JPS61117714A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents
薄膜磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS61117714A JPS61117714A JP23883484A JP23883484A JPS61117714A JP S61117714 A JPS61117714 A JP S61117714A JP 23883484 A JP23883484 A JP 23883484A JP 23883484 A JP23883484 A JP 23883484A JP S61117714 A JPS61117714 A JP S61117714A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core
- magnetic
- thin film
- recording
- head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、薄膜コアの片側エツジのみが高感度の磁気構
造を有する録再兼用磁気ヘッドに関する。
造を有する録再兼用磁気ヘッドに関する。
従来の矩形断面の垂直磁気記録用単磁極ヘッドの主磁極
の厚みに関して、再生分解能の点では薄い方がよく、記
録再生効率の点では成程度迄は。
の厚みに関して、再生分解能の点では薄い方がよく、記
録再生効率の点では成程度迄は。
厚い方がよいとゆう矛盾した関係があった。この矛盾を
解決するため９本発明者は先に台形柱状コア構造の厚い
非平行単磁極ヘッドを考案した。
解決するため９本発明者は先に台形柱状コア構造の厚い
非平行単磁極ヘッドを考案した。
（特開昭５７−１３３５１０：特開昭５８−１９７１５
：ＩＥＥＥｏＭａｇ−１８，Ｐ−１１７３，１９８２
： ）この台形柱コア（およびその一つの僕限としての
三角柱コア）と通常の矩形柱（平行）コアのへ図ｂ）、
正弦波忙対する波長特性と共に計算によツテ求められテ
ィる。（Ｄｉｒｋ Ｑｕａｋ、ＩＥＥＥ。
：ＩＥＥＥｏＭａｇ−１８，Ｐ−１１７３，１９８２
： ）この台形柱コア（およびその一つの僕限としての
三角柱コア）と通常の矩形柱（平行）コアのへ図ｂ）、
正弦波忙対する波長特性と共に計算によツテ求められテ
ィる。（Ｄｉｒｋ Ｑｕａｋ、ＩＥＥＥ。
Ｍａｇ−２０，ｐ−５４２，１９８４）それによれば、
平行柱コアに較べて他の二つの非平行柱コアでは。
平行柱コアに較べて他の二つの非平行柱コアでは。
片側エツジ（トレーリングエツジ）のみが急激な再生電
圧変化を示しており１片側エツジ高感度の特性を有して
いると言える。
圧変化を示しており１片側エツジ高感度の特性を有して
いると言える。
その結果２両エツジが等感度の普通の矩形柱へノドの波
長特性にあられれるＴｍ〜ｎ、Ｌ （Ｔｍ ：はその凹
みが浅くなり、特に短波長でζ消失することも示されて
いる。この効果は三角柱コアで特に著しい。即ちこの先
行発明により、再生分解能を犠牲にすることなく、平均
主磁極厚細を厚くして録再効率を上げることができるの
である。
長特性にあられれるＴｍ〜ｎ、Ｌ （Ｔｍ ：はその凹
みが浅くなり、特に短波長でζ消失することも示されて
いる。この効果は三角柱コアで特に著しい。即ちこの先
行発明により、再生分解能を犠牲にすることなく、平均
主磁極厚細を厚くして録再効率を上げることができるの
である。
さて磁気記録が高密度化、高速化し、かつ非常に透磁率
の高いアモルファススパッタ膜等が出現してくると、ヘ
ッド材としてはブロックコアより薄膜コアが有利になっ
てくる。しかし薄膜コアにおいて上述の非平行構造をつ
くることは比較的困難であり、集積回路技術的な精密量
産において特にそうである。
