JPH0474335A - 磁界変調型オーバーライト磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光磁気記録媒体の磁気記録層（垂直磁化膜）
に磁界変調方式で光磁気記録を行なう磁界変調型オーバ
ーライトＩ気ヘッドに関する。

〔発明の概要〕

本発明は、磁界変調型オーバーライト磁界ヘッドにおい
て、基台と、表面の導体層をコイル状にバターニングし
て動作時の垂直磁界発生源となるコイルを形成したフレ
キシブルプリント配線基板とを夫々−主面で接合して一
体化することにより、コイル作製プロセスと基台作製プ
ロセスの分離化を図って、磁気ヘッドの高歩留り化を図
ると共に、製造工程の簡略化並びに製造コストの低廉化
を図れるようにしたものである。

〔従来の技術〕

一般に、光磁気記録媒体への記録方式としては、光変調
方式と磁界変調方式が知られている。しかし、オーバー
ライトを行なうためには、レーザ光を光磁気記録媒体の
磁気記録層（垂直磁化膜）に照射しながら磁気ヘッドか
らの磁界で記録する所謂磁界変調方式が有力とされてい
る。

磁界変調方式で用いられる従来の磁界変調型オーバーラ
イト磁気ヘッド（以下、単に磁気ヘッドと記す）は、第
１５図に示すように、外部磁界の発生源である励磁コイ
ル（４１）と、光磁気記録媒体（４２）の磁気記録層（
４３）に対する熱供給源となるレーザ光源（４４）とが
光磁気記録媒体（４２）を挟んで対向する構造となって
いる。尚、（４５）はレーザ光！を磁気記録層（４３）
上の所定ポイントに集光させる対物レンズである。また
、図示の例では、レーザ光源（４４）から対物レンズ（
４５）までの構成部品（例えば、ビームスプリッタ等）
を省略して主要構成のみを示す。また、レーザ光源（４
４）、対物レンズ（４５）等の光学ヘッド（４６）は、
光磁気記録のほか、再生時のピックアップとしても機能
する。

そして、光磁気記録媒体（４２）に書込みを行なう場合
は、第１６図に示すように、励磁コイル（４１）によっ
て磁気記録層（４３）に対し、記録する方向（図示の例
では↓の方向）に直流の外部磁界をかけ、レーザ光源（
４４）からレーザ光ｌを対物レンズ（４５）を介して磁
気記録層（４３）に照射して該磁気記録層（４３）上の
所定ポイントを熱すると、レーザ光ｌの照射部分におけ
る保磁力が低下して外部磁界の向きに磁化が反転し、こ
の磁区の向きによって１°゛、“０”の情報を記録する
。

ところで、従来の磁気ヘッドは、その小型軽量化のため
に、第１７図に示すように、フェライト等からなる基台
（５１）上に第１の薄膜コイル（５２ａ）　、第１の絶
縁膜（５３ａ）　、第２の薄膜コイル（５２ｂ）、第２
の絶縁膜（５３ｂ）　、共通端子（５４ｃ）及び第３の
絶縁膜（５３ｃ）が順次積層されて構成されている。ま
た、第１の薄膜コイル（５２ａ）からは第１の端子（５
４ａ）が導出され、第２の薄膜コイル（５２ｂ）からは
第２の端子（５４ｂ）が導出される。共通端子（５４ｃ
）は、第１の薄膜コイル（５２ａ）と第２の薄膜コイル
（５２ｂ）の各内周部に夫々接続される。そして、第１
８図に示すように、基台（５１）に設けられた溝（５５
）内に各端子（５４ａ）　、　（５４ｂ）及び（５４ｃ
）に対応して３本の外部リード線（５６ａ）　、　（５
６ｂ）及び（５６ｃ）を挿入し、半田層（５７）にて各
端子（５４ａ）　、　（５４ｂ）及び（５４ｃ）と各外
部リード線（５６ａ）　、　（５６ｂ）及び（５６ｃ）
　とを電気的に夫々接続して上記磁気ヘッドを構成する
ようにしている。

この第１８図で示す例は、基台（５１）の上面にて端子
（５４）と外部リード線（５６）とを接続するようにし
たが、その他、第１９図に示すように、端子（５４ａ）
　、　（５４ｂ）及び（５４ｃ）を基台（５１）の側端
面まで導出して、各端子（５４ａ）　、　（５４ｂ）及
び（５４ｃ）と各外部リード線（５６ａ）　、　（５６
ｂ）及び（５６ｃ）とを基台（５１）の側端面で接続す
る例も知られている。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、従来の磁気ヘッドにおいては、ウェハ状
態の基台に、第１の薄膜コイル（５２ａ）及び第２の薄
膜コイル（５２ｂ）を有する磁気ヘッドパターンを多数
マトリクス状に配列したのち、溝（５５）を形成し、そ
の後、ダイシング（切断）処理にて個々の磁気ヘッドに
分離するようにしている。

