JPS626421A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents
薄膜磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS626421A JPS626421A JP14254285A JP14254285A JPS626421A JP S626421 A JPS626421 A JP S626421A JP 14254285 A JP14254285 A JP 14254285A JP 14254285 A JP14254285 A JP 14254285A JP S626421 A JPS626421 A JP S626421A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- insulating film
- insulating
- films
- thin film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
- G11B5/3906—Details related to the use of magnetic thin film layers or to their effects
- G11B5/3916—Arrangements in which the active read-out elements are coupled to the magnetic flux of the track by at least one magnetic thin film flux guide
- G11B5/3919—Arrangements in which the active read-out elements are coupled to the magnetic flux of the track by at least one magnetic thin film flux guide the guide being interposed in the flux path
- G11B5/3922—Arrangements in which the active read-out elements are coupled to the magnetic flux of the track by at least one magnetic thin film flux guide the guide being interposed in the flux path the read-out elements being disposed in magnetic shunt relative to at least two parts of the flux guide structure
- G11B5/3925—Arrangements in which the active read-out elements are coupled to the magnetic flux of the track by at least one magnetic thin film flux guide the guide being interposed in the flux path the read-out elements being disposed in magnetic shunt relative to at least two parts of the flux guide structure the two parts being thin films
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は薄膜磁気ヘッドに係り、特にヨークタイプの磁
気抵抗効果型薄膜磁気ヘッド（以下単にＭＲヘッドと称
する）に関する。
気抵抗効果型薄膜磁気ヘッド（以下単にＭＲヘッドと称
する）に関する。
近年磁気記録が高密度化されるに伴い、薄膜技術を用い
て製造されるＭＲヘッドが注目されている。このヨーク
タイプＭＲヘッドは従来は第５図に一部断面斜視図とし
て示すように、磁性体基板１上に絶縁膜２を介してバイ
アス３を形成し、その上に絶縁膜４を介してＭＲ１Ｉ子
５を形成し、その上にさらに絶縁膜６を介して磁気コア
７ａ、 ７ｂを形成し、これらの磁気コアのうち前部磁
気コア７ａは絶縁膜６を介して前記ＭＲ素子５の一端を
被覆し、後部磁気コアルは直接基板ｌに接続するように
構成されていた。あるいはまた第６図に一部断面斜視図
として示すように、磁性体基板１上に溝８を形成し、こ
の溝８の中に絶縁層としてのガラス９を介してバイアス
３を埋め込み、その上に絶縁膜２を介してＭＲｉ子５を
形成し、その上にさらに絶縁膜６を介して磁気コア７ａ
、 ７ｂを前記ＭＲ素子５の両端を被覆するように形成
し、後部磁気コア几は直接基板ｌに接続するように構成
されていた。
て製造されるＭＲヘッドが注目されている。このヨーク
タイプＭＲヘッドは従来は第５図に一部断面斜視図とし
て示すように、磁性体基板１上に絶縁膜２を介してバイ
アス３を形成し、その上に絶縁膜４を介してＭＲ１Ｉ子
５を形成し、その上にさらに絶縁膜６を介して磁気コア
７ａ、 ７ｂを形成し、これらの磁気コアのうち前部磁
気コア７ａは絶縁膜６を介して前記ＭＲ素子５の一端を
被覆し、後部磁気コアルは直接基板ｌに接続するように
構成されていた。あるいはまた第６図に一部断面斜視図
として示すように、磁性体基板１上に溝８を形成し、こ
の溝８の中に絶縁層としてのガラス９を介してバイアス
３を埋め込み、その上に絶縁膜２を介してＭＲｉ子５を
形成し、その上にさらに絶縁膜６を介して磁気コア７ａ
、 ７ｂを前記ＭＲ素子５の両端を被覆するように形成
し、後部磁気コア几は直接基板ｌに接続するように構成
されていた。
上述したような構成の従来のＭＲヘッドにおいては、磁
束が磁性体基板１→後部磁気コア７ｂ−）ＭＲ素子５→
前部磁気コア７ａと通るが、ＭＲ素子５と磁気コア７ａ
、７ｂとの間にはこの間を電気的に絶縁するための非磁
性の絶縁膜６があるため、磁気効率を悪くするという問
題があった。
束が磁性体基板１→後部磁気コア７ｂ−）ＭＲ素子５→
前部磁気コア７ａと通るが、ＭＲ素子５と磁気コア７ａ
、７ｂとの間にはこの間を電気的に絶縁するための非磁
性の絶縁膜６があるため、磁気効率を悪くするという問
題があった。
本発明は上述した点に鑑みてなされたもので、磁気効率
のよいヨークタイプＭＲヘッドを提供スることを目的と
する。
のよいヨークタイプＭＲヘッドを提供スることを目的と
する。
本発明はヨークタイプＭＲヘッドのＭ几素子上で磁気コ
アとの間に設けた絶縁膜を、電気抵抗が高く透磁率の高
い透磁性絶縁材料で形成することにより、所期の目的を
達成するようにしたものである。
アとの間に設けた絶縁膜を、電気抵抗が高く透磁率の高
い透磁性絶縁材料で形成することにより、所期の目的を
達成するようにしたものである。
〔発明の実施例〕
以下、本発明に係る薄膜磁気ヘッドの一実施例を図面を
参照して説明する。
参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図は第１
図のＡ−Ａ線断面図である。これらの図において、第５
図及び第６図に示す従来例と同一または同等部分には同
一符号を付して示す。フェライトなどからなる磁性体基
板１にはガラス溝８が形成されており、このガラス溝８
には溶融接着用のガラス９がスパッタ法や蒸着法などで
固着されている。このガラス９にも溝９ａが形成されて
いてこの溝９ａにバイアス３が形成されている。前記磁
性体基板１上にはＳｉＯ□などからなる第１の絶縁膜２
が形成されており、この第１の絶縁膜２を介して前記ガ
ラス溝８に対向する位置にＭＲ素子５が形成されている
。このＭ几素子５の両端にはリードｌ５ｌＯが接続され
ており、前記第１の絶縁Ｍ２上に形成されている。また
このＭＲ素子５の幅方向の両側端には、第２の絶縁膜で
あるＮｉ −Ｚ［ｌ−フェライトなどの透磁性絶縁膜１
１ａ、１２ｂが対向して形成されており１これらの透磁
性絶縁膜１１ａ。
図のＡ−Ａ線断面図である。これらの図において、第５
図及び第６図に示す従来例と同一または同等部分には同
一符号を付して示す。フェライトなどからなる磁性体基
板１にはガラス溝８が形成されており、このガラス溝８
には溶融接着用のガラス９がスパッタ法や蒸着法などで
固着されている。このガラス９にも溝９ａが形成されて
いてこの溝９ａにバイアス３が形成されている。前記磁
性体基板１上にはＳｉＯ□などからなる第１の絶縁膜２
が形成されており、この第１の絶縁膜２を介して前記ガ
ラス溝８に対向する位置にＭＲ素子５が形成されている
。このＭ几素子５の両端にはリードｌ５ｌＯが接続され
ており、前記第１の絶縁Ｍ２上に形成されている。また
このＭＲ素子５の幅方向の両側端には、第２の絶縁膜で
あるＮｉ −Ｚ［ｌ−フェライトなどの透磁性絶縁膜１
１ａ、１２ｂが対向して形成されており１これらの透磁
性絶縁膜１１ａ。
１１ｂ間には不連続部１１ｃが設けられている。前記第
１の絶縁Ｍ２上にはそれぞれ対向する一端が前記透磁性
絶縁膜１１ａ、ｌｌｂを被覆するように、パーマロイな
どからなる２個の透磁性薄膜７ａ、 ７ｂが対向して形
成されており、前記透磁性絶縁膜の不連続部１１ｃと整
合する位置には透磁性薄膜の不連続部７ｃが形成されて
いて、透磁性薄膜７ａ、 ７ｂによって磁気コアを形成
している。また透磁性薄膜のうち後部透磁性薄膜乃は前
記第１の絶縁膜２を貫通して磁性体基板１に直接接続し
ている。
１の絶縁Ｍ２上にはそれぞれ対向する一端が前記透磁性
絶縁膜１１ａ、ｌｌｂを被覆するように、パーマロイな
どからなる２個の透磁性薄膜７ａ、 ７ｂが対向して形
成されており、前記透磁性絶縁膜の不連続部１１ｃと整
合する位置には透磁性薄膜の不連続部７ｃが形成されて
いて、透磁性薄膜７ａ、 ７ｂによって磁気コアを形成
している。また透磁性薄膜のうち後部透磁性薄膜乃は前
記第１の絶縁膜２を貫通して磁性体基板１に直接接続し
ている。
上述した絶縁膜２．ＭＲ素子５．透磁性薄膜７ａ。
乃、リードｍ１０及び透磁性絶縁膜１１ａ、ｌｌｂはそ
れぞれ公知の各種リソグラフィ技術によって形成されて
いる。
れぞれ公知の各種リソグラフィ技術によって形成されて
いる。
上述したように構成された本実施例によれば、従来非透
磁性の膜であった絶縁膜１１ａ、ｌｌｂが透磁性の膜に
なったので磁気抵抗が小さくなり、ＭＲ素子５に磁束が
流れやすくなってＭＲヘッドの特性が向上する。また、
従来の絶縁膜は磁束を流れやすくするために薄くシなけ
ればならなかったが、本実施例による絶縁膜は透磁性で
あるため厚くすることができ、電気的絶縁の信頼性が向
上する。
磁性の膜であった絶縁膜１１ａ、ｌｌｂが透磁性の膜に
なったので磁気抵抗が小さくなり、ＭＲ素子５に磁束が
流れやすくなってＭＲヘッドの特性が向上する。また、
従来の絶縁膜は磁束を流れやすくするために薄くシなけ
ればならなかったが、本実施例による絶縁膜は透磁性で
あるため厚くすることができ、電気的絶縁の信頼性が向
上する。
第３図は本発明の第２の実施例を示す一部断面斜視図で
あり、前記透磁性絶縁膜１１の不連続部１１ｃがなく、
第５図に示す従来例における絶縁膜４と同様に形成され
た透磁性絶縁膜１１を介してバイアス３をＭＲ素子５の
上部に形成したものである。
あり、前記透磁性絶縁膜１１の不連続部１１ｃがなく、
第５図に示す従来例における絶縁膜４と同様に形成され
た透磁性絶縁膜１１を介してバイアス３をＭＲ素子５の
上部に形成したものである。
第４図は本発明の第３の実施例を示す一部断面斜視図で
あり、ＭＲ素子５上の５ｉＣ）＋などの絶縁膜１２を介
してバイアス３を形成したものである。
あり、ＭＲ素子５上の５ｉＣ）＋などの絶縁膜１２を介
してバイアス３を形成したものである。
上記第２、第３の実施例においても前述した第１の実施
例と同様の効果を有する。
例と同様の効果を有する。
なお、上述した実施例においては透磁性絶縁膜１１ａ、
ｌｌｂがＮｉ −Ｚｎ−フェライトで形成された場合に
ついて説明したが、他の同様の性質を有する材料で形成
してもよい。
ｌｌｂがＮｉ −Ｚｎ−フェライトで形成された場合に
ついて説明したが、他の同様の性質を有する材料で形成
してもよい。
上述したように本発明によれば、ＭＲ，素子と磁気コア
との間に透磁性絶縁膜を形成したものであるから、ＭＲ
素子と磁気コアとの間の磁気抵抗が小さく、しかも透磁
性絶縁膜を厚くすることができるため電気的絶縁の信頼
性が大きく、信号の再生効率を向上させることができる
。
との間に透磁性絶縁膜を形成したものであるから、ＭＲ
素子と磁気コアとの間の磁気抵抗が小さく、しかも透磁
性絶縁膜を厚くすることができるため電気的絶縁の信頼
性が大きく、信号の再生効率を向上させることができる
。
ｉ＠１図は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの一実施例を示
す斜視図、第２図は第１図のＡＦＡ線断面図、第３図及
び第４図は本発明の他の実施例を示す一部断面斜視図、
第５図及び第６図は従来の薄膜磁気ヘッドを示す一部断
面斜視図である。 １・・・磁性体基板 ２・・・第１の絶縁膜５・・・Ｍ
Ｒ素子 ７；１．７ｂ・・・透磁性薄膜（磁気コア）１
１ａ、ｌｌｂ・・・透磁性絶縁膜（第２の絶縁膜）代理
人 弁理士 則 近 憲 佑（ほか１名） 第１図 第２図 す 第３図 第４図 ］ 第５図 第６図
す斜視図、第２図は第１図のＡＦＡ線断面図、第３図及
び第４図は本発明の他の実施例を示す一部断面斜視図、
第５図及び第６図は従来の薄膜磁気ヘッドを示す一部断
面斜視図である。 １・・・磁性体基板 ２・・・第１の絶縁膜５・・・Ｍ
Ｒ素子 ７；１．７ｂ・・・透磁性薄膜（磁気コア）１
１ａ、ｌｌｂ・・・透磁性絶縁膜（第２の絶縁膜）代理
人 弁理士 則 近 憲 佑（ほか１名） 第１図 第２図 す 第３図 第４図 ］ 第５図 第６図
Claims (2)
- （１）磁性体基板上に第１の絶縁膜を介して形成された
磁気抵抗効果素子と、この磁気抵抗効果素子上に第２の
絶縁膜を介して形成された磁気コアとを具備したヨーク
タイプ磁気抵抗効果型の薄膜磁気ヘッドにおいて、前記
第２の絶縁膜は電気抵抗が高く透磁率の高い透磁性絶縁
材料で形成されたことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。 - （２）透磁性絶縁材料はＮｉ−Ｚｎ−フェライトである
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の薄膜磁気
ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60142542A JPH0664718B2 (ja) | 1985-07-01 | 1985-07-01 | 薄膜磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60142542A JPH0664718B2 (ja) | 1985-07-01 | 1985-07-01 | 薄膜磁気ヘツド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS626421A true JPS626421A (ja) | 1987-01-13 |
| JPH0664718B2 JPH0664718B2 (ja) | 1994-08-22 |
Family
ID=15317770
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60142542A Expired - Lifetime JPH0664718B2 (ja) | 1985-07-01 | 1985-07-01 | 薄膜磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0664718B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0654782A2 (en) * | 1993-11-22 | 1995-05-24 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Magnetic head having a head face and a thin-film structure, and method of manufacturing the magnetic head |
| EP0889460A1 (en) * | 1997-07-04 | 1999-01-07 | STMicroelectronics S.r.l. | An electromagnetic head with magnetoresistive means connected to a magnetic core |
| US6101072A (en) * | 1997-02-28 | 2000-08-08 | Nec Corporation | Yoke type or flux guide type magnetoresistive head in which the yoke or flux guide is provided to the magnetic resistive element via an interposed soft magnetic layer |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5977618A (ja) * | 1982-10-27 | 1984-05-04 | Sony Corp | 磁気抵抗効果形磁気ヘツド |
-
1985
- 1985-07-01 JP JP60142542A patent/JPH0664718B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5977618A (ja) * | 1982-10-27 | 1984-05-04 | Sony Corp | 磁気抵抗効果形磁気ヘツド |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0654782A2 (en) * | 1993-11-22 | 1995-05-24 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Magnetic head having a head face and a thin-film structure, and method of manufacturing the magnetic head |
| EP0654782A3 (en) * | 1993-11-22 | 1995-06-21 | Philips Electronics Nv | Magnetic head having a head face and a thin-film structure, and method of manufacturing the magnetic head. |
| BE1007775A3 (nl) * | 1993-11-22 | 1995-10-17 | Philips Electronics Nv | Magneetkop, voorzien van een kopvlak en een dunnefilm structuur, en werkwijze voor het vervaardigen van de magneetkop. |
| US6101072A (en) * | 1997-02-28 | 2000-08-08 | Nec Corporation | Yoke type or flux guide type magnetoresistive head in which the yoke or flux guide is provided to the magnetic resistive element via an interposed soft magnetic layer |
| EP0889460A1 (en) * | 1997-07-04 | 1999-01-07 | STMicroelectronics S.r.l. | An electromagnetic head with magnetoresistive means connected to a magnetic core |
| US6134088A (en) * | 1997-07-04 | 2000-10-17 | Stmicroelectronics S.R.L. | Electromagnetic head with magnetoresistive means connected to a magnetic core |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0664718B2 (ja) | 1994-08-22 |
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