の高いアモルファススパッタ膜等が出現してくると、ヘ
ッド材としてはブロックコアより薄膜コアが有利になっ
てくる。しかし薄膜コアにおいて上述の非平行構造をつ
くることは比較的困難であり、集積回路技術的な精密量
産において特にそうである。
本発明の目的は、矩形断面の薄膜へラドコアにおいて、
上述の非平行形状断面コアと同じ片側エツジ高感度の特
性をもたせることの出来る磁気的構造を提供することで
ある。
上述の非平行形状断面コアと同じ片側エツジ高感度の特
性をもたせることの出来る磁気的構造を提供することで
ある。
そのための構成を考案するヒントを得るために。
第１図ａの（２）の直角台形柱コアが第１図すの（２）
の特性をもつ理由を、より一般化して考えてみよう０今
そのトレーリングエツジ方向を２．媒体面内の２と直交
する方向をｘ、（ホームＶＴＲ，的アジマス記録でない
時は、Ｘは媒体進行方向と一致）２とＸに直交する方向
をｙとする。このコアの媒体と対向する面は第２図ａの
ように、その巾ｗ（ｘ）がリーディングエツジ附近でＯ
から最大重Ｗ迄・Ｘ方向距離ｔｄの間で直線的に変化し
ている０このコアをｙｚ面内のムＸの厚みの仮想的薄層
板の積層体と考えると、その薄層板のＸ方向（コア磁化
方向）のパーミアンスムｐ（ｘ、ムＸ）は、ΔＰｏｃ
ｗ（Ｘ）八ＸＡ（Ｘ）として第２図すに示すようＸ方向
に変化している。但しこの場合、罹拘透磁率μ（Ｘ 、
；Ｘ）は場所によらず一定である。この八Ｐ〜Ｘの関
係が第１図すの（２） （３）の片側高感度特性の原因
である。
の特性をもつ理由を、より一般化して考えてみよう０今
そのトレーリングエツジ方向を２．媒体面内の２と直交
する方向をｘ、（ホームＶＴＲ，的アジマス記録でない
時は、Ｘは媒体進行方向と一致）２とＸに直交する方向
をｙとする。このコアの媒体と対向する面は第２図ａの
ように、その巾ｗ（ｘ）がリーディングエツジ附近でＯ
から最大重Ｗ迄・Ｘ方向距離ｔｄの間で直線的に変化し
ている０このコアをｙｚ面内のムＸの厚みの仮想的薄層
板の積層体と考えると、その薄層板のＸ方向（コア磁化
方向）のパーミアンスムｐ（ｘ、ムＸ）は、ΔＰｏｃ
ｗ（Ｘ）八ＸＡ（Ｘ）として第２図すに示すようＸ方向
に変化している。但しこの場合、罹拘透磁率μ（Ｘ 、
；Ｘ）は場所によらず一定である。この八Ｐ〜Ｘの関
係が第１図すの（２） （３）の片側高感度特性の原因
である。
この第２図すの関係をｗ（ｘ）が一定の交巨形柱コア（
第２図Ｃ）で実現するには、／１ｔ（Ｘ）をｄＰ（Ｘ）
／ｄＸ＝ ｄＷ（Ｘ）／ｄｘ となるようにＸ方向で変
化させればよいことになる。（第２図ｄ）但し形の違う
第２図ａとＣが同じ出力特性〔第１図すの（２） ）を
持ちうるのは、ヘッド媒体スペーシングと垂直記録層厚
みが共に小で、かつコアと二層媒体の高透磁率層がとも
に線形の磁化曲線範囲にある場合に限られる。 しかし
厳密にこの関係が成立しなくても動作上差支えない。
このコア（図２ ｂ＋Ｃ＋ｄ）上に、同一垂直方向に一
様な残留磁化が記録されている媒体の領域が接した時。
第２図Ｃ）で実現するには、／１ｔ（Ｘ）をｄＰ（Ｘ）
／ｄＸ＝ ｄＷ（Ｘ）／ｄｘ となるようにＸ方向で変
化させればよいことになる。（第２図ｄ）但し形の違う
第２図ａとＣが同じ出力特性〔第１図すの（２） ）を
持ちうるのは、ヘッド媒体スペーシングと垂直記録層厚
みが共に小で、かつコアと二層媒体の高透磁率層がとも
に線形の磁化曲線範囲にある場合に限られる。 しかし
厳密にこの関係が成立しなくても動作上差支えない。
このコア（図２ ｂ＋Ｃ＋ｄ）上に、同一垂直方向に一
様な残留磁化が記録されている媒体の領域が接した時。
各薄層板の磁束４ｃｌ＜（ｘ、Ａｘ）の現われ方を第３
図に示した。 これはまた相反定理的に言えば。
図に示した。 これはまた相反定理的に言えば。