この場合の工程数は、約３０工程にも及び、更にその３
０工程が連続的に行なわれるため、一部の工程に不具合
が生じると、そのロフトは全て不良になるという不都合
がある。当然、最終工程に近い部分での不具合は大きな
損失となる。

また、従来においては、磁気ヘッド自体に外部リード線
（５６）を接続するための加工が新たに必要である。即
ち、第１８図で示す磁気ヘッドの場合は、基台（５１）
への溝（５５）の形成が必要であり、第１９図で示す磁
気ヘッドの場合は、端子（５４）と連続する導体パター
ン（５８）を基台（５１）の側面に形成する必要がある
。このように、従来の場合、製造工程自体が複雑になり
、製造コストの低廉化には限界があるという不都合があ
った。

本発明は、このような点に鑑み成されたもので、その目
的とするところは、コイル作製プロセスと基台作製プロ
セスの分離化が図れ、磁気ヘッドの高歩留り化が図れる
と共に、製造工程の簡略化並びに製造コストの低廉化を
図ることができる磁界変調型オーバーライト磁気へンド
を提供することにある。

〔課題を解決するだめの手段〕

本発明の磁界変調型オーバーライト磁気ヘッド（Ａ）は
、基台（８）と、表面の導体層（３）をコイル状にバタ
ーニングして動作時の垂直磁界発生源となるコイル（４
）を形成したフレキシブルプリント配線基板（１）とを
夫々−主面で接合して一体化して構成する。

〔作用〕

上述の本発明の構成によれば、コイル（４）をフレキシ
ブルプリント配線基板（１）の表面に形成したのち、該
基板（１）と基台（８）とを接合するようにしたので、
コイル（４）の作製プロセスと基台（８）の作製プロセ
スを夫々独立に行なうことができ、一部の工程に不具合
が生じたとしても、そのロフトが全て不良となることは
なく、フレキシブルプリント配線基板（１）あるいは基
台（８）を取り替えるだけで良好な磁界変調型オーバー
ライト磁気ヘッド（Ａ）を得ることができる。

また、コイル（４）の形成をフレキシブルプリント配線
基板（１）に依ったため、コイル（４）から延びる端子
（６）も上記配線基板（１）上に形成されることとなり
、後の外部リード線との接続が非常に容易になると共に
、外部リード線を接続するための加工を新たに追加する
必要がなく、製造工程の簡略化並びに製造コストの低廉
化を図ることができる。

〔実施例〕

以下、第１図〜第１４図を参照にしながら本発明の詳細
な説明する。

第１図は、本実施例に係る磁界変調型オーバーライト磁
気ヘッド（以下、単に磁気ヘッドと記す）（Ａ）を示す
斜視図、第２図はその断面図である。

この図において、（１）は、ポリイミド又はポリエステ
ル等からなる絶縁性基材（２）の両面に銅箔層（３）が
張り合された所謂フレキシブルプリント配線基板（以下
、単にプリント基板と記す）であり、このプリント基板
（１）の表面の銅箔層（３）をバターニングして数ター
ンのコイル（４）と導体（５ａ）　、　（５ｂ）及び端
子（６ａ）　、　（６ｂ）が形成されている。コイル（
４）、導体（５ａ）及び端子（６ａ）はプリント基板（
］）の−生生面１ａ）に設けられ、導体（５ｂ）及び端
子（６ｂ）はプリン）Ｍ板（１）の他主面（１ｂ）に設
けられる。コイル（４）と導体（５ｂ）は、プリント基
板（１）におけるコイル中央部と対応する箇所に形成さ
れたスルーホール（７）によって電気的に接続される。

そして、このプリン）Ｍ板（１）の他主面（１ｂ）とフ
ェライト等からなる基台（８）の−主面（８ａ）とを接
着剤等（９）を用いて貼り合せることにより、本例に係
る磁気ヘッド（Ａ）が構成＝ｙｔ。尚、コイル（４）は
、この磁気ヘッド（Ａ）の動作時において、光磁気記録
における垂直磁界の発生源となる。

