JPS61198412A - 垂直記録用薄膜磁気ヘツド - Google Patents
垂直記録用薄膜磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS61198412A JPS61198412A JP3788385A JP3788385A JPS61198412A JP S61198412 A JPS61198412 A JP S61198412A JP 3788385 A JP3788385 A JP 3788385A JP 3788385 A JP3788385 A JP 3788385A JP S61198412 A JPS61198412 A JP S61198412A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- soft magnetic
- magnetic layer
- recording
- head
- medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1278—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は磁束の利用効率の良い垂直記録用薄膜磁気ヘッ
ドに関するものでらる〇 （従来の技術） 垂直磁気記録方式は、特公昭５７−１７２８２号公報に
示されるように、磁気記録媒体の膜厚方向に磁化パター
ンを記録するので、隣接する磁化との間の磁化遷移領域
を小さくでき、高記録密度が達成できるすぐれた記録方
式である。また１％公昭５８−１０７６４号公報に示さ
れるように膜厚方向に磁化容易軸を有する垂直磁化膜と
、軟磁性膜を積層した２層膜媒体を用いることによシ、
垂直磁化膜の記録磁化を安定化し、かつ強めることがで
きることが知られている。このように垂直磁気記録方式
は、高記録密度を実現するうえで、従来の媒体面内方向
に磁化パターンを記録する面内記録方式に比較して、き
わめて有利である。
ドに関するものでらる〇 （従来の技術） 垂直磁気記録方式は、特公昭５７−１７２８２号公報に
示されるように、磁気記録媒体の膜厚方向に磁化パター
ンを記録するので、隣接する磁化との間の磁化遷移領域
を小さくでき、高記録密度が達成できるすぐれた記録方
式である。また１％公昭５８−１０７６４号公報に示さ
れるように膜厚方向に磁化容易軸を有する垂直磁化膜と
、軟磁性膜を積層した２層膜媒体を用いることによシ、
垂直磁化膜の記録磁化を安定化し、かつ強めることがで
きることが知られている。このように垂直磁気記録方式
は、高記録密度を実現するうえで、従来の媒体面内方向
に磁化パターンを記録する面内記録方式に比較して、き
わめて有利である。
（発明が解決しようとする問題点）
しかるに、従来の垂直磁気記録方式においては、′前記
垂直磁化膜に対し、膜厚方向に磁化バタ〒ンを記録し、
また、前記磁化パターンを読み出すヘッドに大きな問題
があった。すなわち、特公昭５６−４２０４４号公報に
示されるような、いわゆる補助磁極励磁型ヘッドにおい
ては、補助磁極および主磁極を通る記録磁界あるいは再
生磁界のループが透磁率１の大気中を介して閉じている
ため。
垂直磁化膜に対し、膜厚方向に磁化バタ〒ンを記録し、
また、前記磁化パターンを読み出すヘッドに大きな問題
があった。すなわち、特公昭５６−４２０４４号公報に
示されるような、いわゆる補助磁極励磁型ヘッドにおい
ては、補助磁極および主磁極を通る記録磁界あるいは再
生磁界のループが透磁率１の大気中を介して閉じている
ため。
記録および再生の効率が高められず、また、雑音も誘導
しやすい。また、従来、長手記録方式に用いられてきた
ＭｎＺｎ フェライト製のリングヘッドを前記垂直記録
方式に適用した場合には、記録磁界あるいは再生磁界の
ループがリングヘッドを介して閉じるため、磁束の利用
効率は良いが、リングヘッドでは長手方向の磁界成分が
強いため、記録媒体内に垂直方向に記録磁化を向けるこ
とが困難である。従って、純粋な垂直記録を実現するこ
とができず、ピークシフトや波形歪に大きな問題があっ
た。
しやすい。また、従来、長手記録方式に用いられてきた
ＭｎＺｎ フェライト製のリングヘッドを前記垂直記録
方式に適用した場合には、記録磁界あるいは再生磁界の
ループがリングヘッドを介して閉じるため、磁束の利用
効率は良いが、リングヘッドでは長手方向の磁界成分が
強いため、記録媒体内に垂直方向に記録磁化を向けるこ
とが困難である。従って、純粋な垂直記録を実現するこ
とができず、ピークシフトや波形歪に大きな問題があっ
た。
本発明の目的は、垂直磁気記録方式の特徴を最大限に生
かし、記録媒体内に垂直方向に磁化を向けることが容易
であシ、かつ、磁束の利用効率もすぐれた垂直記録用薄
膜磁気ヘッドを提供することにある。
かし、記録媒体内に垂直方向に磁化を向けることが容易
であシ、かつ、磁束の利用効率もすぐれた垂直記録用薄
膜磁気ヘッドを提供することにある。
（問題点を解決するための手段）
本発明によれば、上部軟磁性層と下部軟磁性層の間にコ
イルを配置した薄膜磁気へ、ドであって、媒体対向面に
露出した上部軟磁性層と、下部軟磁性層が同一平面上に
等しい幅で形成されており、かつ、コイルを挾んだ部分
の上部軟磁性層の幅と、下部軟磁性層の幅が、媒体対向
面に露出した上部軟磁性層と下部軟磁性層の幅よシ広い
薄膜磁気ヘッドを得ることができる。上部軟磁性層およ
び下部軟磁性層の材料としては、パーマロイ、センダス
トなどの結晶質軟磁性材料、ＣｏＺｒＮｂ、 ＦｅＣｏ
５１Ｂなどの非晶質軟磁性材料を用いることができ、製
法としては、めりき、スパッタリング、蒸着などの手法
を用いることができる。また、コイルの材料としては銅
やアルミニウムなどを用いることができ、製法としては
、めっき、スパッタリング。
イルを配置した薄膜磁気へ、ドであって、媒体対向面に
露出した上部軟磁性層と、下部軟磁性層が同一平面上に
等しい幅で形成されており、かつ、コイルを挾んだ部分
の上部軟磁性層の幅と、下部軟磁性層の幅が、媒体対向
面に露出した上部軟磁性層と下部軟磁性層の幅よシ広い
薄膜磁気ヘッドを得ることができる。上部軟磁性層およ
び下部軟磁性層の材料としては、パーマロイ、センダス
トなどの結晶質軟磁性材料、ＣｏＺｒＮｂ、 ＦｅＣｏ
５１Ｂなどの非晶質軟磁性材料を用いることができ、製
法としては、めりき、スパッタリング、蒸着などの手法
を用いることができる。また、コイルの材料としては銅
やアルミニウムなどを用いることができ、製法としては
、めっき、スパッタリング。
蒸着などの手法を用いることができる。
（作用）
第２図は１本発明による垂直記録用薄膜磁気ヘッドの動
作原理を示す部分断面図であり、５はＣｏＣｒによる垂
直磁化媒体、６はパーマロイによる軟磁性裏打層、およ
び７は垂直磁化媒体５と軟磁性裏打層６の内部の磁化の
向きである０第２図において、記録および再生時に、磁
束は達成的に、上部軟磁性層２→垂直磁化媒体５→軟磁
性裏打層６→垂直磁化媒体５→下部軟磁性層１の頭に流
れ。
作原理を示す部分断面図であり、５はＣｏＣｒによる垂
直磁化媒体、６はパーマロイによる軟磁性裏打層、およ
び７は垂直磁化媒体５と軟磁性裏打層６の内部の磁化の
向きである０第２図において、記録および再生時に、磁
束は達成的に、上部軟磁性層２→垂直磁化媒体５→軟磁
性裏打層６→垂直磁化媒体５→下部軟磁性層１の頭に流
れ。
他への漏れは少ない、従って、磁束の利用効率が高く、
また外部から誘導される雑音も小さい０”また、下部軟
磁性層ｌおよび上部軟磁性層２の幅は。
また外部から誘導される雑音も小さい０”また、下部軟
磁性層ｌおよび上部軟磁性層２の幅は。
媒体対向面４から離れるほど広くなっているため。
磁気抵抗全減少させるとともに形状異方性により磁区を
安定化させることができる。さらに、第２図において、
トラック幅は、媒体対向面４に露出した下部軟磁性層１
の幅と、上部軟磁性層２の幅の和となるが、単一トラッ
ク内において垂直磁化媒体５の磁化の向き７は上向きと
下向きで同量である。従って、垂直磁化媒体内５の磁化
ベクトルの総和は常に０となシ、漏えい磁界が他の記録
領域に悪影響を及ぼすこともない０ （実施例） 第１図（ａ）および（ｂ）は本発明による垂直記録用薄
膜磁気ヘッドの平面図および正面図であシ、１はパーマ
ロイによる下部軟磁性層、２はパーマロイによる上部軟
磁性層、３は銅によるコイル、および４は媒体対向面で
ある。第１図において、下部軟磁性層ｌ、上部軟磁性層
２、コイル３、および眉間の絶縁層は、スパッタおよび
めっきの成膜技術と、フォトリソグラフィー技術、およ
びイオンミリングを用いたエツチング技術によシ、所定
の形状に形成した・また、コイル３による段差を平坦化
するために、スピン塗布後焼成した有機物を用いた０こ
こで、下部軟磁性層１は、媒体対向面４の近傍で、コイ
ル３に交叉しない範囲で２等分され、中央が切り欠かれ
た形状に形成し、上部軟磁性層２は下部軟磁性層１の切
シ欠かれた部分で下部軟磁性層１と同一面に形成した０
下部磁性層１および上部磁性層２の膜厚は、媒体対向面
４において１μｍ１コイル３を挾んだ部分では３μｍに
設定した。また、媒体対向面４に露出する上部軟磁性層
２の幅は、媒体対向面４に露出するふたつの下部軟磁性
層１の幅の和に等しくした。さらに、下部軟磁性層１と
上部軟磁性層２のコイル３を迭んだ部分での幅は、媒体
対向面４に露出した部分の幅よシも広く形成した。この
磁気ヘッドによシ記録・再生を行なったところ、従来の
垂直記録用磁気へ、ドに比べ外部から誘導される雑音が
小さく、効率のよい記録・再生ができた。
安定化させることができる。さらに、第２図において、
トラック幅は、媒体対向面４に露出した下部軟磁性層１
の幅と、上部軟磁性層２の幅の和となるが、単一トラッ
ク内において垂直磁化媒体５の磁化の向き７は上向きと
下向きで同量である。従って、垂直磁化媒体内５の磁化
ベクトルの総和は常に０となシ、漏えい磁界が他の記録
領域に悪影響を及ぼすこともない０ （実施例） 第１図（ａ）および（ｂ）は本発明による垂直記録用薄
膜磁気ヘッドの平面図および正面図であシ、１はパーマ
ロイによる下部軟磁性層、２はパーマロイによる上部軟
磁性層、３は銅によるコイル、および４は媒体対向面で
ある。第１図において、下部軟磁性層ｌ、上部軟磁性層
２、コイル３、および眉間の絶縁層は、スパッタおよび
めっきの成膜技術と、フォトリソグラフィー技術、およ
びイオンミリングを用いたエツチング技術によシ、所定
の形状に形成した・また、コイル３による段差を平坦化
するために、スピン塗布後焼成した有機物を用いた０こ
こで、下部軟磁性層１は、媒体対向面４の近傍で、コイ
ル３に交叉しない範囲で２等分され、中央が切り欠かれ
た形状に形成し、上部軟磁性層２は下部軟磁性層１の切
シ欠かれた部分で下部軟磁性層１と同一面に形成した０
下部磁性層１および上部磁性層２の膜厚は、媒体対向面
４において１μｍ１コイル３を挾んだ部分では３μｍに
設定した。また、媒体対向面４に露出する上部軟磁性層
２の幅は、媒体対向面４に露出するふたつの下部軟磁性
層１の幅の和に等しくした。さらに、下部軟磁性層１と
上部軟磁性層２のコイル３を迭んだ部分での幅は、媒体
対向面４に露出した部分の幅よシも広く形成した。この
磁気ヘッドによシ記録・再生を行なったところ、従来の
垂直記録用磁気へ、ドに比べ外部から誘導される雑音が
小さく、効率のよい記録・再生ができた。
（発明の効果）
以上のように１本発明による垂直記録用薄膜磁気ヘッド
を用いることによシ、記録および再生時に磁束がヘッド
−媒体間で完全な閉ループを形成し、かつ、ヘッド内で
の磁気抵抗を充分小さくすることができるので、効率の
良い記録・および再生を行なうことができる。また、本
発明による垂直記録用薄膜磁気ヘッドは、リジッドディ
スク。
を用いることによシ、記録および再生時に磁束がヘッド
−媒体間で完全な閉ループを形成し、かつ、ヘッド内で
の磁気抵抗を充分小さくすることができるので、効率の
良い記録・および再生を行なうことができる。また、本
発明による垂直記録用薄膜磁気ヘッドは、リジッドディ
スク。
フロッピーディスク、テープ装置を問わず使用可能であ