記録時のコアの磁束分布あるいは記録磁界分布をきめる
表面磁性分布、を示しているとも言えるＯ具体的な各実
施例に入る前に、一般的説明を先は磁性体固有のｐの他
に、ヘッド媒体相互作用をふくめた磁化状態に大きく左
右される０ 垂直記録では垂直記録（ｒｅｃｏｒｄ ｉ
ｎｇ ）層の飽和磁束密度をＢＳ、ｒｌそれと接するヘ
ッドの場所Ｘでのそれして）をヘッドが吸い込みきれず
、そのため記録層表面に現れる面磁性による反磁場のた
め、記録層表面は減磁状態となる。 このことは場所Ｘ
でヘッドに入る磁束が減ることなので、ｐｃ（Ｘ）の減
少と言いかえることができる。
表面磁性分布、を示しているとも言えるＯ具体的な各実
施例に入る前に、一般的説明を先は磁性体固有のｐの他
に、ヘッド媒体相互作用をふくめた磁化状態に大きく左
右される０ 垂直記録では垂直記録（ｒｅｃｏｒｄ ｉ
ｎｇ ）層の飽和磁束密度をＢＳ、ｒｌそれと接するヘ
ッドの場所Ｘでのそれして）をヘッドが吸い込みきれず
、そのため記録層表面に現れる面磁性による反磁場のた
め、記録層表面は減磁状態となる。 このことは場所Ｘ
でヘッドに入る磁束が減ることなので、ｐｃ（Ｘ）の減
少と言いかえることができる。
従っテリーディングエツジの磁性劣化（ｄｅｇｒａ−ｄ
ａｔｉｏｎ）領域ｔｄでの、ＡＬ ６ ＮＸ 分布をり
くるＫＢ ｓ （Ｘ） を変化させるには、デポジット
過程で磁性合金組成を変化させながら薄膜コアをつくれ
ばよい。 或は合金組成をＢＳ、、、 値のものに決
めてＥｌｓ、ｒ〜０迄変比変化ように、変えながら積層
コアをつくり平均／ｌＬｅ （Ｘ）分布をつくってもよ
い。
ａｔｉｏｎ）領域ｔｄでの、ＡＬ ６ ＮＸ 分布をり
くるＫＢ ｓ （Ｘ） を変化させるには、デポジット
過程で磁性合金組成を変化させながら薄膜コアをつくれ
ばよい。 或は合金組成をＢＳ、、、 値のものに決
めてＥｌｓ、ｒ〜０迄変比変化ように、変えながら積層
コアをつくり平均／ｌＬｅ （Ｘ）分布をつくってもよ
い。
但しこの磁性、非磁性交互層が最短磁化反転巾中に数組
は入るような高密度積層とするＯ１２）へラドコアのタ
イツ゛： へラドコアは目的に応じて第４図のグ種類の
ノ４６ ＮＸ分布（或はヌ７ｅ〜Ｘ分布）をもつものに
分類される。 （ａ）は第２図（ｄ）に相当するもので
、低感度エッジサイドとなるｔｄ層領域、専ら磁束伝達
（ｃｏｎＱｔｉｏｎ ）を受持つ領域ｔｃとからなる。
は入るような高密度積層とするＯ１２）へラドコアのタ
イツ゛： へラドコアは目的に応じて第４図のグ種類の
ノ４６ ＮＸ分布（或はヌ７ｅ〜Ｘ分布）をもつものに
分類される。 （ａ）は第２図（ｄ）に相当するもので
、低感度エッジサイドとなるｔｄ層領域、専ら磁束伝達
（ｃｏｎＱｔｉｏｎ ）を受持つ領域ｔｃとからなる。
（ｂ）はｔ４のみからなり、それが伝達も兼るので、
非平行形状コアの三角形柱に対応する。 集積回路的薄
膜ヘッドのように、コア先端とコイル部間が短い場合に
適している。 ワイヤーコイルを巻く場合は、この距離
が長くなるので（ａ）が適している。 （Ｃ）と（ｄ）
は、トレーリングエツジ側をよシ高感匿にするため、（
ａ）と（ｂ）のそれぞれに対して、より高いＢＳとμの
薄層からなるエツジ（ｅｄｇｅ）ピーク層領域ｔｅを設
けたものである。
非平行形状コアの三角形柱に対応する。 集積回路的薄
膜ヘッドのように、コア先端とコイル部間が短い場合に
適している。 ワイヤーコイルを巻く場合は、この距離
が長くなるので（ａ）が適している。 （Ｃ）と（ｄ）
は、トレーリングエツジ側をよシ高感匿にするため、（
ａ）と（ｂ）のそれぞれに対して、より高いＢＳとμの
薄層からなるエツジ（ｅｄｇｅ）ピーク層領域ｔｅを設
けたものである。
１６層の必要厚みは使用波長域できまり、アナログＦＭ
記録ではほぼ最長波長以上、デジタル記録例えばＭＦＭ