次に、本例に係る磁気ヘッド（Ａ）の製法の一例を第３
図の工程図及び第４図の経過図に基いて説明する。

まず、この磁気ヘッド（Ａ）の作製は、コイル作製プロ
セスと基台作製プロセスに分けられ、これら各プロセス
が独立に進行し、その後、最終段階（貼り合せ工程）に
おいて本例に係る磁気ヘッド（Ａ）が得られるようにな
されている。

即ち、コイル作製プロセスにおいて、例えば、ポリイミ
ド又はポリエステル等からなる絶縁性基材（２）の両面
に銅箔層（３）が張り合された幅の広いフレキシブル銅
張板（以下、単に銅張板と記す）を用意し、この銅張板
全面にフォトレジスト膜を形成したのち、フォトリソグ
ラフィ技術（スクリーン印刷）によって、上記フォトレ
ジスト膜を後に形成されるコイル、導体及び端子（ラン
ド部）の形にバターニングする。より詳しくは、コイル
が形成される部分の中央部にスルーホールを設け、その
後、スルーホールを無電解銅等で活性化したのち、銅め
っきを施して両面の銅箔層を電気的に接続するスルーホ
ールとなす。その後、上述の如く、フォトレジスト膜の
形成後、該レジスト膜をバターニングする。このとき、
第１図におけるコイル（４）、導体（５）及び端子（６
）を１つの磁気ヘットパターンとすると、銅張板上にフ
ォトレジスト膜による磁気ヘッドパターンが多数マトリ
クス状に配列・形成される。

そして、次のエツチング除去において、露出する銅箔層
をエツチング除去したのち、次のレジスト剥離工程にて
フォトレジスト膜を除去する。このとき、第４図に示す
ように、銅箔層からなる磁気ヘッドパターン（コイル（
４）、導体（５ａ）　、　（５ｂ）及び端子（６ａ）　
、　（６ｂ）から成る）　（１０）が多数マトリクス状
に配列されたかたちとなる。そして、次に、第４図の切
断線ｍ（−点鎖線で示す）に基いて銅張板（１１）を裁
断、打抜き加工して個々の磁気ヘノドに則したかたちの
プリント基板（１）（第１図参照）に分離する。

一方、基台作製プロセスにおいては、まずフェライトを
成形、焼成してフェライト板を作製したのち、表面を平
坦化研摩し、次いで表面をランピング処理して表面粗さ
を良好にする。その後、フェライト板をダイシング（切
断）処理して所定の大きさの基台（８）（第１図参照）
に分離させる。

その後、上記コイル作製プロセスで得たプリント基板（
１）と、上記基台作製プロセスで得た基台（８）とを接
着剤等（９）を用いて貼り合せて第１図で示す本例に係
る磁気へ７ド（Ａ）を得る。

上述の如く、本例によれば、磁気ヘッド（Ａ）の動作時
における垂直磁界の発生源となるコイル（４）をプリン
ト基板（１）上の銅箔層（３）を利用してパタニングに
より形成したのち、該プリント基板（１）と基台（８）
とを接合して一体化して構成するようにしたので、第３
図の工程図からもわかるとおり、コイル（４）の作製プ
ロセスと基台（８）の作製プロセスを夫々独立に行なう
ことができる。従って、一部の工程に不具合が生じたと
しても、そのロフトが全て不良になることはなく、プリ
ント基板（１）あるいは基台（８）を取り替えるだけで
良好な磁気ヘッド（Ａ）を得ることができる。また、コ
イル（４）の作製において、基台（８）の影響を受けな
いため、磁気ヘッド（Ａ）の特性の安定化につながる。

またコイル（４）の形成をプリント基板（１）に依った
ためコイル（４）から延びる端子（６ａ）　、　（６ｂ
）　もプリント基板（１）上に形成されることになり、
後の外部リード線との接続が非常に容易になると共に、
外部リード線を接続するための加工を新たに追加する必
要がなく、製造工程の簡略化並びに製造コストの低廉化
を図ることができる。

上記実施例では、一方の端子（６ａ）をプリント基板（
１）のコイル面（１ａ）に、他方の端子（６ｂ）をプリ
ント基板（１）の他主面（１ｂ）に導出するようにした
が、その他、両端子（６ａ）及び（６ｂ）をコイル面（
１ａ）に導出するようにしてもよい。この場合は、第５
図及び第６図に示すように、コイル面（１ａ）に他方の
端子（６ｂ）を形成すると共に、プリン）Ｉ板（１）の
他生面を走る導体（５ｂ）の端子（６ｂ）近傍部分にス
ルーホール（１２）を設け、このスルーホール（１２）
でｓ体（５ｂ）と端子（６ｂ）とを電気的に接続すれば
よい。この例（第１の変形例）では、コイル（４）と両
端子（６ａ）及び（６ｂ）が同一平面上に存することと
なるため、後の外部リード線の接続がより容易になると
共に、磁気ヘッド（Ａ）のドライブ（セット）への実装
化も容易になる。

