JPH0817019A - 磁気抵抗効果ヘッド - Google Patents
磁気抵抗効果ヘッドInfo
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- JPH0817019A JPH0817019A JP6146345A JP14634594A JPH0817019A JP H0817019 A JPH0817019 A JP H0817019A JP 6146345 A JP6146345 A JP 6146345A JP 14634594 A JP14634594 A JP 14634594A JP H0817019 A JPH0817019 A JP H0817019A
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- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
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- G11B5/3916—Arrangements in which the active read-out elements are coupled to the magnetic flux of the track by at least one magnetic thin film flux guide
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- G11B5/3925—Arrangements in which the active read-out elements are coupled to the magnetic flux of the track by at least one magnetic thin film flux guide the guide being interposed in the flux path the read-out elements being disposed in magnetic shunt relative to at least two parts of the flux guide structure the two parts being thin films
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- G11B5/3945—Heads comprising more than one sensitive element
- G11B5/3948—Heads comprising more than one sensitive element the sensitive elements being active read-out elements
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高再生感度で再生波形歪がなく高線記録密度
化に適した磁気抵抗効果ヘッドを提供する。 【構成】 軟磁性体からなる上部ヨーク２および下部ヨ
ーク３の一端を対向してギャップ（間隙）１を有する磁
気回路と、上部ヨーク２の他端と磁気的に結合するＭＲ
素子Ａ５と、下部ヨーク３の他端と磁気的に結合するＭ
Ｒ素子Ｂ６と、ＭＲ素子Ａ５，ＭＲ素子Ｂ６とを磁気的
に結合する軟磁性体からなるバックヨーク４を備えてい
る。そして、上部ヨーク２および下部ヨーク３は、ギャ
ップ１を除いて互いに重なり合わないように配置され、
かつＭＲ素子Ａ５とＭＲ素子Ｂ６とが同時に成膜される
ように構成されている。これにより、ギャップ１は、膜
厚によってギャップ長が規定され、かつ特性が等価なＭ
Ｒ素子が得られるため、差動構成をなすことにより、高
線記録密度化に適したＭＲヘッドが得られる。
化に適した磁気抵抗効果ヘッドを提供する。 【構成】 軟磁性体からなる上部ヨーク２および下部ヨ
ーク３の一端を対向してギャップ（間隙）１を有する磁
気回路と、上部ヨーク２の他端と磁気的に結合するＭＲ