（磁化反転間隔： Ｌ、 １．５Ｌ、 ２Ｌ ）では
Ｌの数倍以上である。 それらより更に厚くすると、多
くの正負の媒体記録磁化領域（磁化セル）がｔｄの間を
同時に移動するので、 ｔｄ附近での誘導電圧は正負の
打消効果が加ってより低くなり（リーディングエツジの
より低感度化）、波長特性がよシ平担化する。
記録ではほぼ最長波長以上、デジタル記録例えばＭＦＭ
（磁化反転間隔： Ｌ、 １．５Ｌ、 ２Ｌ ）では
Ｌの数倍以上である。 それらより更に厚くすると、多
くの正負の媒体記録磁化領域（磁化セル）がｔｄの間を
同時に移動するので、 ｔｄ附近での誘導電圧は正負の
打消効果が加ってより低くなり（リーディングエツジの
より低感度化）、波長特性がよシ平担化する。
１０層厚みは、ワイヤーコイルを巻く場合と、しゅう動
摩耗の多いＶＴＲ，、フロッピーディスク等の場合には
、先端コイル間の長い距離に対する必要パーミアンスか
ら厚目となる。 その計算には下記論文を利用できる０
（ＩＥＥＥ、Ｍａｇ ｔｓ ＋ ｐ−１１７０、１
９８２） 【ｅ層厚みは１分解能の条件からは最少磁化反転間隔の
２倍、望ましくは１倍より薄く、録再効率に関係する磁
束吸込条件からは＋ Ｌｅ ＸＢｓ（ｔｅ部）＜「高
透磁率層厚み３ ｘ Ｂｓ（高透磁率層）×２の厚
みとなるが、普通は前者の条件が自動的に後者を充たし
ている。
摩耗の多いＶＴＲ，、フロッピーディスク等の場合には
、先端コイル間の長い距離に対する必要パーミアンスか
ら厚目となる。 その計算には下記論文を利用できる０
（ＩＥＥＥ、Ｍａｇ ｔｓ ＋ ｐ−１１７０、１
９８２） 【ｅ層厚みは１分解能の条件からは最少磁化反転間隔の
２倍、望ましくは１倍より薄く、録再効率に関係する磁
束吸込条件からは＋ Ｌｅ ＸＢｓ（ｔｅ部）＜「高
透磁率層厚み３ ｘ Ｂｓ（高透磁率層）×２の厚
みとなるが、普通は前者の条件が自動的に後者を充たし
ている。
ｉｉ）交換相互作用遮断多層構造： この構造を取入れ
ると、以下の二理由で上述の”ｄｐ”ｃ及び布および／
ｕ−（Ｘ）の段差が保たれることが必要で芝 あるが、高い／ｌ’（Ｘ）部の磁性が低いスｊ（ｘ）部
の磁性に交換相互作用で引下げられるのを、この構造で
軽減することができる。 また高密度パターンの再生時
にも、正負の記録残留磁化の反転境界に対応してコアに
磁壁的なものを発生しなくともよいのでμが実効的に向
上する。 次に、高周波用の薄膜コアでは異方性をコア
磁化方向に対し垂直方向につけるが、この構造を取入れ
て単層膜を偶数枚の積層構造にすると、薄層両側での９
０ 磁区がなくなり、高周波メと磁区ノイズに関係す
るＳ／Ｎとの向上がはかれる。［ＩＥＥＥ、Ｍａｇ−７
゜ｐ−１４６、１９７１）その向上による効果は特にｔ
ｅ部で著しい。
ると、以下の二理由で上述の”ｄｐ”ｃ及び布および／
ｕ−（Ｘ）の段差が保たれることが必要で芝 あるが、高い／ｌ’（Ｘ）部の磁性が低いスｊ（ｘ）部
の磁性に交換相互作用で引下げられるのを、この構造で
軽減することができる。 また高密度パターンの再生時
にも、正負の記録残留磁化の反転境界に対応してコアに
磁壁的なものを発生しなくともよいのでμが実効的に向
上する。 次に、高周波用の薄膜コアでは異方性をコア
磁化方向に対し垂直方向につけるが、この構造を取入れ
て単層膜を偶数枚の積層構造にすると、薄層両側での９
０ 磁区がなくなり、高周波メと磁区ノイズに関係す
るＳ／Ｎとの向上がはかれる。［ＩＥＥＥ、Ｍａｇ−７
゜ｐ−１４６、１９７１）その向上による効果は特にｔ
ｅ部で著しい。
遮断層は非磁性の金属或はセラミックスの数十オングス
トロームのデポジット層であり、磁性層は１ｏｏｏ〜数
１０００オングストロームのデポジット層で１両者を交
互に積層してコアを形成する。
トロームのデポジット層であり、磁性層は１ｏｏｏ〜数