尚、上記実施例では、単層のコイル（４）を形成した場
合について示したが、その他、２層のコイルを形成した
場合にも応用可能である。即ち、第７図及び第８図に示
すように、まず第１のプリント基板（２１）において、
その主面（２１ａ）上に第１のコイル（４ａ）と導体（
２２ａ）及び第１の端子（２３ａ）を形成すると共に、
他主面（２１ｂ）に導体（２２ｃ）と共通端子（２３ｃ
）を形成する。もちろん、共通端子（２３ｃ）について
は、第５図で示す構成を採用してもよい。

次に、第２のプリント基板（２４）においては、その主
面（２４ａ）上に第１のコイル（４ａ）とは逆の巻方向
を有する第２のコイル（４ｂ）を形成すると共に、導体
（２２ｂ）及び第２の端子（２３ｂ）を形成する。そし
て、第２のコイル（４ｂ）の内周部と第１のコイル（４
ａ）の内周部及び導体（２２ｃ）は、各プリント基板（
２１）及び（２４）に設けたスルーホール（２５）及び
（２６）を介して電気的に接続される。この例（第２の
変形例）の場合、高周波信号に対する磁界変化の応答性
が良好となる。

ところで、上記第１図、第５図及び第７図に示す磁気ヘ
ッド（Ａ）は、基台（８）におけるコイル（４）の中央
部分と対応する箇所にテーパ状の穴（以下、テーバ穴と
記す）（３１）を設けるを可とする。この子−バ穴（３
１）は、第９図で代表的に示すように、基台（８）上の
一主面、即ちプリント基板（１）が貼着する面（光磁気
記録媒体と対向する面）　（８ａ）から他主面（８ｂ）
に向かって広がるテーパ（３１ａ）を有する。

そして、このテーバ穴（３１）を有する磁気ヘッド（Ａ
）を用いて光磁気記録を行なう場合は、第１Ｏ図に示す
ように、磁気ヘッド（Ａ）の後方に光学ヘッド（代表的
にレーザ光ｌと対物レンズ（３２）で示す）　（３３）
を配置し、この光学ヘッド（３３）のレーザ光源（図示
せず）から出射されたレーザ光ｅをテーパ穴（３１）を
通して光磁気記録媒体（３４）の磁気記録層（３５）に
到達させることにより行なわれる。

従って、プリント基板（１）を構成する絶縁基材（２）
は透明であることが好ましい。

このテーパ穴（３１）を有する磁気ヘッド（Ａ）の場合
、光磁気記録媒体（３４）の片側に磁気ヘッド（Ａ）と
光学ヘッド（３３）を配することができるため、第１１
図に示すように、磁気記録層（３５）が接着剤層（３６
）を介して両面に形成されることによって大容量化され
た光磁気記録媒体（３７）に対するアクセスも容易に行
なうことができる。即ち、上記構成により、磁気ヘッド
（Ａ）と光学ヘッド（３３）をＩｍとする光磁気記録ヘ
ッド（Ｂ）を上記光磁気記録媒体（３７）の両側に夫々
配することが可能となり、他の磁気記録層（３５ｂ）又
は（３５ａ）に影響を与えずに該当する磁気記録層（３
５ａ）又は（３５ｂ）への書込みを行なうことができる
と共に、高速アクセスも可能となる。両面に磁気記録層
（３５）が形成された光磁気記録媒体としては、上記の
ほか、第１２図に示すように、基板（３８）を挾んで両
面に磁気記録層（３５ａ）及び（３５ｂ）が形成された
タイプのものもあるが、この第１２図で示す光磁気記録
媒体（３９）への書込みももちろん可能である。尚、第
１０図において、テーパ穴（３１）におけるテーパ（３
１ａ）の傾斜角θは、レーザ光ｌの対物レンズ（３２）
による集光角度αを考慮して決定すればよい。本例では
、上記傾斜角θを約３０°〜６０°とした。