素子Ａ５と、下部ヨーク３の他端と磁気的に結合するＭ
Ｒ素子Ｂ６と、ＭＲ素子Ａ５，ＭＲ素子Ｂ６とを磁気的
に結合する軟磁性体からなるバックヨーク４を備えてい
る。そして、上部ヨーク２および下部ヨーク３は、ギャ
ップ１を除いて互いに重なり合わないように配置され、
かつＭＲ素子Ａ５とＭＲ素子Ｂ６とが同時に成膜される
ように構成されている。これにより、ギャップ１は、膜
厚によってギャップ長が規定され、かつ特性が等価なＭ
Ｒ素子が得られるため、差動構成をなすことにより、高
線記録密度化に適したＭＲヘッドが得られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスク装置や磁
気テープ装置等に使用される磁気抵抗効果ヘッドに関
し、特にヨーク型の磁気抵抗効果ヘッドに関する。
気テープ装置等に使用される磁気抵抗効果ヘッドに関
し、特にヨーク型の磁気抵抗効果ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気抵抗効果ヘッド（以下、ＭＲヘッド
という）は、高い再生感度を有し、かつ再生出力が磁気
記録媒体−磁気ヘッド間の相対速度に依存しないため
に、磁気記録装置の高線記録密度化および小型化に対し
て有利な磁気ヘッドである。
という）は、高い再生感度を有し、かつ再生出力が磁気
記録媒体−磁気ヘッド間の相対速度に依存しないため
に、磁気記録装置の高線記録密度化および小型化に対し
て有利な磁気ヘッドである。
【０００３】従来のＭＲヘッドとしては、磁気抵抗効果
素子（以下、ＭＲ素子という）を磁気記録媒体面の真上
に配置し、直接、磁気記録媒体から発生する磁束を検出
するタイプと、ＭＲ素子を磁気記録媒体面上から離れた
ところに配置し、磁気記録媒体面から発生する磁束を磁
気ヨークを介して検出するタイプとがあるが、後者は前
者と比較して再生感度は劣るものの、ＭＲ素子が磁気記
録媒体の対向面に露出しないため、信頼性が高いという
特徴がある。
素子（以下、ＭＲ素子という）を磁気記録媒体面の真上
に配置し、直接、磁気記録媒体から発生する磁束を検出
するタイプと、ＭＲ素子を磁気記録媒体面上から離れた
ところに配置し、磁気記録媒体面から発生する磁束を磁
気ヨークを介して検出するタイプとがあるが、後者は前
者と比較して再生感度は劣るものの、ＭＲ素子が磁気記
録媒体の対向面に露出しないため、信頼性が高いという
特徴がある。
【０００４】図３は、従来のＭＲヘッドの概略構成の一
例を示す斜視図である。このＭＲヘッドは、従来の薄膜
磁気ヘッドと同様なプロセスで作成され、上部ヨーク１
２と下部ヨーク１３とにそれぞれ磁気的に結合した一対
のＭＲ素子Ａ１５，ＭＲ素子Ｂ１６を設けており、上部
ヨーク１２と下部ヨーク１３と間には、磁気記録媒体
（図示せず）に対して情報の書き込み・読み出しを行う
ギャップ１１が形成されている。そして、ＭＲ素子Ａ１
５，ＭＲ素子Ｂ１６にはバックヨーク１４が磁気的に結
合し、かつ差動構成をなすとともに端子１７および中間
端子１８が接続されており、このように構成することに
よって再生感度を高めている。
例を示す斜視図である。このＭＲヘッドは、従来の薄膜
磁気ヘッドと同様なプロセスで作成され、上部ヨーク１
２と下部ヨーク１３とにそれぞれ磁気的に結合した一対
のＭＲ素子Ａ１５，ＭＲ素子Ｂ１６を設けており、上部
ヨーク１２と下部ヨーク１３と間には、磁気記録媒体
（図示せず）に対して情報の書き込み・読み出しを行う
ギャップ１１が形成されている。そして、ＭＲ素子Ａ１
５，ＭＲ素子Ｂ１６にはバックヨーク１４が磁気的に結
合し、かつ差動構成をなすとともに端子１７および中間
端子１８が接続されており、このように構成することに
よって再生感度を高めている。
【０００５】次に、図４は、従来のＭＲヘッドの別の例
を示す斜視図である。このＭＲヘッドでは、ヨーク２２
とヨーク２３とにそれぞれ磁気的に結合した一対のＭＲ
素子Ａ２５，ＭＲ素子Ｂ２６を設け、ヨーク２２とヨー
ク２３と間にはギャップ２１が形成されている。そし
て、ＭＲ素子Ａ２５，ＭＲ素子Ｂ２６にはバックヨーク
