JPH01224908A - 垂直記録用薄膜滋気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 磁気ディスク装置等に用いられる垂直記録用薄膜磁気ヘ
ッド、特に磁極及びコイルのパターン精度が良好で、か
つ記録再生効率の高い主磁極励磁型の垂直記録用薄膜磁
気ヘッドに関し、記録再生効率を向上させるために多層
に積層する薄膜コイルを複数の積層コイル部分に分割し
て各磁極層とそれぞれ組み合わせて隣接配置した構成と
することにより、積層コイル及び補助磁極層のパターン
形成時の段差を低減し、各磁極層及びコイルのパターン
精度の向上と、記録再生の高効率化を目的とし、 基板の同一平面上に、記録再生用の主磁極層と磁束リタ
ーンパスを形成する補助磁極層とを、それぞれ薄膜積層
コイルと組合わせて隣接配置し、かつ双方の薄膜コイル
間を電気的に接続すると共に、前記主磁極層と補助磁極
層とを磁気的に結合するように構成する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は磁気ディスク装置等に用いられる垂直記録用薄
膜磁気ヘッドに係り、特に磁極及びコイルのパターン精
度が良好で、かつ記録再生効率の高い主磁極励磁型の垂
直記録用薄膜磁気ヘッドに関するものである。

磁気ディスク装置等においては、磁気記録媒体に対して
高密度記録再生が可能な垂直記録用の薄膜磁気ヘッドが
既に種々提案されている。

このような垂直記録用の薄膜磁気ヘッドでは高。

密度記録化に伴って狭トラツク化が要求されているが、
この狭トラツク化により記録再生出力が低下する傾向が
ある。このため記録再生効率を高めて、大きな記録再生
出力が得られる主磁極励磁型の垂直記録用薄膜磁気ヘッ
ドが必要とされている。

〔従来の技術〕

従来の磁気ディスク装置に用いられた主磁極励磁型の垂
直記録用薄膜磁気ヘッドとしては、第３図（ａ）の要部
平面図及び該第３図（ａ）に示すＥ−Ｅ’切断線に沿っ
た第３図（ハ）の断面図に示すように、スライダとなる
例えばセラミック等からなる非磁性基板ｌｌ上にＮｉ−
Ｆｅ、或いはＣｏ−Ｚｒ等からなる主磁極層１２と、眉
間絶縁Ｊｉ１３で挟まれた形のスパイラル状、またはヘ
リカル状の薄膜積層コイル１４を介在して該主磁極層１
２よりも広い面積で、かつその磁極先端が媒体対向面１
７より所定寸法りだけ内側へ引込んだ形の磁束リターン
磁路を形成する補助磁極Ｊｉｉ１５が配設され、更にそ
の表面に保護膜１６が被覆された構成からなっている。

このように従来の薄膜磁気ヘッドにおいては、記録再生
効率を向上させるための一手段として主磁極層１２と補
助磁極層１５との間に介在している、例えばスパイラル
状の薄膜積層コイル１４の積層数を２層から第３図（ｂ
）に示すように４層、或いはそれ以上の積層数に増加さ
せたり、また補助磁極層１５の膜厚を厚く形成して媒体
対向面積を大きくすることが行われている 〔発明が解決しようとする課題〕 ところが上記したような従来の薄膜磁気ヘッドの積層構
成では、主磁極層１２上に層間絶縁層１３を介して順に
積層される多層の薄膜積層コイル１４及び厚い補助磁極
層１５のパターン形成時の段差が順次大きくなるため、
これら多層の薄膜積層コイル１４及び補助磁極層１５を
高精度にパターン形成することが困難となる。また製造
工程が増加し、更には製造歩留が低下するという欠点が
あった。

本発明は上記した従来の欠点に泥み、記録再生効率を向
上させるために多層に積層する薄膜コイルを、複数の積
層コイル部分に分割して各磁極層とそれぞれ組み合わせ
て隣接配置した構成とすることにより、積層コイル及び
補助磁極層のパターン形成時の段差を低減して、各磁極
層及び積層コイルのパターン精度の良好な、高記録再生
効率の垂直記録用薄膜磁気ヘッドを提供することを目的
とするものである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は上記した目的を達成するため、基板の同一平面
上に、記録再生用の主磁極層と磁束リターンバスを形成
する補助磁極層とを、それぞれ薄膜積層コイルと組合わ
せて隣接配置し、かつ双方の薄膜コイル間を電気的に接
続すると共に、前記主磁極層と補助磁極層とを磁気的に
結合した構成とする。

〔作　用〕

本発明の垂直記録用薄膜磁気ヘッドでは、記録再生効率
を向上させるために多層に積層する薄膜コイルを２つ以
上の積層コイル部分に分割し、その各分割した積層コイ
ル部分とそれぞれ組み合わせた記録再生用の主磁極層と
補助磁極層とを基板の同一平面上に隣接配置することに
より、製造工程が短縮されると共に、積層コイル及び補
助磁極層のパターン形成時の段差も低減される。この結
果、積層コイル及び補助磁極層のパターン精度の良好な
記録再生効率の高い垂直記録用薄膜磁気ヘッドが実現で
きる。

