薄膜磁気ヘッド用磁極。 - （３）結晶質硬磁性薄膜層がＮｉ−Ｃｏ合金、Ｃｏ−Ｐ
ｔ合金、ＣｒＯ＿２薄膜又はγ−Ｆｅ＿２Ｄ＿３薄膜で
ある特許請求の範囲第１項記載の薄膜磁気ヘッド用磁極
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27733584A JPS61153813A (ja) | 1984-12-26 | 1984-12-26 | 薄膜磁気ヘツド用磁極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27733584A JPS61153813A (ja) | 1984-12-26 | 1984-12-26 | 薄膜磁気ヘツド用磁極 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61153813A true JPS61153813A (ja) | 1986-07-12 |
| JPH0559484B2 JPH0559484B2 (ja) | 1993-08-31 |
Family
ID=17582090
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27733584A Granted JPS61153813A (ja) | 1984-12-26 | 1984-12-26 | 薄膜磁気ヘツド用磁極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61153813A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63126208A (ja) * | 1986-11-15 | 1988-05-30 | Sony Corp | 組織変調軟磁性積層膜 |
| US5234775A (en) * | 1988-11-11 | 1993-08-10 | U.S. Philips Corporation | Soft magnetic multilayer film and magnetic head provided with such a soft magnetic multilayer film |
-
1984
- 1984-12-26 JP JP27733584A patent/JPS61153813A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63126208A (ja) * | 1986-11-15 | 1988-05-30 | Sony Corp | 組織変調軟磁性積層膜 |
| US5234775A (en) * | 1988-11-11 | 1993-08-10 | U.S. Philips Corporation | Soft magnetic multilayer film and magnetic head provided with such a soft magnetic multilayer film |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0559484B2 (ja) | 1993-08-31 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |