JPH08287407A

JPH08287407A - 複合型磁気ヘッドとその製造方法

Info

Publication number: JPH08287407A
Application number: JP7111289A
Authority: JP
Inventors: Chikaichi Ito; 親市伊藤; Shuji Sudo; 修二須藤; Tetsuo Kawai; 哲郎川井; Shuji Koike; 修治小池; Kiyoshi Nakajima; 清中島; Makoto Goto; 良後藤
Original assignee: Hitachi Metals Ltd
Current assignee: Proterial Ltd
Priority date: 1995-04-12
Filing date: 1995-04-12
Publication date: 1996-11-01
Also published as: US5717543A

Abstract

(57)【要約】【目的】磁気ヘッドを小型化して高密度記録を可能に
するとともに、その製造を容易にし、しかも高周波域の
インダクタンスを低くした。【構成】スライダ部が、エアレール８を下面に有する
スライダ板２とその上に接合されるバック基板５とから
なり、スライダ板２にフロント磁気コア１が所定位置に
固定され、バック基板５にバックヨーク３とコイル層４
が設けられて、フロント磁気コア１とバックヨーク３と
コイル層４とで電磁変換素子が構成され、電磁変換素子
への配線接続がバック基板５を貫通するスルーホール導
体１３か、バック基板５の突出部下面に設けた電極２０
によりできるようになっている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、主としてコンピュータ
のハードディスクドライブに用いられる複合型磁気ヘッ
ドと、その製造方法に関し、特に磁気ヘッドが搭載され
たスライダを磁気ディスクに対して微小間隔で浮上させ
て、非接触で記録再生を行なえるようにしたものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】ソフトウエアの大型化、ＣＰＵの処理速
度の高速化に伴う高い転送レートに対応するために、小
型、低インダクタンスの磁気ヘッドが要求されている。
しかし、従来のモノリシック型ヘッド及びコンポジット
型ＭＩＧ（メタルインギャップ）ヘッドでは、その製造
法から、またコイルの巻き線作業が必要な事から小型、
低インダクタンス化は難しい。一方、薄膜ヘッドでは、
小型、低インダクタンス化は容易であるが、オーバーラ
イト特性が低く、更にポール部でのアライメント精度や
ドメインコントロールの難しさからサイドリーディング
やウィグル等の問題があり、狭トラック化が難しくなっ
ている。また、狭トラックでの出力を増大させる為にコ
イルのターン数が多くなってしまい、場合によっては４
０ターン以上に増大させる必要があり、コイルの多層化
が必要となっている。コイルを多層化すると、それを形
成した面が大きな段差を有することになって上部磁極の
形成および加工はますます困難になる。これらの加工を
容易にするためにステッパを導入して加工することが可
能であるが、ステッパは極めて高価な装置であり、薄膜
ヘッドが高コストになってしまい、さらに、ステッパ等
の適用は本質的な解決でなく、加工精度の問題は残って
しまう。