２４が磁気的に結合し、かつ差動構成をなすとともに端
子２７および中間端子２８が接続されている。このＭＲ
ヘッドは、ヨーク２２，ヨーク２３の高さによってトラ
ック幅が規定されている。また、ＭＲ素子Ａ２５，ＭＲ
素子Ｂ２６ＭＲ素子は、同一平面上に設けられているた
め同時に成膜され、差動構成をとることが容易である。
を示す斜視図である。このＭＲヘッドでは、ヨーク２２
とヨーク２３とにそれぞれ磁気的に結合した一対のＭＲ
素子Ａ２５，ＭＲ素子Ｂ２６を設け、ヨーク２２とヨー
ク２３と間にはギャップ２１が形成されている。そし
て、ＭＲ素子Ａ２５，ＭＲ素子Ｂ２６にはバックヨーク
２４が磁気的に結合し、かつ差動構成をなすとともに端
子２７および中間端子２８が接続されている。このＭＲ
ヘッドは、ヨーク２２，ヨーク２３の高さによってトラ
ック幅が規定されている。また、ＭＲ素子Ａ２５，ＭＲ
素子Ｂ２６ＭＲ素子は、同一平面上に設けられているた
め同時に成膜され、差動構成をとることが容易である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述した、従来のＭＲ
ヘッドにおいて、差動出力を得るには一対のＭＲ素子が
同一の特性を有することが必要であるが、図３に示すＭ
Ｒヘッドにおいては、ＭＲ素子を２回成膜することにな
るため、波形歪のないＭＲヘッドを作成するのが困難で
あり、また、図４に示すＭＲヘッドにおいては、ギャッ
プをフォト・リソグラフィー（写真食刻）法を用いて作
成する必要があるため、高線記録密度のＭＰヘッドを作
成するのが困難である、という問題点がある。
ヘッドにおいて、差動出力を得るには一対のＭＲ素子が
同一の特性を有することが必要であるが、図３に示すＭ
Ｒヘッドにおいては、ＭＲ素子を２回成膜することにな
るため、波形歪のないＭＲヘッドを作成するのが困難で
あり、また、図４に示すＭＲヘッドにおいては、ギャッ
プをフォト・リソグラフィー（写真食刻）法を用いて作
成する必要があるため、高線記録密度のＭＰヘッドを作
成するのが困難である、という問題点がある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、第１の磁気ヨ
ークおよび第２の磁気ヨークの一端を対向して間隙を有
する磁気回路と、前記第１の磁気ヨークの他端と磁気的
に結合する第１のＭＲ素子と、前記第２の磁気ヨークの
他端と磁気的に結合する第２のＭＲ素子と、前記第１の
ＭＲ素子と前記第２のＭＲ素子とを磁気的に結合する第
３の磁気ヨークとを備えるＭＲヘッドにおいて、前記第
１および第２の磁気ヨークは前記間隙を除いて互いに重
なり合わないように配置され、かつ前記第１および第２
のＭＲ素子は同時に成膜されていることを特徴とする。
また、前記第１，第２および第３の磁気ヨークのいずれ
か１つもしくは２つ、またはそれらすべてに導体薄膜パ
ターンにより形成されたコイルを備えてもよい。
ークおよび第２の磁気ヨークの一端を対向して間隙を有
する磁気回路と、前記第１の磁気ヨークの他端と磁気的
に結合する第１のＭＲ素子と、前記第２の磁気ヨークの
他端と磁気的に結合する第２のＭＲ素子と、前記第１の
ＭＲ素子と前記第２のＭＲ素子とを磁気的に結合する第
３の磁気ヨークとを備えるＭＲヘッドにおいて、前記第
１および第２の磁気ヨークは前記間隙を除いて互いに重
なり合わないように配置され、かつ前記第１および第２
のＭＲ素子は同時に成膜されていることを特徴とする。
また、前記第１，第２および第３の磁気ヨークのいずれ
か１つもしくは２つ、またはそれらすべてに導体薄膜パ
ターンにより形成されたコイルを備えてもよい。
【０００８】
【作用】本発明のＭＲヘッドは、磁気抵抗効果膜（以
下、ＭＲ膜という）が同時に成膜されるため、差動構成
を用いることにより高い再生感度を有し、歪のない再生
波形を得ることができる。また、ギャップは従来のＭＲ
ヘッドと同様に、ギャップ層の厚さで決定されるため、
高線記録密度に適したヘッドを作成することができる。
下、ＭＲ膜という）が同時に成膜されるため、差動構成
を用いることにより高い再生感度を有し、歪のない再生
波形を得ることができる。また、ギャップは従来のＭＲ
ヘッドと同様に、ギャップ層の厚さで決定されるため、
高線記録密度に適したヘッドを作成することができる。
【０００９】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【００１０】（実施例１）図１は、第１の発明の一実施
例における概略構成を示す斜視図である。本実施例１の
ＭＲヘッドは、図１に示すように、磁性体からなる上部
ヨーク２および下部ヨーク３の一端を対向してギャップ
（間隙）１を有する磁気回路と、上部ヨーク２の他端と
磁気的に結合するＭＲ素子Ａ５と、下部ヨーク３の他端
と磁気的に結合するＭＲ素子Ｂ６と、ＭＲ素子Ａ５とＭ
Ｒ素子Ｂ６とを磁気的に結合する磁性体からなるバック
ヨーク４を備えている。そして、上部ヨーク２および下
部ヨーク３は、ギャップ１を除いて互いに重なり合わな
いように配置されるとともに、ＭＲ素子Ａ５とＭＲ素子
Ｂ６とが同時に成膜されるように構成されている。
例における概略構成を示す斜視図である。本実施例１の
ＭＲヘッドは、図１に示すように、磁性体からなる上部
ヨーク２および下部ヨーク３の一端を対向してギャップ
（間隙）１を有する磁気回路と、上部ヨーク２の他端と
磁気的に結合するＭＲ素子Ａ５と、下部ヨーク３の他端
と磁気的に結合するＭＲ素子Ｂ６と、ＭＲ素子Ａ５とＭ
Ｒ素子Ｂ６とを磁気的に結合する磁性体からなるバック
ヨーク４を備えている。そして、上部ヨーク２および下
部ヨーク３は、ギャップ１を除いて互いに重なり合わな
いように配置されるとともに、ＭＲ素子Ａ５とＭＲ素子
Ｂ６とが同時に成膜されるように構成されている。
【００１１】次に、本実施例１のＭＲヘッドの作成方法
について説明する。
について説明する。
【００１２】まず、スパッタ法によりＡｌ2 Ｏ3 −Ｔｉ
Ｃ（アルミナ・チタンカーバイド）基板（図示せず）上
にＳｉＯ2 を約１０μｍの膜厚に成膜し、続いて、膜厚
３０ｎｍのＮｉＦｅ合金膜，膜厚２０ｎｍのＴａ膜およ
び膜厚４０ｎｍのＣｏＺｒＭｏ膜よりなるＭＲ膜をスパ
ッタ法により成膜する。そして、このＭＲ膜をイオンミ
リング法によりパターン化しＭＲ素子Ａ５およびＭＲ素
子Ｂ６を作成する。また、ＭＲ素子Ａ５，ＭＲ素子Ｂ６
と回路系とを接続するための導電性薄膜パターンよりな
る端子７を形成する。この端子７は膜厚３００ｎｍのＡ
ｕ膜よりなっている。さらに、ＭＲ素子Ａ５とＭＲ素子
Ｂ６とを互いに電気的に接続するための導電性薄膜パタ
ーンとして、Ａｕ膜からなる中間端子８が接続される。
Ｃ（アルミナ・チタンカーバイド）基板（図示せず）上
にＳｉＯ2 を約１０μｍの膜厚に成膜し、続いて、膜厚
３０ｎｍのＮｉＦｅ合金膜，膜厚２０ｎｍのＴａ膜およ
び膜厚４０ｎｍのＣｏＺｒＭｏ膜よりなるＭＲ膜をスパ
ッタ法により成膜する。そして、このＭＲ膜をイオンミ
リング法によりパターン化しＭＲ素子Ａ５およびＭＲ素
子Ｂ６を作成する。また、ＭＲ素子Ａ５，ＭＲ素子Ｂ６
と回路系とを接続するための導電性薄膜パターンよりな
る端子７を形成する。この端子７は膜厚３００ｎｍのＡ
ｕ膜よりなっている。さらに、ＭＲ素子Ａ５とＭＲ素子
Ｂ６とを互いに電気的に接続するための導電性薄膜パタ
ーンとして、Ａｕ膜からなる中間端子８が接続される。
【００１３】次に、磁気記録媒体（図示せず）に対して
情報の書き込み・読み出しを行うギャップ部として、基
板全面にスパッタ法により膜厚１０ｎｍのＳｉＯ2 膜を
成膜し、ＭＲ素子と次に成膜される磁気回路を構成する
各ヨークとの間のギャップ１とした。さらに、膜厚２μ
ｍのＣｏＺｒ膜をスパッタ法により成膜し、このＣｏＺ
ｒ膜をイオンミリング法により下部ヨーク３およびバッ
クヨーク４が形成されるようにパターンニングを行っ
た。
情報の書き込み・読み出しを行うギャップ部として、基
板全面にスパッタ法により膜厚１０ｎｍのＳｉＯ2 膜を
成膜し、ＭＲ素子と次に成膜される磁気回路を構成する
各ヨークとの間のギャップ１とした。さらに、膜厚２μ
ｍのＣｏＺｒ膜をスパッタ法により成膜し、このＣｏＺ
ｒ膜をイオンミリング法により下部ヨーク３およびバッ
クヨーク４が形成されるようにパターンニングを行っ
た。
【００１４】その後、ギャップ１となる膜厚１０ｎｍの
ＳｉＯ2 膜を上部ヨーク２と下部ヨーク３との重なる部
分にリフトオフ法により成膜し、続いて、膜厚２μｍの
ＣｏＺｒ膜をスパッタ法により成膜し、下部ヨーク３と
同様にイオンミリング法により上部ヨーク２を形成し
た。
ＳｉＯ2 膜を上部ヨーク２と下部ヨーク３との重なる部
分にリフトオフ法により成膜し、続いて、膜厚２μｍの
ＣｏＺｒ膜をスパッタ法により成膜し、下部ヨーク３と
同様にイオンミリング法により上部ヨーク２を形成し
た。
【００１５】以上のようにして作成されたＭＲヘッドで
は、成膜条件を変更することによって容易にギャップ厚
を薄くすることができるため、高線記録密度が実現でき
る。また、同時に成膜された等価なＭＲ素子に対して、
差動構成による再生方式を用いることにより、再生波形
の歪がなく、高い再生出力を得ることができる。
は、成膜条件を変更することによって容易にギャップ厚
を薄くすることができるため、高線記録密度が実現でき
る。また、同時に成膜された等価なＭＲ素子に対して、
差動構成による再生方式を用いることにより、再生波形
の歪がなく、高い再生出力を得ることができる。
【００１６】（実施例２）図２は、第２の発明の一実施
例における概略構成を示す斜視図である。本実施例２の
ＭＲヘッドは、図２に示すように、まず、Ａｌ2 Ｏ3 −
ＴｉＣ基板（図示せず）上にスパッタ法によりＳｉＯ2
を約１０μｍの膜厚に成膜し、続いて、ＭＲ素子Ａ５，
ＭＲ素子Ｂ６，端子７，中間端子８、およびＭＲ素子Ａ
５，ＭＲ素子Ｂ６と上部ヨーク２，下部ヨーク３との間
に設けられたギャップ１を、図１に示す実施例１と同様
に形成した。そして、メッキ法により膜厚１μｍのＣｕ
メッキ膜からなる下コイル（図示せず）を形成した。
例における概略構成を示す斜視図である。本実施例２の
ＭＲヘッドは、図２に示すように、まず、Ａｌ2 Ｏ3 −
ＴｉＣ基板（図示せず）上にスパッタ法によりＳｉＯ2
を約１０μｍの膜厚に成膜し、続いて、ＭＲ素子Ａ５，
ＭＲ素子Ｂ６，端子７，中間端子８、およびＭＲ素子Ａ
５，ＭＲ素子Ｂ６と上部ヨーク２，下部ヨーク３との間
に設けられたギャップ１を、図１に示す実施例１と同様
に形成した。そして、メッキ法により膜厚１μｍのＣｕ
メッキ膜からなる下コイル（図示せず）を形成した。
【００１７】さらに、下部ヨーク３，バックヨーク４，
ギャップ１および上部ヨーク２を、図１に示す実施例１
と同様に形成した。その後、絶縁層を介して前記下コイ
ルとの電気的連続性を損なわないようにして、メッキ法
により膜厚１μｍのＣｕメッキ膜からなる上コイル９を
形成するとともに、併せてコイル端子１０を接続した。
ギャップ１および上部ヨーク２を、図１に示す実施例１
と同様に形成した。その後、絶縁層を介して前記下コイ
ルとの電気的連続性を損なわないようにして、メッキ法
により膜厚１μｍのＣｕメッキ膜からなる上コイル９を
形成するとともに、併せてコイル端子１０を接続した。
【００１８】以上のようにして作成されたＭＲヘッドで
は、前述した実施例１の長所に加え、バックヨーク４に
形成されたコイルにより磁気記録媒体に情報を記録でき
るという機能を合わせ備えている。
は、前述した実施例１の長所に加え、バックヨーク４に
形成されたコイルにより磁気記録媒体に情報を記録でき
るという機能を合わせ備えている。
【００１９】なお、実施例２では、バックヨークにコイ
ルを備えた例について説明したが、このコイルは上部ヨ
ーク２，下部ヨーク３およびバックヨーク４のいずれか
１つもしくは２つ、またはそれらのすべてに形成しても
よく、同様の効果が得られることは明白である。
ルを備えた例について説明したが、このコイルは上部ヨ
ーク２，下部ヨーク３およびバックヨーク４のいずれか
１つもしくは２つ、またはそれらのすべてに形成しても
よく、同様の効果が得られることは明白である。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のＭＲヘッ
ドは、ギャップの膜厚によってギャップ長が規定される
ため、高線記録密度化が本質的に容易である。また、同
時に成膜される等価なＭＲ素子に対して、作動構成をな
す再生方式を用いることにより、歪のない再生波形と高
い再生出力とが得られるという効果がある。
ドは、ギャップの膜厚によってギャップ長が規定される
ため、高線記録密度化が本質的に容易である。また、同
時に成膜される等価なＭＲ素子に対して、作動構成をな
す再生方式を用いることにより、歪のない再生波形と高
い再生出力とが得られるという効果がある。
【００２１】しかも、本発明のＭＲヘッドでは、ＭＲ素
子がヨークを介して磁気記録媒体と接するため、磁気記
録媒体と接触・摺動時におけるＭＲ素子の雑音発生が抑
制されるという利点もある。
子がヨークを介して磁気記録媒体と接するため、磁気記
録媒体と接触・摺動時におけるＭＲ素子の雑音発生が抑
制されるという利点もある。
【図１】第１の発明の一実施例の概略構成を示す斜視図
である。
である。
【図２】第２の発明の一実施例の概略構成を示す斜視図
である。
である。
【図３】従来例の概略構成を示す斜視図である。
【図４】別の従来例の概略構成を示す斜視図である。
１，１１，２１ ギャップ ２，１２ 上部ヨーク ３，１３ 下部ヨーク ４，１４，２４ バックヨーク ５，１５，２５ ＭＲ素子Ａ ６，１６，２６ ＭＲ素子Ｂ ７，１７，２７ 端子 ８，１８，２８ 中間端子 ９ 上コイル １０ コイル端子 ２２，２３ ヨーク
Claims (2)
- 【請求項１】 第１の磁気ヨークおよび第２の磁気ヨー
クの一端を対向して間隙を有する磁気回路と、前記第１
の磁気ヨークの他端と磁気的に結合する第１の磁気抵抗
効果素子と、前記第２の磁気ヨークの他端と磁気的に結
合する第２の磁気抵抗効果素子と、前記第１の磁気抵抗
効果素子と前記第２の磁気抵抗効果素子とを磁気的に結
合する第３の磁気ヨークとを備える磁気抵抗効果ヘッド
において、 前記第１および第２の磁気ヨークは前記間隙を除いて互
いに重なり合わないように配置され、かつ前記第１およ
び第２の磁気抵抗効果素子は同時に成膜されていること
を特徴とする磁気抵抗効果ヘッド。 - 【請求項２】 請求項１記載の磁気抵抗効果ヘッドにお
いて、前記第１，第２および第３の磁気ヨークのいずれ
か１つもしくは２つ、またはそれらのすべてに導体薄膜
パターンにより形成されたコイルを備えることを特徴と
する特徴とする磁気抵抗効果ヘッド。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6146345A JPH0817019A (ja) | 1994-06-28 | 1994-06-28 | 磁気抵抗効果ヘッド |
| US08/490,553 US6134078A (en) | 1994-06-28 | 1995-06-15 | High sensitivity, low distortion yoke-type magnetoresistive head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6146345A JPH0817019A (ja) | 1994-06-28 | 1994-06-28 | 磁気抵抗効果ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0817019A true JPH0817019A (ja) | 1996-01-19 |
Family
ID=15405611
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6146345A Pending JPH0817019A (ja) | 1994-06-28 | 1994-06-28 | 磁気抵抗効果ヘッド |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6134078A (ja) |
| JP (1) | JPH0817019A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6785100B2 (en) * | 2000-04-10 | 2004-08-31 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetic head comprising a multilayer magnetoresistive device and a yoke for introducing magnetic flux from a medium to the magnetoresistive device |
| US20030002225A1 (en) * | 2001-06-29 | 2003-01-02 | Storage Technology Corporation | Apparatus and method of making a reduced sensitivity spin valve sensor apparatus in which a flux injection efficiency is reduced |
| JP2005044847A (ja) * | 2003-07-23 | 2005-02-17 | Tdk Corp | 磁気抵抗効果素子、磁気記憶セルおよび磁気メモリデバイスならびにそれらの製造方法 |
Citations (2)
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| JPS6363117A (ja) * | 1986-09-03 | 1988-03-19 | Nec Corp | 薄膜磁気ヘツド |
| JPH06162437A (ja) * | 1992-11-26 | 1994-06-10 | Sanyo Electric Co Ltd | 複合型薄膜磁気ヘッド |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58222403A (ja) * | 1982-06-18 | 1983-12-24 | Seiko Epson Corp | 磁気記録再生方式 |
| JPS61904A (ja) * | 1984-06-13 | 1986-01-06 | Tokyo Electric Co Ltd | 垂直磁気記録再生ヘツド |
| JPH0782612B2 (ja) * | 1986-11-28 | 1995-09-06 | 日本電気株式会社 | 薄膜磁気ヘツド及びその製造方法 |
| EP0269129B1 (en) * | 1986-11-28 | 1993-09-22 | Nec Corporation | Thin film magnetic head |
| US5375023A (en) * | 1992-12-29 | 1994-12-20 | International Business Machines Corporation | Submicron thin film inductive head with self-aligned staggered pole-tips |
-
1994
- 1994-06-28 JP JP6146345A patent/JPH0817019A/ja active Pending
-
1995
- 1995-06-15 US US08/490,553 patent/US6134078A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6363117A (ja) * | 1986-09-03 | 1988-03-19 | Nec Corp | 薄膜磁気ヘツド |
| JPH06162437A (ja) * | 1992-11-26 | 1994-06-10 | Sanyo Electric Co Ltd | 複合型薄膜磁気ヘッド |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6134078A (en) | 2000-10-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19970624 |