１０００オングストロームのデポジット層で１両者を交
互に積層してコアを形成する。
第１実施例： 集積回路技術利用のウィンチェスタ−型
薄膜単磁極ヘッドに、この発明の磁気コアを取入れたも
ので、あとでスライダーとなる基板へのコア薄膜、コイ
ル等のデポジットやパターン形成、切断、仕上げ等はＩ
ＢＭ３３７０型ヘッドにならい、それをリングヘッドで
なく単磁極ヘッド型に変えた部分については、先行文献
（ＩＥＥＥ。
薄膜単磁極ヘッドに、この発明の磁気コアを取入れたも
ので、あとでスライダーとなる基板へのコア薄膜、コイ
ル等のデポジットやパターン形成、切断、仕上げ等はＩ
ＢＭ３３７０型ヘッドにならい、それをリングヘッドで
なく単磁極ヘッド型に変えた部分については、先行文献
（ＩＥＥＥ。
Ｍａｇ−１８、ｐ−１１６４、１９８２）にならうので
、それ＼る主磁極部（ｔｅ部とｔｄ部）の磁気構造と製
造法についてのみ述べる。
、それ＼る主磁極部（ｔｅ部とｔｄ部）の磁気構造と製
造法についてのみ述べる。
平滑なセラミック（Ａｌ２Ｏ２−ＴｉＣ）基板上にスパ
ッタリング法でＣ３−Ｚｒアモルファス膜の１６層をキ 形成する。二元スパッタリングで、第Ｘ図（ｄ）のタイ
プとして合金組成を変えていくが、最も基盤に近い所で
はＢＳ″′ＯとなるようＺｒを３３ ａｔ、％とし、
順次Ｚ「の割合を減少させて１丁度ｔｄの厚みの所でＢ
ｓ （ＣｏＺｒ ） 〜Ｂｓ （ＣｏＣｒ垂直記録層）
となる組成とする。 組合せる二層媒体をＣ０８６Ｃｒ
１４（Ｈ５Ａ−ＪｌｏＫ ｇａｕｓｓ ｌ Ｏ，２ミク
ロン厚）と４５パーマロイ（Ｂｓ〜１５Ｋｇａｕｓｓ
、 Ｑ、５ミクｏン厚）とすると。
ッタリング法でＣ３−Ｚｒアモルファス膜の１６層をキ 形成する。二元スパッタリングで、第Ｘ図（ｄ）のタイ
プとして合金組成を変えていくが、最も基盤に近い所で
はＢＳ″′ＯとなるようＺｒを３３ ａｔ、％とし、
順次Ｚ「の割合を減少させて１丁度ｔｄの厚みの所でＢ
ｓ （ＣｏＺｒ ） 〜Ｂｓ （ＣｏＣｒ垂直記録層）
となる組成とする。 組合せる二層媒体をＣ０８６Ｃｒ
１４（Ｈ５Ａ−ＪｌｏＫ ｇａｕｓｓ ｌ Ｏ，２ミク
ロン厚）と４５パーマロイ（Ｂｓ〜１５Ｋｇａｕｓｓ
、 Ｑ、５ミクｏン厚）とすると。
する。 １０層は全厚０．３ミクロンでその真中に非τ
ε 磁性層として〜或は５ｉ０２を５０〜１００オングスト
ロームはさんだ二層膜とする。 ｔｄ層は全厚６ミクロ
ンで、磁性層０．２ミクロンと上記非磁性層を交互には
さんだ多層膜とする。 この主磁極膜の外側は大事なト
レーリングエツジとなるので。
ε 磁性層として〜或は５ｉ０２を５０〜１００オングスト
ロームはさんだ二層膜とする。 ｔｄ層は全厚６ミクロ
ンで、磁性層０．２ミクロンと上記非磁性層を交互には
さんだ多層膜とする。 この主磁極膜の外側は大事なト
レーリングエツジとなるので。
ノル１２０３或ば５ｉＯｚの保護膜約ｌＯミクロン厚を
付ける。 以上すべての成膜をス・ζツタ法で行う。
付ける。 以上すべての成膜をス・ζツタ法で行う。
主磁極膜の磁性向上のため回転磁場中アニール（４８０
ｏｅ中、２５０Ｃ，３時間）、および弱い異方性（コア
磁化方向と垂直に容易軸方向）をつけるための直流磁界
中アニールを行う。 薄膜ヘッド用のＣｏ−Ｚ、膜作製
の詳細は下記文献に詳しいＯ（電子通信学会研究会資料
、 ＭＲ−８３−２８）トノプヨークハ１０ミクロン厚
のパーマロイ膜（Ｂｓ ＩＯＫ ｇａｕｓｓ ） 、ス
パイラルコイル１６ターン。
ｏｅ中、２５０Ｃ，３時間）、および弱い異方性（コア
磁化方向と垂直に容易軸方向）をつけるための直流磁界
中アニールを行う。 薄膜ヘッド用のＣｏ−Ｚ、膜作製
の詳細は下記文献に詳しいＯ（電子通信学会研究会資料
、 ＭＲ−８３−２８）トノプヨークハ１０ミクロン厚
のパーマロイ膜（Ｂｓ ＩＯＫ ｇａｕｓｓ ） 、ス
パイラルコイル１６ターン。
主磁極トラック巾３０ミクロンとする。
場合によってはｔｄ層内の多層膜化の省略、或は各磁性
薄膜をもつと厚くすることもある０第２実施例： 工程
の複雑な集積回路的方法を使わないウィンチェスタ−型
単磁極ヘッドである。
薄膜をもつと厚くすることもある０第２実施例： 工程
の複雑な集積回路的方法を使わないウィンチェスタ−型
単磁極ヘッドである。
第４図（Ｃ）のタイプの主磁極コアを、セラミック基板
上にｔｅ層、１０層、 ｔｄ層の順につける。
上にｔｅ層、１０層、 ｔｄ層の順につける。
Ｃｏ５５Ｚｒｌｓの１ｃ層（厚さ１０ミクロン）が加わ
ったこと以外は第１実施例と同様である０ 切断し。
ったこと以外は第１実施例と同様である０ 切断し。
ワイヤーコイルを巻き、スライダー後端に接着する。
なお主磁極トラック巾と金山等は、基板上で予めエツチ
ング形成しておき、切断時に磁性層に直接刃がか＼らぬ
ようにする。 スライダー後端部附近の側面図を第６図
に示す。
なお主磁極トラック巾と金山等は、基板上で予めエツチ
ング形成しておき、切断時に磁性層に直接刃がか＼らぬ
ようにする。 スライダー後端部附近の側面図を第６図
に示す。
なお厚い磁性膜では加工歪が残りやすいので。
特に大事なｔｅ部を磁歪ゼロのＣｏ ｃ＋３Ｚｒ６Ａｕ
１ （Ｂｓ−１５Ｋ ｇａｕｓｓ ）膜に代えるとヘ
ッド性能は更に向上する。
１ （Ｂｓ−１５Ｋ ｇａｕｓｓ ）膜に代えるとヘ
ッド性能は更に向上する。
第３実施例： ＶＴＲやフロッピーディスクでは、し
ゆう動摩耗に備えてデプス的距離りが更に犬となるが、
フェライトサイドコアを用いて、主磁極膜厚をあまシ厚
くせずに特にコイル部のノく−ミアンスをかせぐ。 第
７図は先行技術の単磁極ヘッド（日本応用磁気学会誌、
旦ｐ−１１５、１９８２）の従来の主磁極膜を第２実施
例の薄膜に置き換えたものである。 但し１（層（Ｃｏ
ａｓＺｒｔｓ ）は３ミクロンと薄くした。 この先行
技術では記録だけだったものが、高分解能高効率の録再
が可能となっている。 全体の構造とサイズは、現行の
ホームＶＴＲのへッドチソプとほぼ同様である。 但し
フェライト厚みＴｓ〜２４０．Ｄ〜２４０．トラック巾
〜２０（単位ミクロン）、ワイヤコイル〜１５ターンと
する。
ゆう動摩耗に備えてデプス的距離りが更に犬となるが、
フェライトサイドコアを用いて、主磁極膜厚をあまシ厚
くせずに特にコイル部のノく−ミアンスをかせぐ。 第
７図は先行技術の単磁極ヘッド（日本応用磁気学会誌、
旦ｐ−１１５、１９８２）の従来の主磁極膜を第２実施
例の薄膜に置き換えたものである。 但し１（層（Ｃｏ
ａｓＺｒｔｓ ）は３ミクロンと薄くした。 この先行
技術では記録だけだったものが、高分解能高効率の録再
が可能となっている。 全体の構造とサイズは、現行の
ホームＶＴＲのへッドチソプとほぼ同様である。 但し
フェライト厚みＴｓ〜２４０．Ｄ〜２４０．トラック巾
〜２０（単位ミクロン）、ワイヤコイル〜１５ターンと
する。
第４実施例： 薄膜リングヘッドを垂直二層媒体と組合
せて用いると出力は大きいが、出力の極小が 孔九七ｇ
（ｇはギャップ長）のみならず、ポール長のＰおよびｐ
＋ｇ の所にも現れ２分解能が低下する。（ＩＥＥＥ、
Ｍａｇ−１９、ｐ−１６６１、１９８３）この発明の片
側エツジ高感度コアを用いれば、極小はほぼｇの所のみ
にしか現れず（高分解能）。
せて用いると出力は大きいが、出力の極小が 孔九七ｇ
（ｇはギャップ長）のみならず、ポール長のＰおよびｐ
＋ｇ の所にも現れ２分解能が低下する。（ＩＥＥＥ、
Ｍａｇ−１９、ｐ−１６６１、１９８３）この発明の片
側エツジ高感度コアを用いれば、極小はほぼｇの所のみ
にしか現れず（高分解能）。
しかもＰを厚く、パーミアンス大にできるので。
コア先端飽和もなく効率も高い。
第８図は薄膜リングヘッド先端の側面図で、第１実施例
の薄膜コアの高感度エツジ（ｔｅ層）がギャップ両側に
くるようにする。 その一般的製造法は周知なので省略
する。 Ｃｏ Ｚｒ Ｒ膜ヘッドの文献（電子通信学会
研究資料、 Ｍ Ｒ，８３−２８）を参照されたい。
の薄膜コアの高感度エツジ（ｔｅ層）がギャップ両側に
くるようにする。 その一般的製造法は周知なので省略
する。 Ｃｏ Ｚｒ Ｒ膜ヘッドの文献（電子通信学会
研究資料、 Ｍ Ｒ，８３−２８）を参照されたい。
なお波長特長がもっとも平担となるのは、理論的には第
４図（ｂ）のタイプである０ 以上述べたように、この廃明は高密度記録、高速転送を
めざして、垂直二層媒体と組合せる簿膜ヘッドにおいて
、精密量産の可能な（平行エツジ）矢巨 距形柱薄膜コアを用いながら、磁性劣化領域を設
４図（ｂ）のタイプである０ 以上述べたように、この廃明は高密度記録、高速転送を
めざして、垂直二層媒体と組合せる簿膜ヘッドにおいて
、精密量産の可能な（平行エツジ）矢巨 距形柱薄膜コアを用いながら、磁性劣化領域を設
第１図二単磁極へラドコモ柱上端面形状と感度関数、
第２図：（ａ）台形柱コア上端面、（ｂ）その中での仮
想的薄層板のパーミアンス分布、（Ｃ）矩形柱コア上端
面、（ｄ）同じ片側エツジ高感度性をもつための、その
中でのＪＬ、（ｘ）〜Ｘ分布、 第３図：ＩＩ、（ｘ）
〜Ｘ分布のある矩形柱コアの動作説明斜視図、 第４図
ニゲ種類のコアの感度関数、 第５図：ウインチェスタ
ー型薄膜単磁極ヘッド、 第６図：ワイヤコイルを巻く
方式の同上ヘッド。 第７図：ＶＴＲ用単磁極ヘッド、 第８図：薄膜リング
ヘッド。
第２図：（ａ）台形柱コア上端面、（ｂ）その中での仮
想的薄層板のパーミアンス分布、（Ｃ）矩形柱コア上端
面、（ｄ）同じ片側エツジ高感度性をもつための、その
中でのＪＬ、（ｘ）〜Ｘ分布、 第３図：ＩＩ、（ｘ）
〜Ｘ分布のある矩形柱コアの動作説明斜視図、 第４図
ニゲ種類のコアの感度関数、 第５図：ウインチェスタ
ー型薄膜単磁極ヘッド、 第６図：ワイヤコイルを巻く
方式の同上ヘッド。 第７図：ＶＴＲ用単磁極ヘッド、 第８図：薄膜リング
ヘッド。
Claims (1)
- 媒体走出側の側面と走入側の側面が互に平行な軟磁性薄
膜コアにおいて、その側面に平行な仮想的薄層板のコア
磁化方向の、ヘッド媒体相互作用を考慮に入れた実効透
磁率が、コアの一方の側面に向って除々に減少しその側
面で零に近づくような磁気的構造の領域が存在すること
を、特徴とする録再兼用の電磁誘導型薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23883484A JPS61117714A (ja) | 1984-11-12 | 1984-11-12 | 薄膜磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23883484A JPS61117714A (ja) | 1984-11-12 | 1984-11-12 | 薄膜磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61117714A true JPS61117714A (ja) | 1986-06-05 |
Family
ID=17035962
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23883484A Pending JPS61117714A (ja) | 1984-11-12 | 1984-11-12 | 薄膜磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61117714A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7609478B2 (en) * | 2006-03-28 | 2009-10-27 | Seagate Technology Llc | Magnetic writer pole with a graded magnetic moment |