〔実施例〕

以下図面を用いて本発明の実施例について詳細に説明す
る。

第１図（ａ）は本発明に係る垂直記録用薄膜磁気ヘッド
の一実施例を示す要部平面図、第１図（ｂ）は第１図（
ａ）に示すＡ−Ａ’切断線に沿った断面図、第１図（Ｃ
）は第１図（ａ）に示すＢ−Ｂ’切断線に沿った断面図
である。

これらの図において、２１は主磁極２７先端及び薄膜積
層コイル２４ａ、２４ｂ配設面にガラス等からなる非磁
性絶縁材２２が埋設されたスライダとなる例えばＭｎ−
Ｚｎフェライト、またはＮｉ−Ｚｎフェライト等からな
る磁性基板である。この同一平面における非磁性絶縁材
２２面上と磁性基板２１面上には、それらに跨るように
例えば熱硬化性樹脂材からなる眉間絶縁層２３をそれぞ
れ介在して２層に巻装された銅（Ｃｕ）、またはアルミ
ニウム（八１）等からなる２つのスパイラル状の薄膜積
層コイル２４ａと２４ｂが図示のように隣接配置され、
これらの薄膜積層コイル２４ａと２４ｂとはコイル接続
線２５によって電気的に接続されている。なお２６はコ
イル端子用引出し線である。

そしてかかる各薄膜積層コイル２４ａ、　２４ｂの内ノ
、例えば一方の薄膜積層コイル２４ａ上には先端部を細
幅としたＣｏ−Ｚｒ、或いはＮｉ−Ｆｅ等からなる記録
再生用の主磁極層２７が、その他端を磁性基板２１面と
磁気的に結合した形に設けられ、他方の薄膜積層コイル
２４ｂ上には先端部が前記主磁極層２７の先端部よりも
広い幅で、かつ媒体対向面３０より内側に大きく引き込
まれた形のＣｏ−Ｚｒ、或いはＮｉ−Ｆｅ等からなる磁
束リターンパスを形成する補助磁極層２８がその他端を
磁性基板２１面と磁気的に結合した形に設けられており
、更にこれら主磁極層２７及び補助磁極層２８の表面上
には、従来と同様に５ｉ（ｈ、または八１２０３などの
保護膜２９が被覆された構成とされている。

このような構成の磁気ヘッドでは、多層に積層する薄膜
積層コイルを、少なくとも２つの積層コイル部分、即ち
２４ａと２４ｂに分割し、その各分割した積層コイル部
分２４ａ、　２４ｂと記録再生用主磁極層２７及び補助
磁極層２８とをそれぞれ組み合わせて同一基板平面上に
隣接配置し、該２つの積層コイル部分２４ａ、　２４ｂ
はコイル接続線２５により電気的に接続されると共に、
主磁極層２７と補助磁極層２８とは磁性基板２１部分を
利用して磁気的に結合しているので、各薄膜積層コイル
２４ａ、　２４ｂ及び補助磁極層２８のパターン形成時
の段差が低減される。

従って、該各薄膜積層コイル２４ａ、　２４ｂ及び補助
磁極層２８のパターン精度が良好で、機能的に従来構成
のものと何ら遜色がなく、しかも高記録再生効率の垂直
記録用薄膜磁気ヘッドを従来よりも短縮された製造工程
により歩留り良く得ることができる。

なお以上の実施例では主磁極先端及び薄膜積層コイル等
の配設面に非磁性絶縁材を埋設した磁性基板を用いた場
合の例について説明したが、このような例の他に例えば
非磁性絶縁基板上に主磁極層と補助磁極層とを磁気的に
結合し得る磁性膜パターンを予め所定領域に被着配置し
た基板を用いるようにしてもよい。また分割された薄膜
積層コイルを平坦な非磁性基板上に直接設けているため
、それらコイルの巻数を増やすことが容易となり、記録
再生効率を高める上で有利となる。

その他、本実施例では多層に積層する薄膜積層コイルを
２分割し、主磁極層と補助磁極層とそれぞれ組み合わせ
て基板の同一平面上に隣接配置した場合の例について説
明したが、この例に限定されるものではなく、例えば多
層に積層する薄膜積層コイルを２分割以上の複数に分割
し、主磁極層と複数の補助磁極層とをそれぞれ組み合わ
せて基板の同一平面上に隣接配置するようにしてもよく
、同様な効果が得られる。

更に第２図（ａ）は本発明に係る垂直記録用薄膜磁気ヘ
ッドの他の実施例を示す要部平面図、第２図（ｂ）は第
２図（ａ）に示すｃ−ｃ’切断線に沿った断面図、第２
図（Ｃ）は第２図（ａ）に示すＤ−Ｄ“切断線に沿った
断面図であり、第１図（ａ）〜（Ｃ）と同等機能部分に
は同一符号を付した。