り、また、他の材料、他の製法を用いても作製できるこ
とは言うまでもない。
り、また、他の材料、他の製法を用いても作製できるこ
とは言うまでもない。
第１図（、）および（ｂ）は１本発明の薄膜磁気ヘッド
の一実施例を示す平面図および正面図、第２図は本発明
の薄膜磁気ヘッドの動作原理を示す部分断面図であシ、
１・・・下部軟磁性層、２・・・上部軟磁性層、３・・
・コイル、４・・・媒体対向面、５・・・垂直磁化媒体
、６・・・軟磁性裏打層、７・・・磁化の向きでおるＯ
第１図 （α） 第２図
の一実施例を示す平面図および正面図、第２図は本発明
の薄膜磁気ヘッドの動作原理を示す部分断面図であシ、
１・・・下部軟磁性層、２・・・上部軟磁性層、３・・
・コイル、４・・・媒体対向面、５・・・垂直磁化媒体
、６・・・軟磁性裏打層、７・・・磁化の向きでおるＯ
第１図 （α） 第２図
Claims (2)
- （１）上部軟磁性層と下部軟磁性層の間にコイルを配置
した薄膜磁気ヘッドにおいて、媒体対向面に露出した前
記上部軟磁性層と前記下部軟磁性層が同一平面上に、等
しい幅で形成されており、かつ、コイルを挾んだ部分の
前記上部軟磁性層の幅と、前記下部軟磁性層の幅がそれ
ぞれ前記媒体対向面に露出した前記上部軟磁性層と前記
下部軟磁性層の幅より広いことを特徴とする薄膜磁気ヘ
ッド。 - （２）上部軟磁性層と下部軟磁性層のうち片方が、前記
コイル前縁より媒体対向面側で、他方の軟磁性層をはさ
んで等しい幅に分割されていることを特徴とする特許請
求の範囲第１項に記載の薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3788385A JPS61198412A (ja) | 1985-02-27 | 1985-02-27 | 垂直記録用薄膜磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3788385A JPS61198412A (ja) | 1985-02-27 | 1985-02-27 | 垂直記録用薄膜磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61198412A true JPS61198412A (ja) | 1986-09-02 |
Family
ID=12509936
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3788385A Pending JPS61198412A (ja) | 1985-02-27 | 1985-02-27 | 垂直記録用薄膜磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61198412A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7070698B2 (en) | 2004-06-30 | 2006-07-04 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Methods of fabricating magnetic write heads with side and trailing shield structures |
-
1985
- 1985-02-27 JP JP3788385A patent/JPS61198412A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7070698B2 (en) | 2004-06-30 | 2006-07-04 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Methods of fabricating magnetic write heads with side and trailing shield structures |
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