【０００３】上記の問題点を解決するために、磁気ヘッ
ドのギャップ部には従来のバルクヘッドを用い、コイル
としては小型化が可能な薄膜コイルを用いて、それらを
組合わせた構造の磁気ヘッドが提案されている。例え
ば、特開平５−３４２５１５号公報には、図９に示すよ
うに薄膜コイル５１を設置した多結晶フェライト製のバ
ックボディ５２と、単結晶フェライト製の記録ギャップ
５３を含むフロントチップ５４とを張り合わせた構造の
磁気ヘッドが記載されている。この構造により、従来バ
ルクへッドの問題点とされていた小型で低インダクタン
ス化を可能にしている。また従来の薄膜ヘッドでは困難
とされるサイドリーディングやウィグル等の問題をなく
している。また特開平６−２７４８２６号公報には、図
１０に示すようにスライダ基板５５に設けられた２つの
磁気コア部分５６の背面側に薄膜コイル５７を設けると
ともに、前記の２つの磁気コア部分５６の背面を軟磁性
薄膜よりなる背面磁気コア５８で接続し、背面磁気コア
の接続部を前記薄膜コイルが旋回するように構成した磁
気ヘッドが記載されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術に記載し
たように、薄膜コイルを設置したバックボディと、記録
ギャップを含むフロントチップを張り合わせた構造（図
９）にして、磁気ヘッドを小型で低インダクタンス化し
たものがある。しかし、その磁気ヘッドは、フロントチ
ップ５４とバックボディ５２は磁性体で作成されている
ため、磁束がスライダ全体に広がり、インダクタンスと
ノイズの増加の原因となっている。また、２つの磁気コ
ア部分を背面磁気コア５８で接続した構成の磁気ヘッド
（図９）は、小型になるが、２つの磁気コア部分を有す
るスライダ基板に薄膜コイルを作成するとともに、前記
磁気コア部分に接続させる背面磁気コアは薄膜コイルの
中心部と外周部を薄膜コイル上を経由して作成しなけれ
ばならず、薄膜コイルによる段差があるため製造が容易
ではなく製造能率が悪い。また薄膜コイルのマスクパタ
ーンに合わせて、スライダ基板の配列を行なう必要があ
るため、製造が難しい。さらに、スライダ基板に固着し
た磁気コアに薄膜コイル、背面磁気コアなどを薄膜プロ
セスで形成するため、種々の薬品やヒートサイクルにふ
れることになり、製造プロセス上の制約やダメージがあ
った。そこで、本発明は、磁気ヘッドを小型化して高密
度記録を可能にするとともにその製造を容易にし、しか
もインダクタンスを低くすることを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
した複合型磁気ヘッドであり、そのスライダ部は、非磁
性のスライダ板及びバック基板からなり、スライダ板の
下面にはエアレールが設けられ、上面側にはバック基板
が搭載固定されている。そして磁気ギャップを形成させ
た一対の磁性体コア片よりなるフロント磁気コアがスラ
イダ板の所定の位置に設けられ、更に、バックヨーク及
びコイル層がバック基板上のスライダ板の固定面側に設
けられ、フロント磁気コア、バックヨーク及びコイル層
は電磁変換素子を構成するように配置固定されている。
また、バック基板の電磁変換素子の付近にバック基板を
上下に貫通するスルーホール導体が設けられて、電磁変
換素子への入出力配線をバック基板の背面から取り出す
ことができることを特徴とする。なお、バック基板にス
ルーホール導体を設ける代わりに、バック基板の電磁変
換素子側の端部がスライダ板の端部より外側に突出され
てその突出部のスライダ板側の面に前記コイル層の電極
を設けるようにしてもよい。

【０００６】フロント磁気コアは、磁気ギャップとは反
対側に接続用突出部を有しており、その接続用突出部は
スライダ板の表面から少なくともコイル層の表面高さ以
上突出していて、コイル層が接続用突出部を旋回するよ
うになっている。コイル層は、一対の磁性体コア片のそ
れぞれに巻かれるバランス巻き構成であって、バックヨ
ーク上に絶縁膜を介して形成され、各接続用突出部を旋
回するように配置されている。バック基板に設けられて
いるバックヨークは平面状に形成され、コイル層は中心
部にフロント磁気コアの接続用突出部を通す中心孔を有
し、バック基板をスライダ板の対応位置に重ねることに
より、フロント磁気コアの一対の突出部をバックヨーク
で接続することができる。一対の磁性体コア片の間に設
けた磁気ギャップ部に、磁性膜を介在させて、磁気特性
を向上させることができる。

【０００７】複合型磁気ヘッドの製造方法は、上記構成
の磁気ヘッドを製造する方法であり、非磁性のスライダ
板の端部に、スライダの巾方向にフロント磁気コアの高
さと同程度以下の深さの横溝を作成し、この横溝と略直
角方向にフロント磁気コアを挿入する縦溝を形成して、
その縦溝内にフロント磁気コアをガラス等により固定し
た後、スライダ板におけるフロント磁気コアの付近の反
磁気記録媒体対向面側を切削してフロント磁気コアに接
続用突出部を形成した。次に、非磁性のバック基板にバ
ックヨークとコイル層を形成して、そのバック基板を前
記のスライダ板に重ねて固定することにより、フロント
磁気コアの接続用突出部とバックヨークとを接合すると
ともに、接続用突出部をコイル層が旋回するように配置
させて、電磁変換素子を形成した。バック基板に形成す
るバックヨークとコイル層は、薄膜形成法により作成
し、それら両者間には絶縁層を介在させた。