これらの図で示す実施例が第１図（ａ）〜（Ｃ）の実施
例と異なる点は、スライダとなる／／！２０３・ＴｉＣ
等からなる非磁性基Ｆｉ３１の一主平面上に、主磁極層
２７と補助磁極層２８とを直接、かつ隣接して配設する
と共に１層間絶縁層２３の上部においてそれら磁極層を
磁気的に結合させた構成としている点である。具体的に
は先端部を細幅としたＣｏ４ｒ　、或いはＮｉ−Ｆｅ等
からなる記録再生用の主磁極層２７と先端部が前記主磁
極Ｎ２７の先端部よりも広い幅で、かつ媒体対向面３０
より内側に大きく引き込まれた形のＣｏ−Ｚｒ、或いは
Ｎｉ−Ｆｅ等からなる磁束リターンパスを形成する補助
磁極層２８とが非磁性基板３１上に隣接配置されている
。この主磁極層２７及び補助磁極Ｊｉ１２Ｂ上に、それ
ぞれ熱硬化性樹脂材からなる眉間絶縁層２３をそれぞれ
介在して２層に巻装された銅（Ｃｕ）、またはアルミニ
ウム（Ａ　ｆ　）等からなるスパイラル状の薄膜積層コ
イル２４ａと２４ｂが図示のように配設され、これらの
薄膜積層コイル２４ａと２４ｂとはコイル接続線２５に
よって電気的に接続されている。また前記主磁極層２７
と補助磁極Ｎ２８とは磁極接続用磁性膜３２によって磁
気的に接合されている。

このような実施例のヘッド構成によっても前記第１図（
ａ）〜（Ｃ）の実施例と同様に該各薄膜積層コイル２４
ａ、　２４ｂ及び補助磁極層２８のパターン精度が良好
で、かつ高記録再生効率な垂直記録用薄膜磁気ヘッドを
従来よりも短縮された製造工程により歩留り良く得るこ
とができる。

なお以上の実施例では補助磁極層を平坦な非磁性基板上
に直接設けているため、該補助磁極層を精度良く厚く形
成することが可能となり、磁極先端部の媒体対向面積を
容易に増加させることができ、記録再生時のＳ／Ｎ比が
向上する。また薄膜積層コイルを複数に分割配置した構
成としているため、巻数の多いコイルを容易に精度良く
設けることが可能となり、記録再生効率を高める上で有
利となる。

更に実施例では多層に積層する薄膜積層コイルを２分割
し、主磁極層と補助磁極層とそれぞれ組み合わせて基板
の同一平面上に隣接配置した場合の例について説明した
が、この例に限定されるものではなく、例えば多層に積
層する薄膜積層コイルを２分割以上の複数に分割し、主
磁極層と複数の補助磁極層とそれぞれ組み合わせて基板
の同一平面上に隣接配置するようにしてもよく、同様な
効果が得られる。

〔発明の効果〕

以上の説明から明らかなように、本発明に係る垂直記録
用薄膜磁気ヘッドによれば、主磁極、補助磁極層及び薄
膜積層コイルのパターン精度の良好な高記録再生効率の
垂直記録用薄膜磁気ヘッドを従来よりも短縮された製造
工程により歩留り良く得ることができる優れた利点を有
し、実用上、顕著なる効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は本発明に係る垂直記録用薄膜磁気ヘッド
の一実施例を示す要部平面図、 第１図［有］）は第１図（ａ）に示すＡ−Ａ’切断線に
沿った断面図、 第１図（Ｃ）は第１図（ａ）に示すＢ−Ｂ”切断線に沿
った断面図、 第２図（ａ）は本発明に係る垂直記録用薄膜磁気ヘッド
の他の実施例を示す要部平面図、 第２図０））は第２図（ａ）に示すｃ−ｃ’切断線に沿
った断面図、 第２図（Ｃ）は第２図（ａ）に示すＤ−Ｄ’切断線に沿
った断面図、 第３図（ａ）は従来の垂直記録用薄膜磁気ヘッドの一例
を示す要部平面図、 第３図（′ｂ）は第３図（ａ）に示ずＥ−Ｅ’切断線に
沿った断面図である。 第１図（ａ）　〜（Ｃ）及び第２図（ａ）　〜（Ｃ）に
おいて、２１は磁性基板、２２は非磁性絶縁材、２３は
層間絶縁層、２４（ａ）、　２４（ｂ）は分割積層コイ
ル部分、２５はコイル接続線、２６はコイル端子用引出
し線、２７は主磁極層、２８は補助磁極層、２９は保護
膜、３０は媒体対向面、３１は非磁性基板、３２は磁極
結合用磁性膜をそれぞれ示す。 大　　１−

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 基板（２１）の同一平面上に、記録再生用の主磁極層（
   ２７）と磁束リターンパスを形成する補助磁極層（２８
   ）とを、それぞれ薄膜積層コイル（２４ａ、２４ｂ）と
   組合わせて隣接配置し、かつ双方の薄膜コイル（２４ａ
   、２４ｂ）間を電気的に接続すると共に、前記主磁極層
   （２７）と補助磁極層（２８）とを磁気的に結合してな
   ることを特徴とする垂直記録用薄膜磁気ヘッド。