基台（８）に上記テーパ穴（３１）を形成する場合は、
−旦、テーパ穴（３１）の小径に相当する径の透孔を基
台（８）に設け、次いで例えばＶ字回転砥石等を用いて
上記透孔の部分を研削して形成することができる。この
とき、Ｖ字回転砥石を基台（８）を貫通させないように
することが好ましい。

上記各実施例では、コイル（４）が形成されたコイル面
（１ａ）と反対の面（他主面（ｌｂ））を基台（８）に
貼り合せるようにしたが、その他、第１３図に代表的に
示すように、プリント基板（１）のコイル面（１ａ）と
、基台（８）の−主面（８ａ）とを貼り合せるようにし
てもよい。この場合、絶縁性基材（２）がコイル（４）
のガード材を兼ねることになる。

また、上記第７図の例では、２層のコイノ喧４ａ）及び
（４ｂ）を積層して構成することにより、高周波信号に
対する応答性を良好にするようにしたが、その他、単層
のコイルの場合でも同様の効果を得ることができる。即
ち、第１４図に示すように、各端子（２３ａ）及び（２
３ｂ）から同一平面上に各導体（２２ａ）及び（２２ｂ
）を介して延びるコイル（４ａ）及び（４ｂ）を夫々同
心円状に配置し、その中央部分でコイル（４ａ）及び（
４ｂ）間を接続して構成すればよい。

ここで、（２３ｃ）は共通端子である。

尚、上述で示した基台（８）としては、Ｎｉ−Ｚｎフェ
ライト、Ｎｉ−１’Ｉｎフエライト、セラミック等を用
いることができる。

〔発明の効果］ 本発明に係る磁界変調型オーバーライト磁気へ７ドによ
れば、コイル作製プロセスと基台作製プロセスの分離化
が図れ、磁気ヘッドの高歩留り化が図れると共に、製造
工程の簡略化並びに製造コストの低廉化を図ることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本実施例に係る磁界変調型オーバーライト磁気
ヘッド（以下、単に磁気ヘッドと記す）を示す斜視図、
第２図は第１図におけるＡ−Ａ線上の断面図、第３図は
本実施例に係る製法の一例を示す工程図、第４図は銅張
板に磁気ヘッドパターンを形成した時点を示す経過図、
第５図は本実施例の第１の変形例を示す斜視図、第６図
は第５図におけるＢ−Ｂ線上の断面図、第７図は本実施
例の第２の変形例を示す斜視図、第８図は第７図におけ
るＣ−〇線上の断面図、第９図はテーパ穴を有する磁気
ヘッドの代表例を示す要部の断面図、第１０図はテーパ
穴を有する磁気ヘッドの使用例を示す説明図、第１１図
はテーパ穴を有する磁気ヘッドの他の使用例を示す説明
図、第１２図は大容量化された光磁気記録媒体の他の例
を示す要部の断面図、第１３図は他の貼り合せ例の代表
例を示す要部の断面図、第１４図は単層コイルによる磁
気へンドの他の例を示す斜視図、第１５図は従来例を示
す構成図、第１６図は従来例の作用を示す説明図、第１
７図は従来例に係る磁気ヘッドを示す分解斜視図、第１
８図は従来例に係る磁気ヘッドを示す斜視図、第１９図
は他の従来例に係る磁気ヘッドを示す斜視図である。 （Ａ）は磁気ヘッド、（１）はプリント基板、（４）は
コイル、（５）は導体、（６）は端子、（７）はスルー
ホール、（８）は基台である。 代 理 人 松 隈 秀 盛 （コイル作製プロセス） （基台イＹにプロセス） 兜皮 本亥方色例ｊ；イリ製法の一仲口斤、寸エネ呈図９引炎
板に磁気ヘッドパターンを形成し行時点を示すメＬ通図
第４図 Ａ石茸気ヘッド テーパ穴と有＜５．磁気ヘットのへ表例飼４更咥ｍｌ竹
面図第 図 テーパ冗１自＋６石ｎ気へツーの伏用仔・１乞示すｔ免
尼ら７第１０図 チーツマ光１栴す５私気ヘツトめイ也す使用イト１と示
すｇか月図第１１図 大写量化」よ光磁箋記書千ケ来体の池の例２斤、イ督粁
の断面図第１２図 第１７図 従来分・１に係る７磁気ヘツドと示す針視図第１８図 第１９図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　基台と、表面の導体層をコイル状にパターニングして
   動作時の垂直磁界発生源となるコイルが形成されたフレ
   キシブルプリント配線基板とが夫々一主面で接合され一
   体化されてなる磁界変調型オーバーライト磁気ヘッド。