【０００８】

【作用】上記の複合型磁気ヘッドでは、スライダ板の所
定位置にフロント磁気コアが設けられ、バックヨークと
コイル層を設けたバック基板が、前記スライダ板に重ね
られて、フロント磁気コアとバックヨークとコイル層が
電磁変換素子を形成するように接合され、バック基板に
それを上下に貫通するスルーホール導体が設けられてい
るので、電磁変換素子への入出力配線をバック基板の背
面から容易に接続することができ、かつ入出力配線が磁
気記録媒体と接触するようなことがなく、信頼性の高い
製造コストの安い磁気ヘッドを得ることができる。また
スライダ板の所定位置に設けられる一対の磁性体コア片
は、スライダ板の背面から突出されているので、その一
対の接合用突出部を平面状に形成したバックヨークで接
続することができ、その接合でコイル層のコイルは、前
記の接合用突出部を旋回する位置関係になる。このた
め、高密度記録に対応した小型の磁気ヘッドを容易に製
造することができる。また、コイルを薄膜コイルで構成
にしているので、磁気回路とコイル部が従来に比べて大
幅に小型になり、その結果高周波域のインダクタンスが
低くなって高周波の記録再生特性を飛躍的に向上させる
ことができる。

【０００９】さらにスライダ板は非磁性であり、また、
非磁性のバック基板上のバックヨーク以外に磁性材が設
けられていないので、磁束の漏洩或は外部からの侵入を
極力抑えることができ、ノイズの発生を防止することが
可能である。また、製造方法の発明では、スライダ板の
端部に、横溝と縦溝を形成してフロント磁気コアを縦溝
内に固定した後、スライダ板におけるフロント磁気コア
の付近の反磁気記録媒体対向面側を切削して、フロント
磁気コアの接続用突出部を形成するので、その製造が容
易であり、その後、バック基板に形成した平面状のバッ
クヨークで一対の接続用突出部を簡単に接続することが
できる。

【００１０】

【実施例】本発明の複合型磁気ヘッドの実施例を図１〜
４により説明する。複合型磁気ヘッドは、図１に示すよ
うにフロント磁気コア１を有するスライダ板２と、バッ
クヨーク３と渦巻き状のコイル層４とを有するバック基
板５とからなり、スライダ板２にバック基板５が重ねて
接合されている。その接合で、フロント磁気コア１の背
面部をバックヨーク３で接続して磁気回路を構成すると
ともに、フロント磁気コア１の後記する接続用突出部１
ｃ、１ｄをコイル層４のコイルが旋回するようにして電
磁変換素子を形成している。そして、複合型磁気ヘッド
のバック基板５の背面が図４に示すように、保持部材６
の先端部に設けたバネ材７に接着固定され、スライダ板
２が磁気記録媒体に対向されて、磁気ヘッドと磁気記録
媒体との相互間で記録、再生作用をするようになってい
る。

【００１１】スライダ板２は例えばＣａＴｉＯ₃ などの
非磁性セラミックで作成され、スライダ板２の下面すな
わち磁気ディスク対向面に２本のエアーレール８が設け
られ、一方のエアーレール８のスライダ流出端に設けた
切り溝にフロント磁気コア１が挿入され、ガラス材Ｇに
より接着されている。フロント磁気コア１は端結晶フェ
ライトであって、図１に示すように２つの磁気コア部分
１ａ、１ｂからなり、磁気記録媒体対向面側がギャップ
９を介してガラス材Ｇで接合されている。また、２つの
コア部分１ａ、１ｂの背面側（反磁気記録媒体対向面
側）は離れているとともに、平面状のバックヨーク３に
より容易に接続できるようにスライダ板２の背面から少
なくともコイル層４の上面までの高さ程度の接続用突出
部１ｃ、１ｄが反磁気ギャップ側に突出されて形成され
ている。なお、接続用突出部１ｃ、１ｄを形成するた
め、スライダ板２のフロント磁気コア付近が図３に示す
ように切り欠かれた溝１０に形成されている。また、フ
ロント磁気コア１を構成する磁気コア部分１ａ、１ｂ
は、図１では非対称であるが、それらを同一形状にする
ことが製造上、都合がよい。さらに、フロント磁気コア
１のギャツプ９には、磁性薄膜１ｅ、１ｆを介在させて
磁気特性を向上させるようにしてもよい。

【００１２】バック基板５は非磁性板からなり、スライ
ダ板２に設けられているフロント磁気コア１の位置に対
応して平面状のバックヨーク３が設けられ、バックヨー
ク３は金属磁性膜であってその表面に絶縁層１１が設け
られ、絶縁層１１の表面に、中心孔４ａを有する渦巻き
状のコイル層４が設けられている。そして、前記フロン
ト磁気コア１の接続用突出部１ｃ、１ｄにコイル層の中
心孔４ａが通されて一対の接続用突出部をバックヨーク
３で接合できるように、バック基板５がスライダ板２に
重ねられて接合されている。なお、コイル層４は、２つ
の接続用突出部１ｃ、１ｄに旋回させるため、２つの旋
回部を有するバランス巻きにされている。またバックヨ
ーク３の金属磁性膜はＮｉＦｅ合金膜が透磁率、磁歪な
どの点から良く用いられるが、高周波域にはＣｏ、Ｔａ
及びＺｒの３元系からなる合金膜がより適している。

【００１３】図２の実施例では、バック基板５は、スラ
イダ板２の平面のほぼ半分の大きさにされて、スライダ
板２のフロント磁気コア側の約半分の上面を覆い、スラ
イダ板２の残りの上面はバック基板５の背面高さと同じ
になるように形成されているが、スライダ板５は、スラ
イダ板２の上面全体を覆う形状にしてもよい。それらの
場合、バック基板５の電磁変換素子側の端部は、スライ
ダ板２の端部と一致させられている。また、バック基板
５には、コイル層が設けられている面から背面側へ貫通
して２つのスルーホール導体１３が設けられるととも
に、スルーホール導体１３の両端に電極パッド１３ａが
設けられる。そしてコイル層４のコイルはスルーホール
導体１３の電極パッド１３ａにバック基板５の同一面側
で接続されて、バック基板５の背面側からハードディス
ク装置本体に接続される外部回路に接続できるようにな
っている。

【００１４】図５の実施例は、前記のスルーホール導体
１３を設けることなく、電磁変換素子の配線接続をでき
るようにしたものである。そのため、バック基板５の電
磁変換素子側の端部が、スライダ板２の端部より少し突
出するように構成されている。そして、バック基板２に
おける電磁変換素子に対応する位置に、前記実施例と同
様にバックヨーク３と絶縁層１１とコイル層４が形成さ
れ、コイル層４の電極２０は、バック基板２におけるコ
イル層４が設けられている面の前記突出部に形成され、
電極２０がワイヤボンディング線２０ａを介して外部回
路に接続される。なお、このような構成の磁気ヘッドに
おいても、電磁変換素子を構成する各要素としては、前
記実施例のものを同様に適用することができ、フロント
磁気コア１が所定位置に設けられているスライダ板２や
他の対応する部分は、前記実施例と同様に構成されてい
る。

【００１５】次に、上記の複合型磁気ヘッドの製造方法
を説明する。初めに図６に示すように、スライダ板５に
おける一方のエアレール８のスライダ流出端に巾方向に
フロント磁気コア１の高さと同程度以下の深さの横溝２
１を作成し、横溝２１と略直角方向に縦溝２２を設け
る。一対の磁気コア部分１ａ、１ｂの間に磁気ギャップ
９を設けたフロント磁気コア１を、前記スライダ板５の
縦溝２２内に挿入してガラス材Ｇで固定する。その後、
フロント磁気コア１にバックヨーク３を接続する高さで
スライダ板の平面に平行に切削して、反磁気記録媒体側
のスライダ板５とフロント磁気コア１の一部を除去し
た。その除去で、反磁気記録媒体側であるスライダ板２
の背面から、フロント磁気コア１を少し突出させて接続
用突出部１ｃ、１ｄを形成した。接続用突出部１ｃ、１
ｄを形成する方法は、前記以外に図８に示す方法で作成
してもよい。その場合、スライダ板２の所定位置にフロ
ント磁気コア１の埋め込み用の切り溝を設けて、そこに
スライダ板５の背面と同一高さとなるようにフロント磁
気コア１を挿入してガラス材Ｇで固定する。そしてフロ
ント磁気コア１の背面部分が突出するように、スライダ
背面に、交差する２方向にそれぞれ２本の溝１４、１５
を形成することにより、接続用突出部１ｃ、１ｄを形成
する。

【００１６】次に、前記一対の接続用突出部１ｃ、１ｄ
を接続するためのバックヨーク３を、真空蒸着やめっき
等の薄膜形成法により平面状にバック基板５の上に形成
するとともに、バックヨーク３の上及び周囲に絶縁層１
１を形成し、その絶縁層１１には、バックヨーク３をフ
ロント磁気コア１に接合させる位置に対応させて孔を設
けておく。さらに前記絶縁層１１の上に、レジストを塗
布して露光によりパターンを形成した後、前記一対の接
続用突出部１ｃ、１ｄが挿入される中心孔４ａを有する
コイル層４を薄膜形成法により形成する。

【００１７】ここでバック基板２にバックヨーク３とコ
イル層４を形成する方法を、図７によりさらに詳しく説
明する。非磁性のバック基板５の上の所定位置に、真空
蒸着めっき等の薄膜形成法により金属磁性膜を成膜して
バックヨーク３を形成する（図７（ａ））。次にバック
ヨーク３の周囲に、レジスト塗布、パターニング、ハー
ドベークの諸工程を経ることによりレジストを硬化させ
て第１絶縁層３１を形成する（図７（ｂ））とともに、
その上に第２絶縁層３２を形成する（図７（ｃ））。次
に、第２絶縁層３２の上にＣｕをめっきすることによ
り、中心孔４ａを有するコイル層４を形成する。その場
合、孤立パターンにめっきする際の導通用の膜（シード
膜）としてスパッタ法により全面にＣｒを２０ｎｍ、Ｃ
ｕを８０ｎｍ成膜する。レジストを全面塗布した後、パ
ターニングを行ない、コイル層４をめっきする領域に窓
をあけ、その窓内に３μｍの厚さでＣｕを電解めっきす
る。この際、同様にスルーホール導体１３の端部に電極
パッド１３ａを形成し、さらに電極パッド１３ａとコイ
ル層４を接続するリード線もめっきで作成する（図７
（ｄ））。

【００１８】次に、コイル層４の上に第３絶縁膜３３を
前記絶縁膜と同様に形成して（図７（ｅ））、その上に
第１コイル層４に接続される第２コイル層４を前記と同
様に作成する（図７（ｆ））。なおコイル層４は、２つ
の接続用突出部１ｃ、１ｄに対応した２つの旋回部を有
し、しかもバランス巻きにされている。その後、第２コ
イル層４の上に第４絶縁膜３４を前記と同様に作成し
（図７（ｇ））、電極パッド１３ａの上にＣｕをめっき
するとともに、さらにその上にＡｕをめっきする（図７
（ｈ））。その後、コイル層４の中心孔４ａを前記接続
用突出部１ｃ、１ｄに挿入させるようにバック基板５を
スライダ板２に重ねて接合し、バックヨーク３を前記一
対の磁性体コアの接続用突出部１ｃ、１ｄに接続させて
磁気回路を構成し、コイル層４を接続用突出部の周囲を
旋回する位置に配置させて複合型磁気ヘッドが完成す
る。

【００１９】

【発明の効果】本発明の複合型磁気ヘッドは、スライダ
板にスルーホール導体を設けて、バック基板の背面側か
ら電磁変換素子への配線接続をできるようにしているの
で、配線が容易であって、磁気記録媒体に配線が接触す
る心配がない。またスライダ板に設けられるフロント磁
気コアが、スライダ板の背面から少し突出され、平面状
に形成したバックヨークでフロント磁気コアの突出部を
接合して磁気回路を構成するようにしているので、より
小型の複合型磁気ヘッドを容易に製造することができ
る。またコイルは薄いコイル層として形成しているの
で、磁気回路とコイル部分が小型になってインダクタン
スを小さくでき、磁気ディスク装置としての記録再生特
性を向上させることができる。さらに、バックヨークと
コイル層が設けられているバック基板は、非磁性であ
り、磁気コアからの磁束が他の部分に洩れにくいので、
ノイズの発生を防止することができる。上記磁気ヘッド
の製造方法では、スライダ板の所定位置にフロント磁気
コアを固定した後、それらの一部を切除してフロント磁
気コアの接続用突出部を容易に形成することができ、平
面状のバックヨークで接続用突出部を接続して磁気回路
を構成することができるとともに、接続用突出部の回り
にコイル層を旋回させることができ、小型の磁気ヘッド
を容易に作成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の複合型磁気ヘッドの部分断面図であ
る。

【図２】本発明の複合型磁気ヘッドの分解斜視図と、組
立て斜視図である。

【図３】本発明の複合型磁気ヘッドのスライダ板の斜視
図である。

【図４】本発明の複合型磁気ヘッドを磁気ディスク装置
の保持部材に取付けた状態の斜視図である。

【図５】複合型磁気ヘッドの第２実施例の分解斜視図
と、組立て斜視図と、分解断面図である。

【図６】複合型磁気ヘッドの斜視図である。

【図７】バック基板にバックヨークとコイル層を形成す
る方法を示す説明図である。

【図８】複合型磁気ヘッドの他の製造方法を示すスライ
ダ板の部分斜視図である。

【図９】従来例の磁気ヘッドのうち上下の２分割部分を
接合して組立てられるタイプの分解斜視図である。

【図１０】従来例の磁気ヘッドのうち２つの磁気コア部
分を背面磁気コアで接続したタイプの斜視図と断面図で
ある。

【符号の説明】

１フロント磁気コア２スライダ板３バックヨーク４コイル層５バック基板１３スルーホール導体

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者小池修治埼玉県熊谷市三ケ尻5200番地日立金属株式会社磁性材料研究所内 (72)発明者中島清埼玉県熊谷市三ケ尻5200番地日立金属株式会社磁性材料研究所内 (72)発明者後藤良栃木県真岡市松山町18番地日立金属株式会社電子部品工場内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】スライダ部が非磁性のスライダ板及びバ
ック基板からなり、スライダ板の下面にはエアレールが
設けられ、上面側にはバック基板が搭載固定される複合
型磁気ヘッドであって、磁気ギャップを形成させた一対
の磁性体コア片よりなるフロント磁気コアがスライダ板
の所定の位置に設けられ、更に、バックヨーク及びコイ
ル層がバック基板上のスライダ板の固定面側に設けら
れ、フロント磁気コア、バックヨーク及びコイル層は電
磁変換素子を構成するように配置固定されると共に、バ
ック基板の電磁変換素子の付近にバック基板を上下に貫
通するスルーホール導体が設けられて、電磁変換素子へ
の入出力配線をバック基板の背面から取り出すことがで
きることを特徴とする複合型磁気ヘッド。
【請求項２】スライダ部が非磁性のスライダ板及びバ
ック基板からなり、スライダ板の下面にはエアレールが
設けられ、上面側にはバック基板が搭載固定される複合
型磁気ヘッドであって、磁気ギャップを形成させた一対
の磁性体コア片よりなるフロント磁気コアがスライダ板
の所定の位置に設けられ、更に、バックヨーク及びコイ
ル層とその電極がバック基板上のスライダ板の固定面側
に設けられ、フロント磁気コア、バックヨーク及びコイ
ル層は電磁変換素子を構成するように配置固定されると
共に、バック基板の電磁変換素子側の端部がスライダ板
の端部より外側に突出されてその突出部に前記コイル層
の電極が配置されていることを特徴とする複合型磁気ヘ
ッド。
【請求項３】フロント磁気コアは、磁気ギャップとは
反対側に接続用突出部を有しており、その接続用突出部
はスライダ板の表面からり少なくともコイル層の表面高
さ以上突出していることを特徴とする請求項１又は２に
記載の複合型磁気ヘッド。
【請求項４】コイル層は、一対の磁性体コア片のそれ
ぞれに巻かれるバランス巻き構成であって、バックヨー
ク上に絶縁膜を介して形成され、各接続用突出部を旋回
するように配置されていることを特徴とする請求項１、
２又は３に記載の複合型磁気ヘッド。
【請求項５】バック基板に設けられているバックヨー
クは平面状に形成され、コイル層は中心部にフロント磁
気コアの接続用突出部を通す中心孔を有することを特徴
とする請求項１、２、３又は４に記載の複合型磁気ヘッ
ド。
【請求項６】一対の磁性体コア片の間に設けた磁気ギ
ャップ部に、磁性膜が介在されていることを特徴とする
請求項１乃至５のいずれか１つの複合型磁気ヘッド。
【請求項７】非磁性のスライダ板の端部に、スライダ
の巾方向にフロント磁気コアの高さと同程度以下の深さ
の横溝を作成し、この横溝と略直角方向にフロント磁気
コアを挿入する縦溝を形成して、その縦溝内にフロント
磁気コアをガラス等により固定した後、スライダ板にお
けるフロント磁気コアの付近の反磁気記録媒体対向面側
を切削してフロント磁気コアに接続用突出部を形成し、
非磁性のバック基板の上にバックヨークとコイル層を形
成して、そのバック基板をスライダ板に重ねて固定する
ことにより、フロント磁気コアの接続用突出部とバック
ヨークとを接合するとともに、接続用突出部をコイル層
が旋回するように配置させることを特徴とする複合型磁
気ヘッドの製造方法。
【請求項８】バック基板に形成したバックヨークとコ
イル層は、薄膜形成法により作成し、それら両者の間に
絶縁層を介在させた請求項７に記載の複合型磁気ヘッ
ド。