-
1984
- 1984-11-12 JP JP23883484A patent/JPS61117714A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7609478B2 (en) * | 2006-03-28 | 2009-10-27 | Seagate Technology Llc | Magnetic writer pole with a graded magnetic moment |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0291806A (ja) | 垂直磁化薄膜ヘッド | |
| JPH08185612A (ja) | Ｍｒヘッドおよびその製造方法 | |
| US4868698A (en) | Magnetic head | |
| JP3394266B2 (ja) | 磁気書込／読取ヘッドの製造方法 | |
| JP2565250B2 (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPS61117714A (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
| JPH0476171B2 (ja) | ||
| JPH0234083B2 (ja) | ||
| US4731299A (en) | Composite magnetic material | |
| JPS60256907A (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
| JPH0619809B2 (ja) | 垂直磁気記録方式 | |
| JPH069083B2 (ja) | 垂直磁気ヘッド | |
| Shinohara et al. | Recording characteristics of MIG heads | |
| JP2591109B2 (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPS6381617A (ja) | 垂直記録用単磁極型磁気ヘツド | |
| JP3461688B2 (ja) | 磁気ヘッドおよびそれを用いた磁気記録装置 | |
| JPS62205507A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPS6015807A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPS59162610A (ja) | 垂直磁気ヘツド | |
| JPS60202514A (ja) | 垂直磁気記録ヘツド | |
| Dugas et al. | A new composite-core hybrid thin film ring head | |
| JPH10105919A (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JP2000123331A (ja) | 磁気抵抗効果型磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH1064007A (ja) | 磁気ヘッドおよび磁気記録再生装置 | |
| JPH04353610A (ja) | 薄膜磁気